JP2018508755A - リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台 - Google Patents

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Abstract

リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台であって、X軸振動台2、Y軸振動台3、Z軸振動台4が設けられているベース1と、三次元振動プラットフォーム5と、を含み、X軸振動台2はX軸デカップリング装置6Aを介して三次元振動プラットフォーム5に接続され、Y軸振動台3はY軸デカップリング装置6Bを介して三次元振動プラットフォーム5に接続され、Z軸振動台4はZ軸デカップリング装置6Cを介して三次元振動プラットフォーム5に接続され、X軸デカップリング装置6A、Y軸デカップリング装置6BおよびZ軸デカップリング装置6Cは、それぞれのリーフスプリング支持ユニットを含み、各リーフスプリング支持ユニットは、平行に設けられている一対のリーフスプリングと、リーフスプリングの両端にそれぞれ位置されている第一接続部材、第二接続部材と、を含み、第一接続部材は振動台に近い一端に位置しており、第二接続部材は三次元振動プラットフォーム5に近い他の一端に位置している。【選択図】図1

Description

本発明は、三次元標準振動台に関する。
現在、三次元振動測定センサーに対する校正は、一次元振動校正システムを用いて三つの測定軸に対して順次に行われることが多い。しかしながら、このような方法は、時間が長く、データ処理が複雑である。また、三次元センサーの各次元間の相互カップリングを考慮すると、このような方法では各次元間のカップリング関係を反映する感度行列を得ることが困難である。このため、三次元振動センサーの三つの軸に対して同時に振動励起できる三次元標準振動台を開発することは、振動測定センサーの校正技術の発展および関連業界の技術進歩についても重要な理論的および実用的な意義を有する。
中国特許出願番号201110207297.5には、ラッチ式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台が開示されている。該三次元標準振動台は、ベースと、X軸電磁振動台と、Y軸電磁振動台と、Z軸電磁振動台と、三次元振動プラットフォームと、を含み、各電磁振動台はいずれもモーションデカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームと接続されている。モーションデカップリング装置は、互いに緊密に結合されている第一フレームワークおよび第二フレームワークを含み、第一フレームワークおよび第二フレームワークはいずれも外側フレーム、内側フレーム、外側フレームと内側フレームとの間の第一接続フレームおよび第二接続フレームを含んでいる。また、一つのフレームワークにおいて、外側フレームと内側フレームとは対向しており、一つのフレームワークの内側フレームは他の一つのフレームワーク内に挿入されている。第一フレームワークの内側フレームには、ガス流路と、ガス流路に連通されている通気孔と、を有し、通気孔は外部と連通されている。第一フレームワークの内側フレームと第二フレームワークの内側フレームおよび外側フレームとの間にはともに微小な間隔を有しており、該微小な間隔は第一フレームワークの内側フレームのエアロスタティックガイドレールを形成する。第二フレームワークの内側フレームと第一フレームワークの外側フレームとの間には、第二フレームワークと第一フレームワークの外側フレームとの接触を防止する間隔が設けられている。ガス流路は、外部圧縮ガス源と連通されている。第一フレームワークの外側フレームは電磁振動台に接続され、第二フレームワークの外側フレームは三次元振動プラットフォームに接続されている。このような振動台は、ラッチ式構造を採用し、静圧エアロステックの支持によって力の伝達を実現することにより、三次元振動のデカップリングの問題を解決している。
しかしながら、上記振動台は以下のような問題点を有する。振動台に第一フレームワークを固定し、三次元振動プラットフォームに第二フレームワークを固定し、第一フレームワークと第二フレームワークとが互いに緊密に結合してラッチ式構造を形成しているため、第一フレームワークおよび第二フレームワークの取り付け精度に対する要求が高く、また、第二フレームワークの存在により三次元振動プラットフォームが重くなってしまう。さらに、振動の力の伝達に用いられる静圧ガス膜の剛性も比較的に小さい。
本発明は、上記従来技術における問題点に鑑みてなされたものであり、カップリング装置の取り付け精度に対する要求が高くなく、静圧ガス膜よりもさらに大きな剛性を有するリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明に係るリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台は、X軸振動台、Y軸振動台、Z軸振動台が設けられているベースと、三次元振動プラットフォームと、を含み、X軸振動台はX軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Y軸振動台はY軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Z軸振動台はZ軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置およびZ軸デカップリング装置は、それぞれのリーフスプリング支持ユニットを含み、各リーフスプリング支持ユニットは、平行に設けられている一対のリーフスプリングと、リーフスプリングの両端にそれぞれ位置されている第一接続部材、第二接続部材と、を含み、第一接続部材は振動台に近い一端に位置しており、第二接続部材は三次元振動プラットフォームに近い他の一端に位置している。
また、X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置、Z軸デカップリング装置は、それぞれ直列に接続されている二段のリーフスプリング支持ユニットを有する。
さらに、二段のリーフスプリング支持ユニットは、接続部品により固定接続されており、二段のリーフスプリング支持ユニットのリーフスプリングは直交している。
また、前記接続部品は十字型を呈しており、二段のリーフスプリング支持ユニットは、それぞれ接続部品の二つの直交アームに設けられている。
二段のリーフスプリング支持ユニットのリーフスプリングは、それぞれ第一接続部材と第二接続部材によって対応する振動台の平面および三次元振動プラットフォームに対称設置され、二段のリーフスプリングの平面のいずれも該振動台の軸方向と平行し、そのうちの一段のリーフスプリングの平面と対応する振動台以外の振動台の軸方向と垂直する。
さらに、第一接続部材および第二接続部材は、それぞれ一対のL字型接続部品を含み、L字型接続部品にはボルトと配合するねじ穴が設けられている。
本発明における動作プロセスは以下のとおりである。X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置、Z軸デカップリング装置は、いずれも二段のリーフスプリング支持ユニットにより形成されるリーフスプリング式デカップリング装置である。X軸振動台から出力される振動を例にすると、振動は、まずX軸振動台に接続されるX軸デカップリング装置に伝達される。デカップリング装置の二段のリーフスプリングの平面のいずれもX軸方向に平行しているため、該軸方向に沿っては高い剛性を呈し、振動を正確にX軸デカップリング装置に接続される三次元振動プラットフォームに伝達できる。同時に、X軸デカップリング装置の二段のリーフスプリングのうちの一段のリーフスプリングがY軸振動台の振動軸方向に垂直して、Y軸に沿って小さい剛性を呈するため、Y軸振動台によるX軸振動台の出力に対する影響を避けることができる。また、X軸デカップリング装置の他の一段のリーフスプリングの平面はZ軸振動台の振動軸方向に垂直して、Z軸に沿って小さい剛性を呈するため、Z軸振動台によるX軸振動台の出力に対する影響を避けることができる。すなわち、三次元振動プラットフォームへの出力に対するX軸方向に沿ったデカップリングが実現される。同様に、Y軸およびZ軸の振動台から出力される振動についても、リーフスプリング式デカップリング装置の作用により、三次元振動プラットフォームへの出力に対する対応する軸方向に沿ったデカップリングが実現でき、したがって、三次元振動プラットフォームへの出力に対するX軸、Y軸、Z軸に沿った合成された動きのデカップリングが完成できる。
本発明に係る三つの振動台および三つのリーフスプリング式デカップリング装置を含む三次元標準振動台によれば、リーフスプリング式デカップリング装置において交差式のリーフスプリングの構造を用いるため、振動の伝達を実現できるとともに、他の軸方向による伝達方向の軸への出力に対する影響を避けることができ、三次元振動台からの出力に対するデカップリング問題を有効に解決できる。
本発明の効果は以下の通りである。
1.リーフスプリング支持ユニットは、振動台および三次元振動プラットフォームのいずれとも固定接続であるため、接続方式が簡単で、位置決めが便利で、取り付けも簡単である。
2.リーフスプリング式デカップリング装置の振動力の伝達方向に沿った伝達の剛性は、従来の静圧ガス膜を用いる場合よりもさらに大きいため、三次元標準振動台の上限使用周波数を大幅に向上でき、三次元デカップリング装置の構造を簡略化でき、製造コストを低減できる。
三次元標準振動台の構造を示す図である。 リーフスプリング式デカップリング装置の構造を示す図である。 リーフスプリングの構造を示す図である。 接続部品の構造を示す図である。
以下、添付の図面を参照しながら、本発明について具体的に説明する。
図1に示すように、リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台は、ベース1と、X軸(水平方向、以下同じ。)振動台2と、Y軸(水平方向、以下同じ。)振動台3と、Z軸(垂直方向、以下同じ。)振動台4と、三次元振動プラットフォーム5と、X軸、Y軸およびZ軸の各軸に対応するX軸デカップリング装置6A、Y軸デカップリング装置6BおよびZ軸デカップリング装置6Cと、を有する。X軸振動台2、Y軸振動台3およびZ軸振動台4はいずれもベース1に取り付けられており、X軸振動台2、Y軸振動台3およびZ軸振動台4は、それぞれ各自のデカップリング装置によって三次元振動プラットフォーム5と接続されている。
図2に示すように、X軸デカップリング装置6Aは、第一リーフスプリング部材61、第二リーフスプリング部材62、第三リーフスプリング部材63、第四リーフスプリング部材64および十字型接続部品65を含む。第一リーフスプリング部材61および第二リーフスプリング部材62は第一段のリーフスプリング支持ユニットを構成し、第三リーフスプリング部材63および第四リーフスプリング部材64は第二段のリーフスプリング支持ユニットを構成する。接続部品は、第一段のリーフスプリング支持ユニットおよび第二段のリーフスプリング支持ユニットを接続する。接続部品の形状は、十字型に限定されず、正方形または矩形であってもよく、二段のリーフスプリング支持ユニットの直交取り付けを実現できればよい。本実施例において、二段のリーフスプリング支持ユニットを例にして説明するが、リーフスプリング支持ユニットの数は二段に限定されず、振動台と三次元振動プラットフォームとの間の距離およびリーフスプリングの長さを参考しながらリーフスプリング支持ユニットの数を決める必要がある。
図3に示すように、第一リーフスプリング部材61は、リーフスプリング611およびL字型圧盤612により構成され、四つのL字型圧盤612はリーフスプリング611の両端において対称しながら取り付けられている。L字型圧盤は、第一接続部材および第二接続部材を形成する。
図2〜4に示すように、第一リーフスプリング部材61、第二リーフスプリング部材62、第三リーフスプリング部材63および第四リーフスプリング部材64は、構造が同じで、いずれも十字型接続部品65に取り付けられている。取り付けの特徴は以下のとおりである。第一リーフスプリング部材61のリーフスプリングの平面と第二リーフスプリング部材62のリーフスプリングの平面とは互いに平行し、十字型接続部品65の中心に対称しながら十字型接続部品65の第一取り付け面651に取り付けられている。また、第三リーフスプリング部材63のリーフスプリングの平面と第四リーフスプリング部材64のリーフスプリングの平面とは互いに平行し、十字型接続部品65の中心に対称しながら十字型接続部品65の第二取り付け面652に取り付けられている。さらに、第一リーフスプリング部材61のリーフスプリングの平面と第三リーフスプリング部材63のリーフスプリングの平面とは互いに垂直し、第二リーフスプリング部材62のリーフスプリングの平面と第四リーフスプリング部材64のリーフスプリングの平面とは互いに垂直している。
Y軸デカップリング装置6B、Z軸デカップリング装置6Cの構成および作用原理は、X軸デカップリング装置6Aと同様で、いずれも二段のリーフスプリング支持ユニットにより形成されるリーフスプリング式デカップリング装置である。
三次元標準振動台により出力されるX軸方向の振動について、X軸デカップリング装置6Aの一端はL字型圧盤612を介してX軸振動台2の平面21に接続し、X軸デカップリング装置6Aの他端は三次元振動プラットフォーム5に接続し、四つのリーフスプリング支持ユニット61、62、63、64のうちの二つのリーフスプリングの平面が水平方向に沿い、他の二つのリーフスプリングの平面が垂直方向に沿うことを保証する。四つのリーフスプリングの平面のいずれも平面21に垂直しているため、リーフスプリングを振動の伝達に用いる際、高い剛性を有し、X軸振動台2の平面21から出力されるX軸方向に沿った振動を正確に三次元振動プラットフォーム5に伝達できる。同様に、Y軸デカップリング装置6Bは、Y軸振動台3の平面31から出力されるY軸方向に沿った振動を正確に三次元振動プラットフォーム5に伝達できる。
一方、Z軸方向の振動の伝達に用いられるZ軸デカップリング装置6Cについては、四つのリーフスプリング支持ユニット61、62、63、64のうちの二つのリーフスプリングの平面がX軸振動台2の平面21に平行し、他の二つのリーフスプリングの平面がY軸振動台3の平面31に平行することを保証する必要がある。四つのリーフスプリングの平面のいずれもZ軸振動台4の平面41に垂直しているため、リーフスプリングを振動の伝達に用いる際、高い剛性を有し、Z軸振動台4の平面41から出力されるZ軸方向に沿った振動を正確に三次元振動プラットフォーム5に伝達できる。
本発明における動作プロセスは以下のとおりである。X軸振動台2から出力される振動を例にすると、振動は、まずX軸振動台2に接続されるX軸デカップリング装置6Aに伝達される。デカップリング装置の二段のリーフスプリングの平面のいずれもX軸振動台2の平面21に垂直しているため、該軸方向に沿っては高い剛性を呈し、振動を正確にX軸デカップリング装置に接続される三次元振動プラットフォーム5に伝達できる。同時に、X軸デカップリング装置6Aの二段のリーフスプリングのうちの一段のリーフスプリングがY軸振動台3の平面31に平行して、Y軸に沿って小さい剛性を呈するため、Y軸振動台3によるX軸振動台2の出力に対する影響を避けることができる。また、X軸デカップリング装置6Aの他の一段のリーフスプリングの平面はZ軸振動台4の平面41に平行して、Z軸に沿って小さい剛性を呈するため、Z軸振動台によるX軸振動台の出力に対する影響を避けることが出来る。すなわち、三次元振動プラットフォーム5への出力に対するX軸方向に沿ったデカップリングが実現される。同様に、Y軸およびZ軸の振動台から出力される振動についても、リーフスプリング式デカップリング装置の作用により、三次元振動プラットフォーム5への出力に対する対応する軸方向に沿ったデカップリングが実現でき、したがって、三次元振動プラットフォームへの出力に対するX軸、Y軸、Z軸に沿った合成された動きのデカップリングが完成できる。
本発明に係る三つの振動台および三つのリーフスプリング式デカップリング装置を含む三次元標準振動台によれば、リーフスプリング式デカップリング装置において交差式のリーフスプリングの構造を用いるため、振動の伝達を実現できるとともに、他の軸方向による伝達方向の軸への出力に対する影響を避けることができ、三次元振動台からの出力に対するデカップリング問題を有効に解決できる。
本発明の効果は以下の通りである。
1.リーフスプリング支持ユニットは、振動台および三次元振動プラットフォームのいずれとも固定接続であるため、接続方式が簡単で、位置決めが便利で、取り付けも簡単である。
2.リーフスプリング式デカップリング装置の振動力の伝達方向に沿った伝達の剛性は、従来の静圧ガス膜を用いる場合よりもさらに大きいため、三次元標準振動台の上限使用周波数を大幅に向上でき、三次元デカップリング装置の構造を簡略化でき、製造コストを低減できる。
本明細書における実施形態は、本発明の技術的思想を実現するための単なる例示に過ぎず、本発明の保護範囲を限定するものではない。いわゆる当業者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において様々な改良および均等物による代替を行うことができるが、これらも本発明の保護範囲に含まれる。

Claims (5)

  1. リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台であって、X軸振動台、Y軸振動台、Z軸振動台が設けられているベースと、三次元振動プラットフォームと、を含み、X軸振動台はX軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Y軸振動台はY軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Z軸振動台はZ軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、
    X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置およびZ軸デカップリング装置は、それぞれのリーフスプリング支持ユニットを含み、各リーフスプリング支持ユニットは、平行に設けられている一対のリーフスプリングと、リーフスプリングの両端にそれぞれ位置されている第一接続部材、第二接続部材と、を含み、
    第一接続部材は振動台に近い一端に位置しており、第二接続部材は三次元振動プラットフォームに近い他の一端に位置している、
    リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
  2. X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置、Z軸デカップリング装置は、それぞれ直列に接続されている二段のリーフスプリング支持ユニットを有する、請求項1に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
  3. 二段のリーフスプリング支持ユニットは、接続部品により固定接続されており、二段のリーフスプリング支持ユニットのリーフスプリングは直交している、請求項2に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
  4. 前記接続部品は十字型を呈しており、二段のリーフスプリング支持ユニットは、それぞれ接続部品の二つの直交アームに設けられている、請求項2に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
  5. 第一接続部材および第二接続部材は、それぞれ一対のL字型接続部品を含み、L字型接続部品にはボルトと配合するねじ穴が設けられている、請求項4に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
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