JP2019038148A - プリント配線板用基材及びプリント配線板用基材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、エッチング性及びベースフィルムとの密着力に優れる金属層を有するプリント配線板用基材の提供を課題とする。【解決手段】本発明のプリント配線板用基材は、絶縁性を有するベースフィルムと、このベースフィルムの一方側の面に積層される金属層とを備え、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。【選択図】図１

Description

本発明は、プリント配線板用基材及びプリント配線板用基材の製造方法に関する。

絶縁性を有するベースフィルムと、このベースフィルムの表面側に積層される金属層とを備えるプリント配線板用基材が知られている。このプリント配線板用基材としては、近年の電子部品の小型化に対応すべく、ベースフィルムの表面に直接金属層を積層したものが提案されている。このようなプリント配線板用基材として、ベースフィルムの表面にスパッタリング法を用いて金属被膜を積層したプリント配線板用基材が発案されている（特開２００９−２６９９０号公報参照）。

上記公報に記載のプリント配線板用基材は、ポリイミドフィルムからなるベースフィルムの表面にニッケルクロム合金等からなる金属シード層を積層し、さらにこの金属シード層の表面にスパッタリング法によって銅層を積層することで形成される。

特開２００９−２６９９０号公報

上記公報に記載されているように、スパッタリング法を用いて金属被膜を積層する場合、ベースフィルムと金属被膜との密着力等を高めるためベースフィルムと銅層との間にニッケルクロム合金等からなる金属シード層が配設される。しかしながら、ニッケル及びクロムは銅に比べてエッチングし難い。また、ベースフィルムと銅層との間に上記金属シード層が存在すると、銅層のエッチングと金属シード層のエッチングとを別個に行うことを要する。そのため、上記公報に記載のプリント配線板用基材は、エッチングに長時間を要すると共にエッチング精度が悪化しやすい。従って、このプリント配線板用基材は微細回路を形成し難い。

本発明は、このような事情に基づいてなされたものであり、エッチング性及びベースフィルムとの密着力に優れる金属層を有するプリント配線板用基材並びにプリント配線板用基材の製造方法の提供を課題とする。

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係るプリント配線板用基材は、絶縁性を有するベースフィルムと、このベースフィルムの一方側の面に積層される金属層とを備え、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。

上記課題を解決するためになされた本発明の他の一態様に係るプリント配線板用基材の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルムの一方側の面に金属層を積層する金属層積層工程と、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量を０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下とするアルカリ元素量調整工程とを備える。

本発明のプリント配線板用基材は、エッチング性及びベースフィルムとの密着力に優れる金属層を有する。本発明のプリント配線板用基材の製造方法は、エッチング性及びベースフィルムとの密着力に優れる金属層を有するプリント配線板用基材を製造することができる。

本発明の一実施形態に係るプリント配線板用基材を示す模式的断面図である。 図１のプリント配線板用基材の製造方法の金属層積層工程を示す模式的断面図である。 図１のプリント配線板用基材の製造方法の酸洗工程を示す模式的断面図である。 図１のプリント配線板用基材の製造方法の水洗工程を示す模式的断面図である。 図１のプリント配線板用基材とは異なる形態に係るプリント配線板用基材を示す模式的断面図である。 図３のプリント配線板用基材の製造方法の塗膜形成工程を示す模式的断面図である。 図３のプリント配線板用基材の製造方法の焼結体層形成工程を示す模式的断面図である。 図３のプリント配線板用基材の製造方法の無電解めっき層形成工程を示す模式的断面図である。 図３のプリント配線板用基材を用いたプリント配線板を示す模式的断面図である。

［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。

本発明の一態様に係るプリント配線板用基材は、絶縁性を有するベースフィルムと、このベースフィルムの一方側の面に積層される金属層とを備え、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。

当該プリント配線板用基材は、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量が上記範囲内であるので、上記アルカリ元素によって金属層の金属原子のベースフィルムへの拡散を抑制することができる。そのため、当該プリント配線板用基材は、上記ベースフィルム及び金属層の密着力に優れる。また、当該プリント配線板用基材は、上記ベースフィルム及び金属層の密着力に優れるため、スパッタリング法を用いる従来の金属層のようにニッケルクロム合金等からなるシード層を要しない。そのため、当該プリント配線板用基材は、金属層のエッチング性に優れる。

上記金属層が無電解めっき金属を含むとよい。このように、上記金属層が無電解めっきを含むことによって、緻密な金属層を形成することができ、上記ベースフィルム及び金属層の密着力を高めやすい。

上記金属層が金属粒子の焼結体をさらに含み、上記無電解めっき金属が上記焼結体の一方側の面に積層されているとよい。このように、上記金属層が金属粒子の焼結体をさらに含み、上記無電解めっき金属が上記焼結体の一方側の面に積層されていることによって、上記ベースフィルムとの密着力に優れる金属層を比較的安価に形成することができる。

上記アルカリ元素がナトリウムであり、上記金属層の主成分が銅であるとよい。このように、上記アルカリ元素がナトリウムであり、上記金属層の主成分が銅であることによって、上記金属層のエッチング性を高めつつ、上記ベースフィルム及び金属層の密着力を容易かつ確実に高めることができる。

本発明の他の一態様に係るプリント配線板用基材の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルムの一方側の面に金属層を積層する金属層積層工程と、上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量を０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下とするアルカリ元素量調整工程とを備える。

当該プリント配線板用基材の製造方法は、上記アルカリ元素量調整工程で上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量を上記範囲内に調整するので、このアルカリ元素によって金属層の金属原子のベースフィルムへの拡散を抑制することができる。そのため、当該プリント配線板用基材の製造方法は、上記ベースフィルム及び金属層の密着力に優れるプリント配線板用基材を製造することができる。また、当該プリント配線板用基材の製造方法は、上記ベースフィルム及び金属層の密着力を十分に高めることができるので、スパッタリング法を用いる従来の金属層のようにニッケルクロム合金等からなるシード層を要しない。そのため、当該プリント配線板用基材の製造方法は、金属層のエッチング性に優れるプリント配線板用基材を製造することができる。

なお、本発明において、「アルカリ元素量」は、例えばＸ線光電子分光法（ＥＳＣＡ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ｆｏｒ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ又はＸＰＳ：Ｘ−ｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）、エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ：Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−ｒａｙ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ又はＥＤＳ：Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−ｒａｙ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）、電子プローブマイクロアナリシス法（ＥＰＭＡ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｓｉｓ）、飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴＯＦ−ＳＩＭＳ：Ｔｉｍｅ Ｏｆ Ｆｌｉｇｈｔ Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）、オージェ電子分光法（ＡＥＳ：Ａｕｇｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）等により測定することができる。Ｘ線光電子分光法による場合は、測定条件として、Ｘ線源をアルミニウム金属のＫアルファ線、ビーム径を５０μｍ、分析する面に対するＸ線入射角度を４５°とし、断面を走査することによって測定することができる。測定装置としては、例えばＵＬＶＡＣ−Ｐｈｉ社製の走査型Ｘ線光電子分光分析装置「Ｑｕａｎｔｅｒａ」等を使うことができる。また、「主成分」とは、最も含有量の多い成分をいい、例えば含有量が５０質量％以上の成分をいう。

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の好適な実施形態について、以下に図面を参照しつつ説明する。

［第一実施形態］
＜プリント配線板用基材＞
図１のプリント配線板用基材１は、絶縁性を有するベースフィルム２と、ベースフィルム２の一方側の面に積層される金属層３とを備える。当該プリント配線板用基材１は、金属層３の一方側の面（ベースフィルム２と積層される側と反対側の面）のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。当該プリント配線板用基材１は、フレキシブルプリント配線板用基材であり、可撓性を有する。

当該プリント配線板用基材１は、金属層３の一方側の面のアルカリ元素量が上記範囲内であるので、上記アルカリ元素によって金属層３の金属原子のベースフィルム２への拡散を抑制することができる。つまり、当該プリント配線板用基材１にあっては、金属層３の一方側の面のアルカリ元素量が上記範囲内である場合、この金属層３の内部にもアルカリ元素が上記範囲と同程度の割合で存在していると考えられる。そのため、当該プリント配線板用基材１は、金属層３内部のアルカリ元素によって金属層３の金属原子のベースフィルム２への拡散を防ぐことができる。その結果、当該プリント配線板用基材１は、ベースフィルム２及び金属層３の密着力、特に耐熱密着力に優れる。また、当該プリント配線板用基材１は、ベースフィルム２及び金属層３の密着力に優れるため、スパッタリング法を用いる従来の金属層のようにニッケルクロム合金等からなるシード層を要しない。そのため、例えばニッケル及びクロムのエッチングを金属層３のエッチングとは別途に行わなくてもよい。従って、当該プリント配線板用基材１は、金属層３のエッチング性に優れる。

（金属層）
金属層３は、ベースフィルム２の一方側の面に直接（つまり、接着剤層等の他の層を介さず）積層されている。金属層３は、無電解めっきによって形成される無電解めっき金属を含む。特に、本実施形態では、金属層３は、無電解めっき金属から構成される無電解めっき層である。当該プリント配線板用基材１は、金属層３が無電解めっきを含むことによって、緻密な金属層３を形成することができ、ベースフィルム２及び金属層３の密着力を高めやすい。また、当該プリント配線板用基材１は、金属層３がスパッタリング法によって形成されたものではないので、金属層３の形成に物理的蒸着に必要な高価な真空設備を必要とせず、金属層３を低コストで形成することができる。

金属層３の一方側の面のアルカリ元素量の下限としては、上述のように０．１ａｔｍ％であり、０．３ａｔｍ％が好ましく、５．０ａｔｍ％がより好ましい。一方、金属層３の一方側の面のアルカリ元素量の上限としては、上述のように２０ａｔｍ％であり、１８ａｔｍ％が好ましく、１５ａｔｍ％がより好ましい。上記アルカリ元素量が上記下限に満たないと、ベースフィルム２及び金属層３の耐熱密着力を十分に高めることができないおそれがある。逆に、上記アルカリ元素量が上記上限を超えると、上記アルカリ元素の酸化が促進されることで、却ってベースフィルム２及び金属層３の耐熱密着力が低下するおそれがある。なお、金属層３の一方側の面のアルカリ元素量は、当該プリント配線板用基材１の製造方法で後述するアルカリ元素量調整工程で調整することができる。

上記アルカリ元素はナトリウムであることが好ましい。つまり、当該プリント配線板用基材１は、金属層３の一方側の面におけるナトリウム量が上記範囲内であることが好ましい。また同時に、当該プリント配線板用基材１は、金属層３の一方側の面におけるナトリウム以外のアルカリ元素量を含めた全アルカリ元素量が上記範囲内であることが好ましい。当該プリント配線板用基材１は、上述のように金属層３が無電解めっきによって形成される。つまり、当該プリント配線板用基材１は、金属層３の一方側の面に存在するナトリウムが無電解めっき浴に含まれる水酸化ナトリウムに由来する。このように、金属層３の一方側に存在するナトリウムが無電解めっき浴に含まれる水酸化ナトリウムに由来する場合、このナトリウムは金属層３の内部に均一に含有されやすい。その結果、当該プリント配線板用基材１は、ベースフィルム２及び金属層３の耐熱密着力を高めやすい。

上記アルカリ元素がナトリウムである場合、金属層３の一方側の面におけるナトリウム以外のアルカリ元素量の下限としては、０．０ａｔｍ％とすることができる。一方、金属層３の一方側の面におけるナトリウム以外のアルカリ元素量の上限としては、０．２ａｔｍ％が好ましく、０．１ａｔｍ％がより好ましい。このように、金属層３の一方側の面におけるナトリウム以外のアルカリ元素量を上記範囲内とすることで、金属層３内部のアルカリ元素量を的確に制御しやすい。

金属層３の主成分としては、銅、ニッケル、コバルト、金、銀、スズ及びこれらの合金等が挙げられる。中でも、比較的安価で、かつエッチング性に優れる銅が好ましい。つまり、金属層３は、無電解銅めっきによって形成される無電解銅めっき層であることが好ましい。

上述のように、当該プリント配線板用基材１は、上記アルカリ元素がナトリウムであり、かつ金属層３の主成分が銅であることが好ましい。当該プリント配線板用基材１は、上記アルカリ元素がナトリウムであり、かつ金属層３の主成分が銅であることによって、ベースフィルム２及び金属層３の密着力を容易かつ確実に高めることができる。

無電解めっき金属から構成される金属層３の平均厚さの下限としては、２００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましい。一方、無電解めっき金属から構成される金属層３の平均厚さの上限としては、１０００ｎｍが好ましく、５００ｎｍがより好ましい。金属層３の平均厚さが上記下限より小さいと、金属層３の抵抗を十分に低くすることができないおそれがある。また、金属層３の平均厚さが上記下限より小さいと、ベースフィルム２の一方側の面に金属層３が存在しない部分が生じるおそれがあり、十分に緻密な金属層３を形成することが困難になるおそれがある。逆に、金属層３の平均厚さが上記上限を超えると、上述のアルカリ元素を金属層３の内部の厚さ方向に亘って均一に存在させることが困難になるおそれがある。なお、「平均厚さ」とは、任意の１０点の厚さの平均値をいう。

（ベースフィルム）
ベースフィルム２は絶縁性を有する。また、ベースフィルム２は可撓性を有する。ベースフィルム２の主成分としては、例えばポリイミド、液晶ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、フッ素樹脂等の軟質材が挙げられる。これらの中でも、耐熱性及び金属層３との密着力に優れるポリイミドが好ましい。なお、ベースフィルム２は、多孔化されたものでもよく、また充填材、添加剤等を含んでもよい。

ベースフィルム２の厚さは、特に限定されないが、例えばベースフィルム２の平均厚さの下限としては、５μｍが好ましく、１２μｍがより好ましい。一方、ベースフィルム２の平均厚さの上限としては、２．０ｍｍが好ましく、１．６ｍｍがより好ましい。ベースフィルム２の平均厚さが上記下限より小さいと、ベースフィルム２の強度が不十分となるおそれがある。逆に、ベースフィルム２の平均厚さが上記上限を超えると、薄型化が要求される電子機器への適用が困難となるおそれや可撓性が不十分となるおそれがある。

ベースフィルム２の一方側の面は改質されて、ポリイミドのイミド環の一部が開環していることが好ましい。このような改質は、例えばアルカリ処理、プラズマ処理等の公知の処理方法によって行うことができる。

（初期密着力）
ベースフィルム２と金属層３との剥離強度（初期密着力）の下限としては、７．０Ｎ／ｃｍが好ましく、９．０Ｎ／ｃｍがより好ましい。上記剥離強度が上記下限以上であることによって、ベースフィルム２及び金属層３間の剥離が防止され、電気的な接続信頼性の高いプリント配線板を形成することができる。一方、上記剥離強度の上限は、特に限定されるものではなく、例えば２０．０Ｎ／ｃｍとすることができる。なお、「剥離強度」とは、ＪＩＳ−Ｃ６４７１：１９９５に準拠する１８０°方向引き剥がし試験で得られる剥離強度をいう。

（耐熱密着力）
１５０℃大気の雰囲気下で１６８時間保持した後におけるベースフィルム２と金属層３との剥離強度（耐熱密着力）の下限としては、５．０Ｎ／ｃｍが好ましく、７．０Ｎ／ｃｍがより好ましい。上記剥離強度が上記下限以上であることによって、ベースフィルム２及び金属層３間の高温環境下における剥離が防止され、電気的な接続信頼性の高いプリント配線板を形成することができる。一方、上記剥離強度の上限は、特に限定されるものではなく、例えば２０．０Ｎ／ｃｍとすることができる。

上記初期密着力に対する耐熱密着力の比の下限としては、０．５が好ましく、０．７がより好ましい。上記比が上記下限に満たないと、高温環境下におけるベースフィルム２及び金属層３の密着力が不十分となるおそれがある。一方、上記初期密着力に対する耐熱密着力の比の上限は、特に限定されるものではなく、例えば１．０とすることができる。

＜プリント配線板用基材の製造方法＞
次に図２Ａ〜図２Ｃを参照して、図１のプリント配線板用基材１の製造方法について説明する。

当該プリント配線板用基材の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルム２の一方側の面に金属層３ａを積層する金属層積層工程と、金属層３ａの一方側の面のアルカリ元素量を０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下とするアルカリ元素量調整工程とを備える。

当該プリント配線板用基材の製造方法は、上記アルカリ元素量調整工程で金属層３ａの一方側の面のアルカリ元素量を上記範囲内に調整するので、アルカリ元素量調整後の金属層３の金属原子のベースフィルム２への拡散を抑制することができる。そのため、当該プリント配線板用基材の製造方法は、ベースフィルム２及び金属層３の密着力、特に耐熱密着力に優れるプリント配線板用基材１を製造することができる。また、当該プリント配線板用基材の製造方法は、ベースフィルム２及び金属層３の密着力を十分に高めることができるので、スパッタリング法を用いる従来の金属層のようにニッケルクロム合金等からなるシード層を要しない。そのため、当該プリント配線板用基材の製造方法は、金属層３のエッチング性に優れるプリント配線板用基材１を製造することができる。

（金属層積層工程）
図２Ａに示すように、上記金属層積層工程では、ベースフィルム２の一方側の面に無電解めっきを施すことで、ベースフィルム２の一方側の面に金属層３ａを積層する。上記無電解めっきに用いる金属としては、銅、ニッケル、コバルト、金、銀、スズ等が挙げられ、中でも銅が好ましい。また、無電解めっきに用いられるめっき浴には、アルカリ金属水酸化物を含有することが好ましく、水酸化ナトリウムを含有することがより好ましい。このように、無電解めっき浴にアルカリ金属水酸化物を含有することで、このアルカリ金属水酸化物に由来するアルカリ元素を上記金属層積層工程によって得られる金属層３ａの一方側の面及び内部に均一に分散させやすい。

また、上記金属層積層工程で積層される金属層３ａの平均厚さの下限としては、２００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましい。一方、上記金属層積層工程で積層される金属層３ａの平均厚さの上限としては、１０００ｎｍが好ましく、５００ｎｍがより好ましい。金属層３ａの平均厚さが上記範囲内であることによって、無電解めっき浴に含有されるアルカリ金属酸化物に由来するアルカリ元素を金属層３ａの内部の厚さ方向に亘って均一に存在させやすい。

（アルカリ元素量調整工程）
上記アルカリ元素量調整工程は、上記金属層積層工程で積層された金属層３ａを酸洗浄する酸洗浄工程（第１洗浄工程）と、この金属層３ａを水洗浄する水洗浄工程（第２洗浄工程）とを有する。

〔酸洗浄工程〕
上記酸洗浄工程では、図２Ｂに示すように、上記金属層積層工程によって形成されたベースフィルム２及び金属層３ａの積層体４を硫酸浴等の酸性溶液Ｘに浸漬し、金属層３ａの表面に付着した酸化物を除去する。この酸洗浄工程によって、金属層３ａの一方側の面に付着するアルカリ金属酸化物、アルカリ金属水酸化物等の一部を除去することで、金属層３ａの一方側の面のアルカリ元素量の第１段階目の調整を行う。また、当該プリント配線板用基材の製造方法にあっては、上記無電解めっきによってベースフィルム２の一方の面に積層された金属層３ａはポーラスな状態であるため、上記金属層積層工程に続いて酸洗浄工程を行うことで、酸洗浄効果が金属層３ａの内部まで及ぶと考えられる。

上記酸洗浄工程における酸性溶液Ｘへの積層体４の浸漬時間の下限としては、１０秒が好ましく、２０秒がより好ましい。一方、上記浸漬時間の上限としては、１８０秒が好ましく、１５０秒がより好ましく、９０秒がさらに好ましい。上記浸漬時間が上記下限に満たないと、金属層３ａの一方側の面及び内面に付着するアルカリ金属酸化物、アルカリ金属水酸化物等を十分に除去することができないおそれがある。逆に、上記浸漬時間が上記上限を超えると、金属層３ａの一方側の面及び内面に付着するアルカリ金属酸化物、アルカリ金属水酸化物等の除去率が高くなり過ぎて、当該プリント配線板用基材の製造方法によって得られる当該プリント配線板用基材１の金属層３の一方側の面のアルカリ元素量が少なくなり過ぎるおそれがある。

上記酸洗浄工程における酸性溶液Ｘの濃度の下限としては、用いる酸にもよるが、例えば２．０体積％以上１５．０体積％以下とすることができる。

〔水洗浄工程〕
上記水洗浄工程は、上記酸洗浄工程後に行われる。上記水洗浄工程では、図２Ｃに示すように、上記酸洗浄工程後の積層体４を水Ｙに浸漬し、金属層３ａの表面に付着した上記めっき浴に由来するアルカリ金属水酸化物や上記酸洗浄工程で使用した酸等を除去する。また、上記水洗工程では、金属層３ａ内部の酸を除去することでアルカリ元素が過剰に除去されることを抑制する。これにより、金属層３ａの一方側の面のアルカリ元素量の第２段階目の調整を行う。

上記水洗浄工程における水Ｙへの積層体４の１回あたりの浸漬時間の下限としては、１０秒が好ましく、２０秒がより好ましい。一方、上記浸漬時間の上限としては、１８０秒が好ましく、１２０秒がより好ましい。上記浸漬時間が上記下限に満たないと、金属層３ａの一方側の面に付着した上記アルカリ金属水酸化物等を十分に除去することができないおそれがある。逆に、上記浸漬時間が上記上限を超える場合、アルカリ元素が過剰に除去されるおそれがある。

上記水洗工程は１回のみ行ってもよい。但し、上記アルカリ金属水酸化物等をより的確に除去する点から、当該プリント配線板用基材の製造方法では、上記水洗工程を複数回行うことが好ましい。上記水洗工程を複数回行う場合、上記水洗工程の回数の下限としては、２回が好ましく、３回がより好ましい。一方、上記水洗工程の回数の上限としては、５回が好ましく、４回がより好ましい。上記水洗工程の回数が上記下限に満たないと、当該プリント配線板用基材の製造方法によって得られる当該プリント配線板用基材１の金属層３の一方側の面のアルカリ元素量が多くなり過ぎるおそれがある。逆に、上記水洗工程の回数が上記上限を超えると、当該プリント配線板用基材の製造方法によって得られる当該プリント配線板用基材１の金属層３の一方側の面のアルカリ元素量が不十分となるおそれがある。

［第二実施形態］
＜プリント配線板用基材＞
図３のプリント配線板用基材１１は、絶縁性を有するベースフィルム２と、ベースフィルム２の一方側の面に積層される金属層１３とを備える。当該プリント配線板用基材１１は、金属層１３の一方側の面（ベースフィルム２と積層される側と反対側の面）のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。当該プリント配線板用基材１１は、フレキシブルプリント配線板用基材であり、可撓性を有する。当該プリント配線板用基材１１のベースフィルム２は、図１のプリント配線板用基材１と同様のため、同一符号を付して説明を省略する。

（金属層）
金属層１３は、ベースフィルム２の一方側の面に直接（つまり、接着剤層等の他の層を介さず）積層されている。金属層１３は無電解めっき金属を含む。また、金属層１３は、無電解めっき金属に加え金属粒子の焼結体を含む。上記無電解めっき金属は、上記焼結体の一方側の面（ベースフィルム２と積層される側と反対側の面）に積層されている。さらに、上記無電解めっき金属は、上記焼結体の空隙に充填されている。これにより、金属層１３は、金属粒子の焼結体から形成される焼結体層１４と、上記無電解めっき金属によって形成される無電解めっき層１５とを有する。

当該プリント配線板用基材１１は、上記無電解めっき金属が上記焼結体の一方側の面に積層されているので、ベースフィルム２との密着力に優れる金属層１３を比較的安価に形成することができる。

焼結体層１４は、複数の上記金属粒子同士が金属酸化物等によって固着された構成を有する。上記金属粒子を構成する金属としては、銅、ニッケル、アルミニウム、金、銀等が挙げられる。中でも、導電性及びベースフィルム２との密着力及びエッチング性に優れる銅が好ましい。

上記金属粒子の平均粒子径の下限としては、１ｎｍが好ましく、１０ｎｍがより好ましく、３０ｎｍがさらに好ましい。一方、上記金属粒子の平均粒子径の上限としては、５００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましく、１００ｎｍがさらに好ましい。つまり、上記金属粒子は、平均粒子径が上記範囲内の金属ナノ粒子であることが好ましい。上記平均粒子径が上記下限より小さいと、焼結体層１４を形成する際に用いられるインク中での金属粒子の分散性及び安定性が低下するおそれがある。逆に、上記平均粒子径が上記上限を超えると、上記インク中で金属粒子が沈殿しやすくなるおそれがあると共に、インクを塗布した際に金属粒子の密度が不均一になるおそれがある。なお、上記金属粒子は、全てが金属ナノ粒子であることが好ましいが、金属ナノ粒子及びこの金属ナノ粒子以外の粒子（つまり、粒子径が１０００ｎｍ以上の金属粒子）を含んでいてもよい。焼結体層１４が上記金属ナノ粒子及びこの金属ナノ粒子以外の金属粒子を含む場合、全金属粒子１００質量部に対する上記金属ナノ粒子の含有割合の下限としては、７０質量部が好ましく、９０質量部がより好ましい。なお、「平均粒子径」とは、レーザー回折法により測定される粒子径の分布において体積積算値が５０％となる粒子径を意味する。

焼結体層１４の平均厚さの下限としては、１０ｎｍが好ましく、５０ｎｍがより好ましく、１００ｎｍがさらに好ましい。一方、焼結体層１４の平均厚さの上限としては、１０００ｎｍが好ましく、７００ｎｍがより好ましく、５００ｎｍがさらに好ましい。焼結体層１４の平均厚さが上記下限より小さいと、平面視において焼結体層１４に切れ目が生じて導電性が低下するおそれがある。逆に、焼結体層１４の平均厚さが上記上限を超えると、例えばセミアディティブ法による配線形成に適用した際、導電パターン間の焼結体層１４の除去に時間を要し、生産性が低下するおそれがある。

無電解めっき層１５は、図１のプリント配線板１の金属層３と同様の無電解めっきによって形成される。無電解めっき層１５は、焼結体層１４の一方側の面の全面を被覆している。つまり、金属層１３の一方側の面は全て無電解めっき層１５によって構成されている。金属層１３の一方側の面を基準とする無電解めっき層１５の平均被覆深さの下限としては、２００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましい。一方、上記平均被覆深さの上限としては、１０００ｎｍが好ましく、５００ｎｍがより好ましい。上記平均被覆深さが上記範囲内であることによって、上述のアルカリ元素を金属層１３の内部の厚さ方向に亘って均一に存在させやすい。つまり、上記平均被覆深さが上記範囲内である場合、無電解めっき層１５の内部に加え、上記焼結体の空隙に上述のアルカリ元素を均一に行き渡らせや層１４の一方側の面との厚さ方向距離の平均値をいう。

金属層１３の一方側の面のアルカリ元素及びアルカリ元素量としては、図１のプリント配線板用基材１と同様とすることができる。

＜プリント配線板用基材の製造方法＞
次に、図４Ａ〜図４Ｃを参照して、図３のプリント配線板用基材１１の製造方法について説明する。

当該プリント配線板用基材の製造方法は、絶縁性を有するベースフィルム２の一方側の面に金属層１３ａを積層する金属層積層工程と、金属層１３ａの一方側の面のアルカリ元素量を０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下とするアルカリ元素量調整工程とを備える。上記アルカリ元素量調整工程としては、図２Ｂ及び図２Ｃのアルカリ元素量調整工程と同様とすることができるため、説明を省略する。

（金属層積層工程）
上記金属層積層工程は、金属粒子１６を含む導電性インクの塗布によりベースフィルム２の一方側の面に塗膜１７を形成する塗膜形成工程と、塗膜１７の焼成により金属粒子１６の焼結体１４ａから構成される焼結体層１４を形成する焼結体層形成工程と、無電解めっきによって焼結体層１４の一方側の面に無電解めっき層１５ａを積層する無電解めっき層積層工程とを備える。

〔塗膜形成工程〕
上記塗膜形成工程では、図４Ａに示すように、ベースフィルム２の一方側の面に金属粒子１６を含む導電性インクを塗布し、この導電性インクを乾燥させることで塗膜１７を形成する。なお、塗膜１７には、上記導電性インクの分散媒等が含まれていてもよい。

〈金属粒子〉
上記インクに分散させる金属粒子１６は、高温処理法、液相還元法、気相法等で製造することができる。中でも、液相還元法によれば、製造コストをより低減できる上、水溶液中での攪拌等により、容易に金属粒子１６の粒子径を均一にすることができる。金属粒子１６は、このように、高温処理法、液相還元法、気相法等で製造されることによって、例えば平均粒子径が１ｎｍ以上５００ｎｍ以下に調整される。

液相還元法によって金属粒子１６を製造するためには、例えば水に金属粒子１６を形成する金属のイオンのもとになる水溶性の金属化合物と分散剤とを溶解すると共に、還元剤を加えて一定時間金属イオンを還元反応させればよい。液相還元法の場合、製造される金属粒子１６は形状が球状又は粒状で揃っており、しかも微細な粒子とすることができる。上記金属イオンのもとになる水溶性の金属化合物として、例えば銅の場合は硝酸銅（ＩＩ）（Ｃｕ（ＮＯ_３）_２）、硫酸銅（ＩＩ）五水和物（ＣｕＳＯ_４・５Ｈ_２Ｏ）等が挙げられる。また銀の場合は硝酸銀（Ｉ）（ＡｇＮＯ_３）、メタンスルホン酸銀（ＣＨ_３ＳＯ_３Ａｇ）等、金の場合はテトラクロロ金（ＩＩＩ）酸四水和物（ＨＡｕＣｌ_４・４Ｈ_２Ｏ）、ニッケルの場合は塩化ニッケル（ＩＩ）六水和物（ＮｉＣｌ_２・６Ｈ_２Ｏ）、硝酸ニッケル（ＩＩ）六水和物（Ｎｉ（ＮＯ_３）_２・６Ｈ_２Ｏ）等が挙げられる。他の金属粒子についても、塩化物、硝酸化合物、硫酸化合物等の水溶性の化合物を用いることができる。

上記還元剤としては、液相（水溶液）の反応系において、金属イオンを還元及び析出させることができる種々の還元剤を用いることができる。この還元剤としては、例えば水素化ホウ素ナトリウム、次亜リン酸ナトリウム、ヒドラジン、３価のチタンイオンや２価のコバルトイオン等の遷移金属のイオン、アスコルビン酸、グルコースやフルクトース等の還元性糖類、エチレングリコールやグリセリン等の多価アルコールなどが挙げられる。中でも、上記還元剤としては３価のチタンイオンが好ましい。なお、３価のチタンイオンを還元剤とする液相還元法は、チタンレドックス法という。チタンレドックス法では、３価のチタンイオンが４価に酸化される際の酸化還元作用によって金属イオンを還元し、金属粒子を析出させる。チタンレドックス法で得られる金属粒子１６は、粒子径が小さくかつ揃っているため、金属粒子１６がより高密度に充填され、塗膜１７をより緻密な膜に形成することができる。

金属粒子１６の粒子径を調整するには、金属化合物、分散剤及び還元剤の種類並びに配合割合を調整すると共に、金属化合物を還元反応させる際に、攪拌速度、温度、時間、ｐＨ等を調整すればよい。反応系のｐＨの下限としては７が好ましく、反応系のｐＨの上限としては１３が好ましい。反応系のｐＨを上記範囲とすることで、微小な粒子径の金属粒子１６を得ることができる。このときｐＨ調整剤を用いることで、反応系のｐＨを上記範囲に容易に調整することができる。このｐＨ調整剤としては、塩酸、硫酸、硝酸、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア等の一般的な酸又はアルカリが使用できるが、特に周辺部材の劣化を防止するために、アルカリ金属、アルカリ土類金属、ハロゲン元素、硫黄、リン、ホウ素等の不純物を含まない硝酸及びアンモニアが好ましい。

金属粒子１６の平均粒子径の下限としては、１ｎｍが好ましく、１０ｎｍがより好ましく、３０ｎｍがさらに好ましい。一方、金属粒子１６の平均粒子径の上限としては、５００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましく、１００ｎｍがさらに好ましい。金属粒子１６の平均粒子径が上記下限より小さいと、インク中での金属粒子１６の分散性及び安定性が低下するおそれがある。一方、金属粒子１６の平均粒子径が上記上限を超えると、金属粒子１６が沈殿しやすくなるおそれがあると共に、インクを塗布した際に金属粒子１６の密度が不均一になるおそれがある。

インク中の金属粒子１６の含有割合の下限としては、５質量％が好ましく、１０質量％がより好ましく、２０質量％がさらに好ましい。また、インク中の金属粒子１６の含有割合の上限としては、５０質量％が好ましく、４０質量％がより好ましく、３０質量％がさらに好ましい。金属粒子１６の含有割合を上記下限以上とすることで、塗膜１７をより緻密な膜に形成することができる。一方、金属粒子１６の含有割合が上記上限を超えると、塗膜１７の膜厚が不均一になるおそれがある。

〈その他の成分〉
上記導電性インクには、金属粒子１６以外に分散剤が含まれていてもよい。この分散剤としては、特に限定されず、金属粒子１６を良好に分散させることができる種々の分散剤を用いることができる。

上記分散剤は、周辺部材の劣化防止の観点より、硫黄、リン、ホウ素、ハロゲン及びアルカリを含まないものが好ましい。好ましい分散剤としては、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子分散剤、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等の分子中にカルボキシ基を有する炭化水素系の高分子分散剤、ポバール（ポリビニルアルコール）、スチレン−マレイン酸共重合体、オレフィン−マレイン酸共重合体、１分子中にポリエチレンイミン部分とポリエチレンオキサイド部分とを有する共重合体等の極性基を有する高分子分散剤などを挙げることができる。

分散剤の分子量の下限としては、２，０００が好ましく、分散剤の分子量の上限としては、３００，０００が好ましい。分子量が上記範囲の分散剤を用いることで、金属粒子１６を導電性インク中に良好に分散させることができ、塗膜１７の膜質を緻密でかつ欠陥のないものにすることができる。上記分散剤の分子量が上記下限より小さいと、金属粒子１６の凝集を防止して分散を維持する効果が十分に得られないおそれがある。逆に、上記分散剤の分子量が上記上限を超えると、分散剤の嵩が大きすぎて、塗膜１７の焼成時において、金属粒子１６同士の焼結を阻害してボイドを生じさせるおそれがある。また、分散剤の嵩が大きすぎると、塗膜１７の緻密さが低下したり、分散剤の分解残渣が導電性を低下させるおそれがある。

上記分散剤は、水又は水溶性有機溶媒に溶解させた溶液の状態で導電性インクに配合することもできる。導電性インクに分散剤を配合する場合、分散剤の含有割合の下限としては、１００質量部の金属粒子１６に対して１質量部が好ましい。一方、分散剤の含有割合の上限としては、１００質量部の金属粒子１６に対して６０質量部が好ましい。上記分散剤の含有割合が上記下限に満たないと、金属粒子１６の凝集防止効果が不十分となるおそれがある。逆に、上記分散剤の含有割合が上記上限を超えると、塗膜１７の焼成時に過剰の分散剤が金属粒子１６の焼結を阻害してボイドが発生するおそれがあり、また、分散剤の分解残渣が不純物として焼結体層１４中に残存して導電性を低下させるおそれがある。

上記導電性インクにおける分散媒としては、例えば水が使用できる。水を分散媒とする場合、水の含有割合の下限としては、１００質量部の金属粒子１６に対して２０質量部が好ましい。また、水の含有割合の上限としては、１００質量部の金属粒子１６に対して１，９００質量部が好ましい。分散媒である水は、例えば分散剤を十分に膨潤させて分散剤で囲まれた金属粒子１６を良好に分散させる役割を果たすが、上記水の含有割合が上記下限に満たないと、この分散剤の膨潤効果が不十分となるおそれがある。一方、上記水の含有割合が上記上限を超えると、導電性インク中の金属粒子１６の含有割合が少なくなり、必要な厚さと密度とを有する良好な焼結体層１４を形成できないおそれがある。

上記導電性インクに必要に応じて配合する有機溶媒として、水溶性である種々の有機溶媒が使用可能である。その具体例としては、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ｓｅｃ−ブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、エチレングリコール、グリセリン等の多価アルコールやその他のエステル類、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。

水溶性の有機溶媒の含有割合としては、金属粒子１００質量部当たり３０質量部以上９００質量部以下が好ましい。上記水溶性の有機溶媒の含有割合が上記下限に満たないと、上記有機溶媒による分散液の粘度調整及び蒸気圧調整の効果が十分に得られないおそれがある。逆に、上記水溶性の有機溶媒の含有割合が上記上限を超えると、水による分散剤の膨潤効果が不十分となり、導電性インク中で金属粒子の凝集が生じるおそれがある。

なお、液相還元法で金属粒子１６を製造する場合、液相（水溶液）の反応系で析出させた金属粒子１６は、ろ別、洗浄、乾燥、解砕等の工程を経て、一旦粉末状としたものを用いて導電性インクを調製することができる。この場合は、粉末状の金属粒子１６と、水等の分散媒と、必要に応じて分散剤、有機溶媒等とを所定の割合で配合し、金属粒子１６を含む導電性インクとすることができる。このとき、金属粒子１６を析出させた液相（水溶液）を出発原料として導電性インクを調製することが好ましい。具体的には、析出した金属粒子１６を含む液相（水溶液）を限外ろ過、遠心分離、水洗、電気透析等の処理に供して不純物を除去し、必要に応じて濃縮して水を除去する。又は、逆に水を加えて金属粒子１６の濃度を調節した後、さらに必要に応じて有機溶媒を所定の割合で配合することによって金属粒子１６を含む導電性インクを調製する。この方法では、金属粒子１６の乾燥時の凝集による粗大で不定形な粒子の発生を防止することができ、緻密で均一な焼結体層１４を形成しやすい。

〈導電性インクの塗布方法〉
金属粒子１６を分散させた導電性インクをベースフィルム２の一方側の面に塗布する方法としては、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ダイコート法、スリットコート法、ロールコート法、ディップコート法等の従来公知の塗布法を用いることができる。また、スクリーン印刷、ディスペンサ等によりベースフィルム２の一方側の面の一部のみに導電性インクを塗布するようにしてもよい。導電性インクの塗布後、例えば室温以上の温度で乾燥することにより塗膜１７が形成される。乾燥温度の上限としては、１００℃が好ましく、４０℃がより好ましい。乾燥温度が上記上限を超えると、塗膜１７の急激な乾燥により、塗膜１７にクラックが発生するおそれがある。

〔焼結体層形成工程〕
上記焼結体層形成工程では、図４Ｂに示すように、塗膜１７の焼成により金属粒子１６の焼結体１４ａを含む焼結体層１４を形成する。

〈焼成〉
上記焼成により金属粒子１６同士が焼結すると共に、焼結体１４ａがベースフィルム２の一方側の面に固着される。なお、導電性インクに含まれ得る分散剤やその他の有機物は、焼成によって揮発又は分解される。また、焼結体１４ａとベースフィルム２との界面近傍では、焼成によって金属粒子１６が酸化されるため、金属粒子１６に基づく金属水酸化物やその金属水酸化物に由来する基の生成を抑えつつ、金属粒子１６に基づく金属酸化物やその金属酸化物に由来する基が生成する。この焼結体１４ａとベースフィルム２との界面近傍に生成した金属酸化物及び金属酸化物に由来する基は、ベースフィルム２を構成するポリイミド等の樹脂と強く結合するため、ベースフィルム２と焼結体１４ａとの間の密着力が大きくなる。

上記焼成は、焼結体１４ａとベースフィルム２との界面近傍の金属粒子１６の酸化を促進させるため、一定量の酸素が含まれる雰囲気下で行うことが好ましい。この場合、焼成雰囲気の酸素濃度の下限としては、１体積ｐｐｍが好ましく、１０体積ｐｐｍがより好ましい。一方、上記酸素濃度の上限としては、１０，０００体積ｐｐｍが好ましく、１，０００体積ｐｐｍがより好ましい。上記酸素濃度が上記下限に満たないと、焼結体１４ａとベースフィルム２との界面近傍における金属酸化物及び金属酸化物に由来する基の生成量が少なくなり、ベースフィルム２と焼結体１４ａとの間の密着力を十分に向上させることができなくなるおそれがある。逆に、上記酸素濃度が上記上限を超えると、金属粒子１６の過度の酸化により焼結体１４ａの導電性が低下するおそれがある。

上記焼成の温度の下限としては、１５０℃が好ましく、２００℃がより好ましい。一方、上記焼成の温度の上限としては、５００℃が好ましく、４００℃がより好ましい。上記焼成の温度が上記下限に満たないと、焼結体１４ａとベースフィルム２との界面近傍における金属酸化物及び金属酸化物に由来する基の生成量が少なくなり、ベースフィルム２と焼結体１４ａとの間の密着力を十分に向上させることができなくなるおそれがある。逆に、上記焼成の温度が上記上限を超えると、ベースフィルム２が変形するおそれがある。なお、焼成時間については、特に限定されないが、例えば３０分以上６００分以下の範囲とすればよい。

〔無電解めっき層積層工程〕
上記無電解めっき積層工程では、図４Ｃに示すように、焼結体１４ａの一方側の面に無電解めっき層１５ａを積層する。上記無電解めっきに用いる金属としては、図２Ａの金属層積層工程で用いる金属と同様の金属が挙げられる。

上記無電解めっき層積層工程では、焼結体１４ａの一方側の面の全面を無電解めっき層１５ａによって被覆する。これにより、金属層１３ａの一方側の面は全て無電解めっき層１５ａによって構成される。上記無電解めっき積層工程で積層される無電解めっき層１５ａの金属層１３ａの一方側の面を基準とする平均被覆深さの下限としては、２００ｎｍが好ましく、３００ｎｍがより好ましい。一方、上記平均被覆深さの上限としては、１０００ｎｍが好ましく、５００ｎｍがより好ましい。上記平均被覆深さが上記範囲内であることによって、上述のアルカリ元素を金属層１３ａの内部の厚さ方向に亘って均一に存在させやすい。つまり、上記平均被覆深さが上記範囲内である場合、無電解めっき層１５ａの内部に加え、上記焼結体１４ａの空隙に上述のアルカリ元素を均一に行き渡らせやすい。

当該プリント配線板用基材の製造方法は、焼結体１４ａの一方側の面に無電解めっきによって形成される無電解めっき層１５ａを積層する無電解めっき層積層工程を備えているので、ベースフィルム２との密着力に優れる金属層１３を比較的安価に形成することができる。

＜プリント配線板＞
図５のプリント配線板２１は、図３のプリント配線板用基材１１を用いている。詳細には、当該プリント配線板２１は、図３のプリント配線板用基材１１の無電解めっき層１５の一方側の面に電気めっき層２２が積層されたプリント配線板用基材を用いている。電気めっき層２２は、無電解めっき層１５の一方側の面に直接積層されている。電気めっき層２２は、電気めっきによって形成される電気めっき金属を含む。

当該プリント配線板２１は、ベースフィルム２の一方側の面に導電パターン２３が形成されている。導電パターン２３は、当該プリント配線板用基材１１の無電解めっき層１５の一方側の面に電気めっき層２２が積層された積層体をパターニングしたもので、この積層体の一部を含む。この際のパターニング方法としては、例えば上記積層体にレジストパターン等のマスキングを施してエッチングする方法（サブトラクティブ法）を採用することができる。

当該プリント配線板２１は、当該プリント配線板用基材１１を用いているので無電解めっき層１５の一方側の面（電気めっき層２２との積層面）のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下である。そのため、当該プリント配線板２１は、ベースフィルム２及び導電パターン２３の密着力、特に耐熱密着力に優れる。また、当該プリント配線板２１は、当該プリント配線板用基材１１が優れたエッチング性を有することから、微細回路の形成が容易である。なお、無電解めっき層の一方側の面のアルカリ元素量は、例えばＥＤＸ法又はＥＤＳ法によって測定可能である。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

例えば、当該プリント配線板用基材は、ベースフィルムの片面のみに金属層が積層される必要はなく、ベースフィルムの両面に金属層が積層されていてもよい。

当該プリント配線板用基材は、必ずしもフレキシブルプリント配線板用基材である必要はなく、リジッド基材であってもよい。この場合、上記ベースフィルムの主成分としては、例えば紙フェノール、紙エポキシ、ガラスコンポジット、ガラスエポキシ、ガラス基材等の硬質材、軟質材と硬質材とを複合したリジッドフレキシブル材などが挙げられる。

当該プリント配線板用基材は、上記金属層の一方側の面に他の金属層が積層されていてもよい。この他の金属層としては、特に限定されるものではないが、例えば電気めっきによって形成される電気めっき層が挙げられる。また、この電気めっき層の主成分としては、例えば銅、ニッケル、コバルト、金、銀、スズ及びこれらの合金等が挙げられる。中でも、比較的安価で、かつエッチング性に優れる銅が好ましい。

当該プリント配線板は、例えば図１のプリント配線板用基材１を用いて形成されてもよい。

当該プリント配線板は、セミアディティブ法によって導電パターンを形成したものであってもよい。

上記アルカリ元素量調整工程では、上述のように酸洗浄工程の後に水洗浄工程を行うことが好ましいが、水洗浄工程の後に酸洗浄工程を行うことも可能である。

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

［Ｎｏ．１］
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルム（株式会社カネカ製「アピカルＮＰＩ」）からなるベースフィルムを用意した。硫酸銅８．５ｇ／ｌ、ホルムアルデヒド４．１ｇ／ｌ及び水酸化ナトリウム４．５ｇ／ｌを含む無電解めっき浴を建浴し、上記ベースフィルムを７分間浸漬し、このベースフィルムの一方側の面に無電解めっき金属から構成される平均厚さ４２０ｎｍの金属層を積層した。さらに、このベースフィルム及び金属層の積層体を濃度１０体積％の硫酸浴に３０秒間浸漬した後、３０秒間×３回の水洗を行い、Ｎｏ．１のプリント配線板用基材を製造した。このプリント配線板用基材の金属層の一方側の面（ベースフィルムと積層される側と反対側の面）をアルバック・ファイ株式会社製の「ＱｕａｎｔｅｒａＳＸＭ」を用いたＸ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）によって測定したところ、ナトリウム量は５．８ａｔｍ％であった。この金属層の一方側の面に電気めっきにて電気めっき層を積層し、金属層及び電気めっき層の合計厚さを１８μｍとした。

［Ｎｏ．２］
Ｎｏ．１と同様のポリイミドフィルムからなるベースフィルムを用意した。Ｎｏ．１と同様の無電解めっき浴を建浴し、上記ベースフィルムを７分間浸漬し、このベースフィルムの一方側の面に無電解めっき金属から構成される平均厚さ４５０ｎｍの金属層を積層した。さらに、このベースフィルム及び金属層の積層体を濃度５体積％の硫酸浴に９０秒間浸漬した後、３０秒間×３回の水洗を行い、Ｎｏ．２のプリント配線板用基材を製造した。このプリント配線板用基材の金属層の一方側の面をＮｏ．１と同様のＸ線光電子分光法によって測定したところ、ナトリウム量は１８．５ａｔｍ％であった。この金属層の一方側の面に電気めっきにて電気めっき層を積層し、金属層及び電気めっき層の合計厚さを１８μｍとした。

［Ｎｏ．３］
Ｎｏ．１と同様のポリイミドフィルムからなるベースフィルムを用意した。Ｎｏ．１と同様の無電解めっき浴を建浴し、上記ベースフィルムを７分間浸漬し、このベースフィルムの一方側の面に無電解めっき金属から構成される平均厚さ４５０ｎｍの金属層を積層した。さらに、このベースフィルム及び金属層の積層体を濃度１０体積％の硫酸浴に１８０秒間浸漬した後、３０秒間×３回の水洗を行い、Ｎｏ．３のプリント配線板用基材を製造した。このプリント配線板用基材の金属層の一方側の面をＮｏ．１と同様のＸ線光電子分光法によって測定したところ、ナトリウム量は０．３ａｔｍ％であった。この金属層の一方側の面に電気めっきにて電気めっき層を積層し、金属層及び電気めっき層の合計厚さを１８μｍとした。

［Ｎｏ．４］
Ｎｏ．１と同様のポリイミドフィルムからなるベースフィルムを用意した。Ｎｏ．１と同様の無電解めっき浴を建浴し、上記ベースフィルムを７分間浸漬し、このベースフィルムの一方側の面に無電解めっき金属から構成される平均厚さ３８０ｎｍの金属層を積層した。さらに、このベースフィルム及び金属層の積層体を濃度１０体積％の硫酸浴に２００秒間浸漬した後、３０秒間×３回の水洗を行い、Ｎｏ．４のプリント配線板用基材を製造した。このプリント配線板用基材の金属層の一方側の面をＮｏ．１と同様のＸ線光電子分光法によって測定したところ、ナトリウム量は０．１ａｔｍ％であった。この金属層の一方側の面に電気めっきにて電気めっき層を積層し、金属層及び電気めっき層の合計厚さを１８μｍとした。

［Ｎｏ．５］
Ｎｏ．１と同様のポリイミドフィルムからなるベースフィルムを用意した。Ｎｏ．１と同様の無電解めっき浴を建浴し、上記ベースフィルムを７分間浸漬し、このベースフィルムの一方側の面に無電解めっき金属から構成される平均厚さ４３０ｎｍの金属層を積層した。さらに、このベースフィルム及び金属層の積層体に３０秒間×３回の水洗を行い、Ｎｏ．５のプリント配線板用基材を製造した。このプリント配線板用基材の金属層の一方側の面をＮｏ．１と同様のＸ線光電子分光法によって測定したところ、ナトリウム量は２５．１ａｔｍ％であった。この金属層の一方側の面に電気めっきにて電気めっき層を積層し、金属層及び電気めっき層の合計厚さを１８μｍとした。

（初期密着力）
Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５の電気めっき層形成後のプリント配線板用基材のベースフィルムと金属層との間の剥離強度（初期密着力）をＪＩＳ−Ｃ６４７１：１９９５に準拠する１８０°方向引き剥がし試験により測定した。この剥離強度の測定結果を表１に示す。

（耐熱密着力）
Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５の電気めっき層形成後のプリント配線板用基材を１５０℃大気の雰囲気下で１６８時間保持した後におけるベースフィルムと金属層との剥離強度（耐熱密着力）をＪＩＳ−Ｃ６４７１：１９９５に準拠する１８０°方向引き剥がし試験により測定した。この剥離強度の測定結果を表１に示す。

＜評価結果＞
表１に示すように、金属層の一方側の面のナトリウム量が０．１ａｔｍ％〜１８．５ａｔｍ％の範囲内であるＮｏ．１〜Ｎｏ．４のプリント配線板用基材は、金属層の一方側の面のナトリウム量が２５．１ａｔｍ％であるＮｏ．５のプリント配線板用基材よりも初期密着力及び耐熱密着力がいずれも高くなっている。中でも、金属層の一方側の面のナトリウム量が５．８ａｔｍ％、１８．５ａｔｍ％及び０．３ａｔｍ％であるＮｏ．１〜Ｎｏ．３のプリント配線板用基材は、金属層の一方側の面のナトリウム量が０．１ａｔｍ％であるＮｏ．４のプリント配線板用基材よりも初期密着力及び耐熱密着力が共に高くなっており、かつ初期密着力に対する耐熱密着力の比も高くなっている。このことから、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３のプリント配線板用基材は、室温環境下及び高温環境下の両環境下における耐久性が特に優れていることが分かる。

以上のように、本発明のプリント配線板用基材は、エッチング性及びベースフィルムとの密着力に優れる金属層を有しているので、例えば小型の電子機器等に使用されるプリント配線板用基材として適している。

１，１１ プリント配線板用基材
２ ベースフィルム
３，３ａ，１３，１３ａ 金属層
４ 積層体
１４ 焼結体層
１４ａ 焼結体
１５，１５ａ 無電解めっき層
１６ 金属粒子
１７ 塗膜
２１ プリント配線板
２２ 電気めっき層
２３ 導電パターン
Ｘ 酸性溶液
Ｙ 水

Claims (5)

1. 絶縁性を有するベースフィルムと、
   このベースフィルムの一方側の面に積層される金属層と
   を備え、
   上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量が０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下であるプリント配線板用基材。
2. 上記金属層が無電解めっき金属を含む請求項１に記載のプリント配線板用基材。
3. 上記金属層が金属粒子の焼結体をさらに含み、上記無電解めっき金属が上記焼結体の一方側の面に積層されている請求項２に記載のプリント配線板用基材。
4. 上記アルカリ元素がナトリウムであり、上記金属層の主成分が銅である請求項１、請求項２又は請求項３に記載のプリント配線板用基材。
5. 絶縁性を有するベースフィルムの一方側の面に金属層を積層する金属層積層工程と、
   上記金属層の一方側の面のアルカリ元素量を０．１ａｔｍ％以上２０ａｔｍ％以下とするアルカリ元素量調整工程と
   を備えるプリント配線板用基材の製造方法。

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