JP2022002162A - Output circuit - Google Patents

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JP2022002162A JP2021145279A JP2021145279A JP2022002162A JP 2022002162 A JP2022002162 A JP 2022002162A JP 2021145279 A JP2021145279 A JP 2021145279A JP 2021145279 A JP2021145279 A JP 2021145279A JP 2022002162 A JP2022002162 A JP 2022002162A
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Abstract

To provide an output circuit capable of suppressing stress for a transistor while suppressing an occurrence of malfunction.SOLUTION: In a pulse output circuit having a function of outputting a pulse signal and having a transistor for controlling whether or not the pulse signal is set to a high level, a potential of one of a source and a drain of the transistor is set to be higher than a low-level potential of a clock signal and be higher than a high-level potential while the pulse signal output from the pulse output circuit is at a low level. Thereby, stress on the transistor is suppressed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、パルス出力回路に関する。さらに、本発明は、表示装置に関する。さらに、本
発明は、電子機器に関する。
The present invention relates to a pulse output circuit. Furthermore, the present invention relates to a display device. Furthermore, the present invention relates to electronic devices.

近年、作製プロセスの簡略化などを目的として、全てのトランジスタが同一の導電型であ
る回路(単極性回路ともいう)の開発が進められている。
In recent years, for the purpose of simplifying the manufacturing process, a circuit (also referred to as a unipolar circuit) in which all transistors are of the same conductive type has been developed.

上記単極性回路の例としては、シフトレジスタを構成するパルス出力回路が挙げられる。 Examples of the unipolar circuit include a pulse output circuit constituting a shift register.

例えば、特許文献1では、クロック信号のパルスを、パルス信号のパルスの生成に用いた
パルス出力回路を複数段有するシフトレジスタが開示されている。さらに、特許文献1で
は、ブートストラップを利用することにより、クロック信号の振幅に対し、出力するパル
ス信号の振幅の低下を抑制するシフトレジスタが開示されている。
For example, Patent Document 1 discloses a shift register having a plurality of stages of pulse output circuits in which a pulse of a clock signal is used to generate a pulse of a pulse signal. Further, Patent Document 1 discloses a shift register that suppresses a decrease in the amplitude of the output pulse signal with respect to the amplitude of the clock signal by using the bootstrap.

特開2002−335153号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-335153

しかしながら、従来のパルス出力回路の構成では、クロック信号の振幅が大きいとトラン
ジスタが劣化し、該トランジスタの電気特性が変動してしまうといった問題があった。
However, in the conventional pulse output circuit configuration, there is a problem that if the amplitude of the clock signal is large, the transistor deteriorates and the electrical characteristics of the transistor fluctuate.

例えば、特許文献1のシフトレジスタでは、パルス出力回路から出力するパルス信号がロ
ーレベルのときに、出力するパルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するトラン
ジスタ(例えば特許文献1の図1(B)のトランジスタ15)のゲートの電位が電位VS
Sに一定期間保持される。このとき、クロック信号に従って上記トランジスタのソース又
はドレインの電位が繰り返し変化するため、該トランジスタにストレスが与えられる。こ
れにより、上記トランジスタは劣化する。特に、特許文献1のシフトレジスタでは、上記
ストレスが与えられる時間が非常に長いため、該上記トランジスタが劣化しやすく、電気
特性の変動が進行してしまう。
For example, in the shift register of Patent Document 1, a transistor that controls whether or not to set the output pulse signal to a high level when the pulse signal output from the pulse output circuit is at a low level (for example, FIG. 1 of Patent Document 1). The potential of the gate of the transistor 15) of (B) is the potential VS.
It is held in S for a certain period of time. At this time, since the potential of the source or drain of the transistor changes repeatedly according to the clock signal, stress is applied to the transistor. As a result, the transistor deteriorates. In particular, in the shift register of Patent Document 1, since the stress is applied for a very long time, the transistor is liable to deteriorate and the electrical characteristics are fluctuated.

トランジスタに与えられる上記ストレスの影響を抑制するためには、例えばトランジスタ
のチャネル長を長くするなどの対策が挙げられる。しかしながら、出力するパルス信号を
ハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタのチャネル長を長くすると、例えば
寄生容量などにより、出力するパルス信号が遅延し、動作不良が起こる可能性が高くなる
などの別の問題が生じてしまう。
In order to suppress the influence of the stress applied to the transistor, for example, measures such as lengthening the channel length of the transistor can be mentioned. However, if the channel length of the transistor that controls whether or not the output pulse signal is set to a high level is lengthened, the output pulse signal is delayed due to, for example, parasitic capacitance, and there is a high possibility that malfunction will occur. Another problem arises.

上記問題に鑑み、本発明の一態様では、動作不良の発生を抑制しつつ、出力するパルス信
号をハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタに対するストレスを抑制するこ
とを課題の一つとする。
In view of the above problems, one of the problems in one aspect of the present invention is to suppress the stress on the transistor that controls whether or not the output pulse signal is set to a high level while suppressing the occurrence of malfunction. ..

本発明の一態様では、パルス出力回路が出力するパルス信号がローレベルである期間に、
該パルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するトランジスタのソース及びドレイ
ンの一方の電位を、クロック信号のハイレベルの電位よりも低くする。これにより、上記
トランジスタに対するストレスの抑制を図る。
In one aspect of the present invention, during a period when the pulse signal output by the pulse output circuit is at a low level,
The potential of one of the source and drain of the transistor that controls whether or not the pulse signal is set to a high level is set lower than the high level potential of the clock signal. As a result, stress on the transistor is suppressed.

本発明の一態様は、セット信号、リセット信号、及びクロック信号に従いパルス信号を生
成する機能を有し、ソース及びドレインの一方の電位がクロック信号に従い変化する第1
のトランジスタと、ソース及びドレインの一方が第1のトランジスタのソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、ソース及びドレインの他方の電位がパルス信号の電位とな
り、ゲートの電位がセット信号及びリセット信号に従い変化する第2のトランジスタと、
ソース及びドレインの一方に第1の電位が与えられ、ソース及びドレインの他方が第2の
トランジスタのソース及びドレインの他方に電気的に接続され、ゲートの電位に応じてオ
ン状態又はオフ状態になることによりパルス信号をローレベルに設定するか否かを制御す
る第3のトランジスタと、ソース及びドレインの一方に第2の電位が与えられ、ソース及
びドレインの他方が第1のトランジスタのゲートに電気的に接続され、ゲートの電位がセ
ット信号及びリセット信号に従い変化する第4のトランジスタと、ソース及びドレインの
一方の電位がセット信号及びリセット信号に応じて変化し、ソース及びドレインの他方が
第1のトランジスタのゲートに電気的に接続され、ゲートの電位がセット信号に従い変化
する第5のトランジスタと、を有し、第1乃至第5のトランジスタは、同一の導電型であ
り、第2の電位は、クロック信号のローレベルの電位よりも高く、且つクロック信号のハ
イレベルの電位よりも低く、第2の電位とクロック信号のローレベルの電位との電位差は
、第1のトランジスタのしきい値電圧よりも大きいパルス出力回路である。
One aspect of the present invention has a function of generating a pulse signal according to a set signal, a reset signal, and a clock signal, and the potential of one of the source and the drain changes according to the clock signal.
Transistor and one of the source and drain are electrically connected to the other of the source and drain of the first transistor, the potential of the other of the source and drain becomes the potential of the pulse signal, and the potential of the gate becomes the set signal and reset signal. The second transistor that changes according to
One of the source and drain is given a first potential, the other of the source and drain is electrically connected to the other of the source and drain of the second transistor, and is turned on or off depending on the potential of the gate. A second potential is applied to one of the source and drain and the third transistor that controls whether or not the pulse signal is set to a low level, and the other of the source and drain is electrically connected to the gate of the first transistor. A fourth transistor whose gate potential changes according to the set signal and reset signal, and one potential of the source and drain changes according to the set signal and reset signal, and the other of the source and drain changes according to the set signal and the reset signal. The fifth transistor is electrically connected to the gate of the transistor and the potential of the gate changes according to the set signal, and the first to fifth transistors are of the same conductive type and have a second potential. Is higher than the low level potential of the clock signal and lower than the high level potential of the clock signal, and the potential difference between the second potential and the low level potential of the clock signal is the threshold value of the first transistor. It is a pulse output circuit that is larger than the voltage.

本発明の一態様により、出力するパルス信号をハイレベルに設定するか否かを制御するト
ランジスタのチャネル長を長くせずとも、該トランジスタに対するストレスを低減できる
。よって、上記トランジスタの劣化を抑制でき、電気特性の変動を抑制できる。
According to one aspect of the present invention, stress on the transistor can be reduced without increasing the channel length of the transistor that controls whether or not the output pulse signal is set to a high level. Therefore, deterioration of the transistor can be suppressed, and fluctuations in electrical characteristics can be suppressed.

パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. パルス出力回路の例を説明するための図。The figure for demonstrating an example of a pulse output circuit. 表示装置の例を説明するための図。The figure for demonstrating the example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。The figure for demonstrating the example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。The figure for demonstrating the example of a display device. 表示装置の例を説明するための図。The figure for demonstrating the example of a display device. 電子機器の例を説明するための図。The figure for demonstrating the example of the electronic device.

本発明に係る実施の形態の例について説明する。なお、本発明の趣旨及び範囲から逸脱す
ることなく実施の形態の内容を変更することは、当業者であれば容易である。よって、例
えば本発明は、下記実施の形態の記載内容に限定されない。
An example of the embodiment according to the present invention will be described. It is easy for a person skilled in the art to change the contents of the embodiment without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, for example, the present invention is not limited to the contents described in the following embodiments.

なお、各実施の形態の内容を互いに適宜組み合わせることができる。また、各実施の形態
の内容を互いに適宜置き換えることができる。
The contents of each embodiment can be combined with each other as appropriate. In addition, the contents of each embodiment can be appropriately replaced with each other.

また、第1、第2などの序数は、構成要素の混同を避けるために付しており、各構成要素
の数は、序数に限定されない。
Further, the ordinal numbers such as the first and the second are attached to avoid confusion of the components, and the number of each component is not limited to the ordinal number.

本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置さ
れている状態をいう。従って、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直」と
は、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、
85°以上95°以下の場合も含まれる。
As used herein, the term "parallel" means a state in which two straight lines are arranged at an angle of −10 ° or more and 10 ° or less. Therefore, the case of −5 ° or more and 5 ° or less is also included. Further, "vertical" means a state in which two straight lines are arranged at an angle of 80 ° or more and 100 ° or less. Therefore,
The case of 85 ° or more and 95 ° or less is also included.

また、本明細書において、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す
Further, in the present specification, when the crystal is a trigonal crystal or a rhombohedral crystal, it is represented as a hexagonal system.

(実施の形態1)
本実施の形態では、パルス出力回路の例について説明する。
(Embodiment 1)
In this embodiment, an example of a pulse output circuit will be described.

図1は、本実施の形態に係るパルス出力回路の例を説明するための図である。パルス出力
回路SRは、図1(A)に示すように、入力されるセット信号S、リセット信号R、及び
クロック信号CKに従い、パルス信号(出力信号OUT)を生成する機能を有する。なお
、パルス出力回路SRに複数種のクロック信号を入力してもよい。
FIG. 1 is a diagram for explaining an example of a pulse output circuit according to the present embodiment. As shown in FIG. 1A, the pulse output circuit SR has a function of generating a pulse signal (output signal OUT) according to the input set signal S, reset signal R, and clock signal CK. A plurality of types of clock signals may be input to the pulse output circuit SR.

さらに、図1(A)に示すパルス出力回路SRは、図1(B)に示すように、トランジス
タ11乃至トランジスタ15を有する。例えば、トランジスタ11乃至トランジスタ15
は、同一の導電型である。トランジスタ11乃至トランジスタ15のそれぞれは、セット
信号S、リセット信号R、及びクロック信号CKの一つ又は複数に従い導通が制御される
。なお、図1(A)に示すパルス出力回路SRにトランジスタ11乃至トランジスタ15
以外の素子を設けてもよい。
Further, the pulse output circuit SR shown in FIG. 1 (A) has transistors 11 to 15 as shown in FIG. 1 (B). For example, transistor 11 to transistor 15
Is the same conductive type. Continuity of each of the transistors 11 to 15 is controlled according to one or more of the set signal S, the reset signal R, and the clock signal CK. The transistor 11 to the transistor 15 are connected to the pulse output circuit SR shown in FIG. 1 (A).
Elements other than the above may be provided.

トランジスタ11のソース及びドレインの一方の電位は、クロック信号CKに従い変化す
る。トランジスタ11は、パルス信号(出力信号OUT)のハイレベルの電位を制御する
機能を有する。例えば、トランジスタ11は、パルス信号(出力信号OUT)を、第1の
ハイレベルにするか否か、及び第2のハイレベルにするか否かを制御する機能を有する。
このとき、第2のハイレベルの電位は、第1のハイレベルの電位よりも小さい。
The potential of one of the source and drain of the transistor 11 changes according to the clock signal CK. The transistor 11 has a function of controlling a high-level potential of a pulse signal (output signal OUT). For example, the transistor 11 has a function of controlling whether or not the pulse signal (output signal OUT) is set to the first high level and whether or not the pulse signal is set to the second high level.
At this time, the potential of the second high level is smaller than the potential of the first high level.

なお、「信号に従い電位が変化する」とは、「信号が直接入力されることで電位が該信号
の電位に変化する場合」のみに限定されない。例えば、「信号に従いスイッチがオン状態
になることにより、電位が変化する場合」や、「容量結合により、信号の変化に合わせて
電位が変化する場合」なども「信号に従い電位が変化する」に含まれる。
It should be noted that "the potential changes according to the signal" is not limited to "when the potential changes to the potential of the signal by directly inputting the signal". For example, "when the potential changes when the switch is turned on according to the signal" or "when the potential changes according to the change in the signal due to capacitive coupling" also becomes "the potential changes according to the signal". included.

また、「信号に応じた電位」とは、「信号の電位と同じ値の電位」のみに限定されない。
例えば、電圧降下により信号の電位が変化した値も「信号に応じた電位」に含まれる。
Further, the "potential according to the signal" is not limited to only the "potential having the same value as the potential of the signal".
For example, the value at which the potential of the signal changes due to the voltage drop is also included in the "potential according to the signal".

トランジスタ12のソース及びドレインの一方は、トランジスタ11のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号OUT)の電位となる
。さらに、トランジスタ12のゲートの電位は、セット信号S及びリセット信号Rに従い
変化する。トランジスタ12は、パルス信号(出力信号OUT)をハイレベルに設定する
か否かを制御する機能を有する。
One of the source and drain of the transistor 12 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 11, and the potential of the other becomes the potential of the pulse signal (output signal OUT). Further, the potential of the gate of the transistor 12 changes according to the set signal S and the reset signal R. The transistor 12 has a function of controlling whether or not the pulse signal (output signal OUT) is set to a high level.

トランジスタ13のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ12のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。さらに、トランジス
タ13のゲートの電位は、セット信号S及びリセット信号Rに従い変化する。なお、クロ
ック信号CKとは異なるクロック信号によりトランジスタ13のゲートの電位を制御して
もよい。トランジスタ13は、ゲートの電位に応じてオン状態又はオフ状態になることに
より、パルス信号(出力信号OUT)をローレベルに設定するか否かを制御する機能を有
する。
One of the source and drain of the transistor 13 is given a potential VSS and the other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 12. Further, the potential of the gate of the transistor 13 changes according to the set signal S and the reset signal R. The potential of the gate of the transistor 13 may be controlled by a clock signal different from the clock signal CK. The transistor 13 has a function of controlling whether or not the pulse signal (output signal OUT) is set to a low level by turning on or off depending on the potential of the gate.

トランジスタ14のソース及びドレインの一方には、電位Vaが与えられ、他方は、トラ
ンジスタ11のゲートに電気的に接続される。さらに、トランジスタ14のゲートの電位
は、セット信号S及びリセット信号Rに従い変化、又はクロック信号CKに従い変化する
。トランジスタ14は、トランジスタ11のゲートの電位を電位Vaに応じた値に設定す
るか否かを制御する機能を有する。
One of the source and drain of the transistor 14 is given a potential Va, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 11. Further, the potential of the gate of the transistor 14 changes according to the set signal S and the reset signal R, or changes according to the clock signal CK. The transistor 14 has a function of controlling whether or not the potential of the gate of the transistor 11 is set to a value corresponding to the potential Va.

なお、「電位に応じた値」とは、「該電位と同じ値」のみに限定されない。例えば、電圧
降下により上記電位の値から変化した場合も「電位に応じた値」に含まれる。
The "value according to the potential" is not limited to "the same value as the potential". For example, a case where the value of the potential changes due to a voltage drop is also included in the "value according to the potential".

トランジスタ15のソース及びドレインの一方の電位は、セット信号S及びリセット信号
Rに従い変化し、他方は、トランジスタ11のゲートに電気的に接続される。さらに、ト
ランジスタ15のゲートの電位は、セット信号Sに従い変化する。トランジスタ15は、
トランジスタ11のゲートを浮遊状態にするか否かを制御する機能を有する。
The potential of one of the source and drain of the transistor 15 changes according to the set signal S and the reset signal R, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 11. Further, the potential of the gate of the transistor 15 changes according to the set signal S. Transistor 15
It has a function of controlling whether or not the gate of the transistor 11 is in a floating state.

トランジスタ11乃至トランジスタ15としては、チャネル形成領域に例えばシリコンよ
りもバンドギャップが広い半導体を含むトランジスタを適用できる。バンドギャップの広
い半導体としては、例えば酸化物半導体を適用できる。ただし、これに限定されず、例え
ば14族(シリコンなどの)の元素を有する半導体を含むトランジスタをトランジスタ1
1乃至トランジスタ15に用いてもよい。このとき、14族の元素を有する半導体が単結
晶、多結晶、又は非晶質でもよい。
As the transistor 11 to the transistor 15, a transistor including a semiconductor having a bandgap wider than that of silicon, for example, can be applied to the channel forming region. As a semiconductor having a wide band gap, for example, an oxide semiconductor can be applied. However, the present invention is not limited to this, and for example, a transistor including a semiconductor having a group 14 (such as silicon) element is included in the transistor 1.
It may be used for 1 to the transistor 15. At this time, the semiconductor having the element of Group 14 may be single crystal, polycrystal, or amorphous.

上記酸化物半導体としては、例えばIn系金属酸化物、Zn系金属酸化物、In−Zn系
金属酸化物、又はIn−Ga−Zn系金属酸化物などを適用できる。また、上記In−G
a−Zn系金属酸化物に含まれるGaの一部若しくは全部の代わりに他の金属元素を含む
金属酸化物を用いてもよい。
As the oxide semiconductor, for example, an In-based metal oxide, a Zn-based metal oxide, an In-Zn-based metal oxide, an In-Ga-Zn-based metal oxide, or the like can be applied. In addition, the above In-G
A metal oxide containing another metal element may be used in place of a part or all of Ga contained in the a-Zn-based metal oxide.

以下、酸化物半導体膜の構造について説明する。 Hereinafter, the structure of the oxide semiconductor film will be described.

酸化物半導体膜は、単結晶酸化物半導体膜と非単結晶酸化物半導体膜とに大別される。非
単結晶酸化物半導体膜とは、非晶質酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、多結晶酸化
物半導体膜、CAAC−OS(C Axis Aligned Crystalline
Oxide Semiconductor)膜などをいう。
Oxide semiconductor films are roughly classified into single crystal oxide semiconductor films and non-single crystal oxide semiconductor films. The non-single crystal oxide semiconductor film includes an amorphous oxide semiconductor film, a microcrystalline oxide semiconductor film, a polycrystalline oxide semiconductor film, and CAAC-OS (C Axis Aligned Crystalline).
Oxide Semiconductor) Membrane and the like.

非晶質酸化物半導体膜は、膜中における原子配列が不規則であり、結晶成分を有さない酸
化物半導体膜である。微小領域においても結晶部を有さず、膜全体が完全な非晶質構造の
酸化物半導体膜が典型である。
The amorphous oxide semiconductor film is an oxide semiconductor film having an irregular atomic arrangement in the film and having no crystal component. A typical oxide semiconductor film has no crystal part even in a minute region and the entire film has a completely amorphous structure.

微結晶酸化物半導体膜は、例えば、1nm以上10nm未満の大きさの微結晶(ナノ結晶
ともいう。)を含む。従って、微結晶酸化物半導体膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも原
子配列の規則性が高い。そのため、微結晶酸化物半導体膜は、非晶質酸化物半導体膜より
も欠陥準位密度が低いという特徴がある。
The microcrystal oxide semiconductor film includes, for example, microcrystals (also referred to as nanocrystals) having a size of 1 nm or more and less than 10 nm. Therefore, the polycrystalline oxide semiconductor film has a higher regularity of atomic arrangement than the amorphous oxide semiconductor film. Therefore, the microcrystalline oxide semiconductor film is characterized by having a lower defect level density than the amorphous oxide semiconductor film.

CAAC−OS膜は、複数の結晶部を有する酸化物半導体膜の一つであり、ほとんどの結
晶部は、一辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさである。従って、CAAC−O
S膜に含まれる結晶部は、一辺が10nm未満、5nm未満または3nm未満の立方体内
に収まる大きさの場合も含まれる。CAAC−OS膜は、微結晶酸化物半導体膜よりも欠
陥準位密度が低いという特徴がある。以下、CAAC−OS膜について詳細な説明を行う
The CAAC-OS film is one of the oxide semiconductor films having a plurality of crystal portions, and most of the crystal portions have a size that can be accommodated in a cube having a side of less than 100 nm. Therefore, CAAC-O
The crystal portion contained in the S film includes a case where one side is less than 10 nm and has a size of less than 5 nm or less than 3 nm so as to fit in a cube. The CAAC-OS film is characterized by having a lower defect level density than the polycrystalline oxide semiconductor film. Hereinafter, the CAAC-OS film will be described in detail.

CAAC−OS膜を透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Elect
ron Microscope)によって観察すると、結晶部同士の明確な境界、即ち結
晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を確認することができない。そのため、CA
AC−OS膜は、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
Transmission electron microscope (TEM: Transmission Electro) through the CAAC-OS membrane
When observed by a ron Microscope), a clear boundary between crystal portions, that is, a crystal grain boundary (also referred to as a grain boundary) cannot be confirmed. Therefore, CA
It can be said that the AC-OS film is unlikely to cause a decrease in electron mobility due to grain boundaries.

CAAC−OS膜を、試料面と概略平行な方向からTEMによって観察(断面TEM観察
)すると、結晶部において、金属原子が層状に配列していることを確認できる。金属原子
の各層は、CAAC−OS膜の膜を形成する面(被形成面ともいう。)または上面の凹凸
を反映した形状であり、CAAC−OS膜の被形成面または上面と平行に配列する。
When the CAAC-OS film is observed by TEM from a direction substantially parallel to the sample surface (cross-section TEM observation), it can be confirmed that the metal atoms are arranged in layers in the crystal portion. Each layer of the metal atom has a shape that reflects the unevenness of the surface (also referred to as the formed surface) or the upper surface of the CAAC-OS film, and is arranged in parallel with the formed surface or the upper surface of the CAAC-OS film. ..

一方、CAAC−OS膜を、試料面と概略垂直な方向からTEMによって観察(平面TE
M観察)すると、結晶部において、金属原子が三角形状または六角形状に配列しているこ
とを確認できる。しかしながら、異なる結晶部間で、金属原子の配列に規則性は見られな
い。
On the other hand, the CAAC-OS film is observed by TEM from a direction substantially perpendicular to the sample surface (plane TE).
(M observation), it can be confirmed that the metal atoms are arranged in a triangular shape or a hexagonal shape in the crystal portion. However, there is no regularity in the arrangement of metal atoms between different crystal parts.

断面TEM観察および平面TEM観察より、CAAC−OS膜の結晶部は配向性を有して
いることがわかる。
From the cross-sectional TEM observation and the planar TEM observation, it can be seen that the crystal portion of the CAAC-OS film has orientation.

CAAC−OS膜に対し、X線回折(XRD:X−Ray Diffraction)装
置を用いて構造解析を行うと、例えばInGaZnOの結晶を有するCAAC−OS膜
のout−of−plane法による解析では、回折角(2θ)が31°近傍にピークが
現れる場合がある。このピークは、InGaZnOの結晶の(009)面に帰属される
ことから、CAAC−OS膜の結晶がc軸配向性を有し、c軸が被形成面または上面に概
略垂直な方向を向いていることが確認できる。
When the structure of the CAAC-OS film is analyzed using an X-ray diffraction (XRD) apparatus, for example, in the analysis of the CAAC-OS film having InGaZnO 4 crystals by the out-of-plane method, A peak may appear near the diffraction angle (2θ) of 31 °. Since this peak is attributed to the (009) plane of the InGaZnO 4 crystal, the crystal of the CAAC-OS film has c-axis orientation, and the c-axis is oriented substantially perpendicular to the surface to be formed or the upper surface. It can be confirmed that it is.

一方、CAAC−OS膜に対し、c軸に概略垂直な方向からX線を入射させるin−pl
ane法による解析では、2θが56°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは
、InGaZnOの結晶の(110)面に帰属される。InGaZnOの単結晶酸化
物半導体膜であれば、2θを56°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸(φ軸)と
して試料を回転させながら分析(φスキャン)を行うと、(110)面と等価な結晶面に
帰属されるピークが6本観察される。これに対し、CAAC−OS膜の場合は、2θを5
6°近傍に固定してφスキャンした場合でも、明瞭なピークが現れない。
On the other hand, in-pl in which X-rays are incident on the CAAC-OS film from a direction substantially perpendicular to the c-axis.
In the analysis by the ane method, a peak may appear near 56 ° in 2θ. This peak is attributed to the (110) plane of the crystal of InGaZnO 4. In the case of a single crystal oxide semiconductor film of InGaZnO 4 , 2θ is fixed in the vicinity of 56 °, and analysis (φ scan) is performed while rotating the sample with the normal vector of the sample surface as the axis (φ axis). 110) Six peaks attributed to the crystal plane equivalent to the plane are observed. On the other hand, in the case of CAAC-OS film, 2θ is 5
Even when fixed at around 6 ° and φ-scanned, no clear peak appears.

以上のことから、CAAC−OS膜では、異なる結晶部間ではa軸およびb軸の配向は不
規則であるが、c軸配向性を有し、かつc軸が被形成面または上面の法線ベクトルに平行
な方向を向いていることがわかる。従って、前述の断面TEM観察で確認された層状に配
列した金属原子の各層は、結晶のab面に平行な面である。
From the above, in the CAAC-OS film, the orientation of the a-axis and the b-axis is irregular between different crystal portions, but the orientation is c-axis, and the c-axis is the normal of the surface to be formed or the upper surface. It can be seen that the direction is parallel to the vector. Therefore, each layer of the metal atoms arranged in layers confirmed by the above-mentioned cross-sectional TEM observation is a plane parallel to the ab plane of the crystal.

なお、結晶部は、CAAC−OS膜を成膜した際、または加熱処理などの結晶化処理を行
った際に形成される。上述したように、結晶のc軸は、CAAC−OS膜の被形成面また
は上面の法線ベクトルに平行な方向に配向する。従って、例えば、CAAC−OS膜の形
状をエッチングなどによって変化させた場合、結晶のc軸がCAAC−OS膜の被形成面
または上面の法線ベクトルと平行にならないこともある。
The crystal portion is formed when a CAAC-OS film is formed or when a crystallization treatment such as a heat treatment is performed. As described above, the c-axis of the crystal is oriented in a direction parallel to the normal vector of the surface to be formed or the upper surface of the CAAC-OS film. Therefore, for example, when the shape of the CAAC-OS film is changed by etching or the like, the c-axis of the crystal may not be parallel to the normal vector of the surface to be formed or the upper surface of the CAAC-OS film.

また、CAAC−OS膜中の結晶化度が均一でなくてもよい。例えば、CAAC−OS膜
の結晶部が、CAAC−OS膜の上面近傍からの結晶成長によって形成される場合、上面
近傍の領域は、被形成面近傍の領域よりも結晶化度が高くなることがある。また、CAA
C−OS膜に不純物を添加する場合、不純物が添加された領域の結晶化度が変化し、部分
的に結晶化度の異なる領域が形成されることもある。
Further, the crystallinity in the CAAC-OS film does not have to be uniform. For example, when the crystal portion of the CAAC-OS film is formed by crystal growth from the vicinity of the upper surface of the CAAC-OS film, the region near the upper surface may have a higher crystallinity than the region near the surface to be formed. be. Also, CAA
When an impurity is added to the C-OS film, the crystallinity of the region to which the impurity is added changes, and a region having a partially different crystallinity may be formed.

なお、InGaZnOの結晶を有するCAAC−OS膜のout−of−plane法
による解析では、2θが31°近傍のピークの他に、2θが36°近傍にもピークが現れ
る場合がある。2θが36°近傍のピークは、CAAC−OS膜中の一部に、c軸配向性
を有さない結晶が含まれることを示している。CAAC−OS膜は、2θが31°近傍に
ピークを示し、2θが36°近傍にピークを示さないことが好ましい。
In the analysis of the CAAC-OS film having InGaZnO 4 crystals by the out-of-plane method, a peak may appear in the vicinity of 2θ at 31 ° as well as in the vicinity of 2θ at 36 °. The peak in which 2θ is in the vicinity of 36 ° indicates that a part of the CAAC-OS film contains crystals having no c-axis orientation. In the CAAC-OS film, it is preferable that 2θ shows a peak near 31 ° and 2θ does not show a peak near 36 °.

CAAC−OS膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気特性の変動
が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
Transistors using a CAAC-OS film have small fluctuations in electrical characteristics due to irradiation with visible light or ultraviolet light. Therefore, the transistor is highly reliable.

なお、酸化物半導体膜は、例えば、非晶質酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、CA
AC−OS膜のうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
The oxide semiconductor film may be, for example, an amorphous oxide semiconductor film, a microcrystalline oxide semiconductor film, or CA.
Among the AC-OS films, a laminated film having two or more kinds may be used.

以上が、酸化物半導体膜の構造に関する説明である。 The above is the description of the structure of the oxide semiconductor film.

さらに、本実施の形態に係るパルス出力回路の構成例について図2を参照して説明する。 Further, a configuration example of the pulse output circuit according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図2(A)に示すパルス出力回路は、セット信号Sに相当するセット信号LIN、リセッ
ト信号Rに相当するリセット信号RIN、クロック信号CK1乃至クロック信号CK3、
及び初期化信号RESに従いパルス信号(出力信号OUT)を生成して出力する機能を有
する。なお、必ずしも初期化信号RESを用いなくてもよい。
The pulse output circuit shown in FIG. 2A has a set signal LIN corresponding to the set signal S, a reset signal RIN corresponding to the reset signal R, and clock signals CK1 to CK3.
It also has a function of generating and outputting a pulse signal (output signal OUT) according to the initialization signal RES. It is not always necessary to use the initialization signal RES.

図2(A)に示すパルス出力回路は、トランジスタ61乃至76を有する。 The pulse output circuit shown in FIG. 2A has transistors 61 to 76.

トランジスタ61のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられる。さらに、
トランジスタ61のゲートには、セット信号LINが入力される。
A potential VDD is given to one of the source and drain of the transistor 61. Moreover,
A set signal LIN is input to the gate of the transistor 61.

トランジスタ62のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ61のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the source and drain of the transistor 62 is given a potential VSS and the other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 61.

トランジスタ63のソース及びドレインの一方は、トランジスタ61のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続される。さらに、トランジスタ63のゲートには、セット信号L
INが入力される。トランジスタ63は、図1(B)に示すトランジスタ15に相当する
One of the source and drain of the transistor 63 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 61. Further, a set signal L is attached to the gate of the transistor 63.
IN is input. The transistor 63 corresponds to the transistor 15 shown in FIG. 1 (B).

トランジスタ64のソース及びドレインの一方は、トランジスタ61のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続される。さらに、トランジスタ64のゲートには、電位VDDが
与えられる。
One of the source and drain of the transistor 64 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 61. Further, a potential VDD is given to the gate of the transistor 64.

なお、必ずしもトランジスタ64を設けなくてもよい。 It should be noted that the transistor 64 does not necessarily have to be provided.

トランジスタ65のソース及びドレインの一方には、クロック信号CK1が入力される。
さらに、トランジスタ65のゲートは、トランジスタ63のソース及びドレインの他方に
電気的に接続される。トランジスタ65は、図1(B)に示すトランジスタ11に相当す
る。
The clock signal CK1 is input to one of the source and drain of the transistor 65.
Further, the gate of the transistor 65 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 63. The transistor 65 corresponds to the transistor 11 shown in FIG. 1 (B).

トランジスタ66のソース及びドレインの一方は、トランジスタ65のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号OUT)の電位となる
。トランジスタ66は、図1(B)に示すトランジスタ12に相当する。
One of the source and drain of the transistor 66 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 65, and the potential of the other becomes the potential of the pulse signal (output signal OUT). The transistor 66 corresponds to the transistor 12 shown in FIG. 1 (B).

さらに、トランジスタ65のゲートとトランジスタ66のソース及びドレインの他方の間
に容量C1が形成される。なお、必ずしも容量C1を形成しなくてもよい。
Further, a capacitance C1 is formed between the gate of the transistor 65 and the other of the source and drain of the transistor 66. It is not always necessary to form the capacitance C1.

また、トランジスタ66のゲートとトランジスタ66のソース及びドレインの他方の間に
容量C2が形成される。なお、トランジスタ66のゲートと、ソース及びドレインの他方
との間の寄生容量を容量C2に用いてもよい。なお、必ずしも容量C2を形成しなくても
よい。
Further, the capacitance C2 is formed between the gate of the transistor 66 and the other of the source and drain of the transistor 66. The parasitic capacitance between the gate of the transistor 66 and the other of the source and drain may be used for the capacitance C2. It is not always necessary to form the capacitance C2.

トランジスタ67のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ66のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。トランジスタ67は
、図1(B)に示すトランジスタ13に相当する。
One of the source and drain of the transistor 67 is given a potential VSS and the other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 66. The transistor 67 corresponds to the transistor 13 shown in FIG. 1 (B).

トランジスタ68のソース及びドレインの一方には、クロック信号CK1が入力される。
さらに、トランジスタ68のゲートは、トランジスタ63のソース及びドレインの他方に
電気的に接続される。
A clock signal CK1 is input to one of the source and drain of the transistor 68.
Further, the gate of the transistor 68 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 63.

トランジスタ69のソース及びドレインの一方は、トランジスタ68のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方の電位がパルス信号(出力信号SROUT)の電位と
なる。さらに、トランジスタ69のゲートは、トランジスタ64のソース及びドレインの
他方に電気的に接続される。
One of the source and drain of the transistor 69 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 68, and the potential of the other becomes the potential of the pulse signal (output signal SROUT). Further, the gate of the transistor 69 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 64.

さらに、トランジスタ68のゲートとトランジスタ69のソース及びドレインの他方の間
に容量C3が形成される。なお、必ずしも容量C3を形成しなくてもよい。
Further, a capacitance C3 is formed between the gate of the transistor 68 and the other of the source and drain of the transistor 69. It is not always necessary to form the capacitance C3.

また、トランジスタ69のゲートとトランジスタ69のソース及びドレインの他方の間に
容量C4が形成される。なお、トランジスタ69のゲートと、ソース及びドレインの他方
との間の寄生容量を容量C4に用いてもよい。なお、必ずしも容量C4を形成しなくても
よい。
Further, a capacitance C4 is formed between the gate of the transistor 69 and the other of the source and drain of the transistor 69. The parasitic capacitance between the gate of the transistor 69 and the other of the source and drain may be used for the capacitance C4. It is not always necessary to form the capacitance C4.

トランジスタ70のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ69のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。さらに、トランジス
タ70のゲートは、トランジスタ62のゲートに電気的に接続される。
One of the source and drain of the transistor 70 is given a potential VSS and the other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 69. Further, the gate of the transistor 70 is electrically connected to the gate of the transistor 62.

なお、必ずしもトランジスタ68乃至トランジスタ70を設けなくてもよい。 It is not always necessary to provide the transistor 68 to the transistor 70.

トランジスタ71のソース及びドレインの一方には、電位Vaが与えられ、他方は、トラ
ンジスタ65のゲート及びトランジスタ68のゲートに電気的に接続される。さらに、ト
ランジスタ71のゲートの電位は、セット信号LIN、リセット信号RIN、初期化信号
RES、クロック信号CK2、及びクロック信号CK3に従い変化する。トランジスタ7
1は、図1(B)に示すトランジスタ14に相当する。
One of the source and drain of the transistor 71 is given a potential Va, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 65 and the gate of the transistor 68. Further, the potential of the gate of the transistor 71 changes according to the set signal LIN, the reset signal RIN, the initialization signal RES, the clock signal CK2, and the clock signal CK3. Transistor 7
1 corresponds to the transistor 14 shown in FIG. 1 (B).

トランジスタ72のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ72のゲートには、リセット信号RINが入力される。
One of the source and drain of the transistor 72 is given a potential VDD, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. Moreover,
A reset signal RIN is input to the gate of the transistor 72.

トランジスタ73のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ72のゲートには、初期化信号RESが入力される。
One of the source and drain of the transistor 73 is given a potential VDD, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. Moreover,
The initialization signal RES is input to the gate of the transistor 72.

トランジスタ74のソース及びドレインの一方には、電位VSSが与えられ、他方は、ト
ランジスタ67のゲート及びトランジスタ70のゲートに電気的に接続される。さらに、
トランジスタ74のゲートには、セット信号LINが入力される。
One of the source and drain of the transistor 74 is given a potential VSS, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 67 and the gate of the transistor 70. Moreover,
A set signal LIN is input to the gate of the transistor 74.

トランジスタ75のソース及びドレインの一方には、電位VDDが与えられる。さらに、
トランジスタ75のゲートには、クロック信号CK3が入力される。
A potential VDD is given to one of the source and drain of the transistor 75. Moreover,
The clock signal CK3 is input to the gate of the transistor 75.

トランジスタ76のソース及びドレインの一方は、トランジスタ75のソース及びドレイ
ンの他方に電気的に接続され、他方は、トランジスタ67のゲート及びトランジスタ70
のゲートに電気的に接続される。さらに、トランジスタ76のゲートには、クロック信号
CK2が入力される。
One of the source and drain of the transistor 76 is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 75, and the other is the gate and the transistor 70 of the transistor 67.
It is electrically connected to the gate of. Further, a clock signal CK2 is input to the gate of the transistor 76.

容量C5の一対の電極の一方には、電位VSSが与えられ、他方は、トランジスタ71の
ゲートに電気的に接続される。容量C5は、保持容量としての機能を有する。なお、必ず
しも容量C5を設けなくてもよい。
One of the pair of electrodes of capacitance C5 is given the potential VSS and the other is electrically connected to the gate of the transistor 71. The capacity C5 has a function as a holding capacity. It is not always necessary to provide the capacity C5.

トランジスタ61乃至トランジスタ76としては、例えばチャネル形成領域に上記酸化物
半導体を含むトランジスタを適用できる。
As the transistor 61 to the transistor 76, for example, a transistor containing the oxide semiconductor in the channel forming region can be applied.

次に、本実施の形態に係るパルス出力回路の駆動方法例として、図2(A)に示すパルス
出力回路の駆動方法例について、図2(B)のタイミングチャートを参照して説明する。
ここでは、一例として、トランジスタ61乃至トランジスタ76のそれぞれがNチャネル
型であり、電位VDDが正の電位であり、電位VSSが負の電位であり、電位Vaの値が
(VDD+VSS)/2であるとして説明する。また、セット信号LIN、リセット信号
RIN、及びクロック信号CK1乃至クロック信号CK3のハイレベルの電位は、電位V
DDと同じであり、ローレベルの電位は、電位VSSと同じであるとする。また、トラン
ジスタ65のしきい値電圧とトランジスタ68のしきい値電圧は同じとする。また、トラ
ンジスタ66のしきい値電圧とトランジスタ69のしきい値電圧は同じとする。また、電
位Vaとクロック信号CK1のローレベルの電位の電位差は、トランジスタ65のしきい
値電圧よりも大きいとする。また、期間T1の前に、初期化信号RESのパルスを入力し
、トランジスタ73をオン状態にし、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジス
タ71をオン状態にすることにより、パルス出力回路の初期化を行ってもよい。また、ト
ランジスタ66のゲートと他の素子との接続箇所をノードNAとし、トランジスタ67の
ゲートと他の素子との接続箇所をノードNBとし、トランジスタ65のゲートと他の素子
との接続箇所をノードNCとし、トランジスタ65のソース及びドレインの他方とトラン
ジスタ66のソース及びドレインの一方との接続箇所をノードNDとする。
Next, as an example of the driving method of the pulse output circuit according to the present embodiment, an example of the driving method of the pulse output circuit shown in FIG. 2A will be described with reference to the timing chart of FIG. 2B.
Here, as an example, each of the transistors 61 to 76 is an N-channel type, the potential VDD is a positive potential, the potential VSS is a negative potential, and the value of the potential Va is (VDD + VSS) / 2. It is explained as. Further, the high-level potentials of the set signal LIN, the reset signal RIN, and the clock signals CK1 to CK3 are the potential V.
It is the same as DD, and the low level potential is the same as the potential VSS. Further, the threshold voltage of the transistor 65 and the threshold voltage of the transistor 68 are the same. Further, the threshold voltage of the transistor 66 and the threshold voltage of the transistor 69 are the same. Further, it is assumed that the potential difference between the potential Va and the low-level potential of the clock signal CK1 is larger than the threshold voltage of the transistor 65. Further, before the period T1, the pulse of the initialization signal RES is input, the transistor 73 is turned on, and the transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 are turned on to initialize the pulse output circuit. May be good. Further, the connection point between the gate of the transistor 66 and another element is a node NA, the connection point between the gate of the transistor 67 and another element is a node NB, and the connection point between the gate of the transistor 65 and another element is a node. NC is used, and the connection point between the other of the source and drain of the transistor 65 and one of the source and drain of the transistor 66 is referred to as a node ND.

なお本明細書において、電位VSSとは、回路を動作させるために必要な、少なくとも2
つの電源電位のうち、低い方の電位である。前記2つの電源電位のうち、高い方の電位は
電位VDDである。
In the present specification, the potential VSS is at least 2 necessary for operating the circuit.
It is the lower potential of the two power supply potentials. Of the two power supply potentials, the higher potential is the potential VDD.

図2(A)に示すパルス出力回路の駆動方法例では、図2(B)の期間T1において、セ
ット信号LINがハイレベルになり、トランジスタ72、トランジスタ74がオン状態に
なる。また、リセット信号RINがローレベルであるため、トランジスタ72がオフ状態
になる。また、クロック信号CK1乃至クロック信号CK3がローレベルであるため、ト
ランジスタ75及びトランジスタ76がオフ状態になる。
In the example of the driving method of the pulse output circuit shown in FIG. 2A, the set signal LIN becomes high level and the transistor 72 and the transistor 74 are turned on during the period T1 of FIG. 2B. Further, since the reset signal RIN is at a low level, the transistor 72 is turned off. Further, since the clock signal CK1 to the clock signal CK3 are at a low level, the transistor 75 and the transistor 76 are turned off.

このとき、ノードNCの電位が電位VDDと同等の値まで上昇し、トランジスタ65、ト
ランジスタ68がオン状態になり、ノードNDの電位がクロック信号CK1のローレベル
の電位に応じた値になる。さらに、トランジスタ63がオフ状態になる。さらに、ノード
NAの電位が電位VDDと同等の値まで上昇し、トランジスタ66、トランジスタ69が
オン状態になる。さらに、トランジスタ64がオフ状態になる。このときの出力信号OU
T、出力信号SROUTは、ローレベルである。以上により、図2(A)に示すパルス出
力回路は、セット状態になる。
At this time, the potential of the node NC rises to a value equivalent to the potential VDD, the transistor 65 and the transistor 68 are turned on, and the potential of the node ND becomes a value corresponding to the low level potential of the clock signal CK1. Further, the transistor 63 is turned off. Further, the potential of the node NA rises to a value equivalent to the potential VDD, and the transistor 66 and the transistor 69 are turned on. Further, the transistor 64 is turned off. Output signal OU at this time
T, the output signal SROUT is low level. As a result, the pulse output circuit shown in FIG. 2A is in the set state.

次に、期間T2において、セット信号LINがハイレベルのままであるため、トランジス
タ61及びトランジスタ74はオン状態のままである。また、クロック信号CK1がハイ
レベルになる。また、リセット信号RIN、クロック信号CK2、クロック信号CK3が
ローレベルのままであるため、トランジスタ72、トランジスタ75、トランジスタ76
がオフ状態のままである。
Next, in the period T2, the transistor 61 and the transistor 74 remain on because the set signal LIN remains at a high level. Further, the clock signal CK1 becomes a high level. Further, since the reset signal RIN, the clock signal CK2, and the clock signal CK3 remain at the low level, the transistor 72, the transistor 75, and the transistor 76
Remains off.

このとき、トランジスタ62、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71
はオフ状態のままである。さらに、トランジスタ65とトランジスタ66はオン状態のま
まであり、容量C1と、容量C2によって生じる容量結合により、ノードNAとノードN
Cの電位が電位VDDとトランジスタ65のしきい値電圧(Vth65)の和よりもさら
に高い値、すなわち、VDD+Vth65+Vx(Vxは任意の値)まで上昇する。これ
により、出力信号OUTの電位は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値に
なる。また、トランジスタ68とトランジスタ69はオン状態のままであり、出力信号S
ROUTの電位は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値になる。
At this time, the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71
Remains off. Further, the transistor 65 and the transistor 66 remain on, and node NA and node N due to the capacitive coupling caused by the capacitance C1 and the capacitance C2.
The potential of C rises to a value higher than the sum of the potential VDD and the threshold voltage (Vth65) of the transistor 65, that is, VDD + Vth65 + Vx (Vx is an arbitrary value). As a result, the potential of the output signal OUT becomes a value equivalent to the high level potential of the clock signal CK1. Further, the transistor 68 and the transistor 69 remain in the ON state, and the output signal S
The potential of ROUT becomes a value equivalent to the potential of the high level of the clock signal CK1.

次に、期間T3において、セット信号LINがローレベルになり、トランジスタ61、ト
ランジスタ72、及びトランジスタ74がオフ状態になる。また、クロック信号CK1が
ハイレベルのままである。また、クロック信号CK2がハイレベルになり、トランジスタ
76がオン状態になる。また、リセット信号RIN、クロック信号CK3はローレベルの
ままであるため、トランジスタ72及びトランジスタ75はオフ状態のままである。
Next, in the period T3, the set signal LIN becomes low level, and the transistor 61, the transistor 72, and the transistor 74 are turned off. Also, the clock signal CK1 remains at a high level. Further, the clock signal CK2 becomes high level and the transistor 76 is turned on. Further, since the reset signal RIN and the clock signal CK3 remain at the low level, the transistor 72 and the transistor 75 remain in the off state.

このとき、トランジスタ62、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71
は、オフ状態のままである。また、トランジスタ66、トランジスタ69のゲートとドレ
インの間の電圧がVDD+Vxに維持され、出力信号OUT、出力信号SROUTの電位
は、クロック信号CK1のハイレベルの電位と同等の値のままである。よって、出力信号
OUT、出力信号SROUTは、ハイレベルを維持する。
At this time, the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71
Remains off. Further, the voltage between the gate and the drain of the transistor 66 and the transistor 69 is maintained at VDD + Vx, and the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT remain the same as the high level potentials of the clock signal CK1. Therefore, the output signal OUT and the output signal SROUT maintain high levels.

次に、期間T4において、リセット信号RINがハイレベルになり、トランジスタ72が
オン状態になる。また、クロック信号CK1がローレベルになる。また、クロック信号C
K2がハイレベルのままであるため、トランジスタ76はハイレベルのままである。また
、クロック信号CK3がハイレベルになり、トランジスタ75がオン状態になる。また、
セット信号LINがローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジスタ63
、トランジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in the period T4, the reset signal RIN becomes high level and the transistor 72 is turned on. Further, the clock signal CK1 becomes low level. Also, the clock signal C
Transistor 76 remains at high level because K2 remains at high level. Further, the clock signal CK3 becomes high level and the transistor 75 is turned on. also,
Transistor 61, transistor 63 because the set signal LIN remains low level
, Transistor 74 remains off.

このとき、ノードNBの電位が電位VDDと同等の値になり、トランジスタ62、トラン
ジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71がオン状態になる。また、ノードNC
の電位が電位Vaに応じた値になり、トランジスタ65、トランジスタ68はオン状態の
ままである。また、ノードNAの電位が、電位VSSに応じた値になることにより、トラ
ンジスタ66、トランジスタ69がオフ状態になる。よって、ノードNDの電位がクロッ
ク信号CK1のローレベルの電位に応じた値になる。よって、出力信号OUT、出力信号
SROUTの電位がクロック信号CK1のローレベルの電位に応じた値になり、出力信号
OUT、出力信号SROUTがローレベルになる。これにより、図2(A)に示すパルス
出力回路は、リセット状態になる。
At this time, the potential of the node NB becomes a value equivalent to the potential VDD, and the transistor 62, the transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 are turned on. Also, node NC
The potential of the above becomes a value corresponding to the potential Va, and the transistor 65 and the transistor 68 remain in the ON state. Further, when the potential of the node NA becomes a value corresponding to the potential VSS, the transistor 66 and the transistor 69 are turned off. Therefore, the potential of the node ND becomes a value corresponding to the low level potential of the clock signal CK1. Therefore, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT become values corresponding to the low level potentials of the clock signal CK1, and the output signal OUT and the output signal SROUT become low level. As a result, the pulse output circuit shown in FIG. 2A is in the reset state.

次に、期間T5において、リセット信号RINがハイレベルのままであるため、トランジ
スタ72はオン状態のままである。また、クロック信号CK2がローレベルになり、トラ
ンジスタ76がオフ状態になる。また、クロック信号CK3がハイレベルのままであるた
め、トランジスタ75はオン状態のままである。さらに、セット信号LIN、クロック信
号CK1がローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジスタ63、トラン
ジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in the period T5, the reset signal RIN remains at a high level, so that the transistor 72 remains on. Further, the clock signal CK2 becomes low level and the transistor 76 becomes an off state. Also, since the clock signal CK3 remains at a high level, the transistor 75 remains on. Further, since the set signal LIN and the clock signal CK1 remain at the low level, the transistor 61, the transistor 63, and the transistor 74 remain in the off state.

このとき、ノードNBの電位は電位VDDに応じた値のままであり、トランジスタ62、
トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71はオン状態のままである。また
、ノードNCの電位が電位Vaと同等の値のままであり、トランジスタ65、トランジス
タ68はオン状態のままである。また、ノードNAの電位が電位VSSと同等の値のまま
であるため、トランジスタ66、トランジスタ69はオフ状態のままである。よって、ノ
ードNDの電位がクロック信号CK1のローレベルの電位と同等の値になる。よって、出
力信号OUT、出力信号SROUTの電位は、クロック信号CK1のローレベルの電位と
同等の値になり、出力信号OUT、出力信号SROUTはローレベルになる。
At this time, the potential of the node NB remains a value corresponding to the potential VDD, and the transistor 62,
The transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 remain in the ON state. Further, the potential of the node NC remains at the same value as the potential Va, and the transistor 65 and the transistor 68 remain in the ON state. Further, since the potential of the node NA remains at the same value as the potential VSS, the transistor 66 and the transistor 69 remain in the off state. Therefore, the potential of the node ND becomes a value equivalent to the low level potential of the clock signal CK1. Therefore, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT become values equivalent to the low level potentials of the clock signal CK1, and the output signal OUT and the output signal SROUT become low level.

次に、期間T6において、リセット信号RINがローレベルになり、トランジスタ72が
オフ状態になる。また、クロック信号CK1がハイレベルになる。また、クロック信号C
K3がローレベルになり、トランジスタ75がオフ状態になる。さらに、セット信号LI
N、クロック信号CK2がローレベルのままであるため、トランジスタ61、トランジス
タ63、トランジスタ74はオフ状態のままである。
Next, in the period T6, the reset signal RIN becomes a low level and the transistor 72 becomes an off state. Further, the clock signal CK1 becomes a high level. Also, the clock signal C
K3 goes low and the transistor 75 goes off. Furthermore, the set signal LI
Since N, the clock signal CK2 remains at a low level, the transistor 61, the transistor 63, and the transistor 74 remain in the off state.

このとき、ノードNBの電位が電位VDDと同等の値のままであるため、トランジスタ6
2、トランジスタ67、トランジスタ70、トランジスタ71はオン状態のままである。
また、ノードNCの電位が電位Vaと同等の値のままであるため、トランジスタ65、ト
ランジスタ68はオン状態のままである。また、ノードNAの電位が電位VSSと同等の
値のままであるため、トランジスタ66、トランジスタ69はオフ状態のままである。ま
た、トランジスタ65のゲートの電位は、電位VDDよりも低い電位Vaであるため、ノ
ードNDの電位がVa−Vth65になる。これは、クロック信号CK1のローレベルの
電位よりも高く、ハイレベルの電位よりも低い値である。また、出力信号OUT、出力信
号SROUTの電位は、クロック信号CK1のローレベルと同等の値になる。期間T4乃
至期間T6に示すように、出力信号OUT、出力信号SROUTがローレベルのとき、ノ
ードNDの電位は、電位VSSと、クロック信号CK1のローレベルの電位よりも高く、
ハイレベルの電位よりも低いVa−Vth65と、に交互に変化する。よって、トランジ
スタ66のドレインの電位が電位VDDと電位VSSとに交互に変化する場合と比較して
、トランジスタに対するストレスを抑制できる。
At this time, since the potential of the node NB remains at the same value as the potential VDD, the transistor 6
2. The transistor 67, the transistor 70, and the transistor 71 remain in the ON state.
Further, since the potential of the node NC remains at the same value as the potential Va, the transistor 65 and the transistor 68 remain in the ON state. Further, since the potential of the node NA remains at the same value as the potential VSS, the transistor 66 and the transistor 69 remain in the off state. Further, since the potential of the gate of the transistor 65 is a potential Va lower than the potential VDD, the potential of the node ND becomes Va-Vth65. This is a value higher than the low level potential of the clock signal CK1 and lower than the high level potential. Further, the potentials of the output signal OUT and the output signal SROUT have the same values as the low level of the clock signal CK1. As shown in the period T4 to the period T6, when the output signal OUT and the output signal SROUT are at low level, the potential of the node ND is higher than the potential VSS and the low level potential of the clock signal CK1.
It alternates between Va-Vth65, which is lower than the high level potential. Therefore, the stress on the transistor can be suppressed as compared with the case where the potential of the drain of the transistor 66 changes alternately between the potential VDD and the potential VSS.

以上が図2(A)に示すパルス出力回路の説明である。 The above is the description of the pulse output circuit shown in FIG. 2 (A).

なお、本実施の形態に係るパルス出力回路の構成は、上記構成に限定されず、他の構成に
することもできる。
The configuration of the pulse output circuit according to the present embodiment is not limited to the above configuration, and other configurations may be used.

例えば、図3(A)に示すパルス出力回路は、図2(B)に示すパルス出力回路のトラン
ジスタ62のゲートをトランジスタ72のソース及びドレインの他方に電気的に接続する
代わりに、トランジスタ62のゲートにリセット信号RINを入力する構成である。これ
により、パルス出力回路をリセット状態にする際に、ノードNAの電位を電位VSSと同
等の値に設定する速度を速くできる。
For example, in the pulse output circuit shown in FIG. 3 (A), instead of electrically connecting the gate of the transistor 62 of the pulse output circuit shown in FIG. 2 (B) to the other of the source and drain of the transistor 72, the pulse output circuit of the transistor 62 The configuration is such that a reset signal RIN is input to the gate. As a result, when the pulse output circuit is reset, the speed at which the potential of the node NA is set to a value equivalent to the potential VSS can be increased.

また、図3(B)に示すように、図2(B)に示すパルス出力回路のトランジスタ64、
トランジスタ68、トランジスタ69、トランジスタ70、トランジスタ73、トランジ
スタ75、トランジスタ76を必ずしも設けなくてもよい。
Further, as shown in FIG. 3B, the transistor 64 of the pulse output circuit shown in FIG. 2B,
The transistor 68, the transistor 69, the transistor 70, the transistor 73, the transistor 75, and the transistor 76 do not necessarily have to be provided.

また、図4に示すように、トランジスタ62乃至トランジスタ76のそれぞれにバックゲ
ートを設け、バックゲートの電位を制御することによりトランジスタ62乃至トランジス
タ76のしきい値電圧を制御してもよい。例えば、Nチャネル型トランジスタのバックゲ
ートに負電位を与えると、Nチャネル型トランジスタのしきい値電圧を正方向にシフトさ
せることができる。図4に示すパルス出力回路において、トランジスタ61、トランジス
タ64、トランジスタ72、トランジスタ73、トランジスタ75、及びトランジスタ7
6のバックゲートのそれぞれには、電位BG1が与えられ、トランジスタ62、トランジ
スタ63、トランジスタ65乃至トランジスタ71、及びトランジスタ74のバックゲー
トのそれぞれには、電位BG2が与えられる。なお、電位BG1及び電位BG2として負
電位を用いる場合、電位BG2の値は、電位BG1よりも低いことが好ましい。電位BG
1が供給されるトランジスタのしきい値電圧が高すぎると、パルス出力回路の動作不良が
起こりやすいためである。
Further, as shown in FIG. 4, a back gate may be provided in each of the transistors 62 to 76, and the threshold voltage of the transistors 62 to 76 may be controlled by controlling the potential of the back gate. For example, when a negative potential is applied to the back gate of the N-channel transistor, the threshold voltage of the N-channel transistor can be shifted in the positive direction. In the pulse output circuit shown in FIG. 4, the transistor 61, the transistor 64, the transistor 72, the transistor 73, the transistor 75, and the transistor 7
A potential BG1 is given to each of the back gates of No. 6, and a potential BG 2 is given to each of the back gates of the transistor 62, the transistor 63, the transistors 65 to 71, and the transistor 74. When a negative potential is used as the potential BG1 and the potential BG2, the value of the potential BG2 is preferably lower than the potential BG1. Potential BG
This is because if the threshold voltage of the transistor to which 1 is supplied is too high, the pulse output circuit is likely to malfunction.

なお、図3(A)又は図3(B)に示す構成においても同様に、トランジスタにバックゲ
ートを設けてもよい。
Similarly, in the configuration shown in FIG. 3A or FIG. 3B, a back gate may be provided in the transistor.

さらに、図2(A)に示すパルス出力回路を複数段備えるシフトレジスタの例について図
5を参照して説明する。
Further, an example of a shift register having a plurality of stages of pulse output circuits shown in FIG. 2A will be described with reference to FIG.

図5(A)に示すシフトレジスタ30は、複数段のパルス出力回路(パルス出力回路31
_1乃至パルス出力回路31_N(Nは2以上の自然数)を有する。図5(A)では、一
例としてN=4以上の場合について示す。
The shift register 30 shown in FIG. 5A is a pulse output circuit having a plurality of stages (pulse output circuit 31).
It has _1 to a pulse output circuit 31_N (N is a natural number of 2 or more). FIG. 5A shows a case where N = 4 or more as an example.

パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_Nのそれぞれは、図2(A)に示すパ
ルス出力回路に相当する。パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_Nは、図5
(B)に示すように、セット信号LIN、リセット信号RIN、初期化信号RES、クロ
ック信号CK1、クロック信号CK2、及びクロック信号CK3に従い、出力信号OUT
、出力信号SROUTとして複数のパルス信号を生成して出力する機能を有する。
Each of the pulse output circuit 31_1 to the pulse output circuit 31_N corresponds to the pulse output circuit shown in FIG. 2 (A). The pulse output circuit 31_1 to the pulse output circuit 31_N are shown in FIG.
As shown in (B), the output signal OUT follows the set signal LIN, the reset signal RIN, the initialization signal RES, the clock signal CK1, the clock signal CK2, and the clock signal CK3.
, Has a function of generating and outputting a plurality of pulse signals as an output signal SROUT.

パルス出力回路31_1には、セット信号LINとしてスタートパルス信号SPが入力さ
れる。さらに、パルス出力回路31_K(Kは2以上N以下の自然数)には、セット信号
LINとしてパルス出力回路31_K−1から出力されるパルス信号(出力信号SROU
T)が入力される。
The start pulse signal SP is input to the pulse output circuit 31_1 as a set signal LIN. Further, the pulse output circuit 31_K (K is a natural number of 2 or more and N or less) has a pulse signal (output signal SROW) output from the pulse output circuit 31_K-1 as a set signal LIN.
T) is input.

パルス出力回路31_M(MはN−1以下の自然数)には、リセット信号RINとしてパ
ルス出力回路31_M+2から出力されるパルス信号(出力信号SROUT)が入力され
る。
A pulse signal (output signal SROUT) output from the pulse output circuit 31_M + 2 is input as a reset signal RIN to the pulse output circuit 31_M (M is a natural number of N-1 or less).

さらに、パルス出力回路31_1には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK1
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK2が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK3が入力される。さらに、パルス出力回路31_1を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
1が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK2が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK3が入力される。
Further, in the pulse output circuit 31_1, the clock signal CLK1 is used as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK3. Further, with reference to the pulse output circuit 31_1, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every three pulse output circuits.
1 is input, the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_2には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK2
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK3が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK4が入力される。さらに、パルス出力回路31_2を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
2が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK3が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK4が入力される。
Further, in the pulse output circuit 31_2, the clock signal CLK2 is used as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK3. Further, with reference to the pulse output circuit 31_2, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every three pulse output circuits.
2 is input, the clock signal CLK3 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_3には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK3
が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK4が入力され、クロック信号
CK3としてクロック信号CLK1が入力される。さらに、パルス出力回路31_3を基
準として、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK
3が入力され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK4が入力され、クロック信
号CK3としてクロック信号CLK1が入力される。
Further, in the pulse output circuit 31_3, the clock signal CLK3 is used as the clock signal CK1.
Is input, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK3. Further, with reference to the pulse output circuit 31_3, the clock signal CLK is used as the clock signal CK1 for every three pulse output circuits.
3 is input, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK3.

パルス出力回路31_4には、クロック信号CK1としてクロック信号CLK4が入力さ
れ、クロック信号CK2としてクロック信号CLK1が入力され、クロック信号CK3と
してクロック信号CLK2が入力される。さらに、パルス出力回路31_4を基準として
、3つ置きのパルス出力回路毎にクロック信号CK1としてクロック信号CLK4が入力
され、クロック信号CK2としてクロック信号CLK1が入力され、クロック信号CK3
としてクロック信号CLK2が入力される。なお、図5(A)では、一例として、パルス
出力回路31_N+2に入力されるにクロック信号CK1、クロック信号CK2、及びク
ロック信号CK3が、パルス出力回路31_4に入力されるクロック信号CK1、クロッ
ク信号CK2、及びクロック信号CK3と同じであるとする。
The clock signal CLK4 is input to the pulse output circuit 31_4 as the clock signal CK1, the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CLK2 is input as the clock signal CK3. Further, with reference to the pulse output circuit 31_4, the clock signal CLK4 is input as the clock signal CK1 for every three pulse output circuits, the clock signal CLK1 is input as the clock signal CK2, and the clock signal CK3 is used.
The clock signal CLK2 is input as. In FIG. 5A, as an example, the clock signal CK1, the clock signal CK2, and the clock signal CK3 are input to the pulse output circuit 31_4, and the clock signal CK1 and the clock signal CK2 are input to the pulse output circuit 31_4. , And the clock signal CK3.

さらに、パルス出力回路31_N+1及びパルス出力回路31_N+2のそれぞれの構成
は、図2(A)に示すパルス出力回路の構成のうち、トランジスタ72が無い構成である
。パルス出力回路31_N+1から出力されるパルス信号(出力信号SROUT_N+1
)は、リセット信号RINとしてパルス出力回路31_N−1に入力される。また、パル
ス出力回路31_N+2から出力されるパルス信号(出力信号SROUT_N+2)は、
リセット信号RINとしてパルス出力回路31_Nに入力される。なお、パルス出力回路
31_N+1、パルス出力回路31_N+2を設けずに、別途生成したパルス信号をパル
ス出力回路31_N−1、パルス出力回路31_Nに入力してもよい。また、必ずしも出
力信号OUT_N+1及び出力信号OUT_N+2を出力しなくてもよい。
Further, each of the configurations of the pulse output circuit 31_N + 1 and the pulse output circuit 31_N + 2 is the configuration of the pulse output circuit shown in FIG. 2A without the transistor 72. Pulse signal output from pulse output circuit 31_N + 1 (output signal SROUT_N + 1)
) Is input to the pulse output circuit 31_N-1 as a reset signal RIN. Further, the pulse signal (output signal SROUT_N + 2) output from the pulse output circuit 31_N + 2 is
It is input to the pulse output circuit 31_N as a reset signal RIN. Note that the separately generated pulse signal may be input to the pulse output circuit 31_N-1 and the pulse output circuit 31_N without providing the pulse output circuit 31_N + 1 and the pulse output circuit 31_N + 2. Further, it is not always necessary to output the output signal OUT_N + 1 and the output signal OUT_N + 2.

さらに、パルス出力回路31_1乃至パルス出力回路31_N+2のそれぞれには、初期
化信号RESとして、初期化信号INI_RESが入力される。
Further, the initialization signal INI_RES is input as the initialization signal RES to each of the pulse output circuit 31_1 to the pulse output circuit 31_N + 2.

次に、図5(A)に示すシフトレジスタ30の駆動方法例について、図5(C)のタイミ
ングチャートを参照して説明する。ここでは、一例として、電位VDDが正の電位であり
、電位VSSが負の電位であり、電位Vaが(VDD+VSS)/2であるとして説明す
る。また、一例として、セット信号LIN、リセット信号RIN、及びクロック信号CL
K1乃至クロック信号CLK4のハイレベルの電位は、電位VDDと同じであり、ローレ
ベルの電位は、電位VSSと同じであるとする。また、一例として、クロック信号CLK
1乃至クロック信号CLK4のデューティ比が50%であるとする。また、一例として、
クロック信号CLK2がクロック信号CLK1よりも1/4周期分遅れているとし、クロ
ック信号CLK3がクロック信号CLK2よりも1/4周期分遅れているとし、クロック
信号CLK4がクロック信号CLK3よりも1/4周期分遅れているとする。また、一例
として、スタートパルス信号SPのパルスの幅がクロック信号CLK1乃至クロック信号
CLK4のパルスの幅と同じであるとする。また、各パルス出力回路がセット状態になる
前に、初期化信号INI_RESのパルスを入力し、パルス出力回路の初期化を行うとす
る。
Next, an example of the driving method of the shift register 30 shown in FIG. 5A will be described with reference to the timing chart of FIG. 5C. Here, as an example, it is assumed that the potential VDD is a positive potential, the potential VSS is a negative potential, and the potential Va is (whether + VSS) / 2. Further, as an example, the set signal LIN, the reset signal RIN, and the clock signal CL
It is assumed that the high-level potential of K1 to the clock signal CLK4 is the same as the potential VDD, and the low-level potential is the same as the potential VSS. Also, as an example, the clock signal CLK
It is assumed that the duty ratio of 1 to the clock signal CLK4 is 50%. Also, as an example
It is assumed that the clock signal CLK2 is delayed by 1/4 cycle from the clock signal CLK1, the clock signal CLK3 is delayed by 1/4 cycle from the clock signal CLK2, and the clock signal CLK4 is 1/4 of the clock signal CLK3. It is assumed that it is delayed by the cycle. Further, as an example, it is assumed that the pulse width of the start pulse signal SP is the same as the pulse width of the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4. Further, it is assumed that the pulse of the initialization signal INI_RES is input to initialize the pulse output circuit before each pulse output circuit is in the set state.

図5(C)に示すように、図5(A)に示すシフトレジスタ30は、時刻T11にスター
トパルス信号SPがハイレベルになることにより、時刻T12にクロック信号CLK1が
ハイレベルになる。さらに、シフトレジスタ30は、クロック信号CLK1乃至クロック
信号CLK4に従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパルスを順
次出力し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する。
As shown in FIG. 5C, in the shift register 30 shown in FIG. 5A, the clock signal CLK1 becomes high level at time T12 because the start pulse signal SP becomes high level at time T11. Further, the shift register 30 sequentially outputs the pulses of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N according to the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4, and sequentially outputs the pulses of the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N.

以上が図5(A)に示すシフトレジスタ30の駆動方法例の説明である。 The above is an explanation of an example of the driving method of the shift register 30 shown in FIG. 5 (A).

なお、図5(A)に示すシフトレジスタ30に保護回路を設けてもよい。例えば、図6(
A)に示すシフトレジスタ30は、図5(A)に示すシフトレジスタにおいて、初期化信
号INI_RES、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4、スタートパルス信
号SPを入力するための配線に保護回路32が電気的に接続された構成である。
A protection circuit may be provided in the shift register 30 shown in FIG. 5 (A). For example, FIG. 6 (
In the shift register 30 shown in A), in the shift register shown in FIG. 5A, the protection circuit 32 is electrically connected to the wiring for inputting the initialization signal INI_RES, the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4, and the start pulse signal SP. It is a configuration connected to.

また、図6(B)に示すシフトレジスタ30は、図6(A)に示すシフトレジスタ30か
ら出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nを出力するための配線に保護回路33が電
気的に接続された構成である。
Further, the shift register 30 shown in FIG. 6B has a configuration in which the protection circuit 33 is electrically connected to the wiring for outputting the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N from the shift register 30 shown in FIG. 6A. Is.

また、図5(A)に示すシフトレジスタ30に図6(A)に示す保護回路32と、図6(
B)に示す保護回路33を設けてもよい。
Further, the shift register 30 shown in FIG. 5 (A) has the protection circuit 32 shown in FIG. 6 (A) and FIG. 6 (A).
The protection circuit 33 shown in B) may be provided.

保護回路32及び保護回路33は、自身が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられ
たときに、該配線と別の電源線とを導通状態にする回路である。保護回路32及び保護回
路33は、例えばダイオードなどを用いて構成される。
The protection circuit 32 and the protection circuit 33 are circuits that make the wiring and another power line conductive when a potential outside a certain range is applied to the wiring to which the protection circuit 32 is connected. The protection circuit 32 and the protection circuit 33 are configured by using, for example, a diode or the like.

図6に示すように、保護回路を設けることにより、シフトレジスタにおいて、静電気放電
(ESDともいう)などにより発生する過電圧の電気耐性を高めることができる。
As shown in FIG. 6, by providing a protection circuit, it is possible to increase the electrical resistance of the overvoltage generated by electrostatic discharge (also referred to as ESD) in the shift register.

図1乃至図6を参照して説明したように、本実施の形態に係るパルス出力回路の一例では
、トランジスタ11を設け、出力するパルス信号がローレベルの期間において、トランジ
スタ11により、トランジスタ12のソース及びドレインの一方の電位をクロック信号の
ハイレベルの電位よりも低くする。これにより、トランジスタ12に与えられるストレス
を抑制できるため、トランジスタの劣化を抑制できる。
As described with reference to FIGS. 1 to 6, in an example of the pulse output circuit according to the present embodiment, the transistor 11 is provided, and the transistor 12 is provided with the transistor 12 during the period when the output pulse signal is at a low level. The potential of one of the source and drain is lower than the high level potential of the clock signal. As a result, the stress applied to the transistor 12 can be suppressed, so that the deterioration of the transistor can be suppressed.

(実施の形態2)
本実施の形態では、実施の形態1に係るパルス出力回路を用いた表示装置の例について図
7乃至図10を参照して説明する。
(Embodiment 2)
In the present embodiment, an example of the display device using the pulse output circuit according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 7 to 10.

図7(A)に示す表示装置は、画素部201と、駆動回路部202と、を含む。 The display device shown in FIG. 7A includes a pixel unit 201 and a drive circuit unit 202.

画素部201は、X行(Xは2以上の自然数)Y列(Yは2以上の自然数)に配置された
複数の画素回路211を備え、駆動回路部202は、ゲートドライバ221、ソースドラ
イバ223などの駆動回路を備える。
The pixel unit 201 includes a plurality of pixel circuits 211 arranged in the X row (X is a natural number of 2 or more) and the Y column (Y is a natural number of 2 or more), and the drive circuit unit 202 includes a gate driver 221 and a source driver 223. It is equipped with a drive circuit such as.

ゲートドライバ221は、実施の形態1に示すパルス出力回路を複数段有するシフトレジ
スタ(例えば図5(A)に示すシフトレジスタ30)を備える。例えば、ゲートドライバ
221は、シフトレジスタから出力されるパルス信号により、走査線GL_1乃至GL_
Xの電位を制御する機能を有する。なお、ゲートドライバ221を複数設け、複数のゲー
トドライバ221により、走査線GL_1乃至GL_Xを分割して制御してもよい。
The gate driver 221 includes a shift register having a plurality of stages of the pulse output circuits shown in the first embodiment (for example, the shift register 30 shown in FIG. 5A). For example, the gate driver 221 may use the scanning lines GL_1 to GL_ by the pulse signal output from the shift register.
It has a function of controlling the potential of X. A plurality of gate drivers 221 may be provided, and the scanning lines GL_1 to GL_X may be divided and controlled by the plurality of gate drivers 221.

ソースドライバ223には、画像信号が入力される。ソースドライバ223は、画像信号
を元に画素回路211に書き込むデータ信号を生成する機能を有する。また、ソースドラ
イバ223は、データ線DL_1乃至DL_Yの電位を制御する機能を有する。
An image signal is input to the source driver 223. The source driver 223 has a function of generating a data signal to be written in the pixel circuit 211 based on the image signal. Further, the source driver 223 has a function of controlling the potentials of the data lines DL_1 to DL_Y.

ソースドライバ223は、例えば複数のアナログスイッチなどを用いて構成される。ソー
スドライバ223は、複数のアナログスイッチを順次オン状態にすることにより、画像信
号を時分割した信号をデータ信号として出力できる。また、シフトレジスタなどを用いて
ソースドライバ223を構成してもよい。このとき、シフトレジスタとしては、実施の形
態1に示すパルス出力回路を複数段有するシフトレジスタ(例えば図5(A)に示すシフ
トレジスタ30)を用いることができる。
The source driver 223 is configured by using, for example, a plurality of analog switches. The source driver 223 can output a time-division signal of an image signal as a data signal by sequentially turning on a plurality of analog switches. Further, the source driver 223 may be configured by using a shift register or the like. At this time, as the shift register, a shift register having a plurality of stages of the pulse output circuits shown in the first embodiment (for example, the shift register 30 shown in FIG. 5A) can be used.

複数の画素回路211のそれぞれは、複数の走査線GLの一つを介してパルス信号が入力
され、複数のデータ線DLの一つを介してデータ信号が入力される。複数の画素回路21
1のそれぞれは、ゲートドライバ221によりデータ信号のデータの書き込み及び保持が
制御される。例えば、m行n列目の画素回路211は、走査線GL_m(mはX以下の自
然数)を介してゲートドライバ221からパルス信号が入力され、走査線GL_mの電位
に応じてデータ線DL_n(nはY以下の自然数)を介してソースドライバ223からデ
ータ信号が入力される。
In each of the plurality of pixel circuits 211, a pulse signal is input via one of the plurality of scanning lines GL, and a data signal is input via one of the plurality of data line DLs. Multiple pixel circuits 21
In each of 1, the writing and holding of the data of the data signal is controlled by the gate driver 221. For example, in the pixel circuit 211 in the mth row and nth column, a pulse signal is input from the gate driver 221 via the scanning line GL_m (m is a natural number of X or less), and the data line DL_n (n) is input according to the potential of the scanning line GL_m. Is a natural number less than or equal to Y), and a data signal is input from the source driver 223.

複数の画素回路211のそれぞれは、例えば、図7(B−1)に示すように、液晶素子2
30と、トランジスタ231_1と、容量素子233_1と、を備える。
Each of the plurality of pixel circuits 211 is, for example, as shown in FIG. 7 (B-1), the liquid crystal element 2
30, a transistor 231_1, and a capacitive element 233_1 are provided.

液晶素子230の一対の電極の一方の電位は、画素回路211の仕様に応じて適宜設定さ
れる。液晶素子230は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複数
の画素回路211のそれぞれが有する液晶素子230の一対の電極の一方に共通の電位(
コモン電位)を与えてもよい。また、各行の画素回路211毎の液晶素子230の一対の
電極の一方に異なる電位を与えてもよい。
The potential of one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 is appropriately set according to the specifications of the pixel circuit 211. The orientation state of the liquid crystal element 230 is set according to the written data. It should be noted that the potential common to one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 possessed by each of the plurality of pixel circuits 211 (
Common potential) may be given. Further, different potentials may be applied to one of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230 for each pixel circuit 211 in each row.

例えば、液晶素子を備える表示装置の表示方式としては、TN(Twisted Nem
atic)モード、IPS(In Plane Switching)モード、STN(
Super Twisted Nematic)モード、VA(Vertical Al
ignment)モード、ASM(Axially Symmetric Aligne
d Micro−cell)モード、OCB(Optically Compensat
ed Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric L
iquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric
Liquid Crystal)モード、MVA(Multi−Domain Ver
tical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertic
al Alignment)モード、FFS(Fringe Field Switch
ing)モード、又はTBA(Transverse Bend Alignment)
モードなどを用いてもよい。
For example, as a display method of a display device including a liquid crystal element, TN (Twisted Nem) is used.
atic) mode, IPS (In Plane Switching) mode, STN (
Super Twisted Nematic mode, VA (Vertical Al)
symmetric) mode, ASM (Axial symmetry Axial symmetry)
d Micro-cell mode, OCB (Optically Compensat)
ed Birefringence) mode, FLC (Ferroelectric L)
quid Crystal) mode, AFLC (AntiFerolectric)
Liquid Crystal) mode, MVA (Multi-Domain Ver)
Tical Alignment mode, PVA (Patterned Vertic)
alSignment) mode, FFS (Fringe Field Switch)
ing) mode, or TBA (Transverse Bend Alignment)
A mode or the like may be used.

また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物により液晶素子を構成しても
よい。ブルー相を示す液晶は、応答速度が1msec以下と短く、光学的等方性であるた
め、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。
Further, the liquid crystal element may be composed of a liquid crystal composition containing a liquid crystal exhibiting a blue phase and a chiral agent. The liquid crystal showing the blue phase has a short response speed of 1 msec or less and is optically isotropic, so that no alignment treatment is required and the viewing angle dependence is small.

m行n列目の画素回路211において、トランジスタ231_1のソース及びドレインの
一方は、データ線DL_nに電気的に接続され、他方は液晶素子230の一対の電極の他
方に電気的に接続される。また、トランジスタ231_1のゲートは、走査線GL_mに
電気的に接続される。トランジスタ231_1は、オン状態又はオフ状態になることによ
り、データ信号のデータの書き込みを制御する機能を有する。
In the pixel circuit 211 in the m-th row and n-th column, one of the source and the drain of the transistor 231_1 is electrically connected to the data line DL_n, and the other is electrically connected to the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230. Further, the gate of the transistor 231_1 is electrically connected to the scanning line GL_m. The transistor 231_1 has a function of controlling data writing of a data signal by being turned on or off.

容量素子233_1の一対の電極の一方は、電位供給線VLに電気的に接続され、他方は
、液晶素子230の一対の電極の他方に電気的に接続される。なお、電位供給線VLの電
位の値は、画素回路211の仕様に応じて適宜設定される。容量素子233_1は、書き
込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。
One of the pair of electrodes of the capacitive element 233_1 is electrically connected to the potential supply line VL, and the other is electrically connected to the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element 230. The potential value of the potential supply line VL is appropriately set according to the specifications of the pixel circuit 211. The capacitive element 233_1 has a function as a holding capacitance for holding the written data.

図7(B−1)の画素回路211を備える表示装置では、ゲートドライバ221により各
行の画素回路211を順次選択し、トランジスタ231_1をオン状態にしてデータ信号
のデータを書き込む。
In the display device including the pixel circuit 211 of FIG. 7B-1, the pixel circuit 211 of each row is sequentially selected by the gate driver 221, the transistor 231_1 is turned on, and the data of the data signal is written.

データが書き込まれた画素回路211は、トランジスタ231_1がオフ状態になること
で保持状態になる。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
The pixel circuit 211 to which the data is written is put into a holding state when the transistor 231_1 is turned off. By doing this sequentially line by line, the image can be displayed.

また、図7(B−2)に示す画素回路は、トランジスタ231_2と、容量素子233_
2と、トランジスタ234と、発光素子(ELともいう)235と、を備える。
Further, in the pixel circuit shown in FIG. 7 (B-2), the transistor 231_2 and the capacitive element 233_
2, a transistor 234, and a light emitting element (also referred to as EL) 235 are provided.

トランジスタ231_2のソース及びドレインの一方は、データ線DL_nに電気的に接
続される。さらに、トランジスタ231_2のゲートは、ゲート信号線GL_mに電気的
に接続される。
One of the source and drain of the transistor 231-2 is electrically connected to the data line DL_n. Further, the gate of the transistor 231-2 is electrically connected to the gate signal line GL_m.

トランジスタ231_2は、オン状態又はオフ状態になることにより、データ信号のデー
タの書き込みを制御する機能を有する。
The transistor 231_2 has a function of controlling data writing of a data signal by being turned on or off.

容量素子233_2の一対の電極の一方は、電源線VL_aに電気的に接続され、他方は
、トランジスタ231_2のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the pair of electrodes of the capacitive element 233_2 is electrically connected to the power line VL_a and the other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 231_2.

容量素子233_2は、書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。 The capacitive element 233_2 has a function as a holding capacitance for holding the written data.

トランジスタ234のソース及びドレインの一方は、電源線VL_aに電気的に接続され
る。さらに、トランジスタ234のゲートは、トランジスタ231_2のソース及びドレ
インの他方に電気的に接続される。
One of the source and drain of the transistor 234 is electrically connected to the power line VL_a. Further, the gate of transistor 234 is electrically connected to the other of the source and drain of transistor 231_2.

発光素子235のアノード及びカソードの一方は、電源線VL_bに電気的に接続され、
他方は、トランジスタ234のソース及びドレインの他方に電気的に接続される。
One of the anode and cathode of the light emitting element 235 is electrically connected to the power supply line VL_b.
The other is electrically connected to the other of the source and drain of the transistor 234.

発光素子235としては、例えば有機エレクトロルミネセンス素子などを用いることがで
きる。
As the light emitting element 235, for example, an organic electroluminescence element or the like can be used.

なお、電源線VL_a及び電源線VL_bの一方には、電位VDDが与えられ、他方には
、電位VSSが与えられる。
The potential VDD is given to one of the power line VL_a and the power line VL_b, and the potential VSS is given to the other.

図7(B−2)の画素回路211を備える表示装置では、ゲートドライバ221により各
行の画素回路211を順次選択し、トランジスタ231_2をオン状態にしてデータ信号
のデータを書き込む。
In the display device including the pixel circuit 211 of FIG. 7B-2, the pixel circuit 211 of each row is sequentially selected by the gate driver 221, the transistor 231_2 is turned on, and the data of the data signal is written.

データが書き込まれた画素回路211は、トランジスタ231_2がオフ状態になること
で保持状態になる。さらに、書き込まれたデータ信号の電位に応じてトランジスタ234
のソースとドレインの間に流れる電流量が制御され、発光素子235は、流れる電流量に
応じた輝度で発光する。これを行毎に順次行うことにより、画像を表示できる。
The pixel circuit 211 to which the data is written is put into a holding state when the transistor 231_2 is turned off. Further, the transistor 234 corresponds to the potential of the written data signal.
The amount of current flowing between the source and drain of the light emitting element 235 is controlled, and the light emitting element 235 emits light with brightness corresponding to the amount of flowing current. By doing this sequentially line by line, the image can be displayed.

さらに、図7(A)に示す表示装置が、低消費電力モードでの動作が可能な場合の駆動方
法の例について、図8のタイミングチャートを参照して説明する。ここでは、一例として
、ゲートドライバ221に実施の形態1に示すシフトレジスタを用いる場合について説明
する。
Further, an example of a driving method when the display device shown in FIG. 7A can be operated in the low power consumption mode will be described with reference to the timing chart of FIG. Here, as an example, a case where the shift register shown in the first embodiment is used for the gate driver 221 will be described.

図7(A)に示す表示装置の動作は、通常モード及び低消費電力モードに分けられる。 The operation of the display device shown in FIG. 7A is divided into a normal mode and a low power consumption mode.

通常モードのときの動作について説明する。このとき、図8の期間311に示すように、
スタートパルス信号SP、電源電圧PWR、及びクロック信号CLK1乃至クロック信号
CLK4をシフトレジスタに入力すると、シフトレジスタは、スタートパルス信号SPの
パルスに従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパルスを順次出力
し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する。なお、電源電
圧PWRとしては、電位VDDと電位VSSからなる電源電圧、電位Vaと電位VSSか
らなる電源電圧が挙げられる。
The operation in the normal mode will be described. At this time, as shown in the period 311 of FIG.
When the start pulse signal SP, the power supply voltage PWR, and the clock signals CLK1 to the clock signal CLK4 are input to the shift register, the shift register sequentially outputs the pulses of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N according to the pulse of the start pulse signal SP. The pulses of the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N are sequentially output. Examples of the power supply voltage PWR include a power supply voltage composed of the potential VDD and the potential VSS, and a power supply voltage composed of the potential Va and the potential VSS.

次に、通常モードから低消費電力モードになるときの動作について説明する。このとき、
図8の期間312に示すように、シフトレジスタに対する電源電圧PWR、クロック信号
CLK1乃至クロック信号CLK4、及びスタートパルス信号SPの出力を停止させる。
Next, the operation when the normal mode is changed to the low power consumption mode will be described. At this time,
As shown in the period 312 of FIG. 8, the output of the power supply voltage PWR, the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4, and the start pulse signal SP to the shift register is stopped.

このとき、シフトレジスタに対し、まずスタートパルス信号SPの入力を停止させ、次に
クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4の入力を順次停止させ、次に電源電圧P
WRの入力を停止させることが好ましい。これにより、シフトレジスタの誤動作を抑制で
きる。
At this time, the input of the start pulse signal SP is first stopped in the shift register, then the inputs of the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4 are sequentially stopped, and then the power supply voltage P is stopped.
It is preferable to stop the input of WR. As a result, the malfunction of the shift register can be suppressed.

シフトレジスタに対する電源電圧PWR、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK
4、及びスタートパルス信号SPの入力を停止させると、出力信号SROUT_1乃至出
力信号SROUT_Nのパルスの出力が停止し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT
_Nのパルスの出力が停止する。よって、表示装置が低消費電力モードになる。
Power supply voltage PWR for shift register, clock signal CLK1 to clock signal CLK
4. When the input of the start pulse signal SP is stopped, the output of the pulse of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N is stopped, and the output signal OUT_1 to the output signal OUT
The output of the _N pulse stops. Therefore, the display device is in the low power consumption mode.

その後シフトレジスタを通常モードに復帰させる場合には、図8の期間313に示すよう
に、シフトレジスタに対するスタートパルス信号SP、クロック信号CLK1乃至クロッ
ク信号CLK4、及び電源電圧PWRの入力を再開させる。
After that, when the shift register is returned to the normal mode, the input of the start pulse signal SP, the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4, and the power supply voltage PWR to the shift register is restarted as shown in the period 313 of FIG.

このとき、シフトレジスタに対し、まず電源電圧PWRの入力を再開させ、次にクロック
信号CLK1乃至クロック信号CLK4の入力を再開させ、次にスタートパルス信号SP
の入力を再開させる。さらにこのとき、クロック信号CLK1乃至クロック信号CLK4
が入力される配線の電位を電位VDDに設定した後にクロック信号CLK1乃至クロック
信号CLK4の入力を順次再開させることが好ましい。
At this time, the input of the power supply voltage PWR is first restarted to the shift register, then the input of the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4 is restarted, and then the start pulse signal SP is restarted.
Resume input. Further, at this time, the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4
It is preferable to sequentially restart the input of the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4 after setting the potential of the wiring to which is input to the potential VDD.

シフトレジスタに対するスタートパルス信号SP、クロック信号CLK1乃至クロック信
号CLK4、及び電源電圧PWRの入力を再開させると、シフトレジスタは、スタートパ
ルス信号SPのパルスに従い、出力信号SROUT_1乃至出力信号SROUT_Nのパ
ルスを順次出力し、出力信号OUT_1乃至出力信号OUT_Nのパルスを順次出力する
。よって、表示装置は通常モードに復帰する。
When the input of the start pulse signal SP, the clock signal CLK1 to the clock signal CLK4, and the power supply voltage PWR to the shift register is restarted, the shift register sequentially outputs the pulses of the output signal SROUT_1 to the output signal SROUT_N according to the pulse of the start pulse signal SP. It is output, and the pulses of the output signal OUT_1 to the output signal OUT_N are sequentially output. Therefore, the display device returns to the normal mode.

以上が表示装置の例の説明である。 The above is the description of the example of the display device.

図8を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、必要に応じて
シフトレジスタを備える駆動回路の動作を停止できる。よって、例えば画素回路のトラン
ジスタにオフ電流の低いトランジスタを用い、画像を表示する際に、一部又は全部の画素
回路でデータ信号の書き換えが不要である場合、駆動回路の動作を停止させ、書き換え間
隔を長くすることにより、消費電力を低減できる。
As described with reference to FIG. 8, in an example of the display device according to the present embodiment, the operation of the drive circuit including the shift register can be stopped as needed. Therefore, for example, when a transistor having a low off current is used as a transistor of a pixel circuit and it is not necessary to rewrite a data signal in a part or all of the pixel circuits when displaying an image, the operation of the drive circuit is stopped and rewritten. Power consumption can be reduced by increasing the interval.

なお、図9に示すように、ゲートドライバ221と画素回路211の間(ゲート信号線G
L)に保護回路225を接続してもよい。また、ソースドライバ223と画素回路211
の間(データ信号線DL)に保護回路225を接続してもよい。保護回路225は、自身
が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられたときに、該配線と別の電源線とを導通
状態にする回路である。保護回路225は、例えばダイオードなどを用いて構成される。
As shown in FIG. 9, between the gate driver 221 and the pixel circuit 211 (gate signal line G).
The protection circuit 225 may be connected to L). In addition, the source driver 223 and the pixel circuit 211
The protection circuit 225 may be connected between (data signal line DL). The protection circuit 225 is a circuit that makes the wiring and another power line conductive when a potential outside a certain range is applied to the wiring to which the protection circuit 225 is connected. The protection circuit 225 is configured by using, for example, a diode.

図9に示すように、保護回路を設けることにより、ESDなどにより発生する過電圧に対
する表示装置の耐性を高めることができる。
As shown in FIG. 9, by providing the protection circuit, the resistance of the display device to the overvoltage generated by ESD or the like can be increased.

図1乃至図9を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、実施
の形態1に示すパルス出力回路を用いてゲートドライバ、ソースドライバなどの駆動回路
を構成する。上記駆動回路では、トランジスタに対するストレスが小さいため、表示装置
の信頼性を高めることができる。
As described with reference to FIGS. 1 to 9, in an example of the display device according to the present embodiment, a drive circuit such as a gate driver and a source driver is configured by using the pulse output circuit shown in the first embodiment. .. In the above drive circuit, since the stress on the transistor is small, the reliability of the display device can be improved.

さらに、本実施の形態に係る表示装置の構造例について図10を参照して説明する。 Further, a structural example of the display device according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図10(A)に示す表示装置は、縦電界方式の液晶表示装置である。 The display device shown in FIG. 10A is a vertical electric field type liquid crystal display device.

導電層703a及び703bは、絶縁層701を挟んで基板700の一平面に設けられる
The conductive layers 703a and 703b are provided on one plane of the substrate 700 with the insulating layer 701 interposed therebetween.

導電層703aは、駆動回路部202に設けられる。導電層703aは、駆動回路のトラ
ンジスタのゲートとしての機能を有する。
The conductive layer 703a is provided in the drive circuit unit 202. The conductive layer 703a has a function as a gate of the transistor of the drive circuit.

導電層703bは、画素部201に設けられる。導電層703bは、画素回路のトランジ
スタのゲートとしての機能を有する。
The conductive layer 703b is provided in the pixel portion 201. The conductive layer 703b has a function as a gate of the transistor of the pixel circuit.

絶縁層704は、導電層703a及び703bの上に設けられる。絶縁層704は、駆動
回路のトランジスタのゲート絶縁層、及び画素回路のトランジスタのゲート絶縁層として
の機能を有する。
The insulating layer 704 is provided on the conductive layers 703a and 703b. The insulating layer 704 has a function as a gate insulating layer of the transistor of the drive circuit and a gate insulating layer of the transistor of the pixel circuit.

半導体層705aは、絶縁層704を挟んで導電層703aに重畳する。半導体層705
aは、駆動回路のトランジスタのチャネルが形成される層(チャネル形成層ともいう)と
しての機能を有する。
The semiconductor layer 705a is superimposed on the conductive layer 703a with the insulating layer 704 interposed therebetween. Semiconductor layer 705
a has a function as a layer (also referred to as a channel forming layer) in which a channel of a transistor of a drive circuit is formed.

半導体層705bは、絶縁層704を挟んで導電層703bに重畳する。半導体層705
bは、画素回路のトランジスタのチャネル形成層としての機能を有する。
The semiconductor layer 705b is superimposed on the conductive layer 703b with the insulating layer 704 interposed therebetween. Semiconductor layer 705
b has a function as a channel forming layer of the transistor of the pixel circuit.

導電層706aは、半導体層705aに電気的に接続される。導電層706aは、駆動回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの一方としての機能を有する。
The conductive layer 706a is electrically connected to the semiconductor layer 705a. The conductive layer 706a has a function as one of a source and a drain of the transistor of the drive circuit.

導電層706bは、半導体層705aに電気的に接続される。導電層706bは、駆動回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの他方としての機能を有する。
The conductive layer 706b is electrically connected to the semiconductor layer 705a. The conductive layer 706b has a function as the other of the source and drain of the transistor of the drive circuit.

導電層706cは、半導体層705bに電気的に接続される。導電層706cは、画素回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの一方としての機能を有する。
The conductive layer 706c is electrically connected to the semiconductor layer 705b. The conductive layer 706c has a function as one of a source and a drain of the transistor of the pixel circuit.

導電層706dは、半導体層705bに電気的に接続される。導電層706dは、画素回
路のトランジスタが有するソース及びドレインの他方としての機能を有する。
The conductive layer 706d is electrically connected to the semiconductor layer 705b. The conductive layer 706d has a function as the other of the source and the drain of the transistor of the pixel circuit.

絶縁層707は、半導体層705a及び半導体層705bの上、及び導電層706a乃至
導電層706dの上に設けられる。絶縁層707は、トランジスタを保護する絶縁層(保
護絶縁層ともいう)としての機能を有する。
The insulating layer 707 is provided on the semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 705b, and on the conductive layers 706a to 706d. The insulating layer 707 has a function as an insulating layer (also referred to as a protective insulating layer) that protects the transistor.

絶縁層708は、絶縁層707の上に設けられる。絶縁層708は、平坦化層としての機
能を有する。絶縁層708を設けることにより、絶縁層708よりも下層の導電層と絶縁
層708よりも上層の導電層とによる寄生容量の発生を抑制できる。
The insulating layer 708 is provided on the insulating layer 707. The insulating layer 708 has a function as a flattening layer. By providing the insulating layer 708, it is possible to suppress the generation of parasitic capacitance due to the conductive layer below the insulating layer 708 and the conductive layer above the insulating layer 708.

導電層709a及び導電層709b1は、絶縁層708の上に設けられる。 The conductive layer 709a and the conductive layer 709b1 are provided on the insulating layer 708.

導電層709aは、絶縁層707及び絶縁層708を挟んで半導体層705aに重畳する
。導電層709aは、駆動回路のトランジスタのゲートとしての機能を有する。例えば、
導電層709aを駆動回路のトランジスタのバックゲートとして機能させてもよい。例え
ば、Nチャネル型トランジスタの場合、上記バックゲートに、負電位を与えることにより
、トランジスタのしきい値電圧を正方向にシフトさせることができる。また、上記バック
ゲートを接地させてもよい。
The conductive layer 709a is superimposed on the semiconductor layer 705a with the insulating layer 707 and the insulating layer 708 interposed therebetween. The conductive layer 709a has a function as a gate of the transistor of the drive circuit. for example,
The conductive layer 709a may function as a back gate of the transistor of the drive circuit. For example, in the case of an N-channel transistor, the threshold voltage of the transistor can be shifted in the positive direction by applying a negative potential to the back gate. Further, the back gate may be grounded.

導電層709b1は、画素回路の容量素子が有する一対の電極の一方としての機能を有す
る。
The conductive layer 709b1 has a function as one of a pair of electrodes of the capacitive element of the pixel circuit.

絶縁層710は、絶縁層708の表面及び導電層709b1の上に設けられる。なお、絶
縁層710のうち、駆動回路のトランジスタの上に形成される部分を除去することにより
、絶縁層708中の水素や水を外部に放出できるため、絶縁層707から絶縁層708が
剥がれてしまうことを抑制できる。絶縁層710は、保護絶縁層としての機能を有する。
また、絶縁層710は、画素回路の容量素子の誘電体層としての機能を有する。
The insulating layer 710 is provided on the surface of the insulating layer 708 and on the conductive layer 709b1. By removing the portion of the insulating layer 710 formed on the transistor of the drive circuit, hydrogen and water in the insulating layer 708 can be discharged to the outside, so that the insulating layer 708 is peeled off from the insulating layer 707. It can be suppressed from being stored. The insulating layer 710 has a function as a protective insulating layer.
Further, the insulating layer 710 has a function as a dielectric layer of the capacitive element of the pixel circuit.

導電層711は、絶縁層710の上に設けられ、絶縁層707、絶縁層708、及び絶縁
層710を貫通して設けられた開口部により導電層706dに電気的に接続される。さら
に、導電層711は、絶縁層710を挟んで導電層709b1に重畳する。導電層711
は、画素回路の液晶素子が有する一対の電極の一方、及び容量素子が有する一対の電極の
他方としての機能を有する。
The conductive layer 711 is provided on the insulating layer 710, and is electrically connected to the conductive layer 706d by an opening provided through the insulating layer 707, the insulating layer 708, and the insulating layer 710. Further, the conductive layer 711 is superimposed on the conductive layer 709b1 with the insulating layer 710 interposed therebetween. Conductive layer 711
Has a function as one of a pair of electrodes of the liquid crystal element of the pixel circuit and the other of the pair of electrodes of the capacitive element.

着色層722は、基板720の一平面の一部に設けられる。着色層722は、カラーフィ
ルタとしての機能を有する。
The colored layer 722 is provided on a part of one plane of the substrate 720. The colored layer 722 has a function as a color filter.

絶縁層723は、着色層722を挟んで基板720の一平面に設けられる。絶縁層723
は、平坦化層としての機能を有する。
The insulating layer 723 is provided on one plane of the substrate 720 with the colored layer 722 interposed therebetween. Insulation layer 723
Has a function as a flattening layer.

導電層721は、絶縁層723の一平面に設けられる。導電層721は、画素回路の液晶
素子が有する一対の電極の他方としての機能を有する。なお、導電層721の上に別途絶
縁層を設けてもよい。
The conductive layer 721 is provided on one plane of the insulating layer 723. The conductive layer 721 has a function as the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element of the pixel circuit. An insulating layer may be separately provided on the conductive layer 721.

液晶層750は、シール材751を用いて、導電層711と導電層721の間に設けられ
る。なお、絶縁層707及び絶縁層710のうち、シール材751下に位置する部分を除
去してもよい。
The liquid crystal layer 750 is provided between the conductive layer 711 and the conductive layer 721 using the sealing material 751. Of the insulating layer 707 and the insulating layer 710, the portion located under the sealing material 751 may be removed.

さらに、図10(B)に示す表示装置は、横電界方式(FFSモード)の表示装置であり
、図10(A)に示す表示装置と比較した場合、導電層703cを別途有し、導電層70
9b1の代わりに導電層709b2を有し、導電層711の代わりに導電層712を有し
、液晶層750の代わりに液晶層760を有する点が異なる。図10(A)に示す表示装
置と同じ部分については、図10(A)に示す表示装置の説明を適宜援用する。
Further, the display device shown in FIG. 10B is a display device of a transverse electric field method (FFS mode), and has a separate conductive layer 703c as compared with the display device shown in FIG. 10A, and has a conductive layer. 70
The difference is that the conductive layer 709b2 is provided instead of 9b1, the conductive layer 712 is provided instead of the conductive layer 711, and the liquid crystal layer 760 is provided instead of the liquid crystal layer 750. For the same part as the display device shown in FIG. 10 (A), the description of the display device shown in FIG. 10 (A) is appropriately referred to.

導電層703cは、絶縁層701の上に設けられる。このとき、導電層706dは、絶縁
層704を挟んで導電層703cに重畳する。
The conductive layer 703c is provided on the insulating layer 701. At this time, the conductive layer 706d is superimposed on the conductive layer 703c with the insulating layer 704 interposed therebetween.

導電層709b2は、絶縁層708の上に設けられる。導電層709b2は、画素回路の
液晶素子が有する一対の電極の一方としての機能を有する。さらに、導電層709b2は
、画素回路の容量素子が有する一対の電極の一方としての機能を有する。
The conductive layer 709b2 is provided on the insulating layer 708. The conductive layer 709b2 has a function as one of a pair of electrodes of the liquid crystal element of the pixel circuit. Further, the conductive layer 709b2 has a function as one of a pair of electrodes of the capacitive element of the pixel circuit.

導電層712は、絶縁層710の上に設けられ、絶縁層707、絶縁層708、及び絶縁
層710を貫通して設けられた開口部により導電層706dに電気的に接続される。また
、導電層712は、櫛歯部を有し、櫛歯部の櫛のそれぞれが絶縁層710を挟んで導電層
709b2に重畳する。導電層712は、画素回路の液晶素子が有する一対の電極の他方
としての機能を有する。さらに、導電層712は、画素回路の容量素子が有する一対の電
極の他方としての機能を有する。
The conductive layer 712 is provided on the insulating layer 710 and is electrically connected to the conductive layer 706d by an opening provided through the insulating layer 707, the insulating layer 708, and the insulating layer 710. Further, the conductive layer 712 has a comb tooth portion, and each of the combs of the comb tooth portion sandwiches the insulating layer 710 and superimposes on the conductive layer 709b2. The conductive layer 712 has a function as the other of the pair of electrodes of the liquid crystal element of the pixel circuit. Further, the conductive layer 712 has a function as the other of the pair of electrodes of the capacitive element of the pixel circuit.

液晶層760は、シール材751により、導電層711と導電層712の上に設けられる
The liquid crystal layer 760 is provided on the conductive layer 711 and the conductive layer 712 by the sealing material 751.

なお、図10(A)及び図10(B)では、トランジスタをチャネルエッチ型のトランジ
スタとしているが、これに限定されず、例えばチャネルストップ型のトランジスタとして
もよい。また、トップゲート型のトランジスタとしてもよい。
In FIGS. 10 (A) and 10 (B), the transistor is a channel etch type transistor, but the transistor is not limited to this, and for example, a channel stop type transistor may be used. Further, it may be a top gate type transistor.

さらに、図10(A)及び図10(B)に示す表示装置の各構成要素について説明する。
なお、各層を積層構造にしてもよい。
Further, each component of the display device shown in FIGS. 10A and 10B will be described.
In addition, each layer may have a laminated structure.

基板700及び720としては、例えばガラス基板又はプラスチック基板などを適用でき
る。
As the substrates 700 and 720, for example, a glass substrate or a plastic substrate can be applied.

絶縁層701としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。
As the insulating layer 701, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum nitride, aluminum nitride, or hafnium oxide can be applied.

導電層703a乃至703cとしては、例えばモリブデン、チタン、クロム、タンタル、
マグネシウム、銀、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、又はスカンジウムなど
の金属材料を含む層を適用できる。
Examples of the conductive layers 703a to 703c include molybdenum, titanium, chromium, and tantalum.
Layers containing metallic materials such as magnesium, silver, tungsten, aluminum, copper, neodymium, or scandium can be applied.

絶縁層704としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。例えば、絶縁層70
4としては、窒化シリコン層及び酸化窒化シリコン層の積層を適用できる。このとき、上
記窒化シリコン層を、組成の異なる複数の窒化シリコン層の積層としてもよい。また、絶
縁層704として、酸化物層を用いてもよい。上記酸化物層としては、例えばIn:Ga
:Zn=1:3:2の原子比である酸化物の層などを用いることができる。
As the insulating layer 704, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum nitride, aluminum nitride, or hafnium oxide can be applied. For example, the insulating layer 70
As No. 4, a laminate of a silicon nitride layer and a silicon oxide nitride layer can be applied. At this time, the silicon nitride layer may be laminated with a plurality of silicon nitride layers having different compositions. Further, an oxide layer may be used as the insulating layer 704. Examples of the oxide layer include In: Ga.
An oxide layer having an atomic ratio of: Zn = 1: 3: 2 can be used.

半導体層705a及び半導体層705bとしては、例えば酸化物半導体層を用いることが
できる。
As the semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 705b, for example, an oxide semiconductor layer can be used.

上記酸化物半導体としては、実施の形態1に示すように、例えばIn系金属酸化物、Zn
系金属酸化物、In−Zn系金属酸化物、又はIn−Ga−Zn系金属酸化物などを適用
できる。また、上記In−Ga−Zn系金属酸化物に含まれるGaの一部若しくは全部の
代わりに他の金属元素を含む金属酸化物を用いてもよい。なお、上記酸化物半導体が結晶
を有していてもよい。例えば、上記酸化物半導体が多結晶又は単結晶でもよい。また、上
記酸化物半導体が非晶質でもよい。
As the oxide semiconductor, as shown in the first embodiment, for example, an In-based metal oxide or Zn.
A metal oxide, an In—Zn metal oxide, an In—Ga—Zn metal oxide, or the like can be applied. Further, a metal oxide containing another metal element may be used instead of a part or all of Ga contained in the In-Ga-Zn-based metal oxide. The oxide semiconductor may have crystals. For example, the oxide semiconductor may be polycrystalline or single crystal. Further, the oxide semiconductor may be amorphous.

上記他の金属元素としては、例えばガリウムよりも多くの酸素原子と結合が可能な金属元
素を用いればよく、例えばチタン、ジルコニウム、ハフニウム、ゲルマニウム、及び錫の
いずれか一つ又は複数の元素を用いればよい。また、上記他の金属元素としては、ランタ
ン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユウロピウム、ガドリニウム、テ
ルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、及び
ルテチウムのいずれか一つ又は複数の元素を用いればよい。これらの金属元素は、スタビ
ライザーとしての機能を有する。なお、これらの金属元素の添加量は、金属酸化物が半導
体として機能することが可能な量である。酸素原子との結合がガリウムよりも多くできる
金属元素を用い、さらには金属酸化物中に酸素を供給することにより、金属酸化物中の酸
素欠陥を少なくできる。
As the above-mentioned other metal element, for example, a metal element capable of bonding with more oxygen atoms than gallium may be used, and for example, any one or more elements of titanium, zirconium, hafnium, germanium, and tin may be used. Just do it. Further, as the above-mentioned other metal elements, any one or more elements of lanthanum, cerium, placeodim, neodym, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium may be used. good. These metal elements have a function as a stabilizer. The amount of these metal elements added is such that the metal oxide can function as a semiconductor. Oxygen defects in the metal oxide can be reduced by using a metal element that can have more bonds with oxygen atoms than gallium and by supplying oxygen into the metal oxide.

さらに、例えばIn:Ga:Zn=1:1:1の原子比である第1の酸化物半導体層、I
n:Ga:Zn=3:1:2の原子比である第2の酸化物半導体層、及びIn:Ga:Z
n=1:1:1の原子比である第3の酸化物半導体層の積層により、半導体層705a及
び半導体層705bを構成してもよい。上記積層により半導体層705a及び半導体層7
05bを構成することにより、例えばトランジスタの電界効果移動度を高めることができ
る。
Further, for example, the first oxide semiconductor layer having an atomic ratio of In: Ga: Zn = 1: 1: 1, I.
A second oxide semiconductor layer having an atomic ratio of n: Ga: Zn = 3: 1: 2, and In: Ga: Z.
The semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 705b may be formed by laminating a third oxide semiconductor layer having an atomic ratio of n = 1: 1: 1. Due to the above lamination, the semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 7
By configuring 05b, for example, the electric field effect mobility of the transistor can be increased.

上記酸化物半導体を含むトランジスタは、バンドギャップが広いため熱励起によるリーク
電流が少ない。さらに、正孔の有効質量が10以上と重く、トンネル障壁の高さが2.8
eV以上と高い。これにより、トンネル電流が少ない。さらに、半導体層中のキャリアが
極めて少ない。よって、オフ電流を低くできる。例えば、オフ電流は、室温(25℃)で
チャネル幅1μmあたり1×10−19A(100zA)以下である。より好ましくは1
×10−22A(100yA)以下である。トランジスタのオフ電流は、低ければ低いほ
どよいが、トランジスタのオフ電流の下限値は、約1×10−30A/μmであると見積
もられる。なお、上記酸化物半導体層に限定されず、半導体層705a及び半導体層70
5bとして14族(シリコンなど)の元素を有する半導体層を用いてもよい。例えば、シ
リコンを含む半導体層としては、単結晶シリコン層、多結晶シリコン層、又は非晶質シリ
コン層などを用いることができる。
Since the transistor containing the oxide semiconductor has a wide bandgap, the leakage current due to thermal excitation is small. Furthermore, the effective mass of holes is as heavy as 10 or more, and the height of the tunnel barrier is 2.8.
It is as high as eV or higher. As a result, the tunnel current is small. Furthermore, there are very few carriers in the semiconductor layer. Therefore, the off current can be lowered. For example, the off-current is 1 × 10 -19 A (100 zA) or less per 1 μm of channel width at room temperature (25 ° C.). More preferably 1
× 10-22 A (100 yA) or less. The lower the off current of the transistor, the better, but the lower limit of the off current of the transistor is estimated to be about 1 × 10 -30 A / μm. The semiconductor layer 705a and the semiconductor layer 70 are not limited to the oxide semiconductor layer.
As 5b, a semiconductor layer having a group 14 (silicon or the like) element may be used. For example, as the semiconductor layer containing silicon, a single crystal silicon layer, a polycrystalline silicon layer, an amorphous silicon layer, or the like can be used.

例えば、水素又は水などの不純物を可能な限り除去し、酸素を供給して酸素欠損を可能な
限り減らすことにより、上記酸化物半導体を含むトランジスタを作製できる。このとき、
チャネル形成領域において、ドナー不純物といわれる水素の量を、二次イオン質量分析法
(SIMSともいう)の測定値で1×1019/cm以下、好ましくは1×1018
cm以下に低減することが好ましい。
For example, a transistor containing the oxide semiconductor can be produced by removing impurities such as hydrogen or water as much as possible and supplying oxygen to reduce oxygen deficiency as much as possible. At this time,
In the channel formation region, the amount of hydrogen, which is called a donor impurity, is measured by secondary ion mass spectrometry (also called SIMS) at 1 × 10 19 / cm 3 or less, preferably 1 × 10 18 /.
It is preferable to reduce it to cm 3 or less.

高純度化させた酸化物半導体層を電界効果トランジスタに用いることにより、酸化物半導
体層のキャリア密度を1×1014/cm未満、好ましくは1×1012/cm未満
、さらに好ましくは1×1011/cm未満にできる。このように、キャリア密度を少
なくすることにより、チャネル幅1μmあたりの電界効果トランジスタのオフ電流を1×
10−19A(100zA)以下、より好ましくは1×10−22A(100yA)以下
にまで抑制できる。電界効果トランジスタのオフ電流は、低ければ低いほどよいが、電界
効果トランジスタのオフ電流の下限値は、約1×10−30A/μmであると見積もられ
る。
By using the highly purified oxide semiconductor layer for the field effect transistor, the carrier density of the oxide semiconductor layer is reduced to less than 1 × 10 14 / cm 3 , preferably less than 1 × 10 12 / cm 3 , and more preferably 1. It can be less than × 10 11 / cm 3. By reducing the carrier density in this way, the off-current of the field-effect transistor per 1 μm of channel width is reduced by 1 ×.
10 -19 A (100zA) or less, more preferably suppressed to less than 1 × 10 -22 A (100yA) . The lower the off-current of the field-effect transistor, the better, but the lower limit of the off-current of the field-effect transistor is estimated to be about 1 × 10 -30 A / μm.

なお、上記酸化物半導体を、CAAC−OSとしてもよい。 The oxide semiconductor may be used as CAAC-OS.

例えば、スパッタリング法を用いてCAAC−OSである酸化物半導体層を形成できる。
このとき、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用いてスパッタリン
グを行う。上記スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用タ
ーゲットに含まれる結晶領域がa−b面から劈開し、a−b面に平行な面を有する平板状
又はペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。このとき、結晶状態を
維持したまま、上記スパッタリング粒子が基板に到達することにより、スパッタリング用
ターゲットの結晶状態が基板に転写される。これにより、CAAC−OSが形成される。
For example, an oxide semiconductor layer which is CAAC-OS can be formed by using a sputtering method.
At this time, sputtering is performed using a target for sputtering an oxide semiconductor which is polycrystalline. When ions collide with the sputtering target, the crystal region contained in the sputtering target may be cleaved from the ab plane and separated as flat plate-shaped or pellet-shaped sputtering particles having a plane parallel to the ab plane. be. At this time, the sputtering particles reach the substrate while maintaining the crystalline state, so that the crystalline state of the sputtering target is transferred to the substrate. As a result, CAAC-OS is formed.

また、CAAC−OSを形成するために、以下の条件を適用することが好ましい。 Further, it is preferable to apply the following conditions in order to form CAAC-OS.

例えば、不純物濃度を低減させてCAAC−OSを形成することにより、不純物による酸
化物半導体の結晶状態の崩壊を抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物(水素、
水、二酸化炭素、及び窒素など)を低減することが好ましい。また、成膜ガス中の不純物
を低減することが好ましい。例えば、成膜ガスとして露点が−80℃以下、好ましくは−
100℃以下である成膜ガスを用いることが好ましい。
For example, by reducing the impurity concentration to form CAAC-OS, it is possible to suppress the collapse of the crystal state of the oxide semiconductor due to the impurities. For example, impurities (hydrogen,) existing in the film formation chamber
It is preferable to reduce water, carbon dioxide, nitrogen, etc.). Further, it is preferable to reduce impurities in the film-forming gas. For example, the dew point of the film forming gas is -80 ° C or less, preferably −
It is preferable to use a film forming gas having a temperature of 100 ° C. or lower.

また、成膜時の基板温度を高くすることが好ましい。上記基板温度を高くすることにより
、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達したときに、スパッタリング粒子のマイグレ
ーションが起こり、平らな面を向けてスパッタリング粒子を基板に付着させることができ
る。例えば、基板加熱温度を100℃以上740℃以下、好ましくは200℃以上500
℃以下として酸化物半導体膜を成膜することにより酸化物半導体層を形成する。
Further, it is preferable to raise the substrate temperature at the time of film formation. By raising the substrate temperature, when the flat plate-shaped sputtering particles reach the substrate, migration of the sputtering particles occurs, and the sputtering particles can be attached to the substrate with the flat surface facing. For example, the substrate heating temperature is 100 ° C. or higher and 740 ° C. or lower, preferably 200 ° C. or higher and 500 ° C. or higher.
An oxide semiconductor layer is formed by forming an oxide semiconductor film at a temperature of ° C or lower.

また、成膜ガス中の酸素割合を高くし、電力を最適化して成膜時のプラズマダメージを抑
制させることが好ましい。例えば、成膜ガス中の酸素割合を、30体積%以上、好ましく
は100体積%にすることが好ましい。
Further, it is preferable to increase the oxygen ratio in the film-forming gas and optimize the electric power to suppress plasma damage during film-forming. For example, the oxygen ratio in the film-forming gas is preferably 30% by volume or more, preferably 100% by volume.

導電層706a乃至導電層706dとしては、例えばモリブデン、チタン、クロム、タン
タル、マグネシウム、銀、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム、
又はルテニウムなどの金属材料を含む層を適用できる。
Examples of the conductive layer 706a to 706d include molybdenum, titanium, chromium, tantalum, magnesium, silver, tungsten, aluminum, copper, neodymium, and scandium.
Alternatively, a layer containing a metallic material such as ruthenium can be applied.

絶縁層707としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。
As the insulating layer 707, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum nitride, aluminum nitride, or hafnium oxide can be applied.

絶縁層708としては、例えば有機絶縁材料又は無機絶縁材料の層などを適用できる。例
えば、アクリル樹脂などを用いて絶縁層708を構成してもよい。
As the insulating layer 708, for example, a layer of an organic insulating material or an inorganic insulating material can be applied. For example, the insulating layer 708 may be formed by using an acrylic resin or the like.

導電層709a、導電層709b1、及び導電層709b2としては、例えば導体として
の機能を有し、光を透過する金属酸化物の層などを適用できる。例えば、酸化インジウム
酸化亜鉛又はインジウム錫酸化物などを適用できる。
As the conductive layer 709a, the conductive layer 709b1, and the conductive layer 709b2, for example, a layer of a metal oxide having a function as a conductor and transmitting light can be applied. For example, indium oxide zinc oxide or indium tin oxide can be applied.

絶縁層710としては、例えば絶縁層704に適用可能な材料を用いることができる。 As the insulating layer 710, for example, a material applicable to the insulating layer 704 can be used.

導電層711、導電層712、及び導電層721としては、例えば光を透過する金属酸化
物の層などを適用できる。例えば、酸化インジウム酸化亜鉛又はインジウム錫酸化物など
を適用できる。
As the conductive layer 711, the conductive layer 712, and the conductive layer 721, for example, a layer of a metal oxide that transmits light can be applied. For example, indium oxide zinc oxide or indium tin oxide can be applied.

着色層722は、例えば赤(R)、緑(G)、及び青(B)の一つを呈する光を透過する
機能を有する。着色層722としては、染料又は顔料を含む層を用いることができる。
The colored layer 722 has a function of transmitting light exhibiting one of, for example, red (R), green (G), and blue (B). As the colored layer 722, a layer containing a dye or a pigment can be used.

絶縁層723としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸
化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化ア
ルミニウム、又は酸化ハフニウムなどの材料を含む層を適用できる。また、絶縁層723
に適用可能な材料の層を用いてもよい。
As the insulating layer 723, a layer containing a material such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum nitride, aluminum nitride, or hafnium oxide can be applied. In addition, the insulating layer 723
You may use a layer of material applicable to.

液晶層750としては、例えばTN液晶、OCB液晶、STN液晶、VA液晶、ECB型
液晶、GH液晶、高分子分散型液晶、又はディスコチック液晶などを含む層を用いること
ができる。
As the liquid crystal layer 750, a layer including, for example, a TN liquid crystal, an OCB liquid crystal, an STN liquid crystal, a VA liquid crystal, an ECB type liquid crystal, a GH liquid crystal, a polymer dispersion type liquid crystal, a discotic liquid crystal, or the like can be used.

液晶層760としては、例えばブルー相を示す液晶を含む層を適用できる。 As the liquid crystal layer 760, for example, a layer containing a liquid crystal showing a blue phase can be applied.

ブルー相を示す液晶を含む層は、例えばブルー相を示す液晶、カイラル剤、液晶性モノマ
ー、非液晶性モノマー、及び重合開始剤を含む液晶組成物により構成される。ブルー相を
示す液晶は、応答時間が短く、光学的等方性であるため、配向処理が不要であり、視野角
依存性が小さい。よって、ブルー相を示す液晶を用いることにより、液晶表示装置の動作
を速くできる。
The layer containing a liquid crystal exhibiting a blue phase is composed of, for example, a liquid crystal composition exhibiting a blue phase, a chiral agent, a liquid crystal monomer, a non-liquid crystal monomer, and a liquid crystal composition containing a polymerization initiator. Since the liquid crystal exhibiting the blue phase has a short response time and is optically isotropic, no alignment treatment is required and the viewing angle dependence is small. Therefore, by using a liquid crystal exhibiting a blue phase, the operation of the liquid crystal display device can be speeded up.

以上が図10に示す表示装置の構造例の説明である。 The above is a description of the structural example of the display device shown in FIG.

図10を参照して説明したように、本実施の形態に係る表示装置の一例では、画素回路と
同一基板上に駆動回路を設ける。これにより、画素回路と駆動回路を接続するための配線
の数を少なくできる。
As described with reference to FIG. 10, in an example of the display device according to the present embodiment, the drive circuit is provided on the same substrate as the pixel circuit. As a result, the number of wirings for connecting the pixel circuit and the drive circuit can be reduced.

(実施の形態3)
本実施の形態では、実施の形態2の表示装置を用いたパネルを備える電子機器の例につい
て、図11を参照して説明する。
(Embodiment 3)
In the present embodiment, an example of an electronic device including a panel using the display device of the second embodiment will be described with reference to FIG.

図11(A)に示す電子機器は、携帯型情報端末の一例である。 The electronic device shown in FIG. 11A is an example of a portable information terminal.

図11(A)に示す電子機器は、筐体1011と、筐体1011に設けられたパネル10
12と、ボタン1013と、スピーカー1014と、を具備する。
The electronic devices shown in FIG. 11A are a housing 1011 and a panel 10 provided on the housing 1011.
A twelve, a button 1013, and a speaker 1014 are provided.

なお、筐体1011に、外部機器に接続するための接続端子及び操作ボタンが設けられて
いてもよい。
The housing 1011 may be provided with a connection terminal and an operation button for connecting to an external device.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1012を構成してもよい。 Further, the panel 1012 may be configured by using the display device of the second embodiment.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1012を構成してもよい。これにより、パネル1
012においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Further, the panel 1012 may be configured by using the touch panel. As a result, panel 1
Touch detection can be performed in 012. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitance type touch panel, a resistance film type touch panel, or the like can be applied.

ボタン1013は、筐体1011に設けられる。例えば、ボタン1013が電源ボタンで
あれば、ボタン1013を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1013 is provided on the housing 1011. For example, if the button 1013 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1013.

スピーカー1014は、筐体1011に設けられる。スピーカー1014は音声を出力す
る。
The speaker 1014 is provided in the housing 1011. The speaker 1014 outputs sound.

なお、筐体1011にマイクが設けられていてもよい。筐体1011にマイクを設けられ
ることにより、例えば図7(A)に示す電子機器を電話機として機能させることができる
A microphone may be provided in the housing 1011. By providing the housing 1011 with a microphone, for example, the electronic device shown in FIG. 7A can function as a telephone.

図11(A)に示す電子機器は、例えば電話機、電子書籍、パーソナルコンピュータ、及
び遊技機の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device shown in FIG. 11A has a function as one or more of, for example, a telephone, an electronic book, a personal computer, and a gaming machine.

図11(B)に示す電子機器は、折り畳み式の情報端末の一例である。 The electronic device shown in FIG. 11B is an example of a foldable information terminal.

図11(B)に示す電子機器は、筐体1021aと、筐体1021bと、筐体1021a
に設けられたパネル1022aと、筐体1021bに設けられたパネル1022bと、軸
部1023と、ボタン1024と、接続端子1025と、記録媒体挿入部1026と、ス
ピーカー1027と、を備える。
The electronic devices shown in FIG. 11B include a housing 1021a, a housing 1021b, and a housing 1021a.
The panel 1022a provided in the housing 1022a, the panel 1022b provided in the housing 1021b, the shaft portion 1023, the button 1024, the connection terminal 1025, the recording medium insertion portion 1026, and the speaker 1027 are provided.

筐体1021aと筐体1021bは、軸部1023により接続される。 The housing 1021a and the housing 1021b are connected by a shaft portion 1023.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1022a及び1022bを構成しても
よい。
Further, the panels 1022a and 1022b may be configured by using the display device of the second embodiment.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1022a及び1022bを構成してもよい。これ
により、パネル1022a及び1022bにおいてタッチ検出を行うことができる。タッ
チパネルとしては、例えば光学式タッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッ
チパネルなどを適用できる。
Further, the touch panel may be used to configure the panels 1022a and 1022b. As a result, touch detection can be performed on the panels 1022a and 1022b. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitance type touch panel, a resistance film type touch panel, or the like can be applied.

図11(B)に示す電子機器は、軸部1023を有するため、パネル1022aとパネル
1022bを対向させて折り畳むことができる。
Since the electronic device shown in FIG. 11B has a shaft portion 1023, the panel 1022a and the panel 1022b can be folded so as to face each other.

ボタン1024は、筐体1021bに設けられる。なお、筐体1021aにボタン102
4を設けてもよい。例えば、ボタン1024が電源ボタンであれば、ボタン1024を押
すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1024 is provided on the housing 1021b. The button 102 is attached to the housing 1021a.
4 may be provided. For example, if the button 1024 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1024.

接続端子1025は、筐体1021aに設けられる。なお、筐体1021bに接続端子1
025が設けられていてもよい。また、接続端子1025が筐体1021a及び筐体10
21bの一方又は両方に複数設けられていてもよい。接続端子1025は、図11(B)
に示す電子機器と他の機器を接続するための端子である。
The connection terminal 1025 is provided in the housing 1021a. The connection terminal 1 is connected to the housing 1021b.
025 may be provided. Further, the connection terminal 1025 is the housing 1021a and the housing 10.
A plurality of them may be provided on one or both of 21b. The connection terminal 1025 is shown in FIG. 11 (B).
It is a terminal for connecting an electronic device shown in (1) to another device.

記録媒体挿入部1026は、筐体1021aに設けられる。筐体1021bに記録媒体挿
入部1026が設けられていてもよい。また、記録媒体挿入部1026が筐体1021a
及び筐体1021bの一方又は両方に複数設けられていてもよい。例えば、記録媒体挿入
部にカード型記録媒体を挿入することにより、カード型記録媒体のデータを電子機器に読
み出し、又は電子機器内のデータをカード型記録媒体に書き込むことができる。
The recording medium insertion unit 1026 is provided in the housing 1021a. The recording medium insertion portion 1026 may be provided in the housing 1021b. Further, the recording medium insertion portion 1026 is the housing 1021a.
And one or both of the housing 1021b may be provided in a plurality. For example, by inserting the card-type recording medium into the recording medium insertion unit, the data of the card-type recording medium can be read out to the electronic device, or the data in the electronic device can be written to the card-type recording medium.

スピーカー1027は、筐体1021bに設けられる。スピーカー1027は、音声を出
力する。なお、筐体1021aにスピーカー1027を設けてもよい。
The speaker 1027 is provided in the housing 1021b. The speaker 1027 outputs sound. The speaker 1027 may be provided in the housing 1021a.

なお、筐体1021a又は筐体1021bにマイクを設けてもよい。筐体1021a又は
筐体1021bにマイクが設けられることにより、例えば図11(B)に示す電子機器を
電話機として機能させることができる。
A microphone may be provided in the housing 1021a or the housing 1021b. By providing the microphone in the housing 1021a or the housing 1021b, for example, the electronic device shown in FIG. 11B can be made to function as a telephone.

図11(B)に示す電子機器は、例えば電話機、電子書籍、パーソナルコンピュータ、及
び遊技機の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device shown in FIG. 11B has a function as one or more of, for example, a telephone, an electronic book, a personal computer, and a gaming machine.

図11(C)に示す電子機器は、据え置き型情報端末の一例である。図11(C)に示す
電子機器は、筐体1031と、筐体1031に設けられたパネル1032と、ボタン10
33と、スピーカー1034と、を具備する。
The electronic device shown in FIG. 11C is an example of a stationary information terminal. The electronic devices shown in FIG. 11C include a housing 1031, a panel 1032 provided on the housing 1031, and a button 10.
33 and a speaker 1034 are provided.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1032を構成してもよい。 Further, the panel 1032 may be configured by using the display device of the second embodiment.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1032を構成してもよい。これにより、パネル1
032においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Further, the panel 1032 may be configured by using the touch panel. As a result, panel 1
Touch detection can be performed at 032. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitance type touch panel, a resistance film type touch panel, or the like can be applied.

なお、筐体1031の甲板部1035にパネル1032と同様のパネルを設けてもよい。 A panel similar to the panel 1032 may be provided on the deck portion 1035 of the housing 1031.

さらに、筐体1031に券などを出力する券出力部、硬貨投入部、及び紙幣挿入部などを
設けてもよい。
Further, the housing 1031 may be provided with a ticket output unit for outputting a ticket or the like, a coin insertion unit, a bill insertion unit, or the like.

ボタン1033は、筐体1031に設けられる。例えば、ボタン1033が電源ボタンで
あれば、ボタン1033を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1033 is provided on the housing 1031. For example, if the button 1033 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1033.

スピーカー1034は、筐体1031に設けられる。スピーカー1034は、音声を出力
する。
The speaker 1034 is provided in the housing 1031. The speaker 1034 outputs audio.

図11(C)に示す電子機器は、例えば現金自動預け払い機、チケットなどの注文をする
ための情報通信端末(マルチメディアステーションともいう)、又は遊技機としての機能
を有する。
The electronic device shown in FIG. 11C has a function as, for example, an automated teller machine, an information communication terminal (also referred to as a multimedia station) for ordering tickets, or a gaming machine.

図11(D)は、据え置き型情報端末の一例である。図11(D)に示す電子機器は、筐
体1041と、筐体1041に設けられたパネル1042と、筐体1041を支持する支
持台1043と、ボタン1044と、接続端子1045と、スピーカー1046と、を備
える。
FIG. 11D is an example of a stationary information terminal. The electronic devices shown in FIG. 11D include a housing 1041, a panel 1042 provided in the housing 1041, a support base 1043 for supporting the housing 1041, a button 1044, a connection terminal 1045, and a speaker 1046. , Equipped with.

なお、筐体1041に外部機器に接続させるための接続端子を設けてもよい。 The housing 1041 may be provided with a connection terminal for connecting to an external device.

さらに、実施の形態2の表示装置を用いてパネル1042を構成してもよい。 Further, the panel 1042 may be configured by using the display device of the second embodiment.

さらに、タッチパネルを用いてパネル1042を構成してもよい。これにより、パネル1
042においてタッチ検出を行うことができる。タッチパネルとしては、例えば光学式タ
ッチパネル、静電容量式タッチパネル、抵抗膜式タッチパネルなどを適用できる。
Further, the panel 1042 may be configured by using the touch panel. As a result, panel 1
Touch detection can be performed in 042. As the touch panel, for example, an optical touch panel, a capacitance type touch panel, a resistance film type touch panel, or the like can be applied.

ボタン1044は、筐体1041に設けられる。例えば、ボタン1044が電源ボタンで
あれば、ボタン1044を押すことにより、電子機器のオン状態を制御できる。
The button 1044 is provided in the housing 1041. For example, if the button 1044 is a power button, the on state of the electronic device can be controlled by pressing the button 1044.

接続端子1045は、筐体1041に設けられる。接続端子1045は、図11(D)に
示す電子機器と他の機器を接続するための端子である。例えば、接続端子1045により
図11(D)に示す電子機器とパーソナルコンピュータを接続すると、パーソナルコンピ
ュータから入力されるデータ信号に応じた画像をパネル1042に表示させることができ
る。例えば、図11(D)に示す電子機器のパネル1042が接続する他の電子機器のパ
ネルより大きければ、当該他の電子機器の表示画像を拡大することができ、複数の人が同
時に視認しやすくなる。
The connection terminal 1045 is provided in the housing 1041. The connection terminal 1045 is a terminal for connecting the electronic device shown in FIG. 11D to another device. For example, when the electronic device shown in FIG. 11D is connected to the personal computer by the connection terminal 1045, an image corresponding to the data signal input from the personal computer can be displayed on the panel 1042. For example, if the panel 1042 of the electronic device shown in FIG. 11D is larger than the panel of the other electronic device to which the panel 1042 is connected, the display image of the other electronic device can be enlarged, and it is easy for a plurality of people to visually recognize at the same time. Become.

スピーカー1046は、筐体1041に設けられる。スピーカー1046は、音声を出力
する。
The speaker 1046 is provided in the housing 1041. The speaker 1046 outputs audio.

図11(D)に示す電子機器は、例えば出力モニタ、パーソナルコンピュータ、及びテレ
ビジョン装置の一つ又は複数としての機能を有する。
The electronic device shown in FIG. 11D has a function as one or more of, for example, an output monitor, a personal computer, and a television device.

以上が図11に示す電子機器の例の説明である。 The above is the description of the example of the electronic device shown in FIG.

図11を参照して説明したように、本実施の形態に係る電子機器では、パネルに実施の形
態2の表示装置を用いたパネルを設けることにより、信頼性の高い電子機器を提供できる
As described with reference to FIG. 11, in the electronic device according to the present embodiment, a highly reliable electronic device can be provided by providing the panel with the panel using the display device of the second embodiment.

11 トランジスタ
12 トランジスタ
13 トランジスタ
14 トランジスタ
15 トランジスタ
31 パルス出力回路
32 保護回路
33 保護回路
61 トランジスタ
62 トランジスタ
63 トランジスタ
64 トランジスタ
65 トランジスタ
66 トランジスタ
67 トランジスタ
68 トランジスタ
69 トランジスタ
70 トランジスタ
71 トランジスタ
72 トランジスタ
73 トランジスタ
74 トランジスタ
75 トランジスタ
76 トランジスタ
201 画素部
202 駆動回路部
211 画素回路
221 ゲートドライバ
223 ソースドライバ
225 保護回路
230 液晶素子
231_1 トランジスタ
231_2 トランジスタ
233_1 容量素子
233_2 容量素子
234 トランジスタ
235 発光素子
311 期間
312 期間
313 期間
700 基板
701 絶縁層
703a 導電層
703b 導電層
703c 導電層
704 絶縁層
705a 半導体層
705b 半導体層
706a 導電層
706b 導電層
706c 導電層
706d 導電層
707 絶縁層
708 絶縁層
709a 導電層
709b1 導電層
709b2 導電層
710 絶縁層
711 導電層
712 導電層
720 基板
721 導電層
722 着色層
723 絶縁層
750 液晶層
751 シール材
760 液晶層
1011 筐体
1012 パネル
1013 ボタン
1014 スピーカー
1021a 筐体
1021b 筐体
1022a パネル
1022b パネル
1023 軸部
1024 ボタン
1025 接続端子
1026 記録媒体挿入部
1027 スピーカー
1031 筐体
1032 パネル
1033 ボタン
1034 スピーカー
1035 甲板部
1041 筐体
1042 パネル
1043 支持台
1044 ボタン
1045 接続端子
1046 スピーカー
11 Transistor 12 Transistor 13 Transistor 14 Transistor 15 Transistor 31 Pulse output circuit 32 Protection circuit 33 Protection circuit 61 Transistor 62 Transistor 63 Transistor 64 Transistor 65 Transistor 66 Transistor 67 Transistor 68 Transistor 69 Transistor 70 Transistor 71 Transistor 72 Transistor 73 Transistor 74 Transistor 75 Transistor 76 Transistor 201 Pixel 202 Drive circuit 211 Pleist circuit 221 Gate driver 223 Source driver 225 Protection circuit 230 Liquid crystal element 231_1 Transistor 231_1 Transistor 233_1 Transistor 233_1 Transistor 234 Transistor 235 Light emitting element 311 Period 312 Period 313 Period 700 Substrate 701 Insulation layer 703a Conductive layer 703b Conductive layer 703c Conductive layer 704 Insulation layer 705a Semiconductor layer 705b Semiconductor layer 706a Conductive layer 706b Conductive layer 706c Conductive layer 706d Conductive layer 707 Insulation layer 708 Insulation layer 709a Conductive layer 709b1 Conductive layer 709 Layer 712 Conductive layer 720 Substrate 721 Conductive layer 722 Colored layer 723 Insulation layer 750 Liquid crystal layer 751 Sealing material 760 Liquid crystal layer 1011 Housing 1012 Panel 1013 Button 1014 Speaker 1021a Housing 1021b Housing 1022a Panel 1022b Panel 1023 Shaft 1024 Button 1025 Connection Terminal 1026 Recording medium insertion part 1027 Speaker 1031 Housing 1032 Panel 1033 Button 1034 Speaker 1035 Deck 1041 Housing 1042 Panel 1043 Support stand 1044 Button 1045 Connection terminal 1046 Speaker

Claims (1)

同一の導電型の第1乃至第5のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、クロック信号が供給される配線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、出力信号が出力される配線と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の電位(VSS)が供給される配線と電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の電位(VDD)が供給される配線と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第3の電位((VDD+VSS)/2)が供給される配線と電気的に接続され、
前記第5のトランジスタのゲートは、前記第3のトランジスタのゲートと電気的に接続される出力回路。
It has the same conductive type 1st to 5th transistors and has
One of the source or drain of the first transistor is electrically connected to one of the source or drain of the second transistor.
The other of the source or drain of the first transistor is electrically connected to the wiring to which the clock signal is supplied.
The other of the source or drain of the second transistor is electrically connected to one of the source or drain of the third transistor.
The other of the source or drain of the second transistor is electrically connected to the wiring from which the output signal is output.
The other of the source or drain of the third transistor is electrically connected to the wiring to which the first potential (VSS) is supplied.
One of the source or drain of the fourth transistor is electrically connected to the gate of the first transistor.
One of the source or drain of the fourth transistor is electrically connected to the gate of the second transistor.
The other of the source or drain of the fourth transistor is electrically connected to the wiring to which the second potential (SiO) is supplied.
One of the source or drain of the fifth transistor is electrically connected to the gate of the first transistor.
The other of the source or drain of the fifth transistor is electrically connected to the wiring to which the third potential (( VDD + VSS) / 2) is supplied.
The gate of the fifth transistor is an output circuit electrically connected to the gate of the third transistor.
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