JP2019011452A - Polyimide film and method for producing the same - Google Patents

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Abstract

To provide a polyimide film which has sufficiently low retardation (Rth) in a thickness direction and a sufficient low coefficient of thermal expansion (coefficient of linear expansion: CTE) based on an absolute value at a higher level in a good balance.SOLUTION: A polyimide film is a film made of polyimide containing a repeating unit (A) represented by a specific general formula, where in a TMA curve determined by thermomechanical analysis (TMA) of pulling the film on a condition of a load of 20 mN while raising a temperature from 50°C to 450°C at a rate of a temperature rise of 5°C/min under nitrogen atmosphere and measuring a relationship between a temperature and variation of a length of the film, an extreme value in which a ratio of the variation of the length of the film to the variation of the temperature shows from a positive value to a negative value falls within a temperature range of 200-430°C.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、ポリイミドフィルム並びにその製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide film and a method for producing the same.

近年、液晶ディスプレイ(LCD)や有機EL(エレクトロルミネッセンス)ディスプレイ(OLED)の基板に利用するためのガラスの代替材料として、ポリイミドからなるフィルムの使用が検討されている。そして、このようなLCDやOLEDに用いられるポリイミドフィルムとしては、熱膨張率(線膨張係数:CTE)と厚み方向のリタデーション(Rth)とが低いものが望まれるが、これらの特性がトレードオフの関係にあることから、これまで様々な構造のポリイミドフィルムが研究されてきた。   In recent years, the use of a film made of polyimide has been studied as an alternative material for glass for use in substrates of liquid crystal displays (LCDs) and organic EL (electroluminescence) displays (OLEDs). And, as a polyimide film used for such LCDs and OLEDs, those having a low coefficient of thermal expansion (linear expansion coefficient: CTE) and retardation in the thickness direction (Rth) are desired, but these characteristics are a trade-off. Due to the relationship, polyimide films having various structures have been studied so far.

例えば、特開2016−204568号公報(特許文献1)には、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを重合して得られるポリイミドから主としてなるポリイミドフィルムであって、テトラカルボン酸成分およびジアミン成分は、芳香環を有する化合物と脂環式化合物とからなる群から選ばれる化合物で構成され、テトラカルボン酸成分とジアミン成分の合計200モル%中、芳香環を有する化合物の割合が10〜90モル%であり、脂環式化合物の割合が110〜190モル%であり、テトラカルボン酸成分またはジアミン成分のいずれか一方が、脂環式化合物のみで構成される、ポリイミドフィルムが開示されている。しかしながら、このような特許文献1に記載のような従来のポリイミドフィルムでは、十分に低いRthを有しつつ十分に低いCTEをバランスよく有するものとするといった点では未だ十分なものではなく、十分に低いRthと十分に低いCTEとをより高い水準でバランスよく有するポリイミドフィルムの出現が望まれている。   For example, JP-A-2006-204568 (Patent Document 1) discloses a polyimide film mainly composed of polyimide obtained by polymerizing a tetracarboxylic acid component and a diamine component, wherein the tetracarboxylic acid component and the diamine component are: It is comprised by the compound chosen from the group which consists of a compound which has an aromatic ring, and an alicyclic compound, The ratio of the compound which has an aromatic ring is 10-90 mol% in the total 200 mol% of a tetracarboxylic acid component and a diamine component. There is disclosed a polyimide film in which the ratio of the alicyclic compound is 110 to 190 mol%, and either the tetracarboxylic acid component or the diamine component is composed only of the alicyclic compound. However, such a conventional polyimide film as described in Patent Document 1 is not yet sufficient in that it has a sufficiently low CTE in a well-balanced manner while having a sufficiently low Rth. The emergence of a polyimide film having a low Rth and a sufficiently low CTE with a high level of balance is desired.

特開2016−204568号公報JP, 2006-204568, A

本発明は、前記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(線膨張係数:CTE)とをより高い水準でバランスよく有することを可能とするポリイミドフィルム、及び、そのポリイミドフィルムを製造することが可能なポリイミドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and has a sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) on the basis of absolute values. It aims at providing the manufacturing method of the polyimide film which makes it possible to have the polyimide film which can have a good balance in a higher level, and the polyimide film.

本発明者らは、ポリイミドからなるフィルムをLCDやOLEDの基板等に利用するために、それらのディスプレイ等の製造工程で高温(例えば400℃以上程度)への加熱時やその放冷時に、フィルム自体に亀裂や破損が生じてしまうことや、フィルムの膨張や収縮に伴って積層した他の層等に亀裂や破損が生じてしまうこと等を、従来のポリイミドフィルムと比較して、更に高度な水準で抑制するといった観点と、LCDやOLEDの基板等に使用した際により高度な表示品質を得るといった観点から、十分に低い厚み方向のリタデーションと、十分に低い熱膨張率(線膨張係数:CTE)とをよりバランスよく有するポリイミドを得ることを課題として鋭意研究を重ねた結果、下記一般式(7)で表される特定の繰り返し単位(A’)を含有するポリイミド前駆体と有機溶媒とを含有する樹脂溶液を用いて塗膜を形成した後に、該塗膜から溶媒を除去し、これを、最終的に形成するポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成(加熱硬化)することにより、得られるポリイミドを、TMA曲線(温度とフィルムの長さとの関係を示すグラフ)において、特定の温度範囲に温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値(引張りTMA測定においてフィルムが伸びから収縮に変化する点)を有するものとすることが可能となり、これにより、得られるポリイミドフィルムのRth(絶対値)を十分に低いものとしつつ、CTE(絶対値)をより低いものとすることが可能となることを見出して本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明のポリイミドフィルムは、下記一般式(1):
In order to use a film made of polyimide as a substrate for LCDs or OLEDs, the inventors of the present invention use a film when heated to a high temperature (for example, about 400 ° C. or higher) or when allowed to cool in the manufacturing process of the display or the like. Compared to conventional polyimide films, cracks and breakage in itself, and cracks and breakage in other layers laminated as the film expands and contracts are more advanced. From the viewpoint of suppressing at a standard level and obtaining a higher display quality when used for LCD or OLED substrates, a sufficiently low thickness direction retardation and a sufficiently low thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) And a specific repeating unit (A ′) represented by the following general formula (7). After forming a coating film using a resin solution containing a polyimide precursor and an organic solvent, the solvent is removed from the coating film, and the glass transition temperature (Tg) of the polyimide finally formed is determined. As a reference, a polyimide obtained by firing (heat curing) at a temperature within the range of (Tg-190) ° C. to (Tg-50) ° C. is used as a TMA curve (a graph showing the relationship between temperature and film length). ) Has an extreme value (a point at which the film changes from elongation to shrinkage in tensile TMA measurement) in a specific temperature range in which the ratio (inclination) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative. As a result, the Rth (absolute value) of the resulting polyimide film can be made sufficiently low, while the CTE (absolute value) can be made lower. This has led to the completion of the present invention have found to be a.
That is, the polyimide film of the present invention has the following general formula (1):

[式(1)中、Aは環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30である4価の脂環式炭化水素基を示し、Rは、下記一般式(2)〜(3): [In Formula (1), A shows the tetravalent alicyclic hydrocarbon group whose number of the carbon atoms which form a cyclic structure is 4-30, Ra is following General formula (2)-(3). :

(式(2)中、Ra1、Ra2、Ra3及びRa4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示し、
式(3)中、Ra5及びRa6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。)
で表される2価の有機基のうちのいずれかを示す。]
で表される繰り返し単位(A)を含有するポリイミドからなるフィルムであり、かつ、
窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で50℃〜450℃まで昇温しながら荷重20mNの条件で該フィルムを引張って温度と該フィルムの長さの変化量との関係を測定する熱機械分析(TMA)により求められるTMA曲線において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合が正から負に転じる極値が200〜430℃の温度範囲内に存在することを特徴とするものである。
(In the formula (2), R a1 , R a2 , R a3 and R a4 each independently represents one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group,
In formula (3), R a5 and R a6 each independently represent one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group. )
Any one of divalent organic groups represented by the formula: ]
A film comprising a polyimide containing a repeating unit (A) represented by:
A thermal machine that measures the relationship between the temperature and the change in the length of the film by pulling the film under a load of 20 mN while raising the temperature from 50 ° C. to 450 ° C. at a temperature rising rate of 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere. In the TMA curve obtained by analysis (TMA), an extreme value in which the ratio of the change in the length of the film to the change in the temperature changes from positive to negative exists in the temperature range of 200 to 430 ° C. Is.

本発明のポリイミドフィルムとしては、前記式(1)中のAが、下記一般式(4):   In the polyimide film of the present invention, A in the formula (1) is represented by the following general formula (4):

[式(4)中、R、R、Rは、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基及びフッ素原子よりなる群から選択される1種を示し、nは0〜12の整数を示す。]
で表される4価の脂環式炭化水素基であることが好ましい。
[In Formula (4), R 1 , R 2 , and R 3 each independently represent one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and a fluorine atom, and n is 0 to 0. An integer of 12 is shown. ]
It is preferable that it is a tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by these.

また、本発明のポリイミドフィルムとしては、前記ポリイミドが下記一般式(5)   Moreover, as a polyimide film of this invention, the said polyimide is following General formula (5).

[式(5)中、Aは上記式(1)中のAと同義であり、Rは下記一般式(6): [In Formula (5), A is synonymous with A in said Formula (1), Rb is following General formula (6):

(式(6)中、Rb1及びRb2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。)
で表される2価の有機基を示す。]
で表される繰り返し単位(B)を更に含有するものであり、かつ、ポリイミド中の前記繰り返し単位(A)と前記繰り返し単位(B)の総量に対する前記繰り返し単位(A)の含有量が50〜100モル%であることが好ましい。
(In Formula (6), R b1 and R b2 each independently represent one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom, and a hydroxyl group.)
The bivalent organic group represented by these is shown. ]
And the content of the repeating unit (A) with respect to the total amount of the repeating unit (A) and the repeating unit (B) in the polyimide is from 50 to 50. It is preferable that it is 100 mol%.

本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、ポリイミド前駆体と、有機溶媒とを含有するポリイミド前駆体樹脂溶液を用いて塗膜を形成した後に、該塗膜から溶媒を除去し、焼成することによりポリイミドからなるフィルムを得る工程を含み、
前記ポリイミド前駆体が下記一般式(7):
The method for producing a polyimide film of the present invention comprises forming a coating film using a polyimide precursor resin solution containing a polyimide precursor and an organic solvent, and then removing the solvent from the coating film and baking the polyimide film. Including a step of obtaining a film comprising:
The polyimide precursor is represented by the following general formula (7):

[式(7)中、Aは環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30である4価の脂環式炭化水素基を示し、Rは上記一般式(2)〜(3)で表される2価の有機基のうちのいずれかを示し、Y及びYはそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数3〜9のアルキルシリル基よりなる群から選択される1種を示す。]
で表される繰り返し単位(A’)を含有するものであり、かつ、
前記焼成時に、得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成することにより、前記ポリイミドからなるフィルムとして上記本発明のポリイミドフィルムを得ること、
を特徴とする方法である。
[In Formula (7), A shows the tetravalent alicyclic hydrocarbon group whose number of carbon atoms which forms a cyclic structure is 4-30, Ra is said General formula (2)-(3). Any one of the divalent organic groups represented, Y 1 and Y 2 are each independently selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkylsilyl group having 3 to 9 carbon atoms. 1 type selected. ]
And a repeating unit (A ′) represented by:
At the time of the baking, the film is made of the polyimide as a film by baking at a temperature in the range of (Tg-190) ° C. to (Tg-50) ° C., based on the glass transition temperature (Tg) of the resulting polyimide. Obtaining the polyimide film of the invention,
It is the method characterized by this.

本発明によれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(線膨張係数:CTE)とをより高い水準でバランスよく有することを可能とするポリイミドフィルム、及び、そのポリイミドフィルムを製造することが可能なポリイミドフィルムの製造方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to have a sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) at a higher level in a well-balanced manner based on an absolute value. It becomes possible to provide the manufacturing method of the polyimide film which can be manufactured, and the polyimide film which can manufacture the polyimide film.

実施例1で得られたポリイミドフィルム及び比較例3で得られたポリイミドフィルムのTMA曲線を示すグラフである。3 is a graph showing TMA curves of the polyimide film obtained in Example 1 and the polyimide film obtained in Comparative Example 3. FIG.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof.

[ポリイミドフィルム]
本発明のポリイミドフィルムは、上記一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含有するポリイミドからなるフィルムであり、かつ、
窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で50℃〜450℃まで昇温しながら荷重20mNの条件で該フィルムを引張って温度と該フィルムの長さの変化量との関係を測定する熱機械分析(TMA)により求められるTMA曲線において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値が200〜430℃の温度範囲内に存在することを特徴とするものである。
[Polyimide film]
The polyimide film of the present invention is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1), and
A thermal machine that measures the relationship between the temperature and the change in the length of the film by pulling the film under a load of 20 mN while raising the temperature from 50 ° C. to 450 ° C. at a temperature rising rate of 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere. In the TMA curve obtained by analysis (TMA), the extreme value at which the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative exists within the temperature range of 200 to 430 ° C. It is a feature.

前記ポリイミドは、上記一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含有するものである。このような繰り返し単位(A)において、上記一般式(1)中のAは、環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30(より好ましくは4〜25、更に好ましくは15〜25、特に好ましくは16〜20)である4価の脂環式炭化水素基を示す。ここにいう「環状構造を形成する炭素原子の数」とは、脂環式炭化水素(環状脂肪族基)の主骨格の環状構造部分を形成する炭素原子の数をいい、その環状脂肪族基が、炭素を含む置換基(炭化水素基など)を有している場合、その置換基中の炭素の数は含まない。例えば、2−エチル−シクロヘキサンは、主骨格の環状構造部分がシクロヘキサン(炭素数:6)であり、かつ、環状構造に結合する置換基がエチル基(炭素数:2)であることから、環状構造を形成する炭素原子の数は6となる。このような4価の脂環式炭化水素基の環状構造を形成する炭素原子の数が前記下限未満では耐熱性の低下や熱膨張係数(線膨張係数:CTE)が増大してしまう傾向にあり、他方、前記上限を超えると合成や精製が困難となる傾向にある。なお、このような脂環式炭化水素としては、単環化合物、縮合環化合物、スピロ環化合物やポリスピロ化合物等のいずれに由来するものであってもよい。   The polyimide contains the repeating unit (A) represented by the general formula (1). In such a repeating unit (A), A in the general formula (1) has 4 to 30 carbon atoms (more preferably 4 to 25, still more preferably 15 to 25, particularly, a cyclic structure). The tetravalent alicyclic hydrocarbon group which is preferably 16-20) is shown. The “number of carbon atoms forming the cyclic structure” as used herein refers to the number of carbon atoms forming the cyclic structure portion of the main skeleton of the alicyclic hydrocarbon (cycloaliphatic group). When has a substituent containing carbon (such as a hydrocarbon group), the number of carbons in the substituent is not included. For example, 2-ethyl-cyclohexane is cyclic because the cyclic structure portion of the main skeleton is cyclohexane (carbon number: 6) and the substituent bonded to the cyclic structure is an ethyl group (carbon number: 2). The number of carbon atoms forming the structure is 6. If the number of carbon atoms forming the cyclic structure of such a tetravalent alicyclic hydrocarbon group is less than the lower limit, the heat resistance tends to decrease and the thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) tends to increase. On the other hand, if the upper limit is exceeded, synthesis and purification tend to be difficult. Such an alicyclic hydrocarbon may be derived from any of a monocyclic compound, a condensed ring compound, a spiro ring compound, a polyspiro compound, and the like.

このような4価の脂環式炭化水素基(式中のA)は、主骨格の環状構造部分(脂環式炭化水素)に置換基が結合していてもよい。また、このような4価の脂環式炭化水素基の主骨格の脂環式炭化水素(環状構造部分)としては、特に制限されないが、例えば、シクロブタン、シクロペンタン、シクロへキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、シクロデカン、ビシクロ[2.1.1]ヘキサン、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、ビシクロ[3.2.1]オクタン、ビシクロ[2.2.2]オクタン等の環式炭化水素;これらの環式炭化水素が縮合した縮合多環炭化水素;これらの環式炭化水素が一つの炭素原子によって繋がったスピロ構造を有するモノスピロ炭化水素(例えば、スピロ[4.5]デカン等)及びポリスピロ炭化水素(例えば、ジスピロ[4.2.4.2]テトラデカン、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン等);等を例示することができる。また、主骨格の環状構造部分(脂環式炭化水素)に結合し得る置換基としては、特に制限されないが、耐熱性や透明性の観点から、アルキル基、ハロゲン原子が好ましく、炭素数1〜10のアルキル基、フッ素原子であることがより好ましい。   Such a tetravalent alicyclic hydrocarbon group (A in the formula) may have a substituent bonded to the cyclic structure portion (alicyclic hydrocarbon) of the main skeleton. In addition, the alicyclic hydrocarbon (cyclic structure portion) of the main skeleton of such a tetravalent alicyclic hydrocarbon group is not particularly limited, and examples thereof include cyclobutane, cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane, Cyclic hydrocarbons such as cyclooctane, cyclodecane, bicyclo [2.1.1] hexane, bicyclo [2.2.1] heptane, bicyclo [3.2.1] octane, bicyclo [2.2.2] octane A condensed polycyclic hydrocarbon in which these cyclic hydrocarbons are condensed; a monospiro hydrocarbon having a spiro structure in which these cyclic hydrocarbons are connected by one carbon atom (for example, spiro [4.5] decane, etc.) and Polyspirohydrocarbons (eg dispiro [4.2.4.2] tetradecane, norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α′-spiro-2 ″ -no And the like. Further, the substituent that can be bonded to the cyclic structure portion (alicyclic hydrocarbon) of the main skeleton is not particularly limited, but is preferably an alkyl group or a halogen atom from the viewpoint of heat resistance and transparency. 10 alkyl groups and fluorine atoms are more preferred.

前記4価の脂環式炭化水素基としては、フィルムの調製の容易性の観点からは、上記一般式(4)で表される4価の脂環式炭化水素基、下記一般式(10)〜(12):   The tetravalent alicyclic hydrocarbon group includes a tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by the above general formula (4), the following general formula (10) from the viewpoint of ease of film preparation. To (12):

[式(10)〜(12)中のRは、式(4)中のRと同義である。]
で表される4価の脂環式炭化水素基が好ましく、中でも、上記一般式(4)で表される4価の脂環式炭化水素基、上記一般式(10)で表される4価の脂環式炭化水素基がより好ましい。また、このような4価の脂環式炭化水素基としては、より高度な耐熱性を達成するといった観点からは、上記一般式(4)で表される4価の脂環式炭化水素基が特に好ましい。
[R 4 in Formulas (10) to (12) has the same meaning as R 1 in Formula (4). ]
Of the tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by the above general formula (4), the tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by the above general formula (10). The alicyclic hydrocarbon group is more preferable. Further, as such a tetravalent alicyclic hydrocarbon group, from the viewpoint of achieving higher heat resistance, the tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by the general formula (4) is Particularly preferred.

上記一般式(4)中のR、R、Rは、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基及びフッ素原子よりなる群から選択される1種であり、nは0〜12の整数である。このような式(4)中のR、R、Rとして選択され得るアルキル基は、炭素数が1〜10のアルキル基である。このような炭素数が10を超えるとガラス転移温度が低下し十分に高度な耐熱性が達成できなくなる。また、このようなR、R、Rとして選択され得るアルキル基の炭素数としては、精製がより容易となるという観点から、1〜6であることが好ましく、1〜5であることがより好ましく、1〜4であることが更に好ましく、1〜3であることが特に好ましい。また、このようなR、R、Rとして選択され得るアルキル基は直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。更に、このようなアルキル基としては精製の容易さの観点から、メチル基、エチル基がより好ましい。 R 1 , R 2 and R 3 in the general formula (4) are each independently one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and a fluorine atom, and n is 0 It is an integer of ~ 12. The alkyl group that can be selected as R 1 , R 2 , or R 3 in the formula (4) is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. When the number of carbon atoms exceeds 10, the glass transition temperature is lowered and a sufficiently high heat resistance cannot be achieved. Moreover, as carbon number of the alkyl group which can be selected as such R < 1 >, R < 2 >, R < 3 >, it is preferable that it is 1-6 from a viewpoint that refinement | purification becomes easier, and it is 1-5. Is more preferable, it is still more preferable that it is 1-4, and it is especially preferable that it is 1-3. Further, such an alkyl group that can be selected as R 1 , R 2 , or R 3 may be linear or branched. Further, such an alkyl group is more preferably a methyl group or an ethyl group from the viewpoint of ease of purification.

このような式(4)中のR、R、Rとしては、ポリイミドを製造した際に、より高度な耐熱性が得られるという観点から、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基であることがより好ましく、中でも、原料の入手が容易であることや精製がより容易であるという観点から、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基又はイソプロピル基であることがより好ましく、水素原子又はメチル基であることが特に好ましい。また、このような式中の複数のR、R、Rは精製の容易さ等の観点から、同一のものであることが特に好ましい。 R 1 , R 2 and R 3 in the formula (4) are each independently a hydrogen atom or a carbon number of 1 to 3 from the viewpoint that higher heat resistance can be obtained when a polyimide is produced. 10 alkyl groups are more preferable, and among them, from the viewpoint of easy availability of raw materials and easier purification, each independently, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, or An isopropyl group is more preferable, and a hydrogen atom or a methyl group is particularly preferable. Moreover, it is especially preferable that several R < 1 >, R < 2 >, R < 3 > in such a formula is the same from viewpoints, such as easiness of refinement | purification.

また、このような式(4)中のnは0〜12の整数を示す。このようなnの値が前記上限を超えると精製が困難になる。また、このような一般式(4)中のnの数値範囲の上限値は、より精製が容易となるといった観点から、5であることがより好ましく、3であることが特に好ましい。また、このような一般式(4)中のnの数値範囲の下限値は、原料化合物の安定性の観点から、1であることがより好ましく、2であることが特に好ましい。このように、一般式(4)中のnとしては2〜3の整数であることが特に好ましい。   Moreover, n in such a formula (4) shows the integer of 0-12. If the value of n exceeds the upper limit, purification becomes difficult. Further, the upper limit of the numerical value range of n in the general formula (4) is more preferably 5 and particularly preferably 3 from the viewpoint of easier purification. Further, the lower limit of the numerical range of n in the general formula (4) is more preferably 1 and particularly preferably 2 from the viewpoint of the stability of the raw material compound. Thus, it is particularly preferable that n in the general formula (4) is an integer of 2 to 3.

また、上記一般式(10)〜(12)中のRは式(4)中のRと同義であり、その好適なものも同義である。 Further, R 4 in the general formula (10) to (12) has the same meaning as R 1 in the formula (4), it is also the same as the preferable examples.

また、本発明にかかる繰り返し単位(A)において、上記一般式(1)中のRは上記一般式(2)〜(3)で表される2価の有機基のうちのいずれか(上記一般式(2)で表される2価の有機基、及び、上記一般式(3)で表される2価の有機基のうちのいずれか)を示す。このような一般式(2)及び(3)で表される2価の有機基のうちのいずれかの構造を含む繰り返し単位により、得られるポリイミドフィルムを350℃以上のTgを有するような高度な耐熱性を有するものとすること、ポリイミドフィルムを加熱した際に200〜430℃の間にフィルムが伸びから収縮に変化する点(極点)を発現させること、より低いRthを得ること、が可能となる。 In the repeating unit (A) according to the present invention, R a in the general formula (1) is any one of the divalent organic groups represented by the general formulas (2) to (3) (the above The bivalent organic group represented by General formula (2) and the bivalent organic group represented by the said General formula (3) are shown. Such a polyimide film having a Tg of 350 ° C. or higher is obtained by a repeating unit including any one of the divalent organic groups represented by the general formulas (2) and (3). It is possible to have heat resistance, to express a point (pole) where the film changes from elongation to contraction between 200 to 430 ° C. when the polyimide film is heated, and to obtain a lower Rth. Become.

また、このような一般式(2)中のRa1、Ra2、Ra3及びRa4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種であり、また、前記一般式(3)中のRa5及びRa6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種である。 In addition, R a1 , R a2 , R a3 and R a4 in the general formula (2) are each independently selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group. And R a5 and R a6 in the general formula (3) are each independently one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group. is there.

このような式(2)〜(3)中のRa1〜Ra6として選択され得る炭素数1〜10のアルキル基は、上記式(4)中のRとして選択され得る炭素数1〜10のアルキル基と同様のものである(その好適なものも同様である)。また、式(2)〜(3)中のRa1〜Ra6として選択され得るハロゲン原子としては、特に制限されないが、Rthを、より十分に低くするという観点から、塩素原子、フッ素原子が好ましく、フッ素原子が特に好ましい。 Such expressions (2) - (3) an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which can be selected as R a1 to R a6 in the above formula (4) carbon atoms may be selected as R 1 in 10 The same as the alkyl group of (the preferred one is also the same). In addition, the halogen atom that can be selected as R a1 to R a6 in the formulas (2) to (3) is not particularly limited, but a chlorine atom and a fluorine atom are preferable from the viewpoint of sufficiently reducing Rth. A fluorine atom is particularly preferable.

また、このような式(2)〜(3)中のRa1〜Ra6として選択され得る基としては、耐熱性や透明性、低熱膨張、レーザ剥離性の観点から、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、フルオロ基、クロロ基、ブロモ基、水酸基であることが好ましく、水素原子、メチル基、フルオロ基、クロロ基であることがより好ましい。 Moreover, as groups that can be selected as R a1 to R a6 in the formulas (2) to (3), from the viewpoint of heat resistance, transparency, low thermal expansion, and laser releasability, a hydrogen atom, a methyl group, An ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, a fluoro group, a chloro group, a bromo group, and a hydroxyl group are preferable, and a hydrogen atom, a methyl group, a fluoro group, and a chloro group are more preferable.

さらに、このような一般式(2)及び(3)で表される2価の有機基としては、十分に低いRthと十分に低いCTEと十分に高い耐熱性やレーザ剥離性を発現させると言う観点から、一般式(2)で表される基がより好ましい。   Furthermore, it is said that such divalent organic groups represented by the general formulas (2) and (3) exhibit sufficiently low Rth, sufficiently low CTE, and sufficiently high heat resistance and laser peelability. From the viewpoint, the group represented by the general formula (2) is more preferable.

また、このような繰り返し単位(A)は、下記一般式(I):   Such a repeating unit (A) has the following general formula (I):

[式(I)中のAは上記式(1)中のAと同義である。]
で表されるテトラカルボン酸二無水物と、式:HN−R−NH[式中のRは上記式(1)中のRと同義である。]で表されるジアミン化合物との反応に由来して形成させることができる。このような一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、特に制限されず、公知のものを適宜利用できるが、下記一般式(I−1):
[A in the formula (I) has the same meaning as A in the above formula (1). ]
A tetracarboxylic dianhydride represented in the formula: H 2 N-R a -NH 2 [R a in the formula is as defined R a in the above formula (1). ] Derived from the reaction with a diamine compound represented by the formula: The tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (I) is not particularly limited, and a known one can be used as appropriate, but the following general formula (I-1):

[式(I−1)中のR、R、R、nは、一般式(4)中のR、R、R、nと同義である。]
で表されるテトラカルボン酸二無水物が好ましい。また、このような一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物を製造するための方法としては特に制限されず、公知の方法を適宜採用することができ、例えば、上記一般式(I−1)で表されるテトラカルボン酸二無水物を製造して利用する場合、国際公開第2011/099518号に記載の方法等を適宜採用することができる。また、これらのテトラカルボン酸二無水物としては市販品を利用してもよい。更に、これらのテトラカルボン酸二無水物は1種を単独であるいは2種以上を組み合わせて利用できる。
[R 1, R 2, R 3, n in the formula (I-1) is R 1 in the general formula (4), R 2, the same meaning as R 3, n. ]
The tetracarboxylic dianhydride represented by these is preferable. Moreover, it does not restrict | limit especially as a method for manufacturing the tetracarboxylic dianhydride represented by such general formula (I), A well-known method can be employ | adopted suitably, for example, the said general formula ( When the tetracarboxylic dianhydride represented by I-1) is produced and used, a method described in International Publication No. 2011/099518 can be appropriately employed. Moreover, you may utilize a commercial item as these tetracarboxylic dianhydrides. Furthermore, these tetracarboxylic dianhydrides can be used singly or in combination of two or more.

また、式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物としては、Rが上記式(1)中のRと同様のものであればよく、特に制限されず、例えば、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン(FDA)、9,9−ビス(4−アミノ−3−フルオロフェニル)フルオレン(F−FDA)、9,9−ビス(4−アミノ−3−クロロフェニル)フルオレン(Cl−FDA)、9,9−ビス(4−アミノ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−アミノ−3−メチルフェニル)フルオレン(Me−FDA)、9,9−ビス(4−アミノ−3−エチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−アミノ−3−n−プロピルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−アミノ−3−イソプロピルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)フルオレン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン(4,4’−DDS)、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン(3,3’−DDS)、3,7−ジアミノ−2,8−ジメチルジベンゾチオフェンスルホン、o−トリジンスルホン、及びビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)スルホン等が挙げられる。これらのジアミン化合物としては市販品を利用してもよい。また、これらのジアミン化合物は1種を単独であるいは2種以上を組み合わせて利用できる。 Further, the formula: Examples of the diamine compounds represented by H 2 N-R a -NH 2 , as long as R a is the same as R a in the formula (1) is not particularly limited, for example, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene (FDA), 9,9-bis (4-amino-3-fluorophenyl) fluorene (F-FDA), 9,9-bis (4-amino-3-) Chlorophenyl) fluorene (Cl-FDA), 9,9-bis (4-amino-3-bromophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-amino-3-methylphenyl) fluorene (Me-FDA), 9, 9-bis (4-amino-3-ethylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-amino-3-n-propylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-amino-3-isopropylphenyl) fluorene 9,9-bis (4-a Mino-3-hydroxyphenyl) fluorene, 4,4′-diaminodiphenylsulfone (4,4′-DDS), 3,3′-diaminodiphenylsulfone (3,3′-DDS), 3,7-diamino-2 , 8-dimethyldibenzothiophene sulfone, o-tolidine sulfone, bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) sulfone, and the like. Commercial products may be used as these diamine compounds. Moreover, these diamine compounds can be used singly or in combination of two or more.

また、前記ポリイミドとしては、繰り返し単位(A)の1種を単独で含んでいるものであっても、あるいは、上記式(1)中のAの種類やRの種類の異なる2種以上の繰り返し単位(A)を組み合わせて含んでいるものであってもよい。また、前記ポリイミドは、前記繰り返し単位(A)とともに、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。 Moreover, as said polyimide, even if it contains 1 type of repeating unit (A) independently, or 2 or more types from which the kind of A in said Formula (1) and the kind of Ra differ. It may contain a combination of repeating units (A). Moreover, the said polyimide may contain the other repeating unit with the said repeating unit (A).

このようなポリイミドとしては、前記繰り返し単位(A)とともに、上記一般式(5)で表される繰り返し単位(B)を含有するものが好ましい。すなわち、前記ポリイミドとしては、繰り返し単位(B)を更に含有するものが好ましい。このような一般式(5)中のAは上記式(1)中のAと同義である(その好適なものも同義である)。また、上記一般式(5)中のRは上記一般式(6)で表される2価の有機基である。そして、このような式(6)中のRb1及びRb2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。なお、このような式(6)中のRb1及びRb2はそれぞれ、上記式(2)中のRa1と同義である(その好適なものも同義である)。 As such a polyimide, what contains the repeating unit (B) represented by the said General formula (5) with the said repeating unit (A) is preferable. That is, as said polyimide, what further contains a repeating unit (B) is preferable. A in such a general formula (5) is synonymous with A in the said Formula (1) (The suitable thing is also synonymous). R b in the general formula (5) is a divalent organic group represented by the general formula (6). R b1 and R b2 in the formula (6) are each independently selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom, and a hydroxyl group. In addition, Rb1 and Rb2 in such a formula (6) are respectively synonymous with Ra1 in the said Formula (2) (The suitable thing is also synonymous).

このような繰り返し単位(B)は、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物と、式:HN−R−NH[式中のRは上記式(5)中のRと同義である。]で表されるジアミン化合物との反応に由来して形成させることができる。上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物についてはこのような式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物としては、例えば、4,4’−ジアミノベンズアニリド(4,4’−DABAN)、2,4’−ジアミノベンズアニリド(2,4’−DABAN)、3,4’−ジアミノベンズアニリド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、2−メチルベンズアニリド等が挙げられる。これらのジアミン化合物としては市販品を利用してもよい。また、これらのジアミン化合物は1種を単独であるいは2種以上を組み合わせて利用できる。 Such a repeating unit (B) includes a tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I), a formula: H 2 N—R b —NH 2 [wherein R a is the formula (5) It is synonymous with R b in ). ] Derived from the reaction with a diamine compound represented by the formula: For the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I), examples of the diamine compound represented by the formula: H 2 N—R b —NH 2 include 4,4′-diaminobenz Anilide (4,4′-DABAN), 2,4′-diaminobenzanilide (2,4′-DABAN), 3,4′-diaminobenzanilide, 3,3′-diaminobenzanilide, 2-methylbenzanilide Etc. Commercial products may be used as these diamine compounds. Moreover, these diamine compounds can be used singly or in combination of two or more.

なお、前記ポリイミドにおいては、本発明の効果を損なわない範囲において、繰り返し単位(A)及び(B)以外の繰り返し単位を含有してもよい。このような繰り返し単位(A)及び(B)以外の繰り返し単位としては、特に制限されず、ポリイミドの繰り返し単位として利用できる公知の繰り返し単位が挙げられる。このような繰り返し単位(A)及び(B)以外の他の繰り返し単位としては、例えば、前記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物以外の他のテトラカルボン酸二無水物(例えば、国際公開第2014/034760号の段落[0171]に記載の化合物等)に由来する繰り返し単位や、前記ジアミン化合物以外の他のジアミン(例えば、国際公開第2017/030019号の段落[0211]に記載の芳香族ジアミン、国際公開第2014/034760号の段落[0157]に記載の芳香族ジアミン等)に由来する繰り返し単位等を利用してもよい。   In addition, in the said polyimide, you may contain repeating units other than repeating unit (A) and (B) in the range which does not impair the effect of this invention. Such a repeating unit other than the repeating units (A) and (B) is not particularly limited, and includes known repeating units that can be used as a repeating unit of polyimide. As other repeating units other than the repeating units (A) and (B), for example, other tetracarboxylic dianhydrides other than the tetracarboxylic dianhydrides represented by the general formula (I) ( For example, a repeating unit derived from WO 2014/034760, etc. described in paragraph [0171], or a diamine other than the diamine compound (for example, paragraph WO 02/030019 paragraph [0211]). Or a repeating unit derived from the aromatic diamine described in paragraph [0157] of International Publication No. 2014/034760).

なお、繰り返し単位(A)及び(B)以外の繰り返し単位としては、CTEをより小さくすることが可能となるといった観点からは、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物と、置換基を有していてもよいp−フェニレンジアミン、置換基を有していてもよいターフェニルジアミン、置換基を有していてもよいビフェニル系ジアミン(例えば、m−トリジン、o−トリジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンなど)、置換基を有していてもよいエステル基含有ジアミン(例えば4−アミノ安息香酸4−アミノフェニルなど)、及び、水酸基を有するジアミン(例えば2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンなど)からなる群から選択される少なくとも1種の芳香族ジアミンとの反応に由来して形成される繰り返し単位(上記一般式(5)で表される基のRの部分が前記芳香族ジアミンから2つのアミノ基を除いた残基となる繰り返し単位)を好適に利用できる。なお、このような芳香族ジアミンの置換基としては炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種であることが好ましい。このような置換基としての炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基としては、上記式(2)中のRa1として選択され得るそれらと同様のものである(好適なものも同様である)。 In addition, as a repeating unit other than the repeating units (A) and (B), from the viewpoint that CTE can be further reduced, the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I) and P-phenylenediamine which may have a substituent, terphenyldiamine which may have a substituent, biphenyl diamine which may have a substituent (for example, m-tolidine, o-tolidine) 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, etc.), an ester group-containing diamine which may have a substituent (for example, 4 -Aminobenzoic acid 4-aminophenyl and the like, and a diamine having a hydroxyl group (for example, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropro A repeating unit formed by reaction with at least one aromatic diamine selected from the group consisting of bread and the like (the R b portion of the group represented by the general formula (5) is the aromatic group) A repeating unit which is a residue obtained by removing two amino groups from a diamine can be preferably used. In addition, as a substituent of such aromatic diamine, it is preferable that it is 1 type selected from the group which consists of a C1-C10 alkyl group, a halogen atom, and a hydroxyl group. The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, the halogen atom and the hydroxyl group as such a substituent are the same as those which can be selected as R a1 in the above formula (2). is there).

このようなポリイミドにおいて、前記繰り返し単位(A)の含有量は全繰り返し単位に対して、50〜100モル%であることが好ましく、55〜95モル%であることがより好ましく、60〜90モル%であることが特に好ましく、65〜90モル%であることが最も好ましい。このような繰り返し単位(A)の含有量が前記下限未満では十分に低いRthを達成することが困難となる傾向にあり、また、前記含有量の範囲内にある場合には、十分に低いRthを有しつつ十分に低いCTEをバランスよく有する点で、より高い性能が得られる傾向にある。   In such a polyimide, the content of the repeating unit (A) is preferably 50 to 100 mol%, more preferably 55 to 95 mol%, more preferably 60 to 90 mol based on all repeating units. % Is particularly preferable, and 65 to 90 mol% is most preferable. When the content of such a repeating unit (A) is less than the lower limit, it tends to be difficult to achieve a sufficiently low Rth, and when it is within the content range, the Rth is sufficiently low. Higher performance tends to be obtained in that the CTE has a sufficiently low CTE in a balanced manner.

また、前記ポリイミドが繰り返し単位(A)とともに前記繰り返し単位(B)を含有するものである場合、前記繰り返し単位(A)及び(B)の合計量が、全繰り返し単位に対して80〜100モル%であることが好ましく、90〜100モル%であることがより好ましく、95〜100モル%であることが更に好ましく、98〜100モル%であることが特に好ましい。このような繰り返し単位(A)及び(B)の合計量(含有量)の割合が前記下限未満では十分に低いRthを有しつつ十分に低いCTEをバランスよく有するものとすることが困難となる傾向にある。   Moreover, when the said polyimide contains the said repeating unit (B) with a repeating unit (A), the total amount of the said repeating unit (A) and (B) is 80-100 mol with respect to all the repeating units. %, More preferably 90 to 100 mol%, still more preferably 95 to 100 mol%, and particularly preferably 98 to 100 mol%. When the ratio of the total amount (content) of such repeating units (A) and (B) is less than the lower limit, it is difficult to have a sufficiently low CTE in a well-balanced manner while having a sufficiently low Rth. There is a tendency.

また、前記ポリイミドが繰り返し単位(A)とともに前記繰り返し単位(B)を含有するものである場合、かかるポリイミド中の前記繰り返し単位(A)と前記繰り返し単位(B)の総量に対する前記繰り返し単位(A)の含有量が50〜99モル%(より好ましくは55〜95モル%、更に好ましくは60〜90モル%、特に好ましくは65〜90モル%)であることが好ましい。このような繰り返し単位(A)の含有量が前記下限未満では十分に低いRthを達成することが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると十分に低いCTEを達成することが困難となる傾向にある。また、同様の観点で、前記ポリイミドが繰り返し単位(A)とともに繰り返し単位(B)を含有するものである場合、ポリイミド中の前記繰り返し単位(A)と前記繰り返し単位(B)の含有割合は、モル比[(A):(B)]で、50:50〜99:1(より好ましくは55:45〜95:5、更に好ましくは60:40〜90:10)であることが好ましい。なお、前記ポリイミドとしては、低Rth及び低CTEをより高度な水準でバランスよく達成するといった観点から、繰り返し単位(A)及び(B)のみからなるものを好適に利用できる。   Moreover, when the said polyimide contains the said repeating unit (B) with a repeating unit (A), the said repeating unit (A) with respect to the total amount of the said repeating unit (A) in this polyimide and the said repeating unit (B) ) Is preferably 50 to 99 mol% (more preferably 55 to 95 mol%, still more preferably 60 to 90 mol%, particularly preferably 65 to 90 mol%). If the content of such a repeating unit (A) is less than the lower limit, it tends to be difficult to achieve a sufficiently low Rth, whereas if it exceeds the upper limit, it is difficult to achieve a sufficiently low CTE. Tend to be. From the same viewpoint, when the polyimide contains a repeating unit (B) together with the repeating unit (A), the content ratio of the repeating unit (A) and the repeating unit (B) in the polyimide is: The molar ratio [(A) :( B)] is preferably 50:50 to 99: 1 (more preferably 55:45 to 95: 5, still more preferably 60:40 to 90:10). In addition, as said polyimide, what consists only of repeating unit (A) and (B) can be utilized suitably from a viewpoint that low Rth and low CTE are achieved in a high level with sufficient balance.

また、本発明のポリイミドフィルムは、前記TMA曲線(CTE曲線)において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値が200〜430℃の温度範囲内に存在するものである。このように、フィルムの長さと温度との関係を示すTMA曲線において上記温度範囲内に、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値が存在するポリイミドフィルムは、そのような極値の温度まで熱によりフィルムが膨張し(フィルムの長さが伸び)、かかる極値の位置の温度よりも高い温度域においては、基本的にTg近傍の温度までは、かかる極値の温度におけるフィルムの長さと比較して、熱によりフィルムが収縮していく(フィルムの長さが縮んでいく)。そして、その極値の位置が上記温度範囲内にある場合には、ポリイミドフィルムのCTEをより低い値とすることが可能となる。なお、このようなTMA曲線において、200〜430℃の温度範囲に、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値が存在するポリイミドは、後述の本発明のポリイミドの製造方法を採用することにより効率よく製造することができる。ここで、本発明にかかる「TMA曲線」を求める方法を以下に説明する。   The polyimide film of the present invention has an extreme value at which the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative in the TMA curve (CTE curve) at a temperature of 200 to 430 ° C. It exists within the range. As described above, in the TMA curve indicating the relationship between the film length and the temperature, there is an extreme value in which the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative. The polyimide film that expands due to heat up to such an extreme temperature (the length of the film is extended), and in the temperature range higher than the temperature at the position of such extreme value, basically the temperature near Tg. Until then, the film shrinks due to heat (the film length shrinks) compared to the film length at such extreme temperatures. And when the position of the extreme value exists in the said temperature range, it becomes possible to make CTE of a polyimide film into a lower value. In such a TMA curve, a polyimide having an extreme value in which the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative in the temperature range of 200 to 430 ° C. will be described later. It can manufacture efficiently by employ | adopting the manufacturing method of the polyimide of this invention. Here, a method for obtaining the “TMA curve” according to the present invention will be described below.

このようなTMA曲線は、測定装置として熱機械的分析装置(例えば、リガク製の商品名「TMA8310」又は「TMA8311」)を引張モードで使用し、該測定装置に測定試料となるフィルムをセットして、窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で50℃〜450℃まで昇温しながら荷重20mNの条件でフィルム(測定試料)を縦方向に引張って、温度と該フィルムの長さの変化量との関係を測定する方法(いわゆる引張りTMA測定)により求めることができる。また、このような測定に際しては、先ず、測定対象となるポリイミドフィルムに対して真空乾燥(圧力:0.133kPa、120℃、1時間)を施した後、窒素雰囲気下、200℃の温度条件で1時間乾燥処理する工程を施し、その後、得られた乾燥フィルムから縦20mm(掴み代計5mm)、横5mm、厚み10μmの大きさのフィルムを準備(切り出す等して準備)して、測定試料として利用する。ここにおいて、測定試料は、前記測定装置にセットする際に、縦方向の長さの変化を図るために、フィルムの掴み代の部分が合計5mmとなるようにして、前記測定装置の掴み具(治具)で挟んで利用する(測定開始時の測定装置の掴み具(治具)の間の長さが15mm(測定開始時のフィルムの縦方向の長さが15mm)となるようにフィルムを挟んで利用する)。なお、ここにいう「TMA曲線」は、上述の引張りTMA測定において、縦軸(Y)をフィルムの長さの変化量とし、横軸(X)を測定温度としたグラフであり、極値とは、横軸の変化量(ΔX)に対する縦軸の変化量(ΔY)の割合(傾き:ΔY/ΔX)が正から負に転じる点又は前記割合が負から正に転じる点をいい、本発明においては、引張りTMA測定において、特定の温度領域内に、前記傾き(ΔY/ΔX)が正から負に転じる極値を有するTMA曲線が測定されることとなる。なお、このような、温度の変化量(増加量)に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値は、引張りTMA測定において、該フィルムの長さが伸びから収縮に変化する点として測定される。そのため、温度の変化量(ΔX)に対するフィルムの長さの変化量(ΔY)の割合(ΔY/ΔX)が正から負に転じる極値は、フィルムの長さが伸びから収縮に変化する点と言い換えることができる。   For such a TMA curve, a thermomechanical analyzer (for example, a trade name “TMA8310” or “TMA8311” manufactured by Rigaku) is used as a measuring device in a tensile mode, and a film as a measurement sample is set in the measuring device. In a nitrogen atmosphere, the film (measurement sample) was pulled in the longitudinal direction under the condition of a load of 20 mN while raising the temperature from 50 ° C. to 450 ° C. at a rate of temperature rise of 5 ° C./min, and the change in temperature and length of the film It can obtain | require by the method (what is called tensile TMA measurement) which measures the relationship with quantity. In such measurement, first, the polyimide film to be measured is vacuum-dried (pressure: 0.133 kPa, 120 ° C., 1 hour), and then in a nitrogen atmosphere at a temperature of 200 ° C. A process of drying treatment for 1 hour was performed, and then a film having a size of 20 mm in length (5 mm in total grip), 5 mm in width, and 10 μm in thickness was prepared (prepared by cutting out), and a measurement sample Use as Here, when the measurement sample is set in the measurement device, in order to change the length in the longitudinal direction, the gripping portion of the measurement device (total grip portion of the film is 5 mm) Use the film so that the length between the grips (jigs) of the measuring device at the start of measurement is 15 mm (the length in the vertical direction of the film at the start of measurement is 15 mm). To use). The “TMA curve” here is a graph in which the vertical axis (Y) is the amount of change in the length of the film and the horizontal axis (X) is the measurement temperature in the above-described tensile TMA measurement. Is the point at which the ratio (slope: ΔY / ΔX) of the amount of change (ΔY) on the vertical axis to the amount of change (ΔX) on the horizontal axis turns from positive to negative, or the point where the ratio turns from negative to positive. In the tensile TMA measurement, a TMA curve having an extreme value at which the slope (ΔY / ΔX) turns from positive to negative is measured in a specific temperature range. It should be noted that such an extreme value at which the ratio (inclination) of the change amount of the film length to the change amount (increase amount) of the temperature changes from positive to negative is determined from the elongation of the film in the tensile TMA measurement. Measured as the point that changes to contraction. Therefore, the extreme value at which the ratio (ΔY / ΔX) of the film length change amount (ΔY) to the temperature change amount (ΔX) turns from positive to negative is that the film length changes from elongation to shrinkage. In other words.

このように、本発明のポリイミドフィルムは、前記TMA曲線(CTE曲線[引張りTMA測定の分析結果として求められる、縦軸(Y)をフィルムの長さの変化量とし、横軸(X)を測定温度としたグラフ])において、温度の変化量(増加量)に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値(引張りTMA測定において、フィルムの長さが伸びから収縮に変化する点)が、200〜430℃の温度範囲(より好ましくは220〜420℃、更に好ましくは240〜410℃の温度範囲)内に存在する。このような傾きが正から負に転じる極値の温度が前記範囲内にない場合には、CTEの絶対値を十分に小さなものとすることができなくなり、十分に低いCTEと十分に低いRthをバランスよく有するものとすることができなくなる。なお、前記極値の温度範囲の上限値は400℃であることがより好ましく、375℃であることが更に好ましく、350℃であることが特に好ましく、330℃であることが最も好ましい。   Thus, the polyimide film of the present invention has the TMA curve (CTE curve [obtained as an analysis result of tensile TMA measurement, the vertical axis (Y) is the amount of change in film length, and the horizontal axis (X) is measured. In the graph of temperature]), the extreme value at which the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount (increase amount) of the temperature changes from positive to negative (in the tensile TMA measurement, the film length is increased from the elongation). The point which changes to shrinkage | contraction) exists in the temperature range (more preferably 220-420 degreeC, still more preferably 240-410 degreeC) of 200-430 degreeC. If the extreme temperature at which the slope changes from positive to negative is not within the above range, the absolute value of CTE cannot be made sufficiently small, and a sufficiently low CTE and a sufficiently low Rth can be obtained. It will not be possible to have a good balance. The upper limit of the extreme temperature range is more preferably 400 ° C., further preferably 375 ° C., particularly preferably 350 ° C., and most preferably 330 ° C.

なお、本発明により、十分に低いRthと十分に低いCTEとをより高度な水準でバランスよく有するポリイミドフィルムを提供することが可能となる理由は必ずしも定かではないが、本発明者らは以下のようにして、本発明のポリイミドフィルムの構造等を見出している。すなわち、先ず、本発明者らは、上記本発明にかかる繰り返し単位(A)を含有するポリイミドによりRthを十分に低いものとすることができることを見出し、更に、その製造時の条件を適宜制御することにより、前記TMA曲線(CTE曲線)において、傾きが正から負に転じる極値を有するようなポリイミドフィルムとすることが可能であることを見出した。そして、このような知見に基づいて、本発明者らが更に研究を重ねた結果、そのようなTMA曲線(CTE曲線)において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値を有するポリイミドにおいては、極値の位置(温度)とCTEの値との間に関係性があることを更に見出した。そして、その極値の位置が上記特定の温度範囲(200〜430℃)内となるように制御した場合に、より高度な水準でCTEを低くすることが可能となることを見出している。なお、通常は、ポリイミドフィルムにおいてRthとCTEがトレードオフの関係(一方を小さくすると一方が大きくなるような関係)にあるため両方の値をバランスよく十分に小さな値とすることが困難であるが、本発明においては、上述のようにして、より高度な水準でCTEを低くすることが可能であるため、例えば、Rth(絶対値)が145nm以下となるような十分に小さなRthの数値範囲の中で、Rth(絶対値)を145nm〜50nmとしつつCTE(絶対値)を30ppm/K以下として、Rth(絶対値)の値との関係でCTE(絶対値)をより十分に小さな値とすること;Rth(絶対値)を50nm未満のような、より十分に小さな値としつつ、CTE(絶対値)を45ppm/K以下として、Rthとの関係でCTEを十分に小さな値とすること;等も可能となる。このようにして、本発明者らは、十分に低いRthと十分に低いCTEとをより高度な水準でバランスよく有するポリイミドフィルムを提供することを可能としている。なお、一般的なポリイミドは、通常、フィルムを引っ張ると温度の上昇とともに長さは常に増大するものとなることから、TMA曲線において、傾きが正から負に変わるような極値は確認されないものとなる。   The reason why the present invention can provide a polyimide film having a sufficiently low Rth and a sufficiently low CTE in a balanced manner at a higher level is not necessarily clear. Thus, the structure of the polyimide film of the present invention has been found. That is, first, the present inventors have found that Rth can be made sufficiently low by the polyimide containing the repeating unit (A) according to the present invention, and further, the conditions during the production are appropriately controlled. Thus, it has been found that in the TMA curve (CTE curve), it is possible to obtain a polyimide film having an extreme value whose slope changes from positive to negative. And based on such knowledge, as a result of further studies by the present inventors, in such a TMA curve (CTE curve), the ratio (inclination) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature. It was further found that there is a relationship between the position (temperature) of the extreme value and the value of CTE in the polyimide having an extreme value in which the value changes from positive to negative. It has been found that when the position of the extreme value is controlled to be within the specific temperature range (200 to 430 ° C.), the CTE can be lowered at a higher level. Usually, in a polyimide film, Rth and CTE are in a trade-off relationship (a relationship in which one becomes larger when one is reduced), but it is difficult to make both values sufficiently small in a balanced manner. In the present invention, since the CTE can be lowered at a higher level as described above, for example, a sufficiently small numerical range of Rth such that Rth (absolute value) is 145 nm or less. Among them, CTE (absolute value) is set to 145 nm to 50 nm, CTE (absolute value) is set to 30 ppm / K or less, and CTE (absolute value) is made sufficiently smaller in relation to the value of Rth (absolute value). Rth (absolute value) is a sufficiently small value such as less than 50 nm, CTE (absolute value) is 45 ppm / K or less, and the relationship with Rth It is a sufficiently small value of CTE; like also becomes possible. In this way, the present inventors have made it possible to provide a polyimide film having a sufficiently low Rth and a sufficiently low CTE at a higher level with a good balance. In general, when a film is pulled, the length always increases as the temperature rises as the film is pulled. Therefore, in the TMA curve, an extreme value whose slope changes from positive to negative is not confirmed. Become.

また、本発明のポリイミドフィルムは、前記TMA曲線の測定時に、前記極値におけるフィルムの長さの増大量(例えば測定前のフィルムの長さ15mmに対して増大した長さの量:30〜400℃の測定により伸びた長さ)は、200μm以下(より好ましくは150μm以下、更に好ましくは0〜100μm)であることが好ましい。このような長さの増大量が前記上限を超えると加熱冷却時の寸法変化が大きくなりカールやクラックの原因となる傾向にある。   In addition, the polyimide film of the present invention has an increased amount of film length at the extreme value (for example, an amount of length increased with respect to the length of 15 mm before measurement: 30 to 400) when measuring the TMA curve. The length elongated by the measurement at ° C.) is preferably 200 μm or less (more preferably 150 μm or less, still more preferably 0 to 100 μm). If the amount of increase in length exceeds the above upper limit, the dimensional change during heating and cooling tends to increase, leading to curling and cracking.

さらに、本発明のポリイミドフィルムにおいては、前記ポリイミドのガラス転移温度(Tg)が300℃以上であることが好ましく、300℃〜550℃であることがより好ましく、350〜500℃であることが更に好ましい。このようなガラス転移温度(Tg)が前記下限未満では十分な耐熱性が達成困難となる傾向にあり、一方、前記上限を超えるとそのような特性を有するポリイミドを製造することが困難となる傾向にある。このようなTgの測定方法としては、測定試料として縦5mm、横5mm、厚み10μmの大きさのポリイミドからなるフィルムを準備し、測定装置として熱機械的分析装置(リガク製の商品名「TMA8310」又は「TMA8311」)を用いて、窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で30℃〜550℃の温度範囲においてフィルムに透明石英製ピン(先端の直径:0.5mm)を500mN圧で針入れする、いわゆるペネトレーション(針入れ)法を採用して、加熱によってフィルムが軟化し石英製ピンがフィルムに貫入した点をガラス転移温度として測定する方法(以下、かかる方法を、便宜上、単に「500mN圧で針入れするペネトレーション(針入れ)法」と称する)を採用する。   Furthermore, in the polyimide film of this invention, it is preferable that the glass transition temperature (Tg) of the said polyimide is 300 degreeC or more, It is more preferable that it is 300 to 550 degreeC, It is further that it is 350 to 500 degreeC. preferable. If such a glass transition temperature (Tg) is less than the lower limit, sufficient heat resistance tends to be difficult to achieve, whereas if it exceeds the upper limit, it tends to be difficult to produce a polyimide having such characteristics. It is in. As such a Tg measurement method, a film made of polyimide having a size of 5 mm in length, 5 mm in width and 10 μm in thickness is prepared as a measurement sample, and a thermomechanical analyzer (trade name “TMA8310” manufactured by Rigaku) is used as a measurement device. Or “TMA8311”) with a transparent quartz pin (tip diameter: 0.5 mm) on the film at a pressure of 500 mN under a nitrogen atmosphere at a temperature rising rate of 5 ° C./min. A method of measuring the point at which the film is softened by heating and the quartz pin penetrates into the film as a glass transition temperature by employing a so-called penetration method (hereinafter referred to as “500 mN” for convenience). "Penetration (needle insertion) method".

このようなポリイミドフィルムは、波長589nmで測定される厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値が、厚み10μmに換算して、145nm以下であることが好ましく、100nm以下であることがより好ましく、85nm以下であることが更に好ましい。このような厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値が前記上限を超えると、ディスプレイ機器に使用した際に、鮮明な画像が得られず、表示品質が低下してしまう傾向にある。なお、前記リタデーション(Rth)の絶対値が前記上限以下の場合には、ディスプレイ機器に使用した際に、鮮明な画像が得られるとともに、表示品質がより高度なものとなる傾向にある。このように、ディスプレイ機器に使用した場合に、鮮明な画像が得られ、且つ、表示品質が向上するといった観点で、厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値はより低い値となることが好ましい。   In such a polyimide film, the absolute value of retardation (Rth) in the thickness direction measured at a wavelength of 589 nm is preferably 145 nm or less, more preferably 100 nm or less, more preferably 85 nm, in terms of a thickness of 10 μm. More preferably, it is as follows. When the absolute value of the retardation (Rth) in the thickness direction exceeds the upper limit, a clear image cannot be obtained when used in a display device, and the display quality tends to deteriorate. In addition, when the absolute value of the retardation (Rth) is less than or equal to the upper limit, when used in a display device, a clear image is obtained and the display quality tends to be higher. Thus, when used in a display device, the absolute value of retardation (Rth) in the thickness direction is preferably a lower value from the viewpoints of obtaining a clear image and improving display quality.

このような「厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値」は、測定装置としてAXOMETRICS社製の商品名「AxoScan」を用い、後述のようにして測定したポリイミドフィルムの屈折率(589nm)の値を前記測定装置にインプットした後、温度:25℃、湿度:40%の条件下、波長589nmの光を用いて、ポリイミドフィルムの厚み方向のリタデーションを測定し、求められた厚み方向のリタデーションの測定値(測定装置の自動測定(自動計算)による測定値)に基づいて、フィルムの厚み10μmあたりのリタデーション値に換算した値(換算値)を求め、その換算値から絶対値を算出することにより求める。このように、「厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値」は、前記換算値の絶対値(|換算値|)を算出することで求めることができる。なお、測定試料のポリイミドフィルムのサイズは、測定器のステージの測光部(直径:約1cm)よりも大きければよいため、特に制限されない。また、厚み10μmの測定試料を利用した場合には、測定装置の自動測定(自動計算)による測定値をそのまま前記換算値として利用して「厚み方向のリタデーション(Rth)の絶対値」を求めることができる。   Such “absolute value of thickness direction retardation (Rth)” is the value of the refractive index (589 nm) of the polyimide film measured as described below using the product name “AxoScan” manufactured by AXOMETRICS as a measuring device. After input to the measuring apparatus, the retardation in the thickness direction of the polyimide film was measured using light with a wavelength of 589 nm under the conditions of temperature: 25 ° C. and humidity: 40%, and the measured value of retardation in the thickness direction thus obtained. A value (converted value) converted to a retardation value per 10 μm thickness of the film is obtained based on (measured value by automatic measurement (automatic calculation) of the measuring device), and an absolute value is calculated from the converted value. Thus, the “absolute value of retardation (Rth) in the thickness direction” can be obtained by calculating the absolute value (| converted value |) of the converted value. In addition, since the size of the polyimide film of a measurement sample should just be larger than the photometry part (diameter: about 1 cm) of the stage of a measuring device, it does not restrict | limit in particular. Further, when a measurement sample having a thickness of 10 μm is used, the “absolute value of retardation in the thickness direction (Rth)” is obtained using the measurement value obtained by the automatic measurement (automatic calculation) of the measurement apparatus as the converted value as it is. Can do.

また、厚み方向のリタデーション(Rth)の測定に利用する「ポリイミドフィルムの屈折率(589nm)」の値は、リタデーションの測定対象となるフィルムを形成するポリイミドと同じ種類のポリイミドからなる未延伸のフィルムを形成した後、かかる未延伸のフィルムを測定試料として用いて(なお、測定対象となるフィルムが未延伸のフィルムである場合には、そのフィルムをそのまま測定試料として用いることができる。)、測定装置として屈折率測定装置(株式会社アタゴ製の商品名「NAR−1T SOLID」)を用い、589nmの光源を用いて、23℃の温度条件で、測定試料の589nmの光に対する平均屈折率を測定して求める。このように、未延伸のフィルムを利用して「ポリイミドフィルムの屈折率(589nm)」の値を測定し、得られた測定値(測定試料の589nmの光に対する平均屈折率の値)を上述の厚み方向のリタデーション(Rth)の測定に利用する。ここにおいて、測定試料のポリイミドフィルムのサイズは、前記屈折率測定装置に利用できる大きさであればよく、特に制限されず、1cm角(縦横1cm)で厚み10μmの大きさとしてもよい。   In addition, the value of “refractive index of polyimide film (589 nm)” used for the measurement of retardation (Rth) in the thickness direction is an unstretched film made of the same type of polyimide as the polyimide forming the film to be measured for retardation. After forming the film, such an unstretched film is used as a measurement sample (in the case where the film to be measured is an unstretched film, the film can be used as a measurement sample as it is), and measurement is performed. Using a refractive index measuring apparatus (trade name “NAR-1T SOLID” manufactured by Atago Co., Ltd.) as an apparatus, an average refractive index of a measurement sample with respect to 589 nm light is measured at a temperature condition of 23 ° C. using a light source of 589 nm. And ask. Thus, using the unstretched film, the value of “refractive index of polyimide film (589 nm)” was measured, and the obtained measurement value (average refractive index value of the measurement sample with respect to 589 nm light) was calculated as described above. This is used for the measurement of retardation (Rth) in the thickness direction. Here, the size of the polyimide film of the measurement sample is not particularly limited as long as it is a size that can be used in the refractive index measurement device, and may be 1 cm square (1 cm in length and width) and 10 μm in thickness.

また、前述のように、一般にポリイミドの熱膨張率(線膨張係数:CTE)は、Rthの値(絶対値)とトレードオフの関係にある。なお、ディスプレイへの利用といった観点からは、上述のようにRth(絶対値)は厚み10μmに換算して145nm以下となることが好ましい。このような観点も踏まえて、本発明のポリイミドフィルムとしては、Rth(絶対値)が厚み10μmに換算して145nm〜50nmとなるような領域にある場合には、CTEの絶対値が30ppm/K以下(より好ましくは0〜25ppm/K、更に好ましくは0〜20ppm/K)であることが好ましく、Rth(絶対値)が厚み10μmに換算して50nm未満となるような、Rthが非常に小さな領域にある場合にはCTEの絶対値が45ppm/K以下(より好ましくは0〜40ppm/K、更に好ましくは0〜30ppm/K)となることが好ましい。すなわち、本発明のポリイミドフィルムとしては、Rth(絶対値:厚み10μm換算)が145nm〜50nmの範囲である場合にCTEの絶対値が30ppm/K以下であり、かつ、Rth(絶対値:厚み10μm換算)が50nm未満である場合にCTEの絶対値が45ppm/K以下であることが好ましい。このような条件を満たすポリイミドフィルムは、Rthとの関係で、より高い水準で、より低いCTEを有するものであると言え、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と十分に低い熱膨張率(CTE)とを非常に高い水準でバランスよく有するものであるといえる。なお、このような熱膨張率の絶対値が前記上限を超えると、金属や無機物と組合せて複合化した場合に熱履歴で剥がれや割れ等が生じやすくなる傾向にある。このようなポリイミドの熱膨張率(CTE)の測定方法としては、前述の「TMA曲線」を求める方法で採用している方法と同様にして、試料の長さの変化量(縦方向の長さの変化量)を測定した後、そのデータに基づいて、100℃〜350℃の温度範囲における1℃(1K)あたりの試料の長さの変化の平均値を算出することにより求める方法を採用する。なお、このような測定方法から、前記ポリイミドの熱膨張率(線膨張係数:CTE)は、厚みが10μmである場合のポリイミドフィルムの熱膨張係数の値であるといえる。   As described above, generally, the thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) of polyimide is in a trade-off relationship with the Rth value (absolute value). From the viewpoint of use in a display, as described above, Rth (absolute value) is preferably 145 nm or less when converted to a thickness of 10 μm. In view of such a viewpoint, the polyimide film of the present invention has a CTE absolute value of 30 ppm / K when Rth (absolute value) is in a region where the thickness is 145 nm to 50 nm when converted to a thickness of 10 μm. It is preferably below (more preferably 0 to 25 ppm / K, more preferably 0 to 20 ppm / K), and Rth is very small such that Rth (absolute value) is less than 50 nm when converted to a thickness of 10 μm. When in the region, the absolute value of CTE is preferably 45 ppm / K or less (more preferably 0 to 40 ppm / K, and still more preferably 0 to 30 ppm / K). That is, as the polyimide film of the present invention, when Rth (absolute value: converted to 10 μm in thickness) is in the range of 145 nm to 50 nm, the absolute value of CTE is 30 ppm / K or less, and Rth (absolute value: thickness of 10 μm). When the conversion is less than 50 nm, the absolute value of CTE is preferably 45 ppm / K or less. A polyimide film satisfying these conditions can be said to have a higher level and lower CTE in relation to Rth, and sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and sufficient with respect to absolute value. It can be said that it has a very low level of thermal expansion coefficient (CTE) at a very high level. In addition, when the absolute value of such a thermal expansion coefficient exceeds the said upper limit, when it combines with a metal and an inorganic substance, it exists in the tendency for peeling, a crack, etc. to occur easily with a heat history. As a method for measuring the coefficient of thermal expansion (CTE) of such polyimide, the amount of change in the length of the sample (the length in the vertical direction) is the same as the method employed in the above-described method for obtaining the “TMA curve”. Change amount), and then, based on the data, a method of calculating an average value of changes in the length of the sample per 1 ° C. (1K) in a temperature range of 100 ° C. to 350 ° C. is adopted. . From such a measurement method, it can be said that the thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) of the polyimide is a value of the thermal expansion coefficient of the polyimide film when the thickness is 10 μm.

また、本発明のポリイミドフィルムの熱膨張率(線膨張係数:CTE)としては、より高度な特性が得られるといった観点から、その絶対値が、0〜30ppm/Kの範囲にあることが好ましく、0〜25ppm/Kの範囲にあることがより好ましく、0〜20ppm/Kの範囲にあることが更に好ましい。このように、本発明のポリイミドフィルムとしては、より高度な特性が得られるといった観点から、Rth(絶対値:厚み10μm換算)が0〜145nm(より好ましくは0〜110nm)の範囲にある場合(前記範囲内のいずれの数値となる場合においても)、CTE(絶対値)が30ppm/K以下であることが好ましく、0〜25ppm/Kであることがより好ましく、0〜20ppm/Kであることが更に好ましい。   Moreover, as a coefficient of thermal expansion (linear expansion coefficient: CTE) of the polyimide film of the present invention, the absolute value thereof is preferably in the range of 0 to 30 ppm / K from the viewpoint of obtaining more advanced characteristics. More preferably, it is in the range of 0-25 ppm / K, and still more preferably in the range of 0-20 ppm / K. Thus, as a polyimide film of the present invention, Rth (absolute value: converted to a thickness of 10 μm) is in the range of 0 to 145 nm (more preferably 0 to 110 nm) from the viewpoint of obtaining more advanced characteristics ( CTE (absolute value) is preferably 30 ppm / K or less, more preferably 0 to 25 ppm / K, and more preferably 0 to 20 ppm / K (in any case within the above range). Is more preferable.

また、このようなポリイミドフィルムとしては、より高度な透明性を得るといった観点から、黄色度(YI)が20〜0(更に好ましくは10〜0、特に好ましくは5〜0)であるものがより好ましい。さらに、このようなポリイミドとしては、より高度な透明性を得るといった観点から、全光線透過率が80%以上(更に好ましくは85%以上、特に好ましくは87%以上)であるものがより好ましい。また、このようなポリイミドとしては、より高度な透明性を得るといった観点から、ヘイズ(濁度)が5〜0(更に好ましくは4〜0、特に好ましくは3〜0)であるものがより好ましい。なお、このような黄色度(YI)の測定には測定装置としては日本電色工業株式会社製の商品名「分光色彩計SD6000」を用い、また、全光線透過率、ヘイズ(濁度)の測定には測定装置として日本電色工業株式会社製の商品名「ヘーズメーターNDH−5000」を用いる。また、黄色度、全光線透過率及びヘイズの測定用の試料としては、厚みが10μm±5μmのポリイミドからなるフィルムを用いることができる(測定試料の縦、横の大きさは、前記測定装置の測定部位に配置できるサイズであればよい)。なお、このような黄色度(YI)はASTM E313−05(2005年発行)に準拠した測定を行うことにより求め、全光線透過率は、JIS K7361−1(1997年発行)に準拠した測定を行うことにより求め、ヘイズ(濁度)は、JIS K7136(2000年発行)に準拠した測定を行うことにより求める。   Moreover, as such a polyimide film, from the viewpoint of obtaining a higher degree of transparency, one having a yellowness (YI) of 20 to 0 (more preferably 10 to 0, particularly preferably 5 to 0) is more preferable. preferable. Further, such a polyimide is more preferably one having a total light transmittance of 80% or more (more preferably 85% or more, particularly preferably 87% or more) from the viewpoint of obtaining higher transparency. Moreover, as such a polyimide, the thing whose haze (turbidity) is 5-0 (more preferably 4-0, especially preferably 3-0) is more preferable from a viewpoint of obtaining higher transparency. . In addition, for measuring such yellowness (YI), a product name “Spectral Colorimeter SD6000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. is used as a measuring device, and the total light transmittance and haze (turbidity) are measured. For measurement, a trade name “Haze Meter NDH-5000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. is used as a measuring device. In addition, as a sample for measuring yellowness, total light transmittance, and haze, a film made of polyimide having a thickness of 10 μm ± 5 μm can be used (the vertical and horizontal sizes of the measurement sample are the same as those of the measuring apparatus). Any size that can be placed at the measurement site is acceptable. In addition, such yellowness (YI) is calculated | required by performing the measurement based on ASTM E313-05 (issued in 2005), and the total light transmittance is the measurement based on JIS K7361-1 (issued in 1997). The haze (turbidity) is determined by performing measurement in accordance with JIS K7136 (issued in 2000).

また、このようなポリイミドは、5%重量減少温度が400℃以上のものが好ましく、450〜550℃のものがより好ましい。このような5%重量減少温度が前記下限未満では十分な耐熱性が達成困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、そのような特性を有するポリイミドを製造することが困難となる傾向にある。さらに、このようなポリイミドとしては、軟化温度が300℃以上のものが好ましく、350〜550℃のものがより好ましい。このような軟化温度が前記下限未満では十分な耐熱性が達成困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えるとそのような特性を有するポリイミドを製造することが困難となる傾向にある。また、このようなポリイミドとしては、熱分解温度(Td)が450℃以上のものが好ましく、480〜600℃のものがより好ましい。このような熱分解温度(Td)が前記下限未満では十分な耐熱性を達成することが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、そのような特性を有するポリイミドを製造することが困難となる傾向にある。このような5%重量減少温度、軟化温度及び熱分解温度(Td)は、それぞれ国際公開第2015−163314号の段落[0178]、段落[0180]及び段落[0181]に記載の方法を採用して測定できる。また、このようなポリイミドは、鉛筆硬度において、6B〜6H(より好ましくはHB〜4H)の硬度を有することが好ましい。このような硬度が前記下限未満では十分に高度な水準の硬度を得ることが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、そのような特性を有する無色透明なポリイミドを製造することが困難となる傾向にある。なお、このような鉛筆硬度の値は、1999年発行のJIS K5600−5−4に規定されている方法に準拠して測定することができる。   Further, such a polyimide preferably has a 5% weight loss temperature of 400 ° C. or higher, more preferably 450 to 550 ° C. If such a 5% weight loss temperature is less than the lower limit, sufficient heat resistance tends to be difficult to achieve, and if it exceeds the upper limit, it tends to be difficult to produce a polyimide having such characteristics. It is in. Furthermore, such a polyimide preferably has a softening temperature of 300 ° C. or higher, more preferably 350 to 550 ° C. If the softening temperature is less than the lower limit, sufficient heat resistance tends to be difficult to achieve, and if it exceeds the upper limit, it tends to be difficult to produce a polyimide having such characteristics. Moreover, as such a polyimide, that whose thermal decomposition temperature (Td) is 450 degreeC or more is preferable, and the thing of 480-600 degreeC is more preferable. If the thermal decomposition temperature (Td) is less than the lower limit, it tends to be difficult to achieve sufficient heat resistance. On the other hand, if the thermal decomposition temperature (Td) exceeds the upper limit, a polyimide having such characteristics can be produced. It tends to be difficult. For such 5% weight loss temperature, softening temperature and thermal decomposition temperature (Td), the methods described in paragraphs [0178], [0180] and [0181] of WO2015-163314 are employed. Can be measured. Moreover, such a polyimide preferably has a hardness of 6B to 6H (more preferably HB to 4H) in pencil hardness. If the hardness is less than the lower limit, it tends to be difficult to obtain a sufficiently high level of hardness. On the other hand, if the hardness exceeds the upper limit, a colorless and transparent polyimide having such characteristics can be produced. It tends to be difficult. In addition, such a value of pencil hardness can be measured in accordance with a method defined in JIS K5600-5-4 issued in 1999.

さらに、このようなポリイミドの数平均分子量(Mn)としては、ポリスチレン換算で1000〜1000000であることが好ましく、10000〜500000であることがより好ましい。また、このようなポリイミドの重量平均分子量(Mw)としては、ポリスチレン換算で1000〜5000000であることが好ましく、5000〜5000000であることがより好ましく、10000〜500000であることが更に好ましく、20000〜100000であることが特に好ましい。このようなMnやMwが前記下限未満ではフィルムが脆くなるとともにポリイミドの耐熱性が低下する傾向にあり、他方、前記上限を超えると、製膜加工が困難となり、皺が寄ったフィルムとなる傾向にある。さらに、このようなポリイミドの分子量分布(Mw/Mn)は1.1〜5.0であることが好ましく、1.5〜3.0であることがより好ましい。このような分子量分布が前記下限未満では製造が困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると均一なフィルムを得ることが困難となる傾向にある。なお、このようなポリイミドの分子量(Mw又はMn)や分子量の分布(Mw/Mn)は、測定装置としてゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定装置(東ソー社製HLC−8320GPC、カラム:東ソー社製GPCカラムTSK−GEL SuperAW2500(×4本)、カラム温度40℃、臭化リチウム(10mM−LiBr)入りDMAc溶媒(流速0.50mL/min.)を用いて測定したデータをポリスチレンで換算して求めることができる。   Furthermore, as a number average molecular weight (Mn) of such a polyimide, it is preferable that it is 1000-1 million in polystyrene conversion, and it is more preferable that it is 10000-500000. Moreover, as a weight average molecular weight (Mw) of such a polyimide, it is preferable that it is 1000-5 million in polystyrene conversion, It is more preferable that it is 5000-5 million, It is further more preferable that it is 10000-500000, 20000 Particularly preferred is 100,000. If such Mn or Mw is less than the lower limit, the film tends to be brittle and the heat resistance of the polyimide tends to decrease. On the other hand, if the upper limit is exceeded, film formation becomes difficult and the film tends to be wrinkled. It is in. Furthermore, the molecular weight distribution (Mw / Mn) of such a polyimide is preferably 1.1 to 5.0, and more preferably 1.5 to 3.0. If the molecular weight distribution is less than the lower limit, the production tends to be difficult. On the other hand, if the molecular weight distribution exceeds the upper limit, it tends to be difficult to obtain a uniform film. In addition, the molecular weight (Mw or Mn) and molecular weight distribution (Mw / Mn) of such polyimide are measured by a gel permeation chromatography (GPC) measuring device (HLC-8320GPC manufactured by Tosoh Corporation, column: manufactured by Tosoh Corporation) as a measuring device. GPC column TSK-GEL SuperAW2500 (× 4), column temperature 40 ° C., data measured using a DMAc solvent (flow rate 0.50 mL / min.) Containing lithium bromide (10 mM-LiBr) is obtained by conversion with polystyrene. be able to.

また、このようなポリイミドフィルムの形態は、フィルム状であればよく、特に制限されず、各種形状(円盤状、円筒状(フィルムを筒状に加工したもの)等)に適宜設計することができ、後述のポリイミド前駆体樹脂溶液を用いて製造した場合には、より容易に、その設計を変更することも可能である。さらに、本発明のポリイミドフィルムの厚みは特に制限されないが、0.1〜200μmであることが好ましく、1〜100μmであることがより好ましい。   Moreover, the form of such a polyimide film should just be a film form, and is not restrict | limited in particular, It can design suitably in various shapes (a disk shape, cylindrical shape (what processed the film into the cylinder shape) etc.). When manufactured using a polyimide precursor resin solution described later, the design can be changed more easily. Furthermore, the thickness of the polyimide film of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 200 μm, and more preferably 1 to 100 μm.

このような本発明のポリイミドフィルムは、例えば、フレキシブル配線基板用フィルム(FPC基板)、FCCL基板、耐熱絶縁テープ、電線エナメル、半導体の保護コーティング剤、液晶配向膜、有機EL用透明導電性フィルム、有機EL用TFT基板、カラーフィルター用基板、タッチパネル用基板、カバーガラス代替フィルム、フレキシブル基板フィルム、フレキシブル透明導電性フィルム、有機薄膜型太陽電池用透明導電性フィルム、色素増感型太陽電池用透明導電性フィルム、フレキシブルガスバリアフィルム、タッチパネル用フィルム、複写機用シームレスポリイミドベルト(いわゆる転写ベルト)、透明電極基板(有機EL用透明電極基板、太陽電池用透明電極基板、電子ペーパーの透明電極基板等)、層間絶縁膜、センサー基板、イメージセンサーの基板、発光ダイオード(LED)の反射板(LED照明の反射板:LED反射板)、LED照明用のカバー、LED反射板照明用カバー、カバーレイフィルム、高延性複合体基板、半導体向けレジスト、リチウムイオンバッテリー、有機メモリ用基板、有機トランジスタ用基板、有機半導体用基板、カラーフィルタ基材、フロントフィルム、プラスチックLCD用TFT基板、プラスチックLCD用カラーフィルター基板、プラスチックLCD用タッチパネル基板、透明ディスプレイ用基板等の用途に用いる材料等として適宜好適に利用することができる。   Such a polyimide film of the present invention is, for example, a flexible wiring board film (FPC board), FCCL board, heat resistant insulating tape, electric wire enamel, semiconductor protective coating agent, liquid crystal alignment film, transparent conductive film for organic EL, TFT substrate for organic EL, color filter substrate, touch panel substrate, cover glass substitute film, flexible substrate film, flexible transparent conductive film, transparent conductive film for organic thin-film solar cell, transparent conductive for dye-sensitized solar cell Film, flexible gas barrier film, touch panel film, seamless polyimide belt for copying machines (so-called transfer belt), transparent electrode substrate (transparent electrode substrate for organic EL, transparent electrode substrate for solar cell, transparent electrode substrate for electronic paper, etc.), Interlayer insulation film, sensor Plate, image sensor substrate, light emitting diode (LED) reflector (LED illumination reflector: LED reflector), LED illumination cover, LED reflector illumination cover, coverlay film, high ductility composite substrate, Resist for semiconductor, lithium ion battery, organic memory substrate, organic transistor substrate, organic semiconductor substrate, color filter substrate, front film, plastic LCD TFT substrate, plastic LCD color filter substrate, plastic LCD touch panel substrate, It can use suitably suitably as a material etc. which are used for uses, such as a substrate for transparent displays.

[本発明のポリイミドフィルムの製造方法]
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、ポリイミド前駆体と、有機溶媒とを含有するポリイミド前駆体樹脂溶液を用いて塗膜を形成した後に、該塗膜から溶媒を除去し、焼成することによりポリイミドからなるフィルムを得る工程を含み、
前記ポリイミド前駆体が上記一般式(7)で表される繰り返し単位(A’)を含有するものであり、かつ、
前記焼成時に、得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成することにより、前記ポリイミドからなるフィルムとして上記本発明のポリイミドフィルムを得ること、
を特徴とする方法である。
[Production Method of Polyimide Film of the Present Invention]
The method for producing a polyimide film of the present invention comprises forming a coating film using a polyimide precursor resin solution containing a polyimide precursor and an organic solvent, and then removing the solvent from the coating film and baking the polyimide film. Including a step of obtaining a film comprising:
The polyimide precursor contains the repeating unit (A ′) represented by the general formula (7), and
At the time of the baking, the film is made of the polyimide as a film by baking at a temperature in the range of (Tg-190) ° C. to (Tg-50) ° C., based on the glass transition temperature (Tg) of the resulting polyimide. Obtaining the polyimide film of the invention,
It is the method characterized by this.

先ず、本発明のポリイミドフィルムの製造方法に用いるポリイミド前駆体、有機溶媒、及び、ポリイミド前駆体樹脂溶液について説明する。   First, a polyimide precursor, an organic solvent, and a polyimide precursor resin solution used in the method for producing a polyimide film of the present invention will be described.

このようなポリイミド前駆体は、上記一般式(7)で表される繰り返し単位(A’)を含有するものである。このような式(7)中、Aは環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30である4価の脂環式炭化水素基を示し、Rは上記一般式(2)〜(3)で表される2価の有機基のうちのいずれかを示し、Y及びYはそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数3〜9のアルキルシリル基よりなる群から選択される1種を示す。なお、上記一般式(7)中のA及びRaはそれぞれ上記一般式(1)中のA及びRaと同義である(その好適なものも同義である)。 Such a polyimide precursor contains the repeating unit (A ′) represented by the general formula (7). In the formula (7), A represents a tetravalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 30 carbon atoms forming a cyclic structure, and Ra represents the above general formulas (2) to (3 ), Y 1 and Y 2 each independently comprise a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkylsilyl group having 3 to 9 carbon atoms. One species selected from the group is shown. In addition, A and Ra in the said General formula (7) are synonymous with A and Ra in the said General formula (1), respectively (The suitable thing is also synonymous).

なお、このようなY及びYがいずれも水素原子である場合(いわゆるポリアミド酸の繰り返し単位となる場合)には、ポリイミドの製造が容易となる傾向がある。 Incidentally, in such a case Y 1 and Y 2 are both hydrogen atoms (when the repeating units of the so-called polyamic acid) tend to be easy to manufacture a polyimide.

また、前記Y及びYが、炭素数1〜6(好ましくは炭素数1〜3)のアルキル基である場合、ポリイミド前駆体樹脂の保存安定性がより優れたものとなる傾向にある。また、前記Y及びYが炭素数1〜6(好ましくは炭素数1〜3)のアルキル基である場合、メチル基又はエチル基であることがより好ましい。 Further, the Y 1 and Y 2, when 1 to 6 carbon atoms (preferably having 1 to 3 carbon atoms) alkyl group, tend to be those storage stability of the polyimide precursor resin is more excellent. Also, if the Y 1 and Y 2 is a C 1 -C 6 (preferably having 1 to 3 carbon atoms) carbon alkyl group, and more preferably a methyl group or an ethyl group.

また、前記Y及びYが炭素数3〜9のアルキルシリル基である場合、ポリイミド前駆体の有機溶媒への溶解性がより優れたものとなる傾向にある。また、前記Y及びYが炭素数3〜9のアルキルシリル基である場合、トリメチルシリル基又はt−ブチルジメチルシリル基であることがより好ましい。 Also, if the Y 1 and Y 2 is an alkyl silyl group having 3 to 9 carbon atoms, tend to be those solubility in organic solvent for the polyimide precursor is better. Also, if the Y 1 and Y 2 is an alkyl silyl group having 3 to 9 carbon atoms, more preferably a trimethylsilyl group or t- butyldimethylsilyl group.

このような式中のY及びYが水素原子以外の基(アルキル基及び/又はアルキルシリル基)である場合、その基の導入率は特に限定されないが、Y及びYのうちの少なくとも一部をアルキル基及び/又はアルキルシリル基とする場合(ポリイミド前駆体中に含まれる繰り返し単位(A’)中のY及びYのうちの少なくとも一部をアルキル基及び/又はアルキルシリル基とする場合)、それぞれ、Y及びYの総量(総個数)の25%以上(より好ましくは50%以上、更に好ましくは75%以上)をアルキル基及び/又はアルキルシリル基とすることが好ましい(なお、この場合、アルキル基及び/又はアルキルシリル基以外のY及びYは水素原子となる)。ポリイミド前駆体中に含まれる繰り返し単位のY及びYの総量(総個数)の25%以上をアルキル基及び/又はアルキルシリル基にすることで、ポリイミド前駆体樹脂の保存安定性がより優れたものとなる傾向にある。なお、上記一般式(7)中のY及びYで表される置換基に関して、その置換基の種類、及び、その置換基の導入率は、そのポリイミド前駆体の製造条件を適宜変更することで変化させることができる。 When Y 1 and Y 2 in such a formula are a group other than a hydrogen atom (an alkyl group and / or an alkylsilyl group), the introduction rate of the group is not particularly limited, but of Y 1 and Y 2 When at least a part is an alkyl group and / or an alkylsilyl group (at least a part of Y 1 and Y 2 in the repeating unit (A ′) contained in the polyimide precursor is an alkyl group and / or an alkylsilyl group) In the case of a group), 25% or more (more preferably 50% or more, still more preferably 75% or more) of the total amount (total number) of Y 1 and Y 2 is an alkyl group and / or an alkylsilyl group, respectively. Is preferable (in this case, Y 1 and Y 2 other than the alkyl group and / or the alkylsilyl group are hydrogen atoms). By making 25% or more of the total amount (total number) of Y 1 and Y 2 of the repeating units contained in the polyimide precursor an alkyl group and / or an alkylsilyl group, the storage stability of the polyimide precursor resin is more excellent. Tend to be. In addition, regarding the substituent represented by Y 1 and Y 2 in the general formula (7), the type of the substituent and the introduction rate of the substituent appropriately change the production conditions of the polyimide precursor. Can be changed.

このようなポリイミド前駆体としては、ポリイミドの製造がより容易になることから、Y及びYがいずれも水素原子であること、すなわち、ポリアミド酸であることが好ましい。 Such polyimide precursors, since the production of the polyimide becomes easier, it Y 1 and Y 2 are each a hydrogen atom, i.e., is preferably a polyamic acid.

また、前記ポリイミド前駆体としては、繰り返し単位(A’)の1種を単独で含んでいるものであっても、あるいは、上記式(7)中のA、R、Y及びYのうちの少なくとも1種の種類の異なる2種以上の繰り返し単位(A’)を組み合わせて含んでいるものであってもよい。また、前記ポリイミド前駆体は、前記繰り返し単位(A’)とともに、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。 Moreover, as said polyimide precursor, even if it contains 1 type of a repeating unit (A ') independently, or of A, R <a> , Y < 1 > and Y < 2 > in the said Formula (7). It may contain a combination of two or more different repeating units (A ′) of at least one kind. Moreover, the said polyimide precursor may contain the other repeating unit with the said repeating unit (A ').

このようなポリイミド前駆体としては、前記繰り返し単位(A’)とともに、下記一般式(8):   As such a polyimide precursor, the following general formula (8), together with the repeating unit (A ′):

[式(8)中、Aは上記一般式(1)中のAと同義であり(その好適なものも同義であり)、Rは上記一般式(5)中のRと同義であり(その好適なものも同義であり)、Y及びYはそれぞれ上記一般式(7)中のY及びYと同義である(その好適なものも同義である)。]
で表される繰り返し単位(B’)を更に含有することが好ましい。
Wherein (8), A has the same meaning as A in the general formula (1) (also synonymous what its preferred), R b is an R b as defined in the general formula (5) (the preferred ones also are synonymous), respectively Y 1 and Y 2 have the same meanings as Y 1 and Y 2 in formula (7) (also synonymous what its preferred). ]
It is preferable to further contain a repeating unit (B ′) represented by

また、前記ポリイミド前駆体においては、本発明の効果を損なわない範囲において、繰り返し単位(A’)及び(B’)以外の繰り返し単位を含有してもよい。このような繰り返し単位(A’)及び(B’)以外の繰り返し単位としては、特に制限されず、ポリイミド前駆体の繰り返し単位として利用できる公知の繰り返し単位が挙げられ、例えば、前記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物以外の他のテトラカルボン酸二無水物に由来する繰り返し単位等を適宜利用してもよい。なお、繰り返し単位(A’)及び(B’)以外の繰り返し単位としては、最終的に形成するポリイミドのCTEをより小さくすることが可能となるといった観点からは、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物と、置換基を有していてもよいp−フェニレンジアミン、置換基を有していてもよいターフェニルジアミン、置換基を有していてもよいビフェニル系ジアミン(例えば、m−トリジン、o−トリジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンなど)、置換基を有していてもよいエステル基含有ジアミン(例えば4−アミノ安息香酸4−アミノフェニルなど)、及び、水酸基を有するジアミン(例えば2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンなど)からなる群から選択される少なくとも1種の芳香族ジアミンとの反応に由来して形成される繰り返し単位(上記一般式(8)で表される基のRの部分が前記芳香族ジアミンから2つのアミノ基(−NH)を除いた残基となる繰り返し単位)を好適に利用できる。なお、このような芳香族ジアミンの置換基としては炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種であることが好ましい。このような置換基としての炭素数1〜10のアルキル基及びハロゲン原子としては、上記式(2)中のRa1として選択され得る、それらと同様のものである(好適なものも同様である)。 Moreover, in the said polyimide precursor, you may contain repeating units other than repeating unit (A ') and (B') in the range which does not impair the effect of this invention. Such a repeating unit other than the repeating units (A ′) and (B ′) is not particularly limited, and includes known repeating units that can be used as the repeating unit of the polyimide precursor. For example, the general formula (I) A repeating unit derived from other tetracarboxylic dianhydrides other than the tetracarboxylic dianhydride represented by) may be used as appropriate. The repeating unit other than the repeating units (A ′) and (B ′) is represented by the general formula (I) from the viewpoint that the CTE of the finally formed polyimide can be further reduced. Tetracarboxylic dianhydride, p-phenylenediamine which may have a substituent, terphenyldiamine which may have a substituent, biphenyl diamine which may have a substituent ( For example, m-tolidine, o-tolidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, etc.), having a substituent Ester group-containing diamines such as 4-aminophenyl 4-aminobenzoate and diamines having a hydroxyl group such as 2,2-bis (3-amino-4-hydro R b moiety of the groups represented by Shifeniru) hexafluoropropane, etc.) is selected from the group consisting of at least one repeating unit formed by from the reaction of an aromatic diamine (the general formula (8) Can be suitably used as a repeating unit which is a residue obtained by removing two amino groups (—NH 2 ) from the aromatic diamine. In addition, as a substituent of such aromatic diamine, it is preferable that it is 1 type selected from the group which consists of a C1-C10 alkyl group, a halogen atom, and a hydroxyl group. The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and the halogen atom as such a substituent are the same as those which can be selected as R a1 in the above formula (2). ).

このようなポリイミド前駆体において、繰り返し単位(A’)の含有量は全繰り返し単位に対して、50〜100モル%であることが好ましく、55〜95モル%であることがより好ましく、60〜90モル%であることが特に好ましく、65〜90モル%であることが最も好ましい。このような繰り返し単位(A’)の含有量が前記下限未満では十分に低いRthを達成することが困難となる傾向にあり、また、前記含有量の範囲内にある場合には、十分に低いRthを有しつつ十分に低いCTEをバランスよく有する点でより高い性能が得られる傾向にある。   In such a polyimide precursor, the content of the repeating unit (A ′) is preferably 50 to 100 mol%, more preferably 55 to 95 mol%, more preferably 60 to 90 mol% is particularly preferable, and 65 to 90 mol% is most preferable. When the content of such a repeating unit (A ′) is less than the lower limit, it tends to be difficult to achieve a sufficiently low Rth, and when it is within the content range, it is sufficiently low. Higher performance tends to be obtained in that it has a sufficiently low CTE in a balanced manner while having Rth.

また、前記ポリイミド前駆体が繰り返し単位(A’)とともに繰り返し単位(B’)を含有するものである場合、繰り返し単位(A’)及び(B’)の合計量が、全繰り返し単位に対して80〜100モル%であることが好ましく、90〜100モル%であることがより好ましく、95〜100モル%であることが更に好ましく、98〜100モル%であることが特に好ましい。このような繰り返し単位(A’)及び(B’)の合計量(含有量)の割合が前記下限未満では十分に低いRthを有しつつ十分に低いCTEをバランスよく有するものとすることが困難となる傾向にある。   Moreover, when the said polyimide precursor contains a repeating unit (B ') with a repeating unit (A'), the total amount of a repeating unit (A ') and (B') is with respect to all the repeating units. It is preferably 80 to 100 mol%, more preferably 90 to 100 mol%, still more preferably 95 to 100 mol%, and particularly preferably 98 to 100 mol%. If the ratio of the total amount (content) of such repeating units (A ′) and (B ′) is less than the lower limit, it is difficult to have a sufficiently low CTE in a well-balanced manner while having a sufficiently low Rth. It tends to be.

また、前記ポリイミドが繰り返し単位(A’)とともに繰り返し単位(B’)を含有するものである場合、かかるポリイミド中の前記繰り返し単位(A’)と前記繰り返し単位(B’)の総量に対する前記繰り返し単位(A’)の含有量が50〜99モル%(より好ましくは55〜95モル%、更に好ましくは60〜90モル%、特に好ましくは65〜90モル%)であることが好ましい。このような繰り返し単位(A)の含有量が前記下限未満では十分に低いRthを達成することが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると十分に低いCTEを達成することが困難となる傾向にある。なお、前記ポリイミドとしては、低Rth及び低CTEをより高度な水準でバランスよく達成するといった観点から、繰り返し単位(A’)及び(B’)のみからなるものを好適に利用できる。   Moreover, when the said polyimide contains a repeating unit (B ') with a repeating unit (A'), the said repetition with respect to the total amount of the said repeating unit (A ') and the said repeating unit (B') in this polyimide It is preferable that the content of the unit (A ′) is 50 to 99 mol% (more preferably 55 to 95 mol%, still more preferably 60 to 90 mol%, particularly preferably 65 to 90 mol%). If the content of such a repeating unit (A) is less than the lower limit, it tends to be difficult to achieve a sufficiently low Rth, whereas if it exceeds the upper limit, it is difficult to achieve a sufficiently low CTE. Tend to be. As the polyimide, those composed only of the repeating units (A ′) and (B ′) can be suitably used from the viewpoint of achieving a low Rth and low CTE in a balanced manner at a higher level.

また、前記ポリイミド前駆体が繰り返し単位(A’)とともに繰り返し単位(B’)を含有するものである場合であって、各繰り返し単位の各式中のY及びYに水素原子以外の基(アルキル基及び/又はアルキルシリル基)が含まれる場合、その基の導入率は特に限定されないが、Y及びYの総量(総個数)の25%以上(より好ましくは50%以上、更に好ましくは75%以上)がアルキル基及び/又はアルキルシリル基であることが好ましい。 Further, the in the case the polyimide precursor is a resin containing a repeating 'repeating with units (B units (A)'), groups other than a hydrogen atom in Y 1 and Y 2 in each formula of the repeating units When (alkyl group and / or alkylsilyl group) is included, the introduction rate of the group is not particularly limited, but is 25% or more (more preferably 50% or more, more) of the total amount (total number) of Y 1 and Y 2 Preferably, 75% or more is an alkyl group and / or an alkylsilyl group.

また、前記ポリイミド前駆体が繰り返し単位(A’)とともに繰り返し単位(B’)を含有するものである場合、ポリイミドの調製がより容易になることから、かかる繰り返し単位(A’)及び(B’)の各式中のY及びYがいずれも水素原子であることがより好ましい。このように、ポリイミド前駆体としては、各式中のY及びYがいずれも水素原子であるポリアミド酸がより好ましい。 Moreover, when the said polyimide precursor contains a repeating unit (B ') with a repeating unit (A'), since preparation of a polyimide becomes easier, this repeating unit (A ') and (B') It is more preferable that Y 1 and Y 2 in each formula are hydrogen atoms. Thus, the polyimide precursor is more preferably a polyamic acid in which Y 1 and Y 2 in each formula are both hydrogen atoms.

また、このようなポリイミド前駆体樹脂として好適なポリアミド酸としては、固有粘度[η]が0.05〜3.0dL/gであることが好ましく、0.1〜2.0dL/gであることがより好ましい。このような固有粘度[η]が0.05dL/gより小さいと、これを用いてフィルム状のポリイミドを製造した際に、得られるフィルムが脆くなる傾向にあり、他方、3.0dL/gを超えると、粘度が高すぎて加工性が低下し、例えばフィルムを製造した場合に皺が寄ってしまい均一なフィルムを得ることが困難となる。また、このような固有粘度[η]は、以下のようにして測定することができる。すなわち、先ず、溶媒としてテトラメチルウレア(TMU)を用い、TMU中に前記ポリアミド酸を濃度が0.5g/dLとなるようにして溶解させた測定試料(溶液)を得る。次に、前記測定試料を用いて、30℃の温度条件下において動粘度計を用いて、前記測定試料の粘度を測定し、求められた値を固有粘度[η]として採用する。なお、このような動粘度計としては、離合社製の自動粘度測定装置(商品名「VMC−252」)を用いる。   Moreover, as a polyamic acid suitable as such a polyimide precursor resin, the intrinsic viscosity [η] is preferably 0.05 to 3.0 dL / g, and preferably 0.1 to 2.0 dL / g. Is more preferable. When the intrinsic viscosity [η] is smaller than 0.05 dL / g, when a film-like polyimide is produced using the intrinsic viscosity [η], the resulting film tends to be brittle, while 3.0 dL / g is reduced. If it exceeds, the viscosity is too high and the processability is lowered. For example, when a film is produced, wrinkles approach and it is difficult to obtain a uniform film. Such intrinsic viscosity [η] can be measured as follows. That is, first, tetramethylurea (TMU) is used as a solvent, and a measurement sample (solution) in which the polyamic acid is dissolved in TMU so as to have a concentration of 0.5 g / dL is obtained. Next, using the measurement sample, the viscosity of the measurement sample is measured using a kinematic viscometer under a temperature condition of 30 ° C., and the obtained value is adopted as the intrinsic viscosity [η]. In addition, as such a kinematic viscometer, an automatic viscosity measuring apparatus (trade name “VMC-252”) manufactured by Koiso Co., Ltd. is used.

なお、本発明にかかるポリイミド前駆体は、Y、Yの種類に応じて、1)ポリアミド酸(各繰り返し単位の一般式中のY、Yがいずれも水素原子);2)ポリアミド酸エステル(Y、Yの少なくとも一部がアルキル基);3)ポリアミド酸シリルエステル(Y、Yの少なくとも一部がアルキルシリル基);に分類できることから、以下、かかるポリイミド前駆体を製造するための方法を、上記分類ごとに分けて説明する。なお、このようなポリイミド前駆体を製造するための方法は、以下の製造方法に限定されるものではない。 Incidentally, the polyimide precursor according to the present invention, depending on the type of Y 1, Y 2, 1) a polyamic acid (Y 1, both Y 2 is a hydrogen atom in the general formula of the repeating unit); 2) Polyamide Since this can be classified into acid ester (at least part of Y 1 and Y 2 is an alkyl group); 3) polyamic acid silyl ester (at least part of Y 1 and Y 2 is an alkylsilyl group); The method for manufacturing the product will be described separately for each of the above categories. In addition, the method for manufacturing such a polyimide precursor is not limited to the following manufacturing methods.

1)ポリアミド酸
このようなポリアミド酸を製造するために好適に利用することが可能な方法としては、例えば、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物と、式:HN−R−NH[式中のRは上記式(1)中のRと同義である。]で表されるジアミン化合物とを反応させることによりポリアミド酸を得る方法を好適に採用することができる。
1) Polyamic acid As a method that can be suitably used for producing such a polyamic acid, for example, a tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I) and a formula: H 2 N-R a -NH 2 [R a in the formula is as defined R a in the above formula (1). The method of obtaining a polyamic acid by making it react with the diamine compound represented by this can be employ | adopted suitably.

このように、前記テトラカルボン酸二無水物と前記ジアミン化合物とを反応せしめる場合、重合溶媒の存在下において反応させることが好ましい。このような重合溶媒としては、前記テトラカルボン酸二無水物と前記ジアミン化合物の双方を溶解することが可能な有機溶媒であることが好ましい。このような有機溶媒としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、γ−ブチロラクトン(GBL)、プロピレンカーボネート、テトラメチル尿素(テトラメチルウレア:TMU)、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン(DMI)、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、ピリジンなどの非プロトン系極性溶媒;m−クレゾール、キシレノール、フェノール、ハロゲン化フェノールなどのフェノール系溶媒;テトラハイドロフラン、ジオキサン、セロソルブ、グライムなどのエーテル系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族系溶媒;シクロペンタノンやシクロヘキサノン等のケトン系溶媒;アセトニトリル、ベンゾニトリル等のニトリル系溶媒などが挙げられる。このような有機溶媒は、1種を単独であるいは2種以上を混合して使用してもよい。   Thus, when making the said tetracarboxylic dianhydride and the said diamine compound react, it is preferable to make it react in presence of a polymerization solvent. Such a polymerization solvent is preferably an organic solvent capable of dissolving both the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound. Examples of such organic solvents include N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N, N-dimethylacetamide (DMAc), N, N-dimethylformamide (DMF), dimethyl sulfoxide (DMSO), and γ-butyrolactone. Aprotic polar solvents such as (GBL), propylene carbonate, tetramethylurea (tetramethylurea: TMU), 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone (DMI), hexamethylphosphoric triamide, pyridine; -Phenol solvents such as cresol, xylenol, phenol, halogenated phenol; ether solvents such as tetrahydrofuran, dioxane, cellosolve, glyme; aromatic solvents such as benzene, toluene, xylene; cyclopentanone, cyclohexanone, etc. Keto System solvent: acetonitrile, nitrile solvents such as benzonitrile and the like. Such organic solvents may be used singly or in combination of two or more.

また、このような重合溶媒としては、前記テトラカルボン酸二無水物と前記ジアミン化合物に対する溶解性の観点から、非プロトン系極性溶媒を用いることがより好ましく、中でも、DMAc、DMI、または、TMUが特に好ましい。このように、前記重合溶媒として、DMAc、DMI、または、TMUを利用した場合には、これらが前記テトラカルボン酸二無水物と前記ジアミン化合物に対する溶解性に優れるものであるため、重合反応をより効率よく進行させることが可能となり(より反応が進行し易い状態となり)、これにより、より短時間で高重合度のポリアミド酸ワニスを得ることが可能となる。   Moreover, as such a polymerization solvent, it is more preferable to use an aprotic polar solvent from the viewpoint of solubility in the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound, and among them, DMAc, DMI, or TMU is preferable. Particularly preferred. Thus, when DMAc, DMI, or TMU is used as the polymerization solvent, these are excellent in solubility in the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound. It becomes possible to proceed efficiently (the reaction is more likely to proceed), whereby a polyamic acid varnish with a high degree of polymerization can be obtained in a shorter time.

ここで、得られるポリアミド酸に、前記繰り返し単位(A’)とともに、式中のY及びYがいずれも水素原子である繰り返し単位(B’)を含有させる場合には、式:HN−R−NH[式中のRは上記式(5)中のRと同義である。]で表されるジアミン化合物を更に用いて、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物に対して、上記式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物と上記式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物との混合物を反応させればよい。なお、このような式:HN−R−NH[式中のRは上記式(5)中のRと同義である。]で表されるジアミン化合物と上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物との反応に由来して、繰り返し単位(B’)を含有させることが可能となる。 Here, when the obtained polyamic acid contains a repeating unit (B ′) in which Y 1 and Y 2 in the formula are both hydrogen atoms, together with the repeating unit (A ′), the formula: H 2 N-R b -NH 2 [R b in the formula is as defined R b in the formula (5). The diamine compound represented by the above formula: H 2 N—R a —NH 2 with respect to the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I) And a mixture of the diamine compound represented by the above formula: H 2 N—R b —NH 2 may be reacted. Such a formula: H 2 N-R b -NH 2 [R b in the formula is as defined R b in the formula (5). It is possible to contain the repeating unit (B ′) derived from the reaction between the diamine compound represented by the general formula (I) and the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (I).

また、前記テトラカルボン酸二無水物と、前記ジアミン化合物(式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物とともに式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物を利用する場合には、それらの混合物)の使用割合は、前記ジアミン化合物中のアミノ基1当量に対して、反応に用いられるテトラカルボン酸二無水物中の全ての酸無水物基の量が0.2〜2当量となるような量とすることが好ましく、0.3〜1.2当量とすることがより好ましい。このようなテトラカルボン酸二無水物と、前記ジアミン化合物の好適な使用割合が前記下限未満では重合反応が効率よく進行せず高分子量のポリアミド酸(反応中間体)が得られない傾向にあり、他方、前記上限を超えると前記と同様に高分子量のポリアミド酸(反応中間体)が得られない傾向にある。 The tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound (a diamine compound represented by the formula: H 2 N—R b —NH 2 together with the diamine compound represented by the formula: H 2 N—R a —NH 2 In the case of utilizing the above, the ratio of the mixture) is such that the amount of all acid anhydride groups in the tetracarboxylic dianhydride used in the reaction is 1 equivalent of amino group in the diamine compound. The amount is preferably 0.2 to 2 equivalents, and more preferably 0.3 to 1.2 equivalents. When the suitable use ratio of such a tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is less than the lower limit, the polymerization reaction does not proceed efficiently and a high molecular weight polyamic acid (reaction intermediate) tends to be obtained, On the other hand, when the upper limit is exceeded, high molecular weight polyamic acid (reaction intermediate) tends to be not obtained as described above.

さらに、前記重合溶媒(有機溶媒)の使用量としては、前記テトラカルボン酸二無水物と前記ジアミン化合物の総量が、反応溶液の全量に対して0.1〜50質量%(より好ましくは10〜30質量%)になるような量であることが好ましい。このような有機溶媒の使用量が前記下限未満では効率よくポリアミド酸を得ることができなくなる傾向にあり、他方、前記上限を超えると高粘度化により攪拌が困難となる傾向にある。   Further, the amount of the polymerization solvent (organic solvent) used is such that the total amount of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is 0.1 to 50% by mass (more preferably 10 to 10%) based on the total amount of the reaction solution. 30% by mass) is preferable. If the amount of the organic solvent used is less than the lower limit, the polyamic acid tends not to be obtained efficiently. On the other hand, if it exceeds the upper limit, stirring tends to be difficult due to the increase in viscosity.

また、前記テトラカルボン酸二無水物と、前記ジアミン化合物とを反応させる際に、反応速度向上と、高重合度のポリアミド酸を得るという観点から、前記有機溶媒中に塩基化合物を更に添加してもよい。このような塩基性化合物としては特に制限されないが、例えば、トリエチルアミン、テトラブチルアミン、テトラヘキシルアミン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−ウンデセン−7、ピリジン、イソキノリン、α−ピコリン、イミダゾール等が挙げられる。また、このような塩基化合物の使用量は、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物1当量に対して、0.001〜10当量とすることが好ましく、0.01〜0.1当量とすることがより好ましい。このような塩基化合物の使用量が前記下限未満では添加効果が見られなくなる傾向にあり、他方、前記上限を超えると着色等の原因になる傾向にある。   In addition, when the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound are reacted, a base compound is further added to the organic solvent from the viewpoint of improving the reaction rate and obtaining a polyamic acid having a high degree of polymerization. Also good. Examples of such basic compounds include, but are not limited to, triethylamine, tetrabutylamine, tetrahexylamine, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] -undecene-7, pyridine, isoquinoline, α-picoline, imidazole. Etc. Moreover, it is preferable that the usage-amount of such a basic compound shall be 0.001-10 equivalent with respect to 1 equivalent of tetracarboxylic dianhydrides represented by the said general formula (I), 0.01- More preferably, it is 0.1 equivalent. If the amount of such a basic compound used is less than the lower limit, the effect of addition tends to be lost. On the other hand, if it exceeds the upper limit, it tends to cause coloring or the like.

また、前記テトラカルボン酸二無水物と、前記ジアミン化合物とを反応させる際の反応温度は、これらの化合物を反応させることが可能な温度に適宜調整すればよく、特に制限されず、場合に応じて、−40〜450℃とすることが好ましく、−20〜400℃とすることがより好ましく、−20〜200℃とすることが更に好ましく、0〜100℃とすることが特に好ましい。また、前記テトラカルボン酸二無水物と、前記ジアミン化合物(式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物と、式:HN−R−NHで表されるジアミン化合物を利用する場合には、それらの混合物)とを反応させる方法としては、テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとの重合反応を行うことが可能な公知の方法(条件等)を適宜利用でき、特に制限されるものではないが、例えば、大気圧中、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性雰囲気下において、前記ジアミン化合物を前記重合溶媒に溶解させた後、前記反応温度において、前記テトラカルボン酸二無水物を添加し、その後、10〜48時間反応させる方法、大気圧中、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性雰囲気下において、反応容器中に前記ジアミン化合物及び前記テトラカルボン酸二無水物を添加した後に、前記重合溶媒を添加し、溶媒中に各成分を溶解させた後、前記反応温度において、10〜48時間反応させる方法、等を適宜採用してもよい。このような反応温度や反応時間が前記下限未満では十分に反応させることが困難となる傾向にあり、他方、前記上限を超えると重合物を劣化させる物質(酸素等)の混入確率が高まり分子量が低下する傾向にある。 Moreover, the reaction temperature at the time of making the said tetracarboxylic dianhydride and the said diamine compound react should just be suitably adjusted to the temperature which can make these compounds react, and it does not restrict | limit, According to the case. Thus, the temperature is preferably −40 to 450 ° C., more preferably −20 to 400 ° C., further preferably −20 to 200 ° C., and particularly preferably 0 to 100 ° C. Further, the tetracarboxylic dianhydride, the diamine compound (a diamine compound represented by the formula: H 2 N—R a —NH 2 , and a diamine represented by the formula: H 2 N—R b —NH 2 In the case of using a compound, a known method (conditions, etc.) capable of performing a polymerization reaction of tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine is appropriately used as a method of reacting a mixture thereof) Although not particularly limited, for example, after dissolving the diamine compound in the polymerization solvent under an inert atmosphere such as nitrogen, helium, argon, etc. at atmospheric pressure, the tetra In the method of adding carboxylic dianhydride and then reacting for 10 to 48 hours, in an atmospheric pressure, inert atmosphere such as nitrogen, helium, argon, etc., the diamine After adding the compound and the tetracarboxylic dianhydride, the polymerization solvent is added, each component is dissolved in the solvent, and then reacted at the reaction temperature for 10 to 48 hours. May be. If the reaction temperature or reaction time is less than the lower limit, it tends to be difficult to cause sufficient reaction. On the other hand, if the upper limit is exceeded, the probability of mixing a substance (such as oxygen) that degrades the polymer increases and the molecular weight increases. It tends to decrease.

このようにして、一般式中のY及びYがいずれも水素原子である前記繰り返し単位(A’)を含有するポリアミド酸(場合により一般式中のY及びYがいずれも水素原子である前記繰り返し単位(B’)を含む)を得ることができる。 In this manner, the repeating unit (A ') Y 1 and Y 2 are both hydrogen atoms of the general formula by which the polyamic acid (if contained is both Y 1 and Y 2 in the general formula is a hydrogen atom And the above repeating unit (B ′) can be obtained.

2)ポリアミド酸エステル
次に、前記ポリアミド酸エステルを製造するために好適に利用することが可能な方法を説明する。すなわち、先ず、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物を任意のアルコールと反応させ、ジエステルジカルボン酸を得た後、塩素化試薬(例えば、チオニルクロライド、オキサリルクロライド等)と反応させ、ジエステルジカルボン酸クロライド(テトラカルボン酸の誘導体)を得る。次いで、単量体成分として、少なくとも前記ジエステルジカルボン酸クロライドを含有するものを利用し(なお、かかる単量体成分としては、前記ジエステルジカルボン酸クロライドと、上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物との混合物を利用してもよい)、前記単量体成分と、前記ジアミン化合物とを−20〜120℃(より好ましくは−5〜80℃)の範囲で1〜72時間攪拌して反応させることで、式中のY及びYの少なくとも一部がアルキル基である繰り返し単位(A’)を含むポリアミド酸エステルを得ることができる。なお、撹拌時の温度を80℃以上として反応させる場合、分子量が重合時の温度履歴に依存して変動し易くなり、また、熱によりイミド化が進行する場合も生じ得ることから、ポリイミド前駆体を安定的に製造することが困難となる傾向にある。また、ジエステルジカルボン酸と前記ジアミン化合物とを、リン系縮合剤やカルボジイミド縮合剤などを用いて脱水縮合することによっても、簡便に、前記ポリアミド酸エステルからなるポリイミド前駆体が得られる。このような方法で得られるポリアミド酸エステルからなるポリイミド前駆体は、安定なため、水やアルコールなどの溶剤を加えて再沈殿などの精製を行うこともできる。
2) Polyamic acid ester Next, the method which can be utilized suitably in order to manufacture the said polyamic acid ester is demonstrated. That is, first, after reacting the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (I) with an arbitrary alcohol to obtain a diester dicarboxylic acid, a chlorinating reagent (for example, thionyl chloride, oxalyl chloride, etc.) Reaction is performed to obtain diester dicarboxylic acid chloride (a derivative of tetracarboxylic acid). Next, a monomer component containing at least the diester dicarboxylic acid chloride is used (in addition, as the monomer component, the diester dicarboxylic acid chloride and the tetraester represented by the general formula (I) are used. A mixture with carboxylic dianhydride), the monomer component and the diamine compound may be used in the range of -20 to 120 ° C (more preferably -5 to 80 ° C) for 1 to 72 hours. By reacting with stirring, a polyamic acid ester containing a repeating unit (A ′) in which at least a part of Y 1 and Y 2 in the formula is an alkyl group can be obtained. When the reaction is carried out at a temperature of 80 ° C. or higher during stirring, the molecular weight tends to fluctuate depending on the temperature history at the time of polymerization, and imidation may proceed due to heat. Tends to be difficult to produce stably. Moreover, the polyimide precursor which consists of the said polyamic acid ester is simply obtained also by carrying out the dehydration condensation of the diester dicarboxylic acid and the said diamine compound using a phosphorus-type condensing agent, a carbodiimide condensing agent, etc. Since the polyimide precursor comprising a polyamic acid ester obtained by such a method is stable, it can be purified by reprecipitation by adding a solvent such as water or alcohol.

3)ポリアミド酸シリルエステル
以下、前記ポリアミド酸シリルエステルを製造するために好適に利用することが可能な方法を、いわゆる間接法と直接法とに分けて簡単に説明する。
3) Polyamic acid silyl ester Hereinafter, methods that can be suitably used for producing the polyamic acid silyl ester will be briefly described by dividing them into so-called indirect methods and direct methods.

<間接法>
ポリアミド酸シリルエステルを製造するために好適に利用することが可能な方法としては、以下のような方法(間接法)を採用できる。すなわち、先ず、前記ジアミン化合物とシリル化剤を反応させ、シリル化されたジアミン化合物を得る。なお、必要に応じて、蒸留等によりシリル化されたジアミン化合物の精製を行ってもよい。次に、脱水された溶剤中に、シリル化されたジアミン化合物、又は、シリル化されたジアミン化合物と前記ジアミン化合物(シリル化されていないもの)との混合物を溶解させて溶液を得る。次いで、前記溶液を撹拌しながら、該溶液中に上記一般式(I)で表されるテトラカルボン酸二無水物を徐々に添加し、0〜120℃(好ましくは5〜80℃)の範囲で1〜72時間撹拌することで、Y、Yの少なくとも一部がアルキルシリル基である繰り返し単位(A’)を含む、ポリアミド酸シリルエステルからなるポリイミド前駆体を得ることができる。なお、このような撹拌時の温度を80℃以上として反応させる場合、分子量が重合時の温度履歴に依存して変動し易くなり、また、熱によりイミド化が進行する場合も生じ得ることから、ポリイミド前駆体を安定的に製造することが困難となる傾向にある。
<Indirect method>
The following method (indirect method) can be adopted as a method that can be suitably used for producing the polyamic acid silyl ester. That is, first, the diamine compound and a silylating agent are reacted to obtain a silylated diamine compound. In addition, you may refine | purify the diamine compound silylated by distillation etc. as needed. Next, a solution is obtained by dissolving a silylated diamine compound or a mixture of the silylated diamine compound and the diamine compound (not silylated) in a dehydrated solvent. Next, while stirring the solution, the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (I) is gradually added to the solution, and the temperature is in the range of 0 to 120 ° C (preferably 5 to 80 ° C). By stirring for 1 to 72 hours, a polyimide precursor composed of a polyamic acid silyl ester containing a repeating unit (A ′) in which at least a part of Y 1 and Y 2 is an alkylsilyl group can be obtained. In addition, when the reaction at such a stirring temperature is 80 ° C. or higher, the molecular weight is likely to vary depending on the temperature history at the time of polymerization, and imidization may proceed due to heat, It tends to be difficult to stably produce a polyimide precursor.

なお、前記シリル化剤としては、塩素原子を含有しないシリル化剤を用いることが好ましい。このように塩素原子を含有しないシリル化剤を用いることにより、シリル化された芳香族ジアミンを精製する必要がなくなるため、より工程を簡略化することが可能となる。このような塩素原子を含まないシリル化剤としては、N,O−ビス(トリメチルシリル)トリフルオロアセトアミド、N,O−ビス(トリメチルシリル)アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが挙げられる。また、前記シリル化剤としては、フッ素原子を含まず低コストであることから、N,O−ビス(トリメチルシリル)アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが特に好ましい。   In addition, it is preferable to use the silylating agent which does not contain a chlorine atom as said silylating agent. By using a silylating agent that does not contain a chlorine atom in this way, it is not necessary to purify the silylated aromatic diamine, so that the process can be further simplified. Examples of such a silylating agent not containing a chlorine atom include N, O-bis (trimethylsilyl) trifluoroacetamide, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide, and hexamethyldisilazane. The silylating agent is particularly preferably N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide or hexamethyldisilazane because it does not contain a fluorine atom and is low in cost.

また、前記ジアミン化合物のシリル化反応には、反応を促進するために、ピリジン、ピペリジン、トリエチルアミンなどのアミン系触媒を用いることができる。このようなアミン系触媒はポリイミド前駆体の重合触媒としてもそのまま使用することができる。   In addition, an amine catalyst such as pyridine, piperidine or triethylamine can be used in the silylation reaction of the diamine compound in order to accelerate the reaction. Such an amine catalyst can be used as it is as a polymerization catalyst for the polyimide precursor.

<直接法>
先ず、上述の「1)ポリアミド酸」の欄において説明したポリアミド酸を製造するために好適に利用することが可能な方法を実施し、反応後に得られた反応液をそのままポリアミド酸溶液として調製する。その後、得られたポリアミド酸溶液に対してシリル化剤を混合し、0〜120℃(好ましくは5〜80℃)の範囲で1〜72時間撹拌することで、前記ポリアミド酸シリルエステルからなるポリイミド前駆体樹脂を得ることができる(直接法)。なお、撹拌時の温度を80℃以上として反応させる場合、分子量が重合時の温度履歴に依存して変動し易くなり、また、熱によりイミド化が進行する場合も生じ得ることから、ポリイミド前駆体を安定的に製造することが困難となる傾向にある。このような直接法に用いることが可能なシリル化剤としても、シリル化されたポリアミド酸、もしくは、得られたポリイミドを精製する必要がないため、塩素原子を含有しないシリル化剤を用いることが好ましい。このような塩素原子を含まないシリル化剤としては、N,O−ビス(トリメチルシリル)トリフルオロアセトアミド、N,O−ビス(トリメチルシリル)アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが挙げられる。また、このようなシリル化剤としては、フッ素原子を含まず低コストであることから、N,O−ビス(トリメチルシリル)アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが特に好ましい。
<Direct method>
First, the method that can be suitably used for producing the polyamic acid described in the section of “1) Polyamic acid” described above is carried out, and the reaction solution obtained after the reaction is directly prepared as a polyamic acid solution. . Thereafter, a silylating agent is mixed with the obtained polyamic acid solution and stirred for 1 to 72 hours in the range of 0 to 120 ° C. (preferably 5 to 80 ° C.), whereby the polyimide comprising the polyamic acid silyl ester is prepared. A precursor resin can be obtained (direct method). When the reaction is carried out at a temperature of 80 ° C. or higher during stirring, the molecular weight tends to fluctuate depending on the temperature history at the time of polymerization, and imidation may proceed due to heat. Tends to be difficult to produce stably. As a silylating agent that can be used in such a direct method, a silylated polyamic acid or a silylating agent that does not contain a chlorine atom can be used because it is not necessary to purify the obtained polyimide. preferable. Examples of such a silylating agent not containing a chlorine atom include N, O-bis (trimethylsilyl) trifluoroacetamide, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide, and hexamethyldisilazane. Further, as such a silylating agent, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide and hexamethyldisilazane are particularly preferable because they do not contain a fluorine atom and are low in cost.

以上、説明したポリイミド前駆体を製造するための方法はいずれも有機溶媒(前記重合溶媒)中で実施することが可能である。このようにして、有機溶媒中でのポリイミド前駆体を製造した場合には、ポリイミド前駆体の樹脂溶液(ワニス:ポリイミド前駆体樹脂溶液)を容易に得ることができる。   As described above, any of the methods for producing the polyimide precursor described above can be carried out in an organic solvent (the polymerization solvent). Thus, when the polyimide precursor in an organic solvent is manufactured, the resin solution (varnish: polyimide precursor resin solution) of a polyimide precursor can be obtained easily.

本発明にかかるポリイミド前駆体樹脂溶液は、前記ポリイミド前駆体と、有機溶媒とを含有するものである。このような有機溶媒としては、前記ポリイミド前駆体を製造するための方法において説明した、前記重合溶媒を好適に利用することができる。そのため、本発明にかかるポリイミド前駆体樹脂溶液を製造するための方法としては、製造の容易性の観点から、有機溶媒(前記重合溶媒)中でポリイミド前駆体を製造した後、その反応液からポリイミド前駆体を単離することなく、該反応液をそのままポリイミド前駆体のワニス(ポリイミド前駆体樹脂溶液)とすることで製造する方法を採用することが好ましい。   The polyimide precursor resin solution according to the present invention contains the polyimide precursor and an organic solvent. As such an organic solvent, the polymerization solvent described in the method for producing the polyimide precursor can be suitably used. Therefore, as a method for producing the polyimide precursor resin solution according to the present invention, from the viewpoint of ease of production, after producing a polyimide precursor in an organic solvent (the polymerization solvent), a polyimide is obtained from the reaction solution. It is preferable to employ a method in which the reaction solution is used as it is as a polyimide precursor varnish (polyimide precursor resin solution) without isolating the precursor.

このようなポリイミド前駆体樹脂溶液(好ましくはポリアミド酸の樹脂溶液)における前記ポリイミド前駆体樹脂(好ましくはポリアミド酸)の含有量は特に制限されないが、1〜80質量%であることが好ましく、5〜50質量%であることがより好ましい。このような含有量が前記下限未満ではポリイミドフィルムの製造が困難になる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、撹拌と製膜が困難となり均一なポリイミドフィルムの製造が難しくなる傾向にある。なお、このようなポリイミド前駆体樹脂溶液(好ましくはポリアミド酸溶液)は、上記本発明のポリイミドの製造に好適に利用することができ、各種形状のポリイミドを製造するために好適に利用できる。   The content of the polyimide precursor resin (preferably polyamic acid) in the polyimide precursor resin solution (preferably polyamic acid resin solution) is not particularly limited, but is preferably 1 to 80% by mass. More preferably, it is -50 mass%. If such a content is less than the lower limit, it tends to be difficult to produce a polyimide film. On the other hand, if it exceeds the upper limit, stirring and film formation tend to be difficult, and it is difficult to produce a uniform polyimide film. In addition, such a polyimide precursor resin solution (preferably a polyamic acid solution) can be suitably used for producing the polyimide of the present invention, and can be suitably used for producing polyimides having various shapes.

また、このようなポリイミド前駆体樹脂溶液(好ましくはポリアミド酸の樹脂溶液)は、後述の焼成工程において、高分子量化やイミド化を促進させるといった観点から、いわゆる促進剤を利用してもよい。このような促進剤としては、公知の反応促進剤(例えば、イミダゾール系化合物、ピリジン系化合物、トリエチルアミン等の3級アミン系化合物、アミノ酸系化合物等)を適宜利用してもよい。このような促進剤の使用量としては、特に制限されないが、ポリアミド酸溶液中の固形分(ポリアミド酸)100質量部に対して1〜60質量部(より好ましくは5〜50質量部)であることが好ましい。なお、このような促進剤としては、フィルムの光学特性、熱特性、機械特性等の諸物性の観点から、イミダゾール系化合物が好ましい。このようなイミダゾール系化合物としては、例えば、国際公開第2017/026448号に記載のイミダゾール系化合物が挙げられる。さらに、このようなイミダゾール化合物としては、下記一般式(X):   In addition, such a polyimide precursor resin solution (preferably a polyamide acid resin solution) may use a so-called accelerator from the viewpoint of promoting high molecular weight and imidization in the baking step described later. As such an accelerator, a known reaction accelerator (for example, an imidazole compound, a pyridine compound, a tertiary amine compound such as triethylamine, an amino acid compound, or the like) may be appropriately used. Although it does not restrict | limit especially as usage-amount of such an accelerator, It is 1-60 mass parts (more preferably 5-50 mass parts) with respect to 100 mass parts of solid content (polyamic acid) in a polyamic acid solution. It is preferable. In addition, as such an accelerator, an imidazole compound is preferable from the viewpoint of various physical properties such as optical properties, thermal properties, and mechanical properties of the film. Examples of such imidazole compounds include imidazole compounds described in International Publication No. 2017/0264448. Furthermore, as such an imidazole compound, the following general formula (X):

[式(X)中、R11は水素原子及びアルキル基よりなる群から選択される1種を示し、R14はそれぞれ独立にハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホナト基及び有機基よりなる群から選択される1種を示し、mは0〜3の整数を示し、R31、R32、R33、R34及びR35は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基であり、ただし、R31、R32、R33、R34及びR35のうち少なくとも1つは水素原子以外の基である。]
で表される化合物がより好ましい。
[In the formula (X), R 11 represents one selected from the group consisting of a hydrogen atom and an alkyl group, and R 14 each independently represents a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, 1 type selected from the group consisting of a nitro group, a nitroso group, a sulfonate group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphonate group and an organic group, m represents an integer of 0 to 3, R 31 , R 32 , R 33 R 34 and R 35 are each independently a hydrogen atom, hydroxyl group, mercapto group, sulfide group, silyl group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, a phosphonate group, an amino group, an ammonio group, or an organic group, provided that, R 31, R 32, R 33, R 34 and At least one of the 35 is a group other than a hydrogen atom. ]
The compound represented by these is more preferable.

上記一般式(X)中のR11としては、水素原子、メチル基、エチル基が好ましく、水素原子、メチル基がより好ましく、促進剤としての効果の観点からは、水素原子であることが特に好ましい。上記一般式(X)中のR14が有機基である場合、かかる有機基としては、アルキル基、芳香族炭化水素基、及び芳香族複素環基が好ましい。このようなR14がアルキル基である場合、炭素原子数1〜8の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、n−プロピル基、及びイソプロピル基がより好ましい。また、R14が芳香族炭化水素基である場合、かかる芳香族炭化水素基としては、フェニル基が特に好ましい。更に、R14が芳香族複素環基である場合、フリル基、及びチエニル基がより好ましい。また、上記一般式(X)中のmの値としては、高分子量化の促進剤としての効果やイミド化の促進剤としての効果等の観点から、0〜2の整数であることがより好ましい。更に、上記一般式(X)中のmの値としては、促進剤としての効果の観点からは、0であることが更に好ましい。また、上記一般式(X)で表される化合物においては、R31、R32、R33、R34及びR35のうち少なくとも1つが式:−O−R30(R30は水素原子又は有機基である。)で表される基であることが好ましく、中でもR35が式:−O−R30で表される基であることが特に好ましい。また、R35が上記式:−O−R30で表される基である場合、R31、R32、R33及びR34は水素原子であることが好ましい。このようなR30としては、アルキル基が好ましく、炭素原子数1〜8のアルキル基がより好ましく、炭素原子数1〜3のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。 R 11 in the general formula (X) is preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group, more preferably a hydrogen atom or a methyl group, and particularly a hydrogen atom from the viewpoint of the effect as an accelerator. preferable. When R 14 in the general formula (X) is an organic group, the organic group is preferably an alkyl group, an aromatic hydrocarbon group, or an aromatic heterocyclic group. When R 14 is an alkyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is preferable, and a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and an isopropyl group are more preferable. Further, when R 14 is an aromatic hydrocarbon group, the aromatic hydrocarbon group is particularly preferably a phenyl group. Further, when R 14 is an aromatic heterocyclic group, a furyl group and a thienyl group are more preferable. The value of m in the general formula (X) is more preferably an integer of 0 to 2 from the viewpoint of the effect as a high molecular weight accelerator and the effect as an imidization accelerator. . Furthermore, the value of m in the general formula (X) is more preferably 0 from the viewpoint of the effect as an accelerator. In the compound represented by the general formula (X), at least one of R 31 , R 32 , R 33 , R 34 and R 35 is represented by the formula: —O—R 30 (R 30 is a hydrogen atom or organic . a group) is preferably a group represented by, among others R 35 has the formula: it is particularly preferably a group represented by -O-R 30. When R 35 is a group represented by the above formula: —O—R 30 , R 31 , R 32 , R 33, and R 34 are preferably hydrogen atoms. Such R 30 is preferably an alkyl group, more preferably an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, particularly preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and most preferably a methyl group.

さらに、このようなポリイミド前駆体樹脂溶液(好ましくはポリアミド酸の樹脂溶液)は、前記促進剤以外にも、ポリイミドの調製に利用することが可能な各種添加剤(劣化防止剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、改質剤、帯電防止剤、難燃剤、可塑剤、造核剤、安定剤、密着向上剤、滑剤、離型剤、染料、発泡剤、消泡剤、表面改質剤、ハードコート剤、レべリング剤、界面活性剤、充填剤(ガラス繊維、フィラー、タルク、マイカ、シリカ等)等)を適宜添加して利用してもよい。また、このような添加剤を用いる場合に関して、ポリアミド酸溶液中の添加剤の含有量は特に制限されないが、0.0001〜80質量%(より好ましくは0.1〜50質量%)程度とすることが好ましい。   Furthermore, such a polyimide precursor resin solution (preferably a resin solution of polyamic acid) includes various additives (deterioration inhibitor, antioxidant, Light stabilizer, UV absorber, modifier, antistatic agent, flame retardant, plasticizer, nucleating agent, stabilizer, adhesion improver, lubricant, mold release agent, dye, foaming agent, antifoaming agent, surface modification A quality agent, a hard coat agent, a leveling agent, a surfactant, a filler (such as glass fiber, filler, talc, mica, silica, etc.) may be appropriately added and used. Moreover, regarding the case where such an additive is used, the content of the additive in the polyamic acid solution is not particularly limited, but is about 0.0001 to 80% by mass (more preferably 0.1 to 50% by mass). It is preferable.

次に、本発明のポリイミドフィルムの製造方法において採用するポリイミドからなるフィルムを得る工程について説明する。かかる工程は、前記ポリイミド前駆体樹脂溶液を用いて塗膜を形成した後に、該塗膜から溶媒を除去し、焼成することによりポリイミドからなるフィルムを得る工程である。   Next, the process of obtaining the film which consists of a polyimide employ | adopted in the manufacturing method of the polyimide film of this invention is demonstrated. This step is a step of obtaining a film made of polyimide by forming a coating film using the polyimide precursor resin solution, and then removing the solvent from the coating film and baking it.

このような工程において、前記ポリイミド前駆体樹脂溶液からなる塗膜を形成する方法としては特に制限されず、公知の方法を適宜利用することができ、例えば、基材上に前記ポリイミド前駆体樹脂溶液を塗布して塗膜を形成する方法を挙げることができる。このような基材としては特に制限されず、目的とするポリイミドからなるフィルムの形状等に応じて、重合体からなるフィルムの形成に用いることが可能な公知の材料からなる基材(例えば、ガラス板や金属板)を適宜用いることができる。   In such a process, a method for forming a coating film composed of the polyimide precursor resin solution is not particularly limited, and a known method can be appropriately used. For example, the polyimide precursor resin solution is formed on a substrate. The method of apply | coating and forming a coating film can be mentioned. Such a substrate is not particularly limited, and a substrate made of a known material that can be used for forming a film made of a polymer (for example, glass, depending on the shape of a film made of a target polyimide) A plate or a metal plate) can be used as appropriate.

また、前記基材上に前記ポリイミド前駆体樹脂溶液を塗布する方法としては特に限定されず、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、滴下法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、凸版印刷法、ダイコート法、スリットコート法、カーテンコート法、インクジェット法等の公知の方法を適宜採用することができる。   The method for applying the polyimide precursor resin solution on the substrate is not particularly limited. For example, spin coating, spray coating, dip coating, dropping, gravure printing, screen printing, letterpress Known methods such as a printing method, a die coating method, a slit coating method, a curtain coating method, and an ink jet method can be appropriately employed.

また、基材上に形成される前記ポリイミド前駆体樹脂溶液の塗膜の厚みとしては、特に制限されないが、加工性やハンドリング性の観点から、硬化後の膜の厚みが0.1〜200μmとなるようにすることが好ましく、1〜100μmとなるようにすることがより好ましい。   The thickness of the coating film of the polyimide precursor resin solution formed on the substrate is not particularly limited, but from the viewpoint of processability and handling properties, the thickness of the cured film is 0.1 to 200 μm. It is preferable to be, and it is more preferable to be 1 to 100 μm.

また、前記工程においては、前記ポリイミド前駆体樹脂溶液の塗膜を形成した後には、塗膜から溶媒を除去する(溶媒除去処理)。このような溶媒除去処理の方法としては特に制限されないが、0〜150℃(より好ましくは20〜80℃)に加熱して前記塗膜から溶媒を除去することが好ましい。また、このような溶媒除去処理の方法において、加熱時の雰囲気は特に制限されず、空気とすることも可能だが、着色を抑制したり劣化を防止すると言った観点からは、不活性ガス雰囲気(例えば窒素雰囲気)とすることがより好ましい。また、より効率よく乾燥を行うという観点から、このような溶媒除去処理における圧力の条件としては、0.133〜101.3kPa(1〜760mmHg)であることが好ましい。このような溶媒除去処理により、前記ポリイミド前駆体(好ましくはポリアミド酸)をフィルム状などの形態として単離でき、その後に焼成処理を施すこと等も可能となる。   Moreover, in the said process, after forming the coating film of the said polyimide precursor resin solution, a solvent is removed from a coating film (solvent removal process). Although it does not restrict | limit especially as a method of such a solvent removal process, It is preferable to heat to 0-150 degreeC (more preferably 20-80 degreeC) and to remove a solvent from the said coating film. In addition, in such a solvent removal treatment method, the atmosphere during heating is not particularly limited and may be air, but from the viewpoint of suppressing coloration or preventing deterioration, an inert gas atmosphere ( For example, a nitrogen atmosphere is more preferable. Further, from the viewpoint of more efficient drying, the pressure condition in such solvent removal treatment is preferably 0.133 to 101.3 kPa (1 to 760 mmHg). By such solvent removal treatment, the polyimide precursor (preferably polyamic acid) can be isolated in the form of a film or the like, and then subjected to a baking treatment or the like.

また、前記工程においては、前記溶媒除去処理後の塗膜を焼成することによって硬化せしめて上記本発明のポリイミドフィルムを得る。このように、本発明において「焼成」とは、前記溶媒除去処理後の塗膜を硬化せしめるための加熱工程(加熱硬化工程)をいう。このような焼成に際しては、得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成する必要がある。このような焼成(加熱)温度が前記温度範囲内にない場合には、得られるポリイミドのTMA曲線を測定しても、そのTMA曲線において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値が200〜430℃の温度範囲内に確認できなくなり、本発明のポリイミドを得ることができなくなる。なお、上記特許文献1(特開2016−204568号公報)に記載のような従来のポリイミドの製造方法においては、ポリアミド酸を、最終的に形成するポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、Tg近傍の温度(特開2016−204568号公報の実施例ではTg±15〜20℃程度)で焼成してポリイミドフィルムを形成している。そのような従来の一般的なポリイミドの焼成条件(Tg±15〜20℃程度の焼成条件)を単純に採用した場合には、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合が正から負に転じる極値の位置(温度)を200〜430℃に制御することができない。これに対して、本発明においては、前記ポリイミド前駆体(好ましくはポリアミド酸)の塗膜から溶媒を除去した後、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成することで、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合(傾き)が正から負に転じる極値の位置(温度)が200〜430℃の温度範囲内にあるポリイミドを調製することを可能とし、これにより得られるポリイミドのCTEをより低い値とすることを可能とする。なお、焼成(加熱)温度が前記温度範囲内にない場合には、CTEの絶対値を所望の水準のもの(好ましくは50ppm/℃以下)とすることができなくなる。   Moreover, in the said process, the coating film after the said solvent removal process is hardened by baking, and the said polyimide film of this invention is obtained. Thus, in the present invention, “baking” refers to a heating step (heat curing step) for curing the coating film after the solvent removal treatment. In such firing, it is necessary to fire at a temperature within the range of (Tg-190) ° C. to (Tg-50) ° C. based on the glass transition temperature (Tg) of the resulting polyimide. When such a baking (heating) temperature is not within the above temperature range, even if the TMA curve of the resulting polyimide is measured, the ratio of the change in the length of the film to the change in the temperature in the TMA curve The extreme value at which the (slope) turns from positive to negative cannot be confirmed within the temperature range of 200 to 430 ° C., and the polyimide of the present invention cannot be obtained. In addition, in the conventional method for producing polyimide as described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-204568), polyamic acid is based on the glass transition temperature (Tg) of the polyimide finally formed, The polyimide film is formed by baking at a temperature in the vicinity of Tg (in the example of JP-A-2006-204568, Tg ± 15 to 20 ° C.). When such conventional general polyimide firing conditions (baking conditions of about Tg ± 15 to 20 ° C.) are simply adopted, the ratio of the change in the length of the film to the change in the temperature is positive. The position (temperature) of the extreme value that turns negative cannot be controlled to 200 to 430 ° C. On the other hand, in this invention, after removing a solvent from the coating film of the said polyimide precursor (preferably polyamic acid), it baked at the temperature within the range of (Tg-190) degreeC-(Tg-50) degreeC. By preparing the polyimide, the position (temperature) of the extreme value where the ratio (slope) of the change amount of the film length to the change amount of the temperature changes from positive to negative is in the temperature range of 200 to 430 ° C. This makes it possible to lower the CTE of the resulting polyimide. If the firing (heating) temperature is not within the above temperature range, the absolute value of CTE cannot be set to a desired level (preferably 50 ppm / ° C. or less).

また、このような焼成温度としては、十分に低いRthを発現しつつ十分に低いCTEをバランスよく発現させるといった観点からは、(Tg−180)℃〜(Tg−50)℃とすることが好ましく、(Tg−170)℃〜(Tg−60)℃とすることがより好ましく、(Tg−160)℃〜(Tg−70)℃とすることが更に好ましい。また、このような焼成に際しては、前記ポリイミド前駆体(好ましくはポリアミド酸)を十分にイミド化して硬化せしめるために、焼成時間を0.5〜10時間とすることが好ましく、0.8〜5時間とすることがより好ましい
また、本発明において、前記溶媒除去処理後の塗膜を焼成する際には、前記溶媒除去処理後の塗膜を加熱硬化せしめるために、温度条件を多段階に変化させながら加熱してもよい。そのような加熱工程においては、いずれかの段階(例えば最終的に加熱する温度)において、加熱温度を前記焼成温度の範囲内の温度にして、いずれかの段階において焼成処理を施していればよい。例えば、前記溶媒除去処理後の塗膜を、予め、ポリイミド前駆体のイミド化が進行する温度(なお、イミド化自体はポリイミド前駆体の種類によっても異なるが80℃以上程度に加熱して進めることも可能である)であって且つ前記焼成温度よりも低い温度(好ましくは100〜250℃)で0.5〜10時間加熱してポリイミド前駆体のイミド化をある程度進めた後に、前記焼成温度で0.5〜10時間加熱してイミド化を更に進行せしめて焼成(加熱硬化)せしめてもよい。また、前記焼成温度の範囲内において、段階的に温度を変更して焼成してもよい。このように、焼成工程は、塗膜を加熱硬化する際(イミド化して硬化させる際)のいずれかの段階において、採用する加熱温度を前記焼成温度として施してもよい。
In addition, the firing temperature is preferably (Tg−180) ° C. to (Tg−50) ° C. from the viewpoint of expressing sufficiently low CTE in a well-balanced manner while expressing sufficiently low Rth. It is more preferable to set it as (Tg-170) degreeC-(Tg-60) degreeC, and it is still more preferable to set it as (Tg-160) degreeC-(Tg-70) degreeC. In such firing, in order to sufficiently imidize and cure the polyimide precursor (preferably polyamic acid), the firing time is preferably 0.5 to 10 hours, 0.8 to 5 More preferably, in the present invention, when the coating film after the solvent removal treatment is baked, the temperature condition is changed in multiple stages in order to heat and cure the coating film after the solvent removal treatment. You may heat it, letting it go. In such a heating process, the heating temperature may be set to a temperature within the range of the baking temperature at any stage (for example, the final heating temperature), and the baking treatment may be performed at any stage. . For example, the coating film after the solvent removal treatment is preliminarily heated at a temperature at which imidization of the polyimide precursor proceeds (in addition, imidation itself varies depending on the type of the polyimide precursor, but is heated to about 80 ° C. or more. And is heated at a temperature lower than the firing temperature (preferably 100 to 250 ° C.) for 0.5 to 10 hours to advance imidization of the polyimide precursor to some extent, and then at the firing temperature. It may be heated for 0.5 to 10 hours to further proceed with imidization to be fired (heat-cured). Further, the temperature may be changed stepwise within the range of the firing temperature. Thus, a baking process may give the heating temperature employ | adopted as the said baking temperature in the any stage of the time of heat-hardening a coating film (when imidizing and hardening).

また、このような焼成処理の際の雰囲気条件としては、酸素による着色や物性低下を抑制するといった観点から、不活性ガス雰囲気(例えば窒素雰囲気、低酸素濃度雰囲気(酸素濃度が1〜300ppmの雰囲気))とすることが好ましい。なお、焼成処理を施してイミド化する際に酸素による着色を抑制することが可能であれば、高酸素濃度雰囲気(酸素濃度:300ppm超10000ppm以下の雰囲気)下において加熱処理を施してもよい。   In addition, as an atmospheric condition in such a baking treatment, an inert gas atmosphere (for example, a nitrogen atmosphere, a low oxygen concentration atmosphere (an atmosphere having an oxygen concentration of 1 to 300 ppm) is used from the viewpoint of suppressing coloring and deterioration of physical properties due to oxygen. )). Note that heat treatment may be performed in a high oxygen concentration atmosphere (oxygen concentration: an atmosphere of greater than 300 ppm and equal to or less than 10,000 ppm) as long as it is possible to suppress coloring due to oxygen at the time of imidization by performing the baking treatment.

このようにして、前記塗膜から溶媒を除去して焼成することにより、前記膜中のポリイミド前駆体(好ましくはポリアミド酸)を効率よく閉環して加熱硬化することが可能となり、これによりポリイミド前駆体(好ましくはポリアミド酸)をイミド化して効率よくポリイミドを形成することが可能となる。そして、このようにして特定の温度条件で焼成処理を施すことで上記本発明のポリイミドフィルムを得ることが可能となる。   Thus, by removing the solvent from the coating film and baking, the polyimide precursor (preferably polyamic acid) in the film can be efficiently closed and heat-cured, whereby the polyimide precursor It becomes possible to imidize the body (preferably polyamic acid) to efficiently form polyimide. And it becomes possible to obtain the said polyimide film of this invention by performing a baking process on specific temperature conditions in this way.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。先ず、各実施例及び各比較例において得られたポリイミドフィルム等の特性の評価方法について説明する。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example. First, a method for evaluating the characteristics of the polyimide film and the like obtained in each example and each comparative example will be described.

<分子構造の同定>
各実施例及び各比較例で得られたフィルムに対してIR測定機(日本分光株式会社製、商品名:FT/IR−4100)を用いてIR測定を行い、得られたIRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークを確認することによりポリイミドからなるものであるか否かを確認した。
<Identification of molecular structure>
The film obtained in each example and each comparative example was subjected to IR measurement using an IR measuring device (trade name: FT / IR-4100, manufactured by JASCO Corporation), and imidocarbonyl was obtained in the obtained IR spectrum. It was confirmed whether or not it was made of polyimide by confirming a peak based on C═O stretching vibration.

<固有粘度[η]の測定>
各実施例及び各比較例において中間体として得られたポリアミド酸を、同様にして調製して固有粘度[η]の値(単位:dL/g)を測定した。なお、測定に際しては、溶媒としてテトラメチルウレア(TMU)を用いた濃度0.5g/dLの溶液を調製して測定試料とし、離合社製の自動粘度測定装置(商品名「VMC−252」)を用いて、30℃の温度条件下において測定した。
<Measurement of intrinsic viscosity [η]>
The polyamic acid obtained as an intermediate in each Example and each Comparative Example was prepared in the same manner, and the value of intrinsic viscosity [η] (unit: dL / g) was measured. In the measurement, a solution having a concentration of 0.5 g / dL using tetramethylurea (TMU) as a solvent was prepared as a measurement sample, and an automatic viscosity measuring apparatus (trade name “VMC-252”) manufactured by Rouai Co., Ltd. was used. Was measured under the temperature condition of 30 ° C.

<TMA曲線及びCTEの測定>
各実施例及び各比較例で得られたポリイミドフィルムのTMA曲線及びCTEは以下のようにして求めた。すなわち、先ず、各ポリイミドフィルムに対して、それぞれ0.133kPa、120℃の条件で1時間加熱する真空乾燥処理を施した後、窒素雰囲気下、200℃の条件で1時間熱処理する乾燥処理を施して乾燥フィルムを得た。次いで、得られた乾燥フィルムを用いて測定試料(縦20mm(掴み代計5mm)、横5mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を準備した。その後、測定装置としての熱機械的分析装置(リガク製の商品名「TMA8310」)に対して、前記測定試料(フィルム)をセットして、引張りモード(20mN)を採用して、窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で50℃〜450℃に昇温しながら記測定試料を縦方向に引張って、50℃〜450℃における前記試料の縦方向の長さの変化を測定した(引張りTMA測定)。そして、このような引張りTMA測定の結果として、温度と縦方向の長さの変化量との関係を示すグラフであるTMA曲線を求めるとともに、100℃〜350℃の温度範囲における1℃(1K)あたりの長さの変化の平均値を算出して熱膨張率(CTE:厚みが10μmのポリイミドフィルムの熱膨張係数の値)を求めた。なお、TMA曲線のグラフにおいて、温度の変化量(増加量)に対する長さの変化量の割合(傾き)が正から負に変化する極値(以下、便宜上、単に「極値A」と表現する)が観測されるものについては、その極値Aの温度を求めた。なお、このような極値Aの温度は、引張りTMA測定において、前記測定試料(フィルム)の長さの変化が伸びから収縮に変わる点の温度である。
<Measurement of TMA curve and CTE>
The TMA curve and CTE of the polyimide film obtained in each example and each comparative example were obtained as follows. That is, first, each polyimide film was subjected to a vacuum drying process of heating for 1 hour under conditions of 0.133 kPa and 120 ° C., followed by a drying process of heat treatment for 1 hour under conditions of 200 ° C. in a nitrogen atmosphere. To obtain a dry film. Next, a measurement sample (a film having a length of 20 mm (grasping allowance 5 mm), a width of 5 mm, and a thickness of 10 μm) was prepared using the obtained dry film. Thereafter, the thermo-analytical analyzer (trade name “TMA8310” manufactured by Rigaku) as a measuring device is set with the measurement sample (film), the tensile mode (20 mN) is adopted, and under a nitrogen atmosphere, The sample to be measured was pulled in the longitudinal direction while raising the temperature from 50 ° C. to 450 ° C. at a heating rate of 5 ° C./min, and the change in the length in the longitudinal direction of the sample at 50 ° C. to 450 ° C. was measured (tensile TMA Measurement). And as a result of such tensile TMA measurement, while obtaining the TMA curve which is a graph which shows the relationship between temperature and the amount of change of the length of a longitudinal direction, 1 degreeC (1K) in the temperature range of 100 to 350 degreeC The average value of the change in the length per round was calculated, and the coefficient of thermal expansion (CTE: value of the coefficient of thermal expansion of the polyimide film having a thickness of 10 μm) was obtained. In the graph of the TMA curve, the extreme value in which the ratio (slope) of the length change amount to the temperature change amount (increase amount) changes from positive to negative (hereinafter simply referred to as “extreme value A” for convenience). ) Was observed, the temperature of the extreme value A was obtained. In addition, such temperature of the extreme value A is a temperature at which the change in the length of the measurement sample (film) changes from elongation to contraction in the tensile TMA measurement.

<Rthの測定>
各実施例及び各比較例で得られたポリイミドフィルムに関して、Rthは以下のようにして測定した。すなわち、各ポリイミドフィルムを利用して測定試料として縦20mm、横20mm、厚み10μmのフィルムを準備し、測定装置としてAXOMETRICS社製の商品名「AxoScan」を用い、該装置に予め測定したポリイミドフィルムの屈折率(589nm)の値をインプットし、温度:25℃、湿度:40%の条件下、波長589nmの光を用いて自動測定して求められた測定値としてRthを求めた(なお、フィルムの厚みが10μmであるため、求めたRthはそのまま厚み10μmあたりのリタデーション値である)。ここで、ポリイミドフィルムの屈折率(589nm)の値は、各実施例及び各比較例で得られたポリイミドフィルムが未延伸のフィルムであることから、これらのポリイミドフィルムからそれぞれ1cm角(厚み10μm)のフィルムを切り出して測定試料とし、測定装置として屈折率測定装置(株式会社アタゴ製の商品名「NAR−1T SOLID」)を用い、589nmの光源を用いて、23℃の温度条件で、測定試料の589nmの光に対する平均屈折率を測定することにより予め求めた値を採用した。
<Measurement of Rth>
For the polyimide films obtained in each Example and each Comparative Example, Rth was measured as follows. That is, each polyimide film was used to prepare a film having a length of 20 mm, a width of 20 mm, and a thickness of 10 μm as a measurement sample. The product name “AxoScan” manufactured by AXOMETRICS was used as a measurement device, and the polyimide film previously measured on the device was measured. The value of refractive index (589 nm) was input, and Rth was obtained as a measurement value obtained by automatic measurement using light of wavelength 589 nm under the conditions of temperature: 25 ° C. and humidity: 40% (in addition, the film Since the thickness is 10 μm, the obtained Rth is the retardation value per 10 μm thickness). Here, since the polyimide film obtained in each Example and each Comparative Example is an unstretched film, the refractive index (589 nm) of the polyimide film is 1 cm square (thickness 10 μm) from each of these polyimide films. The film was cut out to make a measurement sample, and a refractive index measurement device (trade name “NAR-1T SOLID” manufactured by Atago Co., Ltd.) was used as a measurement device, and the measurement sample was measured at a temperature of 23 ° C. using a light source of 589 nm. The value obtained in advance by measuring the average refractive index for the light of 589 nm was adopted.

<ガラス転移温度(Tg)の測定>
各実施例及び各比較例で得られたポリイミドフィルムに関して、ガラス転移温度(Tg)は、測定装置として熱機械的分析装置(リガク製の商品名「TMA8311」)を利用して、前述の「500mN圧で針入れするペネトレーション(針入れ)法」を採用して測定した。
<Measurement of glass transition temperature (Tg)>
Regarding the polyimide films obtained in each Example and each Comparative Example, the glass transition temperature (Tg) was measured using a thermomechanical analyzer (trade name “TMA8311” manufactured by Rigaku) as a measuring device. The measurement was performed by adopting a “penetration (needle insertion) method in which needle insertion is performed under pressure”.

<黄色度(YI)の測定>
各実施例及び各比較例で得られたポリイミドフィルムに関して、黄色度(YI)は、測定装置として日本電色工業株式会社製の商品名「分光色彩計SD6000」を用い、ASTM E313−05(2005年発行)に準拠した測定を行うことにより求めた。
<Measurement of yellowness (YI)>
Regarding the polyimide films obtained in each Example and each Comparative Example, the yellowness (YI) is measured using ASTM E313-05 (2005) using a product name “Spectral Color Meter SD6000” manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. as a measuring device. It was obtained by performing measurement in accordance with

(合成例1:CpODAの調整)
国際公開第2011/099518号の合成例1、実施例1及び実施例2に記載された方法に準拠して、下記式(21):
(Synthesis Example 1: Adjustment of CpODA)
In accordance with the method described in Synthesis Example 1, Example 1 and Example 2 of International Publication No. 2011/099518, the following formula (21):

で表される化合物(ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物:以下、単に「CpODA」と称する)を調製した。 (Norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α′-spiro-2 ″ -norbornane-5,5 ″, 6,6 ″ -tetracarboxylic dianhydride: Simply referred to as “CpODA”).

(合成例2:イミダゾール化合物(反応促進剤)の調製)
国際公開第2017/026448号の合成例1に記載された方法に準拠して、下記式(22):
(Synthesis Example 2: Preparation of imidazole compound (reaction accelerator))
In accordance with the method described in Synthesis Example 1 of International Publication No. 2017/0264448, the following formula (22):

表されるイミダゾール化合物を調製した。 The represented imidazole compound was prepared.

(実施例1)
<ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程>
先ず、100mlの三口フラスコをヒートガンで加熱して十分に乾燥させた。次に、三口フラスコ内の雰囲気ガスを窒素で置換し、三口フラスコ内を窒素雰囲気とした。三口フラスコ内に、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン(セイカ産業製:FDA)2.7875g(8.00mmol)と4,4’−ジアミノベンズアニリド(日本純良薬品株式会社製:DABAN)0.4545g(2.00mmol)を添加した後、N,N,N’,N’−テトラメチルウレア(TMU)を28.34g添加した。三口フラスコの内容物を撹拌してTMU中にジアミン化合物(FDA及びDABAN:芳香族ジアミン)が分散したスラリー液を得た。
Example 1
<Preparation process of polyamic acid resin solution>
First, a 100 ml three-necked flask was heated with a heat gun and sufficiently dried. Next, the atmosphere gas in the three-necked flask was replaced with nitrogen, and the inside of the three-necked flask was changed to a nitrogen atmosphere. In a three-necked flask, 2.7875 g (8.00 mmol) of 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene (manufactured by Seika Sangyo: FDA) and 4,4′-diaminobenzanilide (manufactured by Nippon Pure Chemicals Co., Ltd .: DABAN) ) 0.4545 g (2.00 mmol) was added, followed by 28.34 g of N, N, N ′, N′-tetramethylurea (TMU). The contents of the three-necked flask were stirred to obtain a slurry liquid in which diamine compounds (FDA and DABAN: aromatic diamine) were dispersed in TMU.

次に、三口フラスコ内に合成例1で調製したCpODAを3.8438g(10.00mmol)添加した後、窒素雰囲気下、室温(25℃)で12時間フラスコの内容物を撹拌して反応液を得た。このようにして反応液中にポリアミド酸が20質量%(TMU溶剤:80質量%)となる反応液(ポリアミド酸の樹脂溶液)を得た。   Next, 3.8438 g (10.00 mmol) of CpODA prepared in Synthesis Example 1 was added to the three-necked flask, and then the contents of the flask were stirred at room temperature (25 ° C.) for 12 hours under a nitrogen atmosphere to prepare a reaction solution. Obtained. In this way, a reaction liquid (polyamic acid resin solution) in which the polyamic acid was 20 mass% (TMU solvent: 80 mass%) in the reaction liquid was obtained.

次いで、このようにして得られた反応液に、窒素雰囲気下で、合成例2で調製したイミダゾール化合物を2.1258g(ポリアミド酸の固形分100質量部に対して30質量部となる量)加えた。次いで、反応液を、25℃で12時間撹拌して、イミダゾール化合物を含むポリイミド前駆体樹脂溶液(ポリアミド酸の樹脂溶液)を得た。   Next, 2.1258 g of the imidazole compound prepared in Synthesis Example 2 (amount to be 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the polyamic acid) was added to the reaction solution thus obtained under a nitrogen atmosphere. It was. Next, the reaction solution was stirred at 25 ° C. for 12 hours to obtain a polyimide precursor resin solution (polyamide acid resin solution) containing an imidazole compound.

<ポリイミド膜の調製工程>
ガラス基板(無アルカリガラス、コーニング製の商品名「イーグルXG」、縦:100mm、横100mm、厚み0.7mm)上に、上述のようにして得られたイミダゾール化合物を含むポリイミド前駆体樹脂溶液を、焼成(加熱硬化)後の塗膜の厚みが10μmとなるようにスピンコートして、塗膜を形成した。次いで、塗膜の形成されたガラス基板を70℃のホットプレート上に載せて2時間静置し、前記塗膜から溶媒を蒸発させて除去した。次いで、このような溶媒除去後の塗膜の形成されたガラス基板を3L/分の流量で窒素が流れているイナートオーブンに投入した。その後、イナートオーブン内で、窒素雰囲気下、25℃の温度条件で0.5時間静置し、135℃の温度条件で0.5時間加熱した後、300℃の焼成温度で1時間加熱することにより、溶媒除去後の塗膜を焼成して該塗膜を硬化させることにより、前記ガラス基板上にポリイミドからなる薄膜(ポリイミドフィルム)がコートされたポリイミドコートガラスを得た。このようにして得られたポリイミドコートガラスを、90℃の湯の中に浸漬して、ガラス基板からポリイミドフィルムを剥離させて、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
<Preparation process of polyimide film>
A polyimide precursor resin solution containing an imidazole compound obtained as described above on a glass substrate (non-alkali glass, Corning trade name “Eagle XG”, length: 100 mm, width 100 mm, thickness 0.7 mm). The coating film was formed by spin coating so that the thickness of the coating film after baking (heat curing) was 10 μm. Next, the glass substrate on which the coating film was formed was placed on a hot plate at 70 ° C. and allowed to stand for 2 hours, and the solvent was removed from the coating film by evaporation. Next, the glass substrate on which the coating film after removal of the solvent was formed was put into an inert oven in which nitrogen was flowing at a flow rate of 3 L / min. Then, in an inert oven, leave it in a nitrogen atmosphere at a temperature condition of 25 ° C. for 0.5 hours, heat at a temperature condition of 135 ° C. for 0.5 hour, and then heat at a firing temperature of 300 ° C. for 1 hour. By baking the coating film after removing the solvent and curing the coating film, a polyimide-coated glass in which a thin film (polyimide film) made of polyimide was coated on the glass substrate was obtained. The polyimide coated glass thus obtained is immersed in hot water at 90 ° C., and the polyimide film is peeled off from the glass substrate to obtain a polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm). Got.

(実施例2〜6)
ポリイミド膜の調製工程における焼成温度を300℃から、それぞれ320℃(実施例2)、340℃(実施例3)、360℃(実施例4)、380℃(実施例5)、400℃(実施例6)に変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Examples 2 to 6)
The firing temperature in the polyimide film preparation step is from 300 ° C. to 320 ° C. (Example 2), 340 ° C. (Example 3), 360 ° C. (Example 4), 380 ° C. (Example 5), and 400 ° C. (implementation). A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 1 except for changing to Example 6).

(比較例1〜2)
ポリイミド膜の調製工程における焼成温度を300℃から、それぞれ260℃(比較例1)、280℃(比較例2)に変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Comparative Examples 1-2)
A polyimide film (100 mm length, 100 mm width) was the same as in Example 1 except that the firing temperature in the polyimide film preparation step was changed from 300 ° C. to 260 ° C. (Comparative Example 1) and 280 ° C. (Comparative Example 2), respectively. And a film having a thickness of 10 μm).

(比較例3)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、FDAを使用せず、DABANの使用量を2.2726g(10mmol)に変更し、かつ、TMUの使用量を24.47gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Comparative Example 3)
In the preparation process of the polyamic acid resin solution, FDA is not used, the amount of DABAN used is changed to 2.2726 g (10 mmol), and the amount of TMU used is changed to 24.47 g. Similarly, a polyimide film (100 mm long, 100 mm wide, 10 μm thick film) was obtained.

実施例1〜6及び比較例1〜3で得られたフィルムの特性を前述の評価方法に基いて測定した結果を表1に示す。なお、IR測定の結果、実施例1〜6及び比較例1〜3で得られたフィルムはいずれもポリイミドからなるものであることが確認された。IRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークが確認された位置を表1に示す。また、実施例1で得られたポリイミドフィルム及び比較例3で得られたポリイミドフィルムのTMA曲線を図1に示す。   Table 1 shows the results obtained by measuring the characteristics of the films obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 based on the evaluation method described above. As a result of IR measurement, it was confirmed that all the films obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3 were made of polyimide. Table 1 shows the positions where peaks based on the C═O stretching vibration of imide carbonyl were confirmed in the IR spectrum. Moreover, the TMA curve of the polyimide film obtained in Example 1 and the polyimide film obtained in Comparative Example 3 is shown in FIG.

表1に示す結果からも明らかなように、実施例1〜6で得られたポリイミドフィルムはいずれも、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであり、かつ、そのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものであることが分かった。一方、比較例1〜2で得られたポリイミドフィルムは、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位を含むポリイミドからなるフィルムであるものの、そのTMA曲線において極値Aが176℃(比較例1)、188℃(比較例2)に確認され、極値Aが200〜430℃の温度範囲内のものとはないことが確認された。   As is clear from the results shown in Table 1, the polyimide films obtained in Examples 1 to 6 are all polyimides containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of monomers used. It was found that the extreme value A was confirmed in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve. On the other hand, the polyimide films obtained in Comparative Examples 1 and 2 are films made of polyimide containing a repeating unit represented by the general formula (1) from the type of monomer used, but the extreme value A is in the TMA curve. It was confirmed at 176 ° C. (Comparative Example 1) and 188 ° C. (Comparative Example 2) that the extreme value A was not within the temperature range of 200 to 430 ° C.

ここで、表1の記載からも明らかなように、用いたモノマーの種類及び使用量(モル比)が同じである実施例1〜6で得られたフィルムと比較例1〜2で得られたフィルムとを対比すると、極値Aが200〜430℃の温度範囲内にある場合(実施例1〜6)においては、Rthの絶対値が85nm以下となることとともに、CTEの絶対値が30ppm/K以下となることが分かった。他方、極値Aが176℃(比較例1)、188℃(比較例2)に確認され、極値Aが200〜430℃の温度範囲内にない場合(比較例1〜2の場合)においてはいずれも、CTEの絶対値が61.2ppm/K以上となっていることが確認された。   Here, as is clear from the description of Table 1, the types of monomers used and the amounts used (molar ratio) were the same as those obtained in Examples 1-6 and Comparative Examples 1-2. In contrast to the film, when the extreme value A is in the temperature range of 200 to 430 ° C. (Examples 1 to 6), the absolute value of Rth is 85 nm or less and the absolute value of CTE is 30 ppm / It turned out that it becomes below K. On the other hand, when the extreme value A is confirmed at 176 ° C. (Comparative Example 1) and 188 ° C. (Comparative Example 2), and the extreme value A is not within the temperature range of 200 to 430 ° C. (in the case of Comparative Examples 1 and 2) In each case, it was confirmed that the absolute value of CTE was 61.2 ppm / K or more.

このような結果から、先ず、実施例1〜6で得られたフィルムと比較例1〜2で得られたフィルムが、同じモノマーを同量利用して得られたものであり、これらのフィルムのいずれもがRthが十分に低いものとなっていることから(Rthが145nm以下となっていることから)、フィルムを構成するポリイミドの繰り返し単位の構造に由来して十分い低いRthが得られていることは明らかとなった。また、表1に示す結果から、用いたモノマーの種類及び使用量(モル比)が同じポリイミド同士(実施例1〜6及び比較例1〜2)であっても、製造時の焼成温度の違いにより、TMA曲線において極値Aの位置が異なるものとなり、極値Aの位置が特定の温度範囲内になるように、表1に示すモノマーに基づいて得られるポリアミド酸(上記一般式(7)で表される繰り返し単位(A’)を含むポリアミド酸)を、Tg−190℃〜Tg−50℃の温度条件で焼成することによって、Rth(絶対値)を145nm以下の十分に低い値としつつ、CTE(絶対値)を30ppm/K以下といったより高度に低い値とすることが可能となることが分かった。   From such a result, first, the film obtained in Examples 1 to 6 and the film obtained in Comparative Examples 1 and 2 were obtained using the same amount of the same monomer. In both cases, the Rth is sufficiently low (since Rth is 145 nm or less), so that a sufficiently low Rth is obtained due to the structure of the repeating unit of the polyimide constituting the film. It became clear that Moreover, even if it is polyimides (Examples 1-6 and Comparative Examples 1-2) with the same kind and usage-amount (molar ratio) of the monomer used from the result shown in Table 1, the difference in the calcination temperature at the time of manufacture Thus, the position of the extreme value A in the TMA curve becomes different, and the polyamic acid obtained based on the monomers shown in Table 1 so that the position of the extreme value A falls within a specific temperature range (the above general formula (7) The polyamic acid containing the repeating unit (A ′) represented by the formula (B) is calcined under a temperature condition of Tg-190 ° C. to Tg-50 ° C., thereby reducing Rth (absolute value) to a sufficiently low value of 145 nm or less. It was found that the CTE (absolute value) can be set to a higher value such as 30 ppm / K or less.

なお、図1に示す結果からも明らかなように、実施例1で得られたポリイミドフィルムにおいてはTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲内に確認されているのに対して、そもそもモノマーの種類が実施例1とは異なる比較例3で得られたポリイミドフィルムにおいては、製造時にTg−190℃〜Tg−50℃の温度条件で焼成していても、TMA曲線において極値Aが確認されないものとなった。かかる結果から、ポリイミドフィルムが上記特定の温度条件で焼成して得られたものであり、かつ、上記繰り返し単位(A)を含むものである場合(実施例1〜6の場合)に、得られるフィルムのTMA曲線において極値Aを200〜430℃の温度範囲内に存在させることが可能となることが分かった。   As is clear from the results shown in FIG. 1, in the polyimide film obtained in Example 1, the extreme value A was confirmed within the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve. In the first place, in the polyimide film obtained in Comparative Example 3 in which the kind of monomer is different from that in Example 1, the extreme value A in the TMA curve was obtained even if the film was baked at a temperature condition of Tg-190 ° C. to Tg-50 ° C. Was not confirmed. From this result, when the polyimide film is obtained by firing under the specific temperature condition and includes the repeating unit (A) (in the case of Examples 1 to 6), It has been found that the extreme value A can exist in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve.

このように、表1に示す結果から、本発明のポリイミドフィルム(実施例1〜6)によれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とをより高い水準でバランスよく有することが可能となることが確認された。   Thus, from the results shown in Table 1, according to the polyimide films of the present invention (Examples 1 to 6), sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and sufficiently low thermal expansion based on absolute values. It has been confirmed that the rate (CTE) can be balanced at a higher level.

(実施例7)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、FDAの使用量を2.0906g(6mmol)に変更し、DABANの使用量を0.9090g(4mmol)に変更し、かつ、TMUの使用量を27.37gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 7)
In the preparation process of the polyamic acid resin solution, the usage amount of FDA was changed to 2.0906 g (6 mmol), the usage amount of DABAN was changed to 0.9090 g (4 mmol), and the usage amount of TMU was 27.37 g. A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to.

(実施例8)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、FDAの使用量を3.1360g(9mmol)に変更し、DABANの使用量を0.2273g(1mmol)に変更し、かつ、TMUの使用量を28.83gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 8)
In the preparation process of the polyamic acid resin solution, the usage amount of FDA was changed to 3.1360 g (9 mmol), the usage amount of DABAN was changed to 0.2273 g (1 mmol), and the usage amount of TMU was 28.83 g. A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to.

(実施例9)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、DABANを使用せず、FDAの使用量を3.4844g(10mmol)に変更し、かつ、TMUの使用量を29.31gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
Example 9
In the preparation process of the resin solution of polyamic acid, Example 1 was used except that DABAN was not used, the amount of FDA used was changed to 3.4844 g (10 mmol), and the amount of TMU used was changed to 29.31 g. Similarly, a polyimide film (100 mm long, 100 mm wide, 10 μm thick film) was obtained.

(実施例10)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、FDAの使用量を2.4391g(7mmol)に変更し、DABANの使用量を0.6818g(3mmol)に変更し、かつ、TMUの使用量を27.86gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。なお、本実施例で得られたポリイミドフィルムについては、参考のために、いわゆるDMA測定によってもガラス転移温度(Tg:DMA)を測定した。かかる測定に際しては、測定装置として動的粘弾性測定装置(セイコーSII製の商品名「DMS6100」)を利用して、窒素雰囲気下、昇温速度3℃/分の条件を採用して、テンション(100mN)、周波数(1Hz、10Hz)、30℃〜550℃の温度プログラムでDMA測定を行った。このようなDMA測定によって測定されたガラス転移温度(Tg:DMA)は470℃であった。なお、後述の表2に示すTgの値(ペネトレーション(針入れ)法による測定値)とDMA法によるTgの測定値とはほぼ同等の値となった。
(Example 10)
In the preparation process of the polyamic acid resin solution, the amount of FDA used was changed to 2.4391 g (7 mmol), the amount of DABAN used was changed to 0.6818 g (3 mmol), and the amount of TMU used was 27.86 g. A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to. In addition, about the polyimide film obtained by the present Example, the glass transition temperature (Tg: DMA) was measured also by what is called DMA measurement for reference. In this measurement, a dynamic viscoelasticity measuring device (trade name “DMS6100” manufactured by Seiko SII) is used as a measuring device, and a tension ( 100 mN), frequency (1 Hz, 10 Hz), DMA measurement was performed with a temperature program of 30 ° C. to 550 ° C. The glass transition temperature (Tg: DMA) measured by such DMA measurement was 470 ° C. Note that the Tg values (measured values by the penetration (needle insertion) method) shown in Table 2 described later and the measured Tg values by the DMA method were substantially equivalent.

(実施例11〜15)
ポリイミド膜の調製工程における焼成温度を300℃から、それぞれ320℃(実施例11)、340℃(実施例12)、360℃(実施例13)、380℃(実施例14)、400℃(実施例15)に変更した以外は実施例10と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Examples 11 to 15)
The firing temperature in the polyimide film preparation step is from 300 ° C. to 320 ° C. (Example 11), 340 ° C. (Example 12), 360 ° C. (Example 13), 380 ° C. (Example 14), and 400 ° C. (implementation). Except having changed into Example 15), it carried out similarly to Example 10, and obtained the polyimide film (The film of the magnitude | size of length 100mm, width 100mm, and thickness 10 micrometers).

実施例7〜15で得られたフィルムの特性を前述の評価方法に基いて測定した結果を表2に示す。なお、IR測定の結果、実施例7〜15で得られたフィルムはいずれもポリイミドからなるものであることが確認された。IRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークが確認された位置を表2に示す。なお、参照のために、実施例1で得られたフィルムの特性も併せて表2に示す。   Table 2 shows the results obtained by measuring the characteristics of the films obtained in Examples 7 to 15 based on the evaluation method described above. As a result of IR measurement, it was confirmed that all the films obtained in Examples 7 to 15 were made of polyimide. Table 2 shows the positions where peaks based on the C═O stretching vibration of imide carbonyl were confirmed in the IR spectrum. For reference, the characteristics of the film obtained in Example 1 are also shown in Table 2.

表2に示すように、実施例7〜15で得られたポリイミドフィルムはいずれも、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであり、かつ、そのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものであることが分かった。なお、その製造条件から、表2に示すモノマーの基づいて得られるポリアミド酸をTg−190℃〜Tg−50℃の温度条件で焼成することで、得られるポリイミドフィルムのTMA曲線において、極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されることが分かった。また、表2に示す結果から、本発明のポリイミドフィルム(実施例1及び実施例7〜15)はいずれも、Rthの絶対値が145nm以下となり、かつ、CTEの絶対値が30ppm/K以下となることが確認された。このように、本発明のポリイミドフィルムによれば、Rth(絶対値)を145nm以下の十分に低い値としつつ、CTE(絶対値)を30ppm/K以下といったより高度に低い値とすることが可能となり、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とをより高い水準でバランスよく有することが可能となることが確認された。   As shown in Table 2, each of the polyimide films obtained in Examples 7 to 15 is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of monomer used. And it turned out that the extreme value A is confirmed by the temperature range of 200-430 degreeC in the TMA curve. In addition, in the TMA curve of the polyimide film obtained by baking the polyamic acid obtained based on the monomer shown in Table 2 on the temperature conditions of Tg-190 degreeC-Tg-50 degreeC from the manufacturing conditions, it is extreme value A. Was found to be confirmed in the temperature range of 200-430 ° C. In addition, from the results shown in Table 2, all of the polyimide films of the present invention (Example 1 and Examples 7 to 15) had an Rth absolute value of 145 nm or less and a CTE absolute value of 30 ppm / K or less. It was confirmed that As described above, according to the polyimide film of the present invention, it is possible to make the CTE (absolute value) 30 ppm / K or less higher, while keeping Rth (absolute value) sufficiently low value of 145 nm or less. Thus, it was confirmed that it was possible to have a sufficiently low level of retardation (Rth) in the thickness direction and a sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) at a higher level with an absolute value as a reference.

(実施例16)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において使用するジアミン化合物の種類を変更して、三口フラスコ内にFDAとDABANを添加する代わりに、三口フラスコ内に4,4’−ジアミノジフェニルスルホン(4,4’−DDS)2.4830g(10mmol)を添加し、かつ、TMUの使用量を25.31gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 16)
Instead of adding FDA and DABAN in the three-necked flask by changing the type of diamine compound used in the preparation process of the polyamic acid resin solution, 4,4′-diaminodiphenylsulfone (4,4 ′) is added in the three-necked flask. -DDS) A polyimide film (length 100 mm, width 100 mm, thickness 10 μm) in the same manner as in Example 1 except that 2.4830 g (10 mmol) was added and the amount of TMU used was changed to 25.31 g. Film).

(実施例17)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において使用するジアミン化合物の種類を変更して、三口フラスコ内にFDAとDABANを添加する代わりに、三口フラスコ内に9,9−ビス(4−アミノ−3−フルオロフェニル)フルオレン(F−FDA)3.8443g(10mmol)を添加し、かつ、TMUの使用量を30.75gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 17)
Instead of adding the FDA and DABAN in the three-necked flask by changing the type of diamine compound used in the preparation process of the polyamic acid resin solution, 9,9-bis (4-amino-3-fluoro) in the three-necked flask Phenyl) fluorene (F-FDA) 3.8443 g (10 mmol) was added, and the polyimide film (100 mm in length, 100 mm in width, A film having a thickness of 10 μm was obtained.

(実施例18)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において使用するジアミン化合物の種類を変更して、三口フラスコ内にFDAとDABANを添加する代わりに、三口フラスコ内に9,9−ビス(4−アミノ−3−メチルフェニル)フルオレン(Me−FDA)3.7650g(10mmol)を添加し、かつ、TMUの使用量を30.44gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 18)
Instead of adding the FDA and DABAN in the three-necked flask by changing the type of diamine compound used in the preparation process of the polyamic acid resin solution, 9,9-bis (4-amino-3-methyl) in the three-necked flask Phenyl) fluorene (Me-FDA) 3.7650 g (10 mmol) was added and the amount of TMU used was changed to 30.44 g in the same manner as in Example 1 except that a polyimide film (length 100 mm, width 100 mm, A film having a thickness of 10 μm was obtained.

実施例16〜18で得られたフィルムの特性を前述の評価方法に基いて測定した結果を表3に示す。なお、IR測定の結果、実施例16〜18で得られたフィルムはいずれもポリイミドからなるものであることが確認された。IRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークが確認された位置を表3に示す。   Table 3 shows the results obtained by measuring the characteristics of the films obtained in Examples 16 to 18 based on the evaluation method described above. As a result of IR measurement, it was confirmed that the films obtained in Examples 16 to 18 were all made of polyimide. Table 3 shows the positions where peaks based on the C═O stretching vibration of imide carbonyl were confirmed in the IR spectrum.

表3に示すように、実施例16〜18で得られたポリイミドフィルムはいずれも、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであり、かつ、そのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものであることが分かった。なお、その製造条件から、表3に示すモノマーに基づいて得られるポリアミド酸(上記一般式(7)で表される繰り返し単位(A’)を含むポリアミド酸)を、最終的に得られるポリイミドのTgを基準として、Tg−190℃〜Tg−50℃の温度条件で焼成することで、得られるポリイミドフィルムのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されることが分かった。また、表3に示す結果から、本発明のポリイミドフィルム(実施例16〜18)はいずれも、Rthの絶対値が145nm以下となり、かつ、CTEの絶対値が30ppm/K以下となることが確認され、本発明のポリイミドフィルムによれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とをより高い水準でバランスよく有することが可能となることが確認された。特に、実施例17〜18においては、Rthの絶対値を50nm未満の値としつつ、CTEを30ppm/K以下とすることも可能としており、これらの実施例で得られたポリイミドフィルムが、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とを、更に高い水準でバランスよく有するものであることも分かった。   As shown in Table 3, each of the polyimide films obtained in Examples 16 to 18 is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of the monomer used. And it turned out that the extreme value A is confirmed by the temperature range of 200-430 degreeC in the TMA curve. In addition, from the manufacturing conditions, the polyamic acid obtained based on the monomers shown in Table 3 (polyamic acid containing the repeating unit (A ′) represented by the general formula (7)) is finally obtained from the polyimide obtained. It was found that the extreme value A was confirmed in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve of the polyimide film obtained by firing at a temperature condition of Tg-190 ° C. to Tg-50 ° C. based on Tg. . In addition, from the results shown in Table 3, it was confirmed that all of the polyimide films of the present invention (Examples 16 to 18) had an absolute value of Rth of 145 nm or less and an absolute value of CTE of 30 ppm / K or less. According to the polyimide film of the present invention, it is possible to have a sufficiently low level of retardation (Rth) and sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) at a higher level in a well-balanced manner based on absolute values. It was confirmed that In particular, in Examples 17 to 18, the absolute value of Rth is set to a value less than 50 nm, and CTE can be set to 30 ppm / K or less. The polyimide films obtained in these Examples are sufficiently It has also been found that it has a low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) at a higher level in a well-balanced manner.

(実施例19)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程においてCpODAを用いる代わりに、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物(CBDA)1.9611g(10.00mmol)を用い、かつ、TMUの使用量を20.81gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 19)
Instead of using CpODA in the preparation process of the polyamic acid resin solution, 1.9611 g (10.00 mmol) of 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride (CBDA) was used, and the amount of TMU used A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 1 except that was changed to 20.81 g.

(比較例4)
ポリイミド膜の調製工程における焼成温度を300℃から380℃に変更した以外は実施例19と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Comparative Example 4)
A polyimide film (a film having a length of 100 mm, a width of 100 mm, and a thickness of 10 μm) was obtained in the same manner as in Example 19 except that the baking temperature in the polyimide film preparation step was changed from 300 ° C. to 380 ° C.

実施例19及び比較例4で得られたフィルムの特性を前述の評価方法に基いて測定した結果を表4に示す。なお、IR測定の結果、これらのフィルムはいずれもポリイミドからなるものであることが確認された。IRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークが確認された位置を表4に示す。   Table 4 shows the results obtained by measuring the properties of the films obtained in Example 19 and Comparative Example 4 based on the evaluation method described above. As a result of IR measurement, it was confirmed that all of these films were made of polyimide. Table 4 shows the positions where peaks based on the C═O stretching vibration of imide carbonyl were confirmed in the IR spectrum.

表4に示すように、実施例19で得られたポリイミドフィルムは、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであり、かつ、そのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものであることが分かった。他方、比較例4で得られたポリイミドフィルムは、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであるものの、そのTMA曲線において極値Aが確認出来なかった。なお、その製造条件から、表4に示すモノマーに基づいて得られるポリアミド酸(上記一般式(7)で表される繰り返し単位(A’)を含むポリアミド酸)を、最終的に得られるポリイミドのTgを基準として、Tg−190℃〜Tg−50℃の温度条件で焼成することによって、得られるポリイミドフィルムのTMA曲線において、極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものとなることが分かった。   As shown in Table 4, the polyimide film obtained in Example 19 is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of monomer used, and It was found that the extreme value A was confirmed in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve. On the other hand, the polyimide film obtained in Comparative Example 4 is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of monomer used, but the extreme value A in the TMA curve thereof. Could not be confirmed. In addition, from the production conditions, the polyamic acid obtained based on the monomers shown in Table 4 (polyamic acid containing the repeating unit (A ′) represented by the general formula (7)) is finally obtained from the polyimide obtained. By firing at a temperature condition of Tg-190 ° C. to Tg-50 ° C. based on Tg, the extreme value A is confirmed in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve of the obtained polyimide film. I understood that.

また、表4に示す結果から、本発明のポリイミドフィルム(実施例19)はRthの絶対値が50nm未満となり、かつ、CTEの絶対値が45ppm/K以下となることが確認された。これに対して、TMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲内にないポリイミドフィルム(比較例4)においては、Rthの絶対値は50nm未満となるものの、CTEの絶対値が60ppm/Kとなっており、Rthの値との関係でCTEを十分に低い値とすることができず、十分に低いリタデーション(Rth)と十分に低い熱膨張率(CTE)とをバランスよく有するものとすることができなかった。   From the results shown in Table 4, it was confirmed that the polyimide film of the present invention (Example 19) had an absolute value of Rth of less than 50 nm and an absolute value of CTE of 45 ppm / K or less. In contrast, in the polyimide film (Comparative Example 4) in which the extreme value A is not in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve, the absolute value of RTE is less than 50 nm, but the absolute value of CTE is 60 ppm / K, the CTE cannot be made sufficiently low in relation to the value of Rth, and has a sufficiently low retardation (Rth) and a sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) in a well-balanced manner I couldn't.

このような結果から本発明のポリイミドフィルム(実施例19)によれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とをより高い水準でバランスよく有することが可能となることが確認された。   From these results, according to the polyimide film of the present invention (Example 19), a sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) are higher based on the absolute value. It was confirmed that it was possible to have a well-balanced level.

(実施例20)
ポリアミド酸の樹脂溶液の調製工程において、FDAの代わりに4,4’−ジアミノジフェニルスルホン(4,4’−DDS)1.9864g(8mmol)を用い、かつ、TMUの使用量を25.14gに変更した以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム(縦100mm、横100mm、厚み10μmの大きさのフィルム)を得た。
(Example 20)
In the preparation process of the polyamic acid resin solution, 1.9864 g (8 mmol) of 4,4′-diaminodiphenylsulfone (4,4′-DDS) was used instead of FDA, and the amount of TMU used was 25.14 g. Except having changed, it carried out similarly to Example 1, and obtained the polyimide film (The film of the magnitude | size of length 100mm, width 100mm, and thickness 10 micrometers).

実施例20で得られたフィルムの特性を前述の評価方法に基いて測定した結果を表5に示す。なお、IR測定の結果、これらのフィルムはいずれもポリイミドからなるものであることが確認された。IRスペクトルにおいてイミドカルボニルのC=O伸縮振動に基づくピークが確認された位置を表5に示す。   Table 5 shows the results obtained by measuring the properties of the film obtained in Example 20 based on the evaluation method described above. As a result of IR measurement, it was confirmed that all of these films were made of polyimide. Table 5 shows the positions where peaks based on the C═O stretching vibration of imide carbonyl were confirmed in the IR spectrum.

表5に示すように、実施例20で得られたポリイミドフィルムは、用いたモノマーの種類から一般式(1)で表される繰り返し単位(A)を含むポリイミドからなるフィルムであり、かつ、そのTMA曲線において極値Aが200〜430℃の温度範囲に確認されるものであることが分かった。また、表5に示す結果から、本発明のポリイミドフィルム(実施例20)はRthの絶対値が145nm以下となり、かつ、CTEの絶対値が30ppm/K以下となることが確認された。このような結果から本発明のポリイミドフィルム(実施例20)によれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(CTE)とをより高い水準でバランスよく有することが可能となることが確認された。   As shown in Table 5, the polyimide film obtained in Example 20 is a film made of polyimide containing the repeating unit (A) represented by the general formula (1) from the type of monomer used, and its It was found that the extreme value A was confirmed in the temperature range of 200 to 430 ° C. in the TMA curve. From the results shown in Table 5, it was confirmed that the polyimide film of the present invention (Example 20) had an absolute value of Rth of 145 nm or less and an absolute value of CTE of 30 ppm / K or less. From these results, according to the polyimide film of the present invention (Example 20), a sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low coefficient of thermal expansion (CTE) are higher based on the absolute value. It was confirmed that it was possible to have a well-balanced level.

以上説明したように、本発明によれば、絶対値を基準として、十分に低い厚み方向のリタデーション(Rth)と、十分に低い熱膨張率(線膨張係数:CTE)とをより高い水準でバランスよく有することを可能とするポリイミドフィルム、及び、そのポリイミドフィルムを製造することが可能なポリイミドフィルムの製造方法を提供することが可能となる。このような本発明のポリイミドフィルムは、その特性から、特にLCDやOLED用の基板等として有用である。   As described above, according to the present invention, a sufficiently low thickness direction retardation (Rth) and a sufficiently low thermal expansion coefficient (linear expansion coefficient: CTE) are balanced at a higher level based on the absolute value. It is possible to provide a polyimide film that can be often included and a method for producing a polyimide film that can produce the polyimide film. Such a polyimide film of the present invention is particularly useful as a substrate for LCDs and OLEDs because of its characteristics.

Claims (4)

下記一般式(1):
[式(1)中、Aは環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30である4価の脂環式炭化水素基を示し、Rは、下記一般式(2)〜(3):
(式(2)中、Ra1、Ra2、Ra3及びRa4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示し、
式(3)中、Ra5及びRa6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。)
で表される2価の有機基のうちのいずれかを示す。]
で表される繰り返し単位(A)を含有するポリイミドからなるフィルムであり、かつ、
窒素雰囲気下、昇温速度5℃/分で50℃〜450℃まで昇温しながら荷重20mNの条件で該フィルムを引張って温度と該フィルムの長さの変化量との関係を測定する熱機械分析(TMA)により求められるTMA曲線において、温度の変化量に対するフィルムの長さの変化量の割合が正から負に転じる極値が200〜430℃の温度範囲内に存在することを特徴とするポリイミドフィルム。
The following general formula (1):
[In Formula (1), A shows the tetravalent alicyclic hydrocarbon group whose number of the carbon atoms which form a cyclic structure is 4-30, Ra is following General formula (2)-(3). :
(In the formula (2), R a1 , R a2 , R a3 and R a4 each independently represents one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group,
In formula (3), R a5 and R a6 each independently represent one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group. )
Any one of divalent organic groups represented by the formula: ]
A film comprising a polyimide containing a repeating unit (A) represented by:
A thermal machine that measures the relationship between the temperature and the change in the length of the film by pulling the film under a load of 20 mN while raising the temperature from 50 ° C. to 450 ° C. at a temperature rising rate of 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere. In the TMA curve obtained by analysis (TMA), an extreme value in which the ratio of the change in the length of the film to the change in the temperature changes from positive to negative exists in the temperature range of 200 to 430 ° C. Polyimide film.
前記式(1)中のAが、下記一般式(4):
[式(4)中、R、R、Rは、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基及びフッ素原子よりなる群から選択される1種を示し、nは0〜12の整数を示す。]
で表される4価の脂環式炭化水素基であることを特徴とする請求項1に記載のポリイミドフィルム。
A in the formula (1) is the following general formula (4):
[In Formula (4), R 1 , R 2 , and R 3 each independently represent one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and a fluorine atom, and n is 0 to 0. An integer of 12 is shown. ]
The polyimide film according to claim 1, wherein the polyimide film is a tetravalent alicyclic hydrocarbon group represented by the formula:
前記ポリイミドが、下記一般式(5)
[式(5)中、Aは上記式(1)中のAと同義であり、Rは下記一般式(6):
(式(6)中、Rb1及びRb2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。)
で表される2価の有機基を示す。]
で表される繰り返し単位(B)を更に含有するものであり、かつ、ポリイミド中の前記繰り返し単位(A)と前記繰り返し単位(B)の総量に対する前記繰り返し単位(A)の含有量が50〜100モル%であることを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルム。
The polyimide has the following general formula (5)
[In Formula (5), A is synonymous with A in said Formula (1), Rb is following General formula (6):
(In Formula (6), R b1 and R b2 each independently represent one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom, and a hydroxyl group.)
The bivalent organic group represented by these is shown. ]
And the content of the repeating unit (A) with respect to the total amount of the repeating unit (A) and the repeating unit (B) in the polyimide is from 50 to 50. It is 100 mol%, The polyimide film of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.
ポリイミド前駆体と、有機溶媒とを含有するポリイミド前駆体樹脂溶液を用いて塗膜を形成した後に、該塗膜から溶媒を除去し、焼成することによりポリイミドからなるフィルムを得る工程を含み、
前記ポリイミド前駆体が下記一般式(7):
[式(7)中、Aは環状構造を形成する炭素原子の数が4〜30である4価の脂環式炭化水素基を示し、Rは、下記一般式(2)〜(3):
(式(2)中、Ra1、Ra2、Ra3及びRa4はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示し、
式(3)中、Ra5及びRa6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン原子及び水酸基よりなる群から選択される1種を示す。)
で表される2価の有機基のうちのいずれかを示し、Y及びYはそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数3〜9のアルキルシリル基よりなる群から選択される1種を示す。]
で表される繰り返し単位(A’)を含有するものであり、かつ、
前記焼成時に、得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)を基準として、(Tg−190)℃〜(Tg−50)℃の範囲内の温度で焼成することにより、前記ポリイミドからなるフィルムとして請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載のポリイミドフィルムを得ること、
を特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。
After forming a coating film using a polyimide precursor resin solution containing a polyimide precursor and an organic solvent, the process includes removing the solvent from the coating film and obtaining a film made of polyimide by firing,
The polyimide precursor is represented by the following general formula (7):
[In Formula (7), A shows the tetravalent alicyclic hydrocarbon group whose number of carbon atoms which forms a cyclic structure is 4-30, Ra is following General formula (2)-(3). :
(In the formula (2), R a1 , R a2 , R a3 and R a4 each independently represents one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group,
In formula (3), R a5 and R a6 each independently represent one type selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a halogen atom and a hydroxyl group. )
And Y 1 and Y 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkylsilyl group having 3 to 9 carbon atoms. 1 type selected from ]
And a repeating unit (A ′) represented by:
Claimed as a film made of the polyimide by firing at a temperature in the range of (Tg-190) ° C. to (Tg-50) ° C., based on the glass transition temperature (Tg) of the polyimide obtained during the firing. Obtaining a polyimide film according to any one of 1 to 3,
A method for producing a polyimide film characterized by the above.
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