JP2019071382A5 - - Google Patents
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Description
リンス液ライン１０６にはバルブ１０６ａが取り付けられている。さらに、複数の基板洗浄液供給ライン１０７には、複数のバルブ１０７ａがそれぞれ取り付けられており、各基板洗浄液供給ライン１０７は、図示しない洗浄液供給源に連結されている。バルブ１０７ａを開くと、洗浄液供給源から各基板洗浄液供給ライン１０７を通って各基板洗浄ノズル１１７に洗浄液が供給され、バルブ１０７ａを閉じると、洗浄液の供給が停止される。複数の槽洗浄液供給ライン１０９には、複数のバルブ１０９ａがそれぞれ取り付けられており、各槽洗浄液供給ライン１０９は、図示しない洗浄液供給源に連結されている。バルブ１０９ａを開くと、洗浄液供給源から各槽洗浄液供給ライン１０９を通って各槽洗浄ノズル１１９に洗浄液が供給され、バルブ１０９ａを閉じると洗浄液の供給が停止される。
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