JP2018534800A - 高周波数超音波に対する膜ハイドロホンおよび製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2016年2月19日に出願された米国仮出願第62/297,763号および2015年8月18日に出願された第62/206,808号の利益を主張するものであり、これらは全体として参照により本明細書中に援用される。
開示される技術は、超音波トランスデューサを試験するためのハイドロホンに関し、特に、高周波数超音波トランスデューサを試験するために使用されるハイドロホンに関する。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
フレームと、
第1の側と、上記フレームによって支持される第2の側とを有する圧電膜であって、上記圧電膜は、上記圧電膜の両側上に導電性材料を含む、圧電膜と、
上記導電性材料内に形成された第1および第2の電極パターンであって、上記第1および第2の電極パターンは、上記圧電膜の対向する側上で相互に重複し、上記ハイドロホンの活性面積を画定する、第1および第2の電極パターンと、
を備え、
上記第1の電極パターンは、上記圧電膜の両側上に作成され、上記活性面積内を除いて相互に重複し、
上記第2の電極パターンは、上記圧電膜の両側上に作成され、上記活性面積内を除いて相互に重複する、膜ハイドロホン。
(項目2)
上記圧電膜の各側上の第1の電極パターンは、電気的にともに結合される、項目1に記載の膜ハイドロホン。
(項目3)
上記圧電膜の各側上の第1の電極パターンを電気的に結合する、1つまたはそれを上回る導電性ビアを上記圧電膜内にさらに備える、項目2に記載の膜ハイドロホン。
(項目4)
上記ハイドロホンの活性面積によって生産される信号を増幅するために、緩衝増幅器をさらに備え、上記緩衝増幅器への入力は、上記膜上の電極パターンに容量的に結合される、項目1に記載の膜ハイドロホン。
(項目5)
レーザを用いて上記圧電膜に切り込まれた少なくとも1つの位置合わせ特徴をさらに備える、項目1に記載の膜ハイドロホン。
(項目6)
上記ハイドロホンの活性面積は、1,600平方ミクロンを下回る面積を有する、項目1に記載の膜ハイドロホン。
(項目7)
上記ハイドロホンの活性面積は、900平方ミクロンを下回る面積を有する、項目1に記載の膜ハイドロホン。
(項目8)
高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンを作製する方法であって、
フレームを横断して圧電膜を延伸させるステップと、
上記圧電膜の第1および第2の側に導電性層を適用するステップと、
上記ハイドロホンの活性面積内で重複する第1および第2の電極パターンを作成するために、上記圧電膜上の導電性層の一部を選択的に除去するステップと、
を含み、
上記導電性層は、上記導電性層の一部を除去するために上記導電性層にレーザエネルギーを印加し、上記圧電膜をそのままの状態に保つことによって除去される、方法。
(項目9)
上記導電性層は、
上記膜の第1の側上に第1の電極パターンを作成するために、上記圧電膜の第1の側上の導電性層にレーザエネルギーを印加するステップと、
上記圧電膜の第2の側上に第1の電極パターンを作成するために、上記圧電膜の第1の側に、上記導電性層が上記圧電膜の第1の側から除去された場所においてレーザエネルギーを印加するステップであって、上記圧電膜の第1および第2の側上の第1の電極パターンは、上記ハイドロホンの活性面積内を除いて相互に重複する、ステップと、
によって選択的に除去される、項目8に記載の方法。
(項目10)
上記導電性層は、スパッタリングツールを用いて適用される、項目8に記載の方法。
(項目11)
上記電極は、上記導電性層の一部が上記レーザを用いて上記圧電膜から除去された後、化学エッチを上記圧電膜に適用することによって作成される、項目8に記載の方法。
(項目12)
上記電極は、レジスト層のレーザパターン化および化学エッチの組み合わせを用いて、上記圧電膜から上記導電性コーティングを除去することによって作成される、項目8に記載の方法。
(項目13)
上記圧電膜の各側上の電極パターンを電気的に接続するために、導電性ビアを上記圧電膜内に作成するステップをさらに含む、項目8に記載の方法。
(項目14)
上記導電性層を適用するステップに先立って、上記ハイドロホンの活性面積を除いて、上記膜の圧電特性を低減させるように上記圧電膜の面積を処理するステップをさらに含む、項目8に記載の方法。
(項目15)
上記圧電膜上の第1および第2の電極パターンにある電圧を印加することによって、上記膜の活性面積をスポットポーリングするステップをさらに含む、項目8に記載の方法。
(項目16)
高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
圧電膜と、
上記圧電膜の1つの表面上の第1の電極と、
上記圧電膜の別の表面上の第2の電極であって、それによって、上記第1および第2の電極は、直径が10〜30ミクロンの面積内で重複する、第2の電極と、
上記圧電膜を通して切断され、上記圧電膜が電極パターン化ツールと整合されることを可能にする、少なくとも1つの位置合わせ特徴と、
を備える、膜ハイドロホン。
(項目17)
高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
圧電膜と、
上記圧電膜の1つの表面上のいくつかの電極と、
上記圧電膜の別の表面上のいくつかの電極であって、それによって、上記表面上の電極は、グリッドパターンの活性面積内で重複する、いくつかの電極と、
を備える、膜ハイドロホン。
Claims (17)
- 高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
フレームと、
第1の側と、前記フレームによって支持される第2の側とを有する圧電膜であって、前記圧電膜は、前記圧電膜の両側上に導電性材料を含む、圧電膜と、
前記導電性材料内に形成された第1および第2の電極パターンであって、前記第1および第2の電極パターンは、前記圧電膜の対向する側上で相互に重複し、前記ハイドロホンの活性面積を画定する、第1および第2の電極パターンと、
を備え、
前記第1の電極パターンは、前記圧電膜の両側上に作成され、前記活性面積内を除いて相互に重複し、
前記第2の電極パターンは、前記圧電膜の両側上に作成され、前記活性面積内を除いて相互に重複する、膜ハイドロホン。 - 前記圧電膜の各側上の第1の電極パターンは、電気的にともに結合される、請求項1に記載の膜ハイドロホン。
- 前記圧電膜の各側上の第1の電極パターンを電気的に結合する、1つまたはそれを上回る導電性ビアを前記圧電膜内にさらに備える、請求項2に記載の膜ハイドロホン。
- 前記ハイドロホンの活性面積によって生産される信号を増幅するために、緩衝増幅器をさらに備え、前記緩衝増幅器への入力は、前記膜上の電極パターンに容量的に結合される、請求項1に記載の膜ハイドロホン。
- レーザを用いて前記圧電膜に切り込まれた少なくとも1つの位置合わせ特徴をさらに備える、請求項1に記載の膜ハイドロホン。
- 前記ハイドロホンの活性面積は、1,600平方ミクロンを下回る面積を有する、請求項1に記載の膜ハイドロホン。
- 前記ハイドロホンの活性面積は、900平方ミクロンを下回る面積を有する、請求項1に記載の膜ハイドロホン。
- 高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンを作製する方法であって、
フレームを横断して圧電膜を延伸させるステップと、
前記圧電膜の第1および第2の側に導電性層を適用するステップと、
前記ハイドロホンの活性面積内で重複する第1および第2の電極パターンを作成するために、前記圧電膜上の導電性層の一部を選択的に除去するステップと、
を含み、
前記導電性層は、前記導電性層の一部を除去するために前記導電性層にレーザエネルギーを印加し、前記圧電膜をそのままの状態に保つことによって除去される、方法。 - 前記導電性層は、
前記膜の第1の側上に第1の電極パターンを作成するために、前記圧電膜の第1の側上の導電性層にレーザエネルギーを印加するステップと、
前記圧電膜の第2の側上に第1の電極パターンを作成するために、前記圧電膜の第1の側に、前記導電性層が前記圧電膜の第1の側から除去された場所においてレーザエネルギーを印加するステップであって、前記圧電膜の第1および第2の側上の第1の電極パターンは、前記ハイドロホンの活性面積内を除いて相互に重複する、ステップと、
によって選択的に除去される、請求項8に記載の方法。 - 前記導電性層は、スパッタリングツールを用いて適用される、請求項8に記載の方法。
- 前記電極は、前記導電性層の一部が前記レーザを用いて前記圧電膜から除去された後、化学エッチを前記圧電膜に適用することによって作成される、請求項8に記載の方法。
- 前記電極は、レジスト層のレーザパターン化および化学エッチの組み合わせを用いて、前記圧電膜から前記導電性コーティングを除去することによって作成される、請求項8に記載の方法。
- 前記圧電膜の各側上の電極パターンを電気的に接続するために、導電性ビアを前記圧電膜内に作成するステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記導電性層を適用するステップに先立って、前記ハイドロホンの活性面積を除いて、前記膜の圧電特性を低減させるように前記圧電膜の面積を処理するステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記圧電膜上の第1および第2の電極パターンにある電圧を印加することによって、前記膜の活性面積をスポットポーリングするステップをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
圧電膜と、
前記圧電膜の1つの表面上の第1の電極と、
前記圧電膜の別の表面上の第2の電極であって、それによって、前記第1および第2の電極は、直径が10〜30ミクロンの面積内で重複する、第2の電極と、
前記圧電膜を通して切断され、前記圧電膜が電極パターン化ツールと整合されることを可能にする、少なくとも1つの位置合わせ特徴と、
を備える、膜ハイドロホン。 - 高周波数超音波トランスデューサからの音響エネルギーを測定するための膜ハイドロホンであって、
圧電膜と、
前記圧電膜の1つの表面上のいくつかの電極と、
前記圧電膜の別の表面上のいくつかの電極であって、それによって、前記表面上の電極は、グリッドパターンの活性面積内で重複する、いくつかの電極と、
を備える、膜ハイドロホン。
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