JP2018516383A - 変形可能ミラーのための電気機械式アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 変形可能反射基板を備えた変形可能ミラーに一体化されることを意図された、双方向力を生成するアクチュエータ(130)であって、
−静的基部(10)と、
−駆動装置と、
−駆動ロッド(20)と、
−浮遊ヘッド(30)と、
を備え、
前記駆動ロッド(20)は、前記駆動装置を用いて、前記静的基部(10)に対する、並進軸(xx’)に沿った並進的な運動を駆動されることができ、
前記浮遊ヘッド(30)は、前記変形可能反射基板に取り付けられるように設計され、
前記浮遊ヘッド(30)は、第1の弾性部品(33)および第2の弾性部品(35)を用いて、前記駆動ロッドに浮遊的な方法で取り付けられ、
−前記第1の弾性部品(33)および前記第2の弾性部品(35)の各々は、前記駆動ロッド(20)と前記浮遊ヘッド(30)との間に取り付けられ、
前記第1の弾性部品(33)および前記第2の弾性部品(35)の各々は、前記浮遊ヘッドにそれぞれの力を与えるように設計され、
前記力の前記並進軸(xx’)に対する射影は、反対方向を向く
ことを特徴とする、アクチュエータ(130)。 - 前記駆動ロッド(20)は、前記駆動アーム(25)と、前記駆動アーム(25)に取り外し可能な仕方で取り付けられたロッド(26)と、を備え、
前記ロッド(26)を前記駆動アーム(25)に連結する連結部品(40)をさらに備える
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記連結部品(40)は、少なくとも1つの磁石(41、42)を備え、
前記磁石(41、42)は、前記ロッド(26)および/または前記駆動アーム(25)に埋め込まれる
ことを特徴とする、請求項2に記載のアクチュエータ。 - −前記浮遊ヘッド(30)は筐体(31)を備え、
前記筐体(31)は、前記駆動ロッドの上部(21)周辺に配置され、
前記筐体(31)は、上壁(31a)および下壁(31b)を備え、
前記上壁(31a)は、前記変形可能基板に取り付けられるように設計され、
前記下壁(31b)は、前記上壁(31a)の反対側に位置し、
−前記第1の弾性部品(33)は、前記駆動ロッドの前記上部と、前記筐体(31)の前記下壁(31b)との間に取り付けられる
ことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の弾性部品(35)は、前記筐体の外部に設けられた前記駆動ロッドの下部(23)と、前記筐体(31)の前記下壁(31b)との間に取り付けられる
ことを特徴とする、請求項4に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の弾性部品(35)は、前記駆動ロッドの前記上部と、前記筐体(31)の前記上壁(31a)との間に取り付けられる
ことを特徴とする、請求項4に記載のアクチュエータ。 - 前記第1の弾性部品(33)と前記第2の弾性部品(35)とは、同じ部品により形成される
ことを特徴とする、請求項5または6に記載のアクチュエータ。 - −前記第1の弾性部品(33)は、圧縮によって動作し、前記駆動ロッド(20)と前記浮遊ヘッド(30)との間に取り付けられ、
−前記第2の弾性部品(35)は、牽引によって動作し、前記駆動ロッドと前記浮遊ヘッド(30)との間に取り付けられる
ことを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動ロッド(20)は、前記第1の弾性部品(33)および/または前記第2の弾性部品(35)を取り付けるための横材(22、24)を少なくとも1つ備える
ことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記第1の弾性部品(33)および前記第2の弾性部品(35)は、プレストレスが与えられる
ことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記第1の弾性部品(33)および前記第2の弾性部品(35)は、1つ以上の牽引バネまたは圧縮バネを備える
ことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動装置はリニアモータを備える
ことを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - −フレーム(110)と、
−前記フレーム(110)に取り付けられた変形可能反射基板(120)と、
−複数の、先行する請求項のいずれか一項に記載のアクチュエータ(130)と、
を備え、
各アクチュエータ(130)の静的基部(10)は前記フレーム(110)と一体化し、各アクチュエータの浮遊ヘッド(30)は前記変形可能反射基板(120)と一体化している
ことを特徴とする、変形可能ミラー(100)。 - 前記フレーム(110)は、各アクチュエータに関し、
−少なくとも部分的に、前記アクチュエータ(130)の前記静的基部(10)を受け入れることができる収容部(112)と、
−前記収容部(112)の近辺に、前記アクチュエータの前記駆動ロッド(20)のための支持台を形成する面(114)と、
を備える
請求項13に記載の変形可能ミラー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1552750A FR3034530B1 (fr) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | Actuateur electromecanique pour miroir deformable |
FR1552750 | 2015-03-31 | ||
PCT/EP2016/056425 WO2016156158A1 (fr) | 2015-03-31 | 2016-03-23 | Actuateur electromecanique pour miroir deformable |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018516383A true JP2018516383A (ja) | 2018-06-21 |
JP6774424B2 JP6774424B2 (ja) | 2020-10-21 |
Family
ID=54291360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017551644A Active JP6774424B2 (ja) | 2015-03-31 | 2016-03-23 | 変形可能ミラーのための電気機械式アクチュエータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10394016B2 (ja) |
EP (1) | EP3278168B1 (ja) |
JP (1) | JP6774424B2 (ja) |
CN (1) | CN107636343B (ja) |
FR (1) | FR3034530B1 (ja) |
WO (1) | WO2016156158A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111650717B (zh) * | 2020-05-09 | 2022-03-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种面形高稳定反射镜组件及其装配方法 |
EP4162305A1 (en) * | 2020-06-03 | 2023-04-12 | National Research Council of Canada | Deformable mirror systems and methods of detecting disconnected actuators therein |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1304955A (en) * | 1919-05-27 | Okas-shifting meaus eob | ||
US1630199A (en) * | 1926-07-23 | 1927-05-24 | George W Megnin | Accelerator cushion |
US3087469A (en) * | 1960-05-03 | 1963-04-30 | United Aircraft Corp | Force amplification apparatus and method |
US6192064B1 (en) * | 1997-07-01 | 2001-02-20 | Cymer, Inc. | Narrow band laser with fine wavelength control |
FR2847742B1 (fr) * | 2002-11-21 | 2008-04-11 | Isp System | Actionneur de deplacement d'un element |
US9500855B2 (en) * | 2012-06-04 | 2016-11-22 | The Boeing Company | Modal corrector mirror with compliant actuation for optical aberrations |
CN103268012B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-06-24 | 清华大学 | 用于变形镜的驱动装置和变形镜 |
CN103278924B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-08-10 | 清华大学 | 驱动装置及位移传递组件 |
CN103728722B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-12-02 | 清华大学 | 变形镜及其致动器组件 |
-
2015
- 2015-03-31 FR FR1552750A patent/FR3034530B1/fr active Active
-
2016
- 2016-03-23 WO PCT/EP2016/056425 patent/WO2016156158A1/fr active Application Filing
- 2016-03-23 JP JP2017551644A patent/JP6774424B2/ja active Active
- 2016-03-23 EP EP16716491.2A patent/EP3278168B1/fr active Active
- 2016-03-23 US US15/563,147 patent/US10394016B2/en active Active
- 2016-03-23 CN CN201680028188.8A patent/CN107636343B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3278168A1 (fr) | 2018-02-07 |
WO2016156158A1 (fr) | 2016-10-06 |
US20180172980A1 (en) | 2018-06-21 |
CN107636343B (zh) | 2020-05-19 |
EP3278168B1 (fr) | 2024-03-13 |
CN107636343A (zh) | 2018-01-26 |
FR3034530B1 (fr) | 2017-05-26 |
FR3034530A1 (fr) | 2016-10-07 |
US10394016B2 (en) | 2019-08-27 |
JP6774424B2 (ja) | 2020-10-21 |
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