JP2019066362A - センサヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】設置の自由度を高めることのできるセンサヘッドを提供する。
【解決手段】センサヘッド１００は、計測対象物２００の変位を計測するセンサのセンサヘッドであって、入射された光に対し、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズと、内部に少なくとも回折レンズを収容しているケース部５と、固定対象物への固定に用いられる固定部１１，１２と、を備え、ケース部５は、外形が円柱形状の円柱部１０を有し、固定部１１，１２の外形は、円柱部１０の中心軸方向視において、円柱部１０の外形以内に収まっている。
【選択図】図１

Description

本発明は、センサヘッドに関する。

従来、非接触で計測対象物の変位を計測する装置として、共焦点光学系を利用した共焦点計測装置が用いられている。

例えば、下記特許文献１に記載の共焦点計測装置は、光源と計測対象物の間に、回折レンズを用いた共焦点光学系を有する。この共焦点計測装置では、光源からの出射光は、共焦点光学系によって、その波長に応じた焦点距離で計測対象物に照射される。そして、反射光の波長のピークを検出することで、計測対象物の変位を計測することができる。

共焦点計測装置等のセンサヘッドは、計測対象物に対して位置ずれが生じないように固定して用いられることがある。例えば、下記特許文献２には、センサヘッドを所定の位置に取り付けるための取付具が開示されている。

米国特許第５７８５６５１号明細書 特開平６−２７３１３６号公報

しかしながら、取付具を用いてセンサヘッドを固定するのでは、取付具が他の部材と干渉することがあり、センサヘッドを設置することができる箇所が制限されることがあった。

そこで、本発明は、設置の自由度を高めることのできるセンサヘッドを提供することを目的とする。

本開示の一態様に係るセンサヘッドは、計測対象物の変位を計測するセンサのセンサヘッドであって、入射された光に対し、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズと、入射された光を計測対象物に集める対物レンズと、内部に少なくとも回折レンズ及び対物レンズを収容しているケース部と、固定対象物への固定に用いられる固定部と、を備え、ケース部は、外形が円柱形状の円柱部を有し、固定部の外形は、円柱部の中心軸方向視において、円柱部の外形以内に収まっている。

この態様によれば、ケース部が円柱部を有し、固定部の外形が、円柱部の中心軸方向視において、円柱部の外形以内に収まっていることで、固定部が他の部材と干渉することが避けられ、センサヘッドの設置の自由度を高めることができる。

前述した態様において、固定部は、円柱部の中心軸方向視において、中心軸と直交する軸と重なるように延伸していてもよい。

この態様によれば、固定部が円柱部の外形以内に収まる範囲で、固定部の幅を最も大きくすることができ、固定対象物への固定をより強固にすることができる。

前述した態様において、固定部は、円柱部の中心軸方向において、回折レンズ及び対物レンズと異なる位置に設けられてもよい。

この態様によれば、固定部の存在が回折レンズ及び対物レンズの口径を狭める要因とならないため、これらの口径をケース部の内径程度に大きくして取り込む光量を十分に多くしつつ、センサヘッドを固定するのに十分な大きさの固定部を設けることができる。

前述した態様において、固定部は、円柱部の中心軸方向における円柱部の端部に設けられてもよい。

この態様によれば、固定部の存在がケース部の口径を狭める要因とならないため、ケース部の内径を大きくして取り込む光量を十分に多くしつつ、センサヘッドを固定するのに十分な大きさの固定部を設けることができる。

前述した態様において、円柱部は、回折レンズと光学的に接続される光ファイバを挿通させる挿通口を端部に有し、固定部は、円柱部の中心軸方向において、挿通口と重なる位置に設けられてもよい。

この態様によれば、円柱部の中心軸方向において、円柱部の端部における挿通口と重ならない位置に固定部を設ける場合よりもケース部の全長が短くなり、センサヘッドを小型化することができる。

前述した態様において、固定部は、ケース部と一体で形成されてもよい。

この態様によれば、固定部を固定対象物に固定することによってケース部も固定されることとなり、センサヘッドが確実に固定対象物に固定される。

前述した態様において、固定部は、板状であり、互いに平行な２つの平面を有してもよい。

この態様によれば、固定対象物が平面を有する場合に、互いに平行な２つの平面を有する板状の固定部を固定対象物に面接触させるように固定することができ、センサヘッドを容易に強固に固定することができる。

前述した態様において、平面は、円柱部の中心軸に沿って延伸していてもよい。

この態様によれば、固定部を固定対象物に固定すると、回折レンズ及び対物レンズの光軸方向が固定対象物の固定対象面に沿った方向を向くこととなり、センサヘッドの方向合わせが容易となる。

前述した態様において、固定部は、貫通孔を有してもよい。

この態様によれば、ねじ等を貫通孔に通すことによって固定部を固定対象物に固定することができ、センサヘッドを容易に固定することができる。

本発明によれば、設置の自由度を高めることのできるセンサヘッドを提供することができる。

本発明の実施形態に係るセンサヘッドの斜視図である。 本実施形態に係るセンサヘッドの分解斜視図である。 本実施形態に係るセンサヘッドの上面図である。 本実施形態に係るセンサヘッドの断面図である。 本実施形態に係るセンサヘッドの背面図である。 本実施形態に係るセンサヘッドの側面図である。 従来例の複数のセンサヘッドを密集配置した場合の正面図である。 本実施形態に係る複数のセンサヘッドを密集配置した場合の正面図である。 本実施形態に係る複数のセンサヘッドを密集配置した場合の上面図である。

添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一又は同様の構成を有する。

図１は、本発明の実施形態に係るセンサヘッド１００の斜視図である。本実施形態に係るセンサヘッド１００は、計測対象物２００の変位を計測するセンサのセンサヘッド１００であり、ケース部５、第１固定部１１、第２固定部１２及びファイバケース４０を備える。ファイバケース４０には、白色光源からの光を導光する光ファイバが挿通される。

ケース部５は、外形が円柱形状の円柱部１０と、計測対象物２００に光を集める対物レンズ部２０と、を含む。円柱部１０の内部には、端面にピンホールを画成する光ファイバから出射された白色光に対し、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズが収容されている。対物レンズ部２０は、回折レンズより計測対象物２００側に配置され、回折レンズで色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集める。本例では、焦点距離が比較的長い第１波長の光２１０と、焦点距離が比較的短い第２波長の光２２０を図示している。本例の場合、第１波長の光２１０は、計測対象物２００の表面で焦点を結ぶが、第２波長の光２２０は、計測対象物２００の手前で焦点を結ぶ。

計測対象物２００の表面で反射した光は、対物レンズ部２０によって集められ、回折レンズを通って、光ファイバに返送される。反射光のうち第１波長の光２１０は、光ファイバで焦点が合うため、そのほとんどが光ファイバに入射するが、その他の波長の光は、光ファイバで焦点が合わず、そのほとんどが光ファイバに入射しない。光ファイバに入射した光は、光ファイバに接続された分光器（不図示）に伝送される。分光器は、計測対象物２００の表面で反射され、センサヘッド１００により集められた光の波長のピークを検出し、検出した波長のピークに基づいて、計測対象物２００の変位を計測する。

分光器は、センサヘッド１００が静止状態にあれば数十ｎｍ（ナノメートル）の分解能で計測対象物２００の変位を計測することができる。そのような高分解能を実現するためには、センサヘッド１００が固定対象物に確実に固定されている必要がある。本実施形態に係るセンサヘッド１００は、固定対象物への固定に用いられる第１固定部１１及び第２固定部１２を備え、第１固定部１１及び第２固定部１２の外形は、円柱部１０の中心軸方向視において、円柱部１０の外形以内に収まっている。すなわち、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸に沿う方向に円柱部１０の背面を見た場合に、円柱部１０の外形から突出しない形状となっている。本実施形態に係るセンサヘッド１００において、円柱部１０の中心軸に沿う方向に円柱部１０の背面を見た場合に、第１固定部１１及び第２固定部１２の外形は、円柱部１０の外形上、すなわち円柱部１０の輪郭上にある。もっとも、円柱部１０の中心軸に沿う方向に円柱部１０の背面を見た場合に、第１固定部１１及び第２固定部１２の外形は、円柱部１０の外形の内側にあってもよい。ここで、第１固定部１１及び第２固定部１２は、本発明の「固定部」の一例である。

このように、ケース部５が円柱部１０を有し、第１固定部１１及び第２固定部１２の外形が、円柱部１０の中心軸方向視において、円柱部１０の外形以内に収まっていることで、第１固定部１１及び第２固定部１２が他の部材と干渉することが避けられ、センサヘッド１００の設置の自由度を高めることができる。

複数のセンサヘッド１００を並べて計測対象物２００の複数の箇所の変位を同時に計測する場合に、本実施形態に係るセンサヘッド１００であれば、複数のセンサヘッド１００を密集させて配置しても第１固定部１１及び第２固定部１２が干渉することがないため、複数のセンサヘッド１００間の距離をより短くして密集して固定することができる。

［構成例］
次に、図２から図５を参照しつつ、本実施形態に係るセンサヘッド１００の構成の一例について説明する。図２は、本実施形態に係るセンサヘッド１００の分解斜視図である。図３は、本実施形態に係るセンサヘッド１００の上面図である。図４は、本実施形態に係るセンサヘッド１００の断面図である。図３では、円柱部１０の中心軸１０ａを図示しており、中心軸１０ａは、図４に示すセンサヘッド１００の断面図の図示方向を表すＩＶ−ＩＶ線と一致している。また、図５は、本実施形態に係るセンサヘッド１００の背面図である。

＜対物レンズ部＞
ケース部５のうち対物レンズ部２０は、計測対象物２００（図１参照）側から順に、第１レンズ２１、第１スペーサ２２、第２レンズ２３、第２スペーサ２４、第３レンズ２５、第３スペーサ２６、第４レンズ２７及び第１レンズ押さえ２８を収容している。第１レンズ２１、第２レンズ２３、第３レンズ２５及び第４レンズ２７は、光を計測対象物２００に集める対物レンズ群であり、波面収差を生じさせないように組み合わされたレンズ群である。対物レンズ群２１，２３，２５，２７は、その光軸が、回折レンズ１６の光軸１６ａと一致するように対物レンズ部２０の内部に固定される。なお、本例では対物レンズ部２０に４枚のレンズが収容される場合を示しているが、対物レンズ部２０に収容されるレンズの枚数及び種類は任意である。

なお、回折レンズ１６が、光軸１６ａ方向に沿って色収差を生じさせつつ、計測対象物２００に光を集めるレンズであれば、対物レンズ群２１，２３，２５，２７の一部又は全部を省略することとしてもよい。

＜円柱部＞
ケース部５のうち円柱部１０は、コリメートレンズ１５及び回折レンズ１６を収容している。回折レンズ１６は、入射された光に対し、光軸１６ａ方向に沿って色収差を生じさせる。回折レンズ１６は、焦点距離が光の波長に反比例するレンズであってよい。回折レンズ１６は、外側におねじが切られたリング状の第２レンズ押さえ１７によって計測対象物２００側から押さえられて、円柱部１０の内部に固定される。また、アダプタ１８は、外側におねじが切られたリング状の部材であり、円柱部１０と対物レンズ部２０を接続する継手である。コリメートレンズ１５は、フェルール４２から出射される光を集めて、回折レンズ１６に入射される。また、コリメートレンズ１５は、対物レンズ群２１，２３，２５，２７及び回折レンズ１６を通って入射する光をフェルール４２に集める。

なお、ケース部５は、対物レンズ部２０と円柱部１０以外の構成を含んでもよい。例えば、ケース部５は、対物レンズ部２０と円柱部１０の間に、内部が空洞で、外形がＬ字型の屈曲部を含んでもよい。屈曲部は、内部に少なくともミラーを有し、ミラーは、回折レンズ１６から入射する光を対物レンズに反射したり、対物レンズから入射する光を回折レンズ１６に反射したりする。ケース部５が屈曲部を含む場合であっても、第１固定部１１及び第２固定部１２の外形が、円柱部１０の中心軸１０ａ方向視において、円柱部１０の外形以内に収まっていることで、第１固定部１１及び第２固定部１２が他の部材と干渉することが避けられ、センサヘッド１００の設置の自由度を高めることができる。

また、回折レンズ１６は、対物レンズ群２１，２３，２５，２７よりも計測対象物２００側に配置されてもよい。

＜ファイバケース＞
ファイバケース４０は、内部に光ファイバを収容し、薄板ばね４１を介して円柱部１０に固定される。薄板ばね４１は、第１ねじ３１によって円柱部１０の上部にねじ止めされるとともに、第３ねじ４３によって円柱部１０の端部にねじ止めされる。

ケース部５の円柱部１０は、回折レンズ１６と光学的に接続される光ファイバを挿通させる挿通口１９を端部に有する。挿通口１９は、円柱部１０のうち、対物レンズ部２０が接続される端部と反対側の端部に設けられる。挿通口１９には、先端にフェルール４２が装着された光ファイバが挿通される。なお、図４ではフェルール４２のみを図示し、光ファイバの図示を省略している。

＜固定部＞
図５に示すように、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸方向視において、円柱部１０の中心軸と直交する軸と重なるように延伸して設けられる。図５では、円柱部１０の中心軸と直交する複数の軸として、鉛直中心線１０ｂと、水平中心線１０ｃとを図示している。第１固定部１１及び第２固定部１２は、水平中心線１０ｃと同じ方向に延伸して、水平中心線１０ｃと重なるように設けられる。これにより、第１固定部１１及び第２固定部１２が円柱部１０の外形以内に収まる範囲で、第１固定部１１及び第２固定部１２の幅を最も大きくすることができ、固定対象物への固定をより強固にすることができる。

また、第１固定部１１及び第２固定部１２は、板状であり、互いに平行な２つの平面を有する。すなわち、第１固定部１１は、上部第１平面１１ａと、下部第１平面１１ｂとを有する板形状であり、第２固定部１２は、上部第２平面１２ａと、下部第２平面１２ｂとを有する板形状である。このように、第１固定部１１及び第２固定部１２が板状であり、互いに平行な２つの平面を有することで、固定対象物が平面を有する場合に、第１固定部１１及び第２固定部１２を固定対象物に面接触させるように固定することができ、センサヘッド１００を容易に強固に固定することができる。

ここで、上部第１平面１１ａ、下部第１平面１１ｂ、上部第２平面１２ａ及び下部第２平面１２ｂは、それぞれ円柱部１０の中心軸に沿って延伸している。すなわち、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸に沿って延伸している。円柱部１０の中心軸方向は、回折レンズ１６及び対物レンズの光軸方向とほぼ一致している。そのため、第１固定部１１及び第２固定部１２を固定対象物に固定すると、回折レンズ１６及び対物レンズの光軸方向が固定対象物の固定対象面に沿った方向を向くこととなり、センサヘッド１００の方向合わせが容易となる。

図２から図４に示すように、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸方向において、回折レンズ１６、対物レンズ群２１，２３，２５，２７、コリメートレンズ１５と異なる位置に設けられる。より具体的には、回折レンズ１６及びコリメートレンズ１５は円柱部１０の内部に設けられ、対物レンズ群２１，２３，２５，２７は対物レンズ部２０の内部に設けられるのに対して、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸方向における円柱部１０の端部に設けられる。このように、第１固定部１１及び第２固定部１２を回折レンズ１６及び対物レンズと干渉しない位置に設けることで、第１固定部１１及び第２固定部１２の存在が回折レンズ１６及び対物レンズの口径を狭める要因とならないため、回折レンズ１６及び対物レンズの口径をケース部５の内径程度に大きくして取り込む光量を十分に多くしつつ、センサヘッド１００を固定するのに十分な大きさの第１固定部１１及び第２固定部１２を設けることができる。また、第１固定部１１及び第２固定部１２を、円柱部１０の中心軸方向における円柱部１０の端部に設けることで、第１固定部１１及び第２固定部１２の存在がケース部５の口径を狭める要因とならないため、ケース部５の内径を大きくして取り込む光量を十分に多くしつつ、センサヘッド１００を固定するのに十分な大きさの第１固定部１１及び第２固定部１２を設けることができる。

第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の中心軸方向において、挿通口１９と重なる位置に設けられる。言い換えると、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０の側面視において、挿通口１９と重畳する。これにより、円柱部１０の中心軸方向において、円柱部１０の端部における挿通口１９と重ならない位置に第１固定部１１及び第２固定部１２を設ける場合よりもケース部５の全長が短くなり、センサヘッド１００を小型化することができる。また、第１固定部１１及び第２固定部１２が、円柱部１０の中心軸方向において、挿通口１９と重なる位置に設けられることで、センサヘッド１００の固定箇所をセンサヘッド１００の重心に近い箇所とすることができ、より安定した固定が可能となる。

第１固定部１１及び第２固定部１２は、ケース部５と一体で形成される。より詳しくは、第１固定部１１及び第２固定部１２は、円柱部１０と一体で形成され、第１固定部１１及び第２固定部１２それぞれは、円柱部１０と連続して形成される。これにより、第１固定部１１及び第２固定部１２を固定対象物に固定することによってケース部５も固定されることとなり、センサヘッド１００が固定対象物に確実に固定される。

［使用例］
次に、図６から図８を参照しつつ、本実施形態に係るセンサヘッド１００の使用の一例について説明する。図６は、本実施形態に係るセンサヘッド１００の側面図である。図６では、固定対象物３００と、第１固定部１１を固定対象物３００にねじ止めするための第１固定ねじ５０ａ及び第２固定ねじ５０ｂを図示している。

第１固定部１１は、第１貫通孔１１ｃ及び第２貫通孔１１ｄを有する。第２固定部１２は、第１固定部１１と同様に、第１貫通孔及び第２貫通孔（不図示）を有する。第１固定部１１の第１貫通孔１１ｃには、第１固定ねじ５０ａが通され、第２貫通孔１１ｄには、第２固定ねじ５０ｂが通されて、固定対象物３００にねじ止めされて固定される。なお、図６では図示を省略しているが、第２固定部１２の２つの貫通孔にも、それぞれ固定ねじが通されて、固定対象物３００にねじ止めされて固定される。第１固定部１１及び第２固定部１２に設けられた貫通孔は、その内側が平滑な穴であってもよいし、その内側にねじ山が切られたねじ穴であってもよい。第１固定部１１及び第２固定部１２が貫通孔を有することで、第１固定部１１及び第２固定部１２をねじによって固定対象物３００に固定することができ、センサヘッド１００を容易に固定することができる。

図７は、従来例の複数のセンサヘッドを密集配置した場合の正面図である。同図では、従来例の対物レンズ８１を収容した、従来例の対物レンズ部８０の正面図を示している。従来例の対物レンズ８１の直径はｄであり、従来例の対物レンズ部８０は、四隅にねじ穴８２を有するために、従来例の対物レンズ８１の直径ｄよりも大きい幅及び高さを有する。

従来例の複数のセンサヘッドは、固定対象物に固定する場合に、少なくともｈだけ互いに距離を空けて固定する必要がある。このように、従来例の複数のセンサヘッドは、対物レンズ８１の直径ｄに対して対物レンズ部８０の幅及び高さが大きいことと、センサヘッド間の距離を少なくともｈだけ空けて固定しなければならないことによって、密集して配置する場合の密度が十分に高くならなかった。

図８は、本実施形態に係る複数のセンサヘッド１００を密集配置した場合の正面図である。同図では、本実施形態に係るセンサヘッド１００の対物レンズ部２０と、対物レンズ部２０に収容された対物レンズ群の一部を示している。本実施形態に係るセンサヘッド１００に収容される対物レンズの直径は、従来例の対物レンズ８１の直径と同じｄである。また、本実施形態に係るセンサヘッド１００の対物レンズ部２０は、第１レンズ２１の直径ｄよりも僅かに大きい直径を有する。

図９は、本実施形態に係る複数のセンサヘッド１００を密集配置した場合の上面図である。同図では、センサヘッド１００を、板状の固定対象物３００の表側と裏側にそれぞれ複数固定した例を示している。同図に示すように、第１固定部１１及び第２固定部１２は、固定対象物３００にねじ止めされている。板状の固定対象物３００の厚さは、固定対象物３００の表側に固定されるセンサヘッド１００と、固定対象物３００の裏側に固定されるセンサヘッド１００とが接触するような厚さであってよい。

本実施形態に係るセンサヘッド１００は、それぞれのセンサヘッド１００が備える第１固定部１１及び第２固定部１２がケース部５から突出せず、ケース部５の外形が円柱状であるため、センサヘッド１００を複数並べて配置した場合に、第１レンズ２１等のレンズ間の距離を比較的短くして固定することができる。そして、図８及び図９に示すように、複数の対物レンズ部２０を密着させるように複数のセンサヘッド１００を並べて配置することができ、複数のセンサヘッド１００間の距離を従来よりも短くして密集させて固定することができる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

［附記］
計測対象物（２００）の変位を計測するセンサのセンサヘッドであって、
入射された光に対し、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ（１６）と、
内部に少なくとも前記回折レンズ（１６）を収容しているケース部（５）と、
固定対象物（３００）への固定に用いられる固定部（１１，１２）と、を備え、
前記ケース部（５）は、外形が円柱形状の円柱部（１０）を有し、
前記固定部（１１，１２）の外形は、前記円柱部（１０）の中心軸方向視において、前記円柱部（１０）の外形以内に収まっている、
センサヘッド。

５…ケース部、１０…円柱部、１０ａ…中心軸、１０ｂ…鉛直中心線、１０ｃ…水平中心線、１１…第１固定部、１１ａ…上部第１平面、１１ｂ…下部第１平面、１１ｃ…第１貫通孔、１１ｄ…第２貫通孔、１２…第２固定部、１２ａ…上部第２平面、１２ｂ…下部第２平面、１５…コリメートレンズ、１６…回折レンズ、１６ａ…光軸、１７…第２レンズ押さえ、１８…アダプタ、１９…挿通口、２０…対物レンズ部、２１…第１レンズ、２２…第１スペーサ、２３…第２レンズ、２４…第２スペーサ、２５…第３レンズ、２６…第３スペーサ、２７…第４レンズ、２８…第１レンズ押さえ、４０…ファイバケース、４１…薄板ばね、４２…フェルール、４３…第３ねじ、５０ａ…第１固定ねじ、５０ｂ…第２固定ねじ、８０…従来例の対物レンズ部、８１…従来例の対物レンズ、８２…ねじ穴、１００…センサヘッド、２００…計測対象物、２１０…第１波長の光、２２０…第２波長の光、３００…固定対象物

Claims (9)

1. 計測対象物の変位を計測するセンサのセンサヘッドであって、
   入射された光に対し、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズと、
   内部に少なくとも前記回折レンズを収容しているケース部と、
   固定対象物への固定に用いられる固定部と、を備え、
   前記ケース部は、外形が円柱形状の円柱部を有し、
   前記固定部の外形は、前記円柱部の中心軸方向視において、前記円柱部の外形以内に収まっている、
   センサヘッド。
2. 前記固定部は、前記円柱部の中心軸方向視において、前記中心軸と直交する軸と重なるように延伸している、
   請求項１に記載のセンサヘッド。
3. 前記固定部は、前記円柱部の中心軸方向において、前記回折レンズと異なる位置に設けられる、
   請求項１又は２に記載のセンサヘッド。
4. 前記固定部は、前記円柱部の中心軸方向における前記円柱部の端部に設けられる、
   請求項３に記載のセンサヘッド。
5. 前記円柱部は、前記回折レンズと光学的に接続される光ファイバを挿通させる挿通口を前記端部に有し、
   前記固定部は、前記円柱部の中心軸方向において、前記挿通口と重なる位置に設けられる、
   請求項４に記載のセンサヘッド。
6. 前記固定部は、前記ケース部と一体で形成される、
   請求項１から５のいずれか一項に記載のセンサヘッド。
7. 前記固定部は、板状であり、互いに平行な２つの平面を有する、
   請求項１から６のいずれか一項に記載のセンサヘッド。
8. 前記平面は、前記円柱部の中心軸に沿って延伸している、
   請求項７に記載のセンサヘッド。
9. 前記固定部は、貫通孔を有する、
   請求項１から８のいずれか一項に記載のセンサヘッド。