JP2018518705A - リソグラフィシステムにおける多数のミラーのそれぞれの位置を決定するセンサ構成体及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
100A EUVリソグラフィ装置
102 ビーム成形照明系
104 投影系
106A EUV光源
108A EUV照射
110 ミラー
112 ミラー
114 ミラー
116 ミラー
118 ミラー
120 レチクル
122 ウエハ
124 投影系の光学軸
136 ミラー
M1〜M6 ミラー
137 真空ハウジング
140 位置センサ装置
200 統合コンポーネント
201 測定ユニット
202 キャリアプリント基板
203 光源
204 検出ユニット
205 光検出器
206 光学ユニット
207 信号処理ユニット
208 AD変換器
209 サンプリングユニット
210 量子化ユニット
211 光学ユニット
301 コネクタブラケット
302 真空貫通接続装置
303 制御装置
304 評価装置
305 電力供給装置
306 電圧供給ライン
307 データライン
308 増幅器
309 センサ電子機器
310 光学ファイバ
311 FPGA
312 駆動ユニット
401 第1データライン
402 第2データライン
403 ライン
404 データ収集装置
405 情報収集装置
406 ケーブル
501 バスシステム
502 バスライン
601 光生成ユニット
602 パルス生成器
603 同期信号
701 ミラーの実際の正規化された微細位置
702 パルス信号
703 検出ユニットのパルス化されたA−信号
704 検出ユニットのパルス化されたB−信号
705 ミラーの測定された、正規化された微細位置
801 信号分析ユニット
901 変調器ユニット
902 復調ユニット
903 変調源
1001 変調信号
1002 検出ユニットの変調されたA−信号
1003 検出ユニットの変調されたB−信号
AP アナログ位置信号
AS サンプリングされた信号
DA 復調されたアナログ位置信号
DP デジタル位置信号
S1−S3 方法のステップ
t 時間
VP 増幅されたアナログ位置信号
Claims (37)
- リソグラフィ装置(100)における多数のミラー(M1〜M6)のそれぞれの位置を確認するセンサ構成体であって、
各々が、変調光線による露光中、前記ミラー(M1〜M6)の位置の光位置信号を提供する測定ユニット(201)を、前記変調光線で露光する光源(203)と、提供された前記光位置信号の検出によって電気位置信号を出力する複数の光検出器(205)を有する検出ユニット(204)とを備え、前記測定ユニット(201)は、前記光線に影響を与える基準パターンと、前記影響が与えられた光線を反射するミラー配列とを有する、多数の位置センサ装置(140)と、
前記電気位置信号によって前記ミラー(M1〜M6)の位置を確認する評価装置(304)と、
を有するセンサ構成体。 - 前記光源(203)は前記測定ユニット(201)を露光するパルス光線を生成する、請求項1に記載のセンサ構成体。
- 前記光源(203)は前記測定ユニット(201)を露光する正弦波光線を生成する、請求項1に記載のセンサ構成体。
- 前記光源(203)は、光線を生成する光生成ユニット(601)と、前記光生成ユニット(601)によって生成された前記光線から変調光線を生成する変調器ユニット(901)とを有する、請求項1〜3の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記光源(203)は、光線を生成する光生成ユニット(601)と、該光生成ユニット(601)が前記変調光線を出力するように、パルスシーケンスによって前記光生成ユニット(601)を駆動するパルス生成器(602)とを有する、請求項1〜3の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記光生成ユニットは半導体レーザを有する、請求項4又は5に記載のセンサ構成体。
- 前記評価装置(304)は、前記光検出器(205)によって出力されたアナログ電気位置信号をデジタル電気位置信号(DP)に変換する、少なくとも1つのAD変換器(208)を有する信号処理ユニット(207)を備える、請求項1〜6の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記信号処理ユニット(207)と前記光源(203)とを同期する同期装置(602,903)を有する、請求項7に記載のセンサ構成体。
- 前記パルス生成器(602)は前記同期装置を備え、前記パルス生成器(602)は前記信号処理ユニット(207)と前記光源(203)とをパルスシーケンスによって同期する、請求項4及び8に記載のセンサ構成体。
- 前記信号処理ユニット(207)の前記AD変換器(208)はサンプリングユニット(209)及び量子化ユニット(210)を備え、前記同期装置(602)は前記変調光線を生成するために、前記サンプリングユニット(209)と前記光源(203)とを同期する、請求項8又は9に記載のセンサ構成体。
- 前記信号処理ユニット(207)は前記AD変換器(208)と該AD変換器(208)の下流に配置された信号分析ユニット(801)とを備え、前記同期装置(602)は、前記変調光線を生成するために、前記信号分析ユニット(801)と前記光源(203)とを同期する、請求項8又は9に記載のセンサ構成体。
- 前記AD変換器(208)は前記電気位置信号の複数のサンプリングのために構成される、請求項11に記載のセンサ構成体。
- 前記信号処理ユニット(207)は前記AD変換器(208)と該AD変換器(208)の上流に配置された復調器(902)とを備え、前記同期装置(903)は正弦波光線を生成するために前記復調器(902)と前記光源(203)とを同期する、請求項8又は9に記載のセンサ構成体。
- 少なくとも前記光源(203)及び前記信号処理ユニット(207)は真空ハウジング(137)に配置された統合コンポーネント(200)に設けられる、請求項7〜13の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記光源(203)及び前記信号処理ユニット(207)は単一の統合コンポーネント(200)内に設けられる、請求項14に記載のセンサ構成体。
- 前記光源(203)、前記信号処理ユニット(207)及び前記検出ユニット(204)の前記光検出器(205)は前記統合コンポーネント(200)内に設けられる、請求項14又は15に記載のセンサ構成体。
- 前記リソグラフィ装置(100)における前記ミラー(M1〜M6)の動作可能なミラーを駆動するアクチュエータを制御する制御装置(300)を有する、請求項1〜16の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記制御装置(303)は前記評価装置(304)を有する、請求項17に記載のセンサ構成体。
- 前記検出ユニット(204)は、前記測定ユニット(201)によって提供される前記光位置信号を前記光検出器(205)に結像する光学ユニット(206)を更に有する、請求項1〜18の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記真空ハウジング(137)に配置された複数N3個の位置センサ装置(140)であって、それぞれの位置センサ装置(140)は前記リソグラフィ装置(100)における複数N2個の動作可能なミラー(M2〜M6)の内の1つに割り当てられる位置センサ(140)と、
データ収集装置(404)であって、前記真空ハウジング(137)に配置され、前記真空ハウジング(137)の外部に配置された前記評価装置(304)にデータリンクによって接続され、前記N3個の位置センサ装置(140)によって提供された前記N3個の電気位置信号を収集してデジタル一括信号(DS)を形成し、該デジタル一括信号(DS)を前記評価装置(304)へ前記データリンクを介して伝送するデータ収集装置(404)とを有する、請求項1〜19の何れか一項に記載のセンサ構成体。 - 前記データ収集装置(404)及び前記評価装置(304)は単一のデータリンクによって接続される、請求項20に記載のセンサ構成体。
- 前記データリンクは前記データ収集装置(404)と前記評価装置(304)との間に一方向データリンクとして構成される、請求項20又は21に記載のセンサ構成体。
- 前記データリンクは、前記真空ハウジング(137)を貫通する、真空に適した貫通接続のための真空貫通接続装置(302)と、前記データ収集装置(404)と前記真空貫通接続装置(302)との間を接続する第1データライン(401)と、前記真空貫通接続装置(302)と前記評価装置(304)との間を接続する第2データライン(402)とを有する、請求項20〜22の何れか一項に記載のセンサ構成体。
- 前記真空ハウジング(137)に配置された複数N3個の位置センサ装置(140)であって、それぞれの位置センサ装置(140)は、前記リソグラフィ装置(100)の複数N2個の動作可能なミラー(M2〜M6)の内の1つに割り当てられる位置センサ装置(140)と、
バスシステム(501)であって、前記真空ハウジング(137)に配置され、前記真空ハウジング(137)の外部に配置された前記評価装置(304)に接続され、前記N3個の位置センサ装置(140)によって提供された前記N3個の電気位置信号を前記評価装置(304)に伝送するバスシステム(501)とを有する、請求項1〜19の何れか一項に記載のセンサ構成体。 - 前記真空ハウジング(137)を貫通する、前記バスシステム(501)の真空に適した貫通接続用の真空貫通接続装置(302)を有する、請求項24に記載のセンサ構成体。
- 前記バスシステム(501)は前記位置センサ装置(140)を連結する複数のバスライン(502)を有し、該バスラインはコネクタブラケット(301)に接続されている、請求項25に記載のセンサ構成体。
- 前記データリンクは前記コネクタブラケット(301)と前記真空貫通接続装置(302)とを連結する第1データライン(401)と、前記真空貫通接続装置(302)と前記評価装置(304)とを連結する第2データライン(402)とを有する、請求項26に記載のセンサ構成体。
- 前記真空ハウジング(137)に配置された複数N3個の位置センサ装置(140)であって、それぞれの位置センサ装置(140)は前記リソグラフィ装置(100)における複数N2個の動作可能なミラー(M2〜M6)の内の1つに割り当てられる位置センサ装置(140)と、
前記真空ハウジング(137)に配置された情報収集装置(405)であって、前記真空ハウジング(137)の外部に配置された前記評価装置(304)にケーブル(406)によって接続され、前記N3個の位置センサ装置(140)によって提供された前記N3個の電気位置信号を、時分割多重化又は周波数分割多重化によって前記ケーブル(406)を介してアナログ伝送する情報収集装置(405)とを有する、請求項2に記載のセンサ構成体。 - 前記真空ハウジング(137)に配置された複数N3個の位置センサ装置(140)であって、それぞれの位置センサ装置(140)は前記リソグラフィ装置(100)における複数N2個の動作可能なミラー(M2〜M6)の内の1つに割り当てられる位置センサ装置(140)と、
前記真空ハウジング(137)に配置された情報収集装置(405)であって、前記真空ハウジング(137)の外部に配置された前記評価装置(304)にケーブル(406)によって接続され、前記N3個の位置センサ装置(140)によって提供された前記N3個の電気位置信号を、周波数分割多重化によって前記ケーブル(406)を介してアナログ伝送する情報収集装置(405)とを有する、請求項3に記載のセンサ構成体。 - リソグラフィ装置(100)の投影系(104)であって、
多数N2個の動作可能なミラー(M1〜M6)を備える複数N1個のミラー(M1〜M6)(N2≦N1)と、
複数N3個の位置センサ装置(140)を有する、請求項1〜29の何れか一項に記載のセンサ構成体であって、N4個の前記位置センサ装置(140)はそれぞれ前記N2個の動作可能なミラー(M1〜M6)の内の1つに割り当てられ、N3=N4・N2であるセンサ構成体とを有する投影系(104)。 - 前記動作可能なミラー(M1〜M6)を駆動させる複数のアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御装置(303)とを有する、請求項30に記載の投影系。
- 前記制御装置(303)は前記評価装置(304)を有する、請求項31に記載の投影系。
- 前記評価装置(304)は前記それぞれの電気位置信号に基づいて、前記N2個の動作可能なミラー(M1〜M6)の各々の位置を決定する、請求項31又は32に記載の投影系。
- 前記制御装置(303)は、前記評価装置(304)によって決定される前記動作可能なミラー(M1〜M6)の位置に基づいて、前記アクチュエータを駆動する、請求項33に記載の投影系。
- 前記真空ハウジング(137)に配置された前記センサ構成体に電力を供給する電力供給装置(305)を有する、請求項30〜34の何れか一項に記載の投影系。
- 請求項30〜35の何れか一項に記載の投影系(104)を有するリソグラフィ装置(100)。
- リソグラフィ装置(100)における多数のミラー(M1〜M6)のそれぞれの位置を確認する方法であって、
測定ユニット(201)に変調光線を光源(203)によって露光するステップ(S1)と、
前記測定ユニット(201)によって提供された光位置信号を、前記測定ユニット(201)が前記変調光線によって露光された際、検出ユニット(204)によって検出して電気位置信号を出力するステップであって、前記測定ユニット(201)は前記光線に影響を与える基準パターンと、前記影響が与えられた光線を反射するミラー配列とを有するステップ(S2)と、
前記電気位置信号によって前記ミラー(M1〜M6)の位置を確認するステップ(S3)とを含む方法。
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