JP2019035051A - Resin composition - Google Patents

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Abstract

To provide a resin composition that makes it possible to obtain an insulating layer having a low dielectric constant and being excellent in temperature stability of dielectric loss tangent.SOLUTION: A resin composition contains (A) an epoxy resin, (B) a maleimide compound, (C) an inorganic filler, and (D) a fluorine-based filler, with the content of (B) component being 10 mass%-70 mass% to (A) component 100 mass%.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂組成物、シート状積層材料、回路基板、及び半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition, a sheet-like laminated material, a circuit board, and a semiconductor device.

回路基板の製造技術としては、内層基板に絶縁層と導体層とを交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。絶縁層は、一般に、樹脂組成物を含む樹脂ワニスの塗膜として樹脂組成物層を得て、この樹脂組成物層を硬化させることにより、形成される。例えば、特許文献1には、エポキシ樹脂と、硬化剤と、フッ素樹脂フィラーとを含む樹脂組成物であって、かかるフッ素樹脂フィラーの含有量が、前記樹脂組成物の固形分に対して、50質量%〜85質量%であることを特徴とする樹脂組成物が記載されている。   As a circuit board manufacturing technique, a build-up manufacturing method in which an insulating layer and a conductor layer are alternately stacked on an inner layer substrate is known. The insulating layer is generally formed by obtaining a resin composition layer as a coating film of a resin varnish containing the resin composition and curing the resin composition layer. For example, Patent Document 1 discloses a resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, and a fluororesin filler, and the content of the fluororesin filler is 50 with respect to the solid content of the resin composition. A resin composition characterized in that it is from mass% to 85 mass% is described.

特開2016−166347号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2006-166347

絶縁層を形成するために樹脂組成物は、高い絶縁性能を達成する観点から、一般に、熱硬化性樹脂を多く含む。この熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂を用いることが通常であった。これに対し、本発明者は、誘電率の低い絶縁層を開発するべく、エポキシ樹脂を含む樹脂組成物にフッ素系充填材を適用することを検討した。   In order to form an insulating layer, the resin composition generally contains a large amount of thermosetting resin from the viewpoint of achieving high insulating performance. As this thermosetting resin, it is usual to use an epoxy resin. On the other hand, the present inventor examined applying a fluorine-based filler to a resin composition containing an epoxy resin in order to develop an insulating layer having a low dielectric constant.

本発明者は更に、前記のようにエポキシ樹脂及びフッ素系充填材を含む樹脂組成物を、レーダーのアンテナ回路基板の絶縁層に適用することを試みた。ところが、このアンテナ回路基板を備えるレーダーは、温度によって検出可能範囲が変化することが判明した。例えば、ある温度での検出可能範囲が20mと広いレーダーであっても、別の温度での検出可能範囲が5mと狭くなることがありえた。   The inventor further tried to apply the resin composition containing the epoxy resin and the fluorine-based filler as described above to the insulating layer of the radar antenna circuit board. However, it has been found that the detectable range of a radar equipped with this antenna circuit board changes depending on the temperature. For example, even if the radar has a wide detection range of 20 m at a certain temperature, the detection range at another temperature may be as narrow as 5 m.

本発明は、前記の課題に鑑みて創案されたもので、レーダーのアンテナ回路基板に設けた場合にレーダーの検出可能範囲の温度による変化を抑制可能で且つ誘電率が低い絶縁層を得ることができる樹脂組成物;前記の樹脂組成物を含むシート状積層材料;前記樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を含む回路基板及び半導体装置;を提供することを目的とする。   The present invention was devised in view of the above problems, and when provided on an antenna circuit board of a radar, an insulating layer having a low dielectric constant capable of suppressing changes in the radar detectable range due to temperature can be obtained. An object of the present invention is to provide a resin composition that can be obtained; a sheet-like laminated material containing the resin composition; a circuit board and a semiconductor device including an insulating layer made of a cured product of the resin composition.

本発明者は、前記の課題を解決するべく鋭意検討した。その結果、本発明者は、レーダーの検出可能範囲の温度による変化の原因が、絶縁層の誘電正接の温度安定性にあるとの知見を得た。具体的には、レーダーのアンテナ回路基板の絶縁層の誘電正接が温度によって変化すると、そのアンテナ回路基板の損失の大きさが温度によって変化するので、そのアンテナ回路基板の感度が温度によって変化し、その結果、検出可能範囲の温度による変化が生じていた。そこで、本発明者は、誘電正接の温度安定性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物によって、前記の課題を解決できることを見い出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、下記のものを含む。
The inventor has intensively studied to solve the above problems. As a result, the present inventor has obtained knowledge that the cause of the change in the detectable range of the radar due to the temperature is the temperature stability of the dielectric loss tangent of the insulating layer. Specifically, when the dielectric loss tangent of the insulating layer of the radar antenna circuit board changes with temperature, the magnitude of the loss of the antenna circuit board changes with temperature, so the sensitivity of the antenna circuit board changes with temperature, As a result, a change in the detectable range due to temperature occurred. Therefore, the present inventor has found that the above problem can be solved by a resin composition capable of obtaining an insulating layer excellent in temperature stability of dielectric loss tangent, and has completed the present invention.
That is, the present invention includes the following.

〔1〕 (A)エポキシ樹脂、(B)マレイミド化合物、(C)無機充填材、及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物であって、
(B)成分の量が、(A)成分100質量%に対して、10質量%〜70質量%である、樹脂組成物。
〔2〕 (A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物であって、
樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の−10℃、25℃及び100℃での誘電正接を、それぞれDf(−10℃)、Df(25℃)及びDf(100℃)とした場合、
Df(25℃)に対するDf(−10℃)の比率Df(−10℃)/Df(25℃)が、85%〜115%であり、
Df(25℃)に対するDf(100℃)の比率Df(100℃)/Df(25℃)が、85%〜115%である、樹脂組成物。
〔3〕 (B)マレイミド化合物を含む、〔1〕記載の樹脂組成物。
〔4〕 (D)成分が、フッ素系ポリマー粒子である、〔1〕〜〔3〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
〔5〕 (D)成分が、ポリテトラフルオロエチレン粒子である、〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
〔6〕 (E)不飽和炭化水素基を有する樹脂を含む、〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
〔7〕 (E)成分が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基及びプロペニル基からなる群から選択される1以上の不飽和炭化水素基を有する、〔6〕に記載の樹脂組成物。
〔8〕 (E)成分が、ビニル基を有し、かつ5員環以上の環状エーテル構造を有する、〔6〕又は〔7〕に記載の樹脂組成物。
〔9〕 回路基板の絶縁層形成用である、〔1〕〜〔8〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
〔10〕 〔1〕〜〔9〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。
〔11〕 〔1〕〜〔9〕のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を含む、回路基板。
〔12〕 〔11〕に記載の回路基板を備える、半導体装置。
[1] A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a maleimide compound, (C) an inorganic filler, and (D) a fluorine-based filler,
(B) The resin composition whose quantity of a component is 10 mass%-70 mass% with respect to 100 mass% of (A) component.
[2] A resin composition comprising (A) an epoxy resin and (D) a fluorine-based filler,
The dielectric loss tangents at −10 ° C., 25 ° C. and 100 ° C. of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes are respectively expressed as Df (−10 ° C.), Df (25 ° C.) and Df (100 ° C. )
The ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) of Df (−10 ° C.) to Df (25 ° C.) is 85% to 115%,
The resin composition whose ratio Df (100 degreeC) / Df (25 degreeC) of Df (100 degreeC) with respect to Df (25 degreeC) is 85%-115%.
[3] The resin composition according to [1], which contains (B) a maleimide compound.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the component (D) is a fluorine-based polymer particle.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the component (D) is polytetrafluoroethylene particles.
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], comprising (E) a resin having an unsaturated hydrocarbon group.
[7] The component (E) has one or more unsaturated hydrocarbon groups selected from the group consisting of an acryl group, a methacryl group, a styryl group, an allyl group, a vinyl group, and a propenyl group. Resin composition.
[8] The resin composition according to [6] or [7], wherein the component (E) has a vinyl group and a cyclic ether structure having a 5-membered ring or more.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], which is used for forming an insulating layer of a circuit board.
[10] A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to any one of [1] to [9].
[11] A circuit board including an insulating layer made of a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [9].
[12] A semiconductor device comprising the circuit board according to [11].

本発明によれば、レーダーのアンテナ回路基板に設けた場合にレーダーの検出可能範囲の温度による変化を抑制可能で且つ誘電率が低い絶縁層を得ることができる樹脂組成物;前記の樹脂組成物を含むシート状積層材料;前記樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を含む回路基板及び半導体装置;を提供できる。   According to the present invention, when provided on an antenna circuit board of a radar, the resin composition capable of suppressing the change in the detectable range of the radar due to temperature and obtaining an insulating layer having a low dielectric constant; A circuit board and a semiconductor device including an insulating layer made of a cured product of the resin composition.

以下、実施形態及び例示物を示して、本発明について詳細に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施形態及び例示物に限定されるものでは無く、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施しうる。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the following embodiments and exemplifications, and can be implemented with any modifications without departing from the scope of the claims of the present invention and the equivalents thereof.

以下の説明において、樹脂組成物中の各成分の量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対する値である。   In the following description, the amount of each component in the resin composition is a value relative to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition unless otherwise specified.

以下の説明において、用語「誘電率」とは、別途明示の無い限り、比誘電率のことを示す。   In the following description, the term “dielectric constant” indicates a relative dielectric constant unless otherwise specified.

[1.第一実施形態に係る樹脂組成物]
[1.1.樹脂組成物の概要]
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)マレイミド化合物、(C)無機充填材、及び(D)フッ素系充填材を含む。ここで、用語「フッ素系」とは、フッ素原子を含むことをいう。また、用語「フッ素系充填材」とは、フッ素原子を含む化合物を材料として含む充填材をいう。そして、この樹脂組成物において、(B)マレイミド化合物の量は、所定の範囲にある。
[1. Resin composition according to first embodiment]
[1.1. Outline of Resin Composition]
The resin composition according to the first embodiment of the present invention includes (A) an epoxy resin, (B) a maleimide compound, (C) an inorganic filler, and (D) a fluorine-based filler. Here, the term “fluorine-based” means containing a fluorine atom. The term “fluorine-based filler” refers to a filler that contains a compound containing a fluorine atom as a material. In this resin composition, the amount of (B) maleimide compound is in a predetermined range.

このような樹脂組成物の硬化物は、誘電率が低い。また、このような樹脂組成物の硬化物は、誘電正接の温度安定性に優れる。よって、前記の樹脂組成物を用いることにより、誘電正接の温度安定性に優れることによってレーダーのアンテナ回路基板に設けた場合にレーダーの検出可能範囲の温度による変化を抑制可能であり、且つ、誘電率が低い絶縁層を得ることができる樹脂組成物を実現できるという、本発明の所望の効果を得ることができる。   A cured product of such a resin composition has a low dielectric constant. In addition, a cured product of such a resin composition is excellent in temperature stability of dielectric loss tangent. Therefore, by using the above resin composition, it is possible to suppress a change in the detectable range of the radar due to the temperature when it is provided on the antenna circuit board of the radar by being excellent in the temperature stability of the dielectric loss tangent, and the dielectric The desired effect of the present invention can be obtained that a resin composition capable of obtaining an insulating layer having a low rate can be realized.

[1.2.(A)エポキシ樹脂]
(A)成分としてのエポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
[1.2. (A) Epoxy resin]
Examples of the epoxy resin as the component (A) include bixylenol type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, Trisphenol type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester Type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic Epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexane type epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(A)エポキシ樹脂としては、温度による特性の変化が小さいことから、エポキシ基以外に脂環式構造及び芳香環構造等の環状構造を有するエポキシ樹脂が好ましい。中でも、絶縁層の平均線熱膨張率を低下させる観点から、芳香族系のエポキシ樹脂が好ましい。ここで、芳香族系のエポキシ樹脂とは、その分子が芳香族骨格を含有するエポキシ樹脂をいう。また、芳香族骨格とは、一般に芳香族と定義される化学構造であり、ベンゼン環等の単環構造だけでなく、ナフタレン環等の多環芳香族構造及び芳香族複素環構造をも含む。中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(A)エポキシ樹脂は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂からなる群より選ばれる1種類以上のエポキシ樹脂であることが好ましく、ビキシレノール型エポキシ樹脂が特に好ましい。   (A) As an epoxy resin, since the change of the characteristic by temperature is small, the epoxy resin which has cyclic structures, such as an alicyclic structure and an aromatic ring structure other than an epoxy group, is preferable. Among these, an aromatic epoxy resin is preferable from the viewpoint of reducing the average linear thermal expansion coefficient of the insulating layer. Here, the aromatic epoxy resin refers to an epoxy resin whose molecule contains an aromatic skeleton. The aromatic skeleton is a chemical structure generally defined as aromatic, and includes not only a monocyclic structure such as a benzene ring but also a polycyclic aromatic structure such as a naphthalene ring and an aromatic heterocyclic structure. Among these, from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention, the (A) epoxy resin is bisphenol A type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, naphthalene type 4 One or more epoxy resins selected from the group consisting of a functional epoxy resin and a naphthol type epoxy resin are preferable, and a xylenol type epoxy resin is particularly preferable.

樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(A)エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。   It is preferable that a resin composition contains the epoxy resin which has a 2 or more epoxy group in 1 molecule as (A) epoxy resin. From the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention, the ratio of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule with respect to 100% by mass of the nonvolatile component (A) of the epoxy resin is preferably 50 masses. % Or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more.

エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよい。(A)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いることで、樹脂組成物層の可撓性を向上させたり、樹脂組成物の硬化物の破断強度を向上させたりできる。   As the epoxy resin, an epoxy resin that is liquid at a temperature of 20 ° C. (hereinafter sometimes referred to as “liquid epoxy resin”) and an epoxy resin that is a solid at a temperature of 20 ° C. (sometimes referred to as “solid epoxy resin”). There is. The resin composition may contain only the liquid epoxy resin as the (A) epoxy resin, may contain only the solid epoxy resin, or contain a combination of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin. Also good. (A) By using a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as an epoxy resin, the flexibility of the resin composition layer can be improved, and the breaking strength of the cured product of the resin composition can be improved. .

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する芳香族系の液状エポキシ樹脂がより好ましい。   The liquid epoxy resin is preferably a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule, and more preferably an aromatic liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂が特に好ましい。   Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and ester skeletons. Preferred are cycloaliphatic epoxy resin, cyclohexane type epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, and epoxy resin having butadiene structure, glycidylamine type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type Epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are more preferred, and bisphenol A type epoxy resins are particularly preferred.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4−グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂);などが挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC; “828US”, “jER828US”, “jER828EL”, “825” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. "Epicoat 828EL" (bisphenol A type epoxy resin); "jER807", "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER152" (phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; “630”, “630LSD” (glycidylamine type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; “ZX1059” (mixed product of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .; Nagase ChemteX Corporation "EX" made “721” (glycidyl ester type epoxy resin); “Celoxide 2021P” (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton) manufactured by Daicel; “PB-3600” (epoxy resin having a butadiene structure) manufactured by Daicel; “ZX1658”, “ZX1658GS” (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Kagaku Co., Ltd .; These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。   The solid epoxy resin is preferably a solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups in one molecule, and more preferably an aromatic solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups in one molecule.

固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂がより好ましく、ビキシレノール型エポキシ樹脂が特に好ましい。   Solid epoxy resins include bixylenol type epoxy resins, biphenyl aralkyl type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthalene type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, Naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin are preferable, bixylenol type epoxy resin, biphenyl More preferred are aralkyl type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, naphthalene type tetrafunctional epoxy resins and naphthol type epoxy resins. Le epoxy resins are particularly preferred.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP−7200HH」、「HP−7200H」、「EXA−7311」、「EXA−7311−G3」、「EXA−7311−G4」、「EXA−7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG−100」、「CG−500」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂);が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC; “HP-4700” and “HP-4710” (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin) manufactured by DIC; "N-690" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC; "N-695" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC; "HP-7200" (dicyclopentadiene type epoxy resin) manufactured by DIC; “HP-7200HH”, “HP-7200H”, “EXA-7311”, “EXA-7311-G3”, “EXA-7311-G4”, “EXA-7311-G4S”, “HP6000” (manufactured by DIC) Naphthylene ether type epoxy resin) “EPPN-502H” (trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Resin); “NC7000L” (naphthol novolak type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku; “NC3000H”, “NC3000”, “NC3000L”, “NC3100” (biphenylaralkyl type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku; Nippon Steel “ESN475V” (naphthol type epoxy resin) manufactured by Sumikin Chemical Co., Ltd .; “ESN485” (naphthol novolak type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .; “YX4000H”, “YX4000”, “YL6121” (biphenyl) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation Type epoxy resin); “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; “YX8800” (anthracene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; “PG-100” and “CG” manufactured by Osaka Gas Chemical -500 "(bisphenol F type epoxy resin); “YL7760” (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; “YL7800” (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; “jER1010” (solid bisphenol A) manufactured by Mitsubishi Chemical Type epoxy resin); “jER1031S” (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. These may be used alone or in combination of two or more.

(A)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、好ましくは1:0.1〜1:15、より好ましくは1:0.5〜1:10、特に好ましくは1:1〜1:8である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との質量比が前記の範囲にあることにより、接着フィルムの形態で使用する場合に、好ましい粘着性を得ることができる。また、接着フィルムの形態で使用する場合に、十分な可撓性が得られ、取り扱い性を向上させることができる。さらに、樹脂組成物の硬化物の破断強度を効果的に高めることができる。   (A) When using a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as the epoxy resin, their mass ratio (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably 1: 0.1 to 1:15, More preferably, it is 1: 0.5 to 1:10, and particularly preferably 1: 1 to 1: 8. When the mass ratio between the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin is in the above range, preferable adhesiveness can be obtained when the adhesive is used in the form of an adhesive film. Moreover, when using it with the form of an adhesive film, sufficient flexibility is acquired and a handleability can be improved. Furthermore, the breaking strength of the cured product of the resin composition can be effectively increased.

(A)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、特に好ましくは110〜1000である。(A)エポキシ樹脂のエポキシ当量が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層を得ることができる。なお、エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量であり、JIS K7236に従って測定することができる。   (A) The epoxy equivalent of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 50-5000, More preferably, it is 50-3000, More preferably, it is 80-2000, Most preferably, it is 110-1000. (A) When the epoxy equivalent of an epoxy resin exists in the said range, the crosslinked density of the hardened | cured material of a resin composition becomes sufficient, and an insulating layer with small surface roughness can be obtained. The epoxy equivalent is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group, and can be measured according to JIS K7236.

(A)エポキシ樹脂の重量平均分子量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100〜5000であり、より好ましくは250〜3000であり、さらに好ましくは400〜1500である。エポキシ樹脂等の樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   (A) The weight average molecular weight of the epoxy resin is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, and further preferably 400 to 1500 from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. The weight average molecular weight of a resin such as an epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

樹脂組成物における(A)エポキシ樹脂の量は、良好な機械強度及び絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは3質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは9質量%以上であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、特に好ましくは30質量%以下である。   The amount of the (A) epoxy resin in the resin composition is preferably 3% by mass or more with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. More preferably, it is 5% by mass or more, particularly preferably 9% by mass or more, preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, and particularly preferably 30% by mass or less.

[1.3.(B)マレイミド化合物]
(B)成分としてのマレイミド化合物は、下記式(B1)で表されるマレイミド基を分子中に含有する化合物である。
[1.3. (B) Maleimide compound]
The maleimide compound as the component (B) is a compound containing a maleimide group represented by the following formula (B1) in the molecule.

Figure 2019035051
Figure 2019035051

(B)マレイミド化合物の1分子当たりのマレイミド基の数は、1個でもよいが、好ましくは2個以上であり、好ましくは10個以下、より好ましく6個以下、特に好ましくは3個以下である。1分子当たり2個以上のマレイミド基を有する(B)マレイミド化合物を用いることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に、硬化物の誘電正接の温度安定性を効果的に改善できる。   (B) The number of maleimide groups per molecule of the maleimide compound may be 1, but is preferably 2 or more, preferably 10 or less, more preferably 6 or less, and particularly preferably 3 or less. . By using the (B) maleimide compound having two or more maleimide groups per molecule, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the temperature stability of the dielectric loss tangent of the cured product can be effectively improved. Can improve.

(B)マレイミド化合物は、マレイミド基に組み合わせて、芳香族骨格を含有することが好ましい。芳香族骨格を含有する(B)マレイミド化合物を用いることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に、硬化物の誘電正接の温度安定性を効果的に改善できる。特に、(B)マレイミド化合物は、芳香族骨格として、ベンゼン環を含有することが好ましい。   (B) The maleimide compound preferably contains an aromatic skeleton in combination with a maleimide group. By using the (B) maleimide compound containing an aromatic skeleton, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the temperature stability of the dielectric loss tangent of the cured product can be effectively improved. In particular, the (B) maleimide compound preferably contains a benzene ring as an aromatic skeleton.

(B)マレイミド化合物としては、例えば、4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、ポリフェニルメタンマレイミド、フェニレンビスマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6’−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン、4,4’−ジフェニルエーテルビスマレイミド、4,4’−ジフェニルスルフォンビスマレイミド、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ベンゼンなどが挙げられる。   (B) Examples of the maleimide compound include 4,4′-diphenylmethane bismaleimide, polyphenylmethane maleimide, phenylene bismaleimide, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4, 4′-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide, 1,6′-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane, 4,4′-diphenyl ether bismaleimide, 4,4 Examples include '-diphenylsulfone bismaleimide, 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene and the like.

本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(B)マレイミド化合物としては、式(B2)で表されるポリフェニルメタンマレイミド、及び、式(B3)で表されるフェニレンビスマレイミドが特に好ましい。式(B2)において、nは、0以上の整数を表す。   From the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention, the (B) maleimide compound is particularly preferably a polyphenylmethane maleimide represented by the formula (B2) and a phenylene bismaleimide represented by the formula (B3). . In the formula (B2), n represents an integer of 0 or more.

Figure 2019035051
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Figure 2019035051
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(B)マレイミド化合物の具体例としては、大和化成工業社製「BMI−1000」、ケイ・アイ化成社製「BMI」(4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI−2000」(ポリフェニルメタンマレイミド);大和化成工業社製「BMI−3000」(m−フェニレンビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI4000」、ケイ・アイ化成社製「BMI−80」(ビスフェノール A ジフェニルエーテルビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI5100」、ケイ・アイ化成社製「BMI−70」(3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI−7000」(4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI−TMH」(1,6’−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン);大和化成工業社製「BMI−6000」(4,4’−ジフェニルエーテルビスマレイミド);大和化成工業社製「BMI−8000」(4,4’−ジフェニルスルフォンビスマレイミド);大和化成工業社製の1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン;大和化成工業社製の1,3−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ベンゼン;三井化学ファイン社製「ANILIX−MI」;等が挙げられる。また、(B)マレイミド化合物は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   (B) Specific examples of the maleimide compound include “BMI-1000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., “BMI” (4,4′-diphenylmethane bismaleimide) manufactured by Kay Kasei Co., Ltd .; 2000 "(polyphenylmethane maleimide);" BMI-3000 "(m-phenylene bismaleimide) manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd .;" BMI 4000 "manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd. Diphenyl ether bismaleimide); “BMI5100” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., “BMI-70” manufactured by Kay Chemical Co., Ltd. (3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diphenylmethane bismaleimide); “BMI-7000” (4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide) manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd .; “BMI-TMH” (1,6′-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane) manufactured by Seiko Industry Co., Ltd .; “BMI-6000” (4,4′-diphenyl ether bismaleimide) manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd. "BMI-8000" (4,4'-diphenylsulfone bismaleimide) manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd .; 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co .; 3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene; “ANILIX-MI” manufactured by Mitsui Chemical Fine Co., Ltd. Moreover, (B) maleimide compound may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(B)マレイミド化合物は、例えば、無水マレイン酸と適切なアミン化合物とを反応させて製造できる。   (B) The maleimide compound can be produced, for example, by reacting maleic anhydride with a suitable amine compound.

樹脂組成物における(B)マレイミド化合物の量は、(A)エポキシ樹脂100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは11質量%以上、特に好ましくは12質量%以上であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは69質量%以下、特に好ましくは68質量%以下である。(B)マレイミド化合物の量が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の硬化物の誘電正接の温度安定性を良好にできる。   The amount of the (B) maleimide compound in the resin composition is preferably 10% by mass or more, more preferably 11% by mass or more, and particularly preferably 12% by mass or more, with respect to 100% by mass of the (A) epoxy resin. Preferably it is 70 mass% or less, More preferably, it is 69 mass% or less, Most preferably, it is 68 mass% or less. (B) When the amount of the maleimide compound is within the above range, the temperature stability of the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition can be improved.

樹脂組成物における(B)マレイミド化合物の量は、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは0.8質量%以上、特に好ましくは1.0質量%以上であり、好ましくは7.0質量%以下、より好ましくは6.7質量%以下、特に好ましくは6.2質量%以下である。(B)マレイミド化合物の量が前記の範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に、硬化物の誘電正接の温度安定性を効果的に改善できる。   The amount of the (B) maleimide compound in the resin composition is preferably 0.5% by mass or more, more preferably 0.8% by mass or more, and particularly preferably 1% with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition. It is 0.0 mass% or more, preferably 7.0 mass% or less, more preferably 6.7 mass% or less, and particularly preferably 6.2 mass% or less. (B) When the amount of the maleimide compound is in the above range, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the temperature stability of the dielectric loss tangent of the cured product can be effectively improved.

[1.4.(C)無機充填材]
(C)成分としての無機充填材の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウムが挙げられる。これらの中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。中でも、球形シリカが好ましい。(C)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
[1.4. (C) Inorganic filler]
Examples of the material of the inorganic filler as the component (C) include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, Boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate , Titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica is particularly preferable from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. Examples of the silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. Among these, spherical silica is preferable. (C) An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

通常、(C)無機充填材は、粒子の状態で樹脂組成物に含まれる。(C)無機充填材の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、特に好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは5.0μm以下、より好ましくは2.0μm以下、さらに好ましくは1.0μm以下である。また、(C)無機充填材の平均粒径が前記の範囲にあることにより、通常は、樹脂組成物層の回路埋め込み性を向上させたり、絶縁層の表面粗さを小さくしたりできる。   Usually, the (C) inorganic filler is contained in the resin composition in the form of particles. (C) The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, particularly preferably 0.1 μm or more, from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. Preferably it is 5.0 micrometers or less, More preferably, it is 2.0 micrometers or less, More preferably, it is 1.0 micrometers or less. Moreover, (C) The average particle diameter of an inorganic filler exists in the said range, Usually, the circuit embedding property of a resin composition layer can be improved, or the surface roughness of an insulating layer can be made small.

(C)無機充填材の市販品としては、例えば、新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60−05」、「SP507−05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C−MJE」、「YA010C」;デンカ社製の「UFP−30」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS−3N」、「シルフィルNSS−4N」、「シルフィルNSS−5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SO−C4」、「SO−C2」、「SO−C1」;などが挙げられる。   (C) Examples of commercially available inorganic fillers include “SP60-05” and “SP507-05” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials; “YC100C”, “YA050C”, and “YA050C-MJE” manufactured by Admatechs. "YA010C"; Denka's "UFP-30"; Tokuyama's "Silfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", "Silfil NSS-5N"; Admatechs' "SC2500SQ" “SO-C4”, “SO-C2”, “SO-C1”; and the like.

(C)無機充填材等の粒子の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により、測定できる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、粒子の粒径分布を体積基準で測定し、その粒径分布からメディアン径として平均粒径を得ることができる。測定サンプルは、粒子を超音波により水等の溶剤中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒径分布測定装置としては、堀場製作所製社製の「LA−500」等を使用することができる。   (C) The average particle diameter of particles such as inorganic fillers can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the particles is measured on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the average particle size can be obtained as the median diameter from the particle size distribution. As the measurement sample, particles in which particles are dispersed in a solvent such as water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, “LA-500” manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

(C)無機充填材は、任意の表面処理剤で表面処理されていてもよい。表面処理剤としては、例えば、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤等のカップリング剤;アルコキシシラン化合物;オルガノシラザン化合物;等が挙げられる。これらの表面処理剤で表面処理されることにより、(C)無機充填材の耐湿性及び分散性を高めることができる。   (C) The inorganic filler may be surface-treated with an arbitrary surface treatment agent. Examples of the surface treatment agent include coupling agents such as aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, titanate coupling agents; alkoxysilane compounds; organosilazane compounds; It is done. By performing the surface treatment with these surface treatment agents, the moisture resistance and dispersibility of the inorganic filler (C) can be improved.

表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM−103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM−4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)などが挙げられる。また、表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu. “KBE903” (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Chemical Industry Co., Ltd. “KBM573” (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “SZ-31” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ( Hexamethyldisilazane), “KBM-103” (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM-4803” (long-chain epoxy type silane coupling agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like. Moreover, a surface treating agent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

表面処理剤による表面処理の程度は、(C)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価できる。(C)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、(C)無機充填材の分散性向上の観点から、好ましくは0.02mg/m以上、より好ましくは0.1mg/m以上、特に好ましくは0.2mg/m以上である。他方、樹脂ワニスの溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、前記のカーボン量は、好ましくは1mg/m以下、より好ましくは0.8mg/m以下、特に好ましくは0.5mg/m以下である。 The degree of the surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the (C) inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler (C), (C) from the viewpoint of the dispersibility of the inorganic filler improved, preferably 0.02 mg / m 2 or more, more preferably 0.1 mg / m 2 or more, Particularly preferably, it is 0.2 mg / m 2 or more. On the other hand, from the viewpoint of suppressing an increase in the melt viscosity of the resin varnish and the sheet form, the carbon amount is preferably 1 mg / m 2 or less, more preferably 0.8 mg / m 2 or less, particularly preferably. 0.5 mg / m 2 or less.

(C)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の(C)無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(以下「MEK」と略称することがある。))により洗浄処理した後に、測定できる。具体的には、十分な量のMEKと、表面処理剤で表面処理された(C)無機充填材とを混合して、25℃で5分間、超音波洗浄する。次いで、上澄液を除去し、不揮発成分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて、(C)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定できる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA−320V」を使用することができる。   (C) The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is determined by washing the surface-treated (C) inorganic filler with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (hereinafter sometimes referred to as “MEK”)). Can be measured. Specifically, a sufficient amount of MEK and (C) the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent are mixed and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. Next, after removing the supernatant and drying the non-volatile components, the amount of carbon per unit surface area of the (C) inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by HORIBA, Ltd. can be used.

樹脂組成物における(C)無機充填材の量は、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、さらに好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。(C)無機充填材の量が、前記範囲の下限値以上であることにより、樹脂組成物の硬化物の熱膨張率を低くできるので、絶縁層の反りを抑制できる。また、(C)無機充填材の量が、前記範囲の上限値以下であることにより、樹脂組成物の硬化物の機械的強度を向上させることができ、特に伸びに対する耐性を高めることができる。   The amount of the (C) inorganic filler in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and further preferably 15% by mass or more with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition. Particularly preferably, it is 20% by mass or more, preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, still more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. (C) Since the thermal expansion coefficient of the hardened | cured material of a resin composition can be made low because the quantity of an inorganic filler is more than the lower limit of the said range, the curvature of an insulating layer can be suppressed. Moreover, when the amount of (C) the inorganic filler is not more than the upper limit of the above range, the mechanical strength of the cured product of the resin composition can be improved, and in particular, the resistance to elongation can be increased.

[1.5.(D)フッ素系充填材]
(D)成分としてのフッ素系充填材は、フッ素原子を含む化合物を材料として含む充填材である。フッ素系充填材は、一般に、粒子となっている。よって、(D)フッ素系充填材として、通常は、フッ素原子を含む化合物を材料として含む粒子を用いる。
[1.5. (D) Fluorine-based filler]
(D) The fluorine-type filler as a component is a filler which contains the compound containing a fluorine atom as a material. The fluorine-based filler is generally particles. Therefore, as the (D) fluorine-based filler, particles containing a compound containing a fluorine atom are usually used.

(D)フッ素系充填材の材料としては、例えば、フッ素系ポリマー、フッ素系ゴムなどが挙げられる。中でも、絶縁層の誘電率を低減する観点から、フッ素系ポリマーが好ましい。よって、(D)フッ素系充填材としては、フッ素系ポリマー粒子が好ましい。   (D) As a material of a fluorine-type filler, a fluorine-type polymer, fluorine-type rubber, etc. are mentioned, for example. Among these, a fluoropolymer is preferable from the viewpoint of reducing the dielectric constant of the insulating layer. Therefore, as the (D) fluorine-based filler, fluorine-based polymer particles are preferable.

フッ素系ポリマーとしては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー(FEP)、エチレン・テトラフルオロエチレンコポリマー(ETFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソールコポリマー(TFE/PDD)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、エチレン−クロロトリフルオロエチレンコポリマー(ECTFE)、ポリフッ化ビニル(PVF)が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the fluoropolymer include polytetrafluoroethylene (PTFE), perfluoroalkoxyalkane (PFA), perfluoroethylene propene copolymer (FEP), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), tetrafluoroethylene-perfluorodiode. Xol copolymer (TFE / PDD), polyvinylidene fluoride (PVDF), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer (ECTFE), polyvinyl fluoride (PVF). These may be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、絶縁層の誘電率を特に低減する観点から、フッ素系ポリマーとしてはポリテトラフルオロエチレンが好ましい。よって、(D)フッ素系充填材としては、ポリテトラフルオロエチレンを含む粒子としてのポリテトラフルオロエチレン粒子が好ましい。   Among these, from the viewpoint of particularly reducing the dielectric constant of the insulating layer, polytetrafluoroethylene is preferable as the fluoropolymer. Therefore, as the (D) fluorine-based filler, polytetrafluoroethylene particles as particles containing polytetrafluoroethylene are preferable.

フッ素系ポリマーの重量平均分子量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは5000000以下、より好ましくは4000000以下、特に好ましくは3000000以下である。   The weight average molecular weight of the fluoropolymer is preferably 5000000 or less, more preferably 4000000 or less, and particularly preferably 3000000 or less, from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention.

(D)フッ素系充填材の平均粒径は、好ましくは0.05μm以上、より好ましくは0.08μm以上、特に好ましくは0.10μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは5μm以下、特に好ましくは4μm以下である。(D)フッ素系充填材の平均粒径が前記の範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、更に通常は、樹脂組成物中における(D)フッ素系充填材の分散性を良好にできる。(D)フッ素系充填材の平均粒径は、(C)無機充填材と同じく、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。   (D) The average particle diameter of the fluorine-based filler is preferably 0.05 μm or more, more preferably 0.08 μm or more, particularly preferably 0.10 μm or more, preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, particularly Preferably it is 4 micrometers or less. When the average particle diameter of the (D) fluorine-based filler is in the above range, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and usually (D) the fluorine-based filler in the resin composition. The dispersibility can be improved. (D) The average particle diameter of the fluorine-based filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on the Mie scattering theory, as in the case of (C) the inorganic filler.

(D)フッ素系充填材の市販品としては、例えば、ダイキン工業社製の「ルブロンL−2」、「ルブロンL−5」、「ルブロンL−5F」;旭硝子社製の「FluonPTFE L−170JE」、「FluonPTFEL−172JE」、「FluonPTFE L−173JE」;喜多村社製の「KTL−500F」、「KTL−2N」、「KTL−1N」;三井・デュポン フロロケミカル社製の「TLP10F−1」;等が挙げられる。   (D) Examples of commercially available fluorine-based fillers include “Lublon L-2”, “Lublon L-5” and “Lublon L-5F” manufactured by Daikin Industries, Ltd .; “Fluon PTFE L-170JE” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. ”,“ FluonPTFEEL-172JE ”,“ FluonPTFE L-173JE ”;“ KTL-500F ”,“ KTL-2N ”,“ KTL-1N ”manufactured by Kitamura Co., Ltd .;“ TLP10F-1 ”manufactured by Mitsui DuPont Fluorochemical Co., Ltd. And the like.

(D)フッ素系充填材は、表面処理されていてもよい。例えば(D)フッ素系充填材は、任意の表面処理剤で表面処理されていてもよい。表面処理剤としては、例えば、ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤、カチオン界面活性剤、アニオン界面活性剤等の界面活性剤;無機微粒子;等が挙げられる。親和性の観点から、表面処理剤としては、フッ素系の界面活性剤を用いることが好ましい。フッ素系の界面活性剤の具体例としては、AGCセイミケミカル社製の「サーフロンS−243」(パーフルオロアルキル エチレンオキシド付加物);DIC社製の「メガファックF−251」、「メガファックF−477」、「メガファックF−553」、「メガファックR−40」、「メガファックR−43」、「メガファックR−94」;ネオス社製の「FTX−218」、「フタージェント610FM」;が挙げられる。   (D) The fluorine-based filler may be surface-treated. For example, (D) the fluorine-based filler may be surface-treated with an arbitrary surface treatment agent. Examples of the surface treatment agent include surfactants such as nonionic surfactants, amphoteric surfactants, cationic surfactants and anionic surfactants; inorganic fine particles. From the viewpoint of affinity, it is preferable to use a fluorosurfactant as the surface treatment agent. Specific examples of the fluorosurfactant include “Surflon S-243” (perfluoroalkyl ethylene oxide adduct) manufactured by AGC Seimi Chemical Co .; “Megafac F-251” and “Megafac F-” manufactured by DIC "477", "Megafuck F-553", "Megafuck R-40", "Megafuck R-43", "Megafuck R-94"; "FTX-218", "Futgent 610FM" manufactured by Neos ;

樹脂組成物における(D)フッ素系充填材の量は、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは15質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは40質量%以下である。(D)フッ素系充填材の量が前記範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に、樹脂組成物の硬化物の誘電率を効果的に低減することができる。   The amount of (D) fluorine-based filler in the resin composition is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, and particularly preferably 20% by mass with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition. It is above, Preferably it is 80 mass% or less, More preferably, it is 60 mass% or less, Most preferably, it is 40 mass% or less. (D) When the amount of the fluorine-based filler is in the above range, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the dielectric constant of the cured product of the resin composition can be effectively reduced. it can.

樹脂組成物における(D)フッ素系充填材の量は、(C)無機充填材及び(D)フッ素系充填材の合計100質量%に対して、好ましくは20質量%以上、より好ましくは30質量%以上、特に好ましくは35質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは70質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。(D)フッ素系充填材の量が前記範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に、樹脂組成物の硬化物の誘電率を効果的に低減することができる。   The amount of (D) fluorine-based filler in the resin composition is preferably 20% by mass or more, more preferably 30% by mass with respect to 100% by mass in total of (C) inorganic filler and (D) fluorine-based filler. % Or more, particularly preferably 35% by mass or more, preferably 90% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. (D) When the amount of the fluorine-based filler is in the above range, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the dielectric constant of the cured product of the resin composition can be effectively reduced. it can.

[1.6.(E)不飽和炭化水素基を有する樹脂]
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、(E)不飽和炭化水素基を有する樹脂を含んでいてもよい。以下の説明において、(E)成分としての「不飽和炭化水素基を有する樹脂」を、「不飽和樹脂」ということがある。炭素−炭素不飽和結合は、(E)不飽和樹脂の1分子中に、1個だけ含まれていてもよく、複数個含まれていてもよい。(E)不飽和樹脂を含む樹脂組成物の硬化物は、通常、(E)不飽和樹脂の不飽和結合部位が反応して形成される分子構造部位を含む。これにより、前記の硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を小さくできる。また、(E)不飽和樹脂により、通常は、(D)フッ素系充填材の分散性を向上させることができる。そのため、樹脂組成物の組成の均一性が向上するので、硬化物の導体層に対する密着性をより向上させることができる。
[1.6. (E) Resin having an unsaturated hydrocarbon group]
The resin composition may include (E) a resin having an unsaturated hydrocarbon group as an optional component in addition to the components described above. In the following description, “resin having an unsaturated hydrocarbon group” as the component (E) may be referred to as “unsaturated resin”. Only one carbon-carbon unsaturated bond may be included in one molecule of (E) unsaturated resin, or a plurality of carbon-carbon unsaturated bonds may be included. (E) The hardened | cured material of the resin composition containing unsaturated resin normally contains the molecular structure site | part formed when the unsaturated bond site | part of (E) unsaturated resin reacts. Thereby, the polarity of the said hardened | cured material becomes small and the value of a dielectric loss tangent can be made small. Further, (E) the unsaturated resin can usually improve the dispersibility of the (D) fluorine-based filler. Therefore, since the uniformity of the composition of the resin composition is improved, the adhesion of the cured product to the conductor layer can be further improved.

(E)不飽和樹脂は、当該(E)不飽和樹脂の分子中に不飽和炭化水素基を含有する。不飽和炭化水素基は、アクリル基、メタクリル基、スチリル基及びオレフィン基からなる群より選ばれる1以上の基であることが好ましい。ここで、「オレフィン基」とは、分子中に炭素−炭素二重結合を有する脂肪族炭化水素基をいう。オレフィン基の好ましい例としては、アリル基、ビニル基、プロペニル基が挙げられる。よって、(E)不飽和樹脂は、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基及びプロペニル基からなる群から選択される1以上の不飽和炭化水素基を有することが好ましい。   The (E) unsaturated resin contains an unsaturated hydrocarbon group in the molecule of the (E) unsaturated resin. The unsaturated hydrocarbon group is preferably one or more groups selected from the group consisting of an acryl group, a methacryl group, a styryl group, and an olefin group. Here, the “olefin group” refers to an aliphatic hydrocarbon group having a carbon-carbon double bond in the molecule. Preferable examples of the olefin group include an allyl group, a vinyl group, and a propenyl group. Therefore, (E) the unsaturated resin preferably has one or more unsaturated hydrocarbon groups selected from the group consisting of an acryl group, a methacryl group, a styryl group, an allyl group, a vinyl group, and a propenyl group.

(E)不飽和樹脂は、5員環以上の環状エーテル構造を有する化合物であることが好ましい。以下の説明において、前記の「5員環以上の環状エーテル構造を有する化合物」を、「不飽和環状エーテル化合物」ということがある。不飽和環状エーテル化合物は、通常、分子の動きが制限されているので、誘電正接を効果的に低くすることができる。   (E) The unsaturated resin is preferably a compound having a cyclic ether structure having 5 or more members. In the following description, the above-mentioned “compound having a cyclic ether structure having 5 or more members” may be referred to as “unsaturated cyclic ether compound”. Unsaturated cyclic ether compounds usually have a limited molecular movement, so that the dielectric loss tangent can be effectively lowered.

不飽和環状エーテル化合物は、炭素−炭素不飽和結合を、環状エーテル構造内に含んでいてもよく、環状エーテル構造外に含んでいてもよい。
不飽和環状エーテル化合物は、環状エーテル構造を1個だけ含んでいてもよく、複数個含んでいてもよい。
The unsaturated cyclic ether compound may contain a carbon-carbon unsaturated bond in the cyclic ether structure or outside the cyclic ether structure.
The unsaturated cyclic ether compound may contain only one cyclic ether structure or a plurality of cyclic ether structures.

環状エーテル構造は、1つの環のみを含む単環構造を有していてもよく、2以上の環を含む多環構造を有していてもよく、縮合環を含む縮合環構造を有していてもよい。   The cyclic ether structure may have a monocyclic structure including only one ring, may have a polycyclic structure including two or more rings, and has a condensed ring structure including a condensed ring. May be.

1つの環状エーテル構造に含まれる酸素原子数は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1以上、より好ましくは2以上であり、好ましくは5以下、より好ましくは4以下、さらに好ましくは3以下である。   The number of oxygen atoms contained in one cyclic ether structure is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, preferably 5 or less, more preferably 4 or less, from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. More preferably, it is 3 or less.

環状エーテル構造は、5〜10員環であることが好ましく、5〜8員環であることがより好ましく、5〜6員環であることがさらに好ましい。5員環以上の環状エーテル構造の具体例としては、フラン構造、テトラヒドロフラン構造、ジオキソラン構造、ピラン構造、ジヒドロピラン構造、テトラヒドロピラン構造、ジオキサン構造が挙げられる。中でも、相溶性を向上させる観点から、ジオキサン構造が好ましい。ジオキサン構造には、1,2−ジオキサン構造、1,3−ジオキサン構造及び1,4−ジオキサン構造が含まれ、1,3−ジオキサン構造が好ましい。   The cyclic ether structure is preferably a 5- to 10-membered ring, more preferably a 5- to 8-membered ring, and further preferably a 5- to 6-membered ring. Specific examples of the cyclic ether structure having five or more members include a furan structure, a tetrahydrofuran structure, a dioxolane structure, a pyran structure, a dihydropyran structure, a tetrahydropyran structure, and a dioxane structure. Among these, a dioxane structure is preferable from the viewpoint of improving compatibility. The dioxane structure includes a 1,2-dioxane structure, a 1,3-dioxane structure, and a 1,4-dioxane structure, and a 1,3-dioxane structure is preferable.

環状エーテル構造には、アルキル基、アルコキシ基等の置換基が結合していてもよい。かかる置換基の炭素原子数は、通常1〜6であり、好ましくは1〜3である。   A substituent such as an alkyl group or an alkoxy group may be bonded to the cyclic ether structure. The number of carbon atoms of the substituent is usually 1 to 6, preferably 1 to 3.

上述した不飽和環状エーテル化合物の中でも、ビニル基を有するものが好ましい。ビニル基を有する不飽和環状エーテル化合物(即ち、ビニル基を有し、かつ5員環以上の環状エーテル構造を有する化合物)を(E)不飽和樹脂として用いることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。更に通常は、樹脂組成物の誘電正接を効果的に低くできる。   Among the unsaturated cyclic ether compounds described above, those having a vinyl group are preferred. By using an unsaturated cyclic ether compound having a vinyl group (that is, a compound having a vinyl group and a cyclic ether structure having a 5-membered ring or more) as the unsaturated resin (E), the desired effect of the present invention can be obtained. Remarkably can be obtained. Further, usually, the dielectric loss tangent of the resin composition can be effectively reduced.

(E)不飽和樹脂の好ましい例を挙げると、下記式(E1)で表される化合物、下記式(E6)で表される化合物、及び、下記式(E7)で表される化合物が挙げられる。中でも、式(E7)で表される化合物は、不飽和環状エーテル化合物であり、特に好ましい。   Preferable examples of the unsaturated resin (E) include a compound represented by the following formula (E1), a compound represented by the following formula (E6), and a compound represented by the following formula (E7). . Among these, the compound represented by the formula (E7) is an unsaturated cyclic ether compound, and is particularly preferable.

Figure 2019035051
Figure 2019035051

式(E1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数1〜4のアルキル基を表し、好ましくは水素原子を表す。式(E1)において、Aは、下記式(E2)又は下記式(E3)で表される2価の基を表す。 In formula (E1), R 1 to R 6 each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably a hydrogen atom. In the formula (E1), A represents a divalent group represented by the following formula (E2) or the following formula (E3).

Figure 2019035051
Figure 2019035051

式(E2)中、Bは、下記式(E2−1)、(E2−2)又は(E2−3)で表される2価の基を表す。   In formula (E2), B represents a divalent group represented by the following formula (E2-1), (E2-2) or (E2-3).

Figure 2019035051
Figure 2019035051

式(E2−1)において、R15〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。
式(E2−2)において、R19〜R26は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。
式(E2−3)において、R27〜R34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。また、式(E2−3)において、Eは、炭素原子数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基を表す。
In Formula (E2-1), R 15 to R 18 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group.
In Formula (E2-2), R 19 to R 26 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and preferably a hydrogen atom or a methyl group.
In the formula (E2-3), R 27 to R 34 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group. In the formula (E2-3), E represents a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms.

Figure 2019035051
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式(E3)において、Dは、下記式(E4)で表される2価の基を表す。   In the formula (E3), D represents a divalent group represented by the following formula (E4).

Figure 2019035051
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式(E4)において、R〜R14は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基を表す。特に、R、R、R13及びR14は、より好ましくはメチル基を表す。式(E4)において、a及びbは、少なくとも一方が0でない、0以上100以下の整数である。式(E4)において、Bは、前記の式(E2−1)、(E2−2)又は(E2−3)で表される2価の基を表す。 In the formula (E4), R 7 to R 14 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group. In particular, R 7 , R 8 , R 13 and R 14 more preferably represent a methyl group. In the formula (E4), a and b are integers of 0 or more and 100 or less, at least one of which is not 0. In the formula (E4), B represents a divalent group represented by the formula (E2-1), (E2-2) or (E2-3).

前記式(E1)で表される化合物は、好ましくは、下記式(E5)で表される化合物である。   The compound represented by the formula (E1) is preferably a compound represented by the following formula (E5).

Figure 2019035051
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式(E5)において、R〜Rは、前記式(E1)中のR〜Rと同義であり、Bは、前記式(E2)中のBと同義であり、a及びbは、前記式(E4)中のa及びbと同義である。 In the formula (E5), R 1 ~R 6 has the same meaning as R 1 to R 6 in the formula (E1), B has the same meaning as B in the formula (E2), a and b are And have the same meanings as a and b in the formula (E4).

Figure 2019035051
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Figure 2019035051
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式(E7)において、環Fは、5員環以上の環状エーテル構造を有する2価の基を表す。環状エーテル構造の範囲は、上述した通りである。また、環状エーテル構造には、上述したように、置換基が結合していてもよい。   In formula (E7), ring F represents a divalent group having a cyclic ether structure of 5 or more members. The range of the cyclic ether structure is as described above. Further, as described above, a substituent may be bonded to the cyclic ether structure.

5員環以上の環状エーテル構造を有する2価の基としては、例えば、フラン−2,5−ジイル基、テトラヒドロフラン−2,5−ジイル基、ジオキソラン−2,5−ジイル基、ピラン−2,5−ジイル基、ジヒドロピラン−2,5−ジイル基、テトラヒドロピラン−2,5−ジイル基、1,2−ジオキサン−3,6−ジイル基、1,3−ジオキサン−2,5−ジイル基、1,4−ジオキサン−2,5−ジイル基、5−エチル−1,3−ジオキサン−2,5−ジイル基が挙げられる。中でも、5−エチル−1,3−ジオキサン−2,5−ジイル基が好ましい。   Examples of the divalent group having a cyclic ether structure having a 5-membered ring or more include, for example, a furan-2,5-diyl group, a tetrahydrofuran-2,5-diyl group, a dioxolane-2,5-diyl group, a pyran-2, 5-diyl group, dihydropyran-2,5-diyl group, tetrahydropyran-2,5-diyl group, 1,2-dioxane-3,6-diyl group, 1,3-dioxane-2,5-diyl group 1,4-dioxane-2,5-diyl group, 5-ethyl-1,3-dioxane-2,5-diyl group. Of these, a 5-ethyl-1,3-dioxane-2,5-diyl group is preferable.

式(E7)において、B及びBは、それぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表す。B及びBは、2価の連結基であることが好ましい。2価の連結基としては、例えば、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアルキニレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、置換基を有していてもよいヘテロアリーレン基、−COO−で表される基、−CO−で表される基、−CONH−で表される基、−NHCONH−で表される基、−NHCOO−で表される基、−C(=O)−で表される基、−S−で表される基、−SO−で表される基、−NH−で表される基、及び、これらの基を複数組み合わせた基が挙げられる。 In Formula (E7), B 1 and B 2 each independently represent a single bond or a divalent linking group. B 1 and B 2 are preferably a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include an alkylene group that may have a substituent, an alkynylene group that may have a substituent, an arylene group that may have a substituent, and a substituent. A heteroarylene group, a group represented by —COO—, a group represented by —CO—, a group represented by —CONH—, a group represented by —NHCONH—, and a group represented by —NHCOO—. A group represented by -C (= O)-, a group represented by -S-, a group represented by -SO-, a group represented by -NH-, and these groups. Examples include a combination of a plurality of groups.

置換基としては、例えば、ハロゲン原子、−OH、−O−C1−6アルキル基、−N(C1−6アルキル基)、C1−6アルキル基、C6−10アリール基、−NH、−CN、−C(O)O−C1−6アルキル基、−COOH、−C(O)H、−NO等が挙げられる。ここで、「Cp−q」(p及びqは正の整数であり、p<qを満たす。)という用語は、この用語の直後に記載された有機基の炭素原子数がp〜qであることを表す。例えば、「C1−6アルキル基」という表現は、炭素原子数1〜6のアルキル基を示す。 Examples of the substituent include a halogen atom, —OH, —O—C 1-6 alkyl group, —N (C 1-6 alkyl group) 2 , C 1-6 alkyl group, C 6-10 aryl group, — NH 2 , —CN, —C (O) O—C 1-6 alkyl group, —COOH, —C (O) H, —NO 2 and the like can be mentioned. Here, the term “C pq ” (p and q are positive integers, satisfying p <q) means that the number of carbon atoms of the organic group described immediately after this term is p to q. Represents something. For example, the expression “C 1-6 alkyl group” refers to an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

置換基は、さらに置換基(以下、「2次置換基」という場合がある。)を有していてもよい。2次置換基としては、例えば、既に説明した置換基と同じ基が挙げられる。   The substituent may further have a substituent (hereinafter sometimes referred to as “secondary substituent”). Examples of the secondary substituent include the same groups as those already described.

これらの中でも、B及びBは、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアルキニレン基、−COO−で表される基、及び−O−で表される基からなる群から2個以上の基を選択して組み合わせた基が好ましい。特に、B及びBは、置換基を有していてもよいアルキレン基、及び、−COO−で表される基からなる群から2個以上の基を選択して組み合わせた基がより好ましい。 Among these, B 1 and B 2 are represented by an alkylene group which may have a substituent, an alkynylene group which may have a substituent, a group represented by —COO—, and —O—. A group obtained by selecting and combining two or more groups from the group consisting of the above groups is preferred. In particular, B 1 and B 2 are more preferably a group obtained by selecting and combining two or more groups from the group consisting of an alkylene group which may have a substituent and a group represented by —COO—. .

式(E7)において、C及びCは、それぞれ独立に、官能基を表す。官能基としては、例えば、ビニル基、メタクリル基、アクリル基、アリル基、スチリル基、プロペニル基、エポキシ基が挙げられる。官能基としては、ビニル基が好ましい。 In Formula (E7), C 1 and C 2 each independently represent a functional group. Examples of the functional group include a vinyl group, a methacryl group, an acrylic group, an allyl group, a styryl group, a propenyl group, and an epoxy group. As the functional group, a vinyl group is preferable.

式(E7)で表される化合物の具体例としては、下記式(E8)で表される化合物が挙げられる。   Specific examples of the compound represented by the formula (E7) include a compound represented by the following formula (E8).

Figure 2019035051
Figure 2019035051

(E)不飽和樹脂としては、例えば、三菱瓦斯化学社製「OPE−2St 1200」(スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂、数平均分子量1200、前記式(E5)相当)、三菱ケミカル社製「YL7776」(ビキシレノールジアリルエーテル樹脂、数平均分子量331、前記式(E6)相当)、新中村化学工業社製「A−DOG」(ジオキサンアクリルモノマーグリコールジアクリレート、数平均分子量326、前記式(E8)相当)、日本化薬社製「KAYARAD R−604」(前記式(E8)相当)、が挙げられる。また、(E)不飽和樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   (E) As unsaturated resin, for example, “OPE-2St 1200” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc. (styrene-modified polyphenylene ether resin, number average molecular weight 1200, equivalent to the above formula (E5)), “YL7776” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation ( Bixylenol diallyl ether resin, number average molecular weight 331, equivalent to the formula (E6)), Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. “A-DOG” (dioxane acrylic monomer glycol diacrylate, number average molecular weight 326, equivalent to the formula (E8)) And “KAYARAD R-604” (corresponding to the formula (E8)) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Moreover, (E) unsaturated resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(E)不飽和樹脂の数平均分子量は、好ましくは100以上、より好ましくは200以上であり、好ましくは10000以下、より好ましくは3000以下である。(E)不飽和樹脂の数平均分子量が前記の範囲にあることにより、樹脂ワニスの乾燥時の揮発を抑制したり、樹脂組成物の溶融粘度が過大となることを抑制したりできる。数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値で測定できる。GPC法による数平均分子量の測定は、例えば、測定装置として島津製作所社製「LC−9A/RID−6A」を用い、カラムとして昭和電工社製「Shodex K−800P/K−804L/K−804L」を用い、移動相としてクロロホルムを用いて、カラム温度40℃にて測定できる。   (E) The number average molecular weight of unsaturated resin becomes like this. Preferably it is 100 or more, More preferably, it is 200 or more, Preferably it is 10,000 or less, More preferably, it is 3000 or less. (E) When the number average molecular weight of unsaturated resin exists in the said range, the volatilization at the time of drying of a resin varnish can be suppressed, or it can suppress that the melt viscosity of a resin composition becomes excessive. The number average molecular weight can be measured in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC). The number average molecular weight is measured by the GPC method using, for example, “LC-9A / RID-6A” manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device and “Shodex K-800P / K-804L / K-804L” manufactured by Showa Denko KK as a column. Can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform as the mobile phase.

樹脂組成物における(E)不飽和樹脂の量は、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上であり、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下である。(E)不飽和樹脂の量が、前記範囲の下限値以上であることにより、樹脂組成物の硬化物の誘電正接を効果的に低くでき、前記範囲の上限値以下であることにより、樹脂ワニスの相溶性を向上させることができる。   The amount of the unsaturated resin (E) in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and preferably 15% by mass with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition. Hereinafter, it is more preferably 10% by mass or less. (E) When the amount of the unsaturated resin is not less than the lower limit of the above range, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition can be effectively lowered, and when it is not more than the upper limit of the above range, the resin varnish It is possible to improve the compatibility.

(A)エポキシ樹脂と(E)不飽和樹脂との質量比((A)エポキシ樹脂の質量:(E)不飽和樹脂の質量)は、1:0.01〜1:100の範囲であることが好ましく、1:0.1〜1:90の範囲であることがより好ましく、1:0.2〜1:80の範囲であることがより好ましい。(A)エポキシ樹脂と(E)不飽和樹脂との質量比が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の相溶性を向上させることができる。   The mass ratio of (A) epoxy resin to (E) unsaturated resin ((A) mass of epoxy resin: mass of (E) unsaturated resin) is in the range of 1: 0.01 to 1: 100. Is preferable, the range of 1: 0.1 to 1:90 is more preferable, and the range of 1: 0.2 to 1:80 is more preferable. When the mass ratio of (A) epoxy resin to (E) unsaturated resin is in the above range, the compatibility of the resin composition can be improved.

[1.7.(F)硬化剤]
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、(F)硬化剤を含んでいてもよい。(F)成分としての硬化剤は、通常、(A)エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させる機能を有する。このような(F)硬化剤としては、例えば、活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤などが挙げられる。また、硬化剤は1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を併用してもよい。
[1.7. (F) Curing agent]
In addition to the components described above, the resin composition may contain (F) a curing agent as an optional component. The curing agent as the component (F) usually has a function of reacting with the epoxy resin (A) to cure the resin composition. Examples of the (F) curing agent include an active ester curing agent, a phenol curing agent, a naphthol curing agent, a benzoxazine curing agent, a cyanate ester curing agent, and a carbodiimide curing agent. . Moreover, a hardening | curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

活性エステル系硬化剤としては、1分子中に1個以上の活性エステル基を有する化合物を用いることができる。中でも、活性エステル系硬化剤としては、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましい。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に、耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。   As the active ester curing agent, a compound having one or more active ester groups in one molecule can be used. Among them, as the active ester curing agent, two or more ester groups having high reaction activity such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and heterocyclic hydroxy compound esters in one molecule are used. The compound which has is preferable. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. .

カルボン酸化合物としては、例えば、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。   Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid.

フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。   Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzenetriol, dicyclopentadiene type diphenol compound, phenol novolac and the like can be mentioned. Here, the “dicyclopentadiene type diphenol compound” refers to a diphenol compound obtained by condensing two molecules of phenol with one molecule of dicyclopentadiene.

活性エステル系硬化剤の好ましい具体例としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が挙げられる。中でも、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン−ジシクロペンチレン−フェニレンからなる2価の構造単位を表す。   Preferable specific examples of the active ester curing agent include an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and a benzoylated product of phenol novolac. The active ester compound containing is mentioned. Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure are more preferred. The “dicyclopentadiene type diphenol structure” represents a divalent structural unit composed of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、例えば、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」、「HPC−8000H−65TM」、「EXB−8000L−65TM」、「EXB−8150−65T」(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC社製);フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱ケミカル社製)、「YLH1030」(三菱ケミカル社製)、「YLH1048」(三菱ケミカル社製);等が挙げられる。   As a commercial product of an active ester type curing agent, for example, as an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, “EXB9451”, “EXB9460”, “EXB9460S”, “HPC-8000-65T”, “HPC-” 8000H-65TM "," EXB-8000L-65TM "," EXB-8150-65T "(manufactured by DIC);" EXB9416-70BK "(manufactured by DIC) as an active ester compound containing a naphthalene structure; Phenol novolac acetylated product "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.) as an active ester compound containing: YLH1026 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corp.) as an active ester compound containing a benzoylated phenol novolac; an active ester which is an acetylated phenol novolac “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as a curing agent; “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), “YLH1030” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), “YLH1048” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as benzoylated phenol novolac Mitsubishi Chemical Co., Ltd.);

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するものが好ましい。また、絶縁層と導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。   As a phenol type hardening | curing agent and a naphthol type | system | group hardening | curing agent, what has a novolak structure from a heat resistant and water-resistant viewpoint is preferable. Further, from the viewpoint of adhesion between the insulating layer and the conductor layer, a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent is more preferable.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」;日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」;新日鉄住金化学社製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN−495V」「SN375」;DIC社製の「TD−2090」、「LA−7052」、「LA−7054」、「LA−1356」、「LA−3018−50P」、「EXB−9500」;等が挙げられる。   Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7785” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd .; “NHN” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. "CBN", "GPH": "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", "SN-495V", "SN375" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical; “TD-2090”, “LA-7052”, “LA-7054”, “LA-1356”, “LA-3018-50P”, “EXB-9500”, and the like.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd. and “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル、等の2官能シアネート樹脂;フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂;これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマー;などが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「ULL−950S」(多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4. '-Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethyl) Bifunctional cyanate resins such as phenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether; Phenol novolac and Polyfunctional cyanate resin derived from resol novolac; prepolymer these cyanate resin is partially triazine of; and the like. Specific examples of the cyanate ester curing agent include “PT30” and “PT60” (phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resin), “ULL-950S” (polyfunctional cyanate ester resin), and “BA230” manufactured by Lonza Japan. , “BA230S75” (a prepolymer in which part or all of bisphenol A dicyanate is triazine-modified into a trimer), and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル社製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。   Specific examples of the carbodiimide curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

上述した中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点では、(F)硬化剤としては、活性エステル系硬化剤が好ましい。活性エステル系硬化剤を用いる場合、(F)硬化剤100質量%に対する活性エステル系硬化剤の量は、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上であり、好ましくは100質量%以下である。活性エステル系硬化剤の量が前記の範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、特に樹脂組成物の硬化物の誘電率を効果的に下げることができる。   Among the above-mentioned, from the viewpoint of obtaining the desired effect of the present invention remarkably, as the (F) curing agent, an active ester curing agent is preferable. When using an active ester type curing agent, the amount of the active ester type curing agent with respect to 100% by mass of the (F) curing agent is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and further preferably 30% by mass or more. Yes, preferably 100% by mass or less. When the amount of the active ester curing agent is within the above range, the desired effect of the present invention can be remarkably obtained, and in particular, the dielectric constant of the cured product of the resin composition can be effectively reduced.

樹脂組成物における(F)硬化剤の量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。   The amount of the (F) curing agent in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition, from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. Preferably it is 0.5 mass% or more, More preferably, it is 1 mass% or more, Preferably it is 40 mass% or less, More preferably, it is 30 mass% or less, More preferably, it is 20 mass% or less.

(A)エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合、(F)硬化剤の活性基数は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、更に好ましくは0.3以上であり、好ましくは1.5以下、より好ましくは1.2以下、更に好ましくは1以下である。ここで、「(A)エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中に存在する(A)エポキシ樹脂の不揮発成分の質量をエポキシ当量で除した値を全て合計した値である。また、「(F)硬化剤の活性基数」とは、樹脂組成物中に存在する(F)硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で除した値を全て合計した値である。(A)エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合の(F)硬化剤の活性基数が前記範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができ、更に通常は、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。   (A) When the number of epoxy groups of the epoxy resin is 1, (F) the number of active groups of the curing agent is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, still more preferably 0.3 or more, preferably Is 1.5 or less, more preferably 1.2 or less, and still more preferably 1 or less. Here, “(A) the number of epoxy groups of the epoxy resin” is a value obtained by adding up all the values obtained by dividing the mass of the nonvolatile component of the (A) epoxy resin present in the resin composition by the epoxy equivalent. Further, “(F) the number of active groups of the curing agent” is a value obtained by adding up all the values obtained by dividing the mass of the non-volatile component of the (F) curing agent present in the resin composition by the active group equivalent. (A) When the number of epoxy groups in the epoxy resin is 1, the active group number of the (F) curing agent is in the above range, so that the desired effect of the present invention can be remarkably obtained. The heat resistance of the cured product is further improved.

[1.8.(G)硬化促進剤]
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、(G)硬化促進剤を含んでいてもよい。(G)硬化促進剤を用いることにより、樹脂組成物を硬化させる際に硬化を促進できる。
[1.8. (G) Curing accelerator]
In addition to the components described above, the resin composition may contain (G) a curing accelerator as an optional component. (G) By using a curing accelerator, curing can be accelerated when the resin composition is cured.

(G)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤が挙げられる。中でも、アミン系硬化促進剤及び過酸化物系硬化促進剤が特に好ましい。(G)硬化促進剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   (G) As a hardening accelerator, a phosphorus hardening accelerator, an amine hardening accelerator, an imidazole hardening accelerator, a guanidine hardening accelerator, a metal hardening accelerator, a peroxide hardening accelerator is mentioned, for example. It is done. Of these, amine-based curing accelerators and peroxide-based curing accelerators are particularly preferable. (G) A hardening accelerator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネートが挙げられる。中でも、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。   Examples of phosphorus curing accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate. , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate. Of these, triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが挙げられる。中でも、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。   Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8-diazabicyclo. (5, 4, 0) -undecene. Of these, 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物;及び、イミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体;が挙げられる。中でも、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。   Examples of the imidazole curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-me Le benzyl-imidazolium chloride, 2-methyl-imidazoline, 2-phenyl imidazole compounds of imidazoline and the like; and, adducts of imidazole compounds and epoxy resin; and the like. Of these, 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱ケミカル社製の「P200−H50」が挙げられる。   A commercial item may be used as an imidazole series hardening accelerator, for example, "P200-H50" by Mitsubishi Chemical Corporation is mentioned.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニドが挙げられる。中でも、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。   Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide, 1-cyclohexyl biguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl), and the biguanide. Of these, dicyandiamide and 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛が挙げられる。   As a metal type hardening accelerator, the organometallic complex or organometallic salt of metals, such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, tin, is mentioned, for example. Specific examples of the organometallic complex include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. Organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

過酸化物系硬化促進剤としては、例えば、シクロヘキサノンパーオキサイド、tert−ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−tert−ブチルパーオキシド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、tert−ブチルハイドロパーオキサイドが挙げられる。   Examples of the peroxide curing accelerator include cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butyl cumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, diisopropylbenzene hydro Examples thereof include peroxide, cumene hydroperoxide, and tert-butyl hydroperoxide.

過酸化物系硬化促進剤としては、市販品を用いることができ、例えば、日油社製の「パークミル D」が挙げられる。   A commercially available product can be used as the peroxide curing accelerator, and examples thereof include “Park Mill D” manufactured by NOF Corporation.

(G)硬化促進剤を用いる場合、樹脂組成物における(G)硬化促進剤の量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.02質量%以上、特に好ましくは0.03質量%以上であり、好ましくは3質量%以下、より好ましくは2質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。   When the (G) curing accelerator is used, the amount of the (G) curing accelerator in the resin composition is based on 100% by mass of the non-volatile component in the resin composition from the viewpoint of remarkably obtaining the desired effect of the present invention. , Preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.02% by weight or more, particularly preferably 0.03% by weight or more, preferably 3% by weight or less, more preferably 2% by weight or less, particularly preferably 1% by mass or less.

[1.9.(H)添加剤]
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物;増粘剤;消泡剤;レベリング剤;密着性付与剤;着色剤;難燃剤;熱可塑性樹脂;等が挙げられる。また、添加剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
[1.9. (H) Additive]
The resin composition may further contain an additive as an optional component in addition to the components described above. Examples of such additives include organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds, and organocobalt compounds; thickeners; antifoaming agents; leveling agents; adhesion promoters; coloring agents; flame retardants; Plastic resin; and the like. Moreover, an additive may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more types.

[1.10.樹脂組成物の製造方法]
樹脂組成物は、例えば、配合成分を、必要により溶剤と混合し、回転ミキサーなどの撹拌装置を用いて撹拌する方法によって製造できる。
[1.10. Method for producing resin composition]
The resin composition can be produced, for example, by a method in which the compounding components are mixed with a solvent as necessary and stirred using a stirring device such as a rotary mixer.

[1.11.樹脂組成物の特性]
上述した樹脂組成物の硬化物は、その誘電率を低くできる。よって、この樹脂組成物の硬化物により、誘電率の低い絶縁層を得ることができる。例えば、実施例に記載の方法で樹脂組成物を硬化させて硬化物を得た場合、当該硬化物の誘電率を、好ましくは3.0以下、より好ましくは2.9以下にできる。ここで、硬化物の誘電率は、実施例に記載の方法で測定できる。
[1.11. Characteristics of resin composition]
The hardened | cured material of the resin composition mentioned above can make the dielectric constant low. Therefore, an insulating layer having a low dielectric constant can be obtained from the cured product of the resin composition. For example, when the resin composition is cured by the method described in Examples to obtain a cured product, the dielectric constant of the cured product can be preferably 3.0 or less, more preferably 2.9 or less. Here, the dielectric constant of the cured product can be measured by the method described in Examples.

上述した樹脂組成物の硬化物は、その誘電正接の温度安定性に優れる。具体的には、この樹脂組成物の硬化物は、常温における誘電正接の値と高温における誘電正接の値との差を小さくでき、更には、常温における誘電正接の値と低温における誘電正接の値との差を小さくできる。   The cured product of the resin composition described above is excellent in temperature stability of its dielectric loss tangent. Specifically, the cured product of this resin composition can reduce the difference between the dielectric tangent value at room temperature and the dielectric tangent value at high temperature, and further, the dielectric tangent value at room temperature and the dielectric tangent value at low temperature. The difference with can be reduced.

よって、この樹脂組成物の硬化物により、誘電正接の温度安定性に優れた絶縁層を得ることができる。具体的には、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の−10℃、25℃及び100℃での誘電正接を、それぞれDf(−10℃)、Df(25℃)及びDf(100℃)とした場合、Df(25℃)に対するDf(−10℃)の比率Df(−10℃)/Df(25℃)、及び、Df(25℃)に対するDf(100℃)の比率Df(100℃)/Df(25℃)は、下記の範囲となる。
すなわち、誘電正接の比率Df(−10℃)/Df(25℃)は、通常85%以上、好ましくは87%以上、特に好ましくは90%以上であり、通常115%以下、好ましくは114%以下、特に好ましくは113%以下である。
また、誘電正接の比率Df(100℃)/Df(25℃)は、通常85%以上、好ましくは90%以上、より好ましくは95%以上であり、通常115%以下、好ましくは114%以下、特に好ましくは113%以下である。
前記の誘電正接Df(−10℃)、Df(25℃)及びDf(100℃)は、実施例に記載の方法で測定できる。
Therefore, an insulating layer excellent in temperature stability of dielectric loss tangent can be obtained from the cured product of the resin composition. Specifically, the dielectric loss tangent at −10 ° C., 25 ° C., and 100 ° C. of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes is Df (−10 ° C.) and Df (25 ° C.), respectively. And Df (100 ° C.), the ratio of Df (−10 ° C.) to Df (25 ° C.) Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.), and Df (100 ° C.) to Df (25 ° C.) The ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) is in the following range.
That is, the dielectric loss tangent ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) is usually 85% or more, preferably 87% or more, particularly preferably 90% or more, and usually 115% or less, preferably 114% or less. Particularly preferably, it is 113% or less.
Further, the dielectric loss tangent ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) is usually 85% or more, preferably 90% or more, more preferably 95% or more, and usually 115% or less, preferably 114% or less. Particularly preferably, it is 113% or less.
Said dielectric loss tangent Df (-10 degreeC), Df (25 degreeC), and Df (100 degreeC) can be measured by the method as described in an Example.

上述したように誘電正接の温度安定性に優れる仕組みを、本発明者は、下記のように推測する。ただし、本発明の技術的範囲は、下記に説明する仕組みによって制限されるものでは無い。
本発明者の検討によれば、(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、−10℃から100℃までの実用的な温度範囲において、低温であるほど小さく、高温であるほど大きい傾向があることが判明している。逆に、(B)マレイミド化合物の重合体の誘電正接は、前記の実用的な温度範囲において、マレイミド基の作用により、低温であるほど大きく、高温であるほど小さい傾向がある。このように、(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物の硬化物の誘電正接の温度依存性と、(B)マレイミド化合物の重合体の誘電正接の温度依存性とは、逆である。よって、(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材と、(B)マレイミド化合物とを組み合わせると、両者の誘電正接の温度依存性が相殺しあって、低温及び高温のいずれにおいても同程度の誘電正接Dfが得られる。したがって、(A)エポキシ樹脂、(B)マレイミド化合物及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、温度安定性が良好になっている。
As described above, the present inventor presumes the mechanism excellent in the temperature stability of the dielectric loss tangent as follows. However, the technical scope of the present invention is not limited by the mechanism described below.
According to the study of the present inventors, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition containing (A) an epoxy resin and (D) a fluorine-based filler is in a practical temperature range from −10 ° C. to 100 ° C. It has been found that temperatures tend to be smaller at lower temperatures and larger at higher temperatures. Conversely, the dielectric loss tangent of the polymer of (B) maleimide compound tends to be larger at lower temperatures and smaller at higher temperatures due to the action of the maleimide group in the above practical temperature range. Thus, (A) the temperature dependence of the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition containing the epoxy resin and (D) the fluorine-based filler, and (B) the temperature dependence of the dielectric loss tangent of the polymer of the maleimide compound Is the opposite. Therefore, when (A) an epoxy resin and (D) a fluorine-based filler and (B) a maleimide compound are combined, the temperature dependence of the dielectric tangent of both cancels each other, and is the same at both low and high temperatures. Is obtained. Accordingly, the dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a maleimide compound, and (D) a fluorine-based filler has good temperature stability.

上述した樹脂組成物の硬化物は、通常、25℃における誘電正接が小さい。例えば、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の25℃での誘電正接Df(25℃)は、好ましくは0.020以下、より好ましくは0.010以下、更に好ましくは0.009以下、特に好ましくは0.008以下、0.007以下、又は0.006以下である。下限には特に制限は無いが、通常は0.001以上である。   The cured product of the resin composition described above usually has a small dielectric loss tangent at 25 ° C. For example, the dielectric loss tangent Df (25 ° C.) at 25 ° C. of a cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes is preferably 0.020 or less, more preferably 0.010 or less, still more preferably It is 0.009 or less, particularly preferably 0.008 or less, 0.007 or less, or 0.006 or less. Although there is no restriction | limiting in particular in a minimum, Usually, it is 0.001 or more.

[2.第二実施形態に係る樹脂組成物]
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材を含む。さらに、第二実施形態に係る樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の−10℃、25℃及び100℃での誘電正接を、それぞれDf(−10℃)、Df(25℃)及びDf(100℃)とした場合、Df(25℃)に対するDf(−10℃)の比率Df(−10℃)/Df(25℃)が、85%〜115%であり、且つ、Df(25℃)に対するDf(100℃)の比率Df(100℃)/Df(25℃)が、85%〜115%である。
[2. Resin composition according to second embodiment]
The resin composition according to the second embodiment of the present invention includes (A) an epoxy resin and (D) a fluorine-based filler. Furthermore, the dielectric loss tangents at −10 ° C., 25 ° C., and 100 ° C. of the cured product obtained by heat-treating the resin composition according to the second embodiment at 200 ° C. for 90 minutes are respectively expressed as Df (−10 ° C.) and Df ( 25 ° C.) and Df (100 ° C.), the ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) of Df (−10 ° C.) to Df (25 ° C.) is 85% to 115%, and The ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) of Df (100 ° C.) to Df (25 ° C.) is 85% to 115%.

このような樹脂組成物の硬化物は、(D)フッ素系充填材の作用によって、誘電率が低い。また、誘電正接の比率Df(−10℃)/Df(25℃)及びDf(100℃)/Df(25℃)が85%〜115%という所定の範囲に収まっていることから、この樹脂組成物の硬化物は、誘電正接の温度安定性に優れる。よって、第二実施形態に係る樹脂組成物によれば、誘電正接の温度安定性に優れることによってレーダーのアンテナ回路基板に設けた場合にレーダーの検出可能範囲の温度による変化を抑制可能であり、且つ、誘電率が低い絶縁層を得ることができる樹脂組成物を実現できるという、本発明の所望の効果を得ることができる。また、第二実施形態に係る樹脂組成物によれば、第一実施形態に係る樹脂組成物と同じ利点を得ることができる。   A cured product of such a resin composition has a low dielectric constant due to the action of (D) the fluorine-based filler. Further, since the dielectric loss tangent ratios Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) and Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) are within a predetermined range of 85% to 115%, this resin composition The cured product is excellent in the temperature stability of dielectric loss tangent. Therefore, according to the resin composition according to the second embodiment, when it is provided on the antenna circuit board of the radar by being excellent in temperature stability of the dielectric loss tangent, it is possible to suppress a change due to the temperature of the radar detectable range, And the desired effect of this invention that the resin composition which can obtain an insulating layer with a low dielectric constant is realizable can be acquired. Moreover, according to the resin composition which concerns on 2nd embodiment, the same advantage as the resin composition which concerns on 1st embodiment can be acquired.

第二実施形態に係る樹脂組成物の(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材については、第一実施形態で説明した事項を第一実施形態と同じく適用できる。   About (A) epoxy resin and (D) fluorine-type filler of the resin composition which concerns on 2nd embodiment, the matter demonstrated by 1st embodiment is applicable similarly to 1st embodiment.

第二実施形態に係る樹脂組成物は、誘電正接の比率Df(−10℃)/Df(25℃)及びDf(100℃)/Df(25℃)を所定の範囲に収める観点から、(B)マレイミド化合物を含むことが好ましい。通常は、(B)マレイミド化合物の量を調整することで、比率Df(−10℃)/Df(25℃)及びDf(100℃)/Df(25℃)を所定の範囲に収めることができる。第二実施形態に係る樹脂組成物の(B)マレイミド化合物については、第一実施形態で説明した事項を第一実施形態と同じく適用できる。   From the viewpoint of keeping the dielectric loss tangent ratios Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) and Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) within a predetermined range, the resin composition according to the second embodiment (B ) It preferably contains a maleimide compound. Usually, the ratios Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) and Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) can be kept within a predetermined range by adjusting the amount of (B) maleimide compound. . About the maleimide compound (B) of the resin composition which concerns on 2nd embodiment, the matter demonstrated by 1st embodiment is applicable similarly to 1st embodiment.

第二実施形態に係る樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、(C)無機充填材、(E)不飽和樹脂、(F)硬化剤、(G)硬化促進剤、及び(H)添加剤のうちの1つ又は2つ以上を含んでいてもよい。第二実施形態に係る樹脂組成物の(C)無機充填材、(E)不飽和樹脂、(F)硬化剤、(G)硬化促進剤、及び(H)添加剤については、第一実施形態で説明した事項を第一実施形態と同じく適用できる。   In addition to the components described above, the resin composition according to the second embodiment includes (C) an inorganic filler, (E) an unsaturated resin, (F) a curing agent, (G) a curing accelerator, and (H) One or more of the additives may be included. For the (C) inorganic filler, (E) unsaturated resin, (F) curing agent, (G) curing accelerator, and (H) additive of the resin composition according to the second embodiment, the first embodiment The matters described in (1) can be applied as in the first embodiment.

第二実施形態に係る樹脂組成物は、通常、第一実施形態に係る樹脂組成物と同じ製造方法で製造できる。   The resin composition according to the second embodiment can be usually produced by the same production method as the resin composition according to the first embodiment.

第二実施形態に係る樹脂組成物は、通常、第一実施形態に係る樹脂組成物と同様の特性を有する。よって、第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、誘電率を低く、誘電正接の温度安定性に優れ、更に通常は、25℃における誘電正接が小さい。   The resin composition according to the second embodiment usually has the same characteristics as the resin composition according to the first embodiment. Therefore, the cured product of the resin composition according to the second embodiment has a low dielectric constant, excellent temperature stability of dielectric loss tangent, and usually has a low dielectric loss tangent at 25 ° C.

[3.樹脂組成物の用途]
上述した樹脂組成物は、プリント回路基板等の回路基板の絶縁層形成用の樹脂組成物として用いることができ、中でも、ビルドアップ方式による回路基板の製造において絶縁層を形成するためのビルドアップ絶縁層形成用の樹脂組成物として用いることが好ましい。
[3. Application of resin composition]
The resin composition described above can be used as a resin composition for forming an insulating layer of a circuit board such as a printed circuit board, and in particular, build-up insulation for forming an insulating layer in manufacturing a circuit board by a build-up method. It is preferably used as a resin composition for layer formation.

特に、誘電率が低い絶縁層を得ることができるという利点を活用して、この樹脂組成物は、高周波回路基板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(高周波回路基板の絶縁層形成用の樹脂組成物)として好適に使用することができる。中でも、この樹脂組成物は、高周波回路基板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(高周波回路基板の層間絶縁層形成用の樹脂組成物)としてより好適に使用することができる。ここで、「高周波回路基板」とは、高周波帯域の電気信号であっても動作させることができる回路基板を意味する。また、「高周波帯域」とは、通常1GHz以上の帯域を意味し、上記の樹脂組成物は特に28GHz〜150GHzの帯域において有効である。   In particular, taking advantage of the fact that an insulating layer having a low dielectric constant can be obtained, this resin composition is a resin composition for forming an insulating layer of a high-frequency circuit board (for forming an insulating layer of a high-frequency circuit board). Resin composition) can be suitably used. Especially, this resin composition can be more suitably used as a resin composition (resin composition for forming an interlayer insulating layer of a high frequency circuit board) for forming an interlayer insulating layer of a high frequency circuit board. Here, the “high frequency circuit board” means a circuit board that can be operated even with an electric signal in a high frequency band. The “high frequency band” usually means a band of 1 GHz or more, and the above resin composition is particularly effective in a band of 28 GHz to 150 GHz.

さらに、誘電正接の温度安定性が良好であるという利点を活用して、この樹脂組成物は、レーダー用のアンテナ回路基板の絶縁層(例えば、配線形成層)用の樹脂組成物として用いることが好ましい。上述したように誘電正接の温度安定性が良好な硬化物を絶縁層の材料として用いることにより、アンテナ回路基板における損失の大きさの温度による変化を小さくできるので、使用温度に依らない高感度なレーダーを実現することができる。   Furthermore, taking advantage of the good temperature stability of dielectric loss tangent, this resin composition can be used as a resin composition for an insulating layer (for example, a wiring forming layer) of an antenna circuit board for radar. preferable. As described above, by using a cured product having a good temperature stability of dielectric loss tangent as the material of the insulating layer, a change in the magnitude of the loss in the antenna circuit board due to the temperature can be reduced. Radar can be realized.

また、誘電率が低い絶縁層は、回路基板の低背化に貢献できるので、薄い回路基板が求められる用途に好適である。さらに、誘電率が低い絶縁層は、回路基板のインピーダンスコントロールを容易にすることから、回路基板の設計自由度を高めるために好適である。このような観点から、樹脂組成物の好適な用途を挙げると、例えば、携帯機器に用いられるマザーボード、ICパッケージ基板、カメラモジュール基板、指紋認証センサー用基板などの回路基板が挙げられる。具体例を挙げると、指紋認証センサーは、回路基板に含まれる絶縁層と、前記絶縁層上に形成された複数の電極と、絶縁被膜とをこの順に備えることがある。この指紋認証センサーでは、絶縁被膜上に置かれた指と電極と絶縁被膜とによって形成されるコンデンサの容量値が、指紋の凹部と凸部とで異なることを利用して、指紋の認証が行われる。このような指紋認証センサーにおいて、絶縁層を薄くできると、センサー自体の小型化が可能である。   In addition, since the insulating layer having a low dielectric constant can contribute to a reduction in the height of the circuit board, it is suitable for applications requiring a thin circuit board. Furthermore, an insulating layer having a low dielectric constant facilitates impedance control of the circuit board, and thus is suitable for increasing the degree of design freedom of the circuit board. From this point of view, examples of suitable applications of the resin composition include circuit boards such as a mother board, an IC package board, a camera module board, and a fingerprint authentication sensor board used for portable devices. As a specific example, the fingerprint authentication sensor may include an insulating layer included in a circuit board, a plurality of electrodes formed on the insulating layer, and an insulating film in this order. In this fingerprint authentication sensor, fingerprint authentication is performed by utilizing the fact that the capacitance value of the capacitor formed by the finger, electrode and insulating film placed on the insulating film differs between the concave and convex parts of the fingerprint. Is called. In such a fingerprint authentication sensor, if the insulating layer can be made thin, the sensor itself can be miniaturized.

また、上述した樹脂組成物は、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が用いられる広範な用途に使用できる。   In addition, the resin composition described above is a resin composition such as an adhesive film, a sheet-like laminated material such as a prepreg, a solder resist, an underfill material, a die bonding material, a semiconductor sealing material, a hole-filling resin, and a component-filling resin. Can be used for a wide range of applications.

[4.シート状積層材料]
上述した樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して、絶縁層の形成に使用することができる。しかし、工業的には、この樹脂組成物を含むシート状積層材料の形態で用いることが好ましい。シート状積層材料の好ましい例としては、接着フィルム、プリプレグが挙げられる。
[4. Sheet-like laminated material]
The resin composition described above can be applied in a varnish state and used for forming an insulating layer. However, industrially, it is preferably used in the form of a sheet-like laminated material containing this resin composition. Preferable examples of the sheet-like laminated material include an adhesive film and a prepreg.

一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物層とを含む。樹脂組成物層は、上述した樹脂組成物で形成された層であり、「接着層」と呼ばれることがある。   In one embodiment, the adhesive film includes a support and a resin composition layer provided on the support. The resin composition layer is a layer formed of the above-described resin composition and may be referred to as an “adhesion layer”.

樹脂組成物層の厚さは、薄型化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、中でも好ましくは50μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されなく、例えば1μm以上、5μm以上、10μm以上などでありうる。   The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, and particularly preferably 50 μm or less from the viewpoint of thinning. The minimum of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, For example, it may be 1 micrometer or more, 5 micrometers or more, 10 micrometers or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられる。支持体としては、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。   Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper. The support is preferably a film made of a plastic material or a metal foil.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」という場合がある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」という場合がある。)等のポリエステル;ポリカーボネート(以下「PC」という場合がある。);ポリメチルメタクリレート(以下「PMMA」という場合がある。)等のアクリルポリマー;環状ポリオレフィン;トリアセチルセルロース(以下「TAC」という場合がある。);ポリエーテルサルファイド(以下「PES」という場合がある。);ポリエーテルケトン;ポリイミド;が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価で入手性に優れるのでポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes referred to as “PET”) and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes referred to as “PEN”). Polyester; Polycarbonate (hereinafter sometimes referred to as “PC”); Acrylic polymer such as polymethyl methacrylate (hereinafter sometimes referred to as “PMMA”); Cyclic polyolefin; Triacetylcellulose (hereinafter sometimes referred to as “TAC”). ); Polyether sulfide (hereinafter sometimes referred to as “PES”); polyether ketone; polyimide; Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and polyethylene terephthalate is particularly preferable because it is inexpensive and excellent in availability.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられる。中でも、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。   When metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil. Among these, copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.). It may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面に、マット処理、コロナ処理、帯電防止処理等の処理が施されていてもよい。   The support may be subjected to a treatment such as a mat treatment, a corona treatment, or an antistatic treatment on the surface to be joined to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用できる離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種類以上の離型剤が挙げられる。離型剤の市販品としては、例えば、アルキド樹脂系離型剤である、リンテック社製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」等が挙げられる。また、離型層付き支持体としては、例えば、東レ社製の「ルミラーT60」;帝人社製の「ピューレックス」;ユニチカ社製の「ユニピール」;等が挙げられる。   Moreover, as a support body, you may use the support body with a release layer which has a release layer in the surface joined to a resin composition layer. Examples of the release agent that can be used for the release layer of the support with the release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . Examples of commercially available release agents include “SK-1”, “AL-5”, and “AL-7” manufactured by Lintec Corporation, which are alkyd resin release agents. In addition, examples of the support with a release layer include “Lumirror T60” manufactured by Toray Industries, Inc., “Purex” manufactured by Teijin Limited, “Unipeel” manufactured by Unitika, and the like.

支持体の厚さは、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。   The thickness of the support is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. In addition, when using a support body with a release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a release layer is the said range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤及び樹脂組成物を含む樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等の塗布装置を用いて支持体に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより、製造することができる。   For the adhesive film, for example, a resin varnish containing an organic solvent and a resin composition is prepared, and this resin varnish is applied to a support using a coating device such as a die coater and further dried to form a resin composition layer. By making it, it can manufacture.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン溶剤;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル溶剤;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール溶剤;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素溶剤;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶剤;を挙げることができる。有機溶剤は、1種類単独で使用してもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of organic solvents include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK), and cyclohexanone; acetate solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol Carbitol solvents of the following: aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone; One organic solvent may be used alone, or two or more organic solvents may be used in combination.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施することができる。乾燥条件は、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が、通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように設定する。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。通常、樹脂組成物層は、樹脂ワニスの塗膜を半硬化した膜として得られる。   Drying can be carried out by a known method such as heating or hot air blowing. The drying conditions are set so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, the resin composition is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. A physical layer can be formed. Usually, the resin composition layer is obtained as a film obtained by semi-curing a coating film of a resin varnish.

接着フィルムは、必要に応じて、支持体及び樹脂組成物層以外の任意の層を含んでいてもよい。例えば、接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体とは接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムが設けられていてもよい。保護フィルムの厚さは、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、通常、接着フィルムは保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。また、接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。   The adhesive film may contain arbitrary layers other than a support body and a resin composition layer as needed. For example, a protective film according to the support may be provided on the surface of the adhesive film that is not joined to the support of the resin composition layer (that is, the surface opposite to the support). The thickness of the protective film is, for example, 1 μm to 40 μm. By the protective film, it is possible to suppress the adhesion and scratches of dust and the like to the surface of the resin composition layer. When the adhesive film has a protective film, the adhesive film can usually be used by peeling off the protective film. The adhesive film can be stored in a roll.

一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に樹脂組成物を含浸させて形成することができる。   In one embodiment, the prepreg can be formed by impregnating a sheet-like fiber base material with a resin composition.

プリプレグに用いられるシート状繊維基材は、特に限定されない。シート状繊維基材としては、例えば、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等の、プリプレグ用基材として用いられる任意の繊維基材を用いることができる。薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは900μm以下、より好ましくは800μm以下、さらに好ましくは700μm以下、特に好ましくは600μm以下である。導体層の形成にかかるめっきのもぐり深さを小さく抑える観点から、シート状繊維基材の厚さは、30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましく、10μm以下が特に好ましい。シート状繊維基材の厚さの下限は、通常1μm以上であり、1.5μm以上又は2μm以上としてもよい。   The sheet-like fiber base material used for the prepreg is not particularly limited. As a sheet-like fiber base material, arbitrary fiber base materials used as a base material for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, and a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used, for example. From the viewpoint of thinning, the thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 900 μm or less, more preferably 800 μm or less, still more preferably 700 μm or less, and particularly preferably 600 μm or less. From the viewpoint of reducing the depth of plating for forming the conductor layer, the thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, and particularly preferably 10 μm or less. The lower limit of the thickness of the sheet fiber substrate is usually 1 μm or more, and may be 1.5 μm or more, or 2 μm or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の方法により製造することができる。
プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲でありうる。
The prepreg can be produced by a method such as a hot melt method or a solvent method.
The thickness of the prepreg may be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.

[5.回路基板]
本発明の回路基板は、上述した樹脂組成物の硬化物で形成された絶縁層を含む。一実施形態において、回路基板は、内層基板と、この内層基板に設けられた絶縁層とを備える。
[5. Circuit board]
The circuit board of this invention contains the insulating layer formed with the hardened | cured material of the resin composition mentioned above. In one embodiment, the circuit board includes an inner layer substrate and an insulating layer provided on the inner layer substrate.

「内層基板」とは、回路基板の基材となる部材である。内層基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等のコア基板を含むものが挙げられる。また、通常、内層基板は、コア基材の片面又は両面に、直接的または間接的に形成された導体層を備える。この導体層は、例えば電気的な回路として機能させるために、パターン加工されていてもよい。コア基板の片面または両面に回路として導体層が形成された内層基板は、「内層回路基板」と呼ばれることがある。また、回路基板を製造するために更に絶縁層及び導体層の少なくともいずれかが形成されるべき中間製造物も、用語「内層基板」に含まれる。回路基板が部品を内蔵する場合、部品を内蔵した内層基板を使用してもよい。   The “inner layer substrate” is a member that becomes a base material of the circuit board. Examples of the inner layer substrate include those including a core substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. In general, the inner layer substrate includes a conductor layer formed directly or indirectly on one side or both sides of the core base material. This conductor layer may be patterned so as to function as an electrical circuit, for example. An inner layer substrate in which a conductor layer is formed as a circuit on one side or both sides of the core substrate may be referred to as an “inner layer circuit board”. Further, an intermediate product in which at least one of an insulating layer and a conductor layer is to be formed for manufacturing a circuit board is also included in the term “inner layer board”. When the circuit board incorporates components, an inner layer substrate incorporating the components may be used.

内層基板の厚さは、通常50μm〜4000μmであり、回路基板の機械的強度の向上及び低背化(厚さの低減)の観点から、好ましくは200μm〜3200μmである。   The thickness of the inner layer substrate is usually from 50 μm to 4000 μm, and preferably from 200 μm to 3200 μm from the viewpoint of improving the mechanical strength and reducing the height (reducing thickness) of the circuit board.

内層基板には、その両側の導体層を相互に電気的に接続するために、一方の面から他方の面に至る1個以上のスルーホールが設けられていてもよい。また、内層基板は、受動素子等の更なる構成要素を備えていてもよい。   The inner layer substrate may be provided with one or more through holes extending from one surface to the other surface in order to electrically connect the conductor layers on both sides thereof. Further, the inner layer substrate may be provided with further components such as passive elements.

絶縁層は、樹脂組成物の硬化物の層である。この硬化物で形成された絶縁層は、特にビルドアップ方式による回路基板用、高周波回路基板用、レーダーのアンテナ回路基板用、ならびに携帯機器に用いられるマザーボード、ICパッケージ基板、カメラモジュール基板、および指紋認証センサー用基板などの回路基板用の絶縁層に好適に適用することができる。   The insulating layer is a layer of a cured product of the resin composition. Insulating layers formed of this cured product are particularly for build-up circuit boards, high-frequency circuit boards, radar antenna circuit boards, and mother boards, IC package boards, camera module boards, and fingerprints used in portable devices. It can be suitably applied to an insulating layer for a circuit board such as an authentication sensor board.

回路基板は、絶縁層を、1層のみ有していてもよく、2層以上有していてもよい。回路基板が2層以上の絶縁層を有する場合には、導体層と絶縁層とが交互に積層されたビルドアップ層として設けることができる。   The circuit board may have only one insulating layer or may have two or more layers. When the circuit board has two or more insulating layers, it can be provided as a build-up layer in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated.

絶縁層の厚さは、通常20μm〜200μmであり、電気的特性の向上と回路基板の低背化の観点から、好ましくは50μm〜150μmである。   The thickness of the insulating layer is usually 20 μm to 200 μm, and preferably 50 μm to 150 μm from the viewpoint of improving electrical characteristics and reducing the height of the circuit board.

絶縁層には、回路基板が有する導体層同士を電気的に接続するための1個以上のビアホールが設けられていてもよい。   The insulating layer may be provided with one or more via holes for electrically connecting the conductor layers included in the circuit board.

前記の絶縁層は、上述した樹脂組成物の硬化物によって形成された層であるので、上述した樹脂組成物の硬化物の優れた特性を発揮できる。よって、回路基板の絶縁層は、好ましくは、絶縁層の誘電率、誘電正接の比率Df(−10℃)/Df(25℃)、誘電正接の比率Df(100℃)/Df(25℃)、及び25℃における誘電正接Df(25℃)といった特性を、前記樹脂組成物の項において説明したのと同じ範囲に調整できる。また、これらの特性は、実施例に記載の方法で測定できる。   Since the said insulating layer is a layer formed with the hardened | cured material of the resin composition mentioned above, the outstanding characteristic of the hardened | cured material of the resin composition mentioned above can be exhibited. Therefore, the insulating layer of the circuit board is preferably a dielectric constant, a dielectric loss tangent ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.), and a dielectric loss tangent ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.). And characteristics such as dielectric loss tangent Df (25 ° C.) at 25 ° C. can be adjusted to the same range as described in the section of the resin composition. These characteristics can be measured by the methods described in the examples.

回路基板は、例えば、接着フィルムを用いて、下記工程(I)及び工程(II)を含む製造方法により製造することができる。
(I)内層基板に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程。
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程。
A circuit board can be manufactured by the manufacturing method including the following process (I) and process (II), for example using an adhesive film.
(I) The process of laminating | stacking an adhesive film on an inner layer board | substrate so that the resin composition layer of this adhesive film may join an inner layer board | substrate.
(II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer.

内層基板と接着フィルムとの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に押圧しつつ加熱する加熱圧着工程により行うことができる。加熱圧着工程のための部材(「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムの支持体に直接的に押し当ててプレスするのではなく、内層基板の表面の凹凸に接着フィルムが十分に追随するように、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスすることが好ましい。   Lamination | stacking with an inner layer board | substrate and an adhesive film can be performed by the thermocompression bonding process heated, for example, pressing an adhesive film to an inner layer board | substrate from the support body side. Examples of the member for the thermocompression bonding process (also referred to as “thermocompression bonding member”) include a heated metal plate (SUS end plate or the like) or a metal roll (SUS roll). In addition, the thermocompression bonding member is not directly pressed against the support of the adhesive film and pressed, but through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the unevenness of the surface of the inner layer substrate. It is preferable to press.

内層基板と接着フィルムとの積層は、例えば、真空ラミネート法により実施することができる。真空ラミネート法において、加熱圧着の温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃である。加熱圧着の圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaである。加熱圧着の時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。   Lamination | stacking with an inner layer board | substrate and an adhesive film can be implemented by the vacuum laminating method, for example. In the vacuum laminating method, the temperature for thermocompression bonding is preferably 60 ° C to 160 ° C, more preferably 80 ° C to 140 ° C. The pressure for thermocompression bonding is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0.29 MPa to 1.47 MPa. The time for thermocompression bonding is preferably 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably performed under reduced pressure conditions with a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。   Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressurizing laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, and a batch vacuum pressurizing laminator.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材で支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂組成物層の平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着の条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層及び平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。   After the lamination, the laminated resin composition layer may be smoothed by pressing from the support side under normal pressure (under atmospheric pressure), for example, with a thermocompression bonding member. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same as the conditions for the thermocompression bonding of the laminate. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform a lamination | stacking and smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)との間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。   The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。樹脂組成物層の熱硬化の条件は、特に限定されず、回路基板の絶縁層を形成するに際して採用される条件を任意に採用することができる。   In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer. The conditions for thermosetting the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions employed when forming the insulating layer of the circuit board can be arbitrarily employed.

樹脂組成物層の熱硬化条件は、例えば樹脂組成物の種類によっても異なる。樹脂組成物層の硬化温度は、通常120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)である。また、硬化時間は、通常5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)である。   The thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on, for example, the type of resin composition. The curing temperature of the resin composition layer is usually in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 220 ° C, more preferably in the range of 170 ° C to 200 ° C). The curing time is usually in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を、硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化するのに先立ち、通常50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を、通常5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。   Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is usually at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). May be preheated for usually 5 minutes or longer (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

回路基板の製造方法は、更に、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層に粗化処理を施す工程、及び(V)導体層を形成する工程、を含んでいてもよい。これらの工程(III)〜工程(V)は、回路基板の製造に用いられる適切な方法に従って実施することができる。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)との間、又は工程(IV)と工程(V)との間のいずれの時点で実施してもよい。   The method for manufacturing a circuit board may further include (III) a step of drilling the insulating layer, (IV) a step of roughening the insulating layer, and (V) a step of forming a conductor layer. These steps (III) to (V) can be performed according to an appropriate method used for manufacturing a circuit board. When the support is removed after step (II), the support is removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or step You may implement at any time between (IV) and process (V).

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程である。穴あけにより、絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等の方法で実施することができる。ホールの寸法及び形状は、回路基板のデザインに応じて適切に決定することができる。   Step (III) is a step of making a hole in the insulating layer. By drilling, holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) can be performed, for example, by a method such as drilling, lasering, or plasma depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The size and shape of the hole can be appropriately determined according to the design of the circuit board.

工程(IV)は、絶縁層に粗化処理を施す工程である。粗化処理の手順及び条件は、特に限定されず、回路基板の絶縁層を形成するに際して使用される任意の手順及び条件を採用できる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して、絶縁層を粗化処理することができる。   Step (IV) is a step of subjecting the insulating layer to a roughening treatment. The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and any procedure and conditions used when forming the insulating layer of the circuit board can be adopted. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order.

膨潤液としては、例えば、アルカリ溶液、界面活性剤溶液が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液が挙げられる。アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」が挙げられる。また、膨潤液は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されない。膨潤処理は、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に絶縁層を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。   Examples of the swelling liquid include an alkaline solution and a surfactant solution, and preferably an alkaline solution. As an alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include “Swelling Dip Securigans P” and “Swelling Dip Securigans SBU” manufactured by Atotech Japan. Moreover, a swelling liquid may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited. The swelling treatment can be performed, for example, by immersing the insulating layer in a swelling liquid at 30 ° C. to 90 ° C. for 1 minute to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin in the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes.

酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウム又は過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、酸化剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は、5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。   Examples of the oxidizing agent include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. Moreover, an oxidizing agent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizers include alkaline permanganate solutions such as “Concentrate Compact CP” and “Dosing Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan.

中和液としては、酸性の水溶液が好ましい。中和液の市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガンスP」が挙げられる。また、中和液は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた絶縁層の処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた絶縁層を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。   As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable. As a commercial item of the neutralization liquid, for example, “Reduction Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. may be mentioned. Moreover, a neutralization liquid may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface of the insulating layer subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing the insulating layer subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 minutes to 20 minutes is preferable.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。導体層に用いられる材料は、特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であってもよく、合金層であってもよい。合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層の形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層;又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましい。さらには、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層;又は、ニッケル・クロム合金の合金層;がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。   Step (V) is a step of forming a conductor layer. The material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. Examples of the alloy layer include a layer formed of an alloy of two or more kinds of metals selected from the above group (for example, a nickel / chromium alloy, a copper / nickel alloy, and a copper / titanium alloy). Among them, from the viewpoint of versatility of forming the conductor layer, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper; or nickel / chromium alloy, copper -An alloy layer of nickel alloy or copper / titanium alloy is preferable. Further, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper; or an alloy layer of nickel / chromium alloy is more preferable, and a single metal layer of copper is still more preferable.

導体層は、単層構造を有していてもよく、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層を2層以上含む複層構造を有していてもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。   The conductor layer may have a single layer structure, or may have a multilayer structure including two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel / chromium alloy.

導体層の厚さは、通常3μm〜200μmであり、好ましくは10μm〜100μmである。   The thickness of the conductor layer is usually 3 μm to 200 μm, preferably 10 μm to 100 μm.

導体層は、例えば、接着フィルムの支持体として用いられた金属箔を利用して、これを直接的にパターニングして形成することができる。また、導体層は、例えば、めっきにより形成することができる。めっきによる形成方法としては、例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の方法により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。中でも、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。   The conductor layer can be formed by, for example, directly patterning a metal foil used as a support for the adhesive film. The conductor layer can be formed by plating, for example. As a formation method by plating, for example, the surface of the insulating layer can be plated by a method such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern. Especially, it is preferable to form by a semi-additive method from a viewpoint of the simplicity of manufacture.

以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を説明する。まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応するようにめっきシード層の一部分を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by the semi-additive method will be described. First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern for exposing a part of the plating seed layer is formed on the formed plating seed layer so as to correspond to a desired wiring pattern. A metal layer is formed by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, and then the mask pattern is removed. Thereafter, an unnecessary plating seed layer can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.

導体層は、例えば、金属箔を使用して形成してもよい。金属箔を使用して導体層を形成する場合、工程(V)は、工程(I)と工程(II)の間に実施することが好ましい。例えば、工程(I)の後、支持体を除去し、露出した樹脂組成物層の表面に金属箔を積層する。樹脂組成物層と金属箔との積層は、真空ラミネート法により実施できる。積層の条件は、工程(I)における内層基板と接着フィルムとの積層条件と同様としてよい。次いで、工程(II)を実施して絶縁層を形成する。その後、絶縁層上の金属箔を利用して、サブトラクティブ法、モディファイドセミアディティブ法等の方法により、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。金属箔は、例えば、電解法、圧延法等の方法により製造できる。金属箔の市販品としては、例えば、JX日鉱日石金属社製のHLP箔、JXUT−III箔、三井金属鉱山社製の3EC−III箔、TP−III箔等が挙げられる。   The conductor layer may be formed using a metal foil, for example. When forming a conductor layer using metal foil, it is preferable to implement process (V) between process (I) and process (II). For example, after the step (I), the support is removed, and a metal foil is laminated on the exposed surface of the resin composition layer. Lamination of the resin composition layer and the metal foil can be performed by a vacuum laminating method. The lamination conditions may be the same as the lamination conditions of the inner layer substrate and the adhesive film in step (I). Next, step (II) is performed to form an insulating layer. Thereafter, using the metal foil on the insulating layer, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by a method such as a subtractive method or a modified semi-additive method. A metal foil can be manufactured by methods, such as an electrolytic method and a rolling method, for example. Examples of commercially available metal foil include HLP foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals, JXUT-III foil, 3EC-III foil, TP-III foil manufactured by Mitsui Metal Mining.

回路基板が2層以上の絶縁層及び導体層(ビルドアップ層)を備える場合には、上述した絶縁層の形成工程及び導体層の形成工程をさらに1回以上繰り返して実施することにより、回路として機能できる多層配線構造を備える回路基板を製造することができる。   When the circuit board includes two or more insulating layers and a conductor layer (build-up layer), the above-described insulating layer forming step and conductor layer forming step are repeated one or more times to obtain a circuit. A circuit board having a functioning multilayer wiring structure can be manufactured.

他の実施形態において、回路基板は、接着フィルムに代えてプリプレグを用いて製造することができる。プリプレグを用いる製造方法は、基本的に、接着フィルムを用いる場合と同様である。   In another embodiment, the circuit board can be manufactured using prepreg instead of the adhesive film. The manufacturing method using a prepreg is basically the same as the case of using an adhesive film.

[6.半導体装置]
半導体装置は、前記の回路基板を備える。この半導体装置は、回路基板を用いて製造することができる。
[6. Semiconductor device]
A semiconductor device includes the circuit board. This semiconductor device can be manufactured using a circuit board.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。   Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electrical products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).

半導体装置は、例えば、回路基板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「回路基板における電気信号を伝送することができる箇所」であって、その箇所は回路基板の表面であっても、回路基板内に埋め込まれた箇所であっても構わない。また、半導体チップは、半導体を材料とする電気回路素子を任意に用いることができる。   The semiconductor device can be manufactured, for example, by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a circuit board. The “conducting part” is “a part where an electric signal can be transmitted on the circuit board”, and the part may be a surface of the circuit board or a part embedded in the circuit board. Absent. In addition, an electric circuit element made of a semiconductor can be arbitrarily used for the semiconductor chip.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能する任意の方法を採用できる。半導体チップの実装方法としては、例えば、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップを回路基板に直接的に埋め込み、半導体チップと回路基板の配線とを接続させる実装方法」を意味する。   As a method for mounting a semiconductor chip when manufacturing a semiconductor device, any method in which the semiconductor chip functions effectively can be adopted. As a semiconductor chip mounting method, for example, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, a mounting method using a bumpless buildup layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a non-conductive film (NCF) ) Mounting method. Here, the “mounting method using a build-up layer without bumps (BBUL)” means “a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a circuit board and the semiconductor chip and wiring of the circuit board are connected”.

以下、実施例を示して本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples. In the following description, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified.

[実施例1]
ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)20部、及び、フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、ソルベントナフサ20部に撹拌しながら加熱溶解し、その後、室温にまで冷却して、樹脂溶液を得た。
[Example 1]
20 parts of bixylenol type epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent of about 185) and 2.5 parts of phenylmethanemaleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) 20 parts of solvent naphtha The solution was heated and dissolved with stirring, and then cooled to room temperature to obtain a resin solution.

この樹脂溶液に、無機充填材(アドマテックス社製「SO−C2」、平均粒径0.5μm、単位表面積当たりのカーボン量0.38mg/m)100部、及び、ポリテトラフルオロエチレン粒子(ダイキン工業社製「ルブロンL−2」、平均粒子径3μm)55部を混合し、3本ロールで混練し分散させた。 To this resin solution, 100 parts of an inorganic filler (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm, carbon amount 0.38 mg / m 2 per unit surface area), and polytetrafluoroethylene particles ( Daikin Industries, Ltd. “Lublon L-2” (average particle size 3 μm) 55 parts was mixed, and kneaded with three rolls and dispersed.

さらに、この樹脂溶液へ、活性エステル系硬化剤(DIC社製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223の不揮発分65%のトルエン溶液)31部、アクリル樹脂(新中村化学工業社製「A−DOG」)10部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)の5%メチルエチルケトン溶液)2部、及び、硬化促進剤(日油社製のジクミルパーオキサイド「パークミル D」)0.13部を混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニス1を作製した。   Further, to this resin solution, 31 parts of an active ester curing agent (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC, toluene solution with a non-volatile content of 65% having an active group equivalent of about 223), an acrylic resin (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) "A-DOG") 10 parts, curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP) in 5% methyl ethyl ketone solution) 2 part, and curing accelerator (Nippon Corporation Dicumyl peroxide "Park Mill D") The resin varnish 1 was prepared by mixing 0.13 parts and uniformly dispersing with a rotary mixer.

[実施例2]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)の量を、10部に変更した。
また、アクリル樹脂(新中村化学工業社製「A−DOG」)、及び、ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)を、使用しなかった。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス2を作製した。
[Example 2]
The amount of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 10 parts.
Moreover, acrylic resin (“A-DOG” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and dicumyl peroxide (“Park Mill D” manufactured by NOF Corporation) were not used.
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to produce a resin varnish 2.

[実施例3]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)の量を、13.5部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス3を作製した。
[Example 3]
The amount of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 13.5 parts.
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 3.

[実施例4]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)2.5部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス4を作製した。
[Example 4]
2.5 parts of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 2.5 parts of m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 4.

[実施例5]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)10部に変更した。
また、アクリル樹脂(新中村化学工業社製「A−DOG」)、及び、ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)を使用しなかった。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス5を作製した。
[Example 5]
2.5 parts of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 10 parts of m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Moreover, acrylic resin (“A-DOG” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) and dicumyl peroxide (“Park Mill D” manufactured by NOF Corporation) were not used.
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 5.

[実施例6]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)13.5部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス6を作製した。
[Example 6]
2.5 parts of phenylmethanemaleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 13.5 parts of m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 6.

[比較例1]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)の量を、1部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス7を作製した。
[Comparative Example 1]
The amount of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 1 part.
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 7.

[比較例2]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)の量を、16部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス8を作製した。
[Comparative Example 2]
The amount of phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 16 parts.
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 8.

[比較例3]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)1部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス9を作製した。
[Comparative Example 3]
2.5 parts of phenylmethanemaleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 1 part of m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 9.

[比較例4]
フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)2.5部を、m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)16部に変更した。
以上の事項以外は、実施例1と同じ操作を行って、樹脂ワニス10を作製した。
[Comparative Example 4]
2.5 parts of phenylmethanemaleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was changed to 16 parts of m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Except for the above, the same operation as in Example 1 was performed to prepare a resin varnish 10.

[評価方法]
(硬化物の評価サンプルの作製)
表面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「PET501010」)を、支持体として用意した。この支持体上に、実施例及び比較例で得た樹脂ワニスを、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるように、ダイコーターを用いて均一に塗布した。塗布された樹脂ワニスを、80℃〜110℃(平均95℃)で6分間乾燥して、樹脂組成物層を得た。その後、樹脂組成物層を200℃で90分間熱処理して硬化させ、支持体を剥離することで、樹脂組成物の硬化物で形成された硬化物フィルムを得た。この硬化物フィルムを長さ80mm、幅2mmに切り出し、評価サンプルを得た。
[Evaluation method]
(Preparation of evaluation sample of cured product)
A polyethylene terephthalate film ("PET501010" manufactured by Lintec Corporation) having a release treatment on the surface was prepared as a support. On this support body, the resin varnish obtained by the Example and the comparative example was apply | coated uniformly using the die-coater so that the thickness of the resin composition layer after drying might be set to 40 micrometers. The applied resin varnish was dried at 80 ° C. to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 6 minutes to obtain a resin composition layer. Thereafter, the resin composition layer was cured by heat treatment at 200 ° C. for 90 minutes, and the support was peeled off to obtain a cured film formed of a cured product of the resin composition. This cured film was cut into a length of 80 mm and a width of 2 mm to obtain an evaluation sample.

(誘電率Dk及び誘電正接Dfの測定)
この評価サンプルについて、測定装置(アジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies)社製「HP8362B」)を用いた空洞共振摂動法により、測定周波数10GHzにて誘電正接及び誘電率を測定した。誘電正接の測定は、−10℃、25℃及び100℃で行った。また、誘電率の測定は、25℃で行った。
(Measurement of dielectric constant Dk and dielectric loss tangent Df)
With respect to this evaluation sample, a dielectric loss tangent and a dielectric constant were measured at a measurement frequency of 10 GHz by a cavity resonance perturbation method using a measuring apparatus (“HP 8362B” manufactured by Agilent Technologies). The dielectric loss tangent was measured at −10 ° C., 25 ° C. and 100 ° C. The dielectric constant was measured at 25 ° C.

(誘電率Dkの評価)
誘電率Dkが3.0以下である場合を「良」と評価した。また、誘電率Dkが3.0を超えた場合を「不良」と評価した。
(Evaluation of dielectric constant Dk)
The case where the dielectric constant Dk was 3.0 or less was evaluated as “good”. Further, the case where the dielectric constant Dk exceeded 3.0 was evaluated as “bad”.

(誘電正接の温度安定性の評価)
25℃での誘電正接Df(25℃)に対する−10℃での誘電正接Df(−10℃)の比率Df(−10℃)/Df(25℃)を計算した。この比率Df(−10℃)/Df(25℃)が85%〜115%の範囲にある場合に、低温での温度安定性を「良」と判定した。また、比率Df(−10℃)/Df(25℃)が85%〜115%の範囲にない場合に、低温での温度安定性を「不良」と判定した。
(Evaluation of temperature stability of dielectric loss tangent)
The ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) of the dielectric loss tangent Df (−10 ° C.) at −10 ° C. to the dielectric loss tangent Df (25 ° C.) at 25 ° C. was calculated. When this ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) is in the range of 85% to 115%, the temperature stability at low temperature was determined as “good”. Further, when the ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) was not in the range of 85% to 115%, the temperature stability at low temperature was determined as “bad”.

25℃での誘電正接Df(25℃)に対する100℃での誘電正接Df(100℃)の比率Df(100℃)/Df(25℃)を計算した。この比率Df(100℃)/Df(25℃)が85%〜115%の範囲にある場合に、高温での温度安定性を「良」と判定した。また、比率Df(100℃)/Df(25℃)が85%〜115%の範囲にない場合に、高温での温度安定性を「不良」と判定した。   The ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) of the dielectric loss tangent Df (100 ° C.) at 100 ° C. to the dielectric loss tangent Df (25 ° C.) at 25 ° C. was calculated. When this ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) is in the range of 85% to 115%, the temperature stability at high temperature was determined as “good”. Further, when the ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) was not in the range of 85% to 115%, the temperature stability at high temperature was determined as “bad”.

[結果]
上述した実施例及び比較例の結果を、下記の表に示す。下記の表において、各成分の量は、不揮発成分の質量部を表す。また、下記の表において、略称の意味は、下記の通りである。
YX4000HK:ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)。
BMI−2000:フェニルメタンマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−2000」)。
BMI−3000:m−フェニレンビスマレイミド樹脂(大和化成工業社製「BMI−3000」)。
SO−C2:無機充填材(アドマテックス社製「SO−C2」、平均粒径0.5μm、単位表面積当たりのカーボン量0.38mg/m)。
ルブロンL−2:ポリテトラフルオロエチレン粒子(ダイキン工業社製「ルブロンL−2」、平均粒子径3μm)。
A−DOG:アクリル樹脂(新中村化学工業社製「A−DOG」)。
HPC−8000−65T:活性エステル系硬化剤(DIC社製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223の不揮発分65%のトルエン溶液)。
DMAP:硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)の5%メチルエチルケトン溶液)。
パークミル D:硬化促進剤(日油社製のジクミルパーオキサイド「パークミル D」)。
(B)/(A):(A)成分100質量%に対する(B)成分の質量割合。
[result]
The results of the above-described examples and comparative examples are shown in the following table. In the following table, the amount of each component represents parts by mass of the non-volatile component. In the table below, the meanings of the abbreviations are as follows.
YX4000HK: Bixylenol type epoxy resin (“YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185).
BMI-2000: Phenylmethane maleimide resin (“BMI-2000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
BMI-3000: m-phenylene bismaleimide resin (“BMI-3000” manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.).
SO-C2: inorganic filler (“SO-C2” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm, carbon amount per unit surface area 0.38 mg / m 2 ).
Lubron L-2: polytetrafluoroethylene particles (“Lublon L-2” manufactured by Daikin Industries, Ltd., average particle diameter: 3 μm).
A-DOG: Acrylic resin (“A-DOG” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).
HPC-8000-65T: active ester type curing agent (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC, toluene solution with a non-volatile content of 65% having an active group equivalent of about 223).
DMAP: curing accelerator (5% methyl ethyl ketone solution of 4-dimethylaminopyridine (DMAP)).
Park Mill D: Curing accelerator (Dicumyl peroxide “Park Mill D” manufactured by NOF Corporation).
(B) / (A): The mass ratio of the component (B) to 100% by mass of the component (A).

Figure 2019035051
Figure 2019035051

[検討]
表1から分かるように、実施例においては、低い誘電率が得られている。また、実施例では、誘電正接の比率Df(100℃)/Df(25℃)が100%に近い所定の範囲(100%±15%)に収まっており、高温における誘電正接の温度安定性が良好である。さらに、実施例では、誘電正接の比率Df(−10℃)/Df(25℃)が100%に近い所定の範囲(100%±15%)に収まっており、低温における誘電正接の温度依存性が良好である。よって、この結果から、本発明により、誘電率が低く、誘電正接の温度安定性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物を実現できることが確認された。そして、このように誘電正接の温度安定性に優れる絶縁層をレーダーのアンテナ回路基板に適用した場合、そのレーダーの検出可能範囲の温度による変化を抑制できることは、当業者が明確に理解できる。
[Consideration]
As can be seen from Table 1, in the examples, a low dielectric constant is obtained. Further, in the example, the dielectric loss tangent ratio Df (100 ° C.) / Df (25 ° C.) is within a predetermined range (100% ± 15%) close to 100%, and the temperature stability of the dielectric loss tangent at high temperature is high. It is good. Further, in the example, the dielectric loss tangent ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) is within a predetermined range (100% ± 15%) close to 100%, and the temperature dependence of the dielectric loss tangent at a low temperature. Is good. Therefore, from this result, it was confirmed that the present invention can realize a resin composition capable of obtaining an insulating layer having a low dielectric constant and excellent temperature stability of dielectric loss tangent. It can be clearly understood by those skilled in the art that when the insulating layer having excellent temperature stability of the dielectric loss tangent is applied to the antenna circuit board of the radar, the change in the detectable range of the radar due to the temperature can be suppressed.

前記の実施例において、(E)成分〜(G)成分を用いない場合であっても、程度に差はあるものの、上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。   In the above examples, even when the components (E) to (G) are not used, it has been confirmed that the results are the same as those in the above examples although there is a difference in degree.

Claims (12)

(A)エポキシ樹脂、(B)マレイミド化合物、(C)無機充填材、及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物であって、
(B)成分の量が、(A)成分100質量%に対して、10質量%〜70質量%である、樹脂組成物。
A resin composition comprising (A) an epoxy resin, (B) a maleimide compound, (C) an inorganic filler, and (D) a fluorine-based filler,
(B) The resin composition whose quantity of a component is 10 mass%-70 mass% with respect to 100 mass% of (A) component.
(A)エポキシ樹脂及び(D)フッ素系充填材を含む樹脂組成物であって、
樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の−10℃、25℃及び100℃での誘電正接を、それぞれDf(−10℃)、Df(25℃)及びDf(100℃)とした場合、
Df(25℃)に対するDf(−10℃)の比率Df(−10℃)/Df(25℃)が、85%〜115%であり、
Df(25℃)に対するDf(100℃)の比率Df(100℃)/Df(25℃)が、85%〜115%である、樹脂組成物。
A resin composition comprising (A) an epoxy resin and (D) a fluorine-based filler,
The dielectric loss tangents at −10 ° C., 25 ° C. and 100 ° C. of the cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes are respectively expressed as Df (−10 ° C.), Df (25 ° C.) and Df (100 ° C. )
The ratio Df (−10 ° C.) / Df (25 ° C.) of Df (−10 ° C.) to Df (25 ° C.) is 85% to 115%,
The resin composition whose ratio Df (100 degreeC) / Df (25 degreeC) of Df (100 degreeC) with respect to Df (25 degreeC) is 85%-115%.
(B)マレイミド化合物を含む、請求項2記載の樹脂組成物。   (B) The resin composition of Claim 2 containing a maleimide compound. (D)成分が、フッ素系ポリマー粒子である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition of any one of Claims 1-3 whose component is a fluorine-type polymer particle. (D)成分が、ポリテトラフルオロエチレン粒子である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition of any one of Claims 1-4 whose component is a polytetrafluoroethylene particle. (E)不飽和炭化水素基を有する樹脂を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (E) The resin composition of any one of Claims 1-5 containing resin which has an unsaturated hydrocarbon group. (E)成分が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、アリル基、ビニル基及びプロペニル基からなる群から選択される1以上の不飽和炭化水素基を有する、請求項6に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 6, wherein the component (E) has one or more unsaturated hydrocarbon groups selected from the group consisting of an acryl group, a methacryl group, a styryl group, an allyl group, a vinyl group, and a propenyl group. . (E)成分が、ビニル基を有し、かつ5員環以上の環状エーテル構造を有する、請求項6又は7に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 6 or 7, wherein the component (E) has a vinyl group and a cyclic ether structure having a 5-membered ring or more. 回路基板の絶縁層形成用である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, which is used for forming an insulating layer on a circuit board. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。   A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to claim 1. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を含む、回路基板。   The circuit board containing the insulating layer which consists of a hardened | cured material of the resin composition of any one of Claims 1-9. 請求項11に記載の回路基板を備える、半導体装置。   A semiconductor device comprising the circuit board according to claim 11.
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