JP2019046990A - プローバシステム - Google Patents
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Abstract
Description
プローバシステム1000は、制御装置100と、測定器200と、測定器200に挿入される外部記憶媒体250と、プローバ装置300とを備えて構成される。制御装置100と測定器200とは、GP−IB(General Purpose Interface Bus)、及びLAN(Local Area Network)で通信可能に接続される。制御装置100とプローバ装置300とは、GP−IBで通信可能に接続される。
MOSトランジスタは、非飽和領域Vgs>Vth、Vgd>Vthにおいて、
Id=k{(Vgs−Vth)2−(Vgd−Vth)2} ・・・・・(1)
で表現される。また、飽和領域Vgs>Vth、Vgd<Vthにおいて、
Id=k(Vgs−Vth)2 ・・・・・・・・・・・・・・・・・(2)
で近似できる。
Start.exeは、先頭位置(HOMEポジション)への移動を行うプログラムファイルである。NextDie.exeは、現在の大アドレス(Die)から次の大アドレスへの移動を行うプログラムファイルである。NextSubDie.exeは、現在の小アドレス(SubDie)から次の小アドレスへの移動を行うプログラムファイルである。Load.exeは、退避位置の移動を行うプログラムファイルである。
ステージコントローラ210は、制御装置100によるGP−IB制御により、XYZθステージ210を位置制御する。XYZθステージ210は、ステージコントローラ210に接続されて、ウェハチャック230をXYZθの方向に移動させる物である。
ウェハマップ作成画面400は、ウェハマップ作成部11(図1)が操作表示部150に表示させる画面である。ウェハマップ作成画面400は、主として、ウェハマップ410と、Dieサイズ設定画面420と、SubDie設定画面430と、設定済SubDie表示画面440とを備える。
ウェハマップ410は、ウェハを二次元的に等分割し、分割した領域を整数X,Yの座標(X,Y)で特定するものである。分割間隔Dx,Dyは、Dieサイズ設定画面420(図2参照)で設定し、ここでは、Diesizeがx=y=10000[μm]、SubDieの移動距離Dx=Dy=1000[μm]で設定している。
SubDie設定画面430は、ウェハマップ410のそれぞれのDieの左上の隅(角)を基準点[0,0]とし、測定点(SubDie)を移動距離[Dx,Dy]で特定する。つまり、SubDieの移動距離[Dx,Dy]は、Dieの左上の隅(角)を基準点[0,0]とする相対的移動量である。ここで、画面下方向が正(y>0)であり、上方向が負(y<0)である。すなわち、移動距離Dyは、Dieの領域を示す座標Yの方向に対して、正負が逆である。
設定済SubDie表示画面440は、全てのDie(Test_Die)についての測定点(SubDie)を列挙した一覧表である。例えば、測定点No.1,2,3,4は、(X,Y)=(−1,1)のDieのSubNo.0,1,2,3である。次に、測定点No.5,6,7,8は、(X,Y)=(0,1)のDieのSubNo.0,1,2,3である。次に、測定点No.9,10,11,12は、(1,1)のDieのSubNo.0,1,2,3である。
ステップ1は、「Vth_Sub_0V」が設定され、Sub.No0のSubDieにおいて、ドレイン−ソース間電圧Vds=0Vのときの閾値電圧Vthを測定する。ステップ2は、「Vth_Sub_3V」が設定され、ドレイン−ソース間電圧Vds=3Vのときの閾値電圧Vthを測定する。ステップ3は、「Vth_Sub_5V」が設定され、ドレイン−ソース間電圧Vds=5のときの閾値電圧Vthを測定する。ステップ4は、「ION_3V」が設定され、ゲート電圧Vg=3Vのときの短絡ドレイン電流IONを測定する。
このルーチンは、制御装置100、測定器200、及びプローバ装置300の電源投入時に起動する。
作業者は、測定器200を用いて、予め、第2測定手順としての計測シーケンス(図6参照)を作成する(S1)。ここで、破線は、作業者の作業を意味する。同時期に、作業者は、制御装置100を用いて、予め、ウェハマップデータ22(図1)、及び第1測定手順としての計測シーケンス(図6参照)を作成する(S2)。なお、計測シーケンスの作成は、制御装置100と測定器200との何れか一方で構わない。
このルーチンは、PC指定処理(S10)の実行により、起動する。
制御装置100は、計測ファイル名送信指示をLANを介して測定器200に送信する(S11)。これにより、測定器200は、計測ファイル名送信指示を受信し(S12)、全計測ファイル名を制御装置100に送信する(S13)。これにより、制御装置100は、全ての計測ファイル名23(図1)を受信する(S14)。
制御装置100のステージ制御部13(図1)は、XYZθステージ220の位置データ(絶対位置)をステージコントローラ210(図1)に送信する。このとき、ステージ制御部13は、位置データ変換部12(図1)に対して、計測シーケンス、及びウェハマップデータ22に基づいて、位置データ(絶対位置)を生成させる。そして、ステージコントローラ210は、位置データを受信する(S18)。
このルーチンは、測定器指定処理(S40、図7)の実行により、起動する。また、予め、測定器200で、計測シーケンス(図6)が作成されており、制御装置100でウェハマップデータ22が作成されている。
制御装置100は、GP−IBで測定器200を制御し、計測シーケンスを実行させる(S41)。測定器200は、計測シーケンスを実行する(S42)。これにより、測定器200は、ステージ移動ファイル122を実行し、測定器200は、制御装置100に相対的移動量を示すステージ移動命令を送信する(S43)。制御装置100は、ステージ移動命令を受信し(S44)、ステージ制御を行う(S45)。このとき、プローバ装置300は、ステージ移動を行う(S46)。ここで、S45,46の処理は、前記したS16,17の処理(図9参照)と同一なので、説明を省略する。
比較例のプローバシステムは、測定器200と、プローバ装置300とがGP−IBで接続されたものである。つまり、測定器200は、直接、プローバ装置300を位置制御する機能を有している。
11 ウェハマップ作成部
12 位置データ変換部
13 ステージ制御部
14 計測ファイル取得部(特定情報取得部)
15 第1測定器制御部
15a 測定結果編集部
16 第2測定器制御部
17 測定器指定−PC指定選択処理部(切替部)
20 記憶部
22 ウェハマップデータ
23 計測ファイル名
30,130 通信部
100 制御装置
110 測定制御部
120 記憶部
121 計測ファイル
122 ステージ移動ファイル
125 測定結果ファイル
200 測定器
210 ステージコントローラ
220 XYZθステージ(ステージ装置)
250 外部記憶媒体
300 プローバ装置
410 ウェハマップ
1000 プローバシステム
Claims (5)
- 半導体装置にプローブを接触させるステージ装置と、前記プローブを介して前記半導体装置の電圧・電流を測定する測定器と、制御装置とを備え、前記測定器と前記制御装置とが通信可能に接続されているプローバシステムであって、
前記測定器は、前記電圧・電流を測定する複数種類の測定プログラムを備え、
前記制御装置は、
前記測定プログラムを特定する複数の特定情報を前記測定器から受信する特定情報取得部と、
前記ステージ装置を位置制御すると共に、受信した特定情報を前記測定器に送信することにより、前記測定器に前記電圧・電流を測定させる第1測定器制御部と
を備えることを特徴とするプローバシステム。 - 請求項1に記載のプローバシステムであって、
前記制御装置は、前記半導体装置と前記プローブとが接触する絶対位置を示すウェハマップを作成するウェハマップ作成部をさらに備え、
前記第1測定器制御部は、第1測定手順に従い、前記測定器を制御すると共に、前記ウェハマップを参照して前記ステージ装置を位置制御し、
前記測定器は、前記第1測定手順に従って測定した測定結果を前記制御装置に送信し、
前記第1測定器制御部は、前記ウェハマップ、及び前記特定情報の何れか一方又は双方を用いて、前記測定結果を編集する測定結果編集部をさらに備える
ことを特徴とするプローバシステム。 - 請求項2に記載のプローバシステムであって、
前記測定器は、第2測定手順に従い、前記測定プログラムを実行すると共に、相対的移動量を示すステージ移動命令を前記制御装置に送信する測定制御部をさらに備え、
前記制御装置は、前記測定器から前記ステージ移動命令を受信すると、前記ステージ装置を位置制御する第2測定器制御部と、
前記第1測定器制御部と前記第2測定器制御部とを切り替える切替部とをさらに備える
ことを特徴とするプローバシステム。 - 請求項3に記載のプローバシステムであって、
前記測定器は、前記第2測定手順に従って測定した測定結果を外部記憶装置に格納する
ことを特徴とするプローバシステム。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載のプローバシステムであって、
前記特定情報は、前記測定プログラムのファイル名である
ことを特徴とするプローバシステム。
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JP2009543326A (ja) * | 2006-07-05 | 2009-12-03 | オプティマルテスト エルティーディー. | 基準ダイスを用いた半導体検査方法及びシステム |
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