JP2019020246A - 蛍光式溶存酸素計 - Google Patents

Abstract

【課題】湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との間の差をできるだけ小さく抑えることができる蛍光式溶存酸素計を提供する。【解決手段】測定対象中の酸素濃度に依存した量の蛍光を発する感応膜１１と、感応膜１１に蛍光を励起させる励起光を照射する光源部１２と、感応膜１１から発せられた蛍光を受光する受光部１３とを具備し、感応膜１１の測定対象と接触する側の表面が撥水性を有するものであることを特徴とする。【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、環境水や工業用水、汚水処理中の水等に溶存する酸素濃度を酸素による蛍光の消光現象を利用して測定する蛍光式溶存酸素計に関するものである。

蛍光式溶存酸素計は、水蒸気が飽和している湿潤大気中で校正してから、水中の酸素濃度測定に使用することを想定して設計されている。
そのため、従来、前記湿潤大気中や水中など（以下、湿潤状態とも言う）での測定値と、水蒸気が飽和していない乾燥大気中（以下、乾燥状態とも言う。）での測定値とは比較検討されていない。

しかしながら、本発明者が、前記湿潤状態と、前記乾燥状態とで、同じ酸素濃度のサンプルを測定し比較してみたところ、前記湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との間に差があることが判明した。

この測定値の差は、例えば、前記湿潤状態で校正するべきところを、ユーザの不注意等により前記乾燥状態で校正してから水中で測定した場合等に、測定値と実際の酸素濃度との間にずれを生じさせてしまう可能性がある。

"新しい溶存酸素の測定技術「蛍光式溶存酸素計」の紹介"、寺沢 啓著、かんぎきょう、１０６号、１５頁-１６頁、２０１０年７月発行

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、前記湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との間の差をできるだけ小さく抑えることができる蛍光式溶存酸素計を提供することを目的とする。

すなわち、本発明に係る蛍光式溶存酸素計は、測定対象中の酸素濃度に依存した量の蛍光を発する感応膜と、該感応膜に蛍光を励起させる励起光を照射する光源部と、前記感応膜から発せられた蛍光を受光する受光部とを具備し、前記感応膜の前記測定対象と接触する側の表面が撥水性を有するものであることを特徴とするものである。

このような蛍光式溶存酸素計によれば、前記感応膜の前記測定対象と接触する側の表面が撥水性を有するものであるので、前記湿潤状態で測定した場合に、前記感応膜が吸湿することを抑えることができる。
その結果、前記湿潤状態での測定時に、前記感応膜が吸湿することによる前記蛍光又は前記励起光の透過率や反射率の変化を抑えることができるので、前記湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との差を小さく抑えることができる。

前述した効果を発揮することができる具体的な実施態様としては、前記感応膜の前記測定対象と接触する側の表面の水接触角が８０°以上１２０°以下であるものを挙げることができる。

前記湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との差を小さく抑える方法の一つとして、前記感応膜を、支持体である母材と、該母材の表面に積層され、蛍光物質を含有する蛍光層と、該蛍光層の前記母材と接する面とは反対側の表面に積層され、該蛍光層から発せられる蛍光を反射する反射層と、該反射層の前記蛍光層と接する面とは反対側の表面に積層され、光の透過を遮断する遮光層とを具備し、前記感応膜が該遮光層側の表面で前記測定対象と接しており、前記蛍光層の厚みよりも前記反射層の厚みが大きく、前記反射層の厚みよりも前記遮光層の厚みが大きいものとすることを挙げることができる。

より具体的には、前記蛍光層の厚みが１μｍ以上３０μｍ以下であり、前記反射層の厚みが１０μｍ以上５０μｍ以下であり、前記遮光層の厚みが１５μｍ以上７５μｍ以下であるものとすることを挙げることができる。

さらに、前記蛍光層、前記反射層及び前記遮光層について、それぞれの厚みを均一にすることで、より前記湿潤状態と前記乾燥状態との間の測定値の差を小さくすることができる。

また、前記蛍光物質として、酸素濃度の変化量に対して、前記蛍光の変化量が小さいものを採用することによっても、本発明の効果を奏することができる。

前記感応膜の製造方法としては、前記蛍光層、前記反射層、及び、前記遮光層をそれぞれ印刷法により成膜し、これらを前記蛍光層、前記反射層、前記遮光層の順に積層した状態で圧着して前記感応膜を形成する方法を挙げることができる。

このような前記感応膜の製造方法によれば、各層をそれぞれ成膜してから圧着するので、前記蛍光層、前記反射層、及び前記遮光層のそれぞれの厚みを均一にしやすく、かつ、所望の厚みにしやすい。

本発明に係る蛍光式溶存酸素計によれば、前記湿潤状態での測定値と前記乾燥状態での測定値との間の差をできるだけ小さく抑えることができる。
そのため、もし使用方法を誤って、前記乾燥状態で校正し、前記湿潤状態で測定する場合でも、酸素濃度を大きな誤差なく測定することができる。

さらに言うと、前記湿潤状態又は前記乾燥状態での測定値の差を小さくできるので、従来のように、前記湿潤状態で校正して、前記湿潤状態で測定するという使用方法に縛られず、例えば、前記乾燥状態で校正や測定をする等、前記蛍光式溶存酸素計の使用方法の自由度を向上させることも可能である。

本発明の一実施形態に係る蛍光式溶存酸素計全体を示す模式図。 本実施形態に係る蛍光式溶存酸素計のセンサ部全体を示す模式図。 本実施形態に係る蛍光式溶存酸素計のセンサ部の内部構造を示す模式図。 本実施形態に係る蛍光式溶存酸素計の感応膜の断面模式図。

本発明の一実施形態に係る蛍光式溶存酸素計１００について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態に係る蛍光式溶存酸素計１００は、河川や沼湖、海洋などの環境水や工業用水、汚水処理中の水などの測定対象中の酸素濃度を、例えば、現場測定できるものであり、図１に示すように、センサ部１と、該センサ部１に、例えば、ケーブル２等を介して接続された本体部３とを具備したものである。

前記センサ部１は、図２及び図３に示すように、前記測定対象中の酸素濃度に依存した量の蛍光を発する感応膜１１と、該感応膜１１に蛍光を励起させる励起光を照射する光源部１２と、前記感応膜１１から発せられた蛍光（燐光であっても良い）を受光する受光部１３と、筒状のケーシング１４とを備えたものである。
本実施形態では、前記感応膜１１と、前記光源部１２及び前記受光部１３との間にライトガイド１５を設けているが、このライトガイドはあってもなくても良い。

前記感応膜１１は、前記ケーシング１４の一端側の開口を塞ぐように取り付けられている。
前記光源部１２は、例えば、波長がおよそ３６０ｎｍの前記励起光を発する青色発光ダイオード１２１と、波長がおよそ８００ｎｍの酸素濃度を算出するための基準光を発する赤色発光ダイオード１２２とを備えたものであり、前記ケーシング１４の内部に収容されている。
前記受光部１３は、例えば、受光ダイオード１３１と、透過する波長を選択できる光学フィルタ１３２とを備えたものであり、前記光源部１２と同様に前記ケーシング１４の内部に収容されている。

前記本体部３は、例えば、図１に示すように、前記光源部１２の動作を制御する制御部３１と、前記受光部１３からの出力値に基づいて、酸素濃度を算出する算出部３２と、前記算出部３２により算出された酸素濃度等の測定値を表示する表示部３３とを具備したものである。

前記制御部３１又は前記算出部３２は、例えば、前記本体部３に設けられた情報処理回路４がその役割を担う。この情報処理回路４は、ＣＰＵやメモリ、通信ポートなどから構成されたデジタル回路と、バッファーや増幅器などを具備するアナログ回路と、これらデジタル回路とアナログ回路とを仲立ちするＡＤコンバータ、ＤＡコンバータなどを具備したものである。そして、前記メモリに記憶させた所定のプログラムにしたがってＣＰＵやその周辺機器が協働することにより、前記制御部３１又は前記算出部３２としての機能を発揮する。

前記蛍光式溶存酸素計１００は、前記測定対象中の酸素濃度が高くなると、消光現象により前記感応膜１１から発せられる蛍光の発光時間（蛍光寿命）が短くなることを利用して、前記測定対象中の酸素濃度を測定するものである。
前記蛍光式溶存酸素計１００によって、酸素濃度を算出する手順は、以下のようなものである。
まず、前記制御部３１が、前記光源部１２及び前記受光部１３に指令信号を出し、前記光源部１２の前記青色発光ダイオード１２１を発光させ、前記感応膜１１が発する蛍光を前記受光部１３に検知させる。
次に、前記制御部３１が指令信号を出し、前記青色発光ダイオード１２１に替えて、発光特性が既知である前記赤色発光ダイオード１２２を発光させ、前記感応膜１１が発する蛍光を前記受光部１３に検知させる。
前記受光部１３からの出力信号を受け取った前記算出部３２が、前記青色発光ダイオード１２１を発光させたときの蛍光の発光時間と、前記赤色発光ダイオード１２２を発光させたときの蛍光の発光時間とに基づいて酸素濃度を算出する。

次に、前記感応膜１１について詳しく説明する。
前記感応膜１１は、図４に示すように、支持体である母材１１１と、該母材１１１の表面に積層された蛍光層１１２と、該蛍光層１１２の前記母材１１１と接する面とは反対側の表面に積層された反射層１１３と、該反射層１１３の前記蛍光層１１２と接する面とは反対側の表面に積層された遮光層１１４とを具備したものである。
この感応膜１１は、前記遮光層１１４側の表面が前記測定対象と接触するように前記ケーシング１４に取り付けられている。

前記母材１１１は、光透過性を有する膜状のものであり、この実施形態では、例えば、厚みがおよそ０．１ｍｍのガラス板を使用している。
前記母材１１１の厚みは、特に限定されないが、およそ０．１ｍｍ以上１．５ｍｍ以下のものが適している。前記母材１１１の材質も、光透過性が高い素材であればガラス以外に、例えば、アクリル板やその他の素材などであってもかまわないが、酸素脱着性に優れた素材であることが好ましい。

前記蛍光層１１２は、前記光源部１２からの励起光を受けて蛍光を発する性質と、酸素と反応して消光する性質とを併せ持つ蛍光物質、及び、前記蛍光層１１２の主成分であるポリマーを含有する膜である。
前記蛍光層１１２の主成分である前記ポリマーは、前記蛍光物質を均一に分散できる性質のものである。
前記蛍光層１１２の厚みは、１μｍ以上３０μｍ以下であれば良く、全体ができるだけ均一であることが望ましい。この実施形態では、前記蛍光層１１２を５μｍ程度の厚みにしている。

前記蛍光物質は、測定対象中の酸素にエネルギーを奪われると発光しなくなる現象（消光現象）を起こすものである。
前記蛍光物質としては、蛍光寿命が長く、かつ、酸素との反応時間が短いものが適しており、例えば、酸素と反応しやすい錯体であるポルフィリン錯体系やトリスフェニルピリジナトイリジウム（ＩＩＩ）錯体系のもの等を挙げることができる。
これらの錯体の側鎖は適宜選択することができるが、例えば、４−ｈｅｘｙｌ ａｍｉｎｏｓｔｙｒｉｌ基や、ｐ−ｔｏｌｙｌ基、Ｐｅｎｔａｆｌｕｏｒｏｂｅｎｚｙｌ基、（１−ｐｙｒｉｄｉｎｉｏ）ｄｅｃａｎｅ ａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄの臭素塩等を側鎖として、１つ又は複数個有するものを挙げることができる。これら側鎖中に含まれるアルカン部分の炭素鎖長は長いものが好ましく、例えばＣ５−Ｃ２０程度のものを挙げることができる。
特に、フッ素が側鎖に含まれていると乾燥に強い性質を与えることができる。
前記蛍光物質の具体的な例としては、例えば、Ｐｌａｔｉｎｕｍ ｏｃｔａｅｔｈｙｌｐｏｒｐｈｙｒｉｎ（以下、ＰｔＯＥＰとも言う。）やＰｌａｔｉｎｕｍ（ＩＩ）−５，１０，１５，２０−ｔｅｔｒａｋｉｓ−（２，３，４，５，６−ｐｅｎｔａｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）−ｐｏｒｐｈｙｒｉｎ（以下、ＰｔＦＰＰとも言う。）等を挙げることができるが、これらに限らず、様々なものを適宜使用することが可能である。

さらに言うと、前記蛍光物質は、酸素濃度の変化量に対して、前記測定対象中の酸素濃度の変化に依存する蛍光の変化を前記受光部１３によって所定の感度で検出することができ、かつ、酸素濃度の変化量に対して蛍光の変化量が少ないものであることが好ましい。

前記反射層１１３は、前記光源部１２から照射される励起光及び前記蛍光層１１２から発せられる蛍光を反射し増幅するものであり、例えば、ＴｉＯ_２やＡｌ_２Ｏ_３等のような光を反射する色素、及び、前記反射層１１３の主成分であるポリマーを含有する層である。
前記反射層１１３の厚みは、例えば、１０μｍ以上５０μｍ以下で、全体がなるべく均一であり、なお且つ、前記蛍光層１１２の厚みよりも大きくなるように設定されている。この実施形態では、前記反射層１１３を１０μｍの厚みにしている。

前記遮光層１１４は、前記測定対象側からの外乱光が前記受光部１３に届かないようにするものであり、例えば、カーボンブラックのような光の透過を阻害する色素、及び、前記遮光層１１４の主成分であるポリマーを含有するものである。
前記遮光層１１４の厚みは、１５μｍ以上７５μｍ以下で、全体がなるべく均一であり、なお且つ、前記反射層１１３の厚みよりも大きくなるように設定されている。この実施形態では、前記遮光層１１４を２５μｍ程度の厚みにしている。
前記遮光層１１４の前記測定対象と接する側の表面は撥水性を示すものであり、その水接触角は、８０°以上１２０°以下である。

前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４が、それぞれの主成分として含有するポリマーは、前記各層毎に異なってもよいが、本実施形態では、前記各層を互いに接着させやすくするために同一のポリマーを使用している。
前記ポリマーは、ガス透過性と撥水性とを有するものであり、この実施例では、Ｐｏｌｙ（ｉｓｏｂｕｔｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）を使用している。
前記ポリマーとしては、前述したもの以外にも、例えば、アクリル系の疎水性ポリマーを挙げることができる。

具体的には、例えば、Ｐｏｌｙ（ｃｙｃｌｏｈｅｘｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、Ｐｏｌｙ（ｐｒｏｐｙｒｅｎｅ ｏｘｉｄｅ）ｃｙｃｌｏｃａｒｂｏｎａｔｅ ｔｅｒｍｉｎａｔｅｄ、Ｐｏｌｙ（ｖｉｎｙｌ ｆｏｒｍａｌ）、Ｐｏｌｙ（Ｌ−ｌａｃｔｉｄｅ）、Ｐｏｌｙ（Ｎ−ｂｕｔｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、Ｂｕｔｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ／ｉｓｏｂｕｔｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ又はＰｏｌｙ（Ｔ−ｂｕｔｙｌ ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）等を挙げることができるが、これら以外にも、アクリル系のポリマーであり置換基として、長鎖アルキル基、アリール基、フッ素、トリフルオロメチル基、アルキルシリル基、フルオロシリル基などを有するものを使用することができる。

前記感応膜１１を製造する方法としては、例えば、以下のようなものを挙げることができる。
まず、前記母材１１１の表面に、前記蛍光層１１２の成分を溶剤に溶かしたものを印刷し、前記溶剤を揮発させて前記母材１１１上に前記蛍光層１１２を成膜する。
前記蛍光層１１２とは別に、前記反射層１１３の成分を溶剤に溶かしたものを印刷し、前記溶剤を揮発させて前記反射層１１３を成膜する。
前記遮光層１１４についても、前記蛍光層１１２及び前記反射層１１３とは別に、前記遮光層１１４の成分を溶剤に溶かしたものを印刷し、前記溶剤を揮発させて前記遮光層１１４を成膜する。
次に、これら個別に成膜した、前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４をこの順に重ねた状態で熱圧着する。

前記溶剤は、例えば、Ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒａｎ、Ａｃｅｔｏｎｅ又はＴｏｌｕｅｎｅなどの揮発性の高い物質である。
また、前述した熱圧着を容易にするため、前記ポリマーは、その軟化点が８０℃以下であることが好ましい。
この方法で製造される前記感応膜１１の直径は、およそ１８ｍｍ以下であることが好ましい。

このように構成された前記蛍光式溶存酸素計１００によれば、前記感応膜１１の前記遮光層１１４の主成分であるポリマーが撥水性のものであるので、前記感応膜１１の前記測定対象と接する側の表面を撥水性にすることができる。
前記感応膜１１の前記測定対象と接する側の表面が撥水性であるので、前記蛍光式溶存酸素計１００を、水中や水蒸気が飽和した湿潤大気中など（以下、湿潤状態とも言う。）で使用した場合であっても、前記感応膜１１が吸湿することによる前記励起光や前記蛍光の透過率や反射率の変化を抑さえることができる。
その結果、前記湿潤状態での測定値と、水蒸気が飽和していない乾燥大気中（以下、乾燥状態とも言う。）での測定値との間の差を小さくすることができる。

本実施形態に係る前記蛍光式溶存酸素計１００によって、前記湿潤状態での測定値と、前記乾燥状態での測定値との間の差を小さくすることができるその他の理由について以下に説明する。

前記感応膜１１の前記測定対象と接する側の表面が撥水性であるので、水中に前記感応膜１１を浸したときの前記感応膜１１の前記測定対象と接する側の表面と水との接触の仕方が撥水性でない場合と比較して変化する可能性がある。
この前記感応膜１１の前記測定対象と接する側の表面と水との接触の仕方を変化させることにより、水中での測定値と前記乾燥状態での測定値との間の差をより小さくできるかもしれない。

また、前記蛍光物質が、前記測定対象中の酸素濃度の変化に依存する蛍光の変化を前記受光部１３によって所定の感度で検出することができ、かつ、酸素濃度の変化量に対して蛍光の変化量が少ないものであるので、前記湿潤状態での測定値と、前記乾燥状態での測定値との間の差を生じる原因の一つとして考えられる水蒸気圧の影響をできるだけ小さくすることができる。

例えば、水中で酸素濃度を測定する場合には、水圧等によって測定値が変動する可能性もある。
そこで、前記感応膜１１の前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４のそれぞれの厚みを、前記蛍光層１１２よりも前記反射層１１３が厚く、前記反射層１１３よりも前記遮光層１１４が厚くなるように設定しているので、前記蛍光層１１２の厚みをできるだけ小さくして酸素との応答速度を早くしながら、水圧による影響を小さく抑えることができる。

前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４をそれぞれ別々に成膜してから、これらを熱圧着して前記感応膜１１を製造するので、前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４の厚みを均一にしやすく、かつ、所望の厚みにしやすい。
また、前記感応膜１１の直径をおよそ１８ｍｍ以下にしているので、前記各層を熱圧着する際に安価な治具で均一に圧力を加えることができる。
前記各層の厚みをコントロールしやすいので、前記感応膜１１の特性を安定して発揮させることができる。

ところで、このような前記蛍光式溶存酸素計１００は、測定時に足場が悪い場所や、足場から水面までの距離が離れている場所で使用される場合がある。
このような場合には、前記センサ部１を操作して、前記感応膜１１が測定時に前記測定対象に確実に浸っているかを確認する作業員と、前記本体部３を操作する作業員とを別々に配置して酸素濃度を測定することがある。
測定作業中は、作業員同士が、お互いに声を掛け合う等して連携をはかり、前記本体部３を操作する作業員が前記センサ部１を操作する作業員に測定開始や測定終了等を指示している。

そのため、例えば、前記作業員間の距離が長い場合や、互いの姿が見えにくい場所で作業をしている場合等には、前記センサ部１を操作している作業員に指示を伝えるのが難しい。
そこで、本実施形態では、図２に示すように、前記センサ部１の前記ケーシング１４の外面に、前記センサ部１の状態を示す状態表示装置１５を取り付けている。

前記状態表示装置１５は、例えば、発光ダイオード等の光源を備えたものであり、この光源の光り方や色の変化等によって、例えば、測定開始や測定終了等の前記センサ部１の動作状況や、測定値が安定しているかどうか等の情報を示すものである。
前記状態表示装置１５の光り方や色の変化は、前記本体部３へのユーザによって入力される信号や、前記受光部１３から前記本体部３に送られる蛍光強度等の信号、前記算出部３２により算出された測定値等に基づいて、前記制御部３１が制御する。

このような蛍光式溶存酸素計１００によれば、前記センサ部１と前記本体部３とを別々の作業員が操作する場合に、例えば、前記センサ部１の動作状況や、測定値に関する情報を前記センサ部１を操作している作業員に簡単に知らせることができるので、便利である。

本発明は、前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記感応膜１１が、前記遮光層１１４よりもさらに前記測定対象側に、テフロン（登録商標）フィルムや、フッ素コーティング層、その他の撥水性コーティング層を具備していてもよい。

また、前記蛍光層１１２、前記反射層１１３及び前記遮光層１１４には、前述した成分の他に、適宜Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０（ＢＡＳＦ製）や、ＡＯ−４１２Ｓ（Ａｍｆｉｎｅ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製）等の酸化防止剤、熱安定化剤などの添加剤を添加しても良い。

前記制御部３１、前記算出部３２又は前記表示部３３としての機能は、その全てを必ずしも前記本体部３が担う必要はなく、例えば、前記センサ部１又は前記本体部３に接続された汎用のコンピュータ等がその機能の一部又は全部を担うようにしても良い。

前記湿潤状態で前記蛍光式溶存酸素計１００の校正をする場合には、前記センサ部１に、前記感応膜１１側から該センサ部１を覆うキャップを装着して、該キャップ内に水蒸気を飽和させた状態で校正を行う場合がある。
このような場合、従来は、前記キャップ内に水蒸気を効率よく飽和させるため、前記キャップを前記センサ部１に装着した時に、前記キャップ内部が気密になるようにしてある。

しかしながら、従来の構成では、前記キャップを前記センサ部１に装着した時に、前記キャップ内部の圧力が大気圧よりも高くなってしまう可能性がある。
そこで、該キャップ内を大気圧と等しい圧力に保つため、前記キャップに、前記キャップの内外を連通する貫通孔を設けておいても良い。

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて、種々の変形や実施形態の組合せを行ってもかまわない。

１００・・・溶存酸素計
１１・・・感応膜
１２・・・光源部
１３・・・受光部
１１１・・・母材
１１２・・・蛍光層
１１３・・・反射層
１１４・・・遮光層

Claims (7)

1. 測定対象中の酸素濃度に依存した量の蛍光を発する感応膜と、
   該感応膜に蛍光を励起させる励起光を照射する光源部と、
   前記感応膜から発せられた蛍光を受光する受光部とを具備し、
   前記感応膜の前記測定対象と接触する側の表面が撥水性を有するものであることを特徴とする蛍光式溶存酸素計。
2. 前記感応膜の前記測定対象と接触する側の表面の水接触角が８０°以上１２０°以下である請求項１記載の蛍光式溶存酸素計。
3. 前記感応膜が、
   支持体である母材と、
   該母材の表面に積層され、蛍光物質を含有する蛍光層と、
   該蛍光層の前記母材と接する面とは反対側の表面に積層され、該蛍光層から発せられる蛍光を反射する反射層と、
   該反射層の前記蛍光層と接する面とは反対側の表面に積層され、光の透過を遮断する遮光層とを具備し、
   前記感応膜が該遮光層側の表面で前記測定対象と接しており、
   前記蛍光層の厚みよりも前記反射層の厚みが大きく、前記反射層の厚みよりも前記遮光層の厚みが大きいことを特徴とする請求項１又は２記載の蛍光式溶存酸素計。
4. 前記蛍光層の厚みが１μｍ以上３０μｍ以下であり、前記反射層の厚みが１０μｍ以上５０μｍ以下であり、前記遮光層の厚みが１５μｍ以上７５μｍ以下であることを特徴とする請求項３記載の蛍光式溶存酸素計。
5. 前記蛍光層、前記反射層及び前記遮光層のそれぞれの厚みが均一であることを特徴とする請求項３又は４記載の蛍光式溶存酸素計。
6. 前記蛍光物質が、酸素濃度の変化量に対して、前記蛍光の変化量が小さいものであることを特徴とする請求項３、４又は５記載の蛍光式溶存酸素計。
7. 請求項３乃至６記載の感応膜を製造する方法であって、
   前記蛍光層、前記反射層及び前記遮光層をそれぞれ印刷法により個別に成膜し、これらを前記蛍光層、前記反射層、前記遮光層の順に積層した状態で圧着して前記感応膜を形成することを特徴とする感応膜の製造方法。