JP2019032177A - 変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
対物レンズは、光源から出射された光を被測定物に向けて集光させる。分離光学系は、被測定物の第1の面で反射された第1反射光及び被測定物の第1の面と対向する第2の面で反射された第2反射光の光路を、光源から出射された光の光路と分離させる。集光レンズは、分離光学系により光源から出射された光の光路と分離された第1反射光及び第2反射光を集光する。非点収差発生部は、集光レンズによって集光された第1反射光及び第2反射光に非点収差を発生させる。分割光学系は、非点収差発生部により非点収差が発生した第1反射光と第2反射光が重なり合った光を2つに分割する。第1受光ユニットは、分割光学系により2つに分割された光から第1反射光を受光する。第2受光ユニットは、分割光学系により2つに分割された光から第2反射光を受光する。
第1絶対位置演算部は、第1受光ユニットが受光した第1反射光の光量に基づいて被測定物の第1の面における第1の面と第2の面が対向する方向である高さ方向の絶対位置情報を演算する。第2絶対位置演算部は、第2受光ユニットが受光した第2反射光の光量に基づいて被測定物の第2の面における高さ方向の絶対位置情報を演算する。比較器は、第1絶対位置演算部が演算した第1の面の絶対位置情報と第2絶対位置演算部が演算した第2の面の絶対位置情報との差分から被測定物における第1の面と第2の面の高さ方向の間隔を演算する。そして、第1絶対位置演算部と第2絶対位置演算部は、互いに同期して第1の面の絶対位置情報と第2の面の絶対位置情報を演算する。
対物レンズは、光源から出射された光を被測定物に向けて集光させる。分離光学系は、被測定物の第1の面で反射された第1反射光及び被測定物の第1の面と対向する第2の面で反射された第2反射光の光路を、光源から出射された光の光路と分離させる。集光レンズは、分離光学系により光源から出射された光の光路と分離された第1反射光及び第2反射光を集光する。分割光学系は、集光レンズによって集光された第1反射光と第2反射光が重なり合った光を2つに分割する。第1ナイフエッジは、分割光学系により2つに分割された光のうち一方の光の一部を遮光する。第2ナイフエッジは、分割光学系により2つに分割された光のうち残りの他方の光の一部を遮光する。
第1絶対位置演算部は、第1受光ユニットが受光した第1反射光の光量に基づいて被測定物の第1の面における第1の面と第2の面が対向する方向である高さ方向の絶対位置情報を演算する。第2絶対位置演算部は、第2受光ユニットが受光した第2反射光の光量に基づいて被測定物の第2の面における高さ方向の絶対位置情報を演算する。比較器は、第1絶対位置演算部が演算した第1の面の絶対位置情報と第2絶対位置演算部が演算した第2の面の絶対位置情報との差分から被測定物における第1の面と第2の面の高さ方向の間隔を演算する。そして、第1絶対位置演算部と第2絶対位置演算部は、互いに同期して第1の面の絶対位置情報と第2の面の絶対位置情報を演算する。
また、以下の説明において記載される各種のレンズは、単レンズであってもよいし、レンズ群であってもよい。
まず、本発明の変位検出装置の第1の実施の形態例(以下、「本例」という。)の構成を図1〜図6に従って説明する。
図1は、変位検出装置の構成を示す概略構成図である。
図1に示すように、変位検出装置1は、被測定物Tに対向するヘッド2と、被測定物Tの厚みA1を演算する厚み検出部3とを有している。ヘッド2は、光源11と、第1レンズ12と、分離光学系13と、対物レンズ14と、第2レンズ15と、非点収差発生部16と、分割光学系17と、第1の受光部18と、第2の受光部19とを有している。なお、厚み検出部3は、ヘッド2内に収容してもよく、あるいはヘッド2の外部に設けた携帯情報処理端末や、PC(パーソナルコンピュータ)に配置してもよい。
図1及び2に示すように、厚み検出部3は、第1の受光部18に接続された第1絶対位置演算部21と、第2の受光部19に接続された第2絶対位置演算部22と、第1絶対位置演算部21と、第2絶対位置演算部22に接続された比較器23とを有している。
次に、図3及び図4を参照して、第1の受光部18と第2の受光部19の詳細な位置関係について説明する。
図3は、被測定物Tに照射された光の状態を示す説明図、図4は、第1の受光部18と第2の受光部19の位置関係を示す説明図である。
次に、図5及び図6を参照して、第1絶対位置演算部及び第2絶対位置演算部の絶対位置情報の演算方法について説明する。
[式1]
SF=(A+B)−(C+D)
図6Aは、第2の受光部19で得られるフォーカス信号の特性を示しており、図6Bは、第2の受光部19の受光面に照射される照射像の例を示している。なお、図6Aの横軸は、高さ方向Zの位置を示し、縦軸は第2絶対位置演算部22の差動増幅器63から出力されるフォーカス信号を示している。
次に、上述した構成を有する変位検出装置1の動作例、すなわち変位検出装置1を用いた被測定物Tの厚みA1の測定例について説明する。
次に、図7を参照して第2の実施の形態例に係る変位検出装置について説明する。
図7は、第2の実施の形態例に係る変位検出装置の構成を示す概略構成図である。
次に、図8〜図11を参照して第3の実施の形態例に係る変位検出装置について説明する。
図8は、第3の実施の形態例に係る変位検出装置の構成を示す概略構成図である。図9は、第3の実施の形態例に係る変位検出装置の厚み検出部を示すブロック図である。図10は、第3の実施の形態例に係る変位検出装置における第1の受光部及び第2の受光部の受光面に照射される照射像の例を示す説明図である。図11は、第3の実施の形態例に係る変位検出装置の第1の受光部及び第2の受光部で検出された光量から得られるフォーカス信号の特性を示す説明図である。
次に、図12及び図13を参照して第4の実施の形態例に係る変位検出装置について説明する。
図12は、第4の実施の形態例に係る変位検出装置の構成を示す概略構成図である。図13は、第4の実施の形態例に係る変位検出装置における第1受光側導光部材及び第2受光側導光部材の受光面に照射される照射像の例を示す説明図である。
次に、図14を参照して第5の実施の形態例に係る変位検出装置について説明する。
図14は、第5の実施の形態例に係る変位検出装置の構成を示す概略構成図である。
次に、図15を参照して第6の実施の形態例に係る変位検出装置について説明する。
図15は、第6の実施の形態例に係る変位検出装置の構成を示す概略構成図である。
Claims (11)
- 光源と、
前記光源から出射された光を被測定物に向けて集光させる対物レンズと、
前記被測定物の第1の面で反射された第1反射光及び前記被測定物の前記第1の面と対向する第2の面で反射された第2反射光の光路を、前記光源から出射された前記光の光路と分離させる分離光学系と、
前記分離光学系により前記光源から出射された前記光の光路と分離された前記第1反射光及び前記第2反射光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズによって集光された前記第1反射光及び前記第2反射光に非点収差を発生させる非点収差発生部と、
前記非点収差発生部により非点収差が発生した前記第1反射光と前記第2反射光が重なり合った光を2つに分割する分割光学系と、
前記分割光学系により2つに分割された光から前記第1反射光を受光する第1受光ユニットと、
前記分割光学系により2つに分割された光から前記第2反射光を受光する第2受光ユニットと、
前記第1受光ユニットが受光した前記第1反射光の光量に基づいて前記被測定物の前記第1の面における前記第1の面と前記第2の面が対向する方向である高さ方向の絶対位置情報を演算する第1絶対位置演算部と、
前記第2受光ユニットが受光した前記第2反射光の光量に基づいて前記被測定物の前記第2の面における高さ方向の絶対位置情報を演算する第2絶対位置演算部と、
前記第1絶対位置演算部が演算した前記第1の面の絶対位置情報と前記第2絶対位置演算部が演算した前記第2の面の絶対位置情報との差分から前記被測定物における前記第1の面と前記第2の面の高さ方向の間隔を演算する比較器と、を備え、
前記第1絶対位置演算部と前記第2絶対位置演算部は、互いに同期して前記第1の面の絶対位置情報と前記第2の面の前記絶対位置情報を演算する
変位検出装置。 - 光源と、
前記光源から出射された光を被測定物に向けて集光させる対物レンズと、
前記被測定物の第1の面で反射された第1反射光及び前記被測定物の前記第1の面と対向する第2の面で反射された第2反射光の光路を、前記光源から出射された前記光の光路と分離させる分離光学系と、
前記分離光学系により前記光源から出射された前記光の光路と分離された前記第1反射光及び前記第2反射光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズによって集光された前記第1反射光と前記第2反射光が重なり合った光を2つに分割する分割光学系と、
前記分割光学系により2つに分割された光のうち一方の光の一部を遮光する第1ナイフエッジと、
前記分割光学系により2つに分割された光のうち残りの他方の光の一部を遮光する第2ナイフエッジと、
前記第1ナイフエッジにより一部が遮光された光から前記第1反射光を受光する第1受光ユニットと、
前記第2ナイフエッジにより一部が遮光された光から前記第2反射光を受光する第2受光ユニットと、
前記第1受光ユニットが受光した前記第1反射光の光量に基づいて前記被測定物の前記第1の面における前記第1の面と前記第2の面が対向する方向である高さ方向の絶対位置情報を演算する第1絶対位置演算部と、
前記第2受光ユニットが受光した前記第2反射光の光量に基づいて前記被測定物の前記第2の面における高さ方向の絶対位置情報を演算する第2絶対位置演算部と、
前記第1絶対位置演算部が演算した前記第1の面の絶対位置情報と前記第2絶対位置演算部が演算した前記第2の面の絶対位置情報との差分から前記被測定物における前記第1の面と前記第2の面の高さ方向の間隔を演算する比較器と、を備え、
前記第1絶対位置演算部と前記第2絶対位置演算部は、互いに同期して前記第1の面の絶対位置情報と前記第2の面の前記絶対位置情報を演算する
変位検出装置。 - 前記第1受光ユニットの受光面は、前記第1反射光の照射像が前記第1受光ユニットの受光面で結像され、前記第2反射光が発散する位置に配置され、
前記第2受光ユニットの受光面は、前記第2反射光の照射像が前記第2受光ユニットの受光面で結像され、前記第1反射光が発散する位置に配置される
請求項1に記載の変位検出装置。 - 前記対物レンズを当該対物レンズの光軸方向に移動可能に支持するレンズ保持部を有し、
前記レンズ保持部は、測定する際は前記対物レンズを所定の位置で固定する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記第1受光ユニットの受光面及び前記第2受光ユニットの受光面のうち少なくとも一方は、前記分割光学系から出射される光の光軸方向に沿って移動可能に支持される
請求項1、3及び4のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記非点収差発生部は、前記集光レンズから出射される前記第1反射光及び前記第2反射光の光路に対して斜めに配置された透明は基板、又はシリンドリカルレンズである
請求項1、3〜5のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記対物レンズには、色消し対策が施されている
請求項1〜6のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記第1絶対位置演算部は、演算した前記第1の面の絶対位置情報を前記第1受光ユニットで得られる総受光量で割り、
前記第2絶対位置演算部は、演算した前記第2の面の絶対位置情報を前記第2受光ユニットで得られる総受光量で割る
請求項1〜7のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記第2の面には、前記第1の面を透過した前記光が反射され、
前記第2絶対位置演算部及び前記比較器のうちいずれか一方は、前記被測定物の屈折率の係数が予め代入され、
前記比較器は、前記屈折率に基づいて演算した前記被測定物における前記第1の面と前記第2の面の高さ方向の間隔を補正する
請求項1〜8のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記光源から出射された光を前記対物レンズに導光する照射側導光部材と、を備え、
前記第1受光ユニットは、
複数の受光素子を有する第1の受光部と、
前記分割光学系から出射された光を前記第1の受光部まで導光する第1受光側導光部材と、を有し、
前記第2受光ユニットは、
複数の受光素子を有する第2の受光部と、
前記分割光学系から出射された光を前記第2の受光部まで導光する第2受光側導光部材と、を有する
請求項1〜9のいずれか1項に記載の変位検出装置。 - 前記被測定物は、前記第1の面と前記第2の面の高さ方向の間隔が、高さ方向と直交する横方向に沿って連続的、又は段階的に変化するスケールであり、
前記スケールにおける前記第1の面と前記第2の面における高さ方向の間隔の情報と、前記横方向の絶対位置情報とを対応付けしたテーブルが格納された変位変換器をさらに備え、
前記変位変換器は、前記比較器で演算された前記第1の面と前記第2の面の高さ方向の間隔を前記横方向の絶対位置情報に変換し、前記スケールの前記横方向の絶対位置情報を出力する
請求項1〜10のいずれか1項に記載の変位検出装置。
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JPH02294937A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Pioneer Electron Corp | 光ピックアップ装置 |
JPH11232768A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Victor Co Of Japan Ltd | ディスク判別方法及びその装置 |
JP2002245639A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Nec Corp | 光ディスク装置 |
JP2008002843A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Nec Corp | パターン形状の欠陥検出方法及び検出装置 |
US20170067732A1 (en) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | Kla-Tencor Corporation | Method of improving lateral resolution for height sensor using differential detection technology for semiconductor inspection and metrology |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02294937A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Pioneer Electron Corp | 光ピックアップ装置 |
JPH11232768A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Victor Co Of Japan Ltd | ディスク判別方法及びその装置 |
JP2002245639A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Nec Corp | 光ディスク装置 |
JP2008002843A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Nec Corp | パターン形状の欠陥検出方法及び検出装置 |
US20170067732A1 (en) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | Kla-Tencor Corporation | Method of improving lateral resolution for height sensor using differential detection technology for semiconductor inspection and metrology |
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