JP2018532991A - 容量性構造体及び容量性構造体を用いて電荷量を特定する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、独立請求項の上位概念に記載されている装置又は方法に基づく。コンピュータプログラムも、本発明の構成要件である。
これを背景に、本願で提示するアプローチによって、独立請求項に記載されている容量性構造体、容量性構造体の製造方法、容量性構造体を用いて電荷量を特定するための方法、さらに、この方法を使用する装置、電荷量を特定するためのシステム、及び、対応するコンピュータプログラムが提示される。従属請求項に記載されている措置によって、独立請求項に記載されている装置の有利な発展及び改良が可能である。
電極装置を準備するステップと、
電圧に関連する誘電率を有する誘電体をこの電極装置上に析出するステップと、
この誘電体上に対向電極装置を析出するステップと、
を有している。
基準容量を調整するために、電極装置と対向電極装置との間で基準電位を調整するステップと、
結果として生じる容量を得るために、電荷量によって結果として生じる電位を、基準電位に対して付加的に印加するステップと、
電荷量を特定するために、基準容量と、結果として生じる容量との間の容量変化を検出するステップと、
を有している。
Claims (15)
- 電極装置(106)と、電圧に関連する誘電率を有する誘電体(108)と、対向電極装置(110)とを有する容量性構造体(102)を用いて電荷量(Q)を特定するための方法(700)であって、
当該方法(700)は、
基準容量(C1)を調整するために、前記電極装置(106)と前記対向電極装置(110)との間で基準電位(118)を調整するステップ(702)と、
結果として生じる容量(C2)を得るために、前記電荷量(Q)によって結果として生じる電位(120)を、前記基準電位(118)に対して付加的に印加するステップ(704)と、
前記電荷量(Q)を特定するために、前記基準容量(C1)と、前記結果として生じる容量(C2)との間の容量変化(ΔC)を検出するステップ(706)と、
を有している、
電荷量(Q)を特定するための方法(700)。 - 前記調整のステップ(702)において、前記電極装置(106)の電極(202)と前記対向電極装置(110)の対向電極(204)との間で前記基準電位(118)を調整し、前記印加のステップ(704)において、前記電極(202)と前記対向電極(204)との間に前記電位(120)を印加する、請求項1に記載の方法(700)。
- 前記調整のステップ(702)において、前記電極装置(106)の部分電極(300)と前記対向電極装置(110)の部分対向電極(304)との間で前記基準電位(118)を調整し、前記印加のステップ(704)において、前記電極装置(106)のさらなる部分電極(302)と前記対向電極装置(110)のさらなる部分対向電極(306)との間に前記電位(120)を印加する、請求項1に記載の方法(700)。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法(700)を実施するように構成されている、容量性構造体(102)を用いて電荷量(Q)を特定するための装置(104)。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法(700)を実施するために構成されているコンピュータプログラム。
- 請求項5に記載のコンピュータプログラムが記録されている、機械読み出し可能な記録媒体。
- 電極装置(106)と、電圧に関連する誘電率を有する誘電体(108)と、対向電極装置(110)とを有する容量性構造体(102)。
- 前記誘電体(108)は、前記電極装置(106)と前記対向電極装置(110)との間に配置されている、請求項7に記載の容量性構造体(102)。
- 前記電極装置(106)は、電極(202)を有しており、及び/又は、前記対向電極装置(110)は、対向電極(204)を有している、請求項7又は8に記載の容量性構造体(102)。
- 前記電極装置(106)は、部分電極(300)とさらなる部分電極(302)とを含んでおり、前記第1の部分電極(300)と前記さらなる部分電極(302)とは、相互に隣接して配置されておりかつ電気的に相互に絶縁して配置されており、及び/又は、前記対向電極装置(110)は、部分対向電極(3074)とさらなる部分対向電極(306)とを含んでおり、前記部分対向電極(304)と前記さらなる部分対向電極(306)とは、相互に隣接して配置されておりかつ電気的に相互に絶縁して配置されている、請求項7乃至9のいずれか一項に記載の容量性構造体(102)。
- 前記誘電体(108)は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)又はチタン酸(ストロンチウム)バリウム(B(S)T)である、請求項7乃至10のいずれか一項に記載の容量性構造体(102)。
- 前記誘電体(108)は、張力が加えられた薄膜として構成されている、請求項7乃至11のいずれか一項に記載の容量性構造体(102)。
- 少なくとも1つのさらなる薄膜が、前記電極装置(106)と前記対向電極装置(110)との間に配置されている、請求項7乃至12のいずれか一項に記載の容量性構造体(102)。
- 電荷量(Q)を特定するためのシステム(100)であって、
当該システム(100)は、請求項7乃至13のいずれか一項に記載の容量性構造体(102)と、請求項4に記載の、前記容量性構造体(102)を用いて電荷量(Q)を特定する装置(104)とを含む、
電荷量(Q)を特定するためのシステム(100)。 - 容量性構造体(102)を製造するための方法(800)であって、
当該方法(800)は、
電極装置(106)及び対向電極装置(110)を準備するステップ(802)と、
電圧に関連する誘電率を有する誘電体(108)を準備するステップ(804)と、
前記誘電体(108)を前記電極装置(106)と前記対向電極装置(110)とに隣接して配置するステップ(806)と、
を有している、
容量性構造体(102)を製造するための方法(800)。
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