JP2019071013A - 昇降用アクチュエータ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
F=F2−(F1+M) ・・・式(1)
F1=P1×A1
F2=P2×A2
ここで、F1は第1シリンダ室38内の圧縮気体がピストン22に作用する力であり、P1は第1シリンダ室38内の圧力であり、A1はピストン22の第1シリンダ室38側の受圧面(すなわち圧力を受ける面)の面積であり、F2は第2シリンダ室40内の圧縮気体がピストン22に作用する力であり、P2は第2シリンダ室40内の圧力であり、A2はピストン22の第2シリンダ室40側の受圧面の面積であり、Mはピストン22、ロッド24およびテーブル2(以下、これらをまとめて「移動体」ともよぶ)と、テーブル2すなわち移動体に載置されている対象物3との合計の重量である。なお、ピストン22の第2シリンダ室40側の受圧面の面積A2は、ロッド24が存在しない分だけ、ピストン22の第1シリンダ室38側の受圧面の面積A1よりも大きい。
移動体が停止している状態において、サーボ弁13を制御して第1シリンダ室38内の圧力P1を低くし、上向きの(すなわち正の)力Fを移動体に作用させると、移動体および対象物3が上方に移動する。一方、サーボ弁13を制御して第1シリンダ室38内の圧力P1を高くし、下向きの(すなわち負の)力Fを移動体に作用させると、移動体および対象物3が下方に移動する。
実施の形態では、圧力センサ52により第1シリンダ室38内の圧力を検出することで基準圧力からの変化を直接的に検出する場合について説明したが、これに限られず、第1シリンダ室38内の圧力の基準圧力からの変化を間接的に検出してもよい。
図2は、変形例に係るアクチュエータ装置200を示す。図2は図1に対応する。以下、実施の形態に係るアクチュエータ装置100との相違点を中心に説明する。アクチュエータ装置200は、アクチュエータ本体10と、第1供給源11と、第2供給源12と、サーボ弁13と、レギュレータ14と、制御システム116と、を備える。
実施の形態および上述の変形例では、アクチュエータ装置が圧縮気体を作動ガスとするエアアクチュエータ装置であり、圧縮気体の圧力により移動体および対象物3を支持するための力を移動体に付与し、対象物3の重量Mが変化した場合にはその変化を補償し、同じく圧縮気体の圧力により目標位置に追従するための力を移動体に付与する場合について説明した。しかしながら、アクチュエータ装置は、移動体および対象物3を支持するための力を移動体に付与し、対象物3の重量Mが変化した場合にはその変化を補償し、かつ、移動体を目標位置に追従するための力を付与しうるものであれば、実施の形態および上述の変形例には特に限定されない。
図4は、さらに別の変形例に係るアクチュエータ装置400を示す。図4は図1に対応する。以下、アクチュエータ装置100との相違点を中心に説明する。アクチュエータ装置400は、アクチュエータ装置100と同様に、アクチュエータ本体10と、第1供給源11と、第2供給源12と、サーボ弁13と、レギュレータ14と、制御システム16と、を備える。
Claims (4)
- 対象物を支持する移動体と、
前記移動体を昇降可能に支持する支持機構と、
前記支持機構の動作を制御する制御システムと、を備え、
前記支持機構は、前記移動体に昇降方向の力を付与する第1、第2力付与手段を含み、
前記制御システムは、
前記移動体が目標位置に追従するための力を前記移動体に付与するよう前記第1力付与手段を制御する第1制御部と、
前記移動体および対象物を支持するための力を前記移動体に付与するよう前記第2力付与手段を制御する第2制御部と、
目標位置に応じた対象物の重量に関する情報を取得する取得手段と、を含み、
前記第2制御部は、対象物の重量が変化した場合、その変化を補償するように前記第2力付与手段を制御することを特徴とする昇降用アクチュエータ装置。 - 前記第2制御部による制御の応答時間は、前記第1制御部による制御の応答時間よりも遅いことを特徴とする請求項1に記載の昇降用アクチュエータ装置。
- 前記移動体は、作動ガスの給排によりシリンダ内を移動するよう構成されたピストンと、一端が前記ピストンに連結され、他端が前記シリンダの外部に突出するロッドと、を含み、
前記第1力付与手段は、前記ピストンにより区画される前記シリンダの第1室と、前記第1室の圧力を調整するための第1圧力調整手段と、を含み、
前記第2力付与手段は、前記ピストンにより区画される前記シリンダの第2室と、前記第2室に圧力を調整するための第2圧力調整手段と、を含み、
前記第1制御部は、前記第1圧力調整手段を制御し、
前記第2制御部は、前記第2圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項1または2に記載の昇降用アクチュエータ装置。 - 前記取得手段は、前記第1室の圧力について、所定の基準圧力からの変化を検出する検出手段を含み、
前記第2制御部は、前記第1室の圧力が所定の基準圧力に維持されるように前記第2圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項3に記載の昇降用アクチュエータ装置。
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JP2017197756A JP2019071013A (ja) | 2017-10-11 | 2017-10-11 | 昇降用アクチュエータ装置 |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62177301A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-08-04 | マンネスマン・レクスロト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 重量変化補償方法および装置 |
JPH0571507A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Kuroda Precision Ind Ltd | 空気圧アクチユエータの方向切り換え方法 |
JP2002193597A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フォークリフトおよび作業機制御用油圧装置 |
JP2010007703A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nikon Corp | アクチュエータおよび制御方法 |
JP2010007704A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nikon Corp | アクチュエータおよび制御方法 |
JP2010112475A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 作業機械の油圧駆動装置 |
-
2017
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62177301A (ja) * | 1986-01-09 | 1987-08-04 | マンネスマン・レクスロト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 重量変化補償方法および装置 |
JPH0571507A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Kuroda Precision Ind Ltd | 空気圧アクチユエータの方向切り換え方法 |
JP2002193597A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フォークリフトおよび作業機制御用油圧装置 |
JP2010007703A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nikon Corp | アクチュエータおよび制御方法 |
JP2010007704A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Nikon Corp | アクチュエータおよび制御方法 |
JP2010112475A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 作業機械の油圧駆動装置 |
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