JP2018526817A - ワークピース処理手法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- ワークピースを処理する方法であって、
第1のワークピースの初期厚さプロファイルを測定するステップと、
イオンビームを、所定の時間又はドーズ量の間、前記第1のワークピースへ向けて導くステップと、
前記導くステップ後の前記第1のワークピースの更新された厚さプロファイルを測定するステップと、
前記初期厚さプロファイルと前記更新された厚さプロファイルとの差に基づいて、前記イオンビームのエッチング速度プロファイルをイオンビーム位置の関数として決定するステップと、
前記イオンビームの前記エッチング速度プロファイルに基づいて第2のワークピースを処理するステップ
とを含む、方法。 - 前記第2のワークピースを処理するステップは複数回のパスを用いて行われ、前記イオンビームは各パスの間に前記第2のワークピースを横切って走査され、前記エッチング速度プロファイルは、パスの回数と各パスの間に用いられる動作パラメータとからなる群から選択される第1の処理パラメータセットを決定するために用いられる、請求項1に記載の方法。
- 前記動作パラメータは、走査速度プロファイルと、前記イオンビームのデューティサイクルと、引き出し電流若しくは電圧と、供給ガスの圧力とからなる群から選択される、請求項2に記載の方法。
- 前記処理するステップは、エッチング処理、堆積処理又はアモルファス化処理を含む、請求項1に記載の方法。
- ワークピースを処理する方法であって、
イオンビームの処理速度プロファイルを、イオンビーム位置の関数として決定するステップと、
前記ワークピースの初期厚さプロファイルを決定するステップと、
前記処理速度プロファイルと前記初期厚さプロファイルとターゲット厚さプロファイルとを用いて、第1の処理パラメータセットを算出するステップと、
前記第1の処理パラメータセットを用いて前記ワークピースを処理するステップ
とを含む、方法。 - 前記処理後の前記ワークピースの更新された厚さプロファイルを決定するステップと、
前記処理速度プロファイルと前記更新された厚さプロファイルと前記ターゲット厚さプロファイルとを用いて、第2の処理パラメータセットを算出するステップと、
前記第2の処理パラメータセットを用いて前記ワークピースを処理するステップ
とをさらに含む、請求項5に記載の方法。 - 前記処理速度プロファイルを決定するステップは、
犠牲ワークピースの初期厚さプロファイルを測定するステップと、
前記イオンビームを、所定の時間又はドーズ量の間、前記犠牲ワークピースへ向けて導くステップと、
前記導くステップ後の前記犠牲ワークピースの更新された厚さプロファイルを測定するステップと、
前記初期厚さプロファイルと前記更新された厚さプロファイルとの差に基づいて前記処理速度プロファイルを決定するステップ
とを含む、請求項5に記載の方法。 - 前記イオンビームは前記犠牲ワークピースから材料を除去し、前記処理速度プロファイルはエッチング速度プロファイルを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記イオンビームは前記犠牲ワークピース上に材料を堆積し、前記処理速度プロファイルは堆積速度プロファイルを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記処理するステップは複数回のパスを用いて行われ、前記イオンビームは各パスの間に前記ワークピースを横切って走査され、前記第1の処理パラメータセットは、パスの回数と各パスの間に用いられる動作パラメータとからなる群から選択される、請求項5に記載の方法。
- 前記処理するステップは、エッチング処理、堆積処理又はアモルファス化処理を含む、請求項5に記載の方法。
- ロットからの複数のワークピースを処理する方法であって、
犠牲ワークピースを用いてイオンビームのエッチング速度プロファイルをイオンビーム位置の関数として決定するステップと、
前記ロットの第1のワークピースの初期厚さプロファイルを決定するステップと、
前記エッチング速度プロファイルと前記第1のワークピースの前記初期厚さプロファイルとターゲット厚さプロファイルとを用いて、第1の処理パラメータセットを算出するステップと、
前記第1の処理パラメータセットを用いて前記ロットの前記第1のワークピースを処理するステップと、
前記第1の処理パラメータセットを用いて前記ロットの第2のワークピースを処理するステップ
とを含む、方法。 - 前記第2のワークピースを処理する前に、
前記第1のワークピース処理後に前記ロットの前記第1のワークピースの更新された厚さプロファイルを決定するステップと、
前記エッチング速度プロファイルと前記第1のワークピースの前記更新された厚さプロファイルと前記ターゲット厚さプロファイルとを用いて、前記第1のワークピースについての第2の処理パラメータセットを算出するステップと、
前記第1のワークピースについての前記第2の処理パラメータセットを用いて前記ロットの前記第1のワークピースを処理するステップ
とをさらに含む、請求項12に記載の方法。 - 前記第2のワークピース処理後に前記ロットの前記第2のワークピースの更新された厚さプロファイルを決定するステップと、
前記エッチング速度プロファイルと前記第2のワークピースの前記更新された厚さプロファイルと前記ターゲット厚さプロファイルとを用いて、前記第2のワークピースについての第2の処理パラメータセットを算出するステップと、
前記第2のワークピースについての前記第2の処理パラメータセットを用いて前記ロットの前記第2のワークピースを処理するステップ
とをさらに含む、請求項13に記載の方法。 - 前記エッチング速度プロファイルを決定するステップは、
前記犠牲ワークピースの初期厚さプロファイルを測定するステップと、
前記イオンビームを、所定の時間又はドーズ量の間、前記犠牲ワークピースへ向けて導くステップと、
前記導くステップ後の前記犠牲ワークピースの更新された厚さプロファイルを測定するステップと、
前記初期厚さプロファイルと前記更新された厚さプロファイルとの差に基づいて前記エッチング速度プロファイルを決定するステップ
とを含む、請求項12に記載の方法。
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