JP2019029200A - 紫外線センサのカソード電極の製造方法および紫外線センサ - Google Patents
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Abstract
Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (4)
- アノード電極とカソード電極との間の放電によって生じる電流に基づいて紫外線を検出する紫外線センサのカソード電極の製造方法であって、
タングステン材を圧延処理する圧延工程と、
前記圧延工程によって圧延処理された前記タングステン材の表面をスパッタリングするスパッタリング工程とを備え、
前記スパッタリング工程は、
前記スパッタリングにより生じるタングステンのスパッタ粒が前記タングステン材の表面を覆い尽くすまで前記スパッタリングを続ける
ことを特徴とする紫外線センサのカソード電極の製造方法。 - 請求項1に記載された紫外線センサのカソード電極の製造方法において、
前記圧延工程は、
前記タングステン材の面方位を(200)に配向させ、
前記スパッタリング工程は、
前記スパッタ粒の面方位を(110)に配向させる
ことを特徴とする紫外線センサのカソード電極の製造方法。 - 請求項1に記載された紫外線センサのカソード電極の製造方法において、
前記スパッタリング工程は、
前記スパッタリングとして、前記タングステン材の表面からの放電を350ボルト以上の印加電圧で少なくと10日間連続して行う
ことを特徴とする紫外線センサのカソード電極の製造方法。 - アノード電極とカソード電極との間の放電によって生じる電流に基づいて紫外線を検出する紫外線センサであって、
前記カソード電極は、
請求項1〜3の何れか1項に記載された紫外線センサのカソード電極の製造方法で製造されている
ことを特徴とする紫外線センサ。
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JP2013019719A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Azbil Corp | 火炎センサ |
JP2019020222A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | アズビル株式会社 | カソード電極選定支援方法および装置 |
JP2019029199A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | アズビル株式会社 | 紫外線センサのカソード電極の製造方法および紫外線センサ |
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