JP2019083083A - Shift register - Google Patents

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JP2019083083A JP2018236933A JP2018236933A JP2019083083A JP 2019083083 A JP2019083083 A JP 2019083083A JP 2018236933 A JP2018236933 A JP 2018236933A JP 2018236933 A JP2018236933 A JP 2018236933A JP 2019083083 A JP2019083083 A JP 2019083083A
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Abstract

To suppress stress on a transistor while suppressing occurrence of malfunction.SOLUTION: There is provided a pulse output circuit having a function of outputting a pulse signal and having a transistor controlling whether or not to set the pulse signal to a high level, in which a potential of one of a source and a drain of the transistor is set to be higher than a low level potential of a clock signal and set to be higher than a high level potential of the clock signal, during a period when the pulse signal outputted from the pulse output circuit is a low level signal, thereby suppressing stress on the transistor.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、パルス出力回路に関する。さらに、本発明は、表示装置に関する。さらに、本
発明は、電子機器に関する。
The present invention relates to a pulse output circuit. Furthermore, the present invention relates to a display device. Furthermore, the present invention relates to an electronic device.

近年、作製プロセスの簡略化などを目的として、全てのトランジスタが同一の導電型であ
る回路(単極性回路ともいう)の開発が進められている。
In recent years, for the purpose of simplification of a manufacturing process, development of a circuit (also referred to as a unipolar circuit) in which all transistors have the same conductivity type has been advanced.

上記単極性回路の例としては、シフトレジスタを構成するパルス出力回路が挙げられる。 An example of the unipolar circuit is a pulse output circuit that constitutes a shift register.

例えば、特許文献1では、クロック信号のパルスを、パルス信号のパルスの生成に用いた
パルス出力回路を複数段有するシフトレジスタが開示されている。さらに、特許文献1で
は、ブートストラップを利用することにより、クロック信号の振幅に対し、出力するパル
ス信号の振幅の低下を抑制するシフトレジスタが開示されている。
For example, Patent Document 1 discloses a shift register including a plurality of pulse output circuits in which pulses of a clock signal are used to generate pulses of the pulse signal. Furthermore, Patent Document 1 discloses a shift register that suppresses a reduction in the amplitude of a pulse signal to be output with respect to the amplitude of a clock signal by using a bootstrap.

特開2002−335153号公報JP 2002-335153 A

しかしながら、従来のパルス出力回路の構成では、クロック信号の振幅が大きいとトラン
ジスタが劣化し、該トランジスタの電気特性が変動してしまうといった問題があった。
However, in the configuration of the conventional pulse output circuit, if the amplitude of the clock signal is large, the transistor is degraded, and there is a problem that the electrical characteristics of the transistor are fluctuated.

例えば、特許文献1のシフトレジスタでは、パルス出力回路から出力するパルス信号がロ
ーレベルのときに、出力するパルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するトラン
ジスタ(例えば特許文献1の図1(B)のトランジスタ15)のゲートの電位が電位VS
Sに一定期間保持される。このとき、クロック信号に従って上記トランジスタのソース又
はドレインの電位が繰り返し変化するため、該トランジスタにストレスが与えられる。こ
れにより、上記トランジスタは劣化する。特に、特許文献1のシフトレジスタでは、上記
ストレスが与えられる時間が非常に長いため、該上記トランジスタが劣化しやすく、電気
特性の変動が進行してしまう。
For example, in the shift register of Patent Document 1, a transistor that controls whether or not to set the pulse signal to be output to a high level when the pulse signal to be output from the pulse output circuit is at a low level (for example, FIG. The potential of the gate of the transistor 15) of (B) is the potential VS
S is held for a fixed period. At this time, since the potential of the source or the drain of the transistor repeatedly changes in accordance with the clock signal, the transistor is stressed. This degrades the transistor. In particular, in the shift register of Patent Document 1, since the time during which the stress is applied is very long, the transistor is easily deteriorated, and the fluctuation of the electrical characteristics proceeds.

トランジスタに与えられる上記ストレスの影響を抑制するためには、例えばトランジスタ
のチャネル長を長くするなどの対策が挙げられる。しかしながら、出力するパルス信号を
ハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタのチャネル長を長くすると、例えば
寄生容量などにより、出力するパルス信号が遅延し、動作不良が起こる可能性が高くなる
などの別の問題が生じてしまう。
In order to suppress the influence of the above-mentioned stress given to the transistor, for example, measures such as lengthening the channel length of the transistor can be mentioned. However, if the channel length of the transistor that controls whether or not to set the pulse signal to be output to a high level is increased, the pulse signal to be output is delayed due to, for example, parasitic capacitance, and the possibility of malfunction may increase. Another problem arises.

上記問題に鑑み、本発明の一態様では、動作不良の発生を抑制しつつ、出力するパルス信
号をハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタに対するストレスを抑制するこ
とを課題の一つとする。
In view of the above problems, in one embodiment of the present invention, it is an object to suppress stress on a transistor that controls whether or not a pulse signal to be output is set to a high level while suppressing occurrence of operation failure. .

本発明の一態様では、パルス出力回路が出力するパルス信号がローレベルである期間に、
該パルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタのソース及びドレイ
ンの一方の電位を、クロック信号のハイレベルの電位よりも低くする。これにより、上記
トランジスタに対するストレスの抑制を図る。
In one aspect of the present invention, during a period in which the pulse signal output from the pulse output circuit is at a low level,
The potential of one of the source and the drain of the transistor for controlling whether or not the pulse signal is set to the high level is made lower than the potential of the high level of the clock signal. Thus, stress on the transistor is suppressed.

本発明の一態様は、セット信号、リセット信号、及びクロック信号に従いパルス信号を生
成する機能を有し、ソース及びドレインの一方の電位がクロック信号に従い変化する第1
のトランジスタと、ソース及びドレインの一方が第1のトランジスタのソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方の電位がパルス信号の電位とな
り、ゲートの電位がセット信号及びリセット信号に従い変化する第2のトランジスタと、
ソース及びドレインの一方に第1の電位が与えられ、ソース及びドレインの他方が第2の
トランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ゲートの電位に応じてオ
ン状態又はオフ状態になることによりパルス信号をローレベルに設定するか否かを制御す
る第3のトランジスタと、ソース及びドレインの一方に第2の電位が与えられ、ソース及
びドレインの他方が第1のトランジスタのゲートに電気的に接続され、ゲートの電位がセ
ット信号及びリセット信号に従い変化する第4のトランジスタと、ソース及びドレインの
一方の電位がセット信号及びリセット信号に応じて変化し、ソース及びドレインの他方が
第1のトランジスタのゲートに電気的に接続され、ゲートの電位がセット信号に従い変化
する第5のトランジスタと、を有し、第1乃至第5のトランジスタは、同一の導電型であ
り、第2の電位は、クロック信号のローレベルの電位よりも高く、且つクロック信号のハ
イレベルの電位よりも低く、第2の電位とクロック信号のローレベルの電位との電位差は
、第1のトランジスタのしきい値電圧よりも大きいパルス出力回路である。
One embodiment of the present invention has a function of generating a pulse signal in accordance with a set signal, a reset signal, and a clock signal, and one of the source and the drain changes in accordance with the clock signal.
And one of the source and the drain is electrically connected to the other of the source and the drain of the first transistor, the other potential of the source and the drain is the potential of the pulse signal, and the potential of the gate is the set signal and the reset signal A second transistor that varies according to
One of the source and the drain is supplied with a first potential, the other of the source and the drain is electrically connected to the other of the source and the drain of the second transistor, and is turned on or off depending on the potential of the gate. To control whether the pulse signal is set low or not, the second potential is applied to one of the source and the drain, and the other of the source and the drain is electrically supplied to the gate of the first transistor. And the fourth transistor whose gate potential changes according to the set signal and the reset signal, the potential of one of the source and the drain changes according to the set signal and the reset signal, and the other of the source and the drain is the first A fifth transistor electrically connected to the gate of the second transistor, the potential of the gate changing according to the set signal, The first to fifth transistors have the same conductivity type, and the second potential is higher than the low level potential of the clock signal and lower than the high level potential of the clock signal; The potential difference between the potential of the clock signal and the low level of the clock signal is a pulse output circuit which is larger than the threshold voltage of the first transistor.

本発明の一態様により、出力するパルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するト
ランジスタのチャネル長を長くせずとも、該トランジスタに対するストレスを低減できる
。よって、上記トランジスタの劣化を抑制でき、電気特性の変動を抑制できる。
According to one embodiment of the present invention, stress on a transistor can be reduced without increasing the channel length of the transistor which controls whether to set a pulse signal to be output to a high level. Therefore, deterioration of the transistor can be suppressed, and fluctuation of electrical characteristics can be suppressed.

パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。FIG. 6 is a diagram for illustrating an example of a pulse output circuit. 表示装置の例を説明するための図。FIG. 6 illustrates an example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。FIG. 6 illustrates an example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。FIG. 6 illustrates an example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。FIG. 6 illustrates an example of a display device. 電子機器の例を説明するための図。FIG. 6 illustrates an example of an electronic device.

本発明に係る実施の形態の例について説明する。なお、本発明の趣旨及び範囲から逸脱す
ることなく実施の形態の内容を変更することは、当業者であれば容易である。よって、例
えば本発明は、下記実施の形態の記載内容に限定されない。
An example of an embodiment according to the present invention will be described. Those skilled in the art can easily change the contents of the embodiment without departing from the spirit and scope of the present invention. Thus, for example, the present invention is not limited to the contents described in the following embodiments.

なお、各実施の形態の内容を互いに適宜組み合わせることができる。また、各実施の形態
の内容を互いに適宜置き換えることができる。
The contents of the embodiments can be combined with one another as appropriate. In addition, the contents of each embodiment can be replaced with each other as appropriate.

また、第1、第2などの序数は、構成要素の混同を避けるために付しており、各構成要素
の数は、序数に限定されない。
Also, the first and second ordinal numbers are attached to avoid confusion of components, and the number of each component is not limited to the ordinal numbers.

本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置さ
れている状態をいう。従って、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直」と
は、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、
85°以上95°以下の場合も含まれる。
In the present specification, “parallel” refers to a state in which two straight lines are arranged at an angle of −10 ° or more and 10 ° or less. Therefore, the case of -5 degrees or more and 5 degrees or less is also included. Also, "vertical" means that two straight lines are arranged at an angle of 80 ° or more and 100 ° or less. Therefore,
The case of 85 ° or more and 95 ° or less is also included.

また、本明細書において、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す
In the present specification, when a crystal is trigonal or rhombohedral, it is represented as a hexagonal system.

(実施の形態1)
本実施の形態では、パルス出力回路の例について説明する。
Embodiment 1
In this embodiment, an example of a pulse output circuit is described.

図1は、本実施の形態に係るパルス出力回路の例を説明するための図である。パルス出力
回路SRは、図1(A)に示すように、入力されるセット信号S、リセット信号R、及び
クロック信号CKに従い、パルス信号(出力信号OUT)を生成する機能を有する。なお
、パルス出力回路SRに複数種のクロック信号を入力してもよい。
FIG. 1 is a diagram for explaining an example of a pulse output circuit according to the present embodiment. The pulse output circuit SR has a function of generating a pulse signal (output signal OUT) in accordance with the input set signal S, reset signal R, and clock signal CK as shown in FIG. 1 (A). A plurality of clock signals may be input to the pulse output circuit SR.

さらに、図1(A)に示すパルス出力回路SRは、図1(B)に示すように、トランジス
タ11乃至トランジスタ15を有する。例えば、トランジスタ11乃至トランジスタ15
は、同一の導電型である。トランジスタ11乃至トランジスタ15のそれぞれは、セット
信号S、リセット信号R、及びクロック信号CKの一つ又は複数に従い導通が制御される
。なお、図1(A)に示すパルス出力回路SRにトランジスタ11乃至トランジスタ15
以外の素子を設けてもよい。
Further, the pulse output circuit SR illustrated in FIG. 1A includes the transistors 11 to 15 as illustrated in FIG. For example, the transistors 11 to 15
Are of the same conductivity type. The conduction of each of the transistors 11 to 15 is controlled in accordance with one or more of the set signal S, the reset signal R, and the clock signal CK. Note that the pulse output circuit SR shown in FIG.
Elements other than the above may be provided.

トランジスタ11のソース及びドレインの一方の電位は、クロック信号CKに従い変化す
る。トランジスタ11は、パルス信号(出力信号OUT)のハイレベルの電位を制御する
機能を有する。例えば、トランジスタ11は、パルス信号(出力信号OUT)を、第1の
ハイレベルにするか否か、及び第2のハイレベルにするか否かを制御する機能を有する。
このとき、第2のハイレベルの電位は、第1のハイレベルの電位よりも小さい。
The potential of one of the source and the drain of the transistor 11 changes in accordance with the clock signal CK. The transistor 11 has a function of controlling the high level potential of the pulse signal (output signal OUT). For example, the transistor 11 has a function of controlling whether the pulse signal (the output signal OUT) is to be the first high level or not and the second high level.
At this time, the second high level potential is smaller than the first high level potential.

なお、「信号に従い電位が変化する」とは、「信号が直接入力されることで電位が該信号
の電位に変化する場合」のみに限定されない。例えば、「信号に従いスイッチがオン状態
になることにより、電位が変化する場合」や、「容量結合により、信号の変化に合わせて
電位が変化する場合」なども「信号に従い電位が変化する」に含まれる。
Note that "the potential changes according to the signal" is not limited to "when the potential changes to the potential of the signal when the signal is directly input". For example, "when the potential changes when the switch is turned on according to the signal" or "when the potential changes according to the signal change due to capacitive coupling", etc. included.

また、「信号に応じた電位」とは、「信号の電位と同じ値の電位」のみに限定されない。
例えば、電圧降下により信号の電位が変化した値も「信号に応じた電位」に含まれる。
In addition, the “potential according to the signal” is not limited to “the potential of the same value as the potential of the signal”.
For example, a value obtained by changing the potential of a signal due to a voltage drop is also included in the “potential corresponding to the signal”.

トランジスタ12のソース及びドレインの一方は、トランジスタ11のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号OUT)の電位となる
。さらに、トランジスタ12のゲートの電位は、セット信号S及びリセット信号Rに従い
変化する。トランジスタ12は、パルス信号(出力信号OUT)をハイレベルに設定する
か否かを制御する機能を有する。
One of the source and the drain of the transistor 12 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 11, and the other potential is the potential of the pulse signal (the output signal OUT). Furthermore, the potential of the gate of the transistor 12 changes in accordance with the set signal S and the reset signal R. The transistor 12 has a function of controlling whether or not the pulse signal (output signal OUT) is set to the high level.

トランジスタ13のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ12のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。さらに、トランジス
タ13のゲートの電位は、セット信号S及びリセット信号Rに従い変化する。なお、クロ
ック信号CKとは異なるクロック信号によりトランジスタ13のゲートの電位を制御して
もよい。トランジスタ13は、ゲートの電位に応じてオン状態又はオフ状態になることに
より、パルス信号(出力信号OUT)をローレベルに設定するか否かを制御する機能を有
する。
One of the source and the drain of the transistor 13 is supplied with the potential VSS, and the other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 12. Further, the potential of the gate of the transistor 13 changes in accordance with the set signal S and the reset signal R. Note that the potential of the gate of the transistor 13 may be controlled by a clock signal different from the clock signal CK. The transistor 13 has a function of controlling whether or not the pulse signal (output signal OUT) is set to a low level by being turned on or off in accordance with the potential of the gate.

トランジスタ14のソース及びドレインの一方には、電位Vaが与えられ、他方は、トラ
ンジスタ11のゲートに電気的に接続される。さらに、トランジスタ14のゲートの電位
は、セット信号S及びリセット信号Rに従い変化、又はクロック信号CKに従い変化する
。トランジスタ14は、トランジスタ11のゲートの電位を電位Vaに応じた値に設定す
るか否かを制御する機能を有する。
The potential Va is applied to one of the source and the drain of the transistor 14, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 11. Further, the potential of the gate of the transistor 14 changes in accordance with the set signal S and the reset signal R, or changes in accordance with the clock signal CK. The transistor 14 has a function of controlling whether or not the potential of the gate of the transistor 11 is set to a value corresponding to the potential Va.

なお、「電位に応じた値」とは、「該電位と同じ値」のみに限定されない。例えば、電圧
降下により上記電位の値から変化した場合も「電位に応じた値」に含まれる。
The “value corresponding to the potential” is not limited to “the same value as the potential”. For example, also when it changes from the value of the said electric potential by a voltage drop, it is contained in "the value according to the electric potential."

トランジスタ15のソース及びドレインの一方の電位は、セット信号S及びリセット信号
Rに従い変化し、他方は、トランジスタ11のゲートに電気的に接続される。さらに、ト
ランジスタ15のゲートの電位は、セット信号Sに従い変化する。トランジスタ15は、
トランジスタ11のゲートを浮遊状態にするか否かを制御する機能を有する。
The potential of one of the source and the drain of the transistor 15 changes in accordance with the set signal S and the reset signal R, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 11. Furthermore, the potential of the gate of the transistor 15 changes in accordance with the set signal S. The transistor 15 is
It has a function of controlling whether or not the gate of the transistor 11 is in a floating state.

トランジスタ11乃至トランジスタ15としては、チャネル形成領域に例えばシリコンよ
りもバンドギャップが広い半導体を含むトランジスタを適用できる。バンドギャップの広
い半導体としては、例えば酸化物半導体を適用できる。ただし、これに限定されず、例え
ば14族(シリコンなどの)の元素を有する半導体を含むトランジスタをトランジスタ1
1乃至トランジスタ15に用いてもよい。このとき、14族の元素を有する半導体が単結
晶、多結晶、又は非晶質でもよい。
As the transistors 11 to 15, for example, a transistor including a semiconductor having a wider band gap than silicon in a channel formation region can be used. As a semiconductor having a wide band gap, an oxide semiconductor can be used, for example. However, the present invention is not limited thereto. For example, a transistor including a semiconductor having an element of Group 14 (such as silicon) may be used as the transistor 1
You may use for 1 thru | or the transistor 15. FIG. At this time, the semiconductor having a Group 14 element may be single crystal, polycrystal or amorphous.

上記酸化物半導体としては、例えばIn系金属酸化物、Zn系金属酸化物、In−Zn系
金属酸化物、又はIn−Ga−Zn系金属酸化物などを適用できる。また、上記In−G
a−Zn系金属酸化物に含まれるGaの一部若しくは全部の代わりに他の金属元素を含む
金属酸化物を用いてもよい。
As the oxide semiconductor, an In-based metal oxide, a Zn-based metal oxide, an In-Zn-based metal oxide, an In-Ga-Zn-based metal oxide, or the like can be used, for example. Also, the above In-G
A metal oxide containing another metal element instead of part or all of Ga contained in the a-Zn-based metal oxide may be used.

以下、酸化物半導体膜の構造について説明する。 Hereinafter, the structure of the oxide semiconductor film is described.

酸化物半導体膜は、単結晶酸化物半導体膜と非単結晶酸化物半導体膜とに大別される。非
単結晶酸化物半導体膜とは、非晶質酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、多結晶酸化
物半導体膜、CAAC−OS(C Axis Aligned Crystalline
Oxide Semiconductor)膜などをいう。
Oxide semiconductor films are roughly classified into single crystal oxide semiconductor films and non-single crystal oxide semiconductor films. The non-single crystal oxide semiconductor film includes an amorphous oxide semiconductor film, a microcrystalline oxide semiconductor film, a polycrystalline oxide semiconductor film, a CAAC-OS (C Axis Aligned Crystalline).
Oxide Semiconductor) film etc.

非晶質酸化物半導体膜は、膜中における原子配列が不規則であり、結晶成分を有さない酸
化物半導体膜である。微小領域においても結晶部を有さず、膜全体が完全な非晶質構造の
酸化物半導体膜が典型である。
The amorphous oxide semiconductor film is an oxide semiconductor film in which the atomic arrangement in the film is irregular and does not have a crystal component. An oxide semiconductor film which does not have a crystal part even in a minute region and has a completely amorphous structure is typical.

微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未満の大きさの微結晶(ナノ結晶
ともいう。)を含む。従って、微結晶酸化物半導体膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも原
子配列の規則性が高い。そのため、微結晶酸化物半導体膜は、非晶質酸化物半導体膜より
も欠陥準位密度が低いという特徴がある。
The microcrystalline oxide semiconductor film includes, for example, microcrystalline (also referred to as nanocrystal) with a size greater than or equal to 1 nm and less than 10 nm. Thus, the microcrystalline oxide semiconductor film has higher regularity in atomic arrangement than an amorphous oxide semiconductor film. Therefore, the microcrystalline oxide semiconductor film is characterized in that the density of defect states is lower than that of an amorphous oxide semiconductor film.

CAAC−OS膜は、複数の結晶部を有する酸化物半導体膜の一つであり、ほとんどの結
晶部は、一辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさである。従って、CAAC−O
S膜に含まれる結晶部は、一辺が10nm未満、5nm未満または3nm未満の立方体内
に収まる大きさの場合も含まれる。CAAC−OS膜は、微結晶酸化物半導体膜よりも欠
陥準位密度が低いという特徴がある。以下、CAAC−OS膜について詳細な説明を行う
The CAAC-OS film is one of oxide semiconductor films having a plurality of crystal parts, and most of the crystal parts fit inside a cube whose one side is less than 100 nm. Therefore, CAAC-O
The crystal part included in the S film is also included in the case where one side is smaller than 10 nm, less than 5 nm, or smaller than 3 nm. The CAAC-OS film is characterized in that the density of defect states is lower than that of a microcrystalline oxide semiconductor film. Hereinafter, the CAAC-OS film is described in detail.

CAAC−OS膜を透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Elect
ron Microscope)によって観察すると、結晶部同士の明確な境界、即ち結
晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を確認することができない。そのため、CA
AC−OS膜は、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
CAAC-OS film as a transmission electron microscope (TEM: Transmission Elect)
When observed with a ron microscope, it is not possible to confirm a clear boundary between crystal parts, that is, a grain boundary (also referred to as a grain boundary). Therefore, CA
It can be said that in the AC-OS film, the decrease in electron mobility due to grain boundaries is unlikely to occur.

CAAC−OS膜を、試料面と概略平行な方向からTEMによって観察(断面TEM観察
)すると、結晶部において、金属原子が層状に配列していることを確認できる。金属原子
の各層は、CAAC−OS膜の膜を形成する面(被形成面ともいう。)または上面の凹凸
を反映した形状であり、CAAC−OS膜の被形成面または上面と平行に配列する。
When the CAAC-OS film is observed by TEM from a direction substantially parallel to the sample surface (cross-sectional TEM observation), it can be confirmed that metal atoms are arranged in layers in the crystal part. Each layer of metal atoms has a shape (also referred to as a formation surface) on which the CAAC-OS film is to be formed (also referred to as a formation surface) or a shape reflecting the unevenness of the top surface, and is arranged parallel to the formation surface or top surface of the CAAC-OS film .

一方、CAAC−OS膜を、試料面と概略垂直な方向からTEMによって観察(平面TE
M観察)すると、結晶部において、金属原子が三角形状または六角形状に配列しているこ
とを確認できる。しかしながら、異なる結晶部間で、金属原子の配列に規則性は見られな
い。
On the other hand, the CAAC-OS film is observed by TEM from a direction substantially perpendicular to the sample surface (planar TE
M observation), it can be confirmed that the metal atoms are arranged in a triangular shape or a hexagonal shape in the crystal part. However, there is no regularity in the arrangement of metal atoms between different crystal parts.

断面TEM観察および平面TEM観察より、CAAC−OS膜の結晶部は配向性を有して
いることがわかる。
From the cross-sectional TEM observation and the planar TEM observation, it is found that the crystal part of the CAAC-OS film has orientation.

CAAC−OS膜に対し、X線回折(XRD:X−Ray Diffraction)装
置を用いて構造解析を行うと、例えばInGaZnOの結晶を有するCAAC−OS膜
のout−of−plane法による解析では、回折角(2θ)が31°近傍にピークが
現れる場合がある。このピークは、InGaZnOの結晶の(009)面に帰属される
ことから、CAAC−OS膜の結晶がc軸配向性を有し、c軸が被形成面または上面に概
略垂直な方向を向いていることが確認できる。
When structural analysis is performed on a CAAC-OS film using an X-ray diffraction (XRD) apparatus, for example, analysis of a CAAC-OS film having an InGaZnO 4 crystal by an out-of-plane method A peak may appear when the diffraction angle (2θ) is around 31 °. Since this peak is attributed to the (009) plane of the InGaZnO 4 crystal, the crystal of the CAAC-OS film has c-axis orientation, and the c-axis points in a direction substantially perpendicular to the formation surface or the top surface. It can be confirmed that

一方、CAAC−OS膜に対し、c軸に概略垂直な方向からX線を入射させるin−pl
ane法による解析では、2θが56°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは
、InGaZnOの結晶の(110)面に帰属される。InGaZnOの単結晶酸化
物半導体膜であれば、2θを56°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸(φ軸)と
して試料を回転させながら分析(φスキャン)を行うと、(110)面と等価な結晶面に
帰属されるピークが6本観察される。これに対し、CAAC−OS膜の場合は、2θを5
6°近傍に固定してφスキャンした場合でも、明瞭なピークが現れない。
On the other hand, in-pl, in which X-rays are made incident on the CAAC-OS film from a direction substantially perpendicular to the c-axis
In the analysis by the ane method, a peak may appear when 2θ is around 56 °. This peak is attributed to the (110) plane of the InGaZnO 4 crystal. In the case of an InGaZnO 4 single crystal oxide semiconductor film, analysis (φ scan) is performed while fixing 2θ at around 56 ° and rotating the sample with the normal vector of the sample surface as the axis (φ axis), Six peaks attributed to crystal planes equivalent to the 110) plane are observed. On the other hand, in the case of a CAAC-OS film, 2θ is 5
Even in the case of? Scan fixed at around 6 °, a clear peak does not appear.

以上のことから、CAAC−OS膜では、異なる結晶部間ではa軸およびb軸の配向は不
規則であるが、c軸配向性を有し、かつc軸が被形成面または上面の法線ベクトルに平行
な方向を向いていることがわかる。従って、前述の断面TEM観察で確認された層状に配
列した金属原子の各層は、結晶のab面に平行な面である。
From the above, in the CAAC-OS film, the orientation of the a-axis and the b-axis is irregular between different crystal parts, but the c-axis has c-axis orientation and the c-axis is a normal to the formation surface or the top surface It turns out that it is pointing in the direction parallel to the vector. Therefore, each layer of the metal atoms arranged in a layer, which is confirmed by the above-mentioned cross-sectional TEM observation, is a plane parallel to the ab plane of the crystal.

なお、結晶部は、CAAC−OS膜を成膜した際、または加熱処理などの結晶化処理を行
った際に形成される。上述したように、結晶のc軸は、CAAC−OS膜の被形成面また
は上面の法線ベクトルに平行な方向に配向する。従って、例えば、CAAC−OS膜の形
状をエッチングなどによって変化させた場合、結晶のc軸がCAAC−OS膜の被形成面
または上面の法線ベクトルと平行にならないこともある。
Note that the crystal part is formed when a CAAC-OS film is formed or when crystallization treatment such as heat treatment is performed. As described above, the c-axis of the crystal is oriented in a direction parallel to the normal vector of the formation surface or the top surface of the CAAC-OS film. Therefore, for example, when the shape of the CAAC-OS film is changed by etching or the like, the c-axis of the crystal may not be parallel to the normal vector of the formation surface or the top surface of the CAAC-OS film.

また、CAAC−OS膜中の結晶化度が均一でなくてもよい。例えば、CAAC−OS膜
の結晶部が、CAAC−OS膜の上面近傍からの結晶成長によって形成される場合、上面
近傍の領域は、被形成面近傍の領域よりも結晶化度が高くなることがある。また、CAA
C−OS膜に不純物を添加する場合、不純物が添加された領域の結晶化度が変化し、部分
的に結晶化度の異なる領域が形成されることもある。
In addition, the degree of crystallinity in the CAAC-OS film may not be uniform. For example, in the case where the crystal part of the CAAC-OS film is formed by crystal growth from the vicinity of the top surface of the CAAC-OS film, the region in the vicinity of the top surface has higher crystallinity than the region in the vicinity of the formation surface is there. Also, CAA
When an impurity is added to the C-OS film, the degree of crystallization of the region to which the impurity is added may change, and a region with a partially different degree of crystallinity may be formed.

なお、InGaZnOの結晶を有するCAAC−OS膜のout−of−plane法
による解析では、2θが31°近傍のピークの他に、2θが36°近傍にもピークが現れ
る場合がある。2θが36°近傍のピークは、CAAC−OS膜中の一部に、c軸配向性
を有さない結晶が含まれることを示している。CAAC−OS膜は、2θが31°近傍に
ピークを示し、2θが36°近傍にピークを示さないことが好ましい。
Note that in the analysis by a out-of-plane method of a CAAC-OS film having an InGaZnO 4 crystal, in addition to the peak at 2θ of around 31 °, the peak may also appear at around 36 ° of 2θ. The peak at 2θ of around 36 ° indicates that a part of the CAAC-OS film contains a crystal having no c-axis alignment. It is preferable that the CAAC-OS film has a peak at 2θ of around 31 ° and no peak at 2θ of around 36 °.

CAAC−OS膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気特性の変動
が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
The transistor including the CAAC-OS film has less variation in electrical characteristics due to irradiation with visible light or ultraviolet light. Thus, the transistor is highly reliable.

なお、酸化物半導体膜は、例えば、非晶質酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、CA
AC−OS膜のうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
Note that the oxide semiconductor film is, for example, an amorphous oxide semiconductor film, a microcrystalline oxide semiconductor film, or CA.
Among the AC-OS films, a laminated film having two or more types may be used.

以上が、酸化物半導体膜の構造に関する説明である。 The above is the description of the structure of the oxide semiconductor film.

さらに、本実施の形態に係るパルス出力回路の構成例について図2を参照して説明する。 Furthermore, a configuration example of the pulse output circuit according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図2(A)に示すパルス出力回路は、セット信号Sに相当するセット信号LIN、リセッ
ト信号Rに相当するリセット信号RIN、クロック信号CK1乃至クロック信号CK3、
及び初期化信号RESに従いパルス信号(出力信号OUT)を生成して出力する機能を有
する。なお、必ずしも初期化信号RESを用いなくてもよい。
The pulse output circuit shown in FIG. 2A includes a set signal LIN corresponding to the set signal S, a reset signal RIN corresponding to the reset signal R, clock signals CK1 to CK3,
And a function of generating and outputting a pulse signal (output signal OUT) according to the initialization signal RES. Note that the initialization signal RES may not necessarily be used.

図2(A)に示すパルス出力回路は、トランジスタ61乃至76を有する。 The pulse output circuit illustrated in FIG. 2A includes transistors 61 to 76.

トランジスタ61のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられる。さらに、
トランジスタ61のゲートには、セット信号LINが入力される。
The potential VDD is applied to one of the source and the drain of the transistor 61. further,
The set signal LIN is input to the gate of the transistor 61.

トランジスタ62のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ61のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the source and the drain of the transistor 62 is supplied with the potential VSS, and the other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 61.

トランジスタ63のソース及びドレインの一方は、トランジスタ61のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続される。さらに、トランジスタ63のゲートには、セット信号L
INが入力される。トランジスタ63は、図1(B)に示すトランジスタ15に相当する
One of the source and the drain of the transistor 63 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 61. Further, the gate of the transistor 63 is connected to the set signal L.
IN is input. The transistor 63 corresponds to the transistor 15 illustrated in FIG.

トランジスタ64のソース及びドレインの一方は、トランジスタ61のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続される。さらに、トランジスタ64のゲートには、電位VDDが
与えられる。
One of the source and the drain of the transistor 64 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 61. Further, the potential VDD is applied to the gate of the transistor 64.

なお、必ずしもトランジスタ64を設けなくてもよい。 Note that the transistor 64 may not necessarily be provided.

トランジスタ65のソース及びドレインの一方には、クロック信号CK1が入力される。
さらに、トランジスタ65のゲートは、トランジスタ63のソース及びドレインの他方に
電気的に接続される。トランジスタ65は、図1(B)に示すトランジスタ11に相当す
る。
The clock signal CK1 is input to one of the source and the drain of the transistor 65.
Further, the gate of the transistor 65 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 63. The transistor 65 corresponds to the transistor 11 illustrated in FIG.

トランジスタ66のソース及びドレインの一方は、トランジスタ65のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号OUT)の電位となる
。トランジスタ66は、図1(B)に示すトランジスタ12に相当する。
One of the source and the drain of the transistor 66 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 65, and the other potential is the potential of the pulse signal (the output signal OUT). The transistor 66 corresponds to the transistor 12 illustrated in FIG.

さらに、トランジスタ65のゲートとトランジスタ66のソース及びドレインの他方の間
に容量C1が形成される。なお、必ずしも容量C1を形成しなくてもよい。
Furthermore, a capacitance C1 is formed between the gate of the transistor 65 and the other of the source and the drain of the transistor 66. The capacitance C1 may not necessarily be formed.

また、トランジスタ66のゲートとトランジスタ66のソース及びドレインの他方の間に
容量C2が形成される。なお、トランジスタ66のゲートと、ソース及びドレインの他方
との間の寄生容量を容量C2に用いてもよい。なお、必ずしも容量C2を形成しなくても
よい。
In addition, a capacitance C2 is formed between the gate of the transistor 66 and the other of the source and the drain of the transistor 66. Note that a parasitic capacitance between the gate of the transistor 66 and the other of the source and the drain may be used for the capacitor C2. The capacitance C2 may not necessarily be formed.

トランジスタ67のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ66のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。トランジスタ67は
、図1(B)に示すトランジスタ13に相当する。
The potential VSS is applied to one of the source and the drain of the transistor 67, and the other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 66. The transistor 67 corresponds to the transistor 13 illustrated in FIG.

トランジスタ68のソース及びドレインの一方には、クロック信号CK1が入力される。
さらに、トランジスタ68のゲートは、トランジスタ63のソース及びドレインの他方に
電気的に接続される。
The clock signal CK1 is input to one of the source and the drain of the transistor 68.
Furthermore, the gate of the transistor 68 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 63.

トランジスタ69のソース及びドレインの一方は、トランジスタ68のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号SROUT)の電位と
なる。さらに、トランジスタ69のゲートは、トランジスタ64のソース及びドレインの
他方に電気的に接続される。
One of the source and the drain of the transistor 69 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 68, and the other potential is the potential of the pulse signal (output signal SROUT). Further, the gate of the transistor 69 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 64.

さらに、トランジスタ68のゲートとトランジスタ69のソース及びドレインの他方の間
に容量C3が形成される。なお、必ずしも容量C3を形成しなくてもよい。
Furthermore, a capacitance C3 is formed between the gate of the transistor 68 and the other of the source and drain of the transistor 69. The capacitance C3 may not necessarily be formed.

また、トランジスタ69のゲートとトランジスタ69のソース及びドレインの他方の間に
容量C4が形成される。なお、トランジスタ69のゲートと、ソース及びドレインの他方
との間の寄生容量を容量C4に用いてもよい。なお、必ずしも容量C4を形成しなくても
よい。
In addition, a capacitor C4 is formed between the gate of the transistor 69 and the other of the source and the drain of the transistor 69. Note that a parasitic capacitance between the gate of the transistor 69 and the other of the source and the drain may be used for the capacitor C4. The capacitance C4 may not necessarily be formed.

トランジスタ70のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ69のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。さらに、トランジス
タ70のゲートは、トランジスタ62のゲートに電気的に接続される。
The potential VSS is applied to one of the source and the drain of the transistor 70, and the other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 69. Further, the gate of the transistor 70 is electrically connected to the gate of the transistor 62.

なお、必ずしもトランジスタ68乃至トランジスタ70を設けなくてもよい。 Note that the transistors 68 to 70 may not necessarily be provided.

トランジスタ71のソース及びドレインの一方には、電位Vaが与えられ、他方は、トラ
ンジスタ65のゲート及びトランジスタ68のゲートに電気的に接続される。さらに、ト
ランジスタ71のゲートの電位は、セット信号LIN、リセット信号RIN、初期化信号
RES、クロック信号CK2、及びクロック信号CK3に従い変化する。トランジスタ7
1は、図1(B)に示すトランジスタ14に相当する。
The potential Va is applied to one of the source and the drain of the transistor 71, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 65 and the gate of the transistor 68. Further, the potential of the gate of the transistor 71 changes in accordance with the set signal LIN, the reset signal RIN, the initialization signal RES, the clock signal CK2, and the clock signal CK3. Transistor 7
Reference numeral 1 corresponds to the transistor 14 shown in FIG.

トランジスタ72のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ72のゲートには、リセット信号RINが入力される。
One of the source and the drain of the transistor 72 is supplied with the potential VDD, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. further,
The reset signal RIN is input to the gate of the transistor 72.

トランジスタ73のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ72のゲートには、初期化信号RESが入力される。
The potential VDD is applied to one of the source and the drain of the transistor 73, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. further,
The initialization signal RES is input to the gate of the transistor 72.

トランジスタ74のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ74のゲートには、セット信号LINが入力される。
The potential VSS is applied to one of the source and the drain of the transistor 74, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. further,
The set signal LIN is input to the gate of the transistor 74.

トランジスタ75のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられる。さらに、
トランジスタ75のゲートには、クロック信号CK3が入力される。
The potential VDD is applied to one of the source and the drain of the transistor 75. further,
The clock signal CK3 is input to the gate of the transistor 75.

トランジスタ76のソース及びドレインの一方は、トランジスタ75のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方は、トランジスタ67のゲート及びトランジスタ70
のゲートに電気的に接続される。さらに、トランジスタ76のゲートには、クロック信号
CK2が入力される。
One of the source and the drain of the transistor 76 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 75, and the other is the gate of the transistor 67 and the transistor 70.
Electrically connected to the gate of Further, the clock signal CK2 is input to the gate of the transistor 76.

容量C5の一対の電極の一方には、電位VSSが与えられ、他方は、トランジスタ71の
ゲートに電気的に接続される。容量C5は、保持容量としての機能を有する。なお、必ず
しも容量C5を設けなくてもよい。
The potential VSS is applied to one of the pair of electrodes of the capacitor C5, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 71. The capacitance C5 has a function as a holding capacitance. The capacitance C5 may not necessarily be provided.

トランジスタ61乃至トランジスタ76としては、例えばチャネル形成領域に上記酸化物
半導体を含むトランジスタを適用できる。
As the transistors 61 to 76, for example, transistors including the above-described oxide semiconductor in a channel formation region can be used.

次に、本実施の形態に係るパルス出力回路の駆動方法例として、図2(A)に示すパルス
出力回路の駆動方法例について、図2(B)のタイミングチャートを参照して説明する。
ここでは、一例として、トランジスタ61乃至トランジスタ76のそれぞれがNチャネル
型であり、電位VDDが正の電位であり、電位VSSが負の電位であり、電位Vaの値が
(VDD+VSS)/2であるとして説明する。また、セット信号LIN、リセット信号
RIN、及びクロック信号CK1乃至クロック信号CK3のハイレベルの電位は、電位V
DDと同じであり、ローレベルの電位は、電位VSSと同じであるとする。また、トラン
ジスタ65のしきい値電圧とトランジスタ68のしきい値電圧は同じとする。また、トラ
ンジスタ66のしきい値電圧とトランジスタ69のしきい値電圧は同じとする。また、電
位Vaとクロック信号CK1のローレベルの電位の電位差は、トランジスタ65のしきい
値電圧よりも大きいとする。また、期間T1の前に、初期化信号RESのパルスを入力し
、トランジスタ73をオン状態にし、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジス
タ71をオン状態にすることにより、パルス出力回路の初期化を行ってもよい。また、ト
ランジスタ66のゲートと他の素子との接続箇所をノードNAとし、トランジスタ67の
ゲートと他の素子との接続箇所をノードNBとし、トランジスタ65のゲートと他の素子
との接続箇所をノードNCとし、トランジスタ65のソース及びドレインの他方とトラン
ジスタ66のソース及びドレインの一方との接続箇所をノードNDとする。
Next, as an example of a method of driving the pulse output circuit according to this embodiment, an example of a method of driving the pulse output circuit illustrated in FIG. 2A will be described with reference to a timing chart of FIG.
Here, as an example, each of the transistors 61 to 76 is an n-channel transistor, the potential VDD is a positive potential, the potential VSS is a negative potential, and the value of the potential Va is (VDD + VSS) / 2. Explain as. Further, the high level potentials of the set signal LIN, the reset signal RIN, and the clock signals CK1 to CK3 have a potential V
The low level potential is the same as DD, and is the same as the potential VSS. Further, the threshold voltage of the transistor 65 and the threshold voltage of the transistor 68 are the same. Further, the threshold voltage of the transistor 66 and the threshold voltage of the transistor 69 are the same. Further, it is assumed that the potential difference between the potential Va and the low level potential of the clock signal CK1 is larger than the threshold voltage of the transistor 65. Further, before the period T1, the pulse of the initialization signal RES is input, the transistor 73 is turned on, and the transistors 67, 70, and 71 are turned on to initialize the pulse output circuit. It is also good. Further, a connection point between the gate of the transistor 66 and the other element is a node NA, a connection point between the gate of the transistor 67 and the other element is a node NB, and a connection point between the gate of the transistor 65 and the other element is a node Let NC be a connection point of the other of the source and drain of the transistor 65 and one of the source and drain of the transistor 66 be a node ND.

なお本明細書において、電位VSSとは、回路を動作させるために必要な、少なくとも2
つの電源電位のうち、低い方の電位である。前記2つの電源電位のうち、高い方の電位は
電位VDDである。
In the present specification, the potential VSS means at least two potentials required to operate the circuit.
Of the two power supply potentials, it is the lower one. The higher one of the two power supply potentials is the potential VDD.

図2(A)に示すパルス出力回路の駆動方法例では、図2(B)の期間T1において、セ
ット信号LINがハイレベルになり、トランジスタ72、トランジスタ74がオン状態に
なる。また、リセット信号RINがローレベルであるため、トランジスタ72がオフ状態
になる。また、クロック信号CK1乃至クロック信号CK3がローレベルであるため、ト
ランジスタ75及びトランジスタ76がオフ状態になる。
In the driving method example of the pulse output circuit shown in FIG. 2A, the set signal LIN becomes high level in the period T1 of FIG. 2B, and the transistor 72 and the transistor 74 are turned on. Further, since the reset signal RIN is at the low level, the transistor 72 is turned off. Further, since the clock signal CK1 to the clock signal CK3 are at low level, the transistor 75 and the transistor 76 are turned off.

このとき、ノードNCの電位が電位VDDと同等の値まで上昇し、トランジスタ65、ト
ランジスタ68がオン状態になり、ノードNDの電位がクロック信号CK1のローレベル
の電位に応じた値になる。さらに、トランジスタ63がオフ状態になる。さらに、ノード
NAの電位が電位VDDと同等の値まで上昇し、トランジスタ66、トランジスタ69が
オン状態になる。さらに、トランジスタ64がオフ状態になる。このときの出力信号OU
T、出力信号SROUTは、ローレベルである。以上により、図2(A)に示すパルス出
力回路は、セット状態になる。
At this time, the potential of the node NC rises to a value equal to the potential VDD, the transistors 65 and 68 are turned on, and the potential of the node ND becomes a value corresponding to the low level potential of the clock signal CK1. Furthermore, the transistor 63 is turned off. Further, the potential of the node NA rises to a value equal to the potential VDD, and the transistors 66 and 69 are turned on. Furthermore, the transistor 64 is turned off. Output signal OU at this time
T, the output signal SROUT is at low level. Thus, the pulse output circuit illustrated in FIG. 2A is in the set state.

次に、期間T2において、セット信号LINがハイレベルのままであるため、トランジス
タ61及びトランジスタ74はオン状態のままである。また、クロック信号CK1がハイ
レベルになる。また、リセット信号RIN、クロック信号CK2、クロック信号CK3が
ローレベルのままであるため、トランジスタ72、トランジスタ75、トランジスタ76
がオフ状態のままである。
Next, in the period T2, since the set signal LIN remains at the high level, the transistor 61 and the transistor 74 remain in the on state. Also, the clock signal CK1 becomes high level. Further, since the reset signal RIN, the clock signal CK2, and the clock signal CK3 remain at the low level, the transistor 72, the transistor 75, the transistor 76
Remains off.

このとき、トランジスタ62、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71
はオフ状態のままである。さらに、トランジスタ65とトランジスタ66はオン状態のま
まであり、容量C1と、容量C2によって生じる容量結合により、ノードNAとノードN
Cの電位が電位VDDとトランジスタ65のしきい値電圧(Vth65)の和よりもさら
に高い値、すなわち、VDD+Vth65+Vx(Vxは任意の値)まで上昇する。これ
により、出力信号OUTの電位は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値に
なる。また、トランジスタ68とトランジスタ69はオン状態のままであり、出力信号S
ROUTの電位は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値になる。
At this time, the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, the transistor 71
Remains off. Furthermore, the transistors 65 and 66 remain on, and the capacitive coupling generated by the capacitance C1 and the capacitance C2 causes the nodes NA and N
The potential of C rises to a value higher than the sum of the potential VDD and the threshold voltage (Vth65) of the transistor 65, that is, VDD + Vth65 + Vx (Vx is an arbitrary value). As a result, the potential of the output signal OUT becomes equal to the high level potential of the clock signal CK1. Also, transistor 68 and transistor 69 remain on, and output signal S
The potential of ROUT is equal to the high level potential of the clock signal CK1.

次に、期間T3において、セット信号LINがローレベルになり、トランジスタ61、ト
ランジスタ72、及びトランジスタ74がオフ状態になる。また、クロック信号CK1が
ハイレベルのままである。また、クロック信号CK2がハイレベルになり、トランジスタ
76がオン状態になる。また、リセット信号RIN、クロック信号CK3はローレベルの
ままであるため、トランジスタ72及びトランジスタ75はオフ状態のままである。
Next, in a time period T3, the set signal LIN goes low, and the transistors 61, 72, and 74 are turned off. Also, the clock signal CK1 remains at high level. In addition, the clock signal CK2 becomes high level, and the transistor 76 is turned on. In addition, since the reset signal RIN and the clock signal CK3 remain at low level, the transistor 72 and the transistor 75 remain in the off state.

このとき、トランジスタ62、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71
は、オフ状態のままである。また、トランジスタ66、トランジスタ69のゲートとドレ
インの間の電圧がVDD+Vxに維持され、出力信号OUT、出力信号SROUTの電位
は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値のままである。よって、出力信号
OUT、出力信号SROUTは、ハイレベルを維持する。
At this time, the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, the transistor 71
Remains in the off state. Further, the voltage between the gate and drain of the transistor 66 and the transistor 69 is maintained at VDD + Vx, and the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT remain equal to the high level potential of the clock signal CK1. Therefore, the output signal OUT and the output signal SROUT maintain the high level.

次に、期間T4において、リセット信号RINがハイレベルになり、トランジスタ72が
オン状態になる。また、クロック信号CK1がローレベルになる。また、クロック信号C
K2がハイレベルのままであるため、トランジスタ76はハイレベルのままである。また
、クロック信号CK3がハイレベルになり、トランジスタ75がオン状態になる。また、
セット信号LINがローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジスタ63
、トランジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in a period T4, the reset signal RIN becomes high level, and the transistor 72 is turned on. Also, the clock signal CK1 becomes low level. Also, clock signal C
Since K2 remains high, transistor 76 remains high. Further, the clock signal CK3 becomes high level, and the transistor 75 is turned on. Also,
Since the set signal LIN remains low, the transistors 61 and 63
, Transistor 74 remains off.

このとき、ノードNBの電位が電位VDDと同等の値になり、トランジスタ62、トラン
ジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71がオン状態になる。また、ノードNC
の電位が電位Vaに応じた値になり、トランジスタ65、トランジスタ68はオン状態の
ままである。また、ノードNAの電位が、電位VSSに応じた値になることにより、トラ
ンジスタ66、トランジスタ69がオフ状態になる。よって、ノードNDの電位がクロッ
ク信号CK1のローレベルの電位に応じた値になる。よって、出力信号OUT、出力信号
SROUTの電位がクロック信号CK1のローレベルの電位に応じた値になり、出力信号
OUT、出力信号SROUTがローレベルになる。これにより、図2(A)に示すパルス
出力回路は、リセット状態になる。
At this time, the potential of the node NB becomes equal to the potential VDD, and the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 are turned on. Also, node NC
The potential of the transistor 65 becomes a value corresponding to the potential Va, and the transistors 65 and 68 remain in the on state. In addition, when the potential of the node NA becomes a value corresponding to the potential VSS, the transistors 66 and 69 are turned off. Therefore, the potential of the node ND has a value corresponding to the low level potential of the clock signal CK1. Therefore, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT become values corresponding to the low level potential of the clock signal CK1, and the output signal OUT and the output signal SROUT become low level. As a result, the pulse output circuit shown in FIG. 2A is in the reset state.

次に、期間T5において、リセット信号RINがハイレベルのままであるため、トランジ
スタ72はオン状態のままである。また、クロック信号CK2がローレベルになり、トラ
ンジスタ76がオフ状態になる。また、クロック信号CK3がハイレベルのままであるた
め、トランジスタ75はオン状態のままである。さらに、セット信号LIN、クロック信
号CK1がローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジスタ63、トラン
ジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in the period T5, the reset signal RIN remains high, so the transistor 72 remains on. In addition, the clock signal CK2 becomes low level, and the transistor 76 is turned off. In addition, since the clock signal CK3 remains high, the transistor 75 remains on. Further, since the set signal LIN and the clock signal CK1 remain at the low level, the transistors 61, 63, and 74 remain in the off state.

このとき、ノードNBの電位は電位VDDに応じた値のままであり、トランジスタ62、
トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71はオン状態のままである。また
、ノードNCの電位が電位Vaと同等の値のままであり、トランジスタ65、トランジス
タ68はオン状態のままである。また、ノードNAの電位が電位VSSと同等の値のまま
であるため、トランジスタ66、トランジスタ69はオフ状態のままである。よって、ノ
ードNDの電位がクロック信号CK1のローレベルの電位と同等の値になる。よって、出
力信号OUT、出力信号SROUTの電位は、クロック信号CK1のローレベルの電位と
同等の値になり、出力信号OUT、出力信号SROUTはローレベルになる。
At this time, the potential of the node NB remains at a value corresponding to the potential VDD.
The transistors 67, 70, and 71 remain on. Further, the potential of the node NC remains at the same value as the potential Va, and the transistor 65 and the transistor 68 remain on. Further, since the potential of the node NA remains equal to the potential VSS, the transistors 66 and 69 remain off. Therefore, the potential of the node ND becomes equal to the potential of the low level of the clock signal CK1. Therefore, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT become the same value as the low level potential of the clock signal CK1, and the output signal OUT and the output signal SROUT become low level.

次に、期間T6において、リセット信号RINがローレベルになり、トランジスタ72が
オフ状態になる。また、クロック信号CK1がハイレベルになる。また、クロック信号C
K3がローレベルになり、トランジスタ75がオフ状態になる。さらに、セット信号LI
N、クロック信号CK2がローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジス
タ63、トランジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in a period T6, the reset signal RIN becomes low level, and the transistor 72 is turned off. Also, the clock signal CK1 becomes high level. Also, clock signal C
K3 goes low, and the transistor 75 is turned off. Furthermore, the set signal LI
N. Since the clock signal CK2 remains at the low level, the transistors 61, 63, and 74 remain in the off state.

このとき、ノードNBの電位が電位VDDと同等の値のままであるため、トランジスタ6
2、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71はオン状態のままである。
また、ノードNCの電位が電位Vaと同等の値のままであるため、トランジスタ65、ト
ランジスタ68はオン状態のままである。また、ノードNAの電位が電位VSSと同等の
値のままであるため、トランジスタ66、トランジスタ69はオフ状態のままである。ま
た、トランジスタ65のゲートの電位は、電位VDDよりも低い電位Vaであるため、ノ
ードNDの電位がVa−Vth65になる。これは、クロック信号CK1のローレベルの
電位よりも高く、ハイレベルの電位よりも低い値である。また、出力信号OUT、出力信
号SROUTの電位は、クロック信号CK1のローレベルと同等の値になる。期間T4乃
至期間T6に示すように、出力信号OUT、出力信号SROUTがローレベルのとき、ノ
ードNDの電位は、電位VSSと、クロック信号CK1のローレベルの電位よりも高く、
ハイレベルの電位よりも低いVa−Vth65と、に交互に変化する。よって、トランジ
スタ66のドレインの電位が電位VDDと電位VSSとに交互に変化する場合と比較して
、トランジスタに対するストレスを抑制できる。
At this time, the potential of the node NB remains at the same value as the potential VDD.
2. The transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 remain on.
Further, since the potential of the node NC remains at the same value as the potential Va, the transistor 65 and the transistor 68 remain on. Further, since the potential of the node NA remains equal to the potential VSS, the transistors 66 and 69 remain off. Further, since the potential of the gate of the transistor 65 is a potential Va lower than the potential VDD, the potential of the node ND is Va-Vth65. This is higher than the low level potential of the clock signal CK1 and lower than the high level potential. Further, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT have values equivalent to the low level of the clock signal CK1. As shown in the period T4 to the period T6, when the output signal OUT and the output signal SROUT are at low level, the potential of the node ND is higher than the potential VSS and the low level of the clock signal CK1.
It alternately changes to Va-Vth65 lower than the high level potential. Therefore, stress on the transistor can be suppressed as compared to the case where the potential of the drain of the transistor 66 is alternately changed to the potential VDD and the potential VSS.

以上が図2(A)に示すパルス出力回路の説明である。 The above is the description of the pulse output circuit illustrated in FIG.

なお、本実施の形態に係るパルス出力回路の構成は、上記構成に限定されず、他の構成に
することもできる。
The configuration of the pulse output circuit according to the present embodiment is not limited to the above configuration, and may be another configuration.

例えば、図3(A)に示すパルス出力回路は、図2(B)に示すパルス出力回路のトラン
ジスタ62のゲートをトランジスタ72のソース及びドレインの他方に電気的に接続する
代わりに、トランジスタ62のゲートにリセット信号RINを入力する構成である。これ
により、パルス出力回路をリセット状態にする際に、ノードNAの電位を電位VSSと同
等の値に設定する速度を速くできる。
For example, instead of electrically connecting the gate of the transistor 62 of the pulse output circuit shown in FIG. 2B to the other of the source and the drain of the transistor 72, the pulse output circuit shown in FIG. A reset signal RIN is input to the gate. Thus, when the pulse output circuit is reset, the speed at which the potential of the node NA is set to a value equal to the potential VSS can be increased.

また、図3(B)に示すように、図2(B)に示すパルス出力回路のトランジスタ64、
トランジスタ68、トランジスタ69、トランジスタ70、トランジスタ73、トランジ
スタ75、トランジスタ76を必ずしも設けなくてもよい。
Also, as shown in FIG. 3B, the transistor 64 of the pulse output circuit shown in FIG.
The transistors 68, 69, 70, 73, 75, and 76 may not necessarily be provided.

また、図4に示すように、トランジスタ62乃至トランジスタ76のそれぞれにバックゲ
ートを設け、バックゲートの電位を制御することによりトランジスタ62乃至トランジス
タ76のしきい値電圧を制御してもよい。例えば、Nチャネル型トランジスタのバックゲ
ートに負電位を与えると、Nチャネル型トランジスタのしきい値電圧を正方向にシフトさ
せることができる。図4に示すパルス出力回路において、トランジスタ61、トランジス
タ64、トランジスタ72、トランジスタ73、トランジスタ75、及びトランジスタ7
6のバックゲートのそれぞれには、電位BG1が与えられ、トランジスタ62、トランジ
スタ63、トランジスタ65乃至トランジスタ71、及びトランジスタ74のバックゲー
トのそれぞれには、電位BG2が与えられる。なお、電位BG1及び電位BG2として負
電位を用いる場合、電位BG2の値は、電位BG1よりも低いことが好ましい。電位BG
1が供給されるトランジスタのしきい値電圧が高すぎると、パルス出力回路の動作不良が
起こりやすいためである。
Further, as shown in FIG. 4, a back gate may be provided for each of the transistors 62 to 76, and the threshold voltage of the transistors 62 to 76 may be controlled by controlling the potential of the back gate. For example, when a negative potential is applied to the back gate of the n-channel transistor, the threshold voltage of the n-channel transistor can be shifted in the positive direction. In the pulse output circuit illustrated in FIG. 4, the transistor 61, the transistor 64, the transistor 72, the transistor 73, the transistor 75, and the transistor 7 are included.
A potential BG1 is applied to each of the back gates 6 and a potential BG2 is applied to each of the back gates of the transistor 62, the transistor 63, the transistors 65 to 71, and the transistor 74. Note that in the case of using a negative potential as the potential BG1 and the potential BG2, the value of the potential BG2 is preferably lower than the potential BG1. Potential BG
This is because if the threshold voltage of the transistor supplied with 1 is too high, malfunction of the pulse output circuit is likely to occur.

なお、図3(A)又は図3(B)に示す構成においても同様に、トランジスタにバックゲ
ートを設けてもよい。
Note that a back gate may be provided for the transistor in the structure shown in FIG. 3A or 3B as well.

さらに、図2(A)に示すパルス出力回路を複数段備えるシフトレジスタの例について図
5を参照して説明する。
Further, an example of a shift register including a plurality of pulse output circuits illustrated in FIG. 2A will be described with reference to FIG.

図5(A)に示すシフトレジスタ30は、複数段のパルス出力回路(パルス出力回路31
_1乃至パルス出力回路31_N(Nは2以上の自然数)を有する。図5(A)では、一
例としてN=4以上の場合について示す。
The shift register 30 shown in FIG. 5A includes a plurality of pulse output circuits (pulse output circuits 31).
_1 to pulse output circuit 31_N (N is a natural number of 2 or more). FIG. 5A shows the case of N = 4 or more as an example.

パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_Nのそれぞれは、図2(A)に示すパ
ルス出力回路に相当する。パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_Nは、図5
(B)に示すように、セット信号LIN、リセット信号RIN、初期化信号RES、クロ
ック信号CK1、クロック信号CK2、及びクロック信号CK3に従い、出力信号OUT
、出力信号SROUTとして複数のパルス信号を生成して出力する機能を有する。
Each of the pulse output circuits 31_1 to 31_N corresponds to the pulse output circuit illustrated in FIG. The pulse output circuits 31_1 to 31_N are shown in FIG.
As shown in (B), according to the set signal LIN, the reset signal RIN, the initialization signal RES, the clock signal CK1, the clock signal CK2, and the clock signal CK3, the output signal OUT
, Has a function of generating and outputting a plurality of pulse signals as the output signal SROUT.

パルス出力回路31_1には、セット信号LINとしてスタートパルス信号SPが入力さ
れる。さらに、パルス出力回路31_K(Kは2以上N以下の自然数)には、セット信号
LINとしてパルス出力回路31_K−1から出力されるパルス信号(出力信号SROU
T)が入力される。
The start pulse signal SP is input to the pulse output circuit 31_1 as the set signal LIN. Further, a pulse signal (output signal SROU) output from the pulse output circuit 31_K-1 as the set signal LIN to the pulse output circuit 31_K (K is a natural number not less than 2 and not more than N) is output.
T) is input.

パルス出力回路31_M(MはN−1以下の自然数)には、リセット信号RINとしてパ
ルス出力回路31_M+2から出力されるパルス信号(出力信号SROUT)が入力され
る。
A pulse signal (output signal SROUT) output from the pulse output circuit 31_M + 2 is input as the reset signal RIN to the pulse output circuit 31_M (M is a natural number less than or equal to N-1).

さらに、パルス出力回路31_1には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK1
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK2が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK3が入力される。さらに、パルス出力回路31_1を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
1が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK2が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK3が入力される。
Further, the pulse output circuit 31_1 receives the clock signal CLK1 as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK3. Furthermore, with reference to the pulse output circuit 31_1, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every third pulse output circuit.
1 is input, the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_2には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK2
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK3が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK4が入力される。さらに、パルス出力回路31_2を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
2が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK3が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK4が入力される。
Furthermore, the pulse output circuit 31_2 receives the clock signal CLK2 as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK3. Furthermore, with reference to the pulse output circuit 31_2, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every three pulse output circuits.
2 is input, the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_3には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK3
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK4が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK1が入力される。さらに、パルス出力回路31_3を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
3が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK4が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK1が入力される。
Further, the pulse output circuit 31_3 receives the clock signal CLK3 as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK3. Furthermore, with the pulse output circuit 31_3 as a reference, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every third pulse output circuit.
3 is input, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK3.

パルス出力回路31_4には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK4が入力さ
れ、クロック信号CK2としてクロック信号CLK1が入力され、クロック信号CK3と
してクロック信号CLK2が入力される。さらに、パルス出力回路31_4を基準として
、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK4が入力
され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK1が入力され、クロック信号CK3
としてクロック信号CLK2が入力される。なお、図5(A)では、一例として、パルス
出力回路31_N+2に入力されるにクロック信号CK1、クロック信号CK2、及びク
ロック信号CK3が、パルス出力回路31_4に入力されるクロック信号CK1、クロッ
ク信号CK2、及びクロック信号CK3と同じであるとする。
The clock signal CLK4 is input as the clock signal CK1 to the pulse output circuit 31_4, the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK3. Furthermore, with reference to the pulse output circuit 31_4, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK1 every three pulse output circuits, the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CK3 is generated.
The clock signal CLK2 is input as In FIG. 5A, as an example, the clock signal CK1 and the clock signal CK2 which are input to the pulse output circuit 31_N + 2, and the clock signal CK1 and the clock signal CK2 which are input to the pulse output circuit 31_4. , And the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_N+1及びパルス出力回路31_N+2のそれぞれの構成
は、図2(A)に示すパルス出力回路の構成のうち、トランジスタ72が無い構成である
。パルス出力回路31_N+1から出力されるパルス信号(出力信号SROUT_N+1
)は、リセット信号RINとしてパルス出力回路31_N−1に入力される。また、パル
ス出力回路31_N+2から出力されるパルス信号(出力信号SROUT_N+2)は、
リセット信号RINとしてパルス出力回路31_Nに入力される。なお、パルス出力回路
31_N+1、パルス出力回路31_N+2を設けずに、別途生成したパルス信号をパル
ス出力回路31_N−1、パルス出力回路31_Nに入力してもよい。また、必ずしも出
力信号OUT_N+1及び出力信号OUT_N+2を出力しなくてもよい。
Further, each configuration of the pulse output circuit 31_N + 1 and the pulse output circuit 31_N + 2 is a configuration without the transistor 72 in the configuration of the pulse output circuit shown in FIG. Pulse signal (output signal SROUT_N + 1 output from the pulse output circuit 31_N + 1
) Is input to the pulse output circuit 31_N-1 as a reset signal RIN. The pulse signal (output signal SROUT_N + 2) output from the pulse output circuit 31_N + 2 is
The pulse output circuit 31_N is input as the reset signal RIN. A pulse signal generated separately may be input to the pulse output circuit 31_N-1 and the pulse output circuit 31_N without providing the pulse output circuit 31_N + 1 and the pulse output circuit 31_N + 2. Also, the output signal OUT_N + 1 and the output signal OUT_N + 2 may not necessarily be output.

さらに、パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_N+2のそれぞれには、初期
化信号RESとして、初期化信号INI_RESが入力される。
Further, an initialization signal INI_RES is input as an initialization signal RES to each of the pulse output circuits 31_1 to 31_N + 2.

次に、図5(A)に示すシフトレジスタ30の駆動方法例について、図5(C)のタイミ
ングチャートを参照して説明する。ここでは、一例として、電位VDDが正の電位であり
、電位VSSが負の電位であり、電位Vaが(VDD+VSS)/2であるとして説明す
る。また、一例として、セット信号LIN、リセット信号RIN、及びクロック信号CL
K1乃至クロック信号CLK4のハイレベルの電位は、電位VDDと同じであり、ローレ
ベルの電位は、電位VSSと同じであるとする。また、一例として、クロック信号CLK
1乃至クロック信号CLK4のデューティ比が50%であるとする。また、一例として、
クロック信号CLK2がクロック信号CLK1よりも1/4周期分遅れているとし、クロ
ック信号CLK3がクロック信号CLK2よりも1/4周期分遅れているとし、クロック
信号CLK4がクロック信号CLK3よりも1/4周期分遅れているとする。また、一例
として、スタートパルス信号SPのパルスの幅がクロック信号CLK1乃至クロック信号
CLK4のパルスの幅と同じであるとする。また、各パルス出力回路がセット状態になる
前に、初期化信号INI_RESのパルスを入力し、パルス出力回路の初期化を行うとす
る。
Next, an example of a method of driving the shift register 30 shown in FIG. 5A will be described with reference to a timing chart of FIG. Here, as an example, the potential VDD is a positive potential, the potential VSS is a negative potential, and the potential Va is (VDD + VSS) / 2. Also, as an example, the set signal LIN, the reset signal RIN, and the clock signal CL
The high level potentials of the clock signals K1 to CLK4 are the same as the potential VDD, and the low level potential is the same as the potential VSS. Also, as an example, clock signal CLK
It is assumed that the duty ratio of 1 to the clock signal CLK4 is 50%. Also, as an example,
It is assumed that the clock signal CLK2 is delayed by 1/4 cycle from the clock signal CLK1, and the clock signal CLK3 is delayed by 1/4 cycle from the clock signal CLK2. The clock signal CLK4 is 1/4 of the clock signal CLK3. It is assumed that the period is delayed. Further, as an example, it is assumed that the pulse width of the start pulse signal SP is the same as the pulse width of the clock signals CLK1 to CLK4. In addition, before each pulse output circuit is in the set state, the pulse of the initialization signal INI_RES is input to initialize the pulse output circuit.

図5(C)に示すように、図5(A)に示すシフトレジスタ30は、時刻T11にスター
トパルス信号SPがハイレベルになることにより、時刻T12にクロック信号CLK1が
ハイレベルになる。さらに、シフトレジスタ30は、クロック信号CLK1乃至クロック
信号CLK4に従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパルスを順
次出力し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する。
As shown in FIG. 5C, in the shift register 30 shown in FIG. 5A, when the start pulse signal SP becomes high at time T11, the clock signal CLK1 becomes high at time T12. Further, the shift register 30 sequentially outputs the pulses of the output signals SROUT_1 to SROUT_N according to the clock signals CLK1 to CLK4, and sequentially outputs the pulses of the output signals OUT_1 to OUT_N.

以上が図5(A)に示すシフトレジスタ30の駆動方法例の説明である。 The above is the description of the example of the method for driving the shift register 30 illustrated in FIG.

なお、図5(A)に示すシフトレジスタ30に保護回路を設けてもよい。例えば、図6(
A)に示すシフトレジスタ30は、図5(A)に示すシフトレジスタにおいて、初期化信
号INI_RES、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4、スタートパルス信
号SPを入力するための配線に保護回路32が電気的に接続された構成である。
Note that a protective circuit may be provided in the shift register 30 illustrated in FIG. For example, FIG.
In the shift register 30 shown in A), in the shift register shown in FIG. 5A, the protection circuit 32 is electrically connected to the wiring for inputting the initialization signal INI_RES, the clock signals CLK1 to CLK4, and the start pulse signal SP. Are connected to each other.

また、図6(B)に示すシフトレジスタ30は、図6(A)に示すシフトレジスタ30か
ら出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nを出力するための配線に保護回路33が電
気的に接続された構成である。
Further, the shift register 30 shown in FIG. 6B has a configuration in which the protection circuit 33 is electrically connected to the wiring for outputting the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N from the shift register 30 shown in FIG. 6A. It is.

また、図5(A)に示すシフトレジスタ30に図6(A)に示す保護回路32と、図6(
B)に示す保護回路33を設けてもよい。
Further, in the shift register 30 shown in FIG. 5A, the protection circuit 32 shown in FIG.
A protective circuit 33 shown in B) may be provided.

保護回路32及び保護回路33は、自身が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられ
たときに、該配線と別の電源線とを導通状態にする回路である。保護回路32及び保護回
路33は、例えばダイオードなどを用いて構成される。
The protective circuit 32 and the protective circuit 33 are circuits that, when a potential outside a certain range is applied to a wire connected thereto, electrically connect the wire to another power supply line. The protection circuit 32 and the protection circuit 33 are configured using, for example, a diode.

図6に示すように、保護回路を設けることにより、シフトレジスタにおいて、静電気放電
(ESDともいう)などにより発生する過電圧の電気耐性を高めることができる。
As shown in FIG. 6, by providing a protective circuit, electrical resistance of overvoltage generated by electrostatic discharge (also referred to as ESD) or the like can be increased in the shift register.

図1乃至図6を参照して説明したように、本実施の形態に係るパルス出力回路の一例では
、トランジスタ11を設け、出力するパルス信号がローレベルの期間において、トランジ
スタ11により、トランジスタ12のソース及びドレインの一方の電位をクロック信号の
ハイレベルの電位よりも低くする。これにより、トランジスタ12に与えられるストレス
を抑制できるため、トランジスタの劣化を抑制できる。
As described with reference to FIGS. 1 to 6, in the example of the pulse output circuit according to this embodiment, the transistor 11 is provided, and the transistor 11 outputs the pulse signal of the transistor 12 during the low level period. The potential of one of the source and the drain is made lower than the high level potential of the clock signal. Thus, stress applied to the transistor 12 can be suppressed, so that deterioration of the transistor can be suppressed.

(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1に係るパルス出力回路を用いた表示装置の例について図
7乃至図10を参照して説明する。
Second Embodiment
In this embodiment, an example of a display device using the pulse output circuit according to Embodiment 1 will be described with reference to FIGS.

図7(A)に示す表示装置は、画素部201と、駆動回路部202と、を含む。 The display device illustrated in FIG. 7A includes a pixel portion 201 and a driver circuit portion 202.

画素部201は、X行(Xは2以上の自然数)Y列(Yは2以上の自然数)に配置された
複数の画素回路211を備え、駆動回路部202は、ゲートドライバ221、ソースドラ
イバ223などの駆動回路を備える。
The pixel unit 201 includes a plurality of pixel circuits 211 arranged in X rows (X is a natural number of 2 or more) and Y columns (Y is a natural number of 2 or more), and the drive circuit unit 202 includes a gate driver 221 and a source driver 223. And other drive circuits.

ゲートドライバ221は、実施の形態1に示すパルス出力回路を複数段有するシフトレジ
スタ(例えば図5(A)に示すシフトレジスタ30)を備える。例えば、ゲートドライバ
221は、シフトレジスタから出力されるパルス信号により、走査線GL_1乃至GL_
Xの電位を制御する機能を有する。なお、ゲートドライバ221を複数設け、複数のゲー
トドライバ221により、走査線GL_1乃至GL_Xを分割して制御してもよい。
The gate driver 221 includes a shift register (for example, the shift register 30 illustrated in FIG. 5A) including a plurality of stages of the pulse output circuit described in Embodiment 1. For example, the gate driver 221 controls the scan lines GL_1 to GL_ according to pulse signals output from the shift register.
It has a function of controlling the potential of X. Note that a plurality of gate drivers 221 may be provided and the scan lines GL_1 to GL_X may be divided and controlled by the plurality of gate drivers 221.

ソースドライバ223には、画像信号が入力される。ソースドライバ223は、画像信号
を元に画素回路211に書き込むデータ信号を生成する機能を有する。また、ソースドラ
イバ223は、データ線DL_1乃至DL_Yの電位を制御する機能を有する。
An image signal is input to the source driver 223. The source driver 223 has a function of generating a data signal to be written to the pixel circuit 211 based on an image signal. Further, the source driver 223 has a function of controlling the potentials of the data lines DL_1 to DL_Y.

ソースドライバ223は、例えば複数のアナログスイッチなどを用いて構成される。ソー
スドライバ223は、複数のアナログスイッチを順次オン状態にすることにより、画像信
号を時分割した信号をデータ信号として出力できる。また、シフトレジスタなどを用いて
ソースドライバ223を構成してもよい。このとき、シフトレジスタとしては、実施の形
態1に示すパルス出力回路を複数段有するシフトレジスタ(例えば図5(A)に示すシフ
トレジスタ30)を用いることができる。
The source driver 223 is configured using, for example, a plurality of analog switches. The source driver 223 can output a signal obtained by time-dividing an image signal as a data signal by sequentially turning on the plurality of analog switches. Further, the source driver 223 may be configured using a shift register or the like. At this time, as the shift register, a shift register (for example, the shift register 30 illustrated in FIG. 5A) including a plurality of stages of the pulse output circuit described in Embodiment 1 can be used.

複数の画素回路211のそれぞれは、複数の走査線GLの一つを介してパルス信号が入力
され、複数のデータ線DLの一つを介してデータ信号が入力される。複数の画素回路21
1のそれぞれは、ゲートドライバ221によりデータ信号のデータの書き込み及び保持が
制御される。例えば、m行n列目の画素回路211は、走査線GL_m(mはX以下の自
然数)を介してゲートドライバ221からパルス信号が入力され、走査線GL_mの電位
に応じてデータ線DL_n(nはY以下の自然数)を介してソースドライバ223からデ
ータ信号が入力される。
Each of the plurality of pixel circuits 211 receives a pulse signal via one of the plurality of scanning lines GL, and receives a data signal via one of the plurality of data lines DL. Multiple pixel circuits 21
In each of 1s, the gate driver 221 controls writing and holding of data of the data signal. For example, in the pixel circuit 211 in the m-th row and the n-th column, a pulse signal is input from the gate driver 221 via the scanning line GL_m (m is a natural number less than or equal to X), and the data line DL_n (n Is a natural number less than or equal to Y) and the data signal is input from the source driver 223.

複数の画素回路211のそれぞれは、例えば、図7(B−1)に示すように、液晶素子2
30と、トランジスタ231_1と、容量素子233_1と、を備える。
Each of the plurality of pixel circuits 211 is, for example, a liquid crystal element 2 as shown in FIG. 7 (B-1).
30, a transistor 231_1, and a capacitor 233_1.

液晶素子230の一対の電極の一方の電位は、画素回路211の仕様に応じて適宜設定さ
れる。液晶素子230は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複数
の画素回路211のそれぞれが有する液晶素子230の一対の電極の一方に共通の電位(
コモン電位)を与えてもよい。また、各行の画素回路211毎の液晶素子230の一対の
電極の一方に異なる電位を与えてもよい。
The potential of one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 is appropriately set in accordance with the specification of the pixel circuit 211. The alignment state of the liquid crystal element 230 is set according to the data to be written. Note that a potential common to one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 included in each of the plurality of pixel circuits 211 (
Common potential) may be given. Further, different potentials may be applied to one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 for each pixel circuit 211 in each row.

例えば、液晶素子を備える表示装置の表示方式としては、TN(Twisted Nem
atic)モード、IPS(In Plane Switching)モード、STN(
Super Twisted Nematic)モード、VA(Vertical Al
ignment)モード、ASM(Axially Symmetric Aligne
d Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensat
ed Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric L
iquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric
Liquid Crystal)モード、MVA(Multi−Domain Ver
tical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertic
al Alignment)モード、FFS(Fringe Field Switch
ing)モード、又はTBA(Transverse Bend Alignment)
モードなどを用いてもよい。
For example, as a display method of a display device provided with a liquid crystal element, TN (Twisted Nem
atic) mode, IPS (In Plane Switching) mode, STN (
Super Twisted Nematic mode, VA (Vertical Al)
ignment mode, ASM (Axially Symmetric Aligne)
d Micro-cell mode, OCB (Optically Compensat)
ed Birefringence) mode, FLC (Ferroelectric L)
Liquid Crystal) mode, AFLC (AntiFerroelectric)
Liquid Crystal mode, MVA (Multi-Domain Ver)
tical Alignment mode, PVA (Patterned Vertic)
al Alignment mode, FFS (Fringe Field Switch)
ing) mode or TBA (Transverse Bend Alignment)
A mode or the like may be used.

また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物により液晶素子を構成しても
よい。ブルー相を示す液晶は、応答速度が1msec以下と短く、光学的等方性であるた
め、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。
Alternatively, the liquid crystal element may be formed of a liquid crystal composition including a liquid crystal exhibiting a blue phase and a chiral agent. A liquid crystal exhibiting a blue phase has a short response speed of 1 msec or less and is optically isotropic, so alignment processing is unnecessary and the viewing angle dependency is small.

m行n列目の画素回路211において、トランジスタ231_1のソース及びドレインの
一方は、データ線DL_nに電気的に接続され、他方は液晶素子230の一対の電極の他
方に電気的に接続される。また、トランジスタ231_1のゲートは、走査線GL_mに
電気的に接続される。トランジスタ231_1は、オン状態又はオフ状態になることによ
り、データ信号のデータの書き込みを制御する機能を有する。
In the pixel circuit 211 in the m-th row and the n-th column, one of the source and the drain of the transistor 231_1 is electrically connected to the data line DL_n, and the other is electrically connected to the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230. The gate of the transistor 231_1 is electrically connected to the scan line GL_m. The transistor 231_1 has a function of controlling data writing of a data signal by being turned on or off.

容量素子233_1の一対の電極の一方は、電位供給線VLに電気的に接続され、他方は
、液晶素子230の一対の電極の他方に電気的に接続される。なお、電位供給線VLの電
位の値は、画素回路211の仕様に応じて適宜設定される。容量素子233_1は、書き
込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。
One of the pair of electrodes of the capacitor 233_1 is electrically connected to the potential supply line VL, and the other is electrically connected to the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230. Note that the value of the potential of the potential supply line VL is appropriately set in accordance with the specification of the pixel circuit 211. The capacitor 233_1 has a function as a storage capacitor for storing written data.

図7(B−1)の画素回路211を備える表示装置では、ゲートドライバ221により各
行の画素回路211を順次選択し、トランジスタ231_1をオン状態にしてデータ信号
のデータを書き込む。
In the display device including the pixel circuit 211 in FIG. 7B-1, the gate driver 221 sequentially selects the pixel circuits 211 in each row, turns on the transistor 231_1, and writes data signal data.

データが書き込まれた画素回路211は、トランジスタ231_1がオフ状態になること
で保持状態になる。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
The pixel circuit 211 to which data is written is brought into the holding state as the transistor 231_1 is turned off. Images can be displayed by sequentially performing this on a row-by-row basis.

また、図7(B−2)に示す画素回路は、トランジスタ231_2と、容量素子233_
2と、トランジスタ234と、発光素子(ELともいう)235と、を備える。
The pixel circuit illustrated in FIG. 7B2 includes the transistor 231_2 and the capacitor 233_.
, A transistor 234, and a light emitting element (also referred to as EL) 235.

トランジスタ231_2のソース及びドレインの一方は、データ線DL_nに電気的に接
続される。さらに、トランジスタ231_2のゲートは、ゲート信号線GL_mに電気的
に接続される。
One of the source and the drain of the transistor 231_2 is electrically connected to the data line DL_n. Further, the gate of the transistor 231_2 is electrically connected to the gate signal line GL_m.

トランジスタ231_2は、オン状態又はオフ状態になることにより、データ信号のデー
タの書き込みを制御する機能を有する。
The transistor 231_2 has a function of controlling data writing of a data signal by being turned on or off.

容量素子233_2の一対の電極の一方は、電源線VL_aに電気的に接続され、他方は
、トランジスタ231_2のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the pair of electrodes of the capacitor 233_2 is electrically connected to the power supply line VL_a, and the other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 231_2.

容量素子233_2は、書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。 The capacitor 233_2 has a function as a storage capacitor for storing written data.

トランジスタ234のソース及びドレインの一方は、電源線VL_aに電気的に接続され
る。さらに、トランジスタ234のゲートは、トランジスタ231_2のソース及びドレ
インの他方に電気的に接続される。
One of the source and the drain of the transistor 234 is electrically connected to the power supply line VL_a. Further, the gate of the transistor 234 is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 231_2.

発光素子235のアノード及びカソードの一方は、電源線VL_bに電気的に接続され、
他方は、トランジスタ234のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the anode and the cathode of the light emitting element 235 is electrically connected to the power supply line VL_b,
The other is electrically connected to the other of the source and the drain of the transistor 234.

発光素子235としては、例えば有機エレクトロルミネセンス素子などを用いることがで
きる。
As the light emitting element 235, for example, an organic electroluminescent element or the like can be used.

なお、電源線VL_a及び電源線VL_bの一方には、電位VDDが与えられ、他方には
、電位VSSが与えられる。
Note that the potential VDD is applied to one of the power supply line VL_a and the power supply line VL_b, and the potential VSS is applied to the other.

図7(B−2)の画素回路211を備える表示装置では、ゲートドライバ221により各
行の画素回路211を順次選択し、トランジスタ231_2をオン状態にしてデータ信号
のデータを書き込む。
In the display device including the pixel circuit 211 in FIG. 7B-2, the pixel circuit 211 in each row is sequentially selected by the gate driver 221, the transistor 231_2 is turned on, and data signal data is written.

データが書き込まれた画素回路211は、トランジスタ231_2がオフ状態になること
で保持状態になる。さらに、書き込まれたデータ信号の電位に応じてトランジスタ234
のソースとドレインの間に流れる電流量が制御され、発光素子235は、流れる電流量に
応じた輝度で発光する。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
The pixel circuit 211 to which data is written is brought into a holding state by turning off the transistor 231_2. Furthermore, the transistor 234 responds to the potential of the written data signal.
The amount of current flowing between the source and the drain of the light emitting diode 235 is controlled, and the light emitting element 235 emits light at a luminance corresponding to the amount of current flowing. Images can be displayed by sequentially performing this on a row-by-row basis.

さらに、図7(A)に示す表示装置が、低消費電力モードでの動作が可能な場合の駆動方
法の例について、図8のタイミングチャートを参照して説明する。ここでは、一例として
、ゲートドライバ221に実施の形態1に示すシフトレジスタを用いる場合について説明
する。
Further, an example of a driving method in the case where the display device illustrated in FIG. 7A can operate in the low power consumption mode will be described with reference to a timing chart in FIG. Here, as an example, the case where the shift register described in Embodiment 1 is used for the gate driver 221 will be described.

図7(A)に示す表示装置の動作は、通常モード及び低消費電力モードに分けられる。 The operation of the display device shown in FIG. 7A can be divided into a normal mode and a low power consumption mode.

通常モードのときの動作について説明する。このとき、図8の期間311に示すように、
スタートパルス信号SP、電源電圧PWR、及びクロック信号CLK1乃至クロック信号
CLK4をシフトレジスタに入力すると、シフトレジスタは、スタートパルス信号SPの
パルスに従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパルスを順次出力
し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する。なお、電源電
圧PWRとしては、電位VDDと電位VSSからなる電源電圧、電位Vaと電位VSSか
らなる電源電圧が挙げられる。
The operation in the normal mode will be described. At this time, as shown in a period 311 of FIG.
When the start pulse signal SP, the power supply voltage PWR, and the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4 are input to the shift register, the shift register sequentially outputs the pulses of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N according to the pulse of the start pulse signal SP, Pulses of the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N are sequentially output. The power supply voltage PWR includes a power supply voltage including the potential VDD and the potential VSS, and a power supply voltage including the potential Va and the potential VSS.

次に、通常モードから低消費電力モードになるときの動作について説明する。このとき、
図8の期間312に示すように、シフトレジスタに対する電源電圧PWR、クロック信号
CLK1乃至クロック信号CLK4、及びスタートパルス信号SPの出力を停止させる。
Next, the operation when changing from the normal mode to the low power consumption mode will be described. At this time,
As shown in a period 312 of FIG. 8, the output of the power supply voltage PWR, the clock signals CLK1 to CLK4 and the start pulse signal SP to the shift register is stopped.

このとき、シフトレジスタに対し、まずスタートパルス信号SPの入力を停止させ、次に
クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4の入力を順次停止させ、次に電源電圧P
WRの入力を停止させることが好ましい。これにより、シフトレジスタの誤動作を抑制で
きる。
At this time, the input of the start pulse signal SP is first stopped for the shift register, then the input of the clock signals CLK1 to CLK4 is sequentially stopped, and then the power supply voltage P
It is preferable to stop the input of WR. Thereby, the malfunction of the shift register can be suppressed.

シフトレジスタに対する電源電圧PWR、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK
4、及びスタートパルス信号SPの入力を停止させると、出力信号SROUT_1乃至出
力信号SROUT_Nのパルスの出力が停止し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT
_Nのパルスの出力が停止する。よって、表示装置が低消費電力モードになる。
Power supply voltage PWR for shift register, clock signal CLK1 to clock signal CLK
4 and stop the input of the start pulse signal SP, the output of the pulses of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N is stopped, and the output signal OUT_1 to the output signal OUT
The output of the _N pulse is stopped. Thus, the display device is in the low power consumption mode.

その後シフトレジスタを通常モードに復帰させる場合には、図8の期間313に示すよう
に、シフトレジスタに対するスタートパルス信号SP、クロック信号CLK1乃至クロッ
ク信号CLK4、及び電源電圧PWRの入力を再開させる。
Thereafter, when the shift register is returned to the normal mode, the input of the start pulse signal SP, the clock signals CLK1 to CLK4 and the power supply voltage PWR to the shift register is resumed as shown in a period 313 of FIG.

このとき、シフトレジスタに対し、まず電源電圧PWRの入力を再開させ、次にクロック
信号CLK1乃至クロック信号CLK4の入力を再開させ、次にスタートパルス信号SP
の入力を再開させる。さらにこのとき、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4
が入力される配線の電位を電位VDDに設定した後にクロック信号CLK1乃至クロック
信号CLK4の入力を順次再開させることが好ましい。
At this time, for the shift register, first, the input of the power supply voltage PWR is resumed, and then the input of the clock signals CLK1 to CLK4 is resumed, and then the start pulse signal SP
Resume typing. Furthermore, at this time, clock signal CLK1 to clock signal CLK4 are
It is preferable that the input of the clock signals CLK1 to CLK4 be sequentially resumed after setting the potential of the wiring to which the signal is input to the potential VDD.

シフトレジスタに対するスタートパルス信号SP、クロック信号CLK1乃至クロック信
号CLK4、及び電源電圧PWRの入力を再開させると、シフトレジスタは、スタートパ
ルス信号SPのパルスに従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパ
ルスを順次出力し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する
。よって、表示装置は通常モードに復帰する。
When input of start pulse signal SP, clock signal CLK1 to clock signal CLK4, and power supply voltage PWR to the shift register is resumed, the shift register sequentially pulses the output signal SROUT_1 to output signal SROUT_N according to the pulse of the start pulse signal SP. It outputs and sequentially outputs pulses of the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N. Thus, the display device returns to the normal mode.

以上が表示装置の例の説明である。 The above is the description of the example of the display device.

図8を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、必要に応じて
シフトレジスタを備える駆動回路の動作を停止できる。よって、例えば画素回路のトラン
ジスタにオフ電流の低いトランジスタを用い、画像を表示する際に、一部又は全部の画素
回路でデータ信号の書き換えが不要である場合、駆動回路の動作を停止させ、書き換え間
隔を長くすることにより、消費電力を低減できる。
As described with reference to FIG. 8, in the example of the display device according to this embodiment, the operation of the drive circuit including the shift register can be stopped as needed. Therefore, for example, when a transistor with a low off current is used as a transistor in a pixel circuit and rewriting of a data signal is unnecessary in some or all pixel circuits when displaying an image, the operation of the driver circuit is stopped to perform rewriting. Power consumption can be reduced by increasing the interval.

なお、図9に示すように、ゲートドライバ221と画素回路211の間(ゲート信号線G
L)に保護回路225を接続してもよい。また、ソースドライバ223と画素回路211
の間(データ信号線DL)に保護回路225を接続してもよい。保護回路225は、自身
が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられたときに、該配線と別の電源線とを導通
状態にする回路である。保護回路225は、例えばダイオードなどを用いて構成される。
As shown in FIG. 9, the gate driver 221 and the pixel circuit 211 (a gate signal line G
A protection circuit 225 may be connected to L). Also, the source driver 223 and the pixel circuit 211
The protection circuit 225 may be connected during (data signal line DL). The protection circuit 225 is a circuit that brings a wiring and another power supply line into conduction when a potential outside the predetermined range is applied to the wiring that the protection circuit 225 itself connects. The protection circuit 225 is configured using, for example, a diode.

図9に示すように、保護回路を設けることにより、ESDなどにより発生する過電圧に対
する表示装置の耐性を高めることができる。
As shown in FIG. 9, the provision of the protection circuit can enhance the tolerance of the display device to overvoltage generated by ESD or the like.

図1乃至図9を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、実施
の形態1に示すパルス出力回路を用いてゲートドライバ、ソースドライバなどの駆動回路
を構成する。上記駆動回路では、トランジスタに対するストレスが小さいため、表示装置
の信頼性を高めることができる。
As described with reference to FIGS. 1 to 9, in the example of the display device according to this embodiment, a driver circuit such as a gate driver or a source driver is formed using the pulse output circuit described in Embodiment 1. . In the above driver circuit, since the stress on the transistor is small, the reliability of the display device can be improved.

さらに、本実施の形態に係る表示装置の構造例について図10を参照して説明する。 Furthermore, a structural example of the display device according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図10(A)に示す表示装置は、縦電界方式の液晶表示装置である。 The display device illustrated in FIG. 10A is a vertical electric field liquid crystal display device.

導電層703a及び703bは、絶縁層701を挟んで基板700の一平面に設けられる
The conductive layers 703 a and 703 b are provided on one surface of the substrate 700 with the insulating layer 701 interposed therebetween.

導電層703aは、駆動回路部202に設けられる。導電層703aは、駆動回路のトラ
ンジスタのゲートとしての機能を有する。
The conductive layer 703 a is provided in the driver circuit portion 202. The conductive layer 703a functions as a gate of a transistor in the driver circuit.

導電層703bは、画素部201に設けられる。導電層703bは、画素回路のトランジ
スタのゲートとしての機能を有する。
The conductive layer 703 b is provided in the pixel portion 201. The conductive layer 703 b functions as a gate of the transistor in the pixel circuit.

絶縁層704は、導電層703a及び703bの上に設けられる。絶縁層704は、駆動
回路のトランジスタのゲート絶縁層、及び画素回路のトランジスタのゲート絶縁層として
の機能を有する。
An insulating layer 704 is provided over the conductive layers 703a and 703b. The insulating layer 704 functions as a gate insulating layer of a transistor in a driver circuit and a gate insulating layer of a transistor in a pixel circuit.

半導体層705aは、絶縁層704を挟んで導電層703aに重畳する。半導体層705
aは、駆動回路のトランジスタのチャネルが形成される層(チャネル形成層ともいう)と
しての機能を有する。
The semiconductor layer 705a overlaps with the conductive layer 703a with the insulating layer 704 interposed therebetween. Semiconductor layer 705
a has a function as a layer (also referred to as a channel formation layer) in which a channel of a transistor of a driver circuit is formed.

半導体層705bは、絶縁層704を挟んで導電層703bに重畳する。半導体層705
bは、画素回路のトランジスタのチャネル形成層としての機能を有する。
The semiconductor layer 705 b overlaps with the conductive layer 703 b with the insulating layer 704 interposed therebetween. Semiconductor layer 705
b has a function as a channel formation layer of the transistor of the pixel circuit.

導電層706aは、半導体層705aに電気的に接続される。導電層706aは、駆動回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの一方としての機能を有する。
The conductive layer 706a is electrically connected to the semiconductor layer 705a. The conductive layer 706a functions as one of a source and a drain of the transistor in the driver circuit.

導電層706bは、半導体層705aに電気的に接続される。導電層706bは、駆動回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの他方としての機能を有する。
The conductive layer 706b is electrically connected to the semiconductor layer 705a. The conductive layer 706 b functions as the other of the source and the drain of the transistor in the driver circuit.

導電層706cは、半導体層705bに電気的に接続される。導電層706cは、画素回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの一方としての機能を有する。
The conductive layer 706c is electrically connected to the semiconductor layer 705b. The conductive layer 706c functions as one of a source and a drain of the transistor in the pixel circuit.

導電層706dは、半導体層705bに電気的に接続される。導電層706dは、画素回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの他方としての機能を有する。
The conductive layer 706 d is electrically connected to the semiconductor layer 705 b. The conductive layer 706d functions as the other of the source and the drain of the transistor in the pixel circuit.

絶縁層707は、半導体層705a及び半導体層705bの上、及び導電層706a乃至
導電層706dの上に設けられる。絶縁層707は、トランジスタを保護する絶縁層(保
護絶縁層ともいう)としての機能を有する。
The insulating layer 707 is provided over the semiconductor layers 705a and 705b and the conductive layers 706a to 706d. The insulating layer 707 has a function as an insulating layer which protects the transistor (also referred to as a protective insulating layer).

絶縁層708は、絶縁層707の上に設けられる。絶縁層708は、平坦化層としての機
能を有する。絶縁層708を設けることにより、絶縁層708よりも下層の導電層と絶縁
層708よりも上層の導電層とによる寄生容量の発生を抑制できる。
The insulating layer 708 is provided over the insulating layer 707. The insulating layer 708 functions as a planarization layer. By providing the insulating layer 708, generation of parasitic capacitance between the conductive layer below the insulating layer 708 and the conductive layer above the insulating layer 708 can be suppressed.

導電層709a及び導電層709b1は、絶縁層708の上に設けられる。 The conductive layer 709 a and the conductive layer 709 b 1 are provided over the insulating layer 708.

導電層709aは、絶縁層707及び絶縁層708を挟んで半導体層705aに重畳する
。導電層709aは、駆動回路のトランジスタのゲートとしての機能を有する。例えば、
導電層709aを駆動回路のトランジスタのバックゲートとして機能させてもよい。例え
ば、Nチャネル型トランジスタの場合、上記バックゲートに、負電位を与えることにより
、トランジスタのしきい値電圧を正方向にシフトさせることができる。また、上記バック
ゲートを接地させてもよい。
The conductive layer 709 a overlaps with the semiconductor layer 705 a with the insulating layer 707 and the insulating layer 708 interposed therebetween. The conductive layer 709a functions as a gate of a transistor in the driver circuit. For example,
The conductive layer 709a may function as a back gate of the transistor in the driver circuit. For example, in the case of an n-channel transistor, the threshold voltage of the transistor can be shifted in the positive direction by applying a negative potential to the back gate. Also, the back gate may be grounded.

導電層709b1は、画素回路の容量素子が有する一対の電極の一方としての機能を有す
る。
The conductive layer 709 b 1 functions as one of a pair of electrodes of a capacitor of a pixel circuit.

絶縁層710は、絶縁層708の表面及び導電層709b1の上に設けられる。なお、絶
縁層710のうち、駆動回路のトランジスタの上に形成される部分を除去することにより
、絶縁層708中の水素や水を外部に放出できるため、絶縁層707から絶縁層708が
剥がれてしまうことを抑制できる。絶縁層710は、保護絶縁層としての機能を有する。
また、絶縁層710は、画素回路の容量素子の誘電体層としての機能を有する。
The insulating layer 710 is provided on the surface of the insulating layer 708 and the conductive layer 709 b 1. Note that hydrogen and water in the insulating layer 708 can be released to the outside by removing a portion of the insulating layer 710 which is formed over the transistor in the driver circuit; It is possible to suppress the The insulating layer 710 has a function as a protective insulating layer.
The insulating layer 710 also functions as a dielectric layer of a capacitor of the pixel circuit.

導電層711は、絶縁層710の上に設けられ、絶縁層707、絶縁層708、及び絶縁
層710を貫通して設けられた開口部により導電層706dに電気的に接続される。さら
に、導電層711は、絶縁層710を挟んで導電層709b1に重畳する。導電層711
は、画素回路の液晶素子が有する一対の電極の一方、及び容量素子が有する一対の電極の
他方としての機能を有する。
The conductive layer 711 is provided over the insulating layer 710, and is electrically connected to the conductive layer 706d through an opening provided through the insulating layer 707, the insulating layer 708, and the insulating layer 710. Further, the conductive layer 711 overlaps with the conductive layer 709 b 1 with the insulating layer 710 interposed therebetween. Conductive layer 711
Has a function as one of the pair of electrodes of the liquid crystal element in the pixel circuit and the other of the pair of electrodes of the capacitor.

着色層722は、基板720の一平面の一部に設けられる。着色層722は、カラーフィ
ルタとしての機能を有する。
The coloring layer 722 is provided on part of one plane of the substrate 720. The colored layer 722 has a function as a color filter.

絶縁層723は、着色層722を挟んで基板720の一平面に設けられる。絶縁層723
は、平坦化層としての機能を有する。
The insulating layer 723 is provided on one surface of the substrate 720 with the coloring layer 722 interposed therebetween. Insulating layer 723
Has a function as a planarization layer.

導電層721は、絶縁層723の一平面に設けられる。導電層721は、画素回路の液晶
素子が有する一対の電極の他方としての機能を有する。なお、導電層721の上に別途絶
縁層を設けてもよい。
The conductive layer 721 is provided on one plane of the insulating layer 723. The conductive layer 721 has a function as the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element in the pixel circuit. Note that an insulating layer may be separately provided over the conductive layer 721.

液晶層750は、シール材751を用いて、導電層711と導電層721の間に設けられ
る。なお、絶縁層707及び絶縁層710のうち、シール材751下に位置する部分を除
去してもよい。
The liquid crystal layer 750 is provided between the conductive layer 711 and the conductive layer 721 using the sealant 751. Note that a portion of the insulating layer 707 and the insulating layer 710 located below the sealant 751 may be removed.

さらに、図10(B)に示す表示装置は、横電界方式(FFSモード)の表示装置であり
、図10(A)に示す表示装置と比較した場合、導電層703cを別途有し、導電層70
9b1の代わりに導電層709b2を有し、導電層711の代わりに導電層712を有し
、液晶層750の代わりに液晶層760を有する点が異なる。図10(A)に示す表示装
置と同じ部分については、図10(A)に示す表示装置の説明を適宜援用する。
Furthermore, the display device illustrated in FIG. 10B is a display device using a lateral electric field mode (FFS mode), and has a conductive layer 703 c separately as compared to the display device illustrated in FIG. 70
It differs in that a conductive layer 709 b 2 is provided instead of 9 b 1, a conductive layer 712 is provided instead of the conductive layer 711, and a liquid crystal layer 760 is provided instead of the liquid crystal layer 750. The description of the display device illustrated in FIG. 10A is incorporated as appropriate for the same portions as the display device illustrated in FIG.

導電層703cは、絶縁層701の上に設けられる。このとき、導電層706dは、絶縁
層704を挟んで導電層703cに重畳する。
The conductive layer 703 c is provided over the insulating layer 701. At this time, the conductive layer 706 d overlaps with the conductive layer 703 c with the insulating layer 704 interposed therebetween.

導電層709b2は、絶縁層708の上に設けられる。導電層709b2は、画素回路の
液晶素子が有する一対の電極の一方としての機能を有する。さらに、導電層709b2は
、画素回路の容量素子が有する一対の電極の一方としての機能を有する。
The conductive layer 709 b 2 is provided over the insulating layer 708. The conductive layer 709 b 2 functions as one of a pair of electrodes of a liquid crystal element in a pixel circuit. Further, the conductive layer 709 b 2 functions as one of a pair of electrodes of a capacitor of a pixel circuit.

導電層712は、絶縁層710の上に設けられ、絶縁層707、絶縁層708、及び絶縁
層710を貫通して設けられた開口部により導電層706dに電気的に接続される。また
、導電層712は、櫛歯部を有し、櫛歯部の櫛のそれぞれが絶縁層710を挟んで導電層
709b2に重畳する。導電層712は、画素回路の液晶素子が有する一対の電極の他方
としての機能を有する。さらに、導電層712は、画素回路の容量素子が有する一対の電
極の他方としての機能を有する。
The conductive layer 712 is provided over the insulating layer 710, and electrically connected to the conductive layer 706d through an opening provided through the insulating layer 707, the insulating layer 708, and the insulating layer 710. The conductive layer 712 has a comb-tooth portion, and the comb-tooth portions overlap with the conductive layer 709 b 2 with the insulating layer 710 interposed therebetween. The conductive layer 712 has a function as the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element in the pixel circuit. Further, the conductive layer 712 has a function as the other of the pair of electrodes of the capacitor in the pixel circuit.

液晶層760は、シール材751により、導電層711と導電層712の上に設けられる
The liquid crystal layer 760 is provided over the conductive layer 711 and the conductive layer 712 by the sealant 751.

なお、図10(A)及び図10(B)では、トランジスタをチャネルエッチ型のトランジ
スタとしているが、これに限定されず、例えばチャネルストップ型のトランジスタとして
もよい。また、トップゲート型のトランジスタとしてもよい。
Note that although the transistor is a channel etch type transistor in FIGS. 10A and 10B, the present invention is not limited to this. For example, a channel stop type transistor may be used. Alternatively, a top gate transistor may be used.

さらに、図10(A)及び図10(B)に示す表示装置の各構成要素について説明する。
なお、各層を積層構造にしてもよい。
Further, each component of the display device shown in FIGS. 10A and 10B will be described.
Each layer may have a laminated structure.

基板700及び720としては、例えばガラス基板又はプラスチック基板などを適用でき
る。
For example, a glass substrate or a plastic substrate can be used as the substrates 700 and 720.

絶縁層701としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。
As the insulating layer 701, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum oxynitride, aluminum nitride oxide, or hafnium oxide can be used, for example.

導電層703a乃至703cとしては、例えばモリブデン、チタン、クロム、タンタル、
マグネシウム、銀、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、又はスカンジウムなど
の金属材料を含む層を適用できる。
As the conductive layers 703a to 703c, for example, molybdenum, titanium, chromium, tantalum, or the like can be used.
A layer containing a metallic material such as magnesium, silver, tungsten, aluminum, copper, neodymium, or scandium can be applied.

絶縁層704としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。例えば、絶縁層70
4としては、窒化シリコン層及び酸化窒化シリコン層の積層を適用できる。このとき、上
記窒化シリコン層を、組成の異なる複数の窒化シリコン層の積層としてもよい。また、絶
縁層704として、酸化物層を用いてもよい。上記酸化物層としては、例えばIn:Ga
:Zn=1:3:2の原子比である酸化物の層などを用いることができる。
As the insulating layer 704, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum oxynitride, aluminum oxynitride, or hafnium oxide can be used, for example. For example, the insulating layer 70
As 4, a stack of a silicon nitride layer and a silicon oxynitride layer can be applied. At this time, the silicon nitride layer may be a stack of a plurality of silicon nitride layers having different compositions. Alternatively, an oxide layer may be used as the insulating layer 704. As the above oxide layer, for example, In: Ga
An oxide layer or the like having an atomic ratio of Zn: 1: 3: 2 can be used.

半導体層705a及び半導体層705bとしては、例えば酸化物半導体層を用いることが
できる。
For example, an oxide semiconductor layer can be used as the semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 705b.

上記酸化物半導体としては、実施の形態1に示すように、例えばIn系金属酸化物、Zn
系金属酸化物、In−Zn系金属酸化物、又はIn−Ga−Zn系金属酸化物などを適用
できる。また、上記In−Ga−Zn系金属酸化物に含まれるGaの一部若しくは全部の
代わりに他の金属元素を含む金属酸化物を用いてもよい。なお、上記酸化物半導体が結晶
を有していてもよい。例えば、上記酸化物半導体が多結晶又は単結晶でもよい。また、上
記酸化物半導体が非晶質でもよい。
As the oxide semiconductor, as described in Embodiment 1, for example, an In-based metal oxide, Zn,
For example, a base metal oxide, an In-Zn-based metal oxide, or an In-Ga-Zn-based metal oxide can be used. Alternatively, a metal oxide containing another metal element instead of part or all of Ga contained in the above In-Ga-Zn-based metal oxide may be used. Note that the above oxide semiconductor may have a crystal. For example, the oxide semiconductor may be polycrystalline or single crystal. In addition, the above oxide semiconductor may be amorphous.

上記他の金属元素としては、例えばガリウムよりも多くの酸素原子と結合が可能な金属元
素を用いればよく、例えばチタン、ジルコニウム、ハフニウム、ゲルマニウム、及び錫の
いずれか一つ又は複数の元素を用いればよい。また、上記他の金属元素としては、ランタ
ン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユウロピウム、ガドリニウム、テ
ルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、及び
ルテチウムのいずれか一つ又は複数の元素を用いればよい。これらの金属元素は、スタビ
ライザーとしての機能を有する。なお、これらの金属元素の添加量は、金属酸化物が半導
体として機能することが可能な量である。酸素原子との結合がガリウムよりも多くできる
金属元素を用い、さらには金属酸化物中に酸素を供給することにより、金属酸化物中の酸
素欠陥を少なくできる。
As the other metal element, for example, a metal element capable of binding to more oxygen atoms than gallium may be used, and for example, any one or more elements of titanium, zirconium, hafnium, germanium, and tin may be used. Just do it. In addition, as the other metal element, any one or more of lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium and lutetium can be used. Good. These metal elements have a function as a stabilizer. In addition, the addition amount of these metal elements is an amount which a metal oxide can function as a semiconductor. By using a metal element that can form more bonds with oxygen atoms than gallium and by supplying oxygen to the metal oxide, oxygen defects in the metal oxide can be reduced.

さらに、例えばIn:Ga:Zn=1:1:1の原子比である第1の酸化物半導体層、I
n:Ga:Zn=3:1:2の原子比である第2の酸化物半導体層、及びIn:Ga:Z
n=1:1:1の原子比である第3の酸化物半導体層の積層により、半導体層705a及
び半導体層705bを構成してもよい。上記積層により半導体層705a及び半導体層7
05bを構成することにより、例えばトランジスタの電界効果移動度を高めることができ
る。
Furthermore, for example, a first oxide semiconductor layer having an atomic ratio of In: Ga: Zn = 1: 1: 1, I
a second oxide semiconductor layer having an atomic ratio of n: Ga: Zn = 3: 1: 2, and In: Ga: Z
The semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 705b may be formed by stacking a third oxide semiconductor layer in which the atomic ratio of n is 1: 1: 1. The semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 7 are formed by the above lamination.
By forming 05b, for example, the field-effect mobility of the transistor can be increased.

上記酸化物半導体を含むトランジスタは、バンドギャップが広いため熱励起によるリーク
電流が少ない。さらに、正孔の有効質量が10以上と重く、トンネル障壁の高さが2.8
eV以上と高い。これにより、トンネル電流が少ない。さらに、半導体層中のキャリアが
極めて少ない。よって、オフ電流を低くできる。例えば、オフ電流は、室温(25℃)で
チャネル幅1μmあたり1×10−19A(100zA)以下である。より好ましくは1
×10−22A(100yA)以下である。トランジスタのオフ電流は、低ければ低いほ
どよいが、トランジスタのオフ電流の下限値は、約1×10−30A/μmであると見積
もられる。なお、上記酸化物半導体層に限定されず、半導体層705a及び半導体層70
5bとして14族(シリコンなど)の元素を有する半導体層を用いてもよい。例えば、シ
リコンを含む半導体層としては、単結晶シリコン層、多結晶シリコン層、又は非晶質シリ
コン層などを用いることができる。
The transistor including the oxide semiconductor has a wide band gap and thus has less leakage current due to thermal excitation. Furthermore, the effective mass of holes is as heavy as 10 or more, and the height of the tunnel barrier is 2.8
It is as high as eV or more. This reduces the tunnel current. Furthermore, the number of carriers in the semiconductor layer is extremely small. Thus, the off current can be reduced. For example, the off current is 1 × 10 −19 A (100 zA) or less per 1 μm of the channel width at room temperature (25 ° C.). More preferably 1
× 10-22 A (100 y A) or less. The lower the off-state current of the transistor, the better, but the lower limit of the off-state current of the transistor is estimated to be about 1 × 10 -30 A / μm. Note that the semiconductor layer 705 a and the semiconductor layer 70 are not limited to the above oxide semiconductor layer.
A semiconductor layer containing an element of Group 14 (such as silicon) may be used as 5b. For example, as a semiconductor layer containing silicon, a single crystal silicon layer, a polycrystalline silicon layer, an amorphous silicon layer, or the like can be used.

例えば、水素又は水などの不純物を可能な限り除去し、酸素を供給して酸素欠損を可能な
限り減らすことにより、上記酸化物半導体を含むトランジスタを作製できる。このとき、
チャネル形成領域において、ドナー不純物といわれる水素の量を、二次イオン質量分析法
(SIMSともいう)の測定値で1×1019/cm以下、好ましくは1×1018
cm以下に低減することが好ましい。
For example, the transistor including the above oxide semiconductor can be manufactured by removing impurities such as hydrogen or water as much as possible and supplying oxygen to reduce oxygen vacancies as much as possible. At this time,
In the channel formation region, the amount of hydrogen referred to as donor impurity is 1 × 10 19 / cm 3 or less, preferably 1 × 10 18 / cm or less as measured by secondary ion mass spectrometry (also referred to as SIMS).
It is preferable to reduce to cm 3 or less.

高純度化させた酸化物半導体層を電界効果トランジスタに用いることにより、酸化物半導
体層のキャリア密度を1×1014/cm未満、好ましくは1×1012/cm未満
、さらに好ましくは1×1011/cm未満にできる。このように、キャリア密度を少
なくすることにより、チャネル幅1μmあたりの電界効果トランジスタのオフ電流を1×
10−19A(100zA)以下、より好ましくは1×10−22A(100yA)以下
にまで抑制できる。電界効果トランジスタのオフ電流は、低ければ低いほどよいが、電界
効果トランジスタのオフ電流の下限値は、約1×10−30A/μmであると見積もられ
る。
The carrier density of the oxide semiconductor layer is less than 1 × 10 14 / cm 3 , preferably less than 1 × 10 12 / cm 3 , more preferably 1 by using the highly purified oxide semiconductor layer for a field effect transistor. It can be less than 10 11 / cm 3 . Thus, by reducing the carrier density, the off-state current of the field effect transistor per channel width 1 μm is 1 ×.
It can be suppressed to 10 −19 A (100 zA) or less, more preferably 1 × 10 −22 A (100 yA) or less. The lower the off current of the field effect transistor, the better, but the lower limit of the off current of the field effect transistor is estimated to be about 1 × 10 -30 A / μm.

なお、上記酸化物半導体を、CAAC−OSとしてもよい。 Note that the above oxide semiconductor may be a CAAC-OS.

例えば、スパッタリング法を用いてCAAC−OSである酸化物半導体層を形成できる。
このとき、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用いてスパッタリン
グを行う。上記スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用タ
ーゲットに含まれる結晶領域がa−b面から劈開し、a−b面に平行な面を有する平板状
又はペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。このとき、結晶状態を
維持したまま、上記スパッタリング粒子が基板に到達することにより、スパッタリング用
ターゲットの結晶状態が基板に転写される。これにより、CAAC−OSが形成される。
For example, the oxide semiconductor layer which is a CAAC-OS can be formed by a sputtering method.
At this time, sputtering is performed using a polycrystalline oxide semiconductor sputtering target. When ions collide with the sputtering target, the crystal region included in the sputtering target is cleaved from the a-b plane, and is separated as flat-plate-like or pellet-like sputtering particles having a plane parallel to the a-b plane. is there. At this time, while the crystalline state is maintained, the sputtered particles reach the substrate, whereby the crystalline state of the sputtering target is transferred to the substrate. Thus, a CAAC-OS is formed.

また、CAAC−OSを形成するために、以下の条件を適用することが好ましい。 Further, in order to form a CAAC-OS, the following conditions are preferably applied.

例えば、不純物濃度を低減させてCAAC−OSを形成することにより、不純物による酸
化物半導体の結晶状態の崩壊を抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物(水素、
水、二酸化炭素、及び窒素など)を低減することが好ましい。また、成膜ガス中の不純物
を低減することが好ましい。例えば、成膜ガスとして露点が−80℃以下、好ましくは−
100℃以下である成膜ガスを用いることが好ましい。
For example, when the impurity concentration is reduced to form the CAAC-OS, collapse of the crystalline state of the oxide semiconductor due to the impurity can be suppressed. For example, impurities (hydrogen,
It is preferable to reduce water, carbon dioxide, nitrogen and the like. Further, it is preferable to reduce impurities in the deposition gas. For example, as a deposition gas, the dew point is -80 ° C or less, preferably-
It is preferable to use a deposition gas whose temperature is 100 ° C. or less.

また、成膜時の基板温度を高くすることが好ましい。上記基板温度を高くすることにより
、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達したときに、スパッタリング粒子のマイグレ
ーションが起こり、平らな面を向けてスパッタリング粒子を基板に付着させることができ
る。例えば、基板加熱温度を100℃以上740℃以下、好ましくは200℃以上500
℃以下として酸化物半導体膜を成膜することにより酸化物半導体層を形成する。
Further, it is preferable to increase the substrate temperature at the time of film formation. By raising the temperature of the substrate, when flat-plate-like sputtered particles reach the substrate, migration of the sputtered particles occurs, and the sputtered particles can be attached to the substrate with the flat surface facing. For example, the substrate heating temperature is 100 ° C. to 740 ° C., preferably 200 ° C. to 500 ° C.
The oxide semiconductor layer is formed by deposition of an oxide semiconductor film at 0 ° C. or lower.

また、成膜ガス中の酸素割合を高くし、電力を最適化して成膜時のプラズマダメージを抑
制させることが好ましい。例えば、成膜ガス中の酸素割合を、30体積%以上、好ましく
は100体積%にすることが好ましい。
Further, it is preferable to increase the proportion of oxygen in the deposition gas and optimize the power to suppress plasma damage during deposition. For example, the proportion of oxygen in the film formation gas is preferably 30% by volume or more, preferably 100% by volume.

導電層706a乃至導電層706dとしては、例えばモリブデン、チタン、クロム、タン
タル、マグネシウム、銀、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム、
又はルテニウムなどの金属材料を含む層を適用できる。
As the conductive layers 706a to 706d, for example, molybdenum, titanium, chromium, tantalum, magnesium, silver, tungsten, aluminum, copper, neodymium, scandium,
Alternatively, a layer containing a metal material such as ruthenium can be applied.

絶縁層707としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。
As the insulating layer 707, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum oxynitride, aluminum nitride oxide, or hafnium oxide can be used, for example.

絶縁層708としては、例えば有機絶縁材料又は無機絶縁材料の層などを適用できる。例
えば、アクリル樹脂などを用いて絶縁層708を構成してもよい。
As the insulating layer 708, a layer of an organic insulating material or an inorganic insulating material can be used, for example. For example, the insulating layer 708 may be formed using an acrylic resin or the like.

導電層709a、導電層709b1、及び導電層709b2としては、例えば導体として
の機能を有し、光を透過する金属酸化物の層などを適用できる。例えば、酸化インジウム
酸化亜鉛又はインジウム錫酸化物などを適用できる。
As the conductive layer 709a, the conductive layer 709b1, and the conductive layer 709b2, for example, a layer of a metal oxide which has a function as a conductor and transmits light can be used. For example, indium oxide zinc oxide or indium tin oxide can be applied.

絶縁層710としては、例えば絶縁層704に適用可能な材料を用いることができる。 As the insulating layer 710, for example, a material applicable to the insulating layer 704 can be used.

導電層711、導電層712、及び導電層721としては、例えば光を透過する金属酸化
物の層などを適用できる。例えば、酸化インジウム酸化亜鉛又はインジウム錫酸化物など
を適用できる。
As the conductive layer 711, the conductive layer 712, and the conductive layer 721, for example, a layer of a metal oxide which transmits light can be used. For example, indium oxide zinc oxide or indium tin oxide can be applied.

着色層722は、例えば赤(R)、緑(G)、及び青(B)の一つを呈する光を透過する
機能を有する。着色層722としては、染料又は顔料を含む層を用いることができる。
The coloring layer 722 has a function of transmitting light exhibiting one of red (R), green (G), and blue (B), for example. As the coloring layer 722, a layer containing a dye or a pigment can be used.

絶縁層723としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。また、絶縁層723
に適用可能な材料の層を用いてもよい。
As the insulating layer 723, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum oxynitride, aluminum oxynitride, or hafnium oxide can be used, for example. In addition, the insulating layer 723
Layers of materials applicable to the

液晶層750としては、例えばTN液晶、OCB液晶、STN液晶、VA液晶、ECB型
液晶、GH液晶、高分子分散型液晶、又はディスコチック液晶などを含む層を用いること
ができる。
As the liquid crystal layer 750, for example, a layer containing TN liquid crystal, OCB liquid crystal, STN liquid crystal, VA liquid crystal, ECB liquid crystal, GH liquid crystal, polymer dispersed liquid crystal, or discotic liquid crystal can be used.

液晶層760としては、例えばブルー相を示す液晶を含む層を適用できる。 As the liquid crystal layer 760, a layer including liquid crystal exhibiting a blue phase can be used, for example.

ブルー相を示す液晶を含む層は、例えばブルー相を示す液晶、カイラル剤、液晶性モノマ
ー、非液晶性モノマー、及び重合開始剤を含む液晶組成物により構成される。ブルー相を
示す液晶は、応答時間が短く、光学的等方性であるため、配向処理が不要であり、視野角
依存性が小さい。よって、ブルー相を示す液晶を用いることにより、液晶表示装置の動作
を速くできる。
The layer containing liquid crystal exhibiting a blue phase is constituted of, for example, a liquid crystal composition including a liquid crystal exhibiting a blue phase, a chiral agent, a liquid crystalline monomer, a non-liquid crystalline monomer, and a polymerization initiator. A liquid crystal exhibiting a blue phase has a short response time and is optically isotropic, so alignment processing is unnecessary and the viewing angle dependency is small. Therefore, the operation of the liquid crystal display device can be speeded up by using the liquid crystal exhibiting a blue phase.

以上が図10に示す表示装置の構造例の説明である。 The above is the description of the structural example of the display device illustrated in FIG.

図10を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、画素回路と
同一基板上に駆動回路を設ける。これにより、画素回路と駆動回路を接続するための配線
の数を少なくできる。
As described with reference to FIG. 10, in the example of the display device according to this embodiment, the driver circuit is provided over the same substrate as the pixel circuit. Thus, the number of wirings for connecting the pixel circuit and the driver circuit can be reduced.

(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態2の表示装置を用いたパネルを備える電子機器の例につい
て、図11を参照して説明する。
Third Embodiment
In this embodiment, an example of an electronic device provided with a panel using the display device of Embodiment 2 will be described with reference to FIG.

図11(A)に示す電子機器は、携帯型情報端末の一例である。 The electronic device illustrated in FIG. 11A is an example of a portable information terminal.

図11(A)に示す電子機器は、筐体1011と、筐体1011に設けられたパネル10
12と、ボタン1013と、スピーカー1014と、を具備する。
The electronic device illustrated in FIG. 11A includes a housing 1011 and a panel 10 provided in the housing 1011.
12, a button 1013, and a speaker 1014.

なお、筐体1011に、外部機器に接続するための接続端子及び操作ボタンが設けられて
いてもよい。
Note that the housing 1011 may be provided with a connection terminal and an operation button for connecting to an external device.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1012を構成してもよい。 Furthermore, the display device of Embodiment 2 may be used to form a panel 1012.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1012を構成してもよい。これにより、パネル1
012においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Furthermore, the panel 1012 may be configured using a touch panel. Thus, panel 1
At 012, touch detection can be performed. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitive touch panel, a resistive touch panel, or the like can be applied.

ボタン1013は、筐体1011に設けられる。例えば、ボタン1013が電源ボタンで
あれば、ボタン1013を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1013 is provided on the housing 1011. For example, when the button 1013 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1013.

スピーカー1014は、筐体1011に設けられる。スピーカー1014は音声を出力す
る。
The speaker 1014 is provided in the housing 1011. The speaker 1014 outputs sound.

なお、筐体1011にマイクが設けられていてもよい。筐体1011にマイクを設けられ
ることにより、例えば図7(A)に示す電子機器を電話機として機能させることができる
Note that the housing 1011 may be provided with a microphone. By providing the microphone in the housing 1011, for example, the electronic device illustrated in FIG. 7A can function as a telephone set.

図11(A)に示す電子機器は、例えば電話機、電子書籍、パーソナルコンピュータ、及
び遊技機の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device illustrated in FIG. 11A has functions as one or more of a telephone set, an e-book reader, a personal computer, and a game machine, for example.

図11(B)に示す電子機器は、折り畳み式の情報端末の一例である。 The electronic device illustrated in FIG. 11B is an example of a foldable information terminal.

図11(B)に示す電子機器は、筐体1021aと、筐体1021bと、筐体1021a
に設けられたパネル1022aと、筐体1021bに設けられたパネル1022bと、軸
部1023と、ボタン1024と、接続端子1025と、記録媒体挿入部1026と、ス
ピーカー1027と、を備える。
The electronic device illustrated in FIG. 11B includes a housing 1021 a, a housing 1021 b, and a housing 1021 a.
, A panel 1022b provided in the housing 1021b, a shaft portion 1023, a button 1024, a connection terminal 1025, a recording medium insertion portion 1026, and a speaker 1027.

筐体1021aと筐体1021bは、軸部1023により接続される。 The housing 1021 a and the housing 1021 b are connected by the shaft portion 1023.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1022a及び1022bを構成しても
よい。
Furthermore, the panels 1022 a and 1022 b may be configured using the display device of Embodiment 2.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1022a及び1022bを構成してもよい。これ
により、パネル1022a及び1022bにおいてタッチ検出を行うことができる。タッ
チパネルとしては、例えば光学式タッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッ
チパネルなどを適用できる。
Furthermore, the panels 1022 a and 1022 b may be configured using a touch panel. Thus, touch detection can be performed on the panels 1022 a and 1022 b. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitive touch panel, a resistive touch panel, or the like can be applied.

図11(B)に示す電子機器は、軸部1023を有するため、パネル1022aとパネル
1022bを対向させて折り畳むことができる。
The electronic device illustrated in FIG. 11B includes the shaft portion 1023, so that the panel 1022a and the panel 1022b can be folded to be opposed to each other.

ボタン1024は、筐体1021bに設けられる。なお、筐体1021aにボタン102
4を設けてもよい。例えば、ボタン1024が電源ボタンであれば、ボタン1024を押
すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1024 is provided on the housing 1021 b. Note that a button 102 is attached to the housing 1021a.
4 may be provided. For example, when the button 1024 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1024.

接続端子1025は、筐体1021aに設けられる。なお、筐体1021bに接続端子1
025が設けられていてもよい。また、接続端子1025が筐体1021a及び筐体10
21bの一方又は両方に複数設けられていてもよい。接続端子1025は、図11(B)
に示す電子機器と他の機器を接続するための端子である。
The connection terminal 1025 is provided in the housing 1021 a. Note that connection terminal 1 is attached to the housing 1021 b.
025 may be provided. In addition, the connection terminal 1025 corresponds to the housing 1021 a and the housing 10.
A plurality of members may be provided on one or both of the members 21 b. The connection terminal 1025 is illustrated in FIG.
These terminals are for connecting the electronic device shown in FIG.

記録媒体挿入部1026は、筐体1021aに設けられる。筐体1021bに記録媒体挿
入部1026が設けられていてもよい。また、記録媒体挿入部1026が筐体1021a
及び筐体1021bの一方又は両方に複数設けられていてもよい。例えば、記録媒体挿入
部にカード型記録媒体を挿入することにより、カード型記録媒体のデータを電子機器に読
み出し、又は電子機器内のデータをカード型記録媒体に書き込むことができる。
The recording medium insertion unit 1026 is provided in the housing 1021 a. A recording medium insertion unit 1026 may be provided in the housing 1021 b. In addition, the recording medium insertion unit 1026 is a housing 1021a.
And two or more may be provided in one or both of housing | casing 1021b. For example, by inserting a card-type recording medium into the recording medium insertion portion, data of the card-type recording medium can be read out to the electronic device or data in the electronic device can be written to the card-type recording medium.

スピーカー1027は、筐体1021bに設けられる。スピーカー1027は、音声を出
力する。なお、筐体1021aにスピーカー1027を設けてもよい。
The speaker 1027 is provided in the housing 1021 b. The speaker 1027 outputs an audio. Note that the speaker 1027 may be provided in the housing 1021 a.

なお、筐体1021a又は筐体1021bにマイクを設けてもよい。筐体1021a又は
筐体1021bにマイクが設けられることにより、例えば図11(B)に示す電子機器を
電話機として機能させることができる。
Note that a microphone may be provided in the housing 1021 a or the housing 1021 b. With the microphones provided in the housings 1021a and 1021b, for example, the electronic device illustrated in FIG. 11B can function as a telephone set.

図11(B)に示す電子機器は、例えば電話機、電子書籍、パーソナルコンピュータ、及
び遊技機の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device illustrated in FIG. 11B functions as one or more of a telephone set, an e-book reader, a personal computer, and a game machine, for example.

図11(C)に示す電子機器は、据え置き型情報端末の一例である。図11(C)に示す
電子機器は、筐体1031と、筐体1031に設けられたパネル1032と、ボタン10
33と、スピーカー1034と、を具備する。
The electronic device illustrated in FIG. 11C is an example of a stationary information terminal. The electronic device illustrated in FIG. 11C includes a housing 1031, a panel 1032 provided in the housing 1031, and a button 10.
33 and a speaker 1034.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1032を構成してもよい。 Furthermore, the display device of Embodiment 2 may be used to configure the panel 1032.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1032を構成してもよい。これにより、パネル1
032においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Furthermore, the panel 1032 may be configured using a touch panel. Thus, panel 1
At 032, touch detection can be performed. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitive touch panel, a resistive touch panel, or the like can be applied.

なお、筐体1031の甲板部1035にパネル1032と同様のパネルを設けてもよい。 Note that a panel similar to the panel 1032 may be provided on the deck portion 1035 of the housing 1031.

さらに、筐体1031に券などを出力する券出力部、硬貨投入部、及び紙幣挿入部などを
設けてもよい。
Furthermore, a ticket output unit that outputs a ticket or the like, a coin insertion unit, a bill insertion unit, or the like may be provided in the housing 1031.

ボタン1033は、筐体1031に設けられる。例えば、ボタン1033が電源ボタンで
あれば、ボタン1033を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1033 is provided on the housing 1031. For example, when the button 1033 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1033.

スピーカー1034は、筐体1031に設けられる。スピーカー1034は、音声を出力
する。
The speaker 1034 is provided in the housing 1031. The speaker 1034 outputs an audio.

図11(C)に示す電子機器は、例えば現金自動預け払い機、チケットなどの注文をする
ための情報通信端末(マルチメディアステーションともいう)、又は遊技機としての機能
を有する。
The electronic device illustrated in FIG. 11C functions as, for example, an automatic teller machine, an information communication terminal (also referred to as a multimedia station) for ordering a ticket or the like, or a game machine.

図11(D)は、据え置き型情報端末の一例である。図11(D)に示す電子機器は、筐
体1041と、筐体1041に設けられたパネル1042と、筐体1041を支持する支
持台1043と、ボタン1044と、接続端子1045と、スピーカー1046と、を備
える。
FIG. 11D illustrates an example of a stationary information terminal. The electronic device illustrated in FIG. 11D includes a housing 1041, a panel 1042 provided in the housing 1041, a support base 1043 for supporting the housing 1041, a button 1044, a connection terminal 1045, and a speaker 1046. And.

なお、筐体1041に外部機器に接続させるための接続端子を設けてもよい。 Note that the housing 1041 may be provided with a connection terminal for connecting to an external device.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1042を構成してもよい。 Further, the display device of Embodiment 2 may be used to form the panel 1042.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1042を構成してもよい。これにより、パネル1
042においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Furthermore, the panel 1042 may be configured using a touch panel. Thus, panel 1
At 042, touch detection can be performed. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitive touch panel, a resistive touch panel, or the like can be applied.

ボタン1044は、筐体1041に設けられる。例えば、ボタン1044が電源ボタンで
あれば、ボタン1044を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1044 is provided on the housing 1041. For example, when the button 1044 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1044.

接続端子1045は、筐体1041に設けられる。接続端子1045は、図11(D)に
示す電子機器と他の機器を接続するための端子である。例えば、接続端子1045により
図11(D)に示す電子機器とパーソナルコンピュータを接続すると、パーソナルコンピ
ュータから入力されるデータ信号に応じた画像をパネル1042に表示させることができ
る。例えば、図11(D)に示す電子機器のパネル1042が接続する他の電子機器のパ
ネルより大きければ、当該他の電子機器の表示画像を拡大することができ、複数の人が同
時に視認しやすくなる。
The connection terminal 1045 is provided in the housing 1041. The connection terminal 1045 is a terminal for connecting the electronic device illustrated in FIG. 11D to another device. For example, when the electronic device illustrated in FIG. 11D and the personal computer are connected to each other through the connection terminal 1045, an image corresponding to a data signal input from the personal computer can be displayed on the panel 1042. For example, if the panel 1042 of the electronic device illustrated in FIG. 11D is larger than the panel of the other electronic device to be connected, the display image of the other electronic device can be enlarged, which facilitates visual recognition by a plurality of persons simultaneously. Become.

スピーカー1046は、筐体1041に設けられる。スピーカー1046は、音声を出力
する。
The speaker 1046 is provided in the housing 1041. The speaker 1046 outputs a sound.

図11(D)に示す電子機器は、例えば出力モニタ、パーソナルコンピュータ、及びテレ
ビジョン装置の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device illustrated in FIG. 11D has one or more functions of, for example, an output monitor, a personal computer, and a television set.

以上が図11に示す電子機器の例の説明である。 The above is the description of the example of the electronic device illustrated in FIG.

図11を参照して説明したように、本実施の形態に係る電子機器では、パネルに実施の形
態2の表示装置を用いたパネルを設けることにより、信頼性の高い電子機器を提供できる
As described with reference to FIG. 11, the electronic device according to this embodiment can provide a highly reliable electronic device by providing a panel using the display device of Embodiment 2 on the panel.

11 トランジスタ
12 トランジスタ
13 トランジスタ
14 トランジスタ
15 トランジスタ
31 パルス出力回路
32 保護回路
33 保護回路
61 トランジスタ
62 トランジスタ
63 トランジスタ
64 トランジスタ
65 トランジスタ
66 トランジスタ
67 トランジスタ
68 トランジスタ
69 トランジスタ
70 トランジスタ
71 トランジスタ
72 トランジスタ
73 トランジスタ
74 トランジスタ
75 トランジスタ
76 トランジスタ
201 画素部
202 駆動回路部
211 画素回路
221 ゲートドライバ
223 ソースドライバ
225 保護回路
230 液晶素子
231_1 トランジスタ
231_2 トランジスタ
233_1 容量素子
233_2 容量素子
234 トランジスタ
235 発光素子
311 期間
312 期間
313 期間
700 基板
701 絶縁層
703a 導電層
703b 導電層
703c 導電層
704 絶縁層
705a 半導体層
705b 半導体層
706a 導電層
706b 導電層
706c 導電層
706d 導電層
707 絶縁層
708 絶縁層
709a 導電層
709b1 導電層
709b2 導電層
710 絶縁層
711 導電層
712 導電層
720 基板
721 導電層
722 着色層
723 絶縁層
750 液晶層
751 シール材
760 液晶層
1011 筐体
1012 パネル
1013 ボタン
1014 スピーカー
1021a 筐体
1021b 筐体
1022a パネル
1022b パネル
1023 軸部
1024 ボタン
1025 接続端子
1026 記録媒体挿入部
1027 スピーカー
1031 筐体
1032 パネル
1033 ボタン
1034 スピーカー
1035 甲板部
1041 筐体
1042 パネル
1043 支持台
1044 ボタン
1045 接続端子
1046 スピーカー
11 transistor 12 transistor 13 transistor 14 transistor 15 transistor 31 pulse output circuit 32 protection circuit 61 protection circuit 61 transistor 62 transistor 64 transistor 64 transistor 65 transistor 66 transistor 67 transistor 68 transistor 69 transistor 70 transistor 71 transistor 72 transistor 73 transistor 75 transistor 75 transistor 76 transistor 201 pixel portion 202 drive circuit portion 211 pixel circuit 221 gate driver 223 source driver 225 protection circuit 230 liquid crystal element 231_1 transistor 231_2 transistor 233_1 capacitive element 233_2 capacitive element 234 transistor 235 light emitting element 311 period 312 period 313 period basis 701 insulating layer 703a conductive layer 703b conductive layer 703c conductive layer 704 insulating layer 705a semiconductor layer 705b conductive layer 706a conductive layer 706b conductive layer 706c conductive layer 707 insulating layer 708 insulating layer 709a conductive layer 709b1 conductive layer 709b2 conductive layer 710 insulating Layer 711 Conductive layer 712 Conductive layer 720 Substrate 721 Conductive layer 722 Colored layer 723 Insulating layer 750 Liquid crystal layer 751 Sealing material 760 Liquid crystal layer 1011 Panel 1013 Panel 1013 Button 1014 Speaker 1021a Housing 1021a Housing 1021b Housing 1022a Panel 1022b Panel 1023 Shaft portion 1024 Button 1025 connection terminal 1026 recording medium insertion portion 1027 speaker 1031 housing 1032 panel 1033 button 1034 speaker 1035 deck portion 1041 housing 1042 Panel 1043 Support stand 1044 Button 1045 Connection terminal 1046 Speaker

Claims (1)

第1乃至第5のトランジスタと、第1及び第2の容量素子と、を有するシフトレジスタであって、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方には、第1のクロック信号が入力され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、出力端子と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方には、電源電位が入力され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのゲートには、第1のセット信号が入力され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第1の容量素子の第1の電極は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第1の容量素子の第2の電極は、前記出力端子と電気的に接続され、
前記第2の容量素子の第1の電極は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第2の容量素子の第2の電極は、前記出力端子と電気的に接続されるシフトレジスタ。
A shift register comprising first to fifth transistors and first and second capacitive elements, wherein
A first clock signal is input to one of the source and the drain of the first transistor,
One of the source or the drain of the second transistor is electrically connected to the other of the source or the drain of the first transistor,
One of the source or the drain of the third transistor is electrically connected to the other of the source or the drain of the second transistor,
One of the source or the drain of the third transistor is electrically connected to the output terminal,
A power supply potential is input to the other of the source and the drain of the third transistor,
One of the source or the drain of the fourth transistor is electrically connected to the gate of the first transistor,
The other of the source and the drain of the fourth transistor is electrically connected to one of the source and the drain of the fifth transistor,
A first set signal is input to the gate of the fourth transistor,
The other of the source and the drain of the fifth transistor is electrically connected to the gate of the second transistor,
The first electrode of the first capacitive element is electrically connected to the gate of the first transistor,
The second electrode of the first capacitive element is electrically connected to the output terminal,
The first electrode of the second capacitive element is electrically connected to the gate of the second transistor,
A shift register in which a second electrode of the second capacitive element is electrically connected to the output terminal.
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