JP2019035969A - 反射防止膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1. 薄膜形成装置
1.1 薄膜形成装置の全体概要
1.2 光学特性の測定部
1.3 スパッタ室
1.4 反応性ガスの供給部
1.5 スパッタ室の制御
2.薄膜形成方法
3.光学膜の製造方法
4.実施例
本発明の実施の形態に係る薄膜形成装置は、基材フィルムが長手方向に連続的に供給され、基材フィルム上に形成された薄膜の幅方向の光学特性を測定する測定部と、基材フィルムの幅方向に複数のガスノズルが設けられ、ターゲット近傍に反応性ガスを供給する供給部と、測定部における幅方向の光学特性に基づいて、各ガスノズルから噴出する反応性ガスの流量を制御する制御部とを備え、長手方向及び幅方向に均一な厚みの薄膜を形成可能としたものである。
図1は、本発明の一実施の形態に係る薄膜形成装置の概略を示す斜視図である。この薄膜形成装置は、巻出部である巻出ロール11からベースフィルム1を供給し、薄膜が形成されたベースフィルム1を巻取部である巻取ロール12によって巻き取る。また、真空チャンバー内に成膜ユニットである第1の成膜室ユニット及び第2の成膜室ユニットを備える。真空チャンバーは、空気の排出を行う真空ポンプと接続され、所定の真空度に調整可能である。
次に、光学モニター31、32にて光学特性を測定する光学測定システムについて説明する。図2は、光学測定システムを示す図である。光学測定システムは、光学ヘッド331を有する光学測定部33と、光学ヘッド331をベースフィルムの幅方向に移動させる駆動部34と、光学ヘッド331に光を供給する光源35と、光学ヘッド331で受光した光のスペクトルを測定する分光器36と、所望のスペクトルの測定結果を出力する測定制御部37とを備える。
次に、キャンロール21、22の外周面に対向するように固定されたスパッタ室について説明する。スパッタ室で用いられるスパッタ法としては、マグネトロンスパッタ法、直流グロー放電や高周波によって発生させたプラズマを利用するだけの2極スパッタ方式、熱陰極を付加する3極スパッタ方式などを用いることができる。
次に、スパッタ室において、ターゲットの長手方向、すなわちベースフィルムの幅方向に複数のガスノズルを備える供給部44a、44bについて説明する。
図8は、スパッタ室のガスの流量を制御する制御システムを示す図である。この制御システムは、複数のガスノズルを有する供給部44a、44bと、各ガスノズルに導入するガスの質量流量を制御するマスフローコントローラ55と、プラズマの発光スペクトルを測定するプラズマ測定部であるプラズマ発光モニター56と、マスフローコントローラ55におけるガスの流量やスパッタ電極に印加する電圧を制御するコントローラ57とを備える。
次に、前述した薄膜形成装置を用いた薄膜形成方法について説明する。
次に、前述した薄膜形成装置を用いて、多層の光学膜を製造する光学膜の製造方法について説明する。
(イ)所定のスパッタ室を通電して、調整用の基材フィルム上に、多層の薄膜からなる反射防止膜のうち任意の単層の薄膜を目標とする厚みより厚く形成する工程
(ロ)単層の薄膜の反射特性を測定し、反射スペクトルのピーク値(又は、ボトム値)が、所望の範囲に該当することを確認する工程
(ハ)任意の他の層について、上記(イ)(ロ)を繰り返す工程
(ニ)上記の(イ)〜(ハ)で使用される所定のスパッタ室を全て通電し、調整用の基材フィルム上に多層の薄膜からなる反射防止膜を形成する工程
(ホ)前記反射防止膜の反射特性を測定し、反射スペクトルのピーク値及び色相が所望の範囲に該当することを確認する工程
(へ)該当しない場合、該当するスパッタ室のガスの流量、スパッタ電圧を調整する工程(ト)調整用の基材フィルムを、偏光板フィルムに切り替え、本成膜を行う工程
以下、本発明の実施例について説明する。本実施例では、光学膜として反射防止膜を偏光板上に成膜した。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
Claims (4)
- 薄膜形成装置を用いて偏光フィルム上に多層の薄膜からなる反射防止膜を形成する反射防止膜の製造方法であって、
(イ)前記薄膜形成装置に備わる所定のスパッタ室を通電して、調整用基材フィルム上に、前記多層の薄膜からなる前記反射防止膜のうち任意の単層の薄膜を目標とする厚みより厚く形成する工程と、
(ロ)前記単層の薄膜の反射特性を測定し、反射スペクトルのピーク値又はボトム値が所望の範囲に該当することを確認する工程と、
(ハ)任意の他の層について、前記(イ)の工程と前記(ロ)の工程を繰り返す工程と、
(ニ)前記(イ)〜(ハ)の工程で使用される前記所定のスパッタ室を全て通電し、前記調整用基材フィルム上に多層の薄膜からなる前記反射防止膜を形成する工程と、
(ホ)前記反射防止膜の反射特性を測定し、反射スペクトルのピーク値及び色相が所望の範囲に該当することを確認する工程と、
(へ)前記(ホ)の工程で前記所望の範囲に該当しない場合、該当するスパッタ室のガスの流量、スパッタ電圧を調整する工程と、
(ト)前記調整用基材フィルムを偏光板フィルムに切り替え、本成膜を行う工程と、を有する反射防止膜の製造方法。 - 前記(イ)〜(ハ)の工程において、フィルム速度を低下させて成膜厚さを大きくして幅方向の光学厚み分布を調整する請求項1に記載の反射防止膜の製造方法。
- 前記(ロ)の工程において、前記反射スペクトルのピーク波長又はボトム波長が450nm以上650nm以下の範囲になるように前記フィルム速度を設定する請求項2に記載の反射防止膜の製造方法。
- 前記(ヘ)の工程において、各層について単層の幅方向の前記反射スペクトルの前記ピーク波長又は前記ボトム波長が±15nm以内となるように前記ガスの流量、前記スパッタ電圧を調整する請求項1乃至3の何れか1項に記載の反射防止膜の製造方法。
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