JP2019049587A - 光学素子の姿勢調整装置 - Google Patents

Abstract

【課題】強い振動や衝撃に対して調整後の光学素子の姿勢を強固に保持でき、狭いスペースに密集して設ける場合に有利で、小型化、軽量化を図る上で有利な光学素子の姿勢調整装置を提供すること。【解決手段】第１回転調整操作用つまみ部４００６、第２回転調整操作用つまみ部５００８、第３回転調整操作用つまみ部５８０８を回すことで、コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整がなされ、姿勢調整後、それらつまみ部４００６、５００８、５８０８は取り外される。コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整の際、第１ブラケット１４と基板部１２同士、第２ブラケット１６と第１ブラケット１４同士、第３ブラケット１８と第２ブラケット１６同士は、常に圧接された状態が維持され、コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、基板部１２に対して第１〜第３ブラケット１４、１６、１８が固定される。【選択図】図１

Description

本発明は光学素子の姿勢調整装置に関する。

レーザ光源から発せられたレーザ光をレンズや光ファイバなどの光学素子に伝送する光学装置においては、レーザ光を所望の方向に向けるために、例えば、レーザ光の光路を光学素子の光軸に一致させるために、レーザ光の向きを変更する複数の光学素子の姿勢調整装置が基台上に設けられる。
この種の光学素子の姿勢調整装置は、ミラーを直交する２方向に回転調整可能に設けられ、その回転調整用のつまみが２つ設けられている。
従来、この種のつまみは、平面視した場合に直交する２方向にそれらの軸心を延在させて設けられている。
しかしながら、例えば、高出力赤外パルスレーザを扱う光学装置などでは、基台上において光学素子の姿勢調整装置を密集して配置せざるを得ない場合がある。

特開平０７−２１０８７７号公報

このような場合、従来の光学素子の姿勢調整装置では、つまみが邪魔となって光学素子の姿勢調整装置を密集して配置できない不具合があった。
また、光学素子の姿勢調整装置が密集して配置される場合、姿勢調整装置の数も多くなり、各光学素子の姿勢調整を正確に確実に行なう必要性が生じ、しかも、光学装置が衛星に搭載されるような場合、強い振動や衝撃に対して調整後の光学素子の姿勢が強固に保持されている必要がある。
さらに、光学素子の姿勢調整装置が密集して配置された光学装置が衛星に搭載されるような場合、光学装置の小型化、軽量化も求められる。
本発明は前記事情に鑑み案出されたものであって、本発明の目的は、光学素子の姿勢調整を正確に確実に行なえ、強い振動や衝撃に対して調整後の光学素子の姿勢が強固に保持でき、狭いスペースに密集して設ける場合に有利でしかも小型化、軽量化を図る上で有利な光学素子の姿勢調整装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、光学素子を保持する第１ブラケットと、前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構とを備え、前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、前記第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられていることを特徴とすることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、第１ブラケットと、前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、光学素子を保持する第２ブラケットと、前記第１中心軸線と直交する第２中心軸線を中心として前記第１ブラケットに対して前記第２ブラケットが回転調整できる状態で前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第２保持固定機構と、前記第２ブラケットを前記第２中心軸線を中心として回転調整する第２回転調整機構と備え、前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、前記第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第２回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第２回転調整用軸を含んで構成され、前記第２回転調整用軸は、前記第２ブラケットに係合し前記第２回転調整用軸が回転されることで前記第２ブラケットの回転調整を行なう第２回転調整部と、前記第２回転調整用軸の回転操作用の第２回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、前記第２回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第２ブラケットに挿脱可能に設けられていることを特徴とすることを特徴とする。
請求項３記載の発明は、基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、第１ブラケットと、前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、第２ブラケットと、前記第１中心軸線と直交する第２中心軸線を中心として前記第１ブラケットに対して前記第２ブラケットが回転調整できる状態で前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第２保持固定機構と、前記第２ブラケットを前記第２中心軸線を中心として回転調整する第２回転調整機構と、その中心軸を前記第１中心軸線と前記第２中心軸線との交点上に位置させて光学素子を保持する第３ブラケットと、前記光学素子の前記中心軸を中心として前記第２ブラケットに対して前記第３ブラケットが回転調整できる状態で前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに固定可能な第３保持固定機構と、前記第３ブラケットを前記中心軸を中心として回転調整する第３回転調整機構とを備え、前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第２回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第２回転調整用軸を含んで構成され、前記第２回転調整用軸は、前記第２ブラケットに係合し前記第２回転調整用軸が回転されることで前記第２ブラケットの回転調整を行なう第２回転調整部と、前記第２回転調整用軸の回転操作用の第２回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第３回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第３回転調整用軸を含んで構成され、前記第３回転調整用軸は、前記第３ブラケットに係合し前記第３回転調整用軸が回転されることで前記第３ブラケットの回転調整を行なう第３回転調整部と、前記第３回転調整用軸の回転操作用の第３回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、前記第２回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第２ブラケットに挿脱可能に設けられ、前記第３回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第３ブラケットに挿脱可能に設けられていることを特徴とする。
請求項４記載の発明は、基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、第１ブラケットと、前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、その中心軸を前記第１中心軸線と直交させて光学素子を保持する第３ブラケットと、前記光学素子の前記中心軸を中心として前記第１ブラケットに対して前記第３ブラケットが回転調整できる状態で前記第３ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第３ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第３保持固定機構と、前記第３ブラケットを前記中心軸を中心として回転調整する第３回転調整機構とを備え、前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第３回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第３回転調整用軸を含んで構成され、前記第３回転調整用軸は、前記第３ブラケットに係合し前記第３回転調整用軸が回転されることで前記第３ブラケットの回転調整を行なう第３回転調整部と、前記第３回転調整用軸の回転操作用の第３回転調整操作用つまみ部とを有し、前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、前記第３回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第３ブラケットに挿脱可能に設けられていることを特徴とする。
請求項５記載の発明は、前記第１保持固定機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に軸心を有し前記第１ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記基板部のねじ孔に螺合されたボルトと、前記ボルトの頭部と前記第１ブラケットとの間に介設され前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させる皿ばねとを含んで構成されていることを特徴する。
請求項６記載の発明は、前記第２保持固定機構は、前記第２中心軸線と平行する方向に軸心を有し前記第２ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記第１ブラケットのねじ孔に螺合されたボルトと、前記ボルトの頭部と前記第２ブラケットとの間に介設され前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させる皿ばねとを含んで構成されていることを特徴する。
請求項７記載の発明は、前記第３保持固定機構は、前記光学素子の前記中心軸と平行する方向に軸心を有し前記第３ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記第２ブラケットのねじ孔に螺合されたボルトと、前記第３六角孔付きボルトの頭部と前記第３ブラケットとの間に介設され前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに圧接させる皿ばねとを含んで構成されていることを特徴する。記載の光学素子の姿勢調整装置。
請求項８記載の発明は、前記ボルトは六角孔付きボルトであることを特徴する。
請求項９記載の発明は、平面視した場合、前記第１ブラケット、前記第２ブラケット、第３ブラケット、前記第１保持固定機構、前記第２保持固定機構、前記第３保持固定機構、前記第１回転調整機構、前記第２回転調整機構、前記第３回転調整機構は、前記基板部の輪郭の内側に位置していることを特徴とする。
請求項１０記載の発明は、前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在し前記基板部により回転可能に支持された第１回転調整用軸を有し、前記第１回転調整機構は、前記第１回転調整用軸に設けられた偏心カムと、前記第１ブラケットに設けられ前記偏心カムのカム面が係合する長溝とを含んで構成され、前記第１回転調整操作用つまみ部は、前記偏心カムと反対に位置する前記第１回転調整用軸の端部に設けられていることを特徴とする。
請求項１１記載の発明は、前記第２回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在し前記第１ブラケットにより回転可能に支持された第２回転調整用軸を有し、前記第２回転調整機構は、前記第２回転調整用軸に設けられた偏心カムと、前記第２ブラケットに設けられ前記偏心カムのカム面が係合する長溝とを含んで構成され、前記第２回転調整操作用つまみ部は、前記偏心カムと反対に位置する前記第２回転調整用軸の端部に設けられていることを特徴とする。
請求項１２記載の発明は、前記第２回転調整機構の偏心カムを構成するカム面は球面で形成されていることを特徴とする。
請求項１３記載の発明は、前記第３回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在し前記第２ブラケットにより回転可能に支持された第３回転調整用軸を有し、前記第３回転調整機構は、前記第３回転調整用軸に設けられた偏心カムと、前記第３ブラケットに設けられ前記偏心カムのカム面が係合する長溝とを含んで構成され、前記回転調整操作用つまみ部は、前記偏心カムと反対に位置する前記第３回転調整用軸の端部に設けられていることを特徴とする。

請求項１記載の発明によれば、第１回転調整操作用つまみ部は、基板部に対して直交する方向に延在しており、狭いスペース内で第１回転調整操作用つまみ部を容易に把持して回転操作することで光学素子の回転調整を容易にかつ確実に行なえる。
また、第１回転調整操作用つまみ部を回転操作して光学素子の回転調整を行なう際、第１保持固定機構により第１ブラケットが基板部に常に圧接された状態が維持されるので、光学素子の姿勢調整を安定した状態で確実に行なう上で有利となる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１保持固定機構により第１ブラケットを基板部に固定できるので、衛星に搭載され強い振動や衝撃が作用した場合であっても、調整された光学素子の姿勢を確実に保持できる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１回転調整用軸を取り外すことができるので、姿勢調整装置の小型化、軽量化を図る上で有利となる。
請求項２記載の発明によれば、第１、第２回転調整操作用つまみ部は、基板部に対して直交する方向に延在しており、狭いスペース内で第１、第２回転調整操作用つまみ部を容易に把持して回転操作することで光学素子の回転調整を容易にかつ確実に行なえる。
また、第１、第２回転調整操作用つまみ部を回転操作して光学素子の回転調整を行なう際、第１保持固定機構により第１ブラケットが基板部に常に圧接された状態が維持され、第２保持固定機構により第２ブラケットが第１ブラケットに常に圧接された状態が維持されるので、光学素子の姿勢調整を安定した状態で確実に行なう上で有利となる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１保持固定機構により第１ブラケットを基板部に固定でき、第２保持固定機構により第２ブラケットを第１ブラケットに固定できるので、衛星に搭載され強い振動や衝撃が作用した場合であっても、調整された光学素子の姿勢を確実に保持できる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１、第２回転調整用軸を取り外すことができるので、姿勢調整装置の小型化、軽量化を図る上で有利となる。
請求項３記載の発明によれば、第１〜第３回転調整操作用つまみ部は、基板部に対して直交する方向に延在しており、狭いスペース内で第１〜第３回転調整操作用つまみ部を容易に把持して回転操作することで光学素子の回転調整を容易にかつ確実に行なえる。
また、第１〜第３回転調整操作用つまみ部を回転操作して光学素子の回転調整を行なう際、第１保持固定機構により第１ブラケットが基板部に常に圧接された状態が維持され、第２保持固定機構により第２ブラケットが第１ブラケットに常に圧接された状態が維持され、第３保持固定機構により第３ブラケットが第２ブラケットに常に圧接された状態が維持されるので、光学素子の姿勢調整を安定した状態で確実に行なう上で有利となる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１保持固定機構により第１ブラケットを基板部に固定でき、第２保持固定機構により第２ブラケットを第１ブラケットに固定でき、第３保持固定機構により第３ブラケットを第２ブラケットに固定できるので、衛星に搭載され強い振動や衝撃が作用した場合であっても、調整された光学素子の姿勢を確実に保持できる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１〜第３回転調整用軸を取り外すことができるので、姿勢調整装置の小型化、軽量化を図る上で有利となる。
請求項４記載の発明によれば、第１、第３回転調整操作用つまみ部は、基板部に対して直交する方向に延在しており、狭いスペース内で第１、第３回転調整操作用つまみ部を容易に把持して回転操作することで光学素子の回転調整を容易にかつ確実に行なえる。
また、第１、第３回転調整操作用つまみ部を回転操作して光学素子の回転調整を行なう際、第１保持固定機構により第１ブラケットが基板部に常に圧接された状態が維持され、第３保持固定機構により第３ブラケットが第１ブラケットに常に圧接された状態が維持されるので、光学素子の姿勢調整を安定した状態で確実に行なう上で有利となる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１保持固定機構により第１ブラケットを基板部に固定でき、第３保持固定機構により第３ブラケットを第１ブラケットに固定できるので、衛星に搭載され強い振動や衝撃が作用した場合であっても、調整された光学素子の姿勢を確実に保持できる。
また、光学素子の姿勢調整後、第１、第３回転調整用軸を取り外すことができるので、姿勢調整装置の小型化、軽量化を図る上で有利となる。
請求項５〜７記載の発明によれば、第１〜第３保持固定機構を簡単な構造で構成でき、光学素子の位置を狂わせることなく光学素子の回転調整を正確にかつ円滑に行なう上で有利となる。
請求項８記載の発明によれば、狭いスペース内であっても光学素子の姿勢調整後、Ｌ形の六角棒レンチを用いて締め付けることができ、複数の光学素子の姿勢調整装置を狭いペースに密集して設ける場合に有利となる。
請求項９記載の発明によれば、光学素子の姿勢調整装置のコンパクト化を図る上で有利となるため、複数の光学素子の姿勢調整装置を狭いスペースに密集して設ける場合に極めて有利となる。
請求項１０、１１、１３記載の発明によれば、第１〜第３回転調整機構を簡単な構造で構成でき、また、雄ねじの出没量により光学素子の姿勢調整を行なう場合に比べ、光学素子の位置を狂わせることなく光学素子の回転調整を正確にかつ円滑に行なう上で有利となる。
請求項１２記載の発明によれば、第２中心軸線と直交する方向から第２ブラケットを円滑に回転調整でき、第１回転調整操作用つまみ部と第２回転調整操作用つまみ部とを同じ方向に延在させることが可能となる。

第１の実施の形態に係る光学素子の姿勢調整装置の一部を破断した正面図である。 図１の平面図である。 図１の光学素子の姿勢調整装置から第１〜第３回転調整用軸を取り外した状態の正面図である。 図２のＡ−Ａ線断面図である。 図２のＢ−Ｂ線断面図である。 図２のＣ−Ｃ線断面図である。 （Ａ）は基板部の平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図である。 （Ａ）は第１ブラケットの正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ矢視図である。 （Ａ）は第２ブラケットの正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ矢視図である。 （Ａ）は取り付けブラケットの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視図である。 （Ａ）は第３ブラケットの正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 （Ａ）コーナーキューブプリズムの正面図、（Ｂ）は側面図である。 第１回転調整用軸部の正面図である。 第２回転調整用軸部の正面図である。 第３回転調整用軸部の正面図である。 第２の実施の形態に係る光学素子の姿勢調整装置の一部を破断した正面図である。 図１６の平面図である。 図１６の光学素子の姿勢調整装置から第１〜第３回転調整用軸を取り外した状態の正面図である。 第３の実施の形態に係る光学素子の姿勢調整装置の一部を破断した正面図である。 図１９の平面図である。 図１９の光学素子の姿勢調整装置から第１〜第３回転調整用軸を取り外した状態の正面図である。 第４の実施の形態に係る光学素子の姿勢調整装置の一部を破断した正面図である。 図２０の平面図である。 図２２の光学素子の姿勢調整装置から第１〜第３回転調整用軸を取り外した状態の正面図である。

（第１の実施の形態）
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。
図１、図２に示すように、光学素子の姿勢調整装置１０Ａは、基板部１２と、第１ブラケット１４と、第２ブラケット１６と、第３ブラケット１８と、第１保持固定機構２０と、第２保持固定機構２２と、第３保持固定機構２４と、第１回転調整機構２６と、第２回転調整機構２８と、第３回転調整機構３０とを含んで構成されている。
図１、図２、図７（Ａ）、（Ｂ）に示すように、基板部１２は、均一厚さの矩形板状を呈し、四隅のボルト挿通孔１２０２に挿通されたボルトＢ１を介して基台３２上に固定されている。
基板部１２には、第１ブラケット１４の回転中心を構成する第１回転中心用孔１２０４が形成され、また、第１回転調整用軸４０が回転可能に結合される軸受孔１２０６が形成されている。
第１回転中心用孔１２０４には、第１支軸３４（図１参照）が嵌合固定され、第１支軸３４の中心軸が第１中心軸線Ｌ１（図１参照）を構成し、第１中心軸線Ｌ１は基板部１２の厚さ方向と平行している。
また、基板部１２には、第１ブラケット１４を固定するためのねじ孔１２０８が３つ設けられている。

第１保持固定機構２０は、第１中心軸線Ｌ１を中心として基板部１２に対して第１ブラケット１４が回転調整できる状態で第１ブラケット１４を基板部１２に圧接させた状態に保持可能でかつ第１ブラケット１４を基板部１２に固定可能に設けられている。
詳細に説明すると、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、第１ブラケット１４は、基板部１２に載置される底壁部１４０２と、底壁部１４０２から起立する起立壁部１４０４とを有している。
底壁部１４０２には、支軸挿通孔１４０６と、３つのねじ挿通孔１４０８と、長溝１４１０が設けられている。
図１に示すように、支軸挿通孔１４０６に第１支軸３４が挿通され、第１ブラケット１４は基板部１２に対して第１支軸３４を中心として回転調整される。

図４に示すように、３つのねじ挿通孔１４０８は、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に軸心を有してねじ孔１２０８に螺合される第１六角孔付きボルトＢ２の軸部よりも大きな寸法で形成され、第１六角孔付きボルトＢ２がそれぞれねじ挿通孔１４０８に挿通されねじ孔１２０８に螺合した状態で、ねじ挿通孔１４０８内で第１六角孔付きボルトＢ２の軸部が移動できる範囲内で、基板部１２に対する第１ブラケット１４の回転調整がなされるように図られている。
さらに、第１六角孔付きボルトＢ２の頭部と底壁部１４０２との間にワッシャ３６を介して皿ばね３８が介設され、第１ブラケット１４の底壁部１４０２の下面（取り付け面）１４２０を基板部１２の上面（取り付け面）１２１０に圧接している。
すなわち、複数の第１六角孔付きボルトＢ２と、複数の皿ばね３８により、第１中心軸線Ｌ１を中心として基板部１２に対して第１ブラケット１４が回転調整できる状態で第１ブラケット１４を基板部１２に圧接させて保持させている。
そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、複数の第１六角孔付きボルトＢ２が締め付けられ、第１ブラケット１４が基板部１２に固定される。
したがって、本実施の形態では、第１保持固定機構２０は、複数（実施の形態では３つ）の第１六角孔付きボルトＢ２と、複数（実施の形態では３つ）の皿ばね３８とを含んで構成されている。
なお、第１六角孔付きボルトＢ２、皿ばね３８の数は一つでもよく、それらの数は、姿勢調整装置１０Ａが設置される環境に応じて適宜決定される。

図１、図２に示すように、第１回転調整機構２６は、基板部１２に対して第１ブラケット１４を第１中心軸線Ｌ１を中心として回転調整するものであり、第１回転調整機構２６は、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在する第１回転調整用軸４０を有している。
図２、図７に示すように、軸受孔１２０６および長溝１４１０を介して第１回転調整用軸４０が配置されている。
第１回転調整用軸４０は、図１３に示すように、軸受孔１２０６に回転可能かつ挿脱可能に挿入される小径部４００２と、小径部４００２の断面中心に対して偏位した箇所に断面中心を有する円盤状の偏心カム４００４と、偏心カム４００４と反対に位置する第１回転調整用軸４０の端部に設けられた円柱状の第１回転調整操作用つまみ部４００６を有し、図１に示すように、偏心カム４００４のカム面は長溝１４１０の互いに対向する両側面に係合している。
したがって、第１回転調整機構２６は、第１回転調整操作用つまみ部４００６と偏心カム４００４と長溝１４１０とを含んで構成され、指により第１回転調整操作用つまみ部４００６を摘まんで回転させると、偏心カム４００４、長溝１４１０を介して第１ブラケット１４が回転調整される。

本実施の形態では、第１ブラケット１４に係合し第１回転調整用軸４０が回転されることで第１ブラケット４０の回転調整を行なう第１回転調整部が、偏心カム４００４で構成されている。
また、第１回転調整用軸４０の軸方向から見て、小径部４００２の輪郭は偏心カム４００４の輪郭の内側に位置しており、第１回転調整用軸４０は第１ブラケット１４に対して挿脱可能に配置されている。
そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、第１回転調整用軸４０は第１ブラケット１４から抜き取られ、取り外される。
なお、図１３において、符号Ｘ１は小径部４００２、第１回転調整操作用つまみ部４００６の中心軸線、符号Ｘ２は偏心カム４００４の中心軸線、符号ｅ１は偏心カム４００４の偏心量を示している。

図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、起立壁部１４０４には、第２回転中心用孔１４３０と、ねじ挿通孔１４３２と、ねじ孔１４３４とが設けられている。
第２回転中心用孔１４３０は、起立壁部１４０４を貫通して設けられ、図１に示すように、第２回転中心用孔１４３０の軸心と第１回転中心用孔１２０４の軸心とは直交している。
図１に示すように、第２回転中心用孔１４３０には、第２支軸４２が嵌合固定され、第２支軸４２の軸心は第２中心軸線Ｌ２を構成し、第２中心軸線Ｌ２は第１中心軸線Ｌ１と直交している。
図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ねじ挿通孔１４３２は、第２回転中心用孔１４３０の上下にそれぞれ設けられている。
図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、ねじ孔１４３４は、起立壁部１４０４の上面に設けられている。

第２保持固定機構２２は、第１中心軸線Ｌ１と直交する第２中心軸線Ｌ２を中心として第１ブラケット１４に対して第２ブラケット１６が回転調整できる状態で第２ブラケット１６を第１ブラケット１４に圧接させて保持させている。
第２ブラケット１６は、第１ブラケット１４に対して第１中心軸線Ｌ１と直交する第２中心軸線Ｌ２を中心として回転調整可能に第１ブラケット１４に取り付けられている。
図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、第２ブラケット１６の厚さ方向の一方の面に、第３ブラケット１８を収容する円形の凹部１６０２が形成されている。
図１に示すように、第３ブラケット１８が凹部１６０２に収容された状態で第３ブラケット１８が保持するコーナーキューブプリズム４４の正面４４０２は第２ブラケット１６の外側に露出している。
凹部１６０２の底面１６０３の周方向に等間隔をおいた２箇所にねじ孔１６０４が形成されている。
さらに、第２ブラケット１６には、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在し凹部１６０２の内周面に開口する軸受孔１６０６が貫通形成されている。
軸受孔１６０６は、凹部１６０２の内周面に連通する小径部１６０６Ａと、第２ブラケット１６の上面に開口する大径部１６０６Ｂとを有している。
図１、図２に示すように、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３は、第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２との交点Ｏを通っている。
第２ブラケット１６の側面１６０８に軸受孔１６１０が形成され、第２支軸４２がこの軸受孔１６１０に挿通され、第２ブラケット１６は第２支軸４２を中心として回転調整可能に第１ブラケット１４に取り付けられている。
また、第２ブラケット１６の上面に長溝１６１２が形成されている。

また、第２ブラケット１６の側面１６０８に第１ブラケット１４の２つのねじ挿通孔１４３２に対応したねじ孔１６１４が形成されている。
図５に示すように、２つのねじ挿通孔１４３２は、第２中心軸線Ｌ２と平行する方向に軸心を有してねじ孔１６１４に螺合される第２六角孔付きボルトＢ３の軸部よりも大きな寸法で形成され、２つの第２六角孔付きボルトＢ３がそれぞれねじ挿通孔１４３２に挿通されねじ孔１６１４に螺合した状態で、ねじ挿通孔１４３２内で第２六角孔付きボルトＢ３の軸部が移動できる範囲内で、第１ブラケット１４に対する第２ブラケット１６の回転調整がなされるように図られている。
さらに、第２六角孔付きボルトＢ３の頭部と起立壁部１４０４との間にワッシャ４６を介して皿ばね４８が介設され、第２ブラケット１６の側面（取り付け面）１６０８が第１ブラケット１４の起立壁部１４０４の側面（取り付け面）１４４０に圧接され、第２中心軸線Ｌ２を中心として第１ブラケット１４に対して第２ブラケット１６が回転調整できる状態で第２ブラケット１６を第１ブラケット１４に圧接させて保持させている。

そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、複数の第２六角孔付きボルトＢ３が締め付けられ、第２ブラケット１６が第１ブラケット１４に固定される。
したがって、本実施の形態では、第２保持固定機構２２は、複数（実施の形態では２つ）の第２六角孔付きボルトＢ３と複数（実施の形態では２つ）の皿ばね４８とを含んで構成されている。
なお、第２六角孔付きボルトＢ３、皿ばね４８の数は一つでもよく、それらの数は、姿勢調整装置１０Ａが設置される環境に応じて適宜決定される。

図１、図２に示すように、第２回転調整機構２８は、第１ブラケット１４に対して第２ブラケット１６を第２中心軸線Ｌ２を中心として回転調整するものであり、第２回転調整機構２８は、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在する第２回転調整用軸５０を有している。
第２回転調整用軸５０は、第１ブラケット１４の起立壁部１４０４の上面に取着された取り付け用ブラケット５２を介して配置されている。
図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、取り付け用ブラケット５２には、２つのねじ挿通孔５２０２と、軸受孔５２０４とが貫通形成されている。
すなわち、図１、図２、図８に示すように、２つのねじ挿通孔５２０２を挿通したねじＢ４が第１ブラケット１４の起立壁部１４０４の上面に形成されたねじ孔１４３４に螺合されることで取り付け用ブラケット５２が取着され、取り付け用ブラケット５２の軸受孔５２０４を介して第２回転調整用軸５０が配設されている。

第２回転調整用軸５０は、図１４に示すように、軸受孔５２０４に回転可能かつ装脱可能に挿入される第１小径部５００２と、第１小径部５００２に続く第２小径部５００４と、第２小径部５００４の先端に設けられた球面状の偏心カム５００６と、偏心カム５００６と反対に位置する第２回転調整用軸５０の端部に設けられた円柱状の第２回転調整操作用つまみ部５００８を有し、偏心カム５００６は球面状のカム面を有している。
第１小径部５００２に対して第２小径部５００４およびカム面は偏心しており、図１に示すように、カム面は第２ブラケット１６の長溝１６１２の互いに対向する側面に係合している。
したがって、第２回転調整機構２８は、第２回転調整操作用つまみ部５００８と偏心カム５００６と長溝１６１２とを含んで構成され、指により第２回転調整操作用つまみ部５００８を摘まんで回転させると、偏心カム５００６、長溝１６１２を介して第２ブラケット１６が回転調整される。

本実施の形態では、第２ブラケット１６に係合し第２回転調整用軸５０が回転されることで第２ブラケット１６の回転調整を行なう第２回転調整部が、偏心カム５００６で構成されている。
また、第２回転調整用軸５０の軸方向から見て、偏心カム５００６と第２小径部５００４の輪郭は第１小径部５００２の輪郭の内側に位置しており、第２回転調整用軸５０は第２ブラケット１６に対して挿脱可能に配置されている。
そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、第２回転調整用軸５０は第２ブラケット１６、取り付け用ブラケット５２から抜き取られ、取り外される。
なお、図１４において、符号Ｙ１は第１小径部５００２、第２回転調整操作用つまみ部５００８の中心軸線、符号Ｙ２は偏心カム５００６、第２小径部５００４の中心軸線、符号ｅ２は偏心カム５００６の偏心量を示している。

上述のように第３ブラケット１８はコーナーキューブプリズム４４を保持し、第２ブラケット１６の円形の凹部１６０２に回転可能に配置され、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３は第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２との交点Ｏを通っている。
図１２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、コーナーキューブプリズム４４は、正面４４０２と、３つの反射面４４０４とを備えている。
コーナーキューブプリズム４４は、正面４４０２から入射した入射光をこれと平行な逆向光として正面４４０２から射出する光学素子であり、正面４４０２は入射面および射出面を構成している。
コーナーキューブプリズム４４は、同一頂点Ｃで互いに直交する３面の内側を反射面４４０４としている。
これら反射面４４０４内の任意の位置に、任意の向きで入射光を照射すると、必ずこの入射光に平行で逆向きの射出光が得られる。

図１、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第３ブラケット１８は、環板状を呈し、内周部１８０２でコーナーキューブプリズム４４を保持している。
第３ブラケット１８の端面の周方向に間隔をおいた２箇所に、第３ブラケット１８の軸心方向（コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３）と平行する方向に沿ってねじ挿通孔１８０４が貫通形成され、第３ブラケット１８の外周面に、第３ブラケット１８の軸心方向と平行する方向に沿って長溝１８０６が貫通形成されている。
図６に示すように、２つのねじ挿通孔１８０４は、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３と平行する方向に軸心を有して第２ブラケット１６のねじ孔１６０４に螺合される第３六角孔付きボルトＢ５の軸部よりも大きな寸法で形成されている。

図２に示すように、コーナーキューブプリズム４４の頂点Ｃと交点Ｏとが一致しており、第３保持固定機構２４は、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３を中心として第２ブラケット１６に対して第３ブラケット１８が回転調整できる状態で第３ブラケット１８を第２ブラケット１６に圧接させて保持させている。
本実施の形態では、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３と第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２とは交点Ｏ上で互いに直交しており、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３は第３ブラケットの回転中心となる第３中心軸線Ｌ３を兼ねている。
第３ブラケット１８は、第２ブラケット１６の凹部１６０２に回転可能に配置され、第３中心軸線Ｌ３と平行する方向に延在する２つの第３六角孔付きボルトＢ５がそれぞれ第３ブラケット１８のねじ挿通孔１８０４に挿通され第２ブラケット１６のねじ孔１６０４に螺合した状態で、ねじ挿通孔１８０４内で第３六角孔付きボルトＢ５の軸部が移動できる範囲内で、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３の向きを変えずに第２ブラケット１６に対する第３ブラケット１８の回転調整がなされるように図られている。

さらに、第３六角孔付きボルトＢ５の頭部と第３ブラケット１８の軸心方向の一方の面１８０８との間にワッシャ５４を介して皿ばね５６が介設され、第３ブラケット１８の軸心方向の他方の面（取り付け面）１８１０が第２ブラケット１６の凹部１６０２の底面（取り付け面）１６０３に圧接され、第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２との交点Ｏを通る中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）を中心として第２ブラケット１６に対して第３ブラケット１８が回転調整できる状態で第３ブラケット１８を第２ブラケット１６に圧接させて保持させている。
そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、複数の第３六角孔付きボルトＢ５が締め付けられ、第３ブラケット１８が第２ブラケット１６に固定される。
したがって、本実施の形態では、第３保持固定機構２４は、複数（実施の形態では２つ）の第３六角孔付きボルトＢ５と複数（実施の形態では２つ）の皿ばね５６とを含んで構成されている。
なお、第３六角孔付きボルトＢ５、皿ばね５６の数は一つでもよく、それらの数は、姿勢調整装置１０Ａが設置される環境に応じて適宜決定される。

図１、図２に示すように、第３回転調整機構３０は、第２ブラケット１６に対して第３ブラケット１８をコーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）を中心として回転調整するものであり、第３回転調整機構３０は、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在する第３回転調整用軸５８を有している。
第３回転調整用軸５８は、第２ブラケット１６の軸受孔１６０６を介して配設されている。
第３回転調整用軸５８は、図１５に示すように、その端部に設けられた円柱状の第３回転調整操作用つまみ部５８０８と、第３回転調整操作用つまみ部５８０８に続く小径部５８０４と、小径部５８０４の先端に設けられた円盤状の偏心カム５８０６とを有している。
第３回転調整操作用つまみ部５８０８の端部は、第２ブラケット１６の軸受孔１６０６の大径部１６０６Ｂに回転可能に挿入され、偏心カム５８０６は、第３ブラケット１８の長溝１８０６に挿入され、偏心カム５８０６のカム面は長溝１８０６の互いに対向する側面に係合している。
偏心カム５８０６のカム面と小径部５８０４は第３回転調整操作用つまみ部５８０８に対して偏心している。
なお、図１５において、符号Ｚ１は第３回転調整操作用つまみ部５８０８の中心軸線を示し、符号Ｚ２は偏心カム５８０６、小径部５８０４の中心軸線、符号ｅ３は偏心カム５８０６の偏心量を示している。

したがって、第３回転調整機構３０は、第３回転調整操作用つまみ部５８０８と偏心カム５８０６と長溝１８０６とを含んで構成され、指により第３回転調整操作用つまみ部５８０８を摘まんで回転させると、偏心カム５８０６、長溝１８０６を介して第３ブラケット１８が回転調整される。
また、本実施の形態では、第３ブラケット１８に係合し第３回転調整用軸５８が回転されることで第３ブラケット１８の回転調整を行なう第３回転調整部が、偏心カム５８０６で構成されている。
また、第３回転調整用軸５８の軸方向から見て、偏心カム５００６の輪郭は、第２ブラケット１６の軸受孔１６０６の小径部１６０６Ａの輪郭の内側に位置しており、第３回転調整用軸５８は第２ブラケット１６に対して挿脱可能に配置されている。
そして、後述するように光学素子であるコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、第３回転調整用軸５８は第２ブラケット１６、第３ブラケット１８から抜き取られ、取り外される。

次に光学素子の姿勢調整装置１０Ａの使用方法について説明する。
第１回転調整操作用つまみ部４００６を回すと、偏心カム４００４と長溝１４１０を介して第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８が基台３２に対して第１中心軸線Ｌ１を中心に揺動され、したがって、コーナーキューブプリズム４４が第１中心軸線Ｌ１を中心に回転調整される。
また、第２回転調整操作用つまみ部５００８を回すと、偏心カム５００６と長溝１６１２を介して第２ブラケット１６、第３ブラケット１８が第１ブラケット１４に対して第２中心軸線Ｌ２を中心に回転され、したがって、コーナーキューブプリズム４４が第２中心軸線Ｌ２を中心に回転調整される。
また、第３回転調整操作用つまみ部５８０８を回すと、偏心カム５８０６と長溝１８０６を介して第３ブラケット１８が第２ブラケット１６に対して中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）を中心に回転され、したがって、コーナーキューブプリズム４４が中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）を中心に回転調整される。
コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整が終了したならば、図３に示すように、第１回転調整用軸４０、第２回転調整用軸５０、第３回転調整用軸５８を抜き取って取り外し、第１六角孔付きボルトＢ２、第２六角孔付きボルトＢ３、第３六角孔付きボルトＢ５を締め付ける。
第１六角孔付きボルトＢ２の締め付けにより、第１ブラケット１４が基板部１２に固定され、第２六角孔付きボルトＢ３の締め付けにより、第２ブラケット１６が第１ブラケット１４に固定され、第３六角孔付きボルトＢ５の締め付けにより、第３ブラケット１８が第２ブラケット１６に固定される。

したがって、光学素子の姿勢調整装置１０Ａによれば次の作用、効果が奏される。
第１回転調整操作用つまみ部４００６、第２回転調整操作用つまみ部５００８、第３回転調整操作用つまみ部５８０８は、共に第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在し、言い換えると、基板部１２に対して直交する方向に延在している。
したがって、第１回転調整用軸４０の第１回転調整操作用つまみ部４００６、第２回転調整用軸５０の第２回転調整操作用つまみ部５００８、第３回転調整用軸５８の第３回転調整操作用つまみ部５８０８を狭いスペース内で容易に把持して回転操作することでコーナーキューブプリズム４４の回転調整を容易にかつ確実に行なえ、複数の光学素子の姿勢調整装置１０Ａを狭いスペースに密集して設ける場合に極めて有利となる。
また、第１〜第３回転調整操作用つまみ部４００６，５００８，５８０８を回転操作してコーナーキューブプリズム４４を姿勢調整する際、第１ブラケット１４の底壁部１４０２の下面１４２０と基板部１２の上面１２１０とが常に圧接された状態が維持されると共に、第２ブラケット１６の側面１６０８と第１ブラケット１４の起立壁部１４０４の側面１４４０とが常に圧接された状態が維持され、第３ブラケット１８の軸心方向の他方の面（取り付け面）１８１０と第２ブラケット１６の凹部１６０２の底面（取り付け面）１６０３とが常に圧接された状態が維持されるため、言い換えると、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４によりそれらが圧接された状態が維持される。
したがって、コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整を安定した状態で確実に行なう上で有利となる。

また、コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、第１六角孔付きボルトＢ２、第２六角孔付きボルトＢ３、第３六角孔付きボルトＢ５を締め付けて、基板部１２に対して第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を固定するので、言い換えると、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４により第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を固定できる。
したがって、姿勢調整装置１０Ａが衛星に搭載され強い振動や衝撃が作用した場合であっても、第１ブラケット１４は第１中心軸線Ｌ１を中心として回転することはなく、また、第２ブラケット１６は第２中心軸線Ｌ２を中心として回転することはなく、また、第３ブラケット１８は中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）を中心として回転することはなく、調整されたコーナーキューブプリズム４４の姿勢が確実に保持される。
また、第１六角孔付きボルトＢ２、第２六角孔付きボルトＢ３、第３六角孔付きボルトＢ５はそれぞれ第１中心軸線Ｌ１、第２中心軸線Ｌ２、中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）に平行する方向に延在しているので、第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を固定する際に、第１中心軸線Ｌ１、第２中心軸線Ｌ２、中心軸Ｌ３（第３中心軸線Ｌ３）に平行する方向に締め付け力が作用し、調整後のコーナーキューブプリズム４４の姿勢を狂わすことなく第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を固定する上で有利となる。
また、コーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後、第１回転調整用軸４０、第２回転調整用軸５０、第３回転調整用軸５８は姿勢調整装置１０Ａから取り外すことができるので、衛生に搭載される場合、姿勢調整装置１０Ａを含む光学装置の小型化、軽量化を図る上で有利となる。

さらに、本実施の形態では、図２に示すように、平面視した場合、第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４、第１回転調整用軸４０を有する第１回転調整機構２６、第２回転調整用軸５０を有する第２回転調整機構２８、第３回転調整用軸５８を有する第３回転調整機構３０が、基板部１２の輪郭の内側に位置しているので、従来のように第１回転調整操作用つまみ部４００６、第２回転調整操作用つまみ部５００８、第３回転調整操作用つまみ部５８０８が邪魔になることがなく、複数の光学素子の姿勢調整装置１０Ａを狭いスペースに密集して設ける場合に極めて有利となる。
また、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４は、共に皿ばね３８、４８、５６を含んで構成されているので、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４を簡単な構造で構成できる。

また、皿ばね３８、４８、５６はスプリングワッシャなどに比べ、第１六角孔付きボルトＢ２、第２六角孔付きボルトＢ３、第３六角孔付きボルトＢ５の軸部の周囲全周に均等な圧接力を得る上で有利であり、コーナーキューブプリズム４４の回転調整を正確にかつ円滑に行なう上で有利となる。
また、皿ばね３８、４８、５６が巻装され、第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を固定するボルトとして、通常のボルトを用いてもよいが、本実施の形態のように第１六角孔付きボルトＢ２、第２六角孔付きボルトＢ３、第３六角孔付きボルトＢ５を用いると、狭いスペース内であってもコーナーキューブプリズム４４の姿勢調整後それら第１六角孔付きボルトＢ１、Ｂ２、Ｂ３をＬ形の六角棒レンチを用いて締め付けることができる。
すなわち、狭いスペース内であっても第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８を簡単に固定でき、複数の光学素子の姿勢調整装置１０Ａが狭いスペースに密集して設ける場合に極めて有利となる。

また、第１回転調整機構２６、第２回転調整機構２８、第３回転調整機構３０の回転調整部を、偏心カム４００４、５００６、５８０６で構成した場合について説明したが、回転調整部は偏心カムに限定されない。すなわち、第１回転調整機構２６、第２回転調整機構２８、第３回転調整機構３０として、ピニオン・ラック機構など従来公知の様々な構成が採用可能である。
しかしながら、実施の形態のように、回転調整部を、偏心カム４００４、５００６、５８０６で構成し、第１回転調整機構２６、第２回転調整機構２８、第３回転調整機構３０を偏心カム４００４、５００６、５８０６と長溝１４１０、１６１２、１８０６とを含んで構成すると、第１回転調整機構２６、第２回転調整機構２８、第３回転調整機構３０を簡単な構造で構成でき、また、雄ねじの出没量によりコーナーキューブプリズム４４の３軸調整を行なう場合に比べ、高い精度でコーナーキューブプリズム４４の３軸調整を行なえ、コーナーキューブプリズム４４の位置を狂わせることなくコーナーキューブプリズム４４の回転調整を正確にかつ円滑に行なう上で有利となる。

また、第２回転調整機構２８の偏心カム５００６を構成するカム面は球面で形成されているので、第２中心軸線Ｌ２と直交する方向から第２回転調整操作用つまみ部５００８により第２ブラケット１６を円滑に回転調整でき、したがって、第１回転調整操作用つまみ部４００６および第２回転調整操作用つまみ部５００８を、共に第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在させ、言い換えると、基板部１２に対して直交する上方に延在させることが可能となる。
また、コーナーキューブプリズム４４の中心軸Ｌ３は、第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２との交点Ｏを通るので、レーザ光の光路長を変化させることなくコーナーキューブプリズム４４の第１中心軸線Ｌ１および第２中心軸線Ｌ２を中心とする回転調整を行う上で有利となる。

（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態について説明する。
なお、以下の実施の形態では、第１の実施の形態と同様の部分、部材については第１の実施の形態と同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分について重点的に説明する。
図１６、図１７に示すように、第２の実施の形態の光学素子の姿勢調整装置１０Ｂは、第１の実施の形態から第３ブラケット１８、第３保持固定機構２４、第３回転調整機構３０を省き、光学素子としてミラー６０を用い、このミラー６０を第２ブラケット１６が保持している点が第１の実施の形態と異なっている。
すなわち、第２の実施の形態は、基板部１２と、第１ブラケット１４と、第２ブラケット１６と、第１保持固定機構２０と、第１回転調整機構２６と、第２保持固定機構２２と、第２回転調整機構２８とを有している。

ミラー６０は、円板状を呈し、厚さ方向の一方の面が反射面６００２とされている。
ミラー６０は、反射面６００２の反対面を凹部１６０２の底面１６０３に重ね合わせ、反射面６００２を第２ブラケット１６の外側に露出させた状態で凹部１６０２に収容保持されている。
図１６に示すように、ミラー６０の中心軸Ｌ３は、第１中心軸線Ｌ１と第２中心軸線Ｌ２との交点Ｏを通っており、ミラー６０の反射面６００２の中心は交点Ｏと一致している。
第２の実施の形態によれば、第１回転調整操作用つまみ部４００６を回すと、偏心カム４００４と長溝１４１０を介して第１ブラケット１４、第２ブラケット１６が基台３２に対して第１中心軸線Ｌ１を中心に揺動され、したがって、ミラー６０が第１中心軸線Ｌ１を中心に回転調整される。
また、第２回転調整操作用つまみ部５００８を回すと、偏心カム５００６と長溝１６１２を介して第２ブラケット１６が第１ブラケット１４に対して第２中心軸線Ｌ２を中心に回転され、したがって、ミラー６０が第２中心軸線Ｌ２を中心に回転調整される。
なお、図１８は、光学素子であるミラー６０の姿勢調整後、第１回転調整用軸４０、第２回転調整用軸５０が第１ブラケット１４、第２ブラケット１６から取り外された状態を示している。
このような第２の実施の形態においても第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。
また、ミラー６０の反射面６００２の中心が第１中心軸線Ｌ１および第２中心軸線Ｌ２の交点Ｏと一致しているので、レーザ光の光路長を変化させることなく第１中心軸線Ｌ１および第２中心軸線Ｌ２を中心とするミラー６０の回転調整を行う上で有利となる。

（第３の実施の形態）
次に第３の実施の形態について説明する。
図１９、図２０に示すように、第３の実施の形態は、第１の実施の形態から第２ブラケット１６、第２保持固定機構２２、第２回転調整機構２８、第３ブラケット１８、第３保持固定機構２４、第３回転調整機構３０を省き、光学素子としてミラー６０を用い、このミラー６０を第１ブラケット１４が保持している点が第１の実施の形態と異なっている。
すなわち、第３の実施の形態の姿勢調整装置１０Ｃは、基板部１２と、第１ブラケット１４と、第１保持固定機構２０と、第１回転調整機構２６とを有している。
第１ブラケット１４は、底壁部１４０２と、底壁部１４０２から起立する起立壁部１４０４とを有している。
起立壁部１４０４には円形の凹部１４５０が形成され、凹部１４５０は底面１４５２を有している。

ミラー６０は、反射面６００２の反対面を底面１４５２に重ね合わせ、反射面６００２を第１ブラケット１４の外側に露出させた状態で凹部１４５０に収容保持されている。
図１９に示すように、ミラー６０の中心軸Ｌ３は、第１中心軸線Ｌ１とは直交しており、第１中心軸Ｌ１はミラー６０の反射面６００２の中心を通っている。
第３の実施の形態によれば、第１回転調整操作用つまみ部４００６を回すと、偏心カム４００４と長溝１４１０を介して第１ブラケット１４が基台３２に対して第１中心軸線Ｌ１を中心に揺動され、したがって、ミラー６０が第１中心軸線Ｌ１を中心に回転調整される。
なお、図２１は、光学素子であるミラー６０の姿勢調整後、第１回転調整用軸４０が第１ブラケット１４から取り外された状態を示している。
このような第３の実施の形態においても第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。

（第４の実施の形態）
次に第４の実施の形態について説明する。
図２２、図２３に示すように、第４の実施の形態は、第１の実施の形態から第２ブラケット１６、第２保持固定機構２２、第２回転調整機構２８を省き、光学素子として１／２波長板６２を用い、この１／２波長板６２を第３ブラケット１８で支持している点が第１の実施の形態と異なっている。
すなわち、第４の実施の形態の姿勢調整装置１０Ｄは、基板部１２と、第１ブラケット１４と、第３ブラケット１８と、第１保持固定機構２０と、第１回転調整機構２６と、第３保持固定機構２４と、第３回転調整機構３０とを有している。
第１ブラケット１４の起立壁部１４０４には円形の凹部１４６０が形成され、凹部１４６０の底壁１４６２には凹部１４６０よりも小径の窓部１４６４が凹部１４６０と同軸上に設けられている。

第３ブラケット１８はその内周部１８０２で１／２波長板６２を保持している。
第３ブラケット１８は、第１ブラケット１４の凹部１４６０に回転可能に配置されている。
第３ブラケット１８が凹部１４６０に配置された状態で、第３ブラケット１８に保持された１／２波長板６２は、その厚さ方向の一方に位置する光学面６２０２を内周部１８０２を介して第１ブラケット１４の外側に露出させ、その厚さ方向の他方に位置する光学面６２０４を窓部１４６４を介して第１ブラケット１４の外側に露出させている。
また、２つの第３六角孔付きボルトＢ５がそれぞれ第３ブラケット１８のねじ挿通孔１８０４に挿通され底壁１４６２に設けられたねじ孔（不図示）に螺合した状態で、ねじ挿通孔１８０４内で第３六角孔付きボルトＢ５の軸部が移動できる範囲内で、１／２波長板６２の中心軸Ｌ３の向きを変えずに第１ブラケット１４に対する第３ブラケット１８の回転調整がなされるように図られている。
また、第１ブラケット１４の起立壁部１４０４には、第１中心軸線Ｌ１と平行する方向に延在し凹部１４６０の内周面に開口する軸受孔１４７０が貫通形成されている。
第３回転調整用軸５８は、第１ブラケット１４の起立壁部１４０４の軸受孔１４７０を介して配設され、偏心カム５８０６のカム面は第３ブラケット１８の長溝１８０６に係合している。

図２２に示すように、１／２波長板６２の中心軸Ｌ３は、第１中心軸線Ｌ１と直交しており、第１中心軸線Ｌ１は１／２波長板６２の一方の光学面６２０２の中心を通っている。
第４の実施の形態によれば、第１回転調整操作用つまみ部４００６を回すと、偏心カム４００４と長溝１４１０を介して第１ブラケット１４が基台３２に対して第１中心軸線Ｌ１を中心に揺動され、したがって、１／２波長板６２が第１中心軸線Ｌ１を中心に回転調整される。
また、第３回転調整操作用つまみ部５８０８を回すと、偏心カム５８０６と長溝１８０６を介して第３ブラケット１８が第１ブラケット１４に対して１／２波長板６２の中心軸Ｌ３を中心に回転され、したがって、１／２波長板６２が中心軸Ｌ３を中心に回転調整される。
なお、図２４は、光学素子である１／２波長板６２の姿勢調整後、第１回転調整用軸４０、第３回転調整用軸５８が第１ブラケット１４、第３ブラケット１８から取り外された状態を示している。
このような第４の実施の形態においても第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。

なお、本実施の形態では、基台３２の上に基板部１２を設け、基板部１２の上に第１ブラケット１４、第２ブラケット１６、第３ブラケット１８、第１保持固定機構２０、第２保持固定機構２２、第３保持固定機構２４、第１回転調整機構２６、第２回転調整機構２８、第３回転調整機構３８を設けた場合について説明したが、基板部１２を省略し基台３２上に直接設ける場合にも本発明は適用され、その場合には基台３２が基板部１２を兼ねることになる。
また、本実施の形態では、光学素子としてコーナーキューブプリズム、ミラー、１／２波長板を用いた場合について説明したが、光学素子としてＱ−ｓｗ素子、ポロプリズムなど従来公知の様々なものが採用可能である。

１０Ａ〜１０Ｄ 姿勢調整装置
１２ 基板部
１２０８ ねじ孔
１４ 第１ブラケット
１４０８ ねじ挿通孔
１４１０ 長溝
１４３２ ねじ挿通孔
１４３４ ねじ孔
１６ 第２ブラケット
１６０４ ねじ孔
１６１２ 長溝
１６１４ ねじ孔
１８ 第３ブラケット
１８０４ ねじ挿通孔
１８０６ 長溝
２０ 第１保持固定機構
２２ 第２保持固定機構
２４ 第３保持固定機構
２６ 第１回転調整機構
２８ 第２回転調整機構
３０ 第３回転調整機構
３８ 皿ばね
４０ 第１回転調整用軸
４００４ 偏心カム
４００６ 第１回転調整用つまみ部
４４ コーナーキューブプリズム（光学素子）
４８ 皿ばね
５０ 第２回転調整用軸
５００６ 偏心カム
５００８ 第２回転調整操作用つまみ部
５６ 皿ばね
５８ 第３回転調整用軸
５８０６ 偏心カム
５８０８ 第３回転調整操作用つまみ部
６０ ミラー（光学素子）
６２ １／２波長板（光学素子）
Ｌ１ 第１中心軸線
Ｌ２ 第２中心軸線
Ｌ３ 光学素子の中心軸（第３中心軸線）
Ｏ 交点
Ｂ２ 第１六角孔付きボルト
Ｂ３ 第２六角孔付きボルト
Ｂ５ 第３六角孔付きボルト

Claims (13)

1. （１軸調整 図19、20、21参照）
   基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、
   光学素子を保持する第１ブラケットと、
   前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、
   前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構とを備え、
   前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられている、
   ことを特徴とする光学素子の姿勢調整装置。
2. （２軸調整 図16,17,18参照）
   基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、
   第１ブラケットと、
   前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、
   前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、
   光学素子を保持する第２ブラケットと、
   前記第１中心軸線と直交する第２中心軸線を中心として前記第１ブラケットに対して前記第２ブラケットが回転調整できる状態で前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第２保持固定機構と、
   前記第２ブラケットを前記第２中心軸線を中心として回転調整する第２回転調整機構と備え、
   前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第２回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第２回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第２回転調整用軸は、前記第２ブラケットに係合し前記第２回転調整用軸が回転されることで前記第２ブラケットの回転調整を行なう第２回転調整部と、前記第２回転調整用軸の回転操作用の第２回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、
   前記第２回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第２ブラケットに挿脱可能に設けられている、
   ことを特徴とする光学素子の姿勢調整装置。
3. （３軸調整 図1−15参照）
   基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、
   第１ブラケットと、
   前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、
   前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、
   第２ブラケットと、
   前記第１中心軸線と直交する第２中心軸線を中心として前記第１ブラケットに対して前記第２ブラケットが回転調整できる状態で前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第２保持固定機構と、
   前記第２ブラケットを前記第２中心軸線を中心として回転調整する第２回転調整機構と、
   その中心軸を前記第１中心軸線と前記第２中心軸線との交点上に位置させて光学素子を保持する第３ブラケットと、
   前記光学素子の前記中心軸を中心として前記第２ブラケットに対して前記第３ブラケットが回転調整できる状態で前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに固定可能な第３保持固定機構と、
   前記第３ブラケットを前記中心軸を中心として回転調整する第３回転調整機構とを備え、
   前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、
   第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第２回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第２回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第２回転調整用軸は、前記第２ブラケットに係合し前記第２回転調整用軸が回転されることで前記第２ブラケットの回転調整を行なう第２回転調整部と、前記第２回転調整用軸の回転操作用の第２回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第３回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第３回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第３回転調整用軸は、前記第３ブラケットに係合し前記第３回転調整用軸が回転されることで前記第３ブラケットの回転調整を行なう第３回転調整部と、前記第３回転調整用軸の回転操作用の第３回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、
   前記第２回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第２ブラケットに挿脱可能に設けられ、
   前記第３回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第３ブラケットに挿脱可能に設けられている、
   ことを特徴とする光学素子の姿勢調整装置。
4. （２軸調整 図22−23参照）
   基板部上に配置される光学素子の姿勢調整装置であって、
   第１ブラケットと、
   前記基板部の厚さ方向と平行する第１中心軸線を中心として前記基板部に対して前記第１ブラケットが回転調整できる状態で前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させた状態に保持可能でかつ前記第１ブラケットを前記基板部に固定可能な第１保持固定機構と、
   前記第１ブラケットを前記第１中心軸線を中心として回転調整する第１回転調整機構と、
   その中心軸を前記第１中心軸線と直交させて光学素子を保持する第３ブラケットと、
   前記光学素子の前記中心軸を中心として前記第１ブラケットに対して前記第３ブラケットが回転調整できる状態で前記第３ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させた状態に保持可能でかつ前記第３ブラケットを前記第１ブラケットに固定可能な第３保持固定機構と、
   前記第３ブラケットを前記中心軸を中心として回転調整する第３回転調整機構とを備え、
   前記第１回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第１回転調整用軸を含んで構成され、
   第１回転調整用軸は、前記第１ブラケットに係合し前記第１回転調整用軸が回転されることで前記第１ブラケットの回転調整を行なう第１回転調整部と、前記第１回転調整用軸の回転操作用の第１回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第３回転調整機構は、前記第１中心軸線と平行する方向に延在する第３回転調整用軸を含んで構成され、
   前記第３回転調整用軸は、前記第３ブラケットに係合し前記第３回転調整用軸が回転されることで前記第３ブラケットの回転調整を行なう第３回転調整部と、前記第３回転調整用軸の回転操作用の第３回転調整操作用つまみ部とを有し、
   前記第１回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第１ブラケットに挿脱可能に設けられ、
   前記第３回転調整用軸は、前記第１中心軸線と平行する方向に沿って前記第３ブラケットに挿脱可能に設けられている、
   ことを特徴とする光学素子の姿勢調整装置。
5. 前記第１保持固定機構は、
   前記第１中心軸線と平行する方向に軸心を有し前記第１ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記基板部のねじ孔に螺合されたボルトと、
   前記ボルトの頭部と前記第１ブラケットとの間に介設され前記第１ブラケットを前記基板部に圧接させる皿ばねと、
   を含んで構成されていることを特徴する請求項１〜４の何れか１項記載の光学素子の姿勢調整装置。
6. 前記第２保持固定機構は、
   前記第２中心軸線と平行する方向に軸心を有し前記第２ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記第１ブラケットのねじ孔に螺合されたボルトと、
   前記ボルトの頭部と前記第２ブラケットとの間に介設され前記第２ブラケットを前記第１ブラケットに圧接させる皿ばねと、
   を含んで構成されていることを特徴する請求項２または３記載の光学素子の姿勢調整装置。
7. 前記第３保持固定機構は、
   前記光学素子の前記中心軸と平行する方向に軸心を有し前記第３ブラケットのねじ挿通孔に挿通され前記第２ブラケットのねじ孔に螺合されたボルトと、
   前記第３六角孔付きボルトの頭部と前記第３ブラケットとの間に介設され前記第３ブラケットを前記第２ブラケットに圧接させる皿ばねと、
   を含んで構成されていることを特徴する請求項３記載の光学素子の姿勢調整装置。
8. 前記ボルトは六角孔付きボルトである、
   ことを特徴する請求項５〜７の何れか１項記載の光学素子の姿勢調整装置。
9. 平面視した場合、前記第１ブラケット、前記第２ブラケット、第３ブラケット、前記第１保持固定機構、前記第２保持固定機構、前記第３保持固定機構、前記第１回転調整機構、前記第２回転調整機構、前記第３回転調整機構は、前記基板部の輪郭の内側に位置している、
   ことを特徴とする請求項３または７記載の光学素子調整装置。
10. 前記第１回転調整部は、前記第１ブラケットの長溝に係合する偏心カムで構成され、
    前記第１回転調整操作用つまみ部は、前記第１回転調整用軸の端部に設けられている、
    ことを特徴とする請求項１〜９の何れか１項記載の光学素子調整装置。
11. 前記第２回転調整部は、前記第２ブラケットの長溝に係合する偏心カムで構成され、
    前記第２回転調整操作用つまみ部は、前記第２回転調整用軸の端部に設けられている、
    ことを特徴とする請求項２、３、６の何れか１項記載の光学素子調整装置。
12. 前記偏心カムを構成するカム面は球面で形成されている、
    ことを特徴とする請求項１１記載の光学素子調整装置。
13. 前記第３回転調整部は、前記第３ブラケットの長溝に係合する偏心カムで構成され、
    前記第３回転調整操作用つまみ部は、前記第３回転調整用軸の端部に設けられている、
    ことを特徴とする請求項３または７記載の光学素子調整装置。

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