JP2019087746A - 高解像度ディスプレイ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】光効率及び色品質が向上した高解像度ディスプレイ装置を提供する。【解決手段】ディスプレイ装置300は、基板310と、基板310上に順次に積層された第1半導体層321、活性層323及び第2半導体層322を含む発光層320と、発光層320上に設けられ、発光層320から発せられる光により、所定色相の光を放出する複数の色変換層360B,360R,360Gと、を含み、発光層320は、複数の色変換層360B,360R,360Gに対応するように設けられる。【選択図】図4

Description

本発明は、ディスプレイ装置に係り、詳細には、光効率及び色品質が向上した高解像度ディスプレイ装置に関する。
ディスプレイ装置として、LCD(liquid crystal display)やOLED(organic light emitting diode)ディスプレイなどが汎用されている。最近では、マイクロLED(micro-light emitting diode)を利用し、高解像度ディスプレイ装置を製作する技術が脚光を浴びている。しかし、マイクロLEDを利用した高解像度ディスプレイ装置を製作するためには、高効率の小型LEDチップを製作しなければならず、小型LEDチップを適切な位置に配列させるために、高難易度の転写(transfer)技術が要求される。
韓国公開特許2017−0084139号公報 韓国登録特許1524726号公報 韓国公開特許2017−0022756号公報
本発明が解決しようとする課題は、光効率及び色品質が向上した高解像度ディスプレイ装置を提供することである。
一側面において、
基板と、
前記基板上に順次に積層された第1半導体層、活性層及び第2半導体を含む発光層と、
前記発光層上に設けられ、前記発光層から発せられる光によって所定色相の光を放出する複数の色変換層(color converting layer)と、を含み、
前記発光層は、前記複数の色変換層に対応するように設けられるディスプレイ装置が提供される。
前記ディスプレイ装置は、前記第1半導体層と電気的に連結されるように設けられる少なくとも1つの第1電極と、前記第2半導体層と電気的に連結されるように設けられる複数の第2電極と、を含んでもよい。
前記第2電極と接触する前記第2半導体層の接触領域周囲は、一定深さ以下にエッチングされる。
前記各第1電極は、前記複数の色変換層のうち少なくとも1層に対応するように設けられ、共通電極(common electrode)を構成し、前記複数の第2電極は、前記複数の色変換層に一対一対応するようにも設けられる。前記複数の第2電極は、それぞれ薄膜トランジスタ(TFT)にも連結される。
前記ディスプレイ装置は、前記第2半導体層上に設けられ、前記複数の第2電極から、前記第2半導体層に注入される電流を制限する電流注入制限層をさらに含んでもよい。
前記電流注入制限層のオープンされた部分を介して、前記第2電極と接触する前記第2半導体層の接触領域周囲は、一定深さ以下にもエッチングされる。
前記電流注入制限層は、絶縁膜を含んでもよい。
前記電流注入制限層は、多層絶縁膜を含んでもよい。前記多層絶縁膜は、屈折率が互いに異なる複数層を含んでもよい。
前記電流注入制限層は、絶縁膜、及び前記絶縁膜内部に設けられる金属反射層を含んでもよい。前記電流注入制限層は、前記第2半導体層上に設けられる金属反射層、及び前記金属反射層を覆うように設けられる絶縁膜を含んでもよい。前記金属反射層は、第1金属層と、前記第1金属層上に設けられるものであり、前記第1金属層より高い反射率を有する第2金属層と、を含んでもよい。
前記ディスプレイ装置は、前記複数の第2電極と、前記複数の色変換層との間に設けられるものであり、前記発光層から発せられる光は透過させ、前記複数の色変換層から発せられる光は、反射させる選択的透明絶縁層をさらに含んでもよい。
前記ディスプレイ装置は、前記複数の色変換層上に設けられ、特定色相の光を遮断する選択的遮断層をさらに含んでもよい。
前記ディスプレイ装置は、前記基板と前記第1半導体層との間、または前記第1半導体の内部に設けられる光吸収層をさらに含んでもよい。
前記ディスプレイ装置は、前記基板と前記第1半導体層との間に設けられるものであり、光反射低減のための屈折率整合層(index matching layer)をさらに含んでもよい。屈折率整合層は、AlNを含んでもよい。
前記ディスプレイ装置は、前記基板の下面に設けられる光吸収部材をさらに含んでもよい。
前記第1半導体層及び第2半導体層は、それぞれn−GaN及びp−GaNを含み、前記活性層は、多重量子井戸(MQW:multi quantum well)構造を有することができる。
前記発光層は、青色光を発生させることができる。ここで、前記複数の色変換層は、前記青色光によって励起され、赤色光を放出する赤色変換層、前記青色光によって励起されて緑色光を放出する緑変換層、及び前記青色光を透過させる青色透過層を含んでもよい。
前記発光層は、紫外線(UV)を発生させることができる。ここで、前記複数の色変換層は、前記紫外線によって励起されて赤色光を放出する赤色変換層、前記紫外線によって励起されて緑色光を放出する緑変換層、及び前記紫外線によって励起され青色光を放出する青色変換層を含んでもよい。
前記発光層は、前記基板上に、前記第1半導体層、前記活性層及び前記第2半導体層を順次に成長させて形成される。
本発明によれば、1層の活性層を複数の色変換層に対応するように形成することにより、活性層が露出される面積を最小化させることができるので、光効率を向上させることができる。また、電流注入制限層を利用し、電極と接触する半導体層の接触領域を低減させ、活性層の発光領域を減少させることにより、所望しない光の発光を防止することができるので、色品質を向上させることができる。電流注入制限層は、多層絶縁膜によって構成するか、あるいは絶縁膜、及び該絶縁膜の内部に設けられる金属反射層から構成することにより、色品質をさらに向上させることができる。そして、電極と接触する半導体層の接触領域周囲を一定深さ以下にエッチングすることにより、電極を介して半導体層に注入される電流が側面に広がることを減らすことができる。また、成長により、基板に直接発光層を形成することができるので、既存のLEDチップを転写させる工程は、不要である。
例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 図1のD部分を拡大して図示した図面である。 他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 図4のE部分を拡大して図示した図面である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 電流注入制限層の物質による反射度を図示したグラフである。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。 さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した斜視図である。 図17に図示されたディスプレイ装置の変形例を図示した斜視図である。 図17に図示されたディスプレイ装置の回路構成を図示した平面図である。
以下、添付された図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明する。以下の図面において、同一参照符号は、同一構成要素を指し、図面上において、各構成要素の大きさは、説明の明瞭性及び便宜さのために誇張されてもいる。一方、以下で説明される実施形態は、ただ例示的なものに過ぎず、そのような実施形態から多様な変形が可能である。
以下において、「上部」や「上」と記載されたところは、接触して真上にあるものだけではなく、非接触で上にあるものも含んでもよい。
単数の表現は、文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、それは、特別に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除くものではなく、他の構成要素をさらに含んでもよいということを意味する。
「前記」の用語、及びそれと類似した指示用語の使用は、単数及び複数のいずれにも該当する。
方法を構成する段階について、明白に順序を記載する、あるいは反対となる記載がなければ、前記段階は、適切な順序で実行される。必ずしも前記段階の記載順序に限定されるものではない。全ての例、または例示的な用語(例えば、など)の使用は、単に技術的思想にういて詳細に説明するためのものであり、特許請求の範囲によって限定されない以上、前記例、または例示的な用語によって範囲が限定されるものではない。
図1は、例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図であり、図2は、図1のD部分を拡大して図示したものである。
図1及び図2を参照すれば、ディスプレイ装置100は、複数のピクセル(Pixel)を含む。図1には、便宜上、2個のピクセルだけが例示的に図示されている。そのようなピクセルそれぞれは、互いに異なる色相のサブピクセルを含んでもよい。具体的には、該ピクセルそれぞれは、赤色サブピクセルSR、緑色サブピクセルSG及び青色サブピクセルSBを含んでもよい。
ディスプレイ装置100は、基板110と、基板110の上部に設けられる発光層120と、発光層120の上部に設けられる複数の色変換層(color converting layer)160R,160G,160Bと、を含んでもよい。
基板110は、その上に発光層120を成長させるための成長用基板にもなる。この基板110は、一般的な半導体工程で使用される多様な材質の基板を含んでもよい。例えば、基板110としては、シリコン基板またはサファイア基板が使用される。しかし、それは、ただ、例示的なものであり、それら以外にも、基板110には、他の多様な材質が使用されもする。
基板110の上面には、青色光Bを放出する発光層120が設けられている。ここで、発光層120は、無機物基盤のLED層(light emitting diode layer)にもなる。発光層120は、基板110の上面に、第1半導体層121、活性層123及び第2半導体層122を順次に成長させることによっても形成される。
第1半導体層121は、基板110の上面にも設けられる。第1半導体層121は、例えば、n型半導体を含んでもよい。しかし、必ずしもそれに限定されるものではなく、場合によっては、第1半導体層121は、p型半導体を含んでもよい。第1半導体層121は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。そのような第1半導体層121は、単層構造または多層構造を有することができる。
活性層123は、第1半導体層121の上面にも設けられる。活性層123は、電子と正孔とが結合しながら、青色光Bを発生させることができる。活性層123は、多重量子井戸(MQW:multi-quantum well)構造を有することができる。しかし、必ずしもそれに限定されるものではなく、場合によっては、単一量子井戸(SQW:single-quantum well)構造を有することもできる。そのような活性層123は、III−V族系の半導体、例えば、GaNを含んでもよい。一方、図面においては、活性層123が二次元薄膜形態に形成された場合が例示的に図示されているが、それに限定されるものではなく、活性層123は、マスクを利用した成長を介して、ロッド(rod)構造またはピラミッド(pyramid)構造の三次元形態にも形成される。
第2半導体層122は、活性層123の上面にも設けられる。第2半導体層122は、例えば、p型半導体を含んでもよい。しかし、必ずそれに限定されるものではなく、場合によっては、第2半導体層122は、n型半導体を含んでもよい。第2半導体層122は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。そのような第2半導体層122は、単層構造または多層構造を有することができる。
発光層120の上部には、発光層120の活性層123から放出される青色光Bにより、所定色相の光を放出する複数の色変換層160R,160G,160Bが設けられている。複数の色変換層160R,160G,160Bは、基板110で成長された1層の発光層120に対応しても設けられる。具体的には、複数の色変換層160R,160G,160Bは、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bを含んでもよい。ここで、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bは、赤色サブピクセルSR、緑色サブピクセルSG及び青色サブピクセルSBに対応する。
赤色変換層160Rは、活性層123から放出される青色光Bを、赤色光Rに変化させて放出することができる。そのような赤色変換層160Rは、青色光Bによって励起されて赤色光Rを放出する所定サイズの量子点(QD:quantum dots)を含んでもよい。該量子点は、コア部及びシェル部を有するコア・シェル(core-shell)構造を有することができ、また、シェルがいない粒子構造を有することもできる。コア・シェル構造は、シングル・シェル(single-shell)またはマルチ・シェル(multi-shell)を有することができる。マルチ・シェルは、例えば、ダブル・シェル(double-shell)でもある。
該量子点は、例えば、II−VI族系半導体、III−V族系半導体、IV−VI族系半導体、IV族系半導体及びグラフェン量子点のうち少なくとも一つを含んでもよい。具体的な例として、該量子点は、Cd、Se、Zn、S及びInPのうち少なくとも一つを含んでもよいが、それに限定されるものではない。各量子点は、数十nm以下の直径、例えば、約10nm以下の径を有することができる。また、赤色変換層160Rは、活性層123から放出される青色光Bによって励起され、赤色光Rを放出する蛍光体(phosphor)を含んでもよい。一方、赤色変換層160Rは、透過特性にすぐれるフォトレジスト(photoresist)や、赤色光Rを均一に放出させる光散乱剤をさらに含んでもよい。
緑色変換層160Gは、活性層123から放出される青色光Bを緑色光Gに変化させて放出することができる。そのような緑色変換層160Gは、青色光Bによって励起され、緑色光Gを放出する所定サイズの量子点を含んでもよい。また、緑色変換層160Gは、活性層123から放出される青色光Bによって励起され、緑色光Gを放出する蛍光体を含んでもよい。一方、緑色変換層160Gは、フォトレジストや光散乱剤をさらに含んでもよい。
青色透過層160Bは、活性層123から放出される青色光Bを透過させ、外部に放出することができる。そのような青色透過層160Bは、フォトレジストや光散乱剤をさらに含んでもよい。一方、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス(black matrix)170が設けられる。ブラックマトリックス170は、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bの間のクロストーク(crosstalk)を防止し、コントラスト(contrast)を向上させる役割を行うことができる。
発光層120には、第1半導体層121と電気的に連結される第1電極131と、第2半導体層122と電気的に連結される複数の第2電極132と、が設けられている。第1半導体層121及び第2半導体層122がそれぞれn型半導体及びp型半導体を含む場合、第1電極131及び第2電極132は、それぞれn型電極及びp型電極にもなる。
第1電極131は、サブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極(common electrode)にもなる。具体的には、発光層120には、第2半導体層122、活性層123及び第1半導体層121を順次にエッチングし、第1半導体層121を露出させる溝(groove)120aが所定深さに形成されている。第1電極131は、溝120aを介して露出された第1半導体層121と接触するようにも設けられる。一方、溝120aの内壁には、第1電極131を、第1半導体層121及び活性層123と絶縁させるための絶縁物質が設けられてもよい。
図1には、第1電極131が、6個のサブピクセルSR,SG,SBに対して共通して対応するように設けられる場合が例示的に図示されている。しかし、それは、単に例示的なものであり、1つの第1電極131に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。そのような第1電極131は、導電性にすぐれる物質を含んでもよい。
複数の第2電極132は、第2半導体層122にも設けられる。ここで、複数の第2電極132は、複数のサブピクセルSR,SG,SB、すなわち、複数の色変換層160R,160G,160Bと一対一対応するようにも設けられる。そのような第2電極132は、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bの下部にもそれぞれ設けられる。第2電極132は、透明な導電性物質を含んでもよい。例えば、第2電極132は、ITO(indium tin oxide)、ZnO、IZO(indium zinc oxide)、Ag、Au、グラフェンまたはナノワイヤなどを含んでもよい。しかし、それらに限定されるものではない。
第2半導体層122には、複数の第2電極132と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ(TFT:thin film transistor)140が設けられている。そのような薄膜トランジスタ140は、複数のサブピクセルSR,SG,SBのうち、所望する少なくとも1つのサブピクセルSR,SG,SBを選択的に駆動させる役割を行う。この薄膜トランジスタ140は、ブラックマトリックス170の下部にも設けられる。
第2半導体層122には、第2電極132から第2半導体層122に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域125が、所定深さにも形成される。このエッチング領域125は、第2電極132と接触する第2半導体層122の接触領域周囲を、一定深さ以下にエッチングすることによっても形成される。このエッチング領域125には、絶縁物質が設けられてもよい。エッチング領域125は、例えば、第2半導体層122厚さの1/2または2/3ほどの深さにも形成されるが、それに限定されるものではない。複数の第2電極132、及び複数の薄膜トランジスタ140を覆うようにも絶縁層150が設けられる。
前述のような構造において、例えば、赤色サブピクセルSRに対応する薄膜トランジスタ140が駆動し、共通電極である第1電極131と、赤色サブピクセルSRに対応する第2電極132との間に、所定電圧が印加されれば、赤色変換層160Rの下部に位置する活性層123から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bが、赤色変換層160Rに入射されれば、赤色変換層160Rは、赤色光Rを外部に放出するようになる。また、例えば、緑色サブピクセルSGに対応する薄膜トランジスタ140が駆動し、共通電極である第1電極131と、緑色サブピクセルSGに対応する第2電極132との間に所定電圧が印加されれば、緑色変換層160Gの下部に位置する活性層123から青色光Bが放出され、そのように放出される青色光Bが、緑色変換層160Gに入射されれば、緑色変換層160Gは、緑色光Gを外部に放出するようになる。
そして、例えば、青色サブピクセルSBに対応する薄膜トランジスタ140が駆動し、共通電極である第1電極131と、青色サブピクセルSBに対応する第2電極132との間に所定電圧が印加されれば、青色透過層160Bの下部に位置する活性層123から青色光Bが放出され、そのように放出される青色光Bは、青色透過層160Bを透過し、外部に放出されるようになる。図2には、赤色変換層160R、緑色変換層160G及び青色透過層160Bから、それぞれ赤色光R、緑色光G及び青色光Bが外部に放出される場合が例示的に図示されている。
既存の高解像度ディスプレイ装置を具現するためには、サブピクセルに対応する小型LEDチップを別途に製作しなければならず、そのように製作された小型LEDチップを、適切な位置に転写させることが必要になる。その場合、発光領域である活性層が、サブピクセル別に互いに分離することにより、活性層の露出面積が増大し、光効率が落ちるという問題があり、小型LEDチップを正確な位置に転写させる工程は、高い難易度が要求される。本実施形態によるディスプレイ装置においては、1層の発光層(具体的には、活性層)に対応し、複数のサブピクセルが設けられることにより、発光領域である活性層が、サブピクセル別に分離されず、それにより、光効率が向上する。また、第2電極と接触する第2半導体層の接触領域周囲は、一定深さ以下にエッチングされることにより、第2電極から注入される電流が横に広がることを防止することができる。そして、発光層の成長により、基板に直接形成されるので、既存の高い難易度を有する転写工程は、必要ではなくなる。
図3は、他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。以下においては、前述の実施形態と異なる点を中心に説明する。
図3を参照すれば、ディスプレイ装置200は、基板210と、基板210の上部に設けられる発光層220と、発光層220の上部に設けられる複数の色変換層260R,260G,260Bと、を含んでもよい。基板210としては、例えば、シリコン基板またはサファイア基板が使用されもするが、それらに限定されるものではない。
基板210には、紫外線(UV)を放出する発光層220が設けられている。この発光層220は、無機物基盤のLED層にもなる。発光層220は、基板210の上面に、第1半導体層221、活性層223及び第2半導体層222を順次に成長させることによっても形成される。
基板210の上面に設けられる第1半導体層221は、例えば、n型半導体を含んでもよい。具体的には、第1半導体層221は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。第1半導体層221の上面に設けられる活性層223は、電子と正孔とが結合しながら、紫外線(UV)を発生させることができる。そのような活性層223は、例えば、多重量子井戸(MQW)構造を有することができる。活性層223は、III−V族系の半導体、例えば、GaNを含んでもよい。活性層223の上面に設けられる第2半導体層222は、例えば、p型半導体を含んでもよい。具体的には、第2半導体層222は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。
発光層220の上部には、活性層223から放出される紫外線(UV)により、所定色相の光を放出する複数の色変換層260R,260G,260Bが設けられている。ここで、複数の色変換層260R,260G,260Bは、1層の発光層220に対応しても設けられる。複数の色変換層260R,260G,260Bは、赤色変換層260R、緑色変換層260G及び青色変換層260Bを含んでもよい。ここで、赤色変換層260R、緑色変換層260G及び青色変換層260Bは、それぞれ赤色サブピクセルSR、緑色サブピクセルSG及び青色サブピクセルSBに対応する。
赤色変換層260Rは、活性層223から放出される紫外線(UV)を赤色光Rに変化させて放出することができる。そのような赤色変換層260Rは、紫外線(UV)によって励起され、赤色光Rを放出する所定サイズの量子点を含んでもよい。該量子点は、例えば、コア・シェル構造を有することができる。該量子点は、例えば、II−VI族系半導体、III−V族系半導体、IV−VI族系半導体、IV族系半導体及びグラフェン量子点のうち少なくとも一つを含んでもよい。具体的な例として、該量子点は、Cd、Se、Zn、S及びInPのうち少なくとも一つを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。緑色変換層260Gは、活性層223から放出される紫外線(UV)を緑色光Gに変化させて放出することができる。そのような緑色変換層260Gは、紫外線(UV)によって励起され、緑色光Gを放出する所定サイズの量子点を含んでもよい。青色変換層260Bは、活性層223から放出される紫外線(UV)を青色光Bに変化させて放出することができる。そのような青色変換層260Bは、紫外線(UV)によって励起され、青色光Bを放出する所定サイズの量子点を含んでもよい。一方、赤色変換層260R、緑色変換層260G及び青色変換層260Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス270が設けられてもよい。
発光層220には、第1半導体層221と電気的に連結される第1電極(図示せず)と、第2半導体層222と電気的に連結される複数の第2電極232と、が設けられている。第1半導体層221及び第2半導体層222がそれぞれn型半導体及びp型半導体を含む場合、第1電極(図示せず)及び第2電極232は、それぞれn型電極及びp型電極にもなる。
前述のように、第1電極は、複数のサブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極にもなる。具体的には、発光層220には、第1半導体層221を露出させる溝(図示せず)が所定深さに形成されており、該溝を介して露出された第1半導体層221と接触するように、第1電極(図示せず)が設けられる。そのような第1電極に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。
複数の第2電極232は、複数のサブピクセルSR,SG,SB(すなわち、複数の色変換層260R,260G,260B)と一対一対応するように、第2半導体層222にも設けられる。第2電極232は、透明な導電性物質を含んでもよい。また、第2半導体層222には、複数の第2電極232と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ(TFT)240が設けられている。
第2半導体層222には、第2電極232から第2半導体層222に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域225が所定深さにも形成される。このエッチング領域225は、第2電極232と接触する第2半導体層222の接触領域周囲を、一定深さ以下にエッチングすることによっても形成される。複数の第2電極232、及び複数の薄膜トランジスタ240を覆うようにも絶縁層が設けられる。
前述のような構造において、例えば、赤色サブピクセルSRに対応する薄膜トランジスタ240が駆動し、共通電極である第1電極と、赤色サブピクセルSRに対応する第2電極232との間に所定電圧が印加されれば、赤色変換層260Rの下部に位置する活性層223から紫外線(UV)が放出され、そのように放出される紫外線(UV)が赤色変換層260Rに入射されれば、赤色変換層260Rは、赤色光Rを外部に放出するようになる。また、例えば、緑色サブピクセルSGに対応する薄膜トランジスタ240が駆動し、共通電極である第1電極と、緑色サブピクセルSGに対応する第2電極232との間に所定電圧が印加されれば、緑色変換層260Gの下部に位置する活性層223から紫外線(UV)が放出され、そのように放出される紫外線(UV)が緑色変換層260Gに入射されれば、緑色変換層260Gは、緑色光Gを外部に放出するようになる。
そして、例えば、青色サブピクセルSBに対応する薄膜トランジスタ240が駆動し、共通電極である第1電極と、青色サブピクセルSBに対応する第2電極232との間に所定電圧が印加されれば、青色変換層260Bの下部に位置する活性層223から紫外線(UV)が放出され、そのように放出される紫外線(UV)が青色変換層260Bに入射されれば、青色変換層260Bは、青色光Bを外部に放出するようになる。図3には、赤色変換層260R、緑色変換層260G及び青色変換層260Bから、それぞれ赤色光R、緑色光G及び青色光Bが外部に放出される場合が例示的に図示されている。
本実施形態によるディスプレイ装置200においても、前述の実施形態のように、1層の発光層220に対応し、複数のサブピクセルSR,SG,SBが設けられることにより、発光領域である活性層223が、サブピクセルSR,SG,SB別に分離されず、光効率が向上する。
図4は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図5は、図4のE部分を拡大して図示したものである。以下においては、前述の実施形態と異なる点を中心に説明する。
図4及び図5を参照すれば、ディスプレイ装置300は、複数のピクセルを含み、このピクセルそれぞれは、赤色サブピクセルSR、緑色サブピクセルSG及び青色サブピクセルSBを含んでもよい。基板310の上部には、発光層320が設けられており、発光層320の上部には、複数の色変換層360R,360G,360Bが設けられている。
基板310としては、成長用基板、例えば、シリコン基板またはサファイア基板が使用される。この基板310の上面には、青色光Bを放出する発光層320が設けられている。この発光層320は、基板310の上面に、第1半導体層321、活性層323及び第2半導体層322を順次に成長させることによっても形成される。
基板310の上面に設けられる第1半導体層321は、例えば、n型半導体を含んでもよい。そのような第1半導体層321は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。第1半導体層321の上面に設けられる活性層323は、電子と正孔とが結合しながら、青色光Bを発生させることができる。そのような活性層323は、例えば、多重量子井戸(MQW)構造を有することができる。活性層323は、二次元薄膜形態または三次元形態にも形成される。第2半導体層322は、活性層323の上面にも設けられる。第2半導体層322は、例えば、p型半導体を含んでもよい。そのような第2半導体層322は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。
発光層320の上部には、発光層320の活性層323から放出される青色光Bにより、所定色相の光を放出する複数の色変換層360R,360G,360Bが設けられている。ここで、複数の色変換層360R,360G,360Bは、基板310で成長された1層の発光層320に対応しても設けられる。具体的には、複数の色変換層360R,360G,360Bは、赤色変換層360R、緑色変換層360G及び青色透過層360Bを含んでもよい。ここで、赤色変換層360R、緑色変換層360G及び青色透過層360Bは、赤色サブピクセルSR、緑色サブピクセルSG及び青色サブピクセルSBに対応する。
赤色変換層360Rは、活性層323から放出される青色光Bを赤色光Rに変化させて放出することができる。そのような赤色変換層360Rは、所定サイズの量子点または蛍光体を含んでもよい。緑色変換層360Gは、活性層323から放出される青色光Bを緑色光Gに変化させて放出することができる。そのような緑色変換層360Gは、所定サイズの量子点または蛍光体を含んでもよい。青色透過層360Bは、活性層323から放出される青色光Bを透過させ、外部に放出することができる。一方、赤色変換層360R、緑色変換層360G及び青色透過層360Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス370が設けられてもよい。
発光層320には、第1半導体層321と電気的に連結される第1電極331と、第2半導体層322と電気的に連結される複数の第2電極332と、が設けられている。第1半導体層321及び第2半導体層322がそれぞれn型半導体及びp型半導体を含む場合、第1電極331及び第2電極332は、それぞれn型電極及びp型電極にもなる。
第1電極331は、サブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極にもなる。具体的には、発光層320には、第2半導体層322、活性層323及び第1半導体層321を順次にエッチングし、第1半導体層321を露出させる溝320aが所定深さに形成されている。第1電極331は、溝320aを介して露出された第1半導体層321と接触するようにも設けられる。一方、溝320aの内壁には、第1電極331を、第1半導体層321及び活性層323と絶縁させるための絶縁物質が設けられる。
図4には、第1電極331が6個のサブピクセルSR,SG,SBに対して共通して対応するように設けられる場合が例示的に図示されている。しかし、それは、単に、例示的なものであり、1つの第1電極331に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。
複数の第2電極332は、第2半導体層322にも設けられる。複数の第2電極332は、複数のサブピクセルSR,SG,SB、すなわち、複数の色変換層360R,360G,360Bと一対一対応するようにも設けられる。そのような第2電極332は、赤色変換層360R、緑色変換層360G及び青色透過層360Bの下部にもそれぞれ設けられる。第2電極332は、透明な導電性物質を含んでもよい。例えば、第2電極332は、ITO、ZnO、IZO、Ag、Au、グラフェンまたはナノワイヤなどを含んでもよい。第2半導体層322には、複数の第2電極332と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ340が設けられている。そのような薄膜トランジスタ340は、ブラックマトリックス370の下部にも設けられる。
第2半導体層322には、第2電極332から第2半導体層322に注入される電流を制限する電流注入制限層337が設けられている。特定の色変換層360R,360G,360Bの下部に位置した活性層323から発せられた青色光Bは、側面にも移動することができ、その場合、周辺の色変換層360R,360G,360Bから所望しない色相の光が外部に放出されることにより、色品質が落ちてしまう。
それを防止するために、本実施形態においては、第2半導体層322に電流注入制限層337が設けられている。電流注入制限層337は、第2電極332と接触する第2半導体層322の接触領域を低減させる役割を行うことができる。その場合、電流注入制限層337により、第2電極332と接触する第2半導体層322の接触領域は、各色変換層360R,360G,360Bより小さい面積を有し、色変換層360R,360G,360Bの中心部に対応するようにも設けられる。そのような電流注入制限層337により、第2電極332から第2半導体層322に注入される電流が制限され、それにより、特定色変換層360R,360G,360Bの下部に位置した活性層323から発せられる青色光Bの発光領域が減少する。それにより、特定色変換層360R,360G,360Bの下部に位置した活性層323から発せられた青色光Bが、周辺の他の色変換層360R,360G,360Bの方に進み、所望しない色相の光を発光させて色品質を落とすことを最小化させることができる。
電流注入制限層337は、所定厚の絶縁膜を含んでもよい。ここで、該絶縁膜は、例えば、SiO、SiN、AlまたはTiOなどを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。
第2半導体層322には、第2電極332から第2半導体層322に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域325が、所定深さにも形成される。このエッチング領域325は、電流注入制限層337のオープンされた部分を介し、第2電極332と接触する第2半導体層322の接触領域周囲を一定深さ以下にエッチングすることによっても形成される。そのようなエッチング領域325には、絶縁物質が設けられてもよい。複数の第2電極332、複数の薄膜トランジスタ340及び電流注入制限層337を覆うように、絶縁層350が設けられもする。
基板310の下面には、光吸収部材380がさらに設けられてもよい。光吸収部材380は、活性層323から発せられ、基板310を透過する青色光Bを吸収することにより、基板310の下面で青色光Bが反射され、基板310の上部側に進むことを防止することができる。光吸収部材380は、基板310と類似した屈折率を有する物質を含んでもよい。例えば、光吸収部材380は、ポリマー系の物質を含んでもよい。
図5には、赤色変換層360Rから赤色光Rが放出される場合が例示的に図示されている。図5を参照すれば、赤色サブピクセルSRに対応する薄膜トランジスタ340が駆動し、共通電極である第1電極331と、赤色サブピクセルSRに対応する第2電極332との間に所定電圧が印加されれば、赤色変換層360Rの下部に位置する活性層323から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bが赤色変換層360Rに入射されれば、赤色変換層360Rは、赤色光Rを外部に放出するようになる。その場合、電流注入制限層337により、第2電極332と接触する第2半導体層322の接触領域が減ることにより、赤色変換層360Rの下部に位置した活性層323から発せられる青色光Bの発光領域は、減少する。それにより、赤色変換層360Rの下部に位置した活性層323から発せられる青色光Bが、緑色変換層Gや青色変換層Bに進み、所望しない色相の光が放出されることを防止することができる。また、活性層323から発せられ、基板310を透過する青色光Bは、基板310の下面に設けられる光吸収部材380によって吸収されることにより、基板310の下面で青色光Bが反射され、基板310の上部側に進むことを防止することができる。そして、第2電極332と接触する第2半導体層322の接触領域周囲が一定深さ以下にエッチングされることにより、第2電極332から第2半導体層322に注入される電流が横に広がることも防止することができる。
図6は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図6に図示されたディスプレイ装置300’は、第2半導体層322にエッチング領域325(図5)が形成されていないという点を除けば、図5に図示されたディスプレイ装置300と同一である。それにより、図6に図示されたディスプレイ装置300’に係わる詳細な説明は、省略する。
図7は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図7に図示されたディスプレイ装置400は、選択的透明絶縁層410及び選択的遮断層420を具備するという点以外には、図5に図示されたディスプレイ装置300と同一である。以下では、図5に図示されたディスプレイ装置300と異なる点を中心に説明する。
図7を参照すれば、複数の第2電極332と、複数の色変換層360R,360G,360Bとの間には、選択的透明絶縁層410が設けられてもよい。選択的透明絶縁層410は、発光層320の活性層323から発せられた青色光Bは、透過させ、複数の色変換層360R,360G,360Bで発せられる光は、反射させる役割を行うことができる。そのような選択的透明絶縁層410は、屈折率が互いに異なる複数層構造を含んでもよい。
複数の色変換層360R、360G上部には、特定色相の光を遮断する選択的遮断層420がさらに設けられてもよい。具体的には、選択的遮断層420は、赤色変換層360R及び緑色変換層360Gの上部に設けられ、活性層323から発せられた青色光Bが外部に放出されることを遮断する青色遮断フィルタを含んでもよい。そのような選択的遮断層420は、例えば、樹脂(resin)または多層絶縁膜を含んでもよい。
図7には、赤色変換層360R及び緑色変換層360Gから赤色光R及び緑色光Gが放出される場合が例示的に図示されている。図7を参照すれば、赤色変換層360R及び緑色変換層360Gの下部に位置する活性層323から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bは、選択的透明絶縁層410を透過し、赤色変換層360R及び緑色変換層360Gに入射されることにより、赤色変換層360R及び緑色変換層360Gにおいて、それぞれ赤色光R及び緑色光Gが発せられる。そして、そのような赤色光R及び緑色光Gは、選択的遮断層420を介して外部に放出される。
図8は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図8に図示されたディスプレイ装置500は、光吸収層510をさらに具備するという点以外には、図5に図示されたディスプレイ装置300と同一である。以下では、前述の図5に図示されたディスプレイ装置300と異なる点を中心に説明する。
図8を参照すれば、基板310と第1半導体層321との間には、光吸収層510が設けられる。この光吸収層510は、活性層323から発せられた青色光Bを吸収する役割を行うことができる。光吸収層510は、例えば、CNT(carbon nanotubes)、グラフェン、InGaN/GaN超格子(supper lattice)、AlGaN/GaN超格子、AlGaN、InGaN、TiN、WNまたはBNなどを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。
図8には、赤色変換層360Rから赤色光Rが放出される場合が例示的に図示されている。図8を参照すれば、赤色変換層360Rの下部に位置する活性層323から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bは、赤色変換層360Rに入射され、赤色光Rを発生させる。そして、活性層323から発せられ、基板310側に進む青色光Bは、基板310と第1半導体層321との間に設けられた光吸収層510によっても吸収される。一方、前述のように、第2電極332と色変換層360R,360G,360Bとの間には、選択的透明絶縁層がさらに設けられ、色変換層360R,360G,360Bの上部には、選択的遮断層がさらに設けられもする。図8には、光吸収層510が、基板310と第1半導体層321との間に設けられる場合が例示的に図示されているが、光吸収層510は、第1半導体層321の内部に設けられもする。
一方、図面に図示されていないが、基板310と第1半導体層321との間には、屈折率整合層(index matching layer)が設けられもする。屈折率整合層は、基板310と第1半導体層321との屈折率差により、基板310と第1半導体層321との間で反射する青色光Bの量を減少させる役割を行うことができる。屈折率整合層は、例えば、AlNを含んでもよい。その場合、屈折率整合層は、基板310上に、AlNを所定厚、例えば、おおよそ10〜150nmほどの厚さに蒸着することによっても形成される。しかし、それに限定されるものではない。
図9は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図9に図示されたディスプレイ装置600は、活性層623から紫外線(UV)が発せられるという点を除けば、図5に図示されたディスプレイ装置300と類似している。以下では、図5に図示されたディスプレイ装置300と異なる点を中心に説明する。
図9を参照すれば、基板610の上部には、発光層620が設けられており、発光層620の上部には、複数の色変換層660R,660G,660Bが設けられている。発光層620は、基板610の上面に、第1半導体層621、活性層623及び第2半導体層622を順次に成長させることによっても形成される。
第1半導体層621は、例えば、n型半導体を含んでもよい。具体的には、第1半導体層621は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。活性層623は、電子と正孔とが結合しながら紫外線(UV)を発生させることができる。そのような活性層623は、例えば、多重量子井戸(MQW)構造を有することができる。第2半導体層622は、例えば、p型半導体を含んでもよい。具体的には、第2半導体層622は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。
発光層620の上部には、活性層623から放出される紫外線(UV)により、所定色相の光を放出する複数の色変換層660R,660G,660B、すなわち、赤色変換層660R、緑色変換層660G及び青色変換層660Bが設けられている。赤色変換層660Rは、活性層623から放出される紫外線(UV)を赤色光Rに変化させて放出することができる。緑色変換層660Gは、活性層623から放出される紫外線(UV)を緑色光Gに変化させて放出することができる。青色変換層660Bは、活性層623から放出される紫外線(UV)を青色光Bに変化させて放出することができる。一方、赤色変換層660R、緑色変換層660G及び青色変換層660Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス670が設けられてもよい。
発光層620には、第1半導体層621と電気的に連結される第1電極(図示せず)と、第2半導体層622と電気的に連結される複数の第2電極632が設けられている。前述のように、第1電極は、複数のサブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極にもなる。そのような第1電極に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。複数の第2電極632は、複数のサブピクセルSR,SG,SB(すなわち、複数の色変換層660R,660G,660B)と一対一対応するように、第2半導体層622に設けられてもよい。第2半導体層622には、複数の第2電極632と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ640が設けられている。
第2半導体層622には、第2電極632から第2半導体層622に注入される電流を制限する電流注入制限層637が設けられている。電流注入制限層637は、第2電極632と接触する第2半導体層622の接触領域を減らすことにより、所望しない色相の光を発光させない。そのような電流注入制限層637は、所定厚の絶縁膜を含んでもよい。絶縁膜は、例えば、SiO、SiN、AlまたはTiO位を含んでもよい。複数の第2電極632、複数の薄膜トランジスタ640、及び電流注入制限層637を覆うように、絶縁層650が設けられてもよい。
基板610の下面には、光吸収部材680がさらに設けられてもよい。光吸収部材680は、活性層623から発せられ、基板610を透過する紫外線(UV)を吸収することにより、基板610の下面で紫外線(UV)が反射され、基板610の上部側に進むことを防止することができる。
第2半導体層622には、第2電極632から第2半導体層622に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域625が、所定深さに形成される。このエッチング領域625は、第2電極632と接触する第2半導体層622の接触領域周囲を一定深さ以下にエッチングすることによっても形成される。図9には、活性層623から紫外線(UV)が発せられ、赤色変換層660R、緑色変換層660G及び青色変換層660Bからそれぞれ赤色光R、緑色光G及び青色光Bが外部に放出される場合が例示的に図示されている。
一方、図9に図示されたディスプレイ装置600においては、第2電極632と色変換層660R,660G,660Bとの間に、選択的透明絶縁層がさらに設けられ、色変換層660R,660G,660Bの上部に、特定色相の光を遮断させる選択的遮断層がさらに設けられもする。該選択的透明絶縁層及び該選択的遮断層については、説明してある。該選択的遮断層は、例えば、赤色、緑色及び青色のカラーフィルタを含んでもよい。また、基板610と第1半導体層621との間、または第1半導体層621の内部には、光吸収層がさらに設けられ、基板610と第1半導体層621との間には、屈折率整合層がさらに設けられもする。光吸収層及び屈折率整合層については、説明してある。
図10は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図10に図示されたディスプレイ装置700は、電流注入制限層738が多層絶縁膜によって構成されているという点を除けば、図5に図示されたディスプレイ装置300と同一である。以下では、図5に図示されたディスプレイ装置300と異なる点を中心に説明する。
図10を参照すれば、基板710の上部には、発光層720が設けられており、この発光層720の上部には、複数の色変換層760R,760G,760Bが設けられている。発光層720は、基板710の上面に、第1半導体層721、活性層723及び第2半導体層722を順次に成長させることによっても形成される。
第1半導体層721は、例えば、n型半導体を含んでもよい。具体的には、第1半導体層721は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。活性層723は、電子と正孔とが結合しながら青色光Bを発生させることができる。そのような活性層723は、例えば、多重量子井戸(MQW)構造を有することができる。第2半導体層722は、例えば、p型半導体を含んでもよい。具体的には、第2半導体層722は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。
発光層720の上部には、活性層723から放出される青色光Bにより、所定色相の光を放出する複数の色変換層760R,760G,760B、すなわち、赤色変換層760R、緑色変換層760G及び青色透過層760Bが設けられている。赤色変換層760Rは、活性層723から放出される青色光Bを赤色光Rに変化させて放出することができる。緑色変換層760Gは、活性層723から放出される青色光Bを緑色光Gに変化させて放出することができる。青色透過層760Bは、活性層723から放出される青色光Bを透過させて放出することができる。一方、赤色変換層760R、緑色変換層760G及び青色透過層760Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス770が設けられてもよい。
発光層720には、第1半導体層721と電気的に連結される第1電極(図示せず)と、第2半導体層722と電気的に連結される複数の第2電極732と、が設けられている。第1電極は、複数のサブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極にもなる。そのような第1電極に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。複数の第2電極732は、複数のサブピクセルSR,SG,SB(すなわち、複数の色変換層760R,760G,760B)と一対一対応するように第2半導体層722に設けられてもよい。第2半導体層722には、複数の第2電極732と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ740が設けられている。
第2半導体層722には、第2電極732から第2半導体層722に注入される電流を制限する電流注入制限層738が設けられている。電流注入制限層738は、第2電極732と接触する第2半導体層722の接触領域を減らすことにより、所望しない色相の光を発光させない。
電流注入制限層738は、互いに異なる屈折率を有する複数層構造を有する多層絶縁膜を含んでもよい。ここで、SiO、SiN、AlまたはTiOなどを含んでもよい。多層絶縁膜によって構成された電流注入制限層738は、図10に図示されているように、活性層723から発せられ、側面に移動する青色光Bを反射させる役割を行うことができる。
図11は、電流注入制限層の物質による反射度を図示したものである。図11において、C1は、活性層から発せられた青色光の波長を図示したものである。そして、C2は、活性層から発せられた青色光に係わる200nm厚のSiO単一層の反射度を図示したものであり、C3は、活性層から発せられた青色光に対する多層絶縁膜の反射度を図示したものである。図11を参照すれば、該多層絶縁膜でもって、電流注入制限層738を形成すれば、電流注入制限層738は、活性層723から発せられた青色光Bに対して高い反射度を有していることを分かる。
複数の第2電極732、複数の薄膜トランジスタ740及び電流注入制限層738を覆うように、絶縁層750が設けられる。基板710の下面には、光吸収部材780がさらに設けられてもよい。光吸収部材780は、活性層723から発せられ、基板710を透過する青色光Bを吸収することにより、基板710の下面で青色光Bが反射され、基板710の上部側に進むことを防止することができる。第2半導体層722には、第2電極732から第2半導体層722に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域725が所定深さに形成される。このエッチング領域725は、第2電極732と接触する第2半導体層722の接触領域を取り囲むようにも形成される。
図10には、赤色変換層760Rの下部に設けられた活性層723から青色光Bが発せられ、赤色変換層760Rから赤色光Rが放出される場合が例示的に図示されている。図10を参照すれば、赤色サブピクセルSRに対応する薄膜トランジスタ740が駆動し、共通電極である第1電極と、赤色サブピクセルSRに対応する第2電極732よの間に所定電圧が印加されれば、赤色変換層760Rの下部に位置する活性層723から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bが赤色変換層760Rに入射されれば、赤色変換層760Rは、赤色光Rを外部に放出するようになる。
この過程で、電流注入制限層738により、第2電極732と接触する第2半導体層722の接触領域が減ることにより、赤色変換層760Rの下部に位置した活性層723から発せられる青色光Bの発光領域は、減少する。それにより、赤色変換層760Rの下部に位置した活性層723から発せられる青色光Bが緑色変換層Gや青色変換層Bに進み、所望しない色相の光が放出されることを防止することができる。また、多層絶縁膜によって構成された電流注入制限層738は、赤色変換層760Rの下部に設けられた活性層723から発せられた青色光Bが緑色変換層760Gまたは青色変換層760B側に進むことを効果的に遮断することができる。
活性層723から発せられ、基板710を透過する青色光Bは、基板710の下面に設けられる光吸収部材780によって吸収されることにより、基板710の下面で青色光Bが反射され、基板710の上部側に進むことを防止することができる。そして、第2電極732と接触する第2半導体層722の接触領域周囲には、エッチング領域725が所定深さに形成されることにより、第2電極732から第2半導体層722に注入される電流が横に広がることも防止することができる。
図12は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図12に図示されたディスプレイ装置800は、選択的透明絶縁層810及び選択的遮断層820を具備するという点以外には、図10に図示されたディスプレイ装置700と同一である。以下では、図10に図示されたディスプレイ装置700と異なる点を中心に説明する。
図12を参照すれば、複数の第2電極732と、複数の色変換層760R,760G,760Bとの間には、選択的透明絶縁層810が設けられる。選択的透明絶縁層810は、発光層720の活性層723から発せられた青色光Bは、透過させ、複数の色変換層760R,760G,760Bで発せられる光は、反射させる役割を行うことができる。そのような選択的透明絶縁層810は、屈折率が互いに異なる複数層構造を含んでもよい。
複数の色変換層760R,760G上部には、特定色相の光を遮断する選択的遮断層820がさらに設けられてもよい。具体的には、選択的遮断層820は、赤色変換層760R及び緑色変換層760Gの上部に設けられ、活性層723から発せられた青色光Bが外部に放出されることを遮断する青色遮断フィルタを含んでもよい。そのような選択的遮断層820は、例えば、樹脂または多層絶縁膜を含んでもよい。
図13は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図13に図示されたディスプレイ装置900は、光吸収層910をさらに具備するという点以外には、図10に図示されたディスプレイ装置700と同一である。以下では、前述の図10に図示されたディスプレイ装置700と異なる点を中心に説明する。
図13を参照すれば、基板710と第1半導体層721との間には、光吸収層910が設けられる。この光吸収層910は、活性層723から発せられた青色光Bを吸収する役割を行うことができる。一方、図面には図示されていないが、第2電極732と色変換層760R,760G,760Bとの間には、選択的透明絶縁層がさらに設けられ、色変換層760R,760G,760Bの上部には、選択的遮断層がさらに設けられもする。図12には、光吸収層910が、基板710と第1半導体層721との間に設けられる場合が例示的に図示されているが、光吸収層910は、第1半導体層721の内部に設けられもする。基板710と第1半導体層721との間には、屈折率整合層が設けられもする。屈折率整合層は、基板710と第1半導体層721との屈折率差により、基板710と第1半導体層721との間で反射する青色光Bの量を減少させる役割を行うことができる。
図10、図12及び図13に図示されたディスプレイ装置700,800,900においては、活性層723から青色光Bが放出される場合が例示的に説明されたが、活性層723から紫外線(UV)が放出される場合も、いかにでも変形可能である。
図14は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図14に図示されたディスプレイ装置1000は、電流注入制限層1036が、絶縁膜1037及び金属反射層1038で構成されているという点を除けば、図5に図示されたディスプレイ装置300と同一である。以下では、図5に図示されたディスプレイ装置300と異なる点を中心に説明する。
図14を参照すれば、基板1010の上部には、発光層1020が設けられており、この発光層1020の上部には、複数の色変換層1060R,1060G,1060Bが設けられている。発光層1020は、基板1010の上面に、第1半導体層1021、活性層1023及び第2半導体層1022を順次に成長させることによっても形成される。
第1半導体層1021は、例えば、n型半導体を含んでもよい。具体的には、第1半導体層1021は、III−V族系のn型半導体、例えば、n−GaNを含んでもよい。活性層1023は、電子と正孔とが結合しながら青色光Bを発生させることができる。そのような活性層1023は、例えば、多重量子井戸(MQW)構造を有することができる。第2半導体層1022は、例えば、p型半導体を含んでもよい。具体的には、第2半導体層1022は、III−V族系のp型半導体、例えば、p−GaNを含んでもよい。
発光層1020の上部には、活性層1023から放出される青色光Bにより、所定色相の光を放出する複数の色変換層1060R,1060G,1060B、すなわち、赤色変換層1060R、緑色変換層1060G及び青色透過層1060Bが設けられている。赤色変換層1060Rは、活性層1023から放出される青色光Bを赤色光Rに変化させて放出することができる。緑色変換層1060Gは、活性層1023から放出される青色光Bを緑色光Gに変化させて放出することができる。青色透過層1060Bは、活性層1023から放出される青色光Bを透過させて放出することができる。一方、赤色変換層1060R、緑色変換層1060G及び青色透過層1060Bの間には、光吸収のためのブラックマトリックス1070が設けられてもよい。
発光層1020には、第1半導体層1021と電気的に連結される第1電極(図示せず)と、第2半導体層1022と電気的に連結される複数の第2電極1032と、が設けられている。第1電極は、複数のサブピクセルSR,SG,SBに対する共通電極にもなる。そのような第1電極に共通して対応するサブピクセルSR,SG,SBの個数は、多様にも変形される。複数の第2電極1032は、複数のサブピクセルSR,SG,SB(すなわち、複数の色変換層1060R,1060G,1060B)と一対一対応するように、第2半導体層1022に設けられてもよい。第2半導体層1022には、複数の第2電極1032と電気的に連結された複数の薄膜トランジスタ1040が設けられている。
第2半導体層1022には、第2電極1032から第2半導体層1022に注入される電流を制限する電流注入制限層1036が設けられている。電流注入制限層1036は、第2電極1032と接触する第2半導体層1022の接触領域を減らすことにより、所望しない色相の光を発光させない。
電流注入制限層1036は、絶縁膜1037、及びこの絶縁膜1037の内部に設けられる金属反射層1038を含んでもよい。絶縁膜1037は、例えば、SiO、SiN、AlまたはTiOなどを含んでもよいが、それらに限定されるものではない。金属反射層1038は、活性層1023から発せられる青色光Bは、反射させ、色変換層1060R,1060G,1060Bで発せられる光は、反射させる役割を行うことができる。そのような金属反射層1038は、例えば、Ag、Al、CrまたはNiなどを含んでもよい。
金属反射層1038は、互いに異なる物質からなる複数層構造を含んでもよい。具体的には、金属反射層1038は、第1金属層と、第1金属層の上部に設けられるものであり、第1金属層より高い反射率を有する第2金属層と、を含んでもよい。例えば、第1金属層は、Cr、Ni、Tiのように、反射率が相対的に低い金属物質を含んでもよく、第2金属層は、Ag、Alのように、反射率が相対的に高い金属物質を含んでもよい。このように、金属反射層1038を、反射率が低い第1金属層と、第1金属層の上部に、反射率が高く第2金属層とから構成すれば、第1金属層により、活性層から発せられる光の反射を減らすことにより、光損失(loss)を増大させ、第2金属層により、色変換層1060R,1060G,1060Bで発せられる光の反射を増大させ、光効率を向上させることができる。
複数の第2電極1032、複数の薄膜トランジスタ1040、及び電流注入制限層1036を覆うように絶縁層1050が設けられる。基板1010の下面には、光吸収部材1080がさらに設けられてもよい。光吸収部材1080は、活性層1023から発せられ、基板1010を透過する青色光Bを吸収することにより、基板1010の下面で青色光Bが反射され、基板1010の上部側に進むことを防止することができる。第2半導体層1022には、第2電極1032から第2半導体層1022に注入される電流が横に広がることを防止するためのエッチング領域1025が所定深さにも形成される。このエッチング領域1025は、第2電極1032と接触する第2半導体層1022の接触領域周囲を一定深さ以下にエッチングすることによっても形成される。
図14には、赤色変換層1060Rの下部に設けられた活性層1023から青色光Bが発せられ、赤色変換層1060Rから赤色光Rが放出される場合が例示的に図示されている。図14を参照すれば、赤色サブピクセルSRに対応する薄膜トランジスタ1040が駆動し、共通電極である第1電極と、赤色サブピクセルSRに対応する第2電極1032との間に所定電圧が印加されれば、赤色変換層1060Rの下部に位置する活性層1023から青色光Bが放出され、そのように放出された青色光Bが赤色変換層1060Rに入射されれば、赤色変換層1060Rは、赤色光Rを外部に放出するようになる。
この過程において、電流注入制限層1036により、第2電極1032と接触する第2半導体層1022の接触領域が減ることにより、赤色変換層1060Rの下部に位置した活性層1023から発せられる青色光Bの発光領域は、減少する。それにより、赤色変換層1060Rの下部に位置した活性層1023から発せられる青色光Bが緑色変換層Gや青色変換層Bに進み、所望しない色相の光が放出されることを防止することができる。また、電流注入制限層1036を、絶縁膜1037、及びこの絶縁膜1037内部に設けられる金属反射層1038によって構成することにより、活性層1023から発せられた青色光Bの進行を効果的に遮断することができ、色変換層1060R,1060G,1060Bから発せられた光を上部に反射させ、光効率を向上させることができる。
活性層1023から発せられ、基板1010を透過する青色光Bは、基板1010の下面に設けられる光吸収部材1080によっても吸収される。そして、第2電極1032と接触する第2半導体層1022の接触領域周囲には、エッチング領域1025が所定深さに形成されることにより、第2電極1032から第2半導体層1022に注入される電流が横に広がることも防止することができる。以上においては、電流注入制限層1036において、金属反射層1038が絶縁膜1037の内部に設けられる場合が例示的に説明された。しかし、それ以外にも、金属反射層1038が、第2半導体層1022の上面に設けられ、絶縁膜1037が金属反射層1038を覆うように設けられもする。
図15は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図15に図示されたディスプレイ装置1100は、選択的透明絶縁層1110及び選択的遮断層1120を具備するという点以外には、図14に図示されたディスプレイ装置1000と同一である。以下では、図14に図示されたディスプレイ装置1000と異なる点を中心に説明する。
図15を参照すれば、複数の第2電極1032と、複数の色変換層1060R,1060G,1060Bとの間には、選択的透明絶縁層1110が設けられる。選択的透明絶縁層1110は、活性層1023から発せられた青色光Bは、透過させ、複数の色変換層1060R,1060G,1060Bで発せられる光は、反射させる役割を行うことができる。そのような選択的透明絶縁層1110は、屈折率が互いに異なる複数層構造を含んでもよい。
複数の色変換層1060R,1060G上部には、特定色相の光を遮断する選択的遮断層1120がさらに設けられてもよい。具体的には、選択的遮断層1120は、赤色変換層1060R及び緑色変換層1060Gの上部に設けられ、活性層1023から発せられた青色光Bが外部に放出されることを遮断する青色遮断フィルタを含んでもよい。そのような選択的遮断層1120は、例えば、樹脂または多層絶縁膜を含んでもよい。
図16は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した断面図である。図16に図示されたディスプレイ装置1200は、光吸収層1210をさらに具備するという点以外には、図14に図示されたディスプレイ装置1000と同一である。以下では、前述の図14に図示されたディスプレイ装置1000と異なる点を中心に説明する。
図16を参照すれば、基板1010と第1半導体層1021との間には、光吸収層1210が設けられる。この光吸収層1210は、活性層1023から発せられた青色光Bを吸収する役割を行うことができる。一方、図面には図示されていないが、第2電極1032と色変換層1060R,1060G,1060Bとの間には、選択的透明絶縁層がさらに設けられ、色変換層1060R,1060G,1060Bの上部には、選択的遮断層がさらに設けられもする。図15には、光吸収層1210が、基板1010と第1半導体層1021との間に設けられる場合が例示的に図示されているが、光吸収層1210は、第1半導体層1021の内部に設けられもする。基板1010と第1半導体層1021との間には、屈折率整合層が設けられもする。該屈折率整合層は、基板1010と第1半導体層1021との屈折率差により、基板1010と第1半導体層1021との間で反射する青色光Bの量を減少させる役割を行うことができる。
図17は、さらに他の例示的な実施形態によるディスプレイ装置を図示した斜視図である。図17は、前述の実施形態の構造が適用されるディスプレイ装置の外部を図示した斜視図である。
図17を参照すれば、ディスプレイ装置1300は、基板1310に、アレイ(array)形態に配列された青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSGを含んでもよい。ここで、青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSGそれぞれについては、前述の実施形態で詳細に説明された。そして、基板1310には,青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSGに対応する少なくとも1つの共通電極1331が設けられている。この共通電極1331は、前述の実施形態で説明された第1電極131(図1),331(図4)であり、それについては、説明してある。ここで、共通電極1331は、青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSGに比べ、相対的にかなり小さい領域を占めるようにも設けられる。共通電極1331は、例えば、n型電極にもなる。一方、図17においては、1つの共通電極1331が1つのサブピクセルSB,SR,SGに対応するように設けられる場合が図示されているが、1つの共通電極1331が、複数個のサブピクセルSB,SR,SGに対応するように設けられることも、いかようにも可能である。例えば、図18に図示されたディスプレイ装置1300’のように、1つの共通電極1331が3個のサブピクセル(例えば、青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSG)に対応しても設けられる。それ以外にも、1つの共通電極に対応するサブピクセルの個数は、多様にも変形される。
図19は、図17に図示されたディスプレイ装置の回路構成を図示した平面図である。図19には、1つのピクセル、すなわち、青色サブピクセルSB、赤色サブピクセルSR及び緑色サブピクセルSGに係わる回路構成が図示されており、参照番号である1360B、1360G、1360Gは、色変換層であり、前述の実施形態で説明された青色変換層(または、青色透過層)、赤色変換層及び緑色変換層を意味する。
図19を参照すれば、基板1310(図17)上には、第1方向に延長されたスキャンラインSL(scan line)と、このスキャンラインSLと交差する第2方向に、データラインDL及び電源ラインVLとが設けられる。そして、サブピクセルSB,SR,SGそれぞれについては、2個のトランジスタTR1,TR2、及び1個のキャパシタCPが設けられる。具体的には、電源ラインVLと色変換層1360B,1360G,1360Gとの間には、第1トランジスタTR1が設けられ、スキャンラインSLとデータラインDLとの交差部にも、その周辺には、第2トランジスタTR2が設けられる。また、電源ラインVLと、第1トランジスタTR1及び第2トランジスタTR2の間には、キャパシタCPが設けられる。ここで、第1トランジスタTR1は、前述の実施形態で説明された薄膜トランジスタであり、駆動(driving)トランジスタにもなり、第2トランジスタTR2は、スイッチング(switching)トランジスタにもなる。
前述のような構造で、所望する特定サブピクセルSB,SR,SGが駆動されれば、このサブピクセルSB,SR,SG内の発光層から、青色光B(または、紫外線(UV))が放出され、そのように放出された青色光B(または、紫外線(UV))が特定サブピクセルSB,SR,SG内の色変換層1360B,1360G,1360Gに入射され、所定色相の光を放出することにより、画像を形成する。
以上の例示的な実施形態によれば、1層の活性層を複数の色変換層に対応するように形成することにより、活性層が露出される面積を最小化させることができるので、光効率を向上させることができる。また、電流注入制限層を利用し、電極と接触する半導体層の接触領域を減らし、活性層の発光領域を減少させることにより、所望しない光の発光を防止することができるので、色品質を向上させることができる。電流注入制限層は、多層絶縁膜によって構成するか、あるいは絶縁膜、及び該絶縁膜の内部に設けられる金属反射層から構成することにより、色品質をさらに向上させることができる。そして、電極と接触する半導体層の接触領域周囲を一定深さ以下にエッチングすることにより、電極を介して半導体層に注入される電流が側面に広がることを減らすことができる。また、成長により、基板に直接発光層を形成することができるので、既存のLEDチップを転写させる工程は、不要である。
本発明の高解像度ディスプレイ装置は、例えば、表示関連の技術分野に効果的に適用可能である。
100,200,300,400,500,600,700,800,900,1000,1100,1200,1300 ディスプレイ装置
110,210,310,610,710,1010 基板
120,220,320,620,720,1020 発光層
121,221,321,621,721,1021 第1半導体層
122,222,322,622,722,1022 第2半導体層
123,223,323,623,723,1023 活性層
125,225,325,625,725,1025 エッチング領域
131,331 第1電極
132,232,332,632,732,1032 第2電極
140,240,340,640,740,1040 薄膜トランジスタ
150,250,350,650,750,1050 絶縁層
160R,260R,360R,660R,760R,1060R 赤色変換層
160G,260G,360G,660G,760G,1060G 緑色変換層
160B,360B,760B,1060B 青色透過層
260B,660B 青色変換層
170,270,370,670,770,1070 ブラックマトリックス
337,637,738,1036 電流注入制限層
380,680,780,1080 光吸収部材
410,810,1110 選択的透明絶縁層
420,820,1120 選択的遮断層
510,910,1210 光吸収層

Claims (25)

  1. 基板と、
    前記基板上に順次に積層された第1半導体層、活性層及び第2半導体層を含む発光層と、
    前記発光層上に設けられ、前記発光層から発せられる光により、所定色相の光を放出する複数の色変換層と、を含み、
    前記発光層は、前記複数の色変換層に対応するように設けられるディスプレイ装置。
  2. 前記第1半導体層と電気的に連結されるように設けられる少なくとも1つの第1電極と、
    前記第2半導体層と電気的に連結されるように設けられる複数の第2電極と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のディスプレイ装置。
  3. 前記第2電極と接触する前記第2半導体層の接触領域周囲は、一定深さ以下にエッチングされることを特徴とする請求項2に記載のディスプレイ装置。
  4. 前記各第1電極は、前記複数の色変換層のうち少なくとも1層に対応するように設けられ、共通電極を構成し、前記複数の第2電極は、前記複数の色変換層に一対一対応するように設けられることを特徴とする請求項2または3に記載のディスプレイ装置。
  5. 前記複数の第2電極は、それぞれ薄膜トランジスタに連結されることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  6. 前記第2半導体層上に設けられ、前記複数の第2電極から、前記第2半導体層に注入される電流を制限する電流注入制限層をさらに含むことを特徴とする請求項2〜5のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  7. 前記電流注入制限層のオープンされた部分を介して、前記第2電極と接触する前記第2半導体層の接触領域周囲は、一定深さ以下にエッチングされることを特徴とする請求項6に記載のディスプレイ装置。
  8. 前記電流注入制限層は、絶縁膜を含むことを特徴とする請求項6または7に記載のディスプレイ装置。
  9. 前記電流注入制限層は、多層絶縁膜を含むことを特徴とする請求項6または7に記載のディスプレイ装置。
  10. 前記多層絶縁膜は、屈折率が互いに異なる複数層を含むことを特徴とする請求項9に記載のディスプレイ装置。
  11. 前記電流注入制限層は、絶縁膜、及び前記絶縁膜内部に設けられる金属反射層を含むことを特徴とする請求項6または7に記載のディスプレイ装置。
  12. 前記金属反射層は、第1金属層と、前記第1金属層上に設けられるものであり、前記第1金属層より高い反射率を有する第2金属層と、を含むことを特徴とする請求項11に記載のディスプレイ装置。
  13. 前記電流注入制限層は、前記第2半導体層上に設けられる金属反射層、及び前記金属反射層を覆うように設けられる絶縁膜を含むことを特徴とする請求項6に記載のディスプレイ装置。
  14. 前記複数の第2電極と、前記複数の色変換層との間に設けられるものであり、前記発光層から発せられる光は透過させ、前記複数の色変換層から発せられる光は、反射させる選択的透明絶縁層をさらに含むことを特徴とする請求項6〜13のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  15. 前記複数の色変換層上に設けられ、特定色相の光を遮断する選択的遮断層をさらに含むことを特徴とする請求項6〜14のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  16. 前記基板と前記第1半導体層との間、または前記第1半導体層の内部に設けられる光吸収層をさらに含むことを特徴とする請求項6〜15のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  17. 前記基板と前記第1半導体層との間に設けられるものであり、光反射低減のための屈折率整合層をさらに含むことを特徴とする請求項6〜15のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  18. 前記屈折率整合層は、AlNを含むことを特徴とする請求項17に記載のディスプレイ装置。
  19. 前記基板の下面に設けられる光吸収部材をさらに含むことを特徴とする請求項6〜15のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  20. 前記第1半導体層及び第2半導体層は、それぞれn−GaN及びp−GaNを含み、前記活性層は、多重量子井戸(MQW)構造を有することを特徴とする請求項1〜19のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  21. 前記発光層は、青色光を発生させることを特徴とする請求項1〜20のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  22. 前記複数の色変換層は、前記青色光によって励起され、赤色光を放出する赤色変換層、前記青色光によって励起され、緑色光を放出する緑色変換層、及び前記青色光を透過させる青色透過層を含むことを特徴とする請求項21に記載のディスプレイ装置。
  23. 前記発光層は、紫外線(UV)を発生させることを特徴とする請求項1〜20のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
  24. 前記複数の色変換層は、前記紫外線によって励起され、赤色光を放出する赤色変換層、前記紫外線によって励起され、緑色光を放出する緑色変換層、及び前記紫外線によって励起され、青色光を放出する青色変換層を含むことを特徴とする請求項23に記載のディスプレイ装置。
  25. 前記発光層は、前記基板上に、前記第1半導体層、前記活性層及び前記第2半導体層を順次に成長させて形成されることを特徴とする請求項1〜24のいずれか1つに記載のディスプレイ装置。
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