JP2019074452A - 薄膜ひずみセンサ材料および薄膜ひずみセンサ - Google Patents
薄膜ひずみセンサ材料および薄膜ひずみセンサ Download PDFInfo
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Abstract
Description
最初に、以下の説明において、薄膜素子パターンにおける平行配置試料と垂直配置試料について図1を参照して説明する。図1はI字型試料であり、平行配置試料は、薄膜素子パターンの方向をひずみ印加方向に一致させた場合であり、垂直配置試料は、薄膜素子パターンの方向をひずみ印加方向と垂直にした場合である。平行配置試料のゲージ率(平行配置におけるゲージ率)が主軸方向のゲージ率であり、垂直配置試料のゲージ率(垂直配置におけるゲージ率)が横感度に関係するゲージ率である。
Claims (8)
- 一般式Cr100−xMxで表される薄膜ひずみセンサ材料であって、前記材料のネール温度の高温側において、前記材料の薄膜が測定対象のひずみの方向に垂直な方向に配置された場合のゲージ率が0±0.3以内となるように、組成比xが原子%で0≦x≦30の範囲で第2元素Mを添加することを特徴とする薄膜ひずみセンサ材料。
- 一般式(Cr100−xMx)100−yNyで表される薄膜ひずみセンサ材料であって、組成比yは、原子%で0.0001≦y≦30の範囲であり、前記材料のネール温度の高温側において、前記材料の薄膜が測定対象のひずみの方向に垂直な方向に配置された場合のゲージ率が0±0.3以内となるように、組成比xが原子%で0≦x≦30の範囲で第3元素Mを添加することを特徴とする薄膜ひずみセンサ材料。
- 前記第2元素MがNiであり、組成比xが原子%で5≦x≦22であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜ひずみセンサ材料。
- 前記第2元素MがFeであり、組成比xが原子%で17≦x≦28であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜ひずみセンサ材料。
- 一般式Cr100−xMxで表される材料の薄膜を受感部として有する薄膜ひずみセンサであって、前記材料のネール温度の高温側において、前記材料の薄膜が測定対象のひずみの方向に垂直な方向に配置された場合のゲージ率が0±0.3以内となるように、組成比xが原子%で0≦x≦30の範囲で第2元素Mを添加することを特徴とする薄膜ひずみセンサ。
- 一般式(Cr100−xMx)100−yNyで表される材料の薄膜を受感部として有する薄膜ひずみセンサであって、組成比yは、原子%で0.0001≦y≦30の範囲であり、前記材料のネール温度の高温側において、前記材料の薄膜が測定対象のひずみの方向に垂直な方向に配置された場合のゲージ率が0±0.3以内となるように、組成比xが原子%で0≦x≦30の範囲で第3元素Mを添加することを特徴とする薄膜ひずみセンサ。
- 前記第2元素MがNiであり、組成比xが原子%で5≦x≦22であることを特徴とする請求項5に記載の薄膜ひずみセンサ。
- 前記第2元素MがFeであり、組成比xが原子%で17≦x≦28であることを特徴とする請求項5に記載の薄膜ひずみセンサ。
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-
2017
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