JP2018508755A - リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台 - Google Patents
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Abstract
Description
1.リーフスプリング支持ユニットは、振動台および三次元振動プラットフォームのいずれとも固定接続であるため、接続方式が簡単で、位置決めが便利で、取り付けも簡単である。
2.リーフスプリング式デカップリング装置の振動力の伝達方向に沿った伝達の剛性は、従来の静圧ガス膜を用いる場合よりもさらに大きいため、三次元標準振動台の上限使用周波数を大幅に向上でき、三次元デカップリング装置の構造を簡略化でき、製造コストを低減できる。
図1に示すように、リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台は、ベース1と、X軸(水平方向、以下同じ。)振動台2と、Y軸(水平方向、以下同じ。)振動台3と、Z軸(垂直方向、以下同じ。)振動台4と、三次元振動プラットフォーム5と、X軸、Y軸およびZ軸の各軸に対応するX軸デカップリング装置6A、Y軸デカップリング装置6BおよびZ軸デカップリング装置6Cと、を有する。X軸振動台2、Y軸振動台3およびZ軸振動台4はいずれもベース1に取り付けられており、X軸振動台2、Y軸振動台3およびZ軸振動台4は、それぞれ各自のデカップリング装置によって三次元振動プラットフォーム5と接続されている。
1.リーフスプリング支持ユニットは、振動台および三次元振動プラットフォームのいずれとも固定接続であるため、接続方式が簡単で、位置決めが便利で、取り付けも簡単である。
2.リーフスプリング式デカップリング装置の振動力の伝達方向に沿った伝達の剛性は、従来の静圧ガス膜を用いる場合よりもさらに大きいため、三次元標準振動台の上限使用周波数を大幅に向上でき、三次元デカップリング装置の構造を簡略化でき、製造コストを低減できる。
Claims (5)
- リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台であって、X軸振動台、Y軸振動台、Z軸振動台が設けられているベースと、三次元振動プラットフォームと、を含み、X軸振動台はX軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Y軸振動台はY軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、Z軸振動台はZ軸デカップリング装置を介して三次元振動プラットフォームに接続され、
X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置およびZ軸デカップリング装置は、それぞれのリーフスプリング支持ユニットを含み、各リーフスプリング支持ユニットは、平行に設けられている一対のリーフスプリングと、リーフスプリングの両端にそれぞれ位置されている第一接続部材、第二接続部材と、を含み、
第一接続部材は振動台に近い一端に位置しており、第二接続部材は三次元振動プラットフォームに近い他の一端に位置している、
リーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。 - X軸デカップリング装置、Y軸デカップリング装置、Z軸デカップリング装置は、それぞれ直列に接続されている二段のリーフスプリング支持ユニットを有する、請求項1に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
- 二段のリーフスプリング支持ユニットは、接続部品により固定接続されており、二段のリーフスプリング支持ユニットのリーフスプリングは直交している、請求項2に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
- 前記接続部品は十字型を呈しており、二段のリーフスプリング支持ユニットは、それぞれ接続部品の二つの直交アームに設けられている、請求項2に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
- 第一接続部材および第二接続部材は、それぞれ一対のL字型接続部品を含み、L字型接続部品にはボルトと配合するねじ穴が設けられている、請求項4に記載のリーフスプリング式デカップリング装置に基づく三次元標準振動台。
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