JP2019039738A

JP2019039738A - 光学モジュール及び電子機器

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Publication number: JP2019039738A
Application number: JP2017160892A
Authority: JP
Inventors: 朝内　昇; Noboru Asauchi; 昇朝内
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2017-08-24
Filing date: 2017-08-24
Publication date: 2019-03-14
Also published as: US20190063989A1; CN109425946B; CN109425946A; US10948343B2

Abstract

【課題】光学的な精度を向上できる光学モジュール及び電子機器を提供すること。【解決手段】光学モジュールは、第一面及び前記第一面とは反対側の第二面を有し、少なくとも前記第一面に開口面を有する第一穴部が設けられた基板と、前記第一面から前記第二面に向かう厚み方向に沿いかつ前記第一穴部内に位置する光軸を有し、前記基板に設けられた光学素子と、前記第一穴部の前記開口面に交差する内周面に設けられ、前記基板よりも遮光性が高い第一遮光部と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、光学モジュール及び電子機器に関する。

従来、回路基板に、受光素子などの光学素子が設けられて構成される光学モジュールが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の光学モジュールでは、回路基板の一方の面側に、波長可変干渉フィルターが設けられている。さらに、回路基板の一方の面側には凹部が設けられ、この凹部内に、波長可変干渉フィルターを透過した光を受光する光センサー（受光素子）が設けられている。

特開２０１５−１６１５１１号公報

ところで、特許文献１のような光学モジュールでは、回路基板に、ガラス繊維にエポキシ樹脂等をしみ込ませたガラスエポキシ基板が用いられることがある。このようなガラスエポキシ基板は透光性を有する。通常、回路基板のうち、基板の表裏面にレジストを形成するが、基板の側面から回路基板内に光が入射する場合がある。この場合、回路基板内に入射した光が、回路基板内を通過して、凹部内に出射されることがある。この場合、波長可変干渉フィルターを透過した光だけではなく、回路基板内を通過して凹部内に出射された光（迷光）も光センサーにて受光され、光の光量を精度良く検出できないという問題がある。

本発明は、光学的な精度を向上できる光学モジュール及び電子機器を提供することを目的とする。

本発明の一適用例に係る光学モジュールは、第一面及び前記第一面とは反対側の第二面を有し、少なくとも前記第一面に開口面を有する第一穴部が設けられた基板と、前記第一面から前記第二面に向かう厚み方向に沿いかつ前記第一穴部内に位置する光軸を有し、前記基板に設けられた光学素子と、前記第一穴部の前記開口面に交差する内周面に設けられ、前記基板よりも遮光性が高い第一遮光部と、を備えていることを特徴とする。

本適用例では、第一穴部の内周面に第一遮光部が設けられている。このため、基板の側面から基板内に光が入射した場合でも、基板内を通過して第一穴部に向かって進行する光は、第一遮光部によって遮られるため、当該光が第一穴部内に出射されることが抑制される。これにより、光軸に沿って第一穴部内を通過する光に、基板内を通過して第一穴部内に出射された光が混入することを抑制でき、光学的な精度を向上できる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記基板は、前記厚み方向から見た平面視において、前記第一穴部よりも前記基板の外周側で、前記第一面及び前記第二面の間に設けられ、前記厚み方向に対して交差する方向の光を遮光する第二遮光部を備えることが好ましい。

本適用例では、基板は、前記平面視において、第一穴部よりも基板の外周側に、第二遮光部を備えている。このため、基板内において、第二遮光部の外側から第一穴部に向かって進行する光を、第二遮光部によって遮ることができ、当該光が第一穴部に到達することを抑制できる。これにより、光軸に沿って第一穴部内を通過する光に、基板内を通過して第一穴部内に出射された光が混入することを抑制でき、光学的な精度を向上できる。

本発明の一適用例に係る光学モジュールは、第一面及び前記第一面とは反対側の第二面を有し、少なくとも前記第一面に開口面を有する第一穴部が設けられた基板と、前記第一面から前記第二面に向かう厚み方向に沿いかつ前記第一穴部内に位置する光軸を有し、前記基板に設けられた光学素子と、を備え、前記基板は、前記厚み方向から見た平面視において、前記第一穴部よりも前記基板の外周側で、前記第一面及び前記第二面の間に設けられ、前記厚み方向に対して交差する方向の光を遮光する第二遮光部を備えることを特徴とする。

本適用例によれば、基板の側面から基板内に光が入射した場合でも、基板内を通過して第一穴部に向かって進行する光は、第二遮光部及び第一遮光部によって遮られるため、当該光が第一穴部内に出射されることが抑制される。これにより、光軸に沿って第一穴部内を通過する光に、基板内を通過して第一穴部内に出射された光が混入することを抑制でき、光学的な精度を向上できる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記第二遮光部は、前記平面視において、前記第一穴部の周囲を囲って設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、基板内において、基板の外周から第一穴部に向かって進行する光が第一穴部に到達することをより確実に抑制できる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記第二遮光部は、前記基板の前記第一面及び前記第二面の少なくともいずれか一方に開口面を有する第二穴部を備えて構成されていることが好ましい。

本適用例によれば、基板において、第二遮光部の外側から第一穴部に向かって進行する光を、第二穴部によって例えば屈折させることで遮ることができ、第一穴部に向かう光の量を低減できる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記第二遮光部は、所定間隔おきに配置された複数の前記第二穴部を備えて構成されていることが好ましい。

本適用例によれば、例えば第二遮光部が一つの第二穴部により構成されている場合と比べて、基板の強度を向上できる。
また、前記所定間隔を、光軸に沿って第一穴部内を通過する光の波長域の最短値よりも短い寸法に設定することで、光学的特性により、基板において、第二遮光部の外側から、第二穴部間を通過して第一穴部に向かう当該波長域の光の量を低減できる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記第二穴部には、前記基板よりも遮光性が高い遮光部材が設けられていることが好ましい。

本適用例では、第二穴部に遮光部材が設けられているため、基板内において、第二遮光部の外側から第一穴部に向かって進行する光を、当該遮光部材によってより確実に遮ることができる。

本適用例の光学モジュールにおいて、前記第二穴部は、前記基板を貫通していることが好ましい。

本適用例によれば、例えば第二穴部が基板を貫通していない場合と比べて、基板内において、第二遮光部の外側から第一穴部に向かって進行する光を、第二穴部によってより確実に遮ることができる。

本発明の一適用例に係る電子機器は、上記光学モジュールと、前記光学モジュールを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。

上記光学モジュールによれば、光学的な精度を向上できるため、当該光学モジュールを備える電子機器では、当該光学モジュールを用いた各種処理の精度を高めることができる。

本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図。第一実施形態の光学モジュールの断面図。第一実施形態の光学モジュールの平面図。本発明に係る第二実施形態の光学モジュールの断面図。第二実施形態の光学モジュールの平面図。本発明に係る他の実施形態の光学モジュールの部分平面図。本発明に係るさらに他の実施形態の光学モジュールの部分断面図。

［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態では、光学モジュール１０を含んで構成された電子機器としての分光測定装置１について説明する。

［分光測定装置の構成］
図１に示すように、分光測定装置１は、分光デバイス５を含んで構成され、測定対象物Ｘで反射または発光した測定対象光における各波長の光の光量を測定する。具体的には、分光測定装置１は、分光デバイス５、受光素子１１及びフィルター駆動部１３を含む光学モジュール１０と、信号処理部１２と、制御部２０とを備えている。

分光デバイス５は、例えば、測定対象物Ｘからの光を分光する際の分光波長を変更可能な分光素子を含んで構成されている。本実施形態では、分光デバイス５は、分光素子として波長可変干渉フィルターを含んで構成されている。なお、分光デバイス５は、波長可変干渉フィルターの代わりに、ＡＯＴＦ（音響光学チューナブルフィルター）やＬＣＴＦ（液晶チューナブルフィルター）やグレーティング等の分光波長を変更可能な各種の分光素子を含む構成としてもよい。

本発明の光学素子としての受光素子１１は、分光デバイス５を透過した光を受光し、受光した光の光強度（光量）に応じた受光信号（電流）を出力する。受光素子１１は、例えばＣＣＤセンサー等のイメージセンサーやフォトダイオード等により構成される。
信号処理部１２は、例えばＩ−Ｖ変換器、アンプ及びＡ／Ｄ変換器等を含んで構成される。信号処理部１２では、受光素子１１から入力された受光信号をＩ−Ｖ変換器が電圧信号に変換し、変換された電圧信号をアンプが増幅し、増幅された信号をＡ／Ｄ変換器がデジタル信号に変換して制御部２０に出力する。
フィルター駆動部１３は、制御部２０から入力される目標指令信号に基づいて、分光デバイス５に駆動電圧を印加して駆動させることで、分光デバイス５を透過させる光の波長を調整する。

制御部２０は、分光測定装置１の全体動作を制御するものであり、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリー等が組み合わさることで構成され、電圧制御部２１、分光測定部２２及び記憶部２３を備えている。
記憶部２３には、分光測定装置１を制御するための各種プログラムや各種データが記憶されている。
電圧制御部２１は、設定された目標波長に基づいて、記憶部２３から当該目標波長に対応する駆動電圧を読み出し、フィルター駆動部１３に目標指令信号を出力する。
分光測定部２２は、受光素子１１から出力された受光信号を、信号処理部１２を介して取得し、この受光信号に基づいて測定対象光のスペクトル特性を測定する。

［光学モジュールの構造］
次に、光学モジュール１０の構造について、図２、図３を参照して説明する。図２は、光学モジュール１０の断面図であり、図３は、光学モジュール１０の平面図である。
光学モジュール１０は、配線基板３に、分光デバイス５と、受光素子１１と、フィルター駆動部１３とが設けられて構成されている。なお、フィルター駆動部１３は、配線基板３に設けられた図示しない制御回路によって構成されている。

配線基板３（本発明の基板）には、例えばガラスエポキシ樹脂等の透光性を有する基板が用いられている。
配線基板３は、第一面３２及び当該第一面３２とは反対側の第二面３３とを有し、第一面３２及び第二面３３に開口面を有する第一穴部３１が設けられている。すなわち、本実施形態では、第一穴部３１は、配線基板３を貫通する貫通孔である。また、第一穴部３１は、第一面３２から第二面３３に向かう厚み方向から見た平面視（以下、基板平面視と称する）において、矩形状に形成されている。
また、配線基板３の第一面３２及び第二面３３には、図示しない配線が設けられ、当該配線を覆うようにレジストが設けられている。このレジストにより、配線基板３の第一面３２及び第二面３３から配線基板３内に光が入射することは抑制されている。しかしながら、配線基板３の側面３５には、通常、レジストが設けられていないため、当該側面３５から配線基板３内に光が入射する場合がある。

そして、本実施形態では、第一穴部３１の開口面に交差する内周面３１１（第一穴部３１の厚み方向に沿った面）に、配線基板３よりも遮光性が高い第一遮光部４が設けられている。第一遮光部４には、例えば、黒色などの濃色のレジストが用いられる。第一遮光部４は、例えば、液状の遮光材料を、ディスペンサー等を用いて内周面３１１に供給することで設けることができる。

分光デバイス５は、配線基板３の第一面３２側に設けられ、基板平面視において、第一穴部３１と重なっている。そして、分光デバイス５は、配線基板３側とは反対側から、後述する受光素子１１の光軸Ｌ１に沿って入射した光のうち、所定の波長の光を透過させ、第一穴部３１内に出射する。
また、分光デバイス５は、電極５１を備えており、当該電極５１は、配線基板３に設けられている配線と接続している。これにより、分光デバイス５と、配線基板３に設けられているフィルター駆動部１３とが接続される。

受光素子１１は、配線基板３の第二面３３側に設けられ、基板平面視において、第一穴部３１と重なっている。ここで、受光素子１１は、光軸Ｌ１が、第一穴部３１内に位置し、かつ、厚み方向に沿うように設けられている。
そして、受光素子１１は、光軸Ｌ１に沿って、分光デバイス５を透過し、第一穴部３１内を通過してきた光を受光する。
また、受光素子１１は、電極１１１を備えており、当該電極１１１は、配線基板３に設けられている配線と接続している。この配線を介して、受光素子１１が出力する受光信号が信号処理部１２に伝達される。

［第一実施形態の作用効果］
本実施形態では、第一穴部３１の内周面３１１に第一遮光部４が設けられている。このため、配線基板３の側面３５から配線基板３内に光が入射した場合でも、配線基板３内を通過して第一穴部３１に向かって進行する光は、第一遮光部４によって遮られるため、当該光が第一穴部３１内に出射されることが抑制される。これにより、光軸Ｌ１に沿って第一穴部３１内を通過する光に、配線基板３内を通過して第一穴部３１内に出射された光が混入することを抑制でき、受光量の測定精度を向上できる。

［第二実施形態］
第二実施形態の光学モジュール１０Ａは、第一穴部３１の内周面３１１に第一遮光部４を備えておらず、代わりに、基板平面視において、配線基板３に、第一穴部３１よりも配線基板３の外周側に、第二遮光部３４が設けられている。その他の構成は、第一実施形態の光学モジュール１０と同様である。なお、光学モジュール１０と同じ構成については、同じ符号を付けて説明を省略する。

図４は、光学モジュール１０Ａの断面図であり、図５は、光学モジュール１０Ａの平面図である。
図４、図５に示すように、光学モジュール１０Ａの配線基板３は、基板平面視において、第一穴部３１よりも配線基板３の外周側で、前記第一穴部３１の周囲を囲う第二遮光部３４を備えている。第二遮光部３４は、第一面３２及び第二面３３の間に設けられ、厚み方向に対して交差する方向の光を遮光する。

第二遮光部３４は、本実施形態では、第一穴部３１の外周に沿って所定間隔おきに設けられた複数のスリット３４１（第二穴部）と、スリット３４１に充填された、配線基板３よりも遮光性が高い遮光部材３４２とで構成されている。本実施形態では、各スリット３４１は、配線基板３を貫通して設けられている。また、遮光部材３４２には、例えばシリコン樹脂や濃色（例えば黒色）のレジストなどが用いられている。
この構成によれば、配線基板３内において、第二遮光部３４の外側から第一穴部３１に向かって進行する光を、スリット３４１によって例えば屈折させることで遮ることができる。また、当該光を、スリット３４１に充填された遮光部材３４２によって遮ることもできる。これにより、第一穴部３１に向かう光の量を低減できる。
また、スリット３４１間の寸法Ｄ１（所定間隔）は、受光素子１１が受光する光の波長域の最短値よりも短い寸法に設定されている。この構成によれば、光学的特性により、配線基板３内において、第二遮光部３４の外側から、スリット３４１間を通過して第一穴部３１に向かう光の量も低減できる。

［第二実施形態の作用効果］
本実施形態では、配線基板３は、基板平面視において、第一穴部３１よりも配線基板３の外周側に、第二遮光部３４を備えている。このため、配線基板３内において、第二遮光部３４の外側から第一穴部３１に向かって進行する光を、当該第二遮光部３４によって遮ることができ、当該光が第一穴部３１に到達することを抑制できる。これにより、光軸Ｌ１に沿って第一穴部３１内を通過する光に、配線基板３内を通過して第一穴部３１内に出射された光が混入することを抑制でき、受光量の測定精度を向上できる。

また、本実施形態では、第二遮光部３４は、第一穴部３１の周囲を囲って設けられているため、配線基板３の外周から第一穴部３１に向かって進行する光が第一穴部３１に到達することをより確実に抑制できる。

また、本実施形態では、スリット３４１間の寸法Ｄ１は、受光素子１１が受光する光の波長域の最短値よりも短い寸法に設定されている。この構成によれば、光学的特性により、配線基板３内において、第二遮光部３４の外側から、スリット３４１間を通過して第一穴部３１に向かう光の量を低減できる。
また、本実施形態では、スリット３４１は、配線基板３を貫通しているため、例えばスリット３４１が配線基板３を貫通していない場合と比べて、配線基板３内において、第二遮光部３４の外側から第一穴部３１に向かって進行する光を、スリット３４１及び遮光部材３４２によってより確実に遮ることができる。

［その他の実施形態］
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記各実施形態では、光学モジュール１０，１０Ａは、分光デバイス５を備えているが、これに限定されない。
例えば、分光デバイス５はなくてもよく、受光素子１１が光軸Ｌ１に沿った光を直接受光する構成であってもよい。

上記各実施形態では、光学モジュール１０，１０Ａは、光学素子として受光素子１１を備えているが、これに限定されない。
光学素子は、ＬＥＤ等の発光素子や、分光素子であってもよい。この場合も、光軸Ｌ１に沿った光に、配線基板３内を通過して第一穴部３１に出射された光が混入することを抑制できるため、光学モジュールの光学的な精度を向上できる。

上記各実施形態では、光学モジュール１０，１０Ａは、分光デバイス５と、受光素子１１と、フィルター駆動部１３とを含んで構成されているが、これに限定されない。
例えば、光学モジュール１０，１０Ａは、分光デバイス５と、受光素子１１とを含んで構成されていてもよい。又は、分光デバイス５と、受光素子１１と、フィルター駆動部１３と、信号処理部１２とを含んで構成されていてもよい。この場合、信号処理部１２は、配線基板３に設けられた制御回路によって構成される。

上記各実施形態では、第一穴部３１は、配線基板３を貫通する貫通孔であるが、これに限定されない。例えば、第一穴部３１は、第一面３２側に開口面を有する凹部であってもよい。この場合、受光素子１１は、凹部内に設けられる。

上記第二実施形態では、基板平面視において、スリット３４１は、第一穴部３１の外周に沿って１列で設けられているが、これに限定されない。
例えば、スリット３４１は、図６に示すように第一穴部３１の外周に沿って２列で設けられていてもよい。又は、３列以上で設けられていてもよい。
この場合、図６に示すように、スリット３４１の外側から第一穴部３１に向かって進行する光Ｌ２の方向から見て、外側の列のスリット３４１間に、内側の列のスリット３４１が重なるように、外側のスリット３４１と内側のスリット３４１とが互いにずれて配置されていることが好ましい。
この構成によれば、外側の列のスリット３４１間を通過した光を、内側の列のスリット３４１及び遮光部材３４２で遮光できるため、第二遮光部３４の外側から第一穴部３１に向かって進行する光を、第二遮光部３４によってより確実に遮ることができる。

上記第二実施形態では、スリット３４１は、配線基板３を貫通しているが、これに限定されない。例えば、配線基板３の第一面３２側又は第二面３３側に開口面を有する凹部であってもよい。
なお、配線基板３に、例えば、第一面３２側に開口面を有する凹部と、第二面３３側に開口面を有する凹部とが両方設けられていてもよい。例えば、配線基板３に、基板平面視において、第一穴部３１の周囲を囲む第一凹部と、当該第一凹部の外側で、第一凹部を囲む第二凹部とを設ける。そして、第一凹部及び第二凹部のいずれか一方を第一面３２側に開口面を有する凹部で形成し、他方を第二面３３側に開口面を有する凹部で形成する。これによれば、第二凹部の外側から、第二凹部の底面と、配線基板３における開口面とは反対側の面との間を通過して第一穴部３１に向かう光を、第一凹部及び当該第一凹部に充填された遮光部材３４２で遮光できるため、第一穴部３１に向かう光をより確実に低減できる。

上記第二実施形態では、スリット３４１内に遮光部材３４２が設けられているが、これに限定されない。すなわち、スリット３４１内に遮光部材３４２が設けられていなくてもよい。
この場合、例えば、図７に示すように、スリット３４１の内側面３４１Ａを配線基板３の厚み方向に対して傾斜させることで、スリット３４１の外側から第一穴部３１に向かって配線基板３内を通過してきた光Ｌ２を、内側面３４１Ａで効果的に屈折させることができ、第一穴部３１に向かう光の量をより低減できる。
また、スリット３４１の幅寸法、すなわち、スリット３４１の外側から第一穴部３１に向かう方向の寸法を、受光素子１１が受光する光の波長域の最短値よりも短い寸法に設定することで、光学的特性により、スリット３４１の外側から、スリット３４１を通過して第一穴部３１に向かう光の量を低減できる。

上記第二実施形態では、第二遮光部３４は、複数のスリット３４１によって構成されているが、これに限定されない。
例えば、第二遮光部３４は、第一穴部３１の外周に沿って連続した単一のスリットによって構成されていてもよい。ただしこの場合は、スリットによって配線基板３が分断されることを避けるため、スリットは、配線基板３を貫通しない凹部であることが好ましい。
また、第二遮光部３４は、基板平面視において、円形状や楕円形状や正方形状等で形成された複数の穴部によって構成されていてもよい。
また、第二遮光部３４は、スリット等を設けることなく、配線基板３の一部を遮光性が高い別材料で形成することで設けてもよい。

上記第二実施形態では、第二遮光部３４は、第一穴部３１の周囲を囲んで設けられているが、これに限定されない。
例えば、配線基板３において、第一穴部３１に向かって進行する光が少ない部分には、第二遮光部３４は設けなくてもよい。

上記第二実施形態では、第一穴部３１の内周面３１１に遮光部は設けられていないが、第一実施形態のように内周面３１１に第一遮光部４を設けてもよい。これにより、配線基板３内を通過して第一穴部３１内に出射される光の量をより確実に低減できる。

１…分光測定装置（電子機器）、３…配線基板（基板）、４…第一遮光部、５…分光デバイス、１０，１０Ａ…光学モジュール、１１…受光素子（光学素子）、３１…第一穴部、３２…第一面、３３…第二面、３４…第二遮光部、５１，１１１…電極、３１１…内周面、３４１…スリット（第二穴部）、３４２…遮光部材、Ｌ１…光軸。

Claims

第一面及び前記第一面とは反対側の第二面を有し、少なくとも前記第一面に開口面を有する第一穴部が設けられた基板と、
前記第一面から前記第二面に向かう厚み方向に沿いかつ前記第一穴部内に位置する光軸を有し、前記基板に設けられた光学素子と、
前記第一穴部の前記開口面に交差する内周面に設けられ、前記基板よりも遮光性が高い第一遮光部と、を備えている
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記基板は、前記厚み方向から見た平面視において、前記第一穴部よりも前記基板の外周側で、前記第一面及び前記第二面の間に設けられ、前記厚み方向に対して交差する方向の光を遮光する第二遮光部を備える
ことを特徴とする光学モジュール。
第一面及び前記第一面とは反対側の第二面を有し、少なくとも前記第一面に開口面を有する第一穴部が設けられた基板と、
前記第一面から前記第二面に向かう厚み方向に沿いかつ前記第一穴部内に位置する光軸を有し、前記基板に設けられた光学素子と、を備え、
前記基板は、前記厚み方向から見た平面視において、前記第一穴部よりも前記基板の外周側で、前記第一面及び前記第二面の間に設けられ、前記厚み方向に対して交差する方向の光を遮光する第二遮光部を備える
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項２又は請求項３に記載の光学モジュールにおいて、
前記第二遮光部は、前記平面視において、前記第一穴部の周囲を囲って設けられている
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記第二遮光部は、前記基板の前記第一面及び前記第二面の少なくともいずれか一方に開口面を有する第二穴部を備えて構成されている
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項５に記載の光学モジュールにおいて、
前記第二遮光部は、所定間隔おきに配置された複数の前記第二穴部を備えて構成されている
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項５又は請求項６に記載の光学モジュールにおいて、
前記第二穴部には、前記基板よりも遮光性が高い遮光部材が設けられている
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記第二穴部は、前記基板を貫通している
ことを特徴とする光学モジュール。
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の光学モジュールと、
前記光学モジュールを制御する制御部と、を備える
ことを特徴とする電子機器。