JP2019081944A - 真空バルブの制御方法 - Google Patents
真空バルブの制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019081944A JP2019081944A JP2018095992A JP2018095992A JP2019081944A JP 2019081944 A JP2019081944 A JP 2019081944A JP 2018095992 A JP2018095992 A JP 2018095992A JP 2018095992 A JP2018095992 A JP 2018095992A JP 2019081944 A JP2019081944 A JP 2019081944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- flow rate
- molecular pump
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
[式1]
ランプレート[mTorr/sec]=(排出ガス流量上限[sccm]−流入ガス流量[sccm])/(チャンバ容積[L]×係数)
200:チャンバ
210:圧力計
220:マスフローコントローラ
230:プロセスガス
300:排気バルブ
310:モータ
400:真空ポンプ
410:ターボ分子ポンプ
420:ドライポンプ
500:制御部
510:圧力信号
520:流量信号
530:開度信号
540:駆動信号
600:圧力
610:圧力指示値
620:排出ガス流量
Claims (3)
- チャンバからガスを吸引するターボ分子ポンプと、
前記チャンバと前記ターボ分子ポンプとの間に配置される排気バルブと、を有し、
前記チャンバを高圧から低圧に減圧するときに、前記チャンバから排出されるガスの流量が前記ターボ分子ポンプの許容流量を超えないように、ランプレートに従って算出した圧力指示値となるように、前記排気バルブの開度を調整する、
ことを特徴とする真空バルブの制御方法。 - 前記ランプレートは、前記チャンバの容積に応じて、前記チャンバから排出されるガスの流量上限と、前記チャンバに流入するガスの流量の差から求められる、
ことを特徴とする請求項1に記載の真空バルブの制御方法。 - 請求項1又は2に記載の制御方法で制御される、
ことを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018095992A JP2019081944A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | 真空バルブの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018095992A JP2019081944A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | 真空バルブの制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019081944A true JP2019081944A (ja) | 2019-05-30 |
Family
ID=66671021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018095992A Pending JP2019081944A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | 真空バルブの制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019081944A (ja) |
-
2018
- 2018-05-18 JP JP2018095992A patent/JP2019081944A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2421632C2 (ru) | Способ работы насосной системы | |
EP1081380A1 (en) | Device and method for evacuation | |
US4835114A (en) | Method for LPCVD of semiconductors using oil free vacuum pumps | |
KR101342309B1 (ko) | 가스 배기 장치 및 방법, 및 진공 챔버 내의 처리 압력 제어 방법 | |
US8297311B2 (en) | Controlling gas partial pressures for process optimization | |
KR100384907B1 (ko) | 진공 장치 | |
US20070048145A1 (en) | Vacuum evacuation device and method, and substrate processing apparatus and method | |
CN105655234A (zh) | 脱气方法 | |
JP2019081944A (ja) | 真空バルブの制御方法 | |
JP3930297B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3941147B2 (ja) | 真空排気装置及びそのメンテナンス方法 | |
JP4027564B2 (ja) | 真空排気システム | |
JP2003229417A (ja) | 真空処理装置及びその制御方法 | |
JP2001295761A5 (ja) | ||
JP2003161281A (ja) | 真空処理装置 | |
JP2657254B2 (ja) | 処理装置及びその排気方法 | |
KR20070054437A (ko) | Lpcvd 장치의 압력 조절 시스템 | |
KR20060020200A (ko) | 반도체 제조 장치 | |
KR960006957B1 (ko) | 반도체 소자 식각장비의 진공 시스템 및 그 운용 방법 | |
JPH0792052B2 (ja) | 真空排気装置 | |
CN117519323A (zh) | 半导体工艺腔室的压强控制方法及装置 | |
JPS63266813A (ja) | 半導体装置の製造方法及びそれに使用する処理装置 | |
WO2005061758A1 (en) | Transfer system | |
JP2004270653A (ja) | 真空排気装置 | |
JPS6269509A (ja) | 低圧cvd装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180518 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20180518 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180920 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181225 |