JP2019060484A - クランプ装置及びシートワーク加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄液やエアをスムーズに流すことができるクランプ装置を提供すること。【解決手段】シート状のワーク１００の外周縁を同ワーク１００の張設状態でクランプするための複数のクランパ１５が保持枠１２上において相互間隔をおくとともに、前記保持枠の内方を指向させて配置される。クランパ１５は、第１クランプ片１６に対して第２クランプ片１７が開閉可能に連結されている。両クランプ片１６，１７は永久磁石の磁気力により先端部のクランプ歯間においてワーク１００をクランプできる。永久磁石には、磁気吸引力を高めるためのヨークが付設されている。第１クランプ片１６は第２クランプ片１７より幅狭に形成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、シート状のワークをクランプするためのクランプ装置及びそのクランプ装置を有するシートワーク加工装置に関するものである。

特許文献１及び特許文献２には、ワークをクランプするための装置が開示されている。
これらの装置は、ワークをクランプするためのクランプ部を先端部に設けた一対のクランプ片が軸によって回動可能に支持され、磁石の磁気力によって両クランプ片間にワークをクランプするためのクランプ力が付与されるようになっている。そして、これらの特許文献１及び特許文献２の装置においては、両クランプ片が同形状に形成されている。

特開平１１−１０５１１６号公報 特開２０１３−１２１８８４号公報

ところで、この種のクランパを有する装置は、シート状のワークをクランプすることが多く、そのシート状のワークがクランパによるクランプ状態でエッチングされたり、あるいは、エッチング液が水で流されたり、水分を除去するためにエアブローされたりする。この場合、特許文献１及び特許文献２の構成においては、両クランプ片が同形状であるため、両クランプ片間の間隙に対する液体やエアなどの流体の流れが滞りやすく、洗浄や水分除去などを有効に行い得ないおそれがあった。なお、流体を滞りなく流すためには、両クランプ片を幅狭形状にすればよいが、この形状では、クランプ片に対してクランプ力を付与するための磁石を設けた場合、その磁石として大きなものを用いることができず、強いクランプ力を確保できない。

また、特許文献１及び特許文献２の構成においては、一対のクランプ片が同形状である。従って、一方のクランプ片を両クランプ片とは別体の押圧部材によって磁石の磁気力に抗して開放させることは難しい。従って、磁石として強い磁気力を有するものを用いて強力なクランプ力を発揮させることが困難になる。

本発明の目的は、クランプ片間において流体を滞りなく流すことができる構成を提供することにある。

上記の目的を達成するために、クランプ装置に係る発明は、シート状のワークの外周縁を同ワークの張設状態でクランプするための複数のクランパを保持枠上において相互間隔をおくとともに、前記保持枠の内方を指向させて配置し、前記クランパは、第１クランプ片に対して第２クランプ片を軸により開閉可能に連結し、磁石の磁気力により前記第１クランプ片の先端のクランプ部と第２クランプ片の先端のクランプ部との間においてワークをクランプできるように構成し、前記第１クランプ片及び第２クランプ片のうちの一方のクランプ片を他方のクランプ片より幅狭形状にしたことを特徴とする。

ここで、第１クランプ片及び第２クランプ片は、一方が固定位置にあって、他方が回動されるものであっても、双方が回動されるものであってもよい。
以上の構成においては、一方のクランプ片が他方のクランプ片より幅狭であるため、両クランプ片間を通る洗浄液やエアなどの流体の流れが円滑であって、洗浄やエアによる液体除去を滞りなく行うことができる。また、幅の広いクランプ片に幅広の磁石を設けることができるため、磁石によるクランプ力を強くすることができる。そして、以上の構成においては、ワークの外周縁を複数のクランパによってクランプすることができ、ワークが大面積のものであっても、そのワークを適切にクランプすることができる。

シートワーク加工装置に係る発明は、前記クランプ装置の前記クランパによって前記ワークがクランプされて前記保持枠内に保持され、その状態でワークに対して加工を施すための加工部を有するシートワーク加工装置において、前記加工部に対するクランプ装置の搬入側に設けられ、前記クランプ装置を、基準点を基準として前記ワークの張設面と平行な面内において位置決めするためのクランプ装置の位置決め手段を設けたことを特徴とする。

以上の構成においては、クランプ装置をワークの張設面と平行な面内において位置決めできるため、ワークを有するクランプ装置を前記加工部に対して正確な位置関係を保持した状態で供給できて、ワークに対して高精度な加工を施すことができる。

本発明によれば、クランプ片間において流体を滞りなく流すことができて、ワークの洗浄などを適切に行うことができるという効果を奏する。

シートワーク加工装置全体の平面図。 シートワーク加工装置全体の正面図。 クランプ装置の斜視図。 クランプ装置の平面図。 （ａ）は、クランプ装置と搬入側クランプ位置決め装置のノックピンとの関係を示す側面図、（ｂ）は、搬出側クランプ位置決め装置のノックピンを示す側面図。 クランパとノックピンとの関係を示す簡略正面図。 保持枠の長辺部材と短辺部材との接合部分を示す簡略図。 クランパ部分の斜視図。 クランパ部分の一部破断分解斜視図。 クランパ部分を示す断面図。 クランパ部分の平面図。 フェライトに対する着磁工程を示す断面図。 ワーク搬入ステーションにおけるワーク位置決め装置を示す平面図。 搬入側のワーク位置決め装置を示す断面図。 搬入側のクランプ位置決め装置を示す平面図。 ノックピンとクランパとの関係を示す断面図。 搬入側のワーククランプ装置，クランプ装置及びチャック装置を示す平面図。 （ａ）は、搬入側のチャック装置を示す平面図、（ｂ）は、ワークチャック部分を示す側面図。 ワークストック装置を示す側面図。 磁気力の検査装置を示す平面図。 磁気力の検査装置を示す側面図。 磁気力の検査状態を示す断面図。 シートワーク加工装置の電気的構成を示すブロック図。 磁気力検査装置の動作を示すフローチャート。 搬出側のワーク位置決め装置を示す平面図。 搬出側のワーク位置決め装置を示す断面図。 搬出側のチャック装置を示す平面図。 第２クランプ片の構成の変更例を示す平面図。 エッジ無し構造の変更例を示す正面図。 エッジ無し構造の別の変更例を示す正面図。

（実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
（シートワーク加工装置の概略）
はじめに、実施形態のシートワーク加工装置の概略の構成及び作用を説明する。このシートワーク加工装置は、可撓性を有する銅製などの薄いシート状ワークに対してエッチング及びエッチング後の洗浄を施すものである。

図１及び図２に示すように、シートワーク加工装置には、エッチング加工部７１と、そのエッチング加工部７１に下流側に位置する洗浄加工部７２とを備えた加工部としての加工ライン７３が設けられている。そして、図３に示す治具としてのワーククランプ装置（以下、クランプ装置という）１１の保持枠１２にワーク１００が保持され、このクランプ装置１１が図１及び図２などに矢印Ｐで示す一方向に搬送される。そのため、エッチング加工部７１においてワーク１００に対してエッチングが実行され、次いで、洗浄加工部７２においてエッチング液を落とすための洗浄が行われる。図２に示すように、加工ライン７３の上側にはワーク加工に使用されたクランプ装置１１を矢印Ｐ方向の逆方向に戻すための戻りライン７０が設けられている。

加工ライン７３の上流側には、ワーク搬入ステーション７４が設けられるとともに、加工ライン７３の下流側には、ワーク１００の矢印Ｐ方向の搬送方向に沿って、ワークストックステーション７５，検査ステーション７６及びワーク搬出ステーション７７が設けられている。

ワーク搬入ステーション７４においては、ワーク１００が戻りライン７０の搬送コンベア８０からのクランプ装置１１に合体保持され、その状態でクランプ装置１１が加工ライン７３の搬送コンベア８０上に搬入される。ワーク搬出ステーション７７は、加工済みのワーク１００をクランプ装置１１から分離して、本シートワーク加工装置の次工程に送るとともに、クランプ装置１１を戻りライン７０に移行させる。ワークストックステーション７５は、加工ライン７３の次工程においてトラブルが生じた場合など、ワーク１００を加工ライン７３の次工程に搬送することができない場合に、ワーク１００をクランプ装置１１とともに一時待機のためにストックするものである。検査ステーション７６は、ワーク１００の非加工時において、ワーク１００を保持していないクランプ装置１１の後述の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の劣化度合いを検査するためのものである。

図１及び図２に示すように、前記ワーク搬入ステーション７４には、ワーク１００をその張設位置と平行な面内において基準位置を基準として位置決めするための搬入側ワーク位置決め装置７８が配置されている。また、ワーク搬入ステーション７４には、クランプ装置１１をワーク１００の張設面と平行な面内において基準位置を基準として位置決めするためのクランプ装置位置決め手段としての搬入側クランプ位置決め装置７９と、図１７に示す搬入手段及び図１８に示すワーク張設手段としてのチャック装置８３とが配置されている。前記ワーク搬出ステーション７７には、クランプ装置１１を位置決めするための搬出側クランプ位置決め装置８１と、ワーク１００を位置決めするための搬出側ワーク位置決め装置８２と、図２７に示すチャック装置８３とが配置されている。

そして、ワーク搬入ステーション７４の搬入側ワーク位置決め装置７８に導入された１枚のワーク１００がその搬入側ワーク位置決め装置７８において位置決めされる。一方、前記戻りライン７０からの空のクランプ装置１１が後方に移動された後に下降されて、搬入側クランプ位置決め装置７９に載置され、その搬入側クランプ位置決め装置７９において位置決めされる。そして、位置決め状態のクランプ装置１１に対して、位置決めされたワーク１００が前記チャック装置８３によって搬入されて、クランプ装置１１に保持される。このようにしたクランプ装置１１は、加工ライン７３の搬送コンベア８０を経てエッチング加工部７１に搬入される。

エッチング加工部７１から洗浄加工部７２を経たクランプ装置１１は搬送コンベア８０を経てワーク搬出ステーション７７に搬送され、引き続き、後方の搬出側クランプ位置決め装置８１に搬送されて位置決めされる。その位置決め状態において、チャック装置８３によりクランプ装置１１上のワーク１００がクランプ装置１１から分離されて、搬出側ワーク位置決め装置８２に搬入されて、同装置８２によって位置決めされて、ワーク搬出ステーション７７の後工程に搬出される。

ワーク１００が分離されて空になったクランプ装置１１は搬出側クランプ位置決め装置８１から上昇されて、戻りライン７０に送られ、その戻りライン７０を経て前記のワーク搬入ステーション７４に搬送される。

なお、搬送コンベア８０を除いて、クランプ装置１１，前記チャック装置８３，８７などを搬送するための搬送手段は、図示しない搬送ロボットによって実行される。
以下に、各部の詳細な構成及び作用を説明する。

（クランプ装置１１）
前記クランプ装置１１について説明する。
図３及び図４に示すように、クランプ装置１１は、長四角環状の扁平な保持枠１２を備えている。その保持枠１２は、長四角形の長辺を形成する一対の長辺部材１３と、同じく長四角形の短辺を形成する一対の短辺部材１４とを備えている。図５及び図７に示すように、長辺部材１３及び短辺部材１４はその両端に重合部１９，２０を備えるとともに、一方の重合部２０には突条１９１が形成され、他方の重合部１９には嵌合溝２０１が形成されている。そして、突条１９１と嵌合溝２０１とが嵌合した状態で重合部１９，２０が重合されて、重合部１９，２０が図３に示すネジ２２により締め付け固定されて、保持枠１２が構成されている。なお、上側の重合部１９は、長辺部材１３及び短辺部材１４のいずれに形成してもよく、突条１９１と嵌合溝２０１との上下関係は前記の逆でもよい。

図３〜図５に示すように、その保持枠１２の長辺及び短辺にはそれぞれ複数のクランパ１５が等間隔をおいて設置されている。本実施形態においては、保持枠１２及びクランパ１５は、耐腐食性材料であるチタンまたはチタン合金によって構成されている。クランパ１５は、下側に位置する第１クランプ片１６と、上側に位置する第２クランプ片１７とを備えている。第１クランプ片１６は、長辺部材１３及び短辺部材１４と一体に形成されている。

図８及び図９に示すように、第１クランプ片１６には、先端部側に向かってテーパ状に幅狭となる付け根部２５と、その付け根部２５の先端部側の幅狭の幅狭部２６とが一体形成されている。幅狭部２６の先端部上面には、クランプ部としての上方へ向かって突出するクランプ歯２７が一体形成されている。

図９及び図１０に示すように、前記付け根部２５及び幅狭部２６には、それぞれ下方に向かって開放されるとともに、連続する凹部２５１，２５２が形成されており、凹部２５１，２５２の平面形状は付け根部２５及び幅狭部２６の外形と相似形をなしている。凹部２５１，２５２内には、凹部２５１，２５２の輪郭形状をなすとともに磁性体よりなり、上面を開放したヨーク３２が隙間なく嵌合されている。ヨーク３２内には付け根部２５及び幅狭部２６の外形と相似形をなす永久磁石２８１，２８２が隙間なく嵌合されている。凹部２５１，２５２の下面開口は蓋板３５により閉塞され、その蓋板３５は第１クランプ片１６の外周壁に隙間なく溶接されている。このため、ヨーク３２及び永久磁石２８１，２８２は第１クランプ片１６内に封入されている。付け根部２５は幅狭部２６より厚く形成され、それに対応して、付け根部２５側の凹部２５１は幅狭部２６側の凹部２５２より深く形成され、それらの間の内底面、すなわち天井面には段差が形成されている。従って、付け根部２５側の永久磁石２８１は厚く形成されている。付け根部２５と幅狭部２６との間の上面には斜面１６２が形成されている。

図９及び図１１に示すように、第１クランプ片１６の両側において、保持枠１２の上面には凹部２１が形成され、その凹部２１内には第１クランプ片１６の一部を構成する軸受部材２９がネジ２３によって固定されている。この軸受部材２９間には軸３１により前記第２クランプ片１７が基端部において上下方向に回動可能に支持されている。

図８及び図９に示すように、第２クランプ片１７は、第１クランプ片１６の付け根部２５及び幅狭部２６より幅広に形成されており、この付け根部２５及び幅狭部２６と対応する部分の第２クランプ片１７の両幅端部が幅広部になっている。

図８〜図１１に示すように、第２クランプ片１７には、それぞれ上方に向かって開放されるとともに、連続する凹部１７２，１７３が形成されており、それらの凹部１７２，１７３は、第２クランプ片１７の外形と相似形をなしている。その凹部１７２，１７３内には磁性体よりなり、凹部１７２，１７３の輪郭形状をなすとともに、下面を開放したヨーク３９が隙間なく嵌合され、そのヨーク３９内には永久磁石３６１，３６２が隙間なく嵌合されている。従って、永久磁石３６１，３６２は第２クランプ片１７の外形と相似形をなしている。凹部１７２，１７３の上面開口は蓋板４０により閉塞され、その蓋板４０は第２クランプ片１７の外周壁に隙間なく溶接されている。従って、ヨーク３９及び永久磁石３６１，３６２は第２クランプ片１７内に封入されている。第２クランプ片１７の底部基端部は底部前端部より厚く形成され、それに対応して基端部側の凹部１７２は深く形成され、両凹部１７２，１７３間には段差が形成されている。従って、基端部側の永久磁石３６１は先端側の永久磁石３６２より厚く形成されている。第２クランプ片１７の下面の基端部と先端部との間の上面には斜面１７５が形成されている。

図８及び図９に示すように、第２クランプ片１７の先端部下面には前記クランプ歯２７と対向して、そのクランプ歯２７に対して接触離間可能なクランプ部としてのクランプ歯３４が一体形成されている。クランパ１５は、クランプ歯２７，３４が保持枠１２の内側に位置するように、保持枠１２の内側を指向する方向を向いて配列されている。そして、下側及び上側の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２間に磁気吸引力が作用しており、この磁気吸引力により、第２クランプ片１７が第１クランプ片１６に対して閉じる方向，言い換えれば前記クランプ歯２７，３４間においてワークをクランプする方向に付勢されている。この場合、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁束は、それらのヨーク３２，３９によって整列されて、第１，第２両クランプ片１６，１７間の磁気吸引力が強化されている。

この場合、両クランプ歯２７，３４は、クランプ状態においてワーク１００が自重で変形したり、移動したりしない程度のクランプ力を有する必要がある。つまり、ワーク１００が薄いものであると、ワーク１００は自重で中央部側が落ち込むように変形するおそれがある。また、両クランプ歯２７，３４は、ワーク１００に対してクランプに起因した集中応力を抑えてクランプ痕が残らないようにする大きな面積であって、しかも、前記洗浄加工部７２の液体洗浄やエアブローを阻害しないように、可能な限り小面積であることが好ましい。

図１０に示すように、前記第１クランプ片１６と第２クランプ片１７との間には、両クランプ歯２７，３４の部分を除いて、間隙３０が形成されている。図６に示すように、第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の外周の上下両縁部には両クランプ歯２７，３４の部分を除いてエッジ無し構造１８として断面円弧状の面取りが形成されている。なお、図６を除く本実施形態の各図においては、この面取りの図示は省略されている。また、図示はしないが、前記上下両縁部以外にも、保持枠１２及びクランパ１５の外側面には角ばったコーナ部が形成されないように、そのコーナ部の部分に円弧状または傾斜面状の面取りが施されていてもよい。

次に、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の着磁方法について説明する。
図１０及び図１１に示すように、第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の各凹部２５１，２５２、１７２，１７３内には、ヨーク３２，３９及び永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２となる非着磁状態のハードタイプフェライトが封入されている。すなわち、第１，第２クランプ片１６，１７は、ヨーク３２，３９及びフェライトの組み付け後、凹部２５１，２５２、１７２，１７３の開口が蓋板３５，４０によって閉塞され、その状態で蓋板３５，４０が第１，第２クランプ片１６，１７に溶接される。その後、第２クランプ片１７は長辺部材１３及び短辺部材１４上に軸受部材２９及び軸３１を介して組み付けられて、相互間隔をおいて配置された複数のクランパ１５が構成される。

そして、図１２に示すように、クランパ１５は着磁装置６０内にセットされ、その着磁装置６０の一対のコア６１を通る強磁束により前記フェライトに対する着磁が実行されて、そのフェライトが下側と上側との間において吸引作用が惹起される永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２となる。このとき、第１クランプ片１６の永久磁石２８１，２８２は、同一面，例えば下面が同一磁極となるように着磁される。同様に、第２クランプ片１７の永久磁石３６１，３６２は、同一面，例えば上面が同一磁極となるように着磁される。次いで、クランパ１５を有する長辺部材１３と短辺部材１４とが組み付けられて、長四角環状の保持枠１２となる。

（クランプ装置１１の作用）
以上のように構成されたクランプ装置１１は、以下のように作用する。
すなわち、図９の実線に示すように、ワーク１００をクランプしていない空のクランプ装置１１は、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の吸引作用によって閉じられ、クランプ歯２７，３４どうしが当接した状態にある。

この状態において、後述の開放手段としてのノックピン４２によって、図６及び図１６に２点鎖線で示すように、クランパ１５の第２クランプ片１７が永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気吸引力に抗して上方へ回動され、クランプ歯２７，３４間が離間される。従って、この状態においては、第２クランプ片１７の先端部が第１クランプ片１６の先端部の位置から保持枠１２の外側方向に後退する。この状態において、ワーク１００が保持枠１２の上方から降下され、図５から明らかなように、後退された第２クランプ片１７の先端部に接触することなく、その先端部間の領域を通って第１クランプ片１６のクランプ歯２７上に載置される。

次いで、前記ノックピン４２が下方移動する。この下方移動につれて、後述の押圧ピン３８の押圧力，永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の吸引力及び第２クランプ片１７の自重によって第２クランプ片１７が下方回動され、クランプ歯２７，３４間にワーク１００の外周縁部がクランプされる。

そして、この状態で、クランプ装置１１が加工ライン７３のエッチング加工部７１に搬送されて、ワーク１００に対してエッチングが施される。その後、クランプ装置１１は洗浄加工部７２に移動されて、図４及び図５に示す洗浄液供給管４３からの洗浄液によってクランプ装置１１及びワーク１００が洗浄されて、エッチング液が除去される。さらに、クランプ装置１１は洗浄加工部７２に送られ、エア供給管４５からのエアによってワーク１００及びクランプ装置１１に付着した洗浄液が除去される。これらの洗浄工程及び洗浄液除去工程において、洗浄液やエアはクランパ１５の間隙３０内を流れる。

すなわち、図４及び図５に示すように、前記洗浄加工部７２において、クランプ装置１１の搬送域の上下位置には、洗浄液供給管４３がそれぞれ配置されており、これらの洗浄液供給管４３の長さ方向に列設された供給口４４からワーク１００及びクランプ装置１１に対して洗浄液が供給される。前記洗浄加工部７２において、クランプ装置１１の上下位置には、エア供給管４５がそれぞれ配置されており、これらのエア供給管４５の長さ方向に列設された供給口４６からワーク１００及びクランプ装置１１に対してエアブローにより洗浄液を吹き飛ばして除去するためのエアが噴出される。

以上のように構成されたクランプ装置１１においては、以下の効果がある。
（１）クランパ１５は、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気力によってワーク１００のクランプ力を得るようになっているため、クランプ力をスプリングによって得る構成とは異なり、第２クランプ片１７の開閉動作における拗れや異音がなくなり、第２クランプ片１７の動作が円滑になる。また、バネの破断などのような不都合が突然生じることを回避できる。また、第２クランプ片１７の幅が広いため、幅広で大きな永久磁石を用いることができる。従って、強い磁気力に基づく強いクランプ力を得ることができる。

（２）両クランプ片１６，１７間に間隙３０が形成されるとともに、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２が相互に非接触である。このため、ワーククランプ時などにおいて、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２に対する機械的な負荷を少なくして、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の長寿命化に寄与できる。

（３）両クランプ片１６，１７の双方に永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２が設けられているため、強力なクランプ力を得ることができる。ちなみに、永久磁石を一方のクランプ片に設けるとともに、他方のクランプ片を磁性体で構成することも考えられるが、この構成においては、強い磁気吸引力，すなわち強いクランプ力を得ることには不利である。

（４）両クランプ片１６，１７の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２が分割されているため、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２を収容するヨーク３２，３９の形状が複雑であっても、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の加工が容易である。その結果、クランプ片１６，１７の形状を自在に設定できる。

（５）クランパ１５の第２クランプ片１７が永久磁石３６１，３６２を有しているため、その永久磁石３６１，３６２の磁気力が劣化した場合は、軸受部材２９を着脱することにより、第２クランプ片１７を容易に交換することができる。

（６）第１クランプ片１６の先端側に幅狭部２６が形成され、第２クランプ片１７の先端側がテーパ状の先鋭形状をなしているため、クランパ１５のワーク１００をクランプする部分の投影面積が小さくなる。従って、ワーク１００に対する洗浄液やエアブローのエアが滞りなく円滑に流れることになり、洗浄やエアブローを適切に実行できる。

（７）永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２及びヨーク３２，３９が第１，第２クランプ片１６，１７内に封入されているため、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２やヨーク３２，３９が酸洗いなどによって侵されることを回避できる。

（８）永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２が軸３１とクランプ歯２７，３４との間に配置されているため、特許文献１及び特許文献２の装置とは異なり、両クランプ片１６，１７の長さを短くできて、クランパ１５の全体形状を小形化できるとともに、軽量化できる。このため、クランプ装置１１の小形化及び軽量化を達成できる。

（９）第２クランプ片１７を第１クランプ片１６より幅広に形成しているため、第１クランプ片１６の両側方を通り抜けるノックピン４２によって第２クランプ片１７が第１クランプ片１６に対して開放される。従って、ノックピン４２の上昇により、第２クランプ片１７を円滑に開かせることができる。

（１０）第１クランプ片１６と第２クランプ片１７のクランプ歯２７，３４の部分を除いて、第１，第２クランプ片１６，１７間に間隙３０を設けたことにより、ワーク１００に対して洗浄液を供給し易くなるとともに、洗浄液をエアによって除去し易くなる。従って、ワーク１００の洗浄などの作業や洗浄液などの除去を適切に行なうことができる。

（１１）下側に位置する第１クランプ片１６にテーパ状の付け根部２５及び幅狭部２６を形成して、第１クランプ片１６を第２クランプ片１７より幅狭にしたことにより、洗浄液等の液体がエアによって両クランプ片１６，１７間から円滑に流れる。このため、洗浄液等の液体の除去を適切に行なうことができる。

（１２）ヨーク３２，３９によって永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２から周囲への漏れ磁束を抑制し、磁束が相手方の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２に対して集中して指向されるようにした。従って、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２間の吸引力を高めて、クランプ歯２７，３４によるクランプ力を強くできて、ワーク１００をより確実にクランプできる。

（１３）永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の極性が同一向きになるようにした。従って、第１クランプ片１６を有する長辺部材１３や短辺部材１４、あるいは第２クランプ片１７を交換する場合、第１，第２クランプ片１６，１７の磁極の向きの組み合わせを考慮する必要がなく、その交換を容易に行うことができる。

（１４）第１，第２クランプ片１６，１７の凹部２５１，２５２、１７２，１７３内の天井部あるいは底部に段差部を設けて、厚い永久磁石２８１，３６１を使用できるようにするとともに、その磁石２８１，３６１を互いに相手方に近づけることができるようにした。従って、第１，第２クランプ片１６，１７間の磁気吸引力高めることができる。

（１５）第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の外周縁部に円弧状の面取りよりなるエッジ無し構造１８を形成して、エッジが立たないように形成されている。このことにより、加工液、洗浄液あるいはエアを流す場合に、両クランプ片１６，１７の外周縁部によって前記各種の液体やエアの流れに対して乱流や渦の形成などの悪影響が与えられることを抑制できる。従って、各種の液体やエアを円滑に流すことができて、洗浄や洗浄液の除去などの作業を適切に実行できる。

（１６）永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２は、フェライトが非着磁状態で組み込まれて、蓋板３５，４０の溶接後にフェライトに対して着磁が実行される。従って、溶接の際の熱によって永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気力が低下することを回避できる。

（ワーク搬入ステーション７４）
次に、ワーク搬入ステーション７４の構成及び作用について説明する。
（搬入側ワーク位置決め装置７８）
まず、搬入側ワーク位置決め装置７８について説明する。

前記ワーク搬入ステーション７４には、前記のように、図１３及び図１４に示す前記搬入側ワーク位置決め装置７８が固定配置されている。この搬入側ワーク位置決め装置７８は、ベース板４１２と、そのベース板４１２の上方に固定された四角形のテーブル４１３とを備えている。テーブル４１３の上面には、図示しないエア供給源に接続された複数のエア噴出ノズル４１４がほぼ均等な分布で配置されている。エア噴出ノズル４１４は短い円筒体４１５と、その円筒体４１５内に詰められた連泡性の多孔質体４１６とを備えている。そして、多孔質体４１６の上端から上方へ向かってエア流が噴出され、このエア流によって、その上部に設置されたワーク１００が浮上される。

ベース板４１２にはテーブル４１３の四辺と対応して位置するように単軸ロボットよりなるアクチュエータ４１１が搭載され、その軸の先端には位置決め部材４１７が取り付けられている。そして、アクチュエータ４１１の作動により、位置決め部材４１７が浮上位置にあるワーク１００を位置決めする実線位置と、ワーク１００の位置から外側方に離間する２点鎖線位置との間を移動される。位置決め部材４１７には、投光器４１９と受光器４２０とよりなる端縁センサ４１０が取り付けられている。そして、位置決め部材４１７のワーク１００側への移動によって、ワーク１００の端縁が位置決め部材４１７の内側面に当接してワーク１００が位置決めされたとき、端縁センサ４１０によってワーク１００の端縁が検出される。そして、センサ４１０によってワーク１００が検出されたとき、この検出したセンサ４１０側のアクチュエータ４１１の駆動が停止されて、位置決め部材４１７のワーク１００側への移動が停止される。これによって、ワーク１００の位置決めが実行される。

この場合、対角線αを挟んで隣接する２辺の位置決め部材４１７を通る直角な基準線β，γ上にワーク１００の２辺が位置するように位置決めされる。ワーク１００のコーナが基準線β，γの交点である基準点ε上に位置する。そして、各アクチュエータ４１１の停止位置、すなわち、ワーク１００の各辺の位置のデータは、本ワークシート加工装置の図２３に示すメイン制御装置８４における記憶装置８５に記憶される。

なお、前記投光器４１９及び受光器４２０の上下の位置は限定されない。
（搬入側クランプ位置決め装置７９）
搬入側クランプ位置決め装置７９について説明する。

図１に示すように、前記ワーク位置決め装置７８の後方には図１５及び図１６に示す前記搬入側クランプ位置決め装置７９が設置されている。この搬入側クランプ位置決め装置７９は、ベース板４２２と、その上方に位置する長四角枠状の位置決め枠４２３とを備えている。この場合、基準線β１，γ１側の位置の辺には、位置決めのための各一対の基準ローラ４２５が固定位置において支持されている。つまり、各一対の基準ローラ４２５の外周面は、直交する基準線β１，γ１上に位置している。

位置決め枠４２３の他の一対の辺には各一対のシリンダ４２６が搭載され、そのピストンロッドに押さえローラ４２７が支持されている。この押さえローラ４２７は、シリンダ４２６の作動により、対向する基準ローラ４２５に対して位置決め枠４２３上に設置された保持枠１２を押し出す。これによって、保持枠１２が基準線β１，γ１及びその基準線β１，γ１の交点である対角線α１上の基準点ε１を基準として位置決めされる。

図１６に示すように、前記位置決め枠４２３の四辺と対応する位置において、ベース板４２２にはシリンダ４２８が搭載され、そのピストンロッドには昇降枠４１が取り付けられている。図５（ａ）及び図１６に示す昇降枠４１には、保持枠１２が前記位置決め枠４２３上に位置決めされた状態で、前記クランパ１５の両側と対応する複数対のノックピン４２が上方へ向かって突出されている。従って、各ノックピン４２は、位置決め枠４２３の四辺と対応して配列されるとともに、前記基準線β１，γ１に沿って配列されている。各ノックピン４２の先端部は半球状に形成されている。そして、図６及び図１６に示すように、昇降枠４１が上昇されることにより、ノックピン４２が第１クランプ片１６の幅狭部２６の両側方を通って第２クランプ片１７の下面に当接し、その第２クランプ片１７がノックピン４２の上昇移動とともに上方へ回動される。これによって、第２クランプ片１７が永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の吸引力に抗して開放動作される。

図１６に示すように、前記シリンダ４２８は、その軸線が傾斜するように設置されている。この傾斜により、ノックピン４２も傾斜され、その傾斜方向は、ノックピン４２が第２クランプ片１７の先端側下方から基端側上方に向かって上昇する方向である。このため、第２クランプ片１７が先端側に向かって幅狭になっていても、ノックピン４２は第２クランプ片１７を適切に開放させることができる。

図５（ａ）に示すように、各対のノックピン４２は、基準線β１，γ１の交点である基準点ε１に近い対のものほど低く形成されている。
図１６に示すように、前記ベース板４２２にはステー（図示しない）を介して各クランパ１５に対応する複数のシリンダ４２９が設置され、そのシリンダ４２９のピストンロッドには前記押圧ピン３８が支持されている。そして、シリンダ４２９の作動により、押圧ピン３８が前進後退され、前進時には、開放状態の第２クランプ片１７を閉鎖方向に押すようになっている。

そして、戻りライン７０からの空のクランプ装置１１がワーク搬入ステーション７４に戻されると、クランプ装置１１は、後方へ移動された後、降下されて、搬入側クランプ位置決め装置７９の位置決め枠４２３上に載置される。この状態において、クランプ装置１１は、位置決め枠４２３の基準ローラ４２５と押さえローラ４２７とで囲まれる領域内に位置する。そして、この状態で、シリンダ４２６の作用により、押さえローラ４２７が基準ローラ４２５側に移動されて、クランプ装置１１が基準ローラ４２５によって位置決めされる。このため、クランプ装置１１の隣接する２辺が基準線β１，γ１上に位置し、対向する２つのコーナが基準点ε１を有する対角線α１上に位置して、クランプ装置１１の位置決めが行われる。

（チャック装置８３）
チャック装置８３について説明する。
図１７及び図１８に示すように、前記ワーク搬入ステーション７４には、図１７において太い矢印で示すように、前記搬入側ワーク位置決め装置７８の近傍位置，前記搬入側ワーク位置決め装置７８の位置及び搬入側クランプ位置決め装置７９を往復すように移動されるチャック装置８３が設けられている。

図１８（ａ），（ｂ）に示すように、このチャック装置８３のフレーム４３２には第１〜第４チャック４３３〜４３６が支持されている。各チャック４３３〜４３６は、第１チャック片４３０と、第２チャック片４３１とを有している。第１チャック片４３０はシリンダ４３７の作動によってワーク１００側に前進するとともに、ワーク１００から離間する位置に後退される。第２チャック片４３１はシリンダ４３８の作動によって昇降され、下降することにより前進位置の第１チャック片４３０との間でワーク１００の周縁部をチャック可能である。

前記第１チャック４３３は、固定位置に配置され、第２チャック４３４は、シリンダ４３９により一方向（矢印Ｐ方向と直交する方向）に移動可能であり、第３チャック４３５はシリンダ４４０により前記一方向とは直交する他方向（反矢印Ｐ方向）に移動可能である。第４チャック４３６は、シリンダ４３９，４４０により前記一方向及び他方向に移動可能である。このため、第１〜第４チャック４３３〜４３６がワーク１００の周縁部をチャックした状態において、第１〜第４チャック４３３〜４３６がそれぞれ前記各方向の外方に移動されることにより、第１〜第４チャック４３３〜４３６にチャックされたワーク１００が基準点εから離れる方向に緊張される。従って、同ワーク１００に張設力が作用する。

（ワーク搬入ステーション７４の作用）
次に、ワーク搬入ステーション７４における作用を説明する。
前記戻りライン７０からの空のクランプ装置１１は、図１５に示す搬入側クランプ位置決め装置７９の位置決め枠４２３上に移送されて、その位置決め枠４２３上に載置される。ここで、位置決め枠４２３は、後述の搬入側ワーク位置決め装置７８において位置決めされるワーク１００と平行な面内に位置する。このため、位置決め枠４２３上のクランプ装置１１は、ワーク１００の張設平面と平行な面内に位置する。そして、位置決め枠４２３上のシリンダ４２６の動作により、押さえローラ４２７が移動されて、クランプ装置１１の保持枠１２が基準ローラ４２５に押圧されて、対角線α１上の基準位置を基準にして位置決めされる。この状態で、図１６に示すノックピン４２が上昇されて、そのノックピン４２により各クランパ１５の第２クランプ片１７がノックピン４２によって開放され、その開放状態が維持される。

一方、未加工のワーク１００が本実施形態のシートワーク加工装置の前段の工程からワーク搬入ステーション７４に搬入されて、チャック装置８３の各チャック４３３〜４３６の第１，第２チャック片４３０，４３１によってチャックされる。そして、ワーク１００はチャック装置８３の移動により、位置決め部材４１７が退避位置にある図１３及び図１４に示す搬入側ワーク位置決め装置７８上に搬送される。ここで、ワーク１００はチャック装置８３の第１〜第４チャック４３３〜４３６によるチャックから解放される。そして、ワーク１００はエア噴出ノズル４１４からのエアによって浮上される。これと同時に、搬入側ワーク位置決め装置７８のアクチュエータ４１１の動作によって位置決め部材４１７がワーク１００側に移動されて、その位置決め部材４１７によって浮上状態のワーク１００の隣接する２辺が基準線β，γと一致するように位置決めされる。従って、ワーク１００の２つのコーナは対角線α上に位置する。このとき、基準線β，γの位置に対応する２辺側の位置決め部材４１７は、基準線β，γの位置で停止される。一方、他の２辺の位置決め部材４１７は、ワーク１００を前記２辺側の位置決め部材４１７に向かって押し出す。そしてワーク１００の端縁がセンサ４１０によって検出されると、アクチュエータ４１１の作動が停止されて、位置決め部材４１７の移動が停止される。この状態で、ワーク１００のコーナが基準点ε上に位置する。

アクチュエータ４１１の停止位置、言い換えれば、ワーク１００の停止及びワーク１００の姿勢を示すアクチュエータ４１１の位置データはメイン制御装置８４の記憶装置８５に記憶される。

次いで、位置決めされたワーク１００が、その姿勢を変更することなく、チャック装置８３によって再度チャックされて、チャック装置８３の移動により、位置決め状態にあるクランプ装置１１の開放された第１クランプ片１６上に定置される。従って、クランプ装置１１及びワーク１００の双方の対角線が一致するように、その双方が相互に位置決めされて、後続の加工ライン７３における加工に備えられる。

次いで、ノックピン４２が下方に後退して第２クランプ片１７が自重及び永久磁石２８１，２８２，３６１，３６２の磁気力によって閉鎖される。このとき、押圧ピン３８の突出により、第２クランプ片１７の閉鎖がより確実になるように助勢される。

また、このとき、ノックピン４２の高さが異なるために、第２クランプ片１７は基準点εに近いものから順に時間差をおいて閉じられる。
一方、このとき、チャック装置８３の第１チャック４３３は固定位置を保持するが、第２チャック４３４はシリンダ４３９により矢印Ｐ方向と直交する方向に移動力が付与され、第３チャック４３５はシリンダ４４０により、反矢印Ｐ方向に移動力が付与される。また、第４チャック４３６はシリンダ４３９，４４０により反矢印Ｐ方向及び矢印Ｐ方向と直交する方向に移動力が付与される。このため、ワーク１００にはチャック装置８３によって基準点εから離れる方向に張力が付与される。そして、前記のように、ワーク１００のチャックに時間差が設けられるため、張力付与が有効化されて、ワーク１００は弛みが生じることなく、基準点εを基準にした位置において緊張を維持した状態でクランプされる。

以上のように、クランプ装置１１及びワーク１００が位置決めされるとともに、ワーク１００が張設された状態で加工ライン７３に送られて、ワーク１００に対して高精度な加工が実行される。

従って、以上のように構成されたワーク搬入ステーション７４においては、以下の効果を得ることができる。
（１７）ワーク１００が搬入側ワーク位置決め装置７８において位置決めされる。このとき、ワーク１００はエア噴出ノズル４１４からのエアによって浮上状態に維持されるため、ワーク１００が薄く、撓みやすいものであっても、ワーク１００はほとんど抵抗なく位置決め動作され、正確に位置決めされる。

（１８）クランプ装置１１は搬入側クランプ位置決め装置７９上において位置決めされ、その状態でクランプ装置１１に対して搬入側ワーク位置決め装置７８において位置決めされたワーク１００が合体される。そして、その位置決め状態で保持枠１２が加工ライン７３内に搬送されて、ワーク１００に対してエッチングなどの加工が施される。従って、ワーク１００の所定位置に対して正確な加工を施すことができる。

（１９）搬入側クランプ位置決め装置７９において、クランパ１５によってワーク１００をクランプする際、ワーク１００は基準点εを基準とした張設状態に維持される。そして、クランパ１５は基準点εに近いものから順にクランプ動作を行う。このため、ワーク１００は基準点ε側から引っ張られた状態で順次クランプされるため、すべてのクランパ１５によってクランプが終了した状態において、ワーク１００は基準点εを基準とした位置決め状態で弛みなく張設される。従って、ワーク１００に対する加工を高精度に行うことが可能になる。

（２０）ノックピン４２はクランパ１５の基端側、つまり第２クランプ片１７の回転中心側に向かって上昇するように斜めになっているため、ノックピン４２の上昇ストロークが小さくても、第２クランプ片１７が適切に開放動作される。

（２１）第２クランプ片１７の閉鎖動作を押圧して助勢する押圧ピン３８が設けられているため、その第２クランプ片１７の閉鎖動作を阻害する要因が存在しても、あるいは、永久磁石２８１，２８２，３６１，３６２の磁気力が弱くなっても、その第２クランプ片１７を適切に閉鎖動作させることができる。

（ワークストックステーション７５）
次に、ワークストックステーション７５について説明する。
図１９に示すように、ワーク１００の搬送コンベア８０の後方には、ストック手段としてのストック装置８６が設置されている。このストック装置８６は、昇降ロボット４４２によって昇降可能にしたストッカ４４３を備えている。ストッカ４４３には、クランプ装置１１を載置可能にした上下方向に複数段（実施形態では１０段）の棚４４４が設けられている。ストッカ４４３は、この棚４４４の配列ピッチごとに昇降される。この棚４４４の段数は、加工ライン７３内におけるクランプ装置１１の滞在個数と等しい。加工ライン７３の搬送コンベア８０上のクランプ装置１１は、搬送コンベア８０側と棚４４４との間において搬送される。

（ワークストックステーション７５の作用）
ワークストックステーション７５は以下のように作用する。
通常、クランプ装置１１をストックしていない空のストッカ４４３は図１９に実線で示す下方位置に配置されている。この状態において、加工ライン７３の後工程に何らかの問題が生じて、加工ライン７３からのワーク１００の搬出が不都合になった場合は、搬送コンベア８０は稼働を継続するが、加工ライン７３に対するワーク搬入ステーション７４からのクランプ装置１１の搬入が停止される。これと同時に、加工ライン７３の末端位置において、リフタ４４６の作動により、搬送コンベア８０上のクランプ装置１１がストッカ４４３の上端位置まで上昇される。次いで、上昇されたクランプ装置１１が上端の棚４４４内に引き込まれ、その棚４４４上に載置される。そして、リフタ４４６及び搬送ロボットが原位置に復帰する。

次いで、昇降ロボット４４２によりストッカ４４３が棚４４４の一段分上昇されて、すでにクランプ装置１１が搬入された棚４４４の下段の棚４４４が搬送コンベア８０からのワーク搬入位置に配置される。以後、同様にして、搬送コンベア８０上のクランプ装置１１が棚４４４に搬入されて載置される。

このようにして、加工ライン７３の後工程に問題が生じた場合、加工ライン７３内のクランプ装置１１がストッカ４４３内にストックされて、一時的に待機される。
そして、加工ライン７３の後工程の問題が解消された場合には、加工ライン７３に対するワーク搬入ステーション７４からのクランプ装置１１の搬入が再開される。また、ストッカ４４３が一旦図１９に実線で示す下降位置に配置されて、その下降位置から所定ピッチごとに間欠的に上昇しながら、ストッカ４４３内のクランプ装置１１が棚４４４への搬入時と同じ順序で、つまり上側の棚４４４から順に搬送コンベア８０に戻される。従って、搬送コンベア８０上のクランプ装置１１はワーク搬出ステーション７７に送られる。

従って、ワークストックステーション７５においては、以下の効果がある。
（２２）ワーク１００を保持したクランプ装置１１をストッカ４４３に一時的にストックできるため、加工ライン７３の後工程に問題が生じた場合、その後工程にワーク１００を送ることなく、ワーク１００を一時的に待機できる。このため、加工ライン７３内にワーク１００が所定時間以上停止されることはなく、ワーク１００に対する過度のエッチングなどを回避できて、ワーク１００の加工不良が発生することを防止できる。

（２３）待機状態のクランプ装置１１がストッカ４４３から搬送コンベア８０に戻される際には、棚４４４に先行して搬入されたクランプ装置１１から順に棚４４４から搬送コンベア８０に戻される。このため、先行して棚４４４に搬入されたクランプ装置１１が過度に長時間棚４４４上に置かれることを防止できる。従って、待機されたクランプ装置１１上のワーク１００の状態変化に差ができることを抑制できる。

（検査ステーション７６）
次に、前記検査ステーション７６について説明する。
図１，図２０及び図２１に示すように、検査ステーション７６において、前記搬送コンベア８０の後方位置には、検査手段としての検査装置５１が配置されている。この検査装置５１は、基枠４５１が固定位置に配置された下部検査ユニット４５２と、下部検査ユニット４５２の上方においてシリンダなどの昇降装置（図示しない）により昇降可能にした基枠４５４を備えた上部検査ユニット４５５とが設けられている。

下部検査ユニット４５２の基枠４５１の上面及び上部検査ユニット４５５の基枠４５４の下面には、クランプ装置１１のクランパ１５と対応するようにそれぞれ複数の検出部材４６０が設けられている。下部検査ユニット４５２の検出部材４６０は同様にクランパ１５と対応するように基枠４５１の上面に固定されている。

図２２に示すように、前記各検出部材４６０は、ケース体５０を備え、ケース体５０の内部には、各１枚の基板５２と、それらの両基板５２に搭載されたホール素子ユニット５３とが備えられている。そして、下部検査ユニット４５２の検出部材４６０のホール素子ユニット５３は基板５２の上面に設けられ、上部検査ユニット４５５の検出部材４６０のホール素子ユニット５３は基板５２の下面に設けられている。

図２３に示すように、前記メイン制御装置８４内は検査制御装置５４を備えている。検査制御装置５４は検査装置５１の制御のために設けられている。その検査制御装置５４は、中央処理装置５５と記憶装置５６とを有している。中央処理装置５５は、検査装置５１全体の動作を制御する。記憶装置５６には、検査装置５１を動作させるプログラムや一時的なデータが記憶される。

そして、クランプ装置１１が所定回数使用されると、クランプ装置１１は、搬送ワーク１００を保持していない空の状態で前記搬送コンベア８０上から外されて、検査工程を構成する図２０〜図２３に示す検査装置５１に送られ、その検査装置５１によって永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気力の強弱が検査される。

（検査装置５１の作用）
すなわち、検査装置５１は、以下のように作用する。図２４は、前記記憶装置５６に記憶されたプログラムの動作を示すフローチャートである。このフローチャートに示す動作は中央処理装置５５の制御のもとで進行するものであって、ひとつの永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２ごとに磁気力検査のための動作が実行される。

図２１に２点鎖線で示すように、上部検査ユニット４５５が上方の退避位置から下降されて、検査対象のクランプ装置１１は、そのクランパ１５の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の部分が上下の検出部材４６０の上下一対の基板５２のホール素子ユニット５３間に配置される。

この状態で、図２４のステップＳ（以下、単にＳという）１において、ホール素子ユニット５３によってクランパ１５のそれぞれひとつの永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気力が検出される。そして、Ｓ２において、検出された磁気力の強弱に従って下側及び上側のひとつの永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２における残留磁気力の強弱レベルが算出される。ちなみに、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の磁気力は、その永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２に加えられる振動などの機械的負荷や温度上昇などによって減衰する。そして、Ｓ３において、下側及び上側のそれぞれひとつの永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の残留磁気力の個別の強弱レベルがあらかじめ定められた磁気力のしきい値未満であるか、否かが判別される。

このＳ３におけるしきい値判別において、残留磁気力がしきい値レベルを勝っていると判別された場合は、Ｓ４において、残留磁気力がしきい値以上の強弱レベルを維持した状態において、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の使用可能な回数が演算される。言い換えれば、残留磁気力がしきい値を下回るまでのクランパ１５の加工使用回数が演算される。ここで、使用可能な状態とは、ワーク１００を適切にクランプするための磁気力が発揮される状態をいう。そして、次のＳ５において、前記の使用可能回数が所定回数以上、例えば、次回の検査工程に至るまでの加工回数以上であるか否かが判断される。使用可能回数が次回の磁気力検出を実行する検査工程までの所定回数以上である場合は、Ｓ６において、その使用可能回数と、このルーチンにおける検査対象の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の保持枠１２上の位置とが記憶装置５６に記憶される。そして、Ｓ７において、次回の磁気力を検出する検査工程までの加工回数、言い換えれば次回の検査工程の検出タイミングが記憶される。

前記Ｓ３における判別において、残留磁気力がしきい値未満であると認定された場合は、Ｓ８において、図示しないディスプレイにおいて、検査された永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の残留磁気力の状態がしきい値未満である旨の表示が実行される。次いで、Ｓ９において使用可能回数がゼロであると判別され、つまり、残留磁気力のレベルが使用に適さないために、Ｓ１０において前記ディスプレイ及び図示しない音響発生装置によってそれぞれ画面表示及び音響表示による警報が表示される。そして、Ｓ１１のルーチンのストップ処理を経て、検査工程の処理が終了する。

前記Ｓ５における判別において、使用可能回数が所定回数未満とされた場合は、Ｓ８においてその旨が表示され、Ｓ９の判断を経て、前記Ｓ７において、使用可能回数分の加工が終了するタイミングを次回の磁気力を検出する検出タイミングであると記憶して、処理が終了する。

このようにして、クランパ１５の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の検査工程が終了される。
そして、クランプ装置１１の少なくともひとつの永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２が使用不可能状態であると判断された場合、そのクランプ装置１１は、検査工程の終了後、補修工程に移行される。補修工程では、状況に応じて、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の再着磁が行われたり、使用不可能な永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２を有する第２クランプ片１７や、長辺部材１３あるいは短辺部材１４の交換などが行なわれたりする。

本実施形態においては、以下の効果がある。
（２４）検査工程において永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の残留磁気力を検出することにより、クランパ１５が適正に使用可能であるか否かを判別できる。このため、磁気力が弱くなったクランパ１５の使用を避けることができて、ワーク１００の加工においてワーククランプミスなどの不都合な事態が生じることを未然に防止できる。

（ワーク搬出ステーション７７）
次に、ワーク搬出ステーション７７の構成及び作用について説明する。
（搬出側クランプ位置決め装置８１）
前記ワーク搬出ステーション７７の搬出側クランプ位置決め装置８１は、ノックピン４２の高さの構成を除いて、前記ワーク搬入ステーション７４のクランプ位置決め装置７９と同じ構成である。

すなわち、図５（ｂ）に示すように、搬出側クランプ位置決め装置８１の各ノックピン４２は同一高さに形成されている。
（下流側チャック装置８７）
また、チャック装置８７は、図２７に示すように、基本的にワーク搬入ステーション７４のチャック装置８３と類似の構成であるが、このワーク搬出ステーション７７のチャック装置８７の第１〜第４チャック４３３〜４３６は、チャックフレーム４３２の固定位置に配置され、シリンダによってワーク１００を緊張させる機能は有していない。

（搬出側ワーク位置決め装置８２）
図２５及び図２６に示すように、ワーク搬出ステーション７７の搬出側ワーク位置決め装置８２は、ベース板５１２と四角形のテーブル５１３とを備え、テーブル５１３の上面には平面「田」字状の突条５１４が設けられている。突条５１４間には複数の凹部５１５が形成されている。突条５１４の上面には図示しないエア供給・吸引源と接続された通気孔５１６が形成され、この通気孔５１６を介して、突条５１４の上面において吸引のためのエア流と噴出のためのエア流とが生じる。突条５１４は、加工後のワーク１００のエッチング部を避けて、エッチング部が存在しない部分と対応する配置パターンとなっている。

ベース板５１２にはテーブル５１３の四辺と対応して単軸ロボットよりなるアクチュエータ５１７が搭載され、その作動子の先端には位置決め部材５１８が支持されている。そして、アクチュエータ５１７の作動により、位置決め部材５１８が浮上位置にあるワーク１００を位置決めする位置と、ワーク１００から離間する位置との間を移動される。この場合、位置決め部材５１８の位置決め位置は、前記メイン制御装置８４の記憶装置８５に記憶されたワーク１００の大きさ及び姿勢などに基づいてアクチュエータ５１７が動作されることによって決定される。

（ワーク搬入ステーション７４の作用）
次に、ワーク搬入ステーション７４の作用を説明する。
加工ライン７３からの加工後のワーク１００を保持したクランプ装置１１は、搬送コンベア８０上から搬出側クランプ位置決め装置８１の位置決め枠４２３上に移送されて、その位置決め枠４２３上に載置される。そして、位置決め枠４２３上のシリンダ４２６の動作により、押さえローラ４２７が移動されて、クランプ装置１１の保持枠１２が押さえローラ４２７によって押圧され、基準ローラ４２５によって基準線β１，γ１を基準として位置決めされる。そして、第２クランプ片１７がノックピン４２によって開放され、その開放状態が維持される。

次いで、クランプ装置１１上のワーク１００がチャック装置８７によってチャックされ、位置決め部材５１８が退避位置にある搬出側ワーク位置決め装置８２上に搬送され、チャック装置８７によるチャックが解放される。そして、ワーク１００は通気孔５１６からの噴出エアによって浮上される。この浮上状態において、位置決め部材５１８が位置決め位置に移動されて、その位置決め部材５１８によってワーク１００が位置決めされる。

次いで、突条５１４の通気孔５１６からのエアが吸引に切り換えられ、位置決めされたワーク１００は、その吸引エアによって突条５１４の上面に吸着されて一時的に保持される。そして、位置決め部材５１８が退避し、ワーク１００は後続の工程の搬送装置（図示しない）によってピックアップされて、後工程に送られる。

ワーク１００が離脱されたクランプ装置１１は、クランプ位置決め装置８１から戻りライン７０の上流位置に搬送される。
以上のように構成されたワーク搬入ステーション７４においては、以下の効果を得ることができる。

（２５）ワーク１００が搬出側ワーク位置決め装置８２によって位置決めされた状態で後工程に搬出される。従って、後工程におけるワーク１００のチャックミスなどの不都合な事態を回避できる。

（変更例）
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様で具体化することも可能である。

・永久磁石を一方のクランプ片に設け、他方のクランプ片は鉄などの磁性体によって構成すること。クランプ片を鉄などの磁性体とした場合は、そのクランプ片が酸によって腐食することを回避するために、クランプ片の外側面に耐食性の被覆を設けることが好ましい。

・少なくとも一方のクランプ片１６，１７の永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２を分割することなく一体化すること。
・少なくとも一方のクランプ片１６，１７のヨーク３２，３９を省略すること。

・永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２を覆う蓋板３５，４０を省略し、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２を外部に露出させること。この場合、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２の外周を耐腐食性のコーティングで覆う必要がある。また、永久磁石２８１，２８２、３６１，３６２やヨーク３２，３９は接着剤でクランプ片１６，１７に固定することが好ましい。

・第１クランプ片１６を長辺部材１３及び短辺部材１４と別体に構成し、その第１クランプ片１６を長辺部材１３及び短辺部材１４にネジなどによって固定すること。このように構成すれば、クランパ１５の交換が容易になる。

・前記実施形態では、保持枠１２やクランパ１５をチタンやチタン合金によって構成したが、それ以外に耐腐食性を有する材料として、ステンレススチールや、スチールベースにクロームメッキを施したものを使用すること。つまり、保持枠１２やクランパ１５の少なくとも表面が耐腐食性を有すればよい。クロームメッキを施した構成においては、第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７として鉄のように腐食しやすい材質のものを用いてもよい。また、クランプ片１６，１７としてスチールベースのものを用いた場合は、クランプ片１６，１７にヨーク機能を付与することも可能になる。

・図２８に示すように第２クランプ片１７を第１クランプ片１６とほぼ同様に幅狭に形成して、その第２クランプ片１７の一部にノックピン４２が当接される幅広部３７を形成すること。このようにすれば、第２クランプ片１７、ひいてはクランパ１５の軽量化が可能になるとともに、第２クランプ片１７が幅広部３７の部分を除いて幅狭に形成されるため、洗浄液やエアの流れが円滑になる。

・前記実施形態では、第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の上下の外周縁部に円弧状の面取りを形成してエッジ無し構造１８を設けるようにしたが、そのエッジ無し構造１８として、図２９に示すように、上下の外周縁部に傾斜平面状の面取りを形成すること。

・エッジ無し構造１８としての円弧状や平面状の面取りを第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の少なくとも一方の間隙３０側のみの外周縁部に設けること。
図３０に示すように、第１クランプ片１６及び第２クランプ片１７の外周端面を間隙３０側に向かって後退する斜面とすること。

・クランプ歯２７，３４の先端部を鋸刃状，半球状あるいは先鋭状にすること。
・クランプ歯２７，３４の先端部にワーク１００を保護するための柔軟性を有する緩衝材を設けること。

・第１クランプ片１６を幅広に形成した場合、その第１クランプ片１６にノックピン４２が通る孔または切り込み部を設けること。
・第１クランプ片１６と第２クランプ片１７との上下関係を逆にして、下向きのノックピン４２が上方から降りてきて下側に位置する第２クランプ片１７を下側に開放させるように構成すること。

・ワーク搬入ステーション７４の前工程及びワーク搬出ステーション７７の後工程においてワーク１００の位置決めが行われる場合は、ワーク搬入ステーション７４及びワーク搬出ステーション７７におけるワーク１００の位置決めを不要にできる。

・前記実施形態においては、ワーク１００をその隣接する２辺において位置決めしたが、ワーク１００をその中心を基準にして位置決めすること。
（他の技術的思想）
前記実施形態から把握される技術的思想は以下の通りである。

（Ａ）第１クランプ片に対して第２クランプ片を軸により開閉可能に連結し、磁石の磁気力により前記第１クランプ片の先端のクランプ部と第２クランプ片の先端のクランプ部との間においてワークをクランプできるようにしたクランパにおいて、
前記第１クランプ片及び第２クランプ片のうちの一方のクランプ片を他方のクランプ片より幅狭形状にしたクランパ。

（Ｂ）前記磁石を前記軸と前記クランプ部との間に配置した前記技術的思想（Ａ）項に記載のクランパ。
（Ｃ）前記第１クランプ片及び第２クランプ片を耐腐食性材料によって構成するとともに、その両クランプ片内に前記磁石を封入した前記技術的思想（Ａ）項または（Ｂ）項に記載のクランパ。

（Ｄ）前記磁石には、前記第１クランプ片と前記第２クランプ片との間の吸引磁気力を高めるためのヨークを付設した前記技術的思想（Ｃ）項に記載のクランパ。
（Ｅ）前記磁石の磁極の向きを同方向に揃えた前記技術的思想（Ａ）〜（Ｄ）のうちのいずれか一項に記載のクランパ。

（Ｆ）前記加工部の搬出側には、搬出されるワークを位置決めするための搬出側ワーク位置決め手段を設けた請求項６〜１２のうちのいずれか一項に記載のシートワーク加工装置。

（Ｇ）前記搬入側ワーク位置決め手段は、位置決めに際してワークをエアによって浮上させるためのエア浮上手段を設けた請求項１３に記載のシートワーク加工装置。
（Ｈ）請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載のクランパの磁石の磁気力をホール素子が用いられた磁気力検査装置によって検査する検査方法。

この方法によれば、ホール素子によりクランパの磁石の磁気力の強弱レベルを検出できて、その強弱レベルを正確に判別できる。
（Ｉ）検出された磁気力をあらかじめ定められた磁気力のしきい値と比較して、クランパの使用適格性を判断する前記技術的思想（Ｈ）項に記載の検査方法。

この方法によれば、しきい値との比較により、クランパとしての使用適格性を適切に認識できる。
（Ｊ）前記技術的思想（Ａ）〜（Ｅ）のうちのいずれか一項に記載のクランパにおいて、非着磁状態のフェライトをクランパに組み込み、そのフェライトの近傍位置の溶接をともなう工程後にフェライトを着磁するクランパの製造方法。

この製造方法によれば、溶接の際の熱によって永久磁石の磁気力が弱くなることを回避できる。

１１…クランプ装置、１２…保持枠、１５…クランパ、１６…第１クランプ片、１７…第２クランプ片、１８…エッジ無し構造、２７…クランプ歯、３０…間隙、３１…軸、３２…ヨーク、３４…クランプ歯、３９…ヨーク、５１…検査装置、５３…ホール素子ユニット、２８１…永久磁石、２８２…永久磁石、３６１…永久磁石、３６２…永久磁石、ε…基準点、ε１…基準点。

Claims (12)

1. シート状のワークの外周縁を同ワークの張設状態でクランプするための複数のクランパを保持枠上において相互間隔をおくとともに、前記保持枠の内方を指向させて配置し、
   前記クランパは、
   第１クランプ片に対して第２クランプ片を軸により開閉可能に連結し、磁石の磁気力により前記第１クランプ片の先端のクランプ部と第２クランプ片の先端のクランプ部との間においてワークをクランプできるように構成し、前記第１クランプ片及び第２クランプ片のうちの一方のクランプ片を他方のクランプ片より幅狭形状にしたクランプ装置。
2. 前記保持枠は環状をなす請求項１に記載のクランプ装置。
3. 前記保持枠，前記第１クランプ片及び第２クランプ片を耐腐食性材料によって構成するとともに、その両クランプ片内に前記磁石を封入した請求項１または２に記載のクランプ装置。
4. 前記磁石には、前記第１クランプ片と前記第２クランプ片との間の吸引磁気力を高めるためのヨークを付設した請求項３に記載のクランプ装置。
5. 前記第１クランプ片と第２クランプ片との間に間隙を形成し、その第１クランプ片及び第２クランプ片の少なくとも一方の前記間隙側の縁部には、エッジ無し構造が施されている請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載のクランプ装置。
6. 請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載のクランプ装置の前記クランパによってワークをクランプして、前記保持枠内に保持し、その状態でワークに対して加工を施すための加工部を有するシートワーク加工装置において、
   前記加工部に対するクランプ装置の搬入側に設けられ、前記クランプ装置を、基準点を基準として前記ワークの張設面と平行な面内において位置決めするためのクランプ装置位置決め手段を設けたシートワーク加工装置。
7. 前記クランプ装置に対してワークを搬入するための搬入手段を設け、その搬入手段には、前記ワークを前記基準位置を基準として位置決めするための搬入側ワーク位置決め手段を設けた請求項６に記載のシートワーク加工装置。
8. 前記搬入手段には、ワークの周縁部をクランプしてそのワークを張設させるためのワーク張設手段を設けた請求項７に記載のシートワーク加工装置。
9. 前記搬入側ワーク位置決め手段は、位置決めに際してワークをエアによって浮上させるためのエア浮上手段を設けた請求項７または８に記載のシートワーク加工装置。
10. 前記加工部の搬入側には、前記第２クランプ片にそれぞれ係合可能にした複数の開放手段を前進後退可能に設け、前記開放手段が前進することにより、前記磁石の磁気力に抗して第２クランプ片を開放させるとともに、開放手段が後退することにより、前記磁石の磁気力によって前記第２クランプ片が閉鎖されるように構成し、前記開放手段は、前記基準点を離れるところに位置するものほど前記第２クランプ片の閉鎖が遅れるように構成されている請求項８または９に記載のシートワーク加工装置。
11. 前記加工部の搬出側には、前記クランプ装置を出し入れ可能に一時的にストックするためのストック手段を設けた請求項６〜１０のうちのいずれか一項に記載のシートワーク加工装置。
12. 前記加工部の搬出側には、前記磁石の磁気力を検出するための検査手段を設けた請求項６〜１１のうちのいずれか一項に記載のシートワーク加工装置。