JP2018206742A - Superconducting cyclotron and superconducting magnet - Google Patents

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Abstract

To provide a superconducting cyclotron and a superconducting magnet, capable of widening a position adjustment range of a superconducting coil.SOLUTION: Up-and-down load support members 21, 22 include an attitude change part 102 in which their attitudes are changed following movement in the up-and-down direction of a coil support frame 9 by the up-and-down direction position adjustment part 78. Thus, when position adjustment of the coil support frame 9 is performed together with superconducting coils 7, 8 in the up-and-down direction, the attitudes of the up-and-down load support members 21, 22 are changed so as to follow the movement in the up-and-down direction of the coil support frame 9 in the attitude change part 102. Accordingly, position adjustment of the coil support frame 9 and the superconducting coils 7, 8 can be tolerated by the up-and-down load support members 21, 22 in a wide range.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、超伝導サイクロトロン、及び超伝導電磁石に関する。   The present invention relates to a superconducting cyclotron and a superconducting electromagnet.

従来、このような分野の技術として、例えば特許文献1が知られている。特許文献1に記載されたサイクロトロンは、真空容器と、真空容器の内部に配置された超伝導コイルと、超伝導コイルを支持するコイル支持体と、を備えている。このサイクロトロンは、垂直方向及び水平方向における超伝導コイルの位置を調整可能な支持体を備えている。   Conventionally, for example, Patent Document 1 is known as a technique in such a field. The cyclotron described in Patent Document 1 includes a vacuum vessel, a superconducting coil disposed inside the vacuum vessel, and a coil support that supports the superconducting coil. The cyclotron includes a support that can adjust the position of the superconducting coil in the vertical and horizontal directions.

特開2016−207454号公報JP 2006-207454 A

ここで、上述の超伝導サイクロトロンでは、超伝導コイルの位置調整を行った場合、支持体が弾性変形することによって、超伝導コイルの移動を許容していた。しかしながら、このような場合、支持体が弾性変形をする範囲内でしか超伝導コイルの位置調整を行うことができない。従って、超伝導コイルの位置調整範囲が狭いという問題があった。   Here, in the above-described superconducting cyclotron, when the position of the superconducting coil is adjusted, the support is elastically deformed to allow the superconducting coil to move. However, in such a case, the position of the superconducting coil can be adjusted only within the range in which the support is elastically deformed. Therefore, there is a problem that the position adjustment range of the superconducting coil is narrow.

本発明は、超伝導コイルの位置調整範囲を広くすることができる超伝導サイクロトロン、及び超伝導電磁石を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a superconducting cyclotron and a superconducting electromagnet capable of widening the position adjustment range of the superconducting coil.

本発明に係る超伝導サイクロトロンは、巻き中心軸周りに巻かれた超伝導コイルと、超伝導コイルを支持するコイル支持体と、超伝導コイル及びコイル支持体を内部に収容する真空容器と、巻き中心軸が延びる第1方向において、真空容器に対してコイル支持体を支持する、コイル支持体の周方向に沿って複数設けられた第1方向支持部と、第1方向において、それぞれの第1方向支持部を介して真空容器に対するコイル支持体の位置を調整する複数の第1方向位置調整部と、を備え、第1方向支持部は、第1方向位置調整部によるコイル支持体の第1方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部を有する。   A superconducting cyclotron according to the present invention includes a superconducting coil wound around a winding center axis, a coil support that supports the superconducting coil, a vacuum container that houses the superconducting coil and the coil support, and a winding. A plurality of first direction support portions provided along the circumferential direction of the coil support for supporting the coil support relative to the vacuum vessel in a first direction in which the central axis extends, and a first direction in the first direction, respectively. A plurality of first direction position adjustment units that adjust the position of the coil support relative to the vacuum vessel via the direction support unit, wherein the first direction support unit is a first coil support body formed by the first direction position adjustment unit. It has a posture changing unit that changes its posture following the movement in the direction.

本発明に係る超伝導サイクロトロンは、第1方向において、真空容器に対してコイル支持体を支持する、コイル支持体の周方向に沿って複数設けられた第1方向支持部と、第1方向において、それぞれの第1方向支持部を介して真空容器に対するコイル支持体の位置を調整する複数の第1方向位置調整部と、を備えている。従って、真空容器に対するコイル支持体の位置は、第1方向位置調整部によって位置調整可能である。ここで、第1方向支持部は、第1方向位置調整部によるコイル支持体の第1方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部を有する。このように、超伝導コイルと共にコイル支持体が第1方向へ位置調整されると、第1方向支持部は、姿勢変化部にてコイル支持体の第1方向への移動へ追従するように姿勢変化する。従って、第1方向支持部は、コイル支持体及び超伝導コイルの位置調整を広い範囲で許容することができる。以上により、超伝導コイルの位置調整範囲を広くすることができる。   The superconducting cyclotron according to the present invention includes a first direction support portion provided in a plurality along the circumferential direction of the coil support, which supports the coil support with respect to the vacuum vessel in the first direction, and a first direction. And a plurality of first direction position adjustment units that adjust the position of the coil support relative to the vacuum vessel via the respective first direction support units. Accordingly, the position of the coil support relative to the vacuum vessel can be adjusted by the first direction position adjustment unit. Here, the first direction support unit includes a posture change unit that changes the posture following the movement of the coil support in the first direction by the first direction position adjustment unit. As described above, when the position of the coil support body is adjusted in the first direction together with the superconducting coil, the first direction support section is configured to follow the movement of the coil support body in the first direction at the position change section. Change. Therefore, the 1st direction support part can accept | permit the position adjustment of a coil support body and a superconducting coil in a wide range. As described above, the position adjustment range of the superconducting coil can be widened.

超伝導サイクロトロンにおいて、コイル支持体は、第1方向において超伝導コイルと対向する第1方向面を有し、第1方向支持部は、真空容器に対して接続された棒状部材を備え、姿勢変化部は、コイル支持体の第1方向面に対向すると共に、第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部と、対向部と棒状部材との間に設けられ、対向部を回動可能に支持する球面軸受と、を備えてよい。複数の第1方向支持部のうち、いずれかの第1方向支持部に対する第1方向位置調整部の調整を行った場合、コイル支持体は、超伝導コイルと共に第1方向に対して傾斜するように移動する。このようなコイル支持部の動きに対して、姿勢変化部は、コイル支持体の第1方向面に対向すると共に、第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部を備えている。これにより、当該対向面と第1方向面とが摺動し易い構成となっている。また、姿勢変化部は、対向部と棒状部材との間に設けられ、対向部を回動可能に支持する球面軸受を備えている。これにより、コイル支持部の傾斜に応じて球面軸受けで対向部を回動させることができる。従って、姿勢変化部は、コイル支持部の第1方向への移動に追従して、適切に姿勢変化することができる。   In the superconducting cyclotron, the coil support body has a first direction surface facing the superconducting coil in the first direction, and the first direction support portion includes a rod-shaped member connected to the vacuum vessel, and the posture change The portion is provided between the facing portion and the rod-shaped member, facing the first direction surface of the coil support and having a facing surface that is convex or curved or inclined toward the first direction surface. And a spherical bearing that rotatably supports the facing portion. When the first direction position adjustment unit is adjusted with respect to any one of the first direction support units, the coil support body is inclined with respect to the first direction together with the superconducting coil. Move to. With respect to the movement of the coil support portion, the posture changing portion has a facing surface that faces the first direction surface of the coil support body and is curved or inclined in a convex shape toward the first direction surface. It has a counter part. Thereby, it becomes the structure which the said opposing surface and 1st direction surface slide easily. In addition, the posture changing portion includes a spherical bearing that is provided between the facing portion and the rod-like member and supports the facing portion so as to be rotatable. Thereby, a counter part can be rotated with a spherical bearing according to the inclination of a coil support part. Therefore, the posture changing unit can appropriately change the posture following the movement of the coil support unit in the first direction.

超伝導サイクロトロンにおいて、第1方向と直交する第2方向において、真空容器に対するコイル支持体の位置を調整する第2方向位置調整部を更に備え、コイル支持体は、第2方向において対向部と隙間を介して対向する第2方向面を有し、第2方向位置調整部の位置調整によってコイル支持体が第2方向に移動するとき、コイル支持体の第1方向面は、対向部の対向面に沿って摺動可能に構成されてよい。これにより、第2方向位置調整部によって第2方向へのコイル支持体の位置調整がなされるとき、コイル支持体は、対向部と第2方向面との間の隙間の寸法の範囲内で、第2方向へスムーズに移動することができる。   The superconducting cyclotron further includes a second direction position adjusting unit that adjusts the position of the coil support relative to the vacuum vessel in a second direction orthogonal to the first direction, and the coil support is spaced from the opposing portion in the second direction. When the coil support body moves in the second direction by adjusting the position of the second direction position adjustment portion, the first direction surface of the coil support body is the opposite surface of the facing portion. It may be configured to be slidable along. Thereby, when the position adjustment of the coil support body in the second direction is performed by the second direction position adjustment section, the coil support body is within the range of the size of the gap between the facing section and the second direction surface, It can move smoothly in the second direction.

超伝導サイクロトロンにおいて、第1方向支持部は、真空容器内に進入してコイル支持部に接続される棒状部材を備え、棒状部材の第1方向における中途位置には、第1方向において超伝導コイルと対向する第1方向面、及び姿勢変化部を有し、姿勢変化部は、棒状部材の第1方向面に対向すると共に、第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部と、対向部と棒状部材との間に設けられ、対向部を回動可能に支持する球面軸受と、を備えてよい。複数の第1方向支持部のうち、いずれかの第1方向支持部に対する第1方向位置調整部の調整を行った場合、コイル支持体は、超伝導コイルと共に第1方向に対して傾斜するように移動する。このようなコイル支持部の動きに対して、姿勢変化部は、棒状部材の第1方向面に対向すると共に、第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部を備えている。これにより、当該対向面と第1方向面とが摺動し易い構成となっている。また、姿勢変化部は、対向部と棒状部材との間に設けられ、対向部を回動可能に支持する球面軸受を備えている。これにより、棒状部材を介したコイル支持部の傾斜に応じて球面軸受けで対向部を回動させることができる。従って、姿勢変化部は、コイル支持部の第1方向への移動に追従して、適切に姿勢変化することができる。   In the superconducting cyclotron, the first direction support portion includes a rod-like member that enters the vacuum vessel and is connected to the coil support portion, and the superconducting coil is arranged in the first direction at a midway position in the first direction of the rod-like member. And a posture changing portion that faces the first direction surface of the rod-like member and is curved or inclined in a convex shape toward the first direction surface. You may provide the opposing part which has a surface, and the spherical bearing which is provided between an opposing part and a rod-shaped member and supports an opposing part so that rotation is possible. When the first direction position adjustment unit is adjusted with respect to any one of the first direction support units, the coil support body is inclined with respect to the first direction together with the superconducting coil. Move to. With respect to the movement of the coil support portion, the posture changing portion faces the first direction surface of the rod-shaped member and has a facing surface that is curved or inclined in a convex shape toward the first direction surface. Department. Thereby, it becomes the structure which the said opposing surface and 1st direction surface slide easily. In addition, the posture changing portion includes a spherical bearing that is provided between the facing portion and the rod-like member and supports the facing portion so as to be rotatable. Thereby, a counter part can be rotated with a spherical bearing according to the inclination of the coil support part via a rod-shaped member. Therefore, the posture changing unit can appropriately change the posture following the movement of the coil support unit in the first direction.

本発明に係る超伝導電磁石は、磁場を発生する超伝導電磁石であって、巻き中心軸周りに巻かれた超伝導コイルと、超伝導コイルを支持するコイル支持体と、超伝導コイル及びコイル支持体を内部に収容する真空容器と、巻き中心軸が延びる第1方向において、真空容器に対してコイル支持体を支持する、コイル支持体の周方向に沿って複数設けられた第1方向支持部と、第1方向において、それぞれの第1方向支持部を介して真空容器に対するコイル支持体の位置を調整する複数の第1方向位置調整部と、を備え、第1方向支持部は、第1方向位置調整部によるコイル支持体の第1方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部を有する。   A superconducting electromagnet according to the present invention is a superconducting electromagnet that generates a magnetic field, a superconducting coil wound around a winding center axis, a coil support that supports the superconducting coil, a superconducting coil, and a coil support A plurality of first-direction support portions provided along the circumferential direction of the coil support that supports the coil support relative to the vacuum container in the first direction in which the winding central axis extends, and the vacuum container that houses the body therein And a plurality of first direction position adjusting parts for adjusting the position of the coil support relative to the vacuum vessel via the respective first direction support parts in the first direction. A posture change unit that changes the posture following the movement of the coil support in the first direction by the direction position adjustment unit is provided.

本発明に係る超伝導電磁石によれば、上述の超伝導サイクロトロンと同様の作用・効果を得ることができる。   According to the superconducting electromagnet according to the present invention, the same operation and effect as the above-described superconducting cyclotron can be obtained.

本発明によれば、超伝導コイルの位置調整範囲を広くすることができる超伝導サイクロトロン、及び超伝導電磁石を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a superconducting cyclotron and a superconducting electromagnet capable of widening the position adjustment range of the superconducting coil.

本発明の一実施形態の超伝導サイクロトロンを超伝導コイルの中心軸に沿う方向に切った断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section which cut the superconducting cyclotron of one Embodiment of this invention in the direction in alignment with the central axis of a superconducting coil. サイクロトロンを超伝導コイルの中心軸に直交する方向に切った断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section which cut the cyclotron in the direction orthogonal to the central axis of a superconducting coil. 水平方向荷重支持体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a horizontal direction load support body. 水平方向荷重支持体を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a horizontal direction load support body. 水平方向荷重支持体を示す側面図である。It is a side view which shows a horizontal direction load support body. 連結構造を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows a connection structure. 連結構造の動作を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows operation | movement of a connection structure. 連結構造の動作を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows operation | movement of a connection structure. 変形例に係る連結構造を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view showing the connection structure concerning a modification.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same part or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図1に示されるように、本実施形態に係る超伝導サイクロトロン1は、イオン源(不図示)から荷電粒子を加速空間G内に供給し、加速空間G内の荷電粒子を加速して荷電粒子ビームを出力する横置きの円形加速器である。荷電粒子としては、例えば陽子、重粒子(重イオン)などが挙げられる。超伝導サイクロトロン1は、例えば荷電粒子線治療用の加速器として用いられる。   As shown in FIG. 1, the superconducting cyclotron 1 according to the present embodiment supplies charged particles from an ion source (not shown) into the acceleration space G and accelerates the charged particles in the acceleration space G to charge particles. It is a horizontal circular accelerator that outputs a beam. Examples of the charged particles include protons and heavy particles (heavy ions). The superconducting cyclotron 1 is used as an accelerator for charged particle beam therapy, for example.

この超伝導サイクロトロン1では、加速空間G内で円軌道を描く荷電粒子ビームを継続的に加速するため、等時性(円軌道の半径の大きさに関係なく一周にかかる時間が等しいこと)を確保するように磁束密度を制御する必要がある。   In this superconducting cyclotron 1, the charged particle beam that draws a circular orbit in the acceleration space G is continuously accelerated, so isochronism (the time required for one round is equal regardless of the size of the radius of the circular orbit). It is necessary to control the magnetic flux density to ensure it.

超伝導サイクロトロン1は、イオン源の他に、超伝導電磁石5を備えている。超伝導電磁石5は、ポール3,4と、ヨーク6と、超伝導コイル7,8と、コイル支持枠(コイル支持体)9と、真空容器10と、を有する。   The superconducting cyclotron 1 includes a superconducting electromagnet 5 in addition to the ion source. The superconducting electromagnet 5 includes poles 3 and 4, a yoke 6, superconducting coils 7 and 8, a coil support frame (coil support) 9, and a vacuum vessel 10.

ポール3,4は、超伝導コイル7,8の中心軸(超伝導コイル7,8の巻き中心軸)C方向に離間して配置されている。なお、超伝導サイクロトロン1では、中心軸C方向は、上下方向に沿って配置されている。従って、本実施形態では、請求項における「第1方向」を「中心軸C方向」又は「上下方向」と称する場合がある。また、「第1方向と直交する第2方向」を「水平方向」と称する場合がある。ポール3は、加速空間Gより上方に配置された上ポールであり、ポール4は、加速空間Gより下方に配置された下ポールである。また、ポール3,4間には、電極(ディ電極、不図示)が設けられている。この電極に高周波を付与することで、電場が形成される。 The poles 3 and 4 are spaced apart from each other in the direction of the central axis of the superconducting coils 7 and 8 (the central axis of winding of the superconducting coils 7 and 8) C. In the superconducting cyclotron 1, the central axis C direction is arranged along the vertical direction. Therefore, in the present embodiment, the “first direction” in the claims may be referred to as the “center axis C direction” or the “vertical direction”. The “second direction orthogonal to the first direction” may be referred to as the “horizontal direction”. The pole 3 is an upper pole disposed above the acceleration space G, and the pole 4 is a lower pole disposed below the acceleration space G. In addition, an electrode (a de-electrode, not shown) is provided between the poles 3 and 4. By applying a high frequency to this electrode, an electric field is formed.

ヨーク6は、中空の円盤型のブロックであり、その内部にポール3,4及び真空容器10が配置されている。ヨーク6は、円筒部6aと、円筒部6aの一方の開口を閉じるように形成された天部6bと、円筒部6aの他方の開口を閉じるように形成された底部6cと、を備える。ヨーク6は、超伝導コイル7,8及びポール3,4で生成した磁力線が外部に漏れないようにするためのものである。   The yoke 6 is a hollow disk-shaped block, and the poles 3 and 4 and the vacuum vessel 10 are disposed therein. The yoke 6 includes a cylindrical portion 6a, a top portion 6b formed so as to close one opening of the cylindrical portion 6a, and a bottom portion 6c formed so as to close the other opening of the cylindrical portion 6a. The yoke 6 is for preventing the magnetic field lines generated by the superconducting coils 7 and 8 and the poles 3 and 4 from leaking to the outside.

ポール3,4は、図2に示されるように、中心軸Cの近傍から径方向外側へ向けて螺旋を描くようなスパイラル状に設けられた四つのヒル11を有する。ヒル11は、加速空間Gを挟んで上下に対向し、加速空間G内の荷電粒子ビームを上下方向に収束させるものである。   As shown in FIG. 2, the poles 3 and 4 have four hills 11 provided in a spiral shape so as to draw a spiral from the vicinity of the central axis C toward the radially outer side. The hills 11 face up and down across the acceleration space G, and converge the charged particle beam in the acceleration space G in the vertical direction.

ヒル11は、中心軸Cの周方向に等間隔で配置され、周方向に隣り合うヒル11の間には、空隙であるバレー12が形成されている。すなわち、ポール3,4には、周方向においてヒル11及びバレー12が交互に形成されている。超伝導サイクロトロン1では、ヒル11において磁束密度が強められ、バレー12において磁束密度が弱まることで、荷電粒子ビームを垂直方向及び水平方向に収束させる。このように、周方向に強弱のある磁束密度を形成する超伝導サイクロトロンはAVF[Azimuthally Varying Field]サイクロトロンと呼ばれる。   The hills 11 are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the central axis C, and valleys 12 that are gaps are formed between the hills 11 adjacent in the circumferential direction. That is, the hills 11 and the valleys 12 are alternately formed on the poles 3 and 4 in the circumferential direction. In the superconducting cyclotron 1, the magnetic flux density is increased in the hill 11 and the magnetic flux density is decreased in the valley 12, whereby the charged particle beam is converged in the vertical direction and the horizontal direction. Thus, a superconducting cyclotron that forms a magnetic flux density that is strong and weak in the circumferential direction is called an AVF [Azimuthally Varying Field] cyclotron.

AVFサイクロトロンにおいて、4つのヒル11は径方向外側ほど、磁束密度が強くなるように形成されている。ヒル11では、荷電粒子ビームの垂直方向の収束力を強くするためにスパイラル状に形成されている。径方向外側に行くほど、磁束密度が弱くなると、荷電粒子ビームに垂直方向の発散力が働いてしまうことになる。なお、バレー12は空隙に限られず、ヒル11の厚さよりも薄い厚さの金属であってもよい。   In the AVF cyclotron, the four hills 11 are formed such that the magnetic flux density increases toward the outer side in the radial direction. The hill 11 is formed in a spiral shape in order to increase the vertical focusing force of the charged particle beam. If the magnetic flux density becomes weaker toward the outer side in the radial direction, a diverging force in the vertical direction acts on the charged particle beam. The valley 12 is not limited to the air gap, and may be a metal having a thickness smaller than that of the hill 11.

超伝導コイル7,8は、図1に示されるように、ポール3,4の外周を覆うように巻かれている。超伝導コイル7および超伝導コイル8は、中心軸C方向に並んで配置されている。上側の超伝導コイル7は、ポール3の外周を覆うように巻かれ、下側の超伝導コイル8は、ポール4の外周を覆うように巻かれている。超伝導コイル7,8は、例えば、内周側に内枠(または内巻枠)が設けられておらず、コイル(線材及び線材を固着する接着材)の内周面が他の部材によって接着・固定されていない空芯コイルである。   As shown in FIG. 1, the superconducting coils 7 and 8 are wound so as to cover the outer peripheries of the poles 3 and 4. Superconducting coil 7 and superconducting coil 8 are arranged side by side in the central axis C direction. The upper superconducting coil 7 is wound so as to cover the outer periphery of the pole 3, and the lower superconducting coil 8 is wound so as to cover the outer periphery of the pole 4. For example, the superconducting coils 7 and 8 are not provided with an inner frame (or inner winding frame) on the inner peripheral side, and the inner peripheral surface of the coil (wire and adhesive for fixing the wire) is bonded by another member.・ Air core coil is not fixed.

コイル支持枠9は、超伝導コイル7の外周面を覆う側板部9aと、超伝導コイル7の上面を覆う上リング部材9bと、超伝導コイル8の外周面を覆う側板部9cと、超伝導コイル8の下面を覆う下リング部材9dと、上下の側板部9a,9cを連結する中間部9eと、を備える。コイル支持枠9は、超伝導コイル7,8の周方向において全周に亘って形成されている。   The coil support frame 9 includes a side plate portion 9 a that covers the outer peripheral surface of the superconducting coil 7, an upper ring member 9 b that covers the upper surface of the superconducting coil 7, a side plate portion 9 c that covers the outer peripheral surface of the superconducting coil 8, and superconductivity. A lower ring member 9d that covers the lower surface of the coil 8 and an intermediate portion 9e that connects the upper and lower side plate portions 9a and 9c are provided. The coil support frame 9 is formed over the entire circumference in the circumferential direction of the superconducting coils 7 and 8.

上リング部材9bは、側板部9aの上端部から径方向内側に張り出すように形成されている。上リング部材9bは、円環板状を成し、上リング部材9bの板厚方向は、中心軸C方向に沿うように配置されている。   The upper ring member 9b is formed so as to protrude radially inward from the upper end portion of the side plate portion 9a. The upper ring member 9b has an annular plate shape, and the plate thickness direction of the upper ring member 9b is arranged along the direction of the central axis C.

下リング部材9dは、側板部9cの下端部から径方向内側に張り出すように形成されている。下リング部材9dは、円環板状を成し、下リング部材9dの板厚方向は、中心軸C方向に沿うように配置されている。   The lower ring member 9d is formed so as to protrude radially inward from the lower end portion of the side plate portion 9c. The lower ring member 9d has an annular plate shape, and the thickness direction of the lower ring member 9d is arranged along the central axis C direction.

中間部9eは、中間リング部9fと、上側張出部9gと、下側張出部9hとを有する。中間リング部9fの径方向の幅は、超伝導コイル7,8の径方向の幅に対応している。中間リング部9fの断面は、例えば矩形を成している。中間リング部9fの上面は、超伝導コイル7の下面に当接し、中間リング部9fの下面は、超伝導コイル8の上面に当接している。上側張出部9g及び下側張出部9hは、中間リング部9fの外周面から径方向外側に張り出している。上側張出部9g及び下側張出部9hは、中心軸C方向に離間して配置されている。上側張出部9gは、側板部9aに接合され、下側張出部9hは、側板部9aに接合されている。具体的には、上側張出部9gの上面は、側板部9aの下面に当接し、下側張出部9hの下面は、側板部9cの上面に当接している。上側張出部9gと側板部9aとの接合は、ボルト接合でもよく、溶接などその他の接合方法でもよい。同様に、下側張出部9hと側板部9cとの接合は、ボルト接合でもよく、溶接などその他の接合方法でもよい。   The intermediate portion 9e includes an intermediate ring portion 9f, an upper overhang portion 9g, and a lower overhang portion 9h. The radial width of the intermediate ring portion 9 f corresponds to the radial width of the superconducting coils 7 and 8. The cross section of the intermediate ring portion 9f has a rectangular shape, for example. The upper surface of the intermediate ring portion 9 f is in contact with the lower surface of the superconducting coil 7, and the lower surface of the intermediate ring portion 9 f is in contact with the upper surface of the superconducting coil 8. The upper projecting portion 9g and the lower projecting portion 9h project outward in the radial direction from the outer peripheral surface of the intermediate ring portion 9f. The upper projecting portion 9g and the lower projecting portion 9h are disposed apart from each other in the central axis C direction. The upper projecting portion 9g is joined to the side plate portion 9a, and the lower projecting portion 9h is joined to the side plate portion 9a. Specifically, the upper surface of the upper protruding portion 9g is in contact with the lower surface of the side plate portion 9a, and the lower surface of the lower protruding portion 9h is in contact with the upper surface of the side plate portion 9c. The upper projecting portion 9g and the side plate portion 9a may be joined by bolt joining or other joining methods such as welding. Similarly, the joining of the lower projecting portion 9h and the side plate portion 9c may be bolt joining or other joining methods such as welding.

真空容器10は、超伝導コイル7,8及びコイル支持枠9を収容している。真空容器は、超伝導コイル及びコイル支持枠9を収容するコイル収容部10aと、コイル収容部10aに連通し、上下方向に延びる連通部10bと、水平方向に延びる連通部10cとを有する。コイル収容部10aは、超伝導コイル7,8の径方向内側に配置された内壁10dと、超伝導コイル7,8の径方向外側に配置された外壁10eと、を有する。内壁10dは、超伝導コイル7,8及びコイル支持枠9の内周側を覆うように配置され、外壁10eは、超伝導コイル7,8及びコイル支持枠9の外周側を覆うように配置されている。すなわち、内壁10d及び外壁10eによって挟まれた収容空間内に、超伝導コイル7,8及びコイル支持枠9が配置されている。   The vacuum vessel 10 accommodates the superconducting coils 7 and 8 and the coil support frame 9. The vacuum container includes a coil housing portion 10a that houses the superconducting coil and the coil support frame 9, a communication portion 10b that communicates with the coil housing portion 10a, extends in the vertical direction, and a communication portion 10c that extends in the horizontal direction. The coil housing portion 10 a includes an inner wall 10 d disposed on the radially inner side of the superconducting coils 7 and 8 and an outer wall 10 e disposed on the radially outer side of the superconducting coils 7 and 8. 10 d of inner walls are arrange | positioned so that the inner peripheral side of the superconducting coils 7 and 8 and the coil support frame 9 may be covered, and 10 e of outer walls are arrange | positioned so that the outer peripheral side of the superconducting coils 7 and 8 and the coil support frame 9 may be covered. ing. That is, the superconducting coils 7 and 8 and the coil support frame 9 are arranged in the accommodation space sandwiched between the inner wall 10d and the outer wall 10e.

また、真空容器10は、収容空間の上側を閉じる上面壁と、収容空間の下側を閉じる下面壁とを有する。上面壁は、中心軸C方向において、上リング部材9bと対向して配置され、下面壁は、中心軸C方向において、下リング部材9dと対向して配置されている。上面壁には、開口部が設けられ、この開口部に対応して連通部10bが配置されている。同様に、下面壁には、開口部が設けられ、この開口部に対応して連通部10bが配置されている。   Moreover, the vacuum vessel 10 has an upper surface wall that closes the upper side of the accommodation space, and a lower surface wall that closes the lower side of the accommodation space. The upper surface wall is disposed to face the upper ring member 9b in the central axis C direction, and the lower surface wall is disposed to face the lower ring member 9d in the central axis C direction. An opening is provided in the upper surface wall, and a communication portion 10b is disposed corresponding to the opening. Similarly, an opening is provided in the lower wall, and a communication portion 10b is disposed corresponding to the opening.

連通部10bは、例えば円筒形状を成し、中心軸C方向に延びている。連通部10bは、後述する上下方向荷重支持体21,22を収容している。連通部10cは、例えば円筒形状を成し、中心軸Cと直交する直交方向に延びている。連通部10cは、後述する水平方向荷重支持体31,32を収容している。また、真空容器10には、超伝導コイル7,8を冷却するための冷凍機(冷却部)13が接続されている。冷凍機13は、例えば、GM冷凍機であり、超伝導コイル7,8を例えば4Kに冷却することができる。冷凍機は、GM冷凍機(Gifford-McMahon cooler)に限定されず、例えばスターリング冷凍機を始めその他の冷凍機でもよい。   The communication part 10b has, for example, a cylindrical shape and extends in the direction of the central axis C. The communicating part 10b accommodates vertical load supports 21 and 22 described later. The communication part 10c has, for example, a cylindrical shape and extends in an orthogonal direction orthogonal to the central axis C. The communication part 10c accommodates horizontal load supports 31 and 32 described later. The vacuum vessel 10 is connected to a refrigerator (cooling unit) 13 for cooling the superconducting coils 7 and 8. The refrigerator 13 is a GM refrigerator, for example, and can cool the superconducting coils 7 and 8 to 4K, for example. The refrigerator is not limited to a GM refrigerator (Gifford-McMahon cooler), and may be, for example, a Stirling refrigerator or other refrigerators.

ここで、超伝導サイクロトロン1及び超伝導電磁石5は、コイル支持枠9を支持すると共にコイル支持枠9の中心軸C方向の位置を調整する上下方向荷重支持体(第1方向支持部)21,22と、コイル支持枠9を支持すると共にコイル支持枠9の径方向の位置を調整する水平方向荷重支持体(第2方向支持部)31,32と、を有する。なお、径方向は、中心軸Cに直交する直交方向である。   Here, the superconducting cyclotron 1 and the superconducting electromagnet 5 support the coil support frame 9 and adjust the position of the coil support frame 9 in the direction of the central axis C, a vertical load support (first direction support) 21, 22 and horizontal load supports (second direction support portions) 31 and 32 that support the coil support frame 9 and adjust the radial position of the coil support frame 9. The radial direction is an orthogonal direction orthogonal to the central axis C.

上下方向荷重支持体21、22は、ヨーク6及び真空容器10に接続され、上下方向においてヨーク6及び真空容器10に対してコイル支持枠9を支持するものである。上下方向荷重支持体21,22は、上下一対としてコイル支持枠9を挟むように配置され、互いに反対方向にコイル支持枠9を引っ張ることでコイル支持枠9を支持している。上下方向荷重支持体21,22は、コイル支持枠9の周方向において、複数配置されている。複数の上下方向荷重支持体21,22は、コイル支持枠9の周方向において、等間隔で配置されている。   The vertical load supports 21 and 22 are connected to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 and support the coil support frame 9 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 in the vertical direction. The vertical load supports 21 and 22 are arranged so as to sandwich the coil support frame 9 as a pair of upper and lower sides, and support the coil support frame 9 by pulling the coil support frame 9 in opposite directions. A plurality of the vertical load supports 21 and 22 are arranged in the circumferential direction of the coil support frame 9. The plurality of vertical load supports 21 and 22 are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the coil support frame 9.

上下方向荷重支持体21の下端部は、上リング部材9bに連結されている。なお、上下方向荷重支持体21の下端部は、上下方向において、連結構造100を介してコイル支持枠9に連結されている。連結構造100の詳細な説明は後述する。上下方向荷重支持体21は、上リング部材9bから上方に延在し、真空容器10の壁体を貫通し、ヨーク6の外側まで張り出している。上下方向荷重支持体21の上端部には、ヨーク6及び真空容器10に対して上下方向荷重支持体21を位置決めする上下方向位置調整部(第1方向位置調整部)78が設けられている。上下方向位置調整部78は、上下方向荷重支持体21を介してヨーク6及び真空容器10に対するコイル支持枠9の位置を調整する部分である。この上下方向位置調整部78によって上下方向荷重支持体21を中心軸C方向に変位させることができる。上下方向位置調整部78としては、ねじによる位置調整が挙げられる。ねじに取り付けられたナットを回転させることで、ねじを中心軸C方向に移動させ、上下方向荷重支持体21を変位させる。上下方向荷重支持体21のヨーク6に対する取付部及び上下方向位置調整部78は、後述する水平方向荷重支持体31と同様の構成とすることができる。   The lower end portion of the vertical load support 21 is connected to the upper ring member 9b. The lower end portion of the vertical load support 21 is connected to the coil support frame 9 via the connection structure 100 in the vertical direction. A detailed description of the connection structure 100 will be described later. The vertical load support 21 extends upward from the upper ring member 9 b, penetrates the wall of the vacuum vessel 10, and projects to the outside of the yoke 6. A vertical position adjustment unit (first direction position adjustment unit) 78 that positions the vertical load support 21 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 is provided at the upper end of the vertical load support 21. The vertical position adjustment unit 78 is a part that adjusts the position of the coil support frame 9 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 via the vertical load support 21. The vertical load support 21 can be displaced in the direction of the central axis C by the vertical position adjustment unit 78. Examples of the vertical position adjustment unit 78 include position adjustment using screws. By rotating the nut attached to the screw, the screw is moved in the direction of the central axis C, and the vertical load support 21 is displaced. The attachment portion of the vertical load support 21 to the yoke 6 and the vertical position adjustment portion 78 can have the same configuration as the horizontal load support 31 described later.

上下方向荷重支持体22の上端部は、下リング部材9dに連結されている。なお、上下方向荷重支持体22の上端部は、上下方向において、連結構造100を介してコイル支持枠9に連結されている。連結構造100の詳細な説明は後述する。上下方向荷重支持体22は、下リング部材9dから下方に延在し、真空容器10の壁体を貫通し、ヨーク6の外側まで張り出している。上下方向荷重支持体22の下端部には、ヨーク6及び真空容器10に対して上下方向荷重支持体22を位置決めする上下方向位置調整部78が設けられている。上下方向位置調整部78は、上下方向荷重支持体22を介してヨーク6及び真空容器10に対するコイル支持枠9の位置を調整する部分である。この上下方向位置調整部78によって上下方向荷重支持体22を中心軸C方向に変位させることができる。上下方向位置調整部78としては、ねじによる位置調整が挙げられる。ねじに取り付けられたナットを回転させることで、ねじを中心軸C方向に移動させ、上下方向荷重支持体22を変位させる。上下方向荷重支持体22のヨーク6に対する取付部及び上下方向位置調整部78は、後述する水平方向荷重支持体31と同様の構成とすることができる。   The upper end portion of the vertical load support 22 is connected to the lower ring member 9d. The upper end portion of the vertical load support 22 is connected to the coil support frame 9 via the connection structure 100 in the vertical direction. A detailed description of the connection structure 100 will be described later. The vertical load support 22 extends downward from the lower ring member 9 d, penetrates the wall of the vacuum vessel 10, and extends to the outside of the yoke 6. A vertical position adjusting unit 78 that positions the vertical load support 22 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 is provided at the lower end of the vertical load support 22. The vertical position adjustment unit 78 is a part that adjusts the position of the coil support frame 9 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 via the vertical load support 22. The vertical load support 22 can be displaced in the direction of the central axis C by the vertical position adjuster 78. Examples of the vertical position adjustment unit 78 include position adjustment using screws. By rotating the nut attached to the screw, the screw is moved in the direction of the central axis C, and the vertical load support 22 is displaced. The attachment portion of the vertical load support 22 to the yoke 6 and the vertical position adjustment portion 78 can have the same configuration as the horizontal load support 31 described later.

複数の上下方向荷重支持体21,22を用いて、適宜、位置調整を行うことで、超伝導コイル7,8のポール3,4に対する位置を変更することができる。具体的には、超伝導コイル7,8を上方に変位させたり、超伝導コイル7,8を下方に変位させたり、または、鉛直方向に対して超伝導コイル7,8の中心軸Cが傾斜するように、超伝導コイル7,8を変位させることができる。   The position of the superconducting coils 7 and 8 relative to the poles 3 and 4 can be changed by appropriately adjusting the position using the plurality of vertical load supports 21 and 22. Specifically, the superconducting coils 7 and 8 are displaced upward, the superconducting coils 7 and 8 are displaced downward, or the central axis C of the superconducting coils 7 and 8 is inclined with respect to the vertical direction. As described above, the superconducting coils 7 and 8 can be displaced.

水平方向荷重支持体31,32は、ヨーク6及び真空容器10に接続され、径方向外側から水平方向において、ヨーク6及び真空容器10に対してコイル支持枠9を支持するものである。水平方向荷重支持体31,32は、一部が真空容器10に進入して、コイル支持枠9に接続される。また、水平方向荷重支持体31,32は、コイル支持枠9の位置を調整可能である。水平方向荷重支持体31,32は、複数(例えば4本)設けられている。ここで、上下方向をZ軸とし、Z軸に直交すると共に互いに直交する軸をX軸(第1方向)及びY軸(第2方向)とする(図3〜図5参照)。超伝導コイル7,8の中心軸CがZ軸に沿って配置されている場合には、X軸及びY軸は、中心軸Cに直交している。図1に示されるように、一対の水平方向荷重支持体31は、コイル支持枠9を挟んで対向して配置され、一対の水平方向荷重支持体32は、コイル支持枠9を挟んで対向して配置されている。なお、一対の水平方向荷重支持体31が延在する方向X(X軸方向)と、一対の水平方向荷重支持体32が延在する方向X(X軸方向)とは、直交していてもよく、所定の角度で交差していてもよい。 The horizontal load supports 31 and 32 are connected to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 and support the coil support frame 9 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 in the horizontal direction from the outside in the radial direction. The horizontal load supports 31 and 32 partially enter the vacuum vessel 10 and are connected to the coil support frame 9. Further, the horizontal load supports 31 and 32 can adjust the position of the coil support frame 9. A plurality of (for example, four) horizontal load supports 31 and 32 are provided. Here, the vertical direction is the Z axis, and the axes that are orthogonal to the Z axis and orthogonal to each other are the X axis (first direction) and the Y axis (second direction) (see FIGS. 3 to 5). When the central axis C of the superconducting coils 7 and 8 is arranged along the Z axis, the X axis and the Y axis are orthogonal to the central axis C. As shown in FIG. 1, the pair of horizontal load supports 31 are disposed opposite to each other with the coil support frame 9 interposed therebetween, and the pair of horizontal load supports 32 are opposed to each other with the coil support frame 9 interposed therebetween. Are arranged. The direction X 1 in which a pair of horizontal load bearing body 31 extends with (X axis direction), the direction X 2 in which a pair of horizontal load bearing body 32 extends (X axis direction), are perpendicular Or may intersect at a predetermined angle.

一対の水平方向荷重支持体31は、互いに反対方向にコイル支持枠9を引っ張ることでコイル支持枠9を支持している。同様に、一対の水平方向荷重支持体32は、互いに反対方向にコイル支持枠9を引っ張ることでコイル支持枠9を支持している。   The pair of horizontal load supports 31 support the coil support frame 9 by pulling the coil support frame 9 in opposite directions. Similarly, the pair of horizontal load supports 32 support the coil support frame 9 by pulling the coil support frame 9 in opposite directions.

図3は、水平方向荷重支持体31,32を示す斜視図である。図4は、水平方向荷重支持体31,32を示す断面図である。図5は、水平方向荷重支持体31,32を示す側面図である。図3〜図5に示されるように、水平方向荷重支持体31,32は、コイル支持枠取付部33と、内側リンク部34と、中間連結部35と、外側リンク部36と、ヨーク取付部37と、を有する。以下、水平方向荷重支持体31について説明する。水平方向荷重支持体32は、配置されている方向が異なるだけであり、水平方向荷重支持体31と同一の構成であるので、水平方向荷重支持体32の説明を省略する。   FIG. 3 is a perspective view showing the horizontal load supports 31 and 32. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the horizontal load supports 31 and 32. FIG. 5 is a side view showing the horizontal load supports 31 and 32. As shown in FIGS. 3 to 5, the horizontal load supports 31 and 32 include a coil support frame attachment portion 33, an inner link portion 34, an intermediate connection portion 35, an outer link portion 36, and a yoke attachment portion. 37. Hereinafter, the horizontal load support 31 will be described. The horizontal load support 32 is different only in the direction in which the horizontal load support 32 is arranged, and has the same configuration as the horizontal load support 31. Therefore, the description of the horizontal load support 32 is omitted.

コイル支持枠取付部33は、コイル支持枠9に取り付けられる部分である。コイル支持枠取付部33は、コイル支持枠9に固定されるフランジ部41と、フランジ部41から延出する延出部42とを有する。フランジ部41は円盤状を成し、一方の面がコイル支持枠9に接続される。フランジ部41は、ボルト接合により、コイル支持枠9の中間部9eに接続される。なお、フランジ部41は、コイル支持枠9の中間部9e以外のその他の部位に接続される構成でもよい。コイル支持枠取付部33及び内側リンク部34は、例えばチタンから形成されている。コイル支持枠取付部33及び内側リンク部34は、例えばステンレス鋼など、チタン以外の材質から形成されていてもよい。   The coil support frame attaching part 33 is a part attached to the coil support frame 9. The coil support frame attachment portion 33 includes a flange portion 41 fixed to the coil support frame 9 and an extending portion 42 extending from the flange portion 41. The flange portion 41 has a disk shape, and one surface is connected to the coil support frame 9. The flange portion 41 is connected to the intermediate portion 9e of the coil support frame 9 by bolt joining. The flange portion 41 may be connected to other portions other than the intermediate portion 9e of the coil support frame 9. The coil support frame attaching portion 33 and the inner link portion 34 are made of, for example, titanium. The coil support frame attaching portion 33 and the inner link portion 34 may be formed of a material other than titanium, such as stainless steel.

延出部42は、フランジ部41の他方の面からX軸方向の外側(超伝導コイル7,8の径方向外側)に延出している。延出部42のX軸方向の外側の端部には、連結ブロック部43が設けられている。連結ブロック部43には、Y軸方向に貫通する貫通孔43aが形成されている。また、連結ブロック部43のY軸方向に対向する側面は、平坦面となっている。   The extending portion 42 extends from the other surface of the flange portion 41 to the outside in the X-axis direction (the radially outer side of the superconducting coils 7 and 8). A connecting block portion 43 is provided at the outer end portion of the extending portion 42 in the X-axis direction. A through hole 43 a that penetrates in the Y-axis direction is formed in the connection block portion 43. Moreover, the side surface which opposes the Y-axis direction of the connection block part 43 is a flat surface.

内側リンク部34は、Y軸方向に離間して配置された一対の連結板(第1方向部材)44,45と、一対の連結板44,45の一方の端部同士を連結するピン部材46と、一対の連結板44,45の他方の端部同士を連結する球面軸47と、を有する。   The inner link portion 34 includes a pair of connecting plates (first direction members) 44 and 45 that are disposed apart from each other in the Y-axis direction, and a pin member 46 that connects one ends of the pair of connecting plates 44 and 45. And a spherical axis 47 that connects the other ends of the pair of connecting plates 44 and 45.

連結板44,45は、X軸方向に所定の長さを有する。連結板44,45の板厚方向はY軸方向に沿うよう配置されている。連結板44,45のX軸方向の両端部には、板厚方向に貫通する貫通孔44a,44b,45a,45bがそれぞれ設けられている。また、一対の連結板44,45は、Y軸方向において、連結ブロック部43を挟むように配置されている。連結板44,45の内面(連結ブロック部43の側面に対向する面)は、平坦面として形成されている。連結板44,45の内面は、連結ブロック部43の側面と当接している。   The connecting plates 44 and 45 have a predetermined length in the X-axis direction. The plate thickness direction of the connecting plates 44 and 45 is arranged along the Y-axis direction. Through holes 44a, 44b, 45a, 45b penetrating in the plate thickness direction are provided at both ends in the X-axis direction of the connecting plates 44, 45, respectively. Further, the pair of connecting plates 44 and 45 are disposed so as to sandwich the connecting block portion 43 in the Y-axis direction. The inner surfaces of the connecting plates 44 and 45 (surfaces facing the side surfaces of the connecting block portion 43) are formed as flat surfaces. The inner surfaces of the connection plates 44 and 45 are in contact with the side surfaces of the connection block portion 43.

ピン部材46は、円柱状を成し、連結ブロック部43の貫通孔41aに挿通されている。ピン部材46の外周面は、貫通孔41aの内周面に当接している。ピン部材46は、連結ブロック部43に対して、ピン部材46の軸線回りに回転可能に支持されている。また、ピン部材46の両端部は、Y軸方向において、連結ブロック部43の側面より外方に張り出している。   The pin member 46 has a cylindrical shape and is inserted through the through hole 41 a of the connection block portion 43. The outer peripheral surface of the pin member 46 is in contact with the inner peripheral surface of the through hole 41a. The pin member 46 is supported with respect to the connecting block portion 43 so as to be rotatable around the axis of the pin member 46. Further, both end portions of the pin member 46 project outward from the side surface of the connecting block portion 43 in the Y-axis direction.

ピン部材46のX軸方向の両端部は、一対の連結板44,45の一端側の貫通孔44a,45aにそれぞれ挿通されている。ピン部材46の両端部において、ピン部材46の外周面は、一対の連結板44,45の一端側の貫通孔45aの内周面に当接している。ピン部材46は、一対の連結板44,45に対して、ピン部材46の軸線回りに回転可能に支持されている。これにより、一対の連結板44,45は、コイル支持枠取付部33に対して、Y軸回りに回転可能に支持されている。   Both end portions of the pin member 46 in the X-axis direction are inserted into through holes 44a and 45a on one end side of the pair of connecting plates 44 and 45, respectively. At both ends of the pin member 46, the outer peripheral surface of the pin member 46 is in contact with the inner peripheral surface of the through hole 45 a on one end side of the pair of connecting plates 44 and 45. The pin member 46 is supported so as to be rotatable about the axis of the pin member 46 with respect to the pair of connecting plates 44 and 45. Thus, the pair of connecting plates 44 and 45 are supported so as to be rotatable about the Y axis with respect to the coil support frame mounting portion 33.

球面軸47は、Y軸方向の両端部に設けられた円柱部47aと、この円柱部47aの間に配置された球体部分47bと、を有する。円柱部47aは、一対の連結板44,45の他端側の貫通孔44b,45bにそれぞれ挿通されている。円柱部47aの外周面は、一対の連結板44,45の他端側の貫通孔44b,45bの内周面に当接している。   The spherical shaft 47 has a cylindrical portion 47a provided at both ends in the Y-axis direction, and a spherical portion 47b disposed between the cylindrical portions 47a. The cylindrical portion 47a is inserted through the through holes 44b and 45b on the other end side of the pair of connecting plates 44 and 45, respectively. The outer peripheral surface of the columnar portion 47 a is in contact with the inner peripheral surfaces of the through holes 44 b and 45 b on the other end side of the pair of connecting plates 44 and 45.

球体部分47bは、円柱部47aの外径よりも大きな外径を有する。また、球体部分47bのY軸方向における幅は、球体部分47bの外径より小さく、例えば、連結ブロック部43のY軸方向における幅(厚さ)よりも小さくなっている。また、球体部分47bの中心は、一対の連結板44,45間の中央に配置されている。   The spherical portion 47b has an outer diameter larger than the outer diameter of the cylindrical portion 47a. In addition, the width of the spherical portion 47b in the Y-axis direction is smaller than the outer diameter of the spherical portion 47b, for example, smaller than the width (thickness) of the connecting block portion 43 in the Y-axis direction. Further, the center of the spherical portion 47 b is disposed at the center between the pair of connecting plates 44 and 45.

中間連結部35は、内側リンク部34と外側リンク部36とを連結する部分である。中間連結部35は、一端側に設けられ、内側リンク部34の球面軸47を保持する軸受け部(球面軸受け部)48と、他端側に設けられ、外側リンク部36の球面軸47を保持する軸受け部(球面軸受け部)49と、両方の軸受け部48,49を連結するストラップ部50と、を有する。   The intermediate connecting portion 35 is a portion that connects the inner link portion 34 and the outer link portion 36. The intermediate connecting portion 35 is provided on one end side and is provided with a bearing portion (spherical bearing portion) 48 that holds the spherical shaft 47 of the inner link portion 34 and the other end side and holds the spherical shaft 47 of the outer link portion 36. A bearing portion (spherical bearing portion) 49 and a strap portion 50 that couples both the bearing portions 48 and 49.

軸受け部48はブロック体を有し、このブロック体には球面軸47の球体部分47bを受ける球体受容部が形成されている。球体受容部は、球体部分47bを保持する開口である。球体受容部の内面形状は、球体部分47bの外面形状に対応し、球体受容部の内面48aは、球体部分47bの外面に当接する当接面である。また、軸受け部48のY軸方向に対向する側面は、Y軸方向において、一対の連結板44,45の内面に対向して配置されている。軸受け部48の側面と、一対の連結板44,45の内面との間には、所定の隙間が形成されている。軸受け部48は、球面軸47の球体部分47bの外面(球面)に沿って摺動可能である。   The bearing portion 48 has a block body, and a spherical body receiving portion that receives the spherical portion 47b of the spherical shaft 47 is formed in the block body. The sphere receiving portion is an opening that holds the sphere portion 47b. The inner surface shape of the sphere receiving portion corresponds to the outer surface shape of the sphere portion 47b, and the inner surface 48a of the sphere receiving portion is a contact surface that contacts the outer surface of the sphere portion 47b. Further, the side surface of the bearing portion 48 facing the Y-axis direction is disposed to face the inner surfaces of the pair of connecting plates 44 and 45 in the Y-axis direction. A predetermined gap is formed between the side surface of the bearing portion 48 and the inner surfaces of the pair of connecting plates 44 and 45. The bearing portion 48 is slidable along the outer surface (spherical surface) of the spherical portion 47 b of the spherical shaft 47.

なお、球面軸47及び軸受け部48に代えて、ピン部材及び球面滑り軸受けを備える構成でもよい。この構成の場合には、球面滑り軸受けに保持されたピン部材が、一対の連結板44,45の他端側の貫通孔44b,45bに挿通されて保持される。   Instead of the spherical shaft 47 and the bearing portion 48, a configuration including a pin member and a spherical sliding bearing may be used. In the case of this configuration, the pin member held by the spherical sliding bearing is inserted and held in the through holes 44b and 45b on the other end side of the pair of connecting plates 44 and 45.

軸受け部49はブロック体を有し、このブロック体には外側リンク部36の後述する球面軸53の球体部分53bを受ける球体受容部が形成されている。球体受容部は、球体部分53bを保持する開口である。球体受容部の内面形状は、球体部分53bの外面形状に対応し、球体受容部の内面49aは、球体部分53bの外面に当接する当接面である。また、軸受け部49のY軸方向に対向する側面は、Y軸方向において、一対の連結板51,52の内面に対向して配置されている。軸受け部49の側面と、一対の連結板51,52の内面との間には、所定の隙間が形成されている。軸受け部49は、球面軸53の球体部分53bの外面(球面)に沿って摺動可能である。   The bearing portion 49 has a block body, and a spherical body receiving portion for receiving a spherical portion 53b of a spherical shaft 53 (described later) of the outer link portion 36 is formed on the block body. The sphere receiving portion is an opening that holds the sphere portion 53b. The inner surface shape of the sphere receiving portion corresponds to the outer surface shape of the sphere portion 53b, and the inner surface 49a of the sphere receiving portion is a contact surface that contacts the outer surface of the sphere portion 53b. Further, the side surface of the bearing portion 49 facing the Y-axis direction is disposed to face the inner surfaces of the pair of connecting plates 51 and 52 in the Y-axis direction. A predetermined gap is formed between the side surface of the bearing portion 49 and the inner surfaces of the pair of connecting plates 51 and 52. The bearing portion 49 is slidable along the outer surface (spherical surface) of the spherical portion 53 b of the spherical shaft 53.

なお、球面軸53及び軸受け部49に代えて、ピン部材及び球面滑り軸受けを備える構成でもよい。この構成の場合には、球面滑り軸受けに保持されたピン部材が、外側リンク部36の後述する一対の連結板51,52の他端側の貫通孔51a,52aに挿通されて保持される。   Instead of the spherical shaft 53 and the bearing portion 49, a configuration including a pin member and a spherical sliding bearing may be used. In the case of this configuration, the pin member held by the spherical sliding bearing is inserted and held in through holes 51a and 52a on the other end side of a pair of connecting plates 51 and 52 described later of the outer link portion 36.

ストラップ部50は、図5に示されるように上下方向に離間して、X軸方向に延在する一対の帯状部50a,50bを有する。帯状部50a,50bの厚み方向は、Z軸方向に沿って配置されている。また、帯状部50a,50bの幅方向は、例えば、軸受け部48,49のY軸方向の幅に対応している。このストラップ部50は、例えば、CFRP(carbon-fiber-reinforced plastic)により形成されている。   As shown in FIG. 5, the strap portion 50 has a pair of belt-like portions 50 a and 50 b that are separated in the vertical direction and extend in the X-axis direction. The thickness direction of the strip-like portions 50a and 50b is arranged along the Z-axis direction. Moreover, the width direction of the strip | belt-shaped parts 50a and 50b respond | corresponds to the width | variety of the Y-axis direction of the bearing parts 48 and 49, for example. The strap portion 50 is formed of, for example, CFRP (carbon-fiber-reinforced plastic).

帯状部50a,50bの一端側は、軸受け部48に連結され、帯状部50a,50bの他端部は、軸受け部49に連結されている。帯状部50a,50bは、帯状部を固定するための留め具によって、軸受け部48,49のブロック体に固定されていてもよく、例えば、接着により接合されているものでもよく、ブロック体の部分と一体成形されているものでもよい。また、ストラップ部50は、一対の帯状部50a,50bの端部同士が接続されて無端状に形成されているものでもよい。   One end sides of the strip portions 50 a and 50 b are connected to the bearing portion 48, and the other end portions of the strip portions 50 a and 50 b are connected to the bearing portion 49. The belt-like portions 50a and 50b may be fixed to the block bodies of the bearing portions 48 and 49 by fasteners for fixing the belt-like portions. For example, the belt-like portions 50a and 50b may be joined by bonding. It may be integrally formed with the above. Moreover, the strap part 50 may be formed in an endless shape by connecting ends of the pair of belt-like parts 50a and 50b.

このストラップ部50は、内側リンク部34に対して、Y軸回りに揺動可能(回転可能)に支持されている。また、ストラップ部50は、内側リンク部34に対して、X軸回りに傾倒可能(回転可能)に支持されている。ストラップ部50は、内側リンク部34に対して、Z軸回りに揺動可能(回転可能)に支持されている。   The strap portion 50 is supported to be swingable (rotatable) about the Y axis with respect to the inner link portion 34. The strap portion 50 is supported so as to be tiltable (rotatable) around the X axis with respect to the inner link portion 34. The strap portion 50 is supported to be swingable (rotatable) about the Z axis with respect to the inner link portion 34.

同様に、このストラップ部50は、外側リンク部36に対して、Y軸回りに揺動可能(回転可能)に支持されている。また、ストラップ部50は、外側リンク部36に対して、X軸回りに傾倒可能(回転可能)に支持されている。ストラップ部50は、外側リンク部36に対して、Z軸回りに揺動可能(回転可能)に支持されている。   Similarly, the strap portion 50 is supported so as to be swingable (rotatable) about the Y axis with respect to the outer link portion 36. The strap portion 50 is supported so as to be tiltable (rotatable) around the X axis with respect to the outer link portion 36. The strap portion 50 is supported to be swingable (rotatable) about the Z axis with respect to the outer link portion 36.

また、中間連結部35は、ストラップ部50に代えて、所定の長さを有する板状部材を備えるものでもよく、所定の長さを有る棒状部材を備えるものでもよい。また、中間連結部35は、リンク機構を介して接続された複数のストラップ部を備える構成でもよい。   Further, the intermediate connecting portion 35 may be provided with a plate-like member having a predetermined length instead of the strap portion 50, or may be provided with a rod-like member having a predetermined length. Moreover, the structure provided with the some strap part connected via the link mechanism may be sufficient as the intermediate | middle connection part 35. FIG.

外側リンク部36は、Y軸方向に離間して配置された一対の連結板(第1方向部材)51,52と、一対の連結板51,52の一方の端部同士を連結する球面軸53と、一対の連結板51,52の他方の端部同士を連結するピン部材54と、を有する。   The outer link portion 36 includes a pair of connecting plates (first direction members) 51 and 52 that are spaced apart from each other in the Y-axis direction, and a spherical shaft 53 that connects one end portions of the pair of connecting plates 51 and 52. And a pin member 54 that couples the other ends of the pair of coupling plates 51 and 52.

連結板51,52は、X軸方向に所定の長さを有する。連結板51,52の板厚方向はY軸方向に沿うよう配置されている。連結板51,52のX軸方向の両端部には、板厚方向に貫通する貫通孔51a,51b,52a,52bがそれぞれ設けられている。また、一対の連結板51,52は、Y軸方向において、ヨーク取付部37の後述する連結ブロック部55を挟むように配置されている。連結板51,52の内面(連結ブロック部55の側面に対向する面)は、平坦面として形成されている。連結板51,52の内面は、連結ブロック部55の側面と当接している。   The connecting plates 51 and 52 have a predetermined length in the X-axis direction. The plate thickness direction of the connecting plates 51 and 52 is arranged along the Y-axis direction. At both ends of the connecting plates 51 and 52 in the X-axis direction, through-holes 51a, 51b, 52a and 52b penetrating in the plate thickness direction are provided, respectively. Further, the pair of connecting plates 51 and 52 are arranged so as to sandwich a connecting block portion 55 described later of the yoke mounting portion 37 in the Y-axis direction. The inner surfaces of the connecting plates 51 and 52 (surfaces facing the side surfaces of the connecting block portion 55) are formed as flat surfaces. The inner surfaces of the connecting plates 51 and 52 are in contact with the side surfaces of the connecting block portion 55.

球面軸53は、軸線方向の両端部に設けられた円柱部53aと、この円柱部53aの間に配置された球体部分53bと、を有する。円柱部53aは、一対の連結板51,52の一端側の貫通孔51a,52aにそれぞれ挿通されている。円柱部53aの外周面は、一対の連結板51,52の一端側の貫通孔51a,51bの内周面に当接している。   The spherical shaft 53 includes a cylindrical portion 53a provided at both ends in the axial direction, and a spherical portion 53b disposed between the cylindrical portions 53a. The cylindrical portion 53a is inserted through the through holes 51a and 52a on one end side of the pair of connecting plates 51 and 52, respectively. The outer peripheral surface of the cylindrical portion 53 a is in contact with the inner peripheral surfaces of the through holes 51 a and 51 b on one end side of the pair of connecting plates 51 and 52.

球体部分53bは、円柱部53aの外径よりも大きな外径を有する。また、球体部分のY軸方向における幅は、球体部分53bの外径より小さく、例えば、連結ブロック部55のY軸方向における幅(厚さ)よりも小さくなっている。また、球体部分53bの中心は、一対の連結板51,52間の中央に配置されている。   The spherical portion 53b has an outer diameter larger than the outer diameter of the cylindrical portion 53a. Moreover, the width | variety in the Y-axis direction of a spherical part is smaller than the outer diameter of the spherical part 53b, for example, is smaller than the width | variety (thickness) in the Y-axis direction of the connection block part 55. FIG. Further, the center of the spherical portion 53 b is disposed at the center between the pair of connecting plates 51 and 52.

ピン部材54は、円柱状を成し、ヨーク取付部37の連結ブロック部55の貫通孔55aに挿通されている。ピン部材54の外周面は、連結ブロック部55の貫通孔55aの内周面に当接している。ピン部材54は、連結ブロック部55に対して、ピン部材54の軸線回りに回転可能に支持されている。また、ピン部材54の両端部は、Y軸方向において、連結ブロック部55の側面より外方に張り出している。   The pin member 54 has a cylindrical shape and is inserted into the through hole 55 a of the connecting block portion 55 of the yoke mounting portion 37. The outer peripheral surface of the pin member 54 is in contact with the inner peripheral surface of the through hole 55 a of the connection block portion 55. The pin member 54 is supported so as to be rotatable about the axis of the pin member 54 with respect to the connecting block portion 55. In addition, both end portions of the pin member 54 protrude outward from the side surface of the connecting block portion 55 in the Y-axis direction.

ピン部材54の長手方向の両端部は、一対の連結板51,52の他端側の貫通孔51b,52bにそれぞれ挿通されている。ピン部材54の両端部において、ピン部材54の外周面は、一対の連結板51,52の他端側の貫通孔51b,52bの内周面に当接している。ピン部材54は、一対の連結板51,52に対して、ピン部材54の軸線回りに回転可能に支持されている。これにより、一対の連結板51,52は、ヨーク取付部37に対して、Y軸回りに回転可能に支持されている。   Both end portions in the longitudinal direction of the pin member 54 are inserted into the through holes 51b and 52b on the other end side of the pair of connecting plates 51 and 52, respectively. At both ends of the pin member 54, the outer peripheral surface of the pin member 54 is in contact with the inner peripheral surfaces of the through holes 51 b and 52 b on the other end side of the pair of connecting plates 51 and 52. The pin member 54 is supported so as to be rotatable about the axis of the pin member 54 with respect to the pair of connecting plates 51 and 52. Thus, the pair of connecting plates 51 and 52 are supported so as to be rotatable about the Y axis with respect to the yoke mounting portion 37.

ヨーク取付部37は、ヨーク6に対して取り付けられる部分である。ヨーク取付部37は、連結ブロック部55と、べローズ56と、ロッド部57と、水平方向位置調整部(第2方向位置調整部)58と、を有する。   The yoke attaching portion 37 is a portion attached to the yoke 6. The yoke mounting portion 37 includes a connecting block portion 55, a bellows 56, a rod portion 57, and a horizontal direction position adjusting portion (second direction position adjusting portion) 58.

連結ブロック部55には、ピン部材54が挿通される貫通孔55aが形成されている。貫通孔55aは、Y軸方向に貫通している。また、連結ブロック部55のY軸方向に対向する側面は、平坦面となっている。連結ブロック部55は、一対の連結板51,52に挟まれるように配置され、貫通孔55aに挿通されたピン部材54が、一対の連結板51,52の貫通孔51b,52bに挿通されている。また、連結ブロック部55の側面は、一対の連結板51,52の内面と当接している。   A through hole 55 a through which the pin member 54 is inserted is formed in the connection block portion 55. The through hole 55a penetrates in the Y-axis direction. Moreover, the side surface which opposes the Y-axis direction of the connection block part 55 is a flat surface. The connecting block portion 55 is disposed so as to be sandwiched between the pair of connecting plates 51 and 52, and the pin member 54 inserted into the through hole 55 a is inserted into the through holes 51 b and 52 b of the pair of connecting plates 51 and 52. Yes. Further, the side surface of the connecting block portion 55 is in contact with the inner surfaces of the pair of connecting plates 51 and 52.

連結ブロック部55には、X軸方向の外側の端面から外方に張り出す張出部55bが設けられている。この張出部55bから、外側へ向かって延びるロッド部57が設けられている。ロッド部57は、真空容器10及びヨーク6を貫通して、ヨーク6の側面よりも外方に突出している。ロッド部57の外側の端部の外周面にはねじ部59が形成されている。また、ロッド部57には、ベローズ56が接続されている。   The connecting block portion 55 is provided with an overhang portion 55b that protrudes outward from the outer end face in the X-axis direction. A rod portion 57 extending outward from the protruding portion 55b is provided. The rod portion 57 penetrates the vacuum vessel 10 and the yoke 6 and protrudes outward from the side surface of the yoke 6. A threaded portion 59 is formed on the outer peripheral surface of the outer end portion of the rod portion 57. A bellows 56 is connected to the rod portion 57.

水平方向位置調整部58は、ヨーク6に対して固定されると共に、ヨーク6に対して位置決めする位置決め部である。水平方向位置調整部58は、水平方向において、ヨーク6及び真空容器10に対するコイル支持枠9の位置を調整する部分である。水平方向位置調整部58は、ヨーク6の外周面から外方に突出する荷重支持体固定部60と、ロッド部57の外側の端部の外周面に形成されたねじ部59と、このねじ部59に取り付けられたナット61,62と、を有する。   The horizontal position adjustment unit 58 is a positioning unit that is fixed to the yoke 6 and that is positioned with respect to the yoke 6. The horizontal position adjustment unit 58 is a part that adjusts the position of the coil support frame 9 with respect to the yoke 6 and the vacuum vessel 10 in the horizontal direction. The horizontal position adjusting portion 58 includes a load support fixing portion 60 projecting outward from the outer peripheral surface of the yoke 6, a screw portion 59 formed on the outer peripheral surface of the outer end portion of the rod portion 57, and the screw portion. And nuts 61 and 62 attached to 59.

荷重支持体固定部60は、ヨーク6に固定されたブロック体である。荷重支持体固定部0は、ヨーク6に対して例えば溶接等により接合されている。荷重支持体固定部60には、ロッド部57を挿通させる貫通孔60aが形成されている。ロッド部57は、この貫通孔60aに挿通されて、ヨーク6の外側まで延出している。また、荷重支持体固定部60のX軸に直交する面である座面60bは、平坦面となっている。また、貫通孔60aの内周面には、キー溝が形成されており、ロッド部57の軸回りの回転が防止される。   The load support body fixing portion 60 is a block body fixed to the yoke 6. The load support fixing part 0 is joined to the yoke 6 by welding or the like, for example. A through hole 60 a through which the rod portion 57 is inserted is formed in the load support body fixing portion 60. The rod portion 57 is inserted through the through hole 60 a and extends to the outside of the yoke 6. Moreover, the seat surface 60b which is a surface orthogonal to the X-axis of the load support body fixing | fixed part 60 is a flat surface. Further, a keyway is formed on the inner peripheral surface of the through hole 60a, and the rotation of the rod portion 57 around the axis is prevented.

ねじ部59は、ロッド部57の外側の端部の外周面に形成されている。ねじ部59は、真空容器10及びヨーク6の外部に配置されている。ねじ部59は、ロッド部57の貫通孔60aに配置されている部分から、貫通孔60aより外側に配置されている部分にかけて形成されている。ロッド部57のねじ部59には、ワッシャー63及びナット61,62が取り付けられている。ワッシャー63は、荷重支持体固定部60の座面60bとナット61との間に配置されている。ナット61を締め付けることで、ワッシャー63は荷重支持体固定部60の座面60bに押し当てられる。すなわち、ナット61は、ロッド部57のねじ部59に嵌め込まれ、嵌め込み量を変更することでロッド部57を真空容器10に対して進退させる部材である。ナット62は、位置調整を行った後のナット61の移動を拘束するロックナットとして機能する。   The screw portion 59 is formed on the outer peripheral surface of the outer end portion of the rod portion 57. The screw portion 59 is disposed outside the vacuum vessel 10 and the yoke 6. The screw portion 59 is formed from a portion disposed in the through hole 60a of the rod portion 57 to a portion disposed outside the through hole 60a. A washer 63 and nuts 61 and 62 are attached to the threaded portion 59 of the rod portion 57. The washer 63 is disposed between the seat surface 60 b of the load support fixing part 60 and the nut 61. By tightening the nut 61, the washer 63 is pressed against the seat surface 60 b of the load support fixing part 60. That is, the nut 61 is a member that is fitted into the threaded portion 59 of the rod portion 57 and moves the rod portion 57 forward and backward with respect to the vacuum vessel 10 by changing the amount of fitting. The nut 62 functions as a lock nut that restrains the movement of the nut 61 after the position adjustment.

そして、ナット61を締め付けることにより、ロッド部57がX軸方向の外側(図示右側)に移動し、水平方向荷重支持体31に引張力を作用することができる。水平方向荷重支持体31に引張力が発生することで、ナット61及びワッシャー63は、荷重支持体固定部60の座面60bに押し当てられる。これにより、ロッド部57は、ナット61及びワッシャー63を介して荷重支持体固定部60に固定される。すなわち、水平方向荷重支持体31のヨーク取付部37は、ヨーク6に対して固定され、ポール3,4に対して相対的に固定される。   Then, by tightening the nut 61, the rod portion 57 moves to the outside in the X-axis direction (the right side in the figure), and a tensile force can be applied to the horizontal load support 31. When the tensile force is generated in the horizontal load support 31, the nut 61 and the washer 63 are pressed against the seat surface 60 b of the load support fixing part 60. Thereby, the rod part 57 is fixed to the load support body fixing part 60 via the nut 61 and the washer 63. That is, the yoke mounting portion 37 of the horizontal load support 31 is fixed to the yoke 6 and relatively fixed to the poles 3 and 4.

なお、図1に示すように、上下方向位置調整部78は、水平方向位置調整部58と同様の構成を有する荷重支持体固定部60と、ロッド部57の外側の端部の外周面に形成されたねじ部59と、このねじ部59に取り付けられたナット61,62と、を有する。上下方向位置調整部78は、上下方向荷重支持体21,22を介してコイル支持枠9を上下方向に移動させる点以外は、水平方向位置調整部58と同趣旨の構成を有する。   As shown in FIG. 1, the vertical position adjustment portion 78 is formed on the outer peripheral surface of the load support fixing portion 60 having the same configuration as the horizontal position adjustment portion 58 and the outer end portion of the rod portion 57. And the nuts 61 and 62 attached to the threaded portion 59. The vertical position adjustment unit 78 has the same concept as the horizontal position adjustment unit 58 except that the coil support frame 9 is moved in the vertical direction via the vertical load supports 21 and 22.

次に、図6を参照して、連結構造100の詳細な構造について説明する。なお、図6には上下方向荷重支持体22に対する連結構造100を示しているが、上下方向荷重支持体21に対する連結構造100は、図6に示す構造の上下を逆にした点以外は図6と同趣旨の構成を有するため、説明を省略する。   Next, a detailed structure of the connection structure 100 will be described with reference to FIG. 6 shows the connection structure 100 for the vertical load support 22, the connection structure 100 for the vertical load support 21 is the same as that shown in FIG. 6 except that the structure shown in FIG. Since the configuration has the same meaning as in FIG.

連結構造100は、上下方向荷重支持体22とコイル支持枠9とを連結する構造である。連結構造100は、上下方向荷重支持体22と、コイル支持枠9に形成された保持部103と、を備えている。また、図6には、上下方向荷重支持体22に対して中心軸CLを設定して説明する。   The connection structure 100 is a structure that connects the vertical load support 22 and the coil support frame 9. The connection structure 100 includes a vertical load support 22 and a holding portion 103 formed on the coil support frame 9. Further, FIG. 6 will be described with the central axis CL set for the vertical load support 22.

保持部103は、コイル支持枠9の下リング部材9dの下面108側に形成される。保持部103は、断面L字状の形状を有しており、中心軸CL周りに全周にわたって設けられている。保持部103は、下リング部材9dの下面108から下方へ向かって延びる延伸部104と、延伸部104の下端部から中心軸CL側へ向かって突出する突出部106と、を備える。延伸部104の内周面109は、水平方向において後述の対向部110と隙間GPを介して対向する面(第2方向面)である。突出部106の先端部106aは、中心軸CLから外周側へ離間しているため、保持部103の下端部には、突出部106の先端部106aによって取り囲まれた開口部107が形成される。突出部106と下リング部材9dの下面108と、延伸部104の内周面109との間には、後述の対向部110の外周縁部を収容するための空間が形成されている。ここで、下リング部材9dの下面108は、上下方向において超伝導コイル8と対向する面(第1方向面)である。この下面は、後述の対向部110を摺動させる受け面として機能する。従って、下面108の表面には、対向部110を滑りやすくするために、摩擦係数の低い部材が設けられてもよく、摩擦係数を低下させる表面処理がなされてよい。   The holding portion 103 is formed on the lower surface 108 side of the lower ring member 9 d of the coil support frame 9. The holding part 103 has an L-shaped cross section and is provided around the central axis CL over the entire circumference. The holding portion 103 includes an extending portion 104 that extends downward from the lower surface 108 of the lower ring member 9d, and a protruding portion 106 that protrudes from the lower end portion of the extending portion 104 toward the central axis CL side. An inner peripheral surface 109 of the extending portion 104 is a surface (second direction surface) that faces a later-described facing portion 110 via a gap GP in the horizontal direction. Since the distal end portion 106 a of the protruding portion 106 is separated from the central axis CL toward the outer peripheral side, an opening 107 surrounded by the distal end portion 106 a of the protruding portion 106 is formed at the lower end portion of the holding portion 103. A space is formed between the protruding portion 106, the lower surface 108 of the lower ring member 9d, and the inner peripheral surface 109 of the extending portion 104 to accommodate an outer peripheral edge portion of a facing portion 110 described later. Here, the lower surface 108 of the lower ring member 9d is a surface (first direction surface) facing the superconducting coil 8 in the vertical direction. This lower surface functions as a receiving surface for sliding a facing portion 110 described later. Therefore, a member having a low friction coefficient may be provided on the surface of the lower surface 108 so that the facing portion 110 can be easily slipped, and a surface treatment for reducing the friction coefficient may be performed.

上下方向荷重支持体22は、上下方向に延びる棒状部材101と、姿勢変化部102と、を備えている。棒状部材101は、真空容器10内に進入してコイル支持枠9側へ延びる部材である。棒状部材101は、真空容器10の連通部10b内を上下方向に直線状に延びて、下端側にて真空容器10を貫通している。姿勢変化部102は、棒状部材101の上端部に設けられ、コイル支持枠9の保持部103に保持されている。すなわち、棒状部材101は、姿勢変化部102を介してコイル支持枠9の保持部103に連結される。   The vertical load support 22 includes a rod-like member 101 extending in the vertical direction and a posture changing unit 102. The rod-shaped member 101 is a member that enters the vacuum vessel 10 and extends toward the coil support frame 9. The rod-shaped member 101 extends linearly in the communication portion 10b of the vacuum vessel 10 in the vertical direction and penetrates the vacuum vessel 10 on the lower end side. The posture changing portion 102 is provided at the upper end portion of the rod-like member 101 and is held by the holding portion 103 of the coil support frame 9. That is, the rod-like member 101 is connected to the holding portion 103 of the coil support frame 9 via the posture changing portion 102.

姿勢変化部102は、上下方向位置調整部78(図1参照)によるコイル支持枠9の上下方向への移動に追従して、姿勢変化する部分である。また、姿勢変化部102は、水平方向位置調整部58(図1参照)によるコイル支持枠9の水平方向への移動に追従して、姿勢変化可能である。姿勢変化部102は、対向部110と、球面軸受120と、を備える。   The posture changing unit 102 is a portion that changes its posture following the movement of the coil support frame 9 in the vertical direction by the vertical position adjusting unit 78 (see FIG. 1). The posture changing unit 102 can change the posture following the movement of the coil support frame 9 in the horizontal direction by the horizontal position adjusting unit 58 (see FIG. 1). The posture changing unit 102 includes a facing unit 110 and a spherical bearing 120.

対向部110は、保持部103の下面108と突出部106との間に形成される空間に収容される略円板状の部材である。対向部110の外径は突出部106の先端部106aの内径よりも大きい。従って、対向部110の外周縁部は、突出部106に支持される。対向部110は、コイル支持枠9の下面108に対向する対向面110aを有する。対向面110aは、コイル支持枠9の下面108に向かって凸状をなして湾曲してよい。本実施形態では、対向面110aは、上方向かって突出する球面によって構成されている。これにより、対向面110aは、コイル支持枠9の下面108と点接触する。対向面110aは、中心軸CLを中心軸とした球面である。従って、対向面110aは、中心軸CLの位置にて、コイル支持枠9の下面108と点接触する。なお、対向面110aの球面の曲率は、図6に示すものより緩やかにしてよい。また、対向面110aは、コイル支持枠9の下面108と点接触、または略点接触する形状であれば特に形状は限定されず、例えば下面108に向かって凸状をなして傾斜するような、テーパー面であってもよい。なお、対向部110の下面110bと突出部106の上面との間には、僅かな隙間が設けられている。   The facing portion 110 is a substantially disk-shaped member that is accommodated in a space formed between the lower surface 108 of the holding portion 103 and the protruding portion 106. The outer diameter of the facing portion 110 is larger than the inner diameter of the tip end portion 106 a of the protruding portion 106. Therefore, the outer peripheral edge portion of the facing portion 110 is supported by the protruding portion 106. The facing portion 110 has a facing surface 110 a that faces the lower surface 108 of the coil support frame 9. The facing surface 110a may be curved in a convex shape toward the lower surface 108 of the coil support frame 9. In the present embodiment, the facing surface 110a is configured by a spherical surface that protrudes upward. Thereby, the opposing surface 110a makes point contact with the lower surface 108 of the coil support frame 9. The facing surface 110a is a spherical surface with the central axis CL as the central axis. Accordingly, the facing surface 110a makes point contact with the lower surface 108 of the coil support frame 9 at the position of the central axis CL. Note that the curvature of the spherical surface of the facing surface 110a may be gentler than that shown in FIG. Further, the shape of the facing surface 110a is not particularly limited as long as the facing surface 110a has a shape that makes point contact or substantially point contact with the lower surface 108 of the coil support frame 9; It may be a tapered surface. A slight gap is provided between the lower surface 110 b of the facing portion 110 and the upper surface of the protruding portion 106.

球面軸受120は、対向部110と棒状部材101との間に設けられ、対向部110を回動可能に支持する部材である。球面軸受120は、対向部110と共にコイル支持枠9の動きに追従して動く可動部121と、棒状部材101に対して固定されて可動部121を支持する固定部122と、を備える。   The spherical bearing 120 is a member that is provided between the facing portion 110 and the rod-like member 101 and supports the facing portion 110 so as to be rotatable. The spherical bearing 120 includes a movable portion 121 that moves following the movement of the coil support frame 9 together with the facing portion 110, and a fixed portion 122 that is fixed to the rod-shaped member 101 and supports the movable portion 121.

可動部121は、対向部110の下方に配置された球体部123と、球体部123と対向部110とを連結する連結部124と、を備える。球体部123は、中心が中心軸CL上に配置される球体によって構成される部材である。球体部123の中心は、少なくともコイル支持枠9の保持部103の突出部106よりも下側に配置されている。なお、球体部123の下端部側には平面123aが形成されてよい。連結部124は、球体部123の上端部側から上方へ向かって延びる柱状部材である。連結部124の外径は、保持部103の開口部107の内径よりも小さい。連結部124は、球体部123及び対向部110に固定されている。すなわち、対向部110は、連結部124を介して球体部123に固定されている。   The movable portion 121 includes a sphere portion 123 disposed below the facing portion 110 and a connecting portion 124 that connects the sphere portion 123 and the facing portion 110. The sphere part 123 is a member constituted by a sphere whose center is arranged on the central axis CL. The center of the sphere part 123 is disposed at least below the protruding part 106 of the holding part 103 of the coil support frame 9. A flat surface 123 a may be formed on the lower end side of the spherical body portion 123. The connecting portion 124 is a columnar member that extends upward from the upper end portion side of the spherical body portion 123. The outer diameter of the connecting part 124 is smaller than the inner diameter of the opening 107 of the holding part 103. The connecting portion 124 is fixed to the sphere portion 123 and the facing portion 110. That is, the facing part 110 is fixed to the sphere part 123 through the connecting part 124.

固定部122は、球体部123を取り囲んで、可動部121を回動可能に支持する筒状の部材である。固定部122は、その中心軸が中心軸CLと一致するように配置される。固定部122の内周面は球体部123を摺動可能に受ける受け面122aとして構成されている。受け面122aは、球体部123の球面に沿って径方向外側へ向かって湾曲する形状を有する。固定部122の下端部122bは、平面状に構成されており、棒状部材101の上端部に固定されている。なお、棒状部材101の内部には、回動する可動部121の球体部123(図8参照)との干渉を防止する空間が形成されている。固定部122の上端部122cは、保持部103の突出部106の下端部106bよりも下方へ離間した位置に配置される。これによって、固定部122と保持部103との間には隙間が形成され、当該隙間によってコイル支持枠9が移動する際に、固定部122と突出部106が干渉することを抑制できる(図8参照)。   The fixed part 122 is a cylindrical member that surrounds the spherical part 123 and supports the movable part 121 in a rotatable manner. The fixed part 122 is arranged so that its central axis coincides with the central axis CL. The inner peripheral surface of the fixing portion 122 is configured as a receiving surface 122a that receives the spherical portion 123 so as to be slidable. The receiving surface 122a has a shape that curves radially outward along the spherical surface of the sphere 123. The lower end portion 122 b of the fixed portion 122 is configured in a planar shape and is fixed to the upper end portion of the rod-shaped member 101. In addition, a space for preventing interference with the spherical body portion 123 (see FIG. 8) of the rotating movable portion 121 is formed inside the rod-shaped member 101. The upper end portion 122 c of the fixing portion 122 is disposed at a position spaced downward from the lower end portion 106 b of the protruding portion 106 of the holding portion 103. As a result, a gap is formed between the fixing portion 122 and the holding portion 103, and interference between the fixing portion 122 and the protruding portion 106 can be suppressed when the coil support frame 9 moves through the gap (FIG. 8). reference).

次に、本実施形態に係る超伝導サイクロトロン1、及び超伝導電磁石5の作用・効果について説明する。   Next, operations and effects of the superconducting cyclotron 1 and the superconducting electromagnet 5 according to the present embodiment will be described.

この超伝導サイクロトロン1では、超伝導電磁石5の超伝導コイル7,8が通電されて、超伝導コイル7,8の周囲に磁束が発生する。この磁束がヨーク6及びポール3,4を通り超伝導コイル7,8周りに磁気回路を形成し、対向する一対のポール3,4間の加速空間Gに磁場が形成される。そして、加速空間Gに供給された荷電粒子は、磁場及び電場によって加速されて、荷電粒子ビームとして出射される。   In this superconducting cyclotron 1, the superconducting coils 7 and 8 of the superconducting electromagnet 5 are energized, and magnetic flux is generated around the superconducting coils 7 and 8. This magnetic flux passes through the yoke 6 and the poles 3 and 4 to form a magnetic circuit around the superconducting coils 7 and 8, and a magnetic field is formed in the acceleration space G between the pair of opposed poles 3 and 4. The charged particles supplied to the acceleration space G are accelerated by a magnetic field and an electric field and emitted as a charged particle beam.

この超伝導サイクロトロン1では、上下方向荷重支持体21,22を用いて、コイル支持枠9の上下方向の位置を調整することができる。また、複数の上下方向荷重支持体21,22による位置調整により、コイル支持枠9の傾きを変えるように、位置調整を行うことができる。これにより、超伝導コイル7,8の位置及び傾きを調整することができ、加速空間Gにおける磁場を調整して、荷電粒子ビームを調整することができる。   In the superconducting cyclotron 1, the vertical position of the coil support frame 9 can be adjusted using the vertical load supports 21 and 22. Further, the position adjustment can be performed so as to change the inclination of the coil support frame 9 by the position adjustment by the plurality of vertical load supports 21 and 22. Thereby, the position and inclination of the superconducting coils 7 and 8 can be adjusted, and the charged particle beam can be adjusted by adjusting the magnetic field in the acceleration space G.

超伝導サイクロトロン1では、コイル支持枠9が水平方向荷重支持体31,32によって支持されているので、水平方向荷重支持体31,32を用いて、中心軸C方向と直交する方向にコイル支持枠9を移動させて、位置調整することができる。   In the superconducting cyclotron 1, since the coil support frame 9 is supported by the horizontal load supports 31, 32, the coil support frame 9 is used in the direction orthogonal to the central axis C direction using the horizontal load supports 31, 32. 9 can be moved to adjust the position.

また、水平方向荷重支持体31,32では、水平方向位置調整部58を備えているので、ナット61を回転操作することで、ロッド部57を荷重支持体固定部60に対して、X軸方向に移動させることができる。複数の水平方向荷重支持体31,32の位置を適宜移動させることで、コイル支持枠9を、中心軸Cと直交する方向に移動して位置調整することができる。これにより、超伝導コイル7,8を中心軸Cと直交する方向に移動させて、超伝導コイル7,8による磁場を調整して、荷電粒子ビームを調整することができる。   In addition, since the horizontal load supports 31 and 32 include the horizontal position adjustment unit 58, the rod unit 57 is rotated with respect to the load support fixing unit 60 by rotating the nut 61 in the X-axis direction. Can be moved to. By appropriately moving the positions of the plurality of horizontal load supports 31 and 32, the coil support frame 9 can be moved and adjusted in a direction orthogonal to the central axis C. Thereby, the superconducting coils 7 and 8 are moved in the direction orthogonal to the central axis C, the magnetic field by the superconducting coils 7 and 8 is adjusted, and the charged particle beam can be adjusted.

また、水平方向位置調整部58は、ナット61を回転させることで、ロッド部57を変位させることができるので、ナット61の1回転に対するロッド部57の変位量を一定とすることができる。そのため、位置調整の管理を容易とすることができる。上下方向位置調整部78についても、同様の作用・効果を得ることができる。   Further, since the horizontal position adjustment unit 58 can displace the rod portion 57 by rotating the nut 61, the displacement amount of the rod portion 57 with respect to one rotation of the nut 61 can be made constant. Therefore, management of position adjustment can be facilitated. Similar actions and effects can be obtained for the vertical position adjustment unit 78.

また、超伝導サイクロトロン1は、上下方向において、真空容器10に対してコイル支持枠9を支持する、コイル支持枠9の周方向に沿って複数設けられた上下方向荷重支持体21,22と、上下方向において、それぞれの上下方向荷重支持体21,22を介して真空容器10に対するコイル支持枠9の位置を調整する複数の上下方向位置調整部78と、を備えている。従って、真空容器10に対するコイル支持枠9の位置は、上下方向位置調整部78によって位置調整可能である。ここで、上下方向荷重支持体21,22は、上下方向位置調整部78によるコイル支持枠9の上下方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部102を有する。このように、超伝導コイル7,8と共にコイル支持枠9が上下方向へ位置調整されると、上下方向荷重支持体21,22は、姿勢変化部102にてコイル支持枠9の上下方向への移動へ追従するように姿勢変化する。従って、上下方向荷重支持体21,22は、コイル支持枠9及び超伝導コイル7,8の位置調整を広い範囲で許容することができる。以上により、超伝導コイル7,8の位置調整範囲を広くすることができる。   The superconducting cyclotron 1 includes a plurality of vertical load supports 21 and 22 provided in the circumferential direction of the coil support frame 9 that support the coil support frame 9 with respect to the vacuum vessel 10 in the vertical direction. In the vertical direction, a plurality of vertical position adjustment units 78 that adjust the position of the coil support frame 9 with respect to the vacuum vessel 10 via the vertical load supports 21 and 22 are provided. Therefore, the position of the coil support frame 9 with respect to the vacuum vessel 10 can be adjusted by the vertical position adjustment unit 78. Here, the vertical load supports 21 and 22 include a posture change unit 102 that changes the posture following the movement of the coil support frame 9 in the vertical direction by the vertical position adjustment unit 78. Thus, when the position of the coil support frame 9 along with the superconducting coils 7 and 8 is adjusted in the vertical direction, the vertical load supports 21 and 22 are moved in the vertical direction of the coil support frame 9 by the posture changing unit 102. The posture changes to follow the movement. Therefore, the vertical load supports 21 and 22 can allow the position adjustment of the coil support frame 9 and the superconducting coils 7 and 8 in a wide range. As described above, the position adjustment range of the superconducting coils 7 and 8 can be widened.

超伝導サイクロトロン1において、コイル支持枠9は、上下方向において超伝導コイル7,8と対向する下面108を有し、上下方向荷重支持体21,22は、真空容器10に対して接続された棒状部材101を備え、姿勢変化部102は、コイル支持枠9の下面108に対向すると共に、下面108に向かって凸状をなして湾曲する対向面110aを有する対向部110と、対向部110と棒状部材101との間に設けられ、対向部110を回動可能に支持する球面軸受120と、を備えてよい。複数の上下方向荷重支持体21,22のうち、いずれかの上下方向荷重支持体21,22に対する上下方向位置調整部78の調整を行った場合、コイル支持枠9は、超伝導コイル7,8と共に上下方向に対して傾斜するように移動する。このようなコイル支持枠9の動きに対して、姿勢変化部102は、コイル支持枠9の下面108に対向すると共に、下面108に向かって凸状をなして湾曲する対向面110aを有する対向部110を備えている。これにより、当該対向面110aと下面108とが摺動し易い構成となっている。また、姿勢変化部102は、対向部110と棒状部材101との間に設けられ、対向部110を回動可能に支持する球面軸受120を備えている。これにより、コイル支持枠9の傾斜に応じて球面軸受120で対向部110を回動させることができる。従って、姿勢変化部102は、コイル支持枠9の上下方向への移動に追従して、適切に姿勢変化することができる。   In the superconducting cyclotron 1, the coil support frame 9 has a lower surface 108 facing the superconducting coils 7 and 8 in the vertical direction, and the vertical load supports 21 and 22 are rod-shaped connected to the vacuum vessel 10. The posture change unit 102 includes a member 101 and is opposed to the lower surface 108 of the coil support frame 9 and has a facing portion 110a having a facing surface 110a that is convex toward the lower surface 108 and is curved. A spherical bearing 120 provided between the member 101 and rotatably supporting the facing portion 110 may be provided. When the vertical position adjustment unit 78 is adjusted with respect to any one of the vertical load supports 21, 22 among the plurality of vertical load supports 21, 22, the coil support frame 9 has the superconducting coils 7, 8. At the same time, it moves so as to tilt with respect to the vertical direction. With respect to the movement of the coil support frame 9, the posture changing unit 102 faces the lower surface 108 of the coil support frame 9 and has a facing surface 110 a that curves toward the lower surface 108 and is curved. 110 is provided. Accordingly, the facing surface 110a and the lower surface 108 are easily slidable. In addition, the posture changing unit 102 includes a spherical bearing 120 that is provided between the facing part 110 and the rod-like member 101 and supports the facing part 110 so as to be rotatable. Thereby, the opposing part 110 can be rotated by the spherical bearing 120 according to the inclination of the coil support frame 9. Therefore, the posture changing unit 102 can appropriately change the posture following the movement of the coil support frame 9 in the vertical direction.

ここで、超伝導コイル7,8の上下方向への位置調整に伴う姿勢変化部102の姿勢変化の態様について説明する。前述のように、上下方向荷重支持体21,22は、コイル支持枠9の周方向において、複数配置されている。それらの上下方向荷重支持体21,22に対応して、上下方向位置調整部78もコイル支持枠9の周方向において複数配置されている。超伝導コイル7,8の上下方向の位置調整を行う場合は、複数の上下方向位置調整部78を一つずつ調整する。すなわち、一つの上下方向位置調整部78の調整を行い、対応する一つの上下方向荷重支持体21,22の上下方向の位置を変化させているとき、周方向における他の上下方向荷重支持体21,22の上下方向の位置は変化しない。従って、コイル支持枠9は、位置調整に係る上下方向荷重支持体21,22に対応する箇所に対してのみ、上下方向へ移動する力が作用する。従って、上下方向位置調整部78で上下方向の位置調整を行う場合、コイル支持枠9は、水平方向に対する角度が一定に保たれたまま上下方向へ移動するのではなく、水平方向に対する角度が変化するように移動する。   Here, the attitude | position change aspect of the attitude | position change part 102 accompanying the position adjustment of the superconducting coils 7 and 8 to an up-down direction is demonstrated. As described above, a plurality of the vertical load supports 21 and 22 are arranged in the circumferential direction of the coil support frame 9. A plurality of vertical position adjusting sections 78 are also arranged in the circumferential direction of the coil support frame 9 in correspondence with the vertical load supports 21 and 22. When the vertical position adjustment of the superconducting coils 7 and 8 is performed, the plurality of vertical position adjustment units 78 are adjusted one by one. That is, when one vertical adjustment member 78 is adjusted to change the vertical position of one corresponding vertical load support 21, 22, another vertical load support 21 in the circumferential direction is changed. , 22 in the vertical direction does not change. Accordingly, the coil support frame 9 is applied with a force that moves in the vertical direction only on the portions corresponding to the vertical load supports 21 and 22 related to the position adjustment. Therefore, when the vertical position adjustment unit 78 performs vertical position adjustment, the coil support frame 9 does not move in the vertical direction while the angle with respect to the horizontal direction is kept constant, but the angle with respect to the horizontal direction changes. To move.

例えば、図6に示すように、コイル支持枠9の下面108が水平となっている状態から、上下方向位置調整部78の調整によって上下方向荷重支持体22を上側へ僅かに移動させる。この場合、図8に示すように、コイル支持枠9は、下面108が水平方向に対して僅かに傾斜するような態様で、上方向へ移動する。このとき、上下方向荷重支持体22に対するコイル支持枠9の角度が僅かに変化する。姿勢変化部102の球面軸受120は、コイル支持枠9の移動に伴って移動する対向部110を回動させる。対向部110に連結された可動部121は、固定部122に対して、回動方向D1へ回動する(図8参照)。これにより、姿勢変化部102の球面軸受120は、上下方向荷重支持体22とコイル支持枠9との連結状態を維持したままで、コイル支持枠9の移動を許容することができる。また、対向部110の対向面110aは、コイル支持枠9の下面108に向かって凸状をなして湾曲するような球面である。従って、コイル支持枠9の下面108は、対向面110aに対してスムーズに摺動することができる。コイル支持枠9の下面108は、対向面110aの湾曲形状に沿って、対向部110に対して僅かに回動することができる。なお、図8において、下面110bと突出部106の上面との間の隙間は、紙面においてX軸方向の正側及び負側の両側で維持された状態を示しているが、X軸方向の正側の隙間、または負側の隙間が狭まるように、対向面110aに対してコイル支持枠9が摺動してよい。また、コイル支持枠9の下面108は、対向面110aにガイドされて、対向部110に対して横方向にスライドすることもできる。これによって、姿勢変化部102は、上下方向荷重支持体22とコイル支持枠9との連結状態を維持したままで、コイル支持枠9の移動を許容することができる。   For example, as shown in FIG. 6, the vertical load support 22 is slightly moved upward by adjustment of the vertical position adjustment unit 78 from a state where the lower surface 108 of the coil support frame 9 is horizontal. In this case, as shown in FIG. 8, the coil support frame 9 moves upward in such a manner that the lower surface 108 is slightly inclined with respect to the horizontal direction. At this time, the angle of the coil support frame 9 with respect to the vertical load support 22 changes slightly. The spherical bearing 120 of the posture changing unit 102 rotates the facing unit 110 that moves as the coil support frame 9 moves. The movable portion 121 connected to the facing portion 110 rotates in the rotation direction D1 with respect to the fixed portion 122 (see FIG. 8). As a result, the spherical bearing 120 of the posture changing unit 102 can allow the coil support frame 9 to move while maintaining the connected state between the vertical load support 22 and the coil support frame 9. Further, the facing surface 110 a of the facing portion 110 is a spherical surface that curves in a convex shape toward the lower surface 108 of the coil support frame 9. Therefore, the lower surface 108 of the coil support frame 9 can slide smoothly with respect to the opposing surface 110a. The lower surface 108 of the coil support frame 9 can be slightly rotated with respect to the facing portion 110 along the curved shape of the facing surface 110a. In FIG. 8, the gap between the lower surface 110b and the upper surface of the protrusion 106 is maintained on both the positive and negative sides in the X-axis direction on the paper surface. The coil support frame 9 may slide with respect to the facing surface 110a so that the gap on the side or the gap on the negative side is narrowed. Further, the lower surface 108 of the coil support frame 9 can be slid in the lateral direction with respect to the facing portion 110 while being guided by the facing surface 110a. Accordingly, the posture changing unit 102 can allow the coil support frame 9 to move while maintaining the connection state between the vertical load support 22 and the coil support frame 9.

また、超伝導サイクロトロン1において、水平方向において、真空容器10に対するコイル支持枠9の位置を調整する水平方向位置調整部58を更に備え、コイル支持枠9は、水平方向において対向部110と隙間GP(図6参照)を介して対向する内周面109を有し、水平方向位置調整部58の位置調整によってコイル支持枠9が水平方向に移動するとき、コイル支持枠9の下面108は、対向部110の対向面110aに沿って摺動可能に構成されてよい。これにより、水平方向位置調整部58によって水平方向へのコイル支持枠9の位置調整がなされるとき、コイル支持枠9は、対向部110と内周面109との間の隙間GPの寸法の範囲内で、水平方向へスムーズに移動することができる。例えば、図7に示すように、コイル支持枠9が外周側へ向かって水平方向(図においてD2で示す)へ移動する場合、仮想線で示されるように、下面108が対向面11aでガイドされるように、コイル支持枠9が水平方向へスライドする。   The superconducting cyclotron 1 further includes a horizontal position adjusting unit 58 that adjusts the position of the coil support frame 9 with respect to the vacuum vessel 10 in the horizontal direction. When the coil support frame 9 moves in the horizontal direction by adjusting the position of the horizontal position adjustment unit 58, the lower surface 108 of the coil support frame 9 is opposed to each other. The part 110 may be configured to be slidable along the facing surface 110a. Accordingly, when the position of the coil support frame 9 is adjusted in the horizontal direction by the horizontal position adjustment unit 58, the coil support frame 9 has a dimension range of the gap GP between the facing part 110 and the inner peripheral surface 109. It can move smoothly in the horizontal direction. For example, as shown in FIG. 7, when the coil support frame 9 moves in the horizontal direction (indicated by D2 in the figure) toward the outer peripheral side, the lower surface 108 is guided by the facing surface 11a as shown by the phantom line. Thus, the coil support frame 9 slides in the horizontal direction.

本実施形態に係る超伝導電磁石5は、磁場を発生する超伝導電磁石5であって、中心軸C周りに巻かれた超伝導コイル7,8と、超伝導コイル7,8を支持するコイル支持枠9と、超伝導コイル7,8及びコイル支持枠9を内部に収容する真空容器10と、上下方向において、コイル支持枠9を支持する、コイル支持枠9の周方向に沿って複数設けられた上下方向荷重支持体21,22と、それぞれの上下方向荷重支持体21,22を介してコイル支持枠9の位置を調整する複数の上下方向位置調整部78と、を備え、上下方向荷重支持体21,22は、上下方向位置調整部78によるコイル支持枠9の上下方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部102を有する。   The superconducting electromagnet 5 according to the present embodiment is a superconducting electromagnet 5 that generates a magnetic field, and the superconducting coils 7 and 8 wound around the central axis C and the coil support that supports the superconducting coils 7 and 8. A plurality of frames 9 are provided along the circumferential direction of the coil support frame 9 that supports the coil support frame 9 in the vertical direction, and a vacuum vessel 10 that accommodates the superconducting coils 7 and 8 and the coil support frame 9 therein. Vertical load supports 21 and 22 and a plurality of vertical position adjusters 78 for adjusting the position of the coil support frame 9 via the vertical load supports 21 and 22, respectively. The bodies 21 and 22 have a posture changing unit 102 that changes its posture following the movement of the coil support frame 9 in the vertical direction by the vertical position adjusting unit 78.

この超伝導電磁石5によれば、上述の超伝導サイクロトロン1と同様の作用・効果を得ることができる。   According to the superconducting electromagnet 5, the same actions and effects as those of the superconducting cyclotron 1 described above can be obtained.

本発明は、前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で下記のような種々の変形が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications as described below are possible without departing from the gist of the present invention.

超伝導電磁石5の超伝導コイル7,8は、2個の超伝導コイル7,8を有する場合に限られず、1個または3個以上の超伝導コイルを有してもよい。   The superconducting coils 7 and 8 of the superconducting electromagnet 5 are not limited to having the two superconducting coils 7 and 8 and may include one or three or more superconducting coils.

また、本発明に係る超伝導電磁石は、サイクロトロンに限られず、MCZ法によるシリコン単結晶引き上げ装置に適用することもできる。超伝導電磁石は、高磁場が求められる装置であれば、どのような装置にでも適用可能である。   Further, the superconducting electromagnet according to the present invention is not limited to the cyclotron, but can be applied to a silicon single crystal pulling apparatus by the MCZ method. The superconducting electromagnet can be applied to any device as long as the device requires a high magnetic field.

また、上記実施形態では、4本の水平方向荷重支持体31,32を備える構成としているが、1本の水平方向荷重支持体を備える構成でもよく、2本以上の水平方向荷重支持体を備える構成でもよい。   Moreover, in the said embodiment, although it is set as the structure provided with the four horizontal direction load support bodies 31 and 32, the structure provided with one horizontal direction load support body may be sufficient, and it is provided with two or more horizontal direction load support bodies. It may be configured.

また、上記実施形態では、超伝導コイル7,8の中心軸Cは、上下方向に沿うように配置されているが、中心軸Cが水平方向に沿うように配置された超伝導コイル7,8でもよく、中心軸Cが上下方向に対して傾斜して配置された超伝導コイル7,8でもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the central axis C of the superconducting coils 7 and 8 is arrange | positioned along an up-down direction, the superconducting coils 7 and 8 arrange | positioned so that the central axis C may follow a horizontal direction. Alternatively, the superconducting coils 7 and 8 may be arranged such that the central axis C is inclined with respect to the vertical direction.

上述の実施形態では、連結構造100がコイル支持枠9と上下方向荷重支持体21,22との間に設けられていた。これに代えて、連結構造100が、真空容器10側に設けられてもよい。例えば、図9に示すように、上下方向荷重支持体222の中途位置に連結構造200が設けられてもよい。上下方向荷重支持体222は、真空容器10内に進入してコイル支持枠9に接続される棒状部材201を備える。また、棒状部材201の上下方向における中途位置には、保持部203及び姿勢変化部102を有する。棒状部材201のうち上側の部分を上側棒状部材201Aとし、下側の部分を下側棒状部材201Bとする。下面208は、上側棒状部材201Aの下端に設けられた保持部203の下面208は、上下方向において超伝導コイル7,8と対向する第1方向面として形成される。上側棒状部材201Aの上端はコイル支持枠9に固定される。姿勢変化部102は、保持部203と下側棒状部材201Bの上端との間に設けられる。姿勢変化部102自体は、前述の連結構造100と同様の構成を有する。   In the above-described embodiment, the connection structure 100 is provided between the coil support frame 9 and the vertical load supports 21 and 22. It replaces with this and the connection structure 100 may be provided in the vacuum vessel 10 side. For example, as shown in FIG. 9, the connection structure 200 may be provided at a midway position in the vertical load support 222. The vertical load support 222 includes a bar-like member 201 that enters the vacuum vessel 10 and is connected to the coil support frame 9. In addition, a holding portion 203 and a posture changing portion 102 are provided at a midway position in the vertical direction of the rod-shaped member 201. The upper part of the bar-shaped member 201 is referred to as an upper bar-shaped member 201A, and the lower part is referred to as a lower bar-shaped member 201B. The lower surface 208 is formed as a first direction surface that faces the superconducting coils 7 and 8 in the vertical direction, while the lower surface 208 of the holding portion 203 provided at the lower end of the upper bar-shaped member 201A. The upper end of the upper bar-shaped member 201A is fixed to the coil support frame 9. The posture changing unit 102 is provided between the holding unit 203 and the upper end of the lower bar-shaped member 201B. The posture changing unit 102 itself has the same configuration as the connection structure 100 described above.

このような構成によれば、複数の上下方向荷重支持体222に対する上下方向位置調整部78の調整を行った場合、コイル支持枠9は、超伝導コイル7,8と共に上下方向に対して傾斜するように移動する。このようなコイル支持枠9の動きに対して、姿勢変化部102は、上側棒状部材201Aの下面208に対向すると共に、下面108に向かって凸状をなして湾曲する対向面110aを有する対向部110を備えている。これにより、当該対向面110aと下面208とが摺動し易い構成となっている。また、姿勢変化部102は、対向部110Aと下側棒状部材201Bとの間に設けられ、対向部110を回動可能に支持する球面軸受120を備えている。これにより、コイル支持枠9の傾斜に応じて球面軸受120で対向部110を回動させることができる。従って、姿勢変化部102は、コイル支持枠9及び上側棒状部材201Aの上下方向への移動に追従して、適切に姿勢変化することができる。なお、保持部203が下側棒状部材201Bの上端に設けられ、姿勢変化部102を上下逆にして上側棒状部材201Aの下端に設けてもよい。   According to such a configuration, when the vertical position adjustment unit 78 is adjusted with respect to the plurality of vertical load supports 222, the coil support frame 9 is inclined with respect to the vertical direction together with the superconducting coils 7 and 8. To move. With respect to the movement of the coil support frame 9, the posture changing unit 102 is opposed to the lower surface 208 of the upper bar-shaped member 201 </ b> A and has an opposed surface 110 a that is curved toward the lower surface 108. 110 is provided. Accordingly, the facing surface 110a and the lower surface 208 are configured to easily slide. The posture changing unit 102 includes a spherical bearing 120 that is provided between the facing portion 110A and the lower bar-shaped member 201B and supports the facing portion 110 so as to be rotatable. Thereby, the opposing part 110 can be rotated by the spherical bearing 120 according to the inclination of the coil support frame 9. Accordingly, the posture changing unit 102 can appropriately change the posture following the movement of the coil support frame 9 and the upper bar-shaped member 201A in the vertical direction. The holding part 203 may be provided at the upper end of the lower bar-shaped member 201B, and the posture changing part 102 may be provided upside down at the lower end of the upper bar-shaped member 201A.

なお、超電導サイクロトロンの支持構造は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、上下方向荷重支持体は、上側と下側の双方に設けられていた。これに代えて、上側の四本の上下方向荷重支持体21を省略し、下側の四本の上下方向荷重支持体22のみで支持してもよい。あるいは、上側の四本の上下方向荷重支持体21のみで吊り下げるように支持し、下側の四本の上下方向荷重支持体22を省略してもよい。また、上下方向位置調整部78は、ヨーク6に取り付けられていたが、ヨーク6の内側に配置し、真空容器10に取り付けてもよい。   Note that the support structure of the superconducting cyclotron is not limited to the above-described embodiment. For example, in the above-described embodiment, the up-down direction load support is provided on both the upper side and the lower side. Alternatively, the upper four vertical load supports 21 may be omitted, and only the lower four vertical load supports 22 may be supported. Alternatively, the upper four vertical load supports 21 may be supported so as to be suspended, and the lower four vertical load supports 22 may be omitted. Further, although the vertical position adjustment unit 78 is attached to the yoke 6, it may be arranged inside the yoke 6 and attached to the vacuum vessel 10.

1…超伝導サイクロトロン、5…超伝導電磁石、7,8…超伝導コイル、9…コイル支持枠(コイル支持体)、21,22…上下方向荷重支持体(第1方向支持部)、31,32…水平方向荷重支持体(第2方向支持部)、58…水平方向位置調整部(第2方向位置調整部)、78…上下方向位置調整部(第1方向位置調整部)、101,201…棒状部材、102…姿勢変化部、108,208…下面(第1方向面)、109…内周面(第2方向面)、110…対向部、110a…対向面、120…球面軸受。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Superconducting cyclotron, 5 ... Superconducting electromagnet, 7, 8 ... Superconducting coil, 9 ... Coil support frame (coil support), 21, 22 ... Vertical load support (1st direction support part), 31, 32 ... Horizontal load support (second direction support), 58 ... Horizontal position adjustment (second direction position adjustment), 78 ... Vertical position adjustment (first direction position adjustment), 101, 201 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Rod-shaped member, 102 ... Posture change part, 108, 208 ... Lower surface (1st direction surface), 109 ... Inner peripheral surface (2nd direction surface), 110 ... Opposing part, 110a ... Opposing surface, 120 ... Spherical bearing.

Claims (5)

荷電粒子を加速して荷電粒子線を出射する超伝導サイクロトロンであって、
巻き中心軸周りに巻かれた超伝導コイルと、
前記超伝導コイルを支持するコイル支持体と、
前記超伝導コイル及び前記コイル支持体を内部に収容する真空容器と、
前記巻き中心軸が延びる第1方向において、前記真空容器に対して前記コイル支持体を支持する、前記コイル支持体の周方向に沿って複数設けられた第1方向支持部と、
前記第1方向において、それぞれの前記第1方向支持部を介して前記真空容器に対する前記コイル支持体の位置を調整する複数の第1方向位置調整部と、を備え、
前記第1方向支持部は、前記第1方向位置調整部による前記コイル支持体の前記第1方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部を有する、超伝導サイクロトロン。
A superconducting cyclotron that accelerates charged particles and emits charged particle beams,
A superconducting coil wound around the winding central axis;
A coil support for supporting the superconducting coil;
A vacuum vessel that houses the superconducting coil and the coil support inside,
A plurality of first direction support portions provided along the circumferential direction of the coil support body, which supports the coil support body with respect to the vacuum vessel in a first direction in which the winding central axis extends;
A plurality of first direction position adjustment units that adjust the position of the coil support relative to the vacuum vessel via the first direction support units in the first direction,
The first direction support part is a superconducting cyclotron having an attitude change part that changes its attitude following the movement of the coil support in the first direction by the first direction position adjustment part.
前記コイル支持体は、前記第1方向において前記超伝導コイルと対向する第1方向面を有し、
前記第1方向支持部は、前記真空容器内に進入して前記コイル支持体側へ延びる棒状部材を備え、
前記姿勢変化部は、
前記コイル支持体の前記第1方向面に対向すると共に、前記第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部と、
前記対向部と前記棒状部材との間に設けられ、前記対向部を回動可能に支持する球面軸受と、を備える、請求項1に記載の超伝導サイクロトロン。
The coil support has a first direction surface facing the superconducting coil in the first direction;
The first direction support portion includes a rod-shaped member that enters the vacuum vessel and extends to the coil support side,
The posture changing unit is
A facing portion having a facing surface that faces the first direction surface of the coil support and is curved or inclined in a convex shape toward the first direction surface;
The superconducting cyclotron according to claim 1, further comprising a spherical bearing provided between the facing portion and the rod-like member and rotatably supporting the facing portion.
前記第1方向と直交する第2方向において、前記真空容器に対する前記コイル支持体の位置を調整する第2方向位置調整部を更に備え、
前記コイル支持体は、前記第2方向において前記対向部と隙間を介して対向する第2方向面を有し、
前記第2方向位置調整部の位置調整によって前記コイル支持体が前記第2方向に移動するとき、前記コイル支持体の前記第1方向面は、前記対向部の対向面に沿って摺動可能に構成される、請求項2に記載の超伝導サイクロトロン。
A second direction position adjustment unit for adjusting the position of the coil support relative to the vacuum vessel in a second direction orthogonal to the first direction;
The coil support has a second direction surface facing the facing portion via a gap in the second direction,
When the coil support moves in the second direction by adjusting the position of the second direction position adjustment unit, the first direction surface of the coil support is slidable along the facing surface of the facing portion. The superconducting cyclotron according to claim 2 configured.
前記第1方向支持部は、前記真空容器内に進入して前記コイル支持体に接続される棒状部材を備え、
前記棒状部材の前記第1方向における中途位置には、前記第1方向において前記超伝導コイルと対向する第1方向面、及び前記姿勢変化部を有し、
前記姿勢変化部は、
前記棒状部材の前記第1方向面に対向すると共に、前記第1方向面に向かって凸状をなして湾曲又は傾斜する対向面を有する対向部と、
前記対向部と前記棒状部材との間に設けられ、前記対向部を回動可能に支持する球面軸受と、を備える、請求項1に記載の超伝導サイクロトロン。
The first direction support portion includes a rod-shaped member that enters the vacuum vessel and is connected to the coil support,
In the midway position in the first direction of the rod-shaped member, the first direction surface facing the superconducting coil in the first direction, and the posture changing portion,
The posture changing unit is
An opposing portion having an opposing surface that faces the first direction surface of the rod-shaped member and is curved or inclined in a convex shape toward the first direction surface;
The superconducting cyclotron according to claim 1, further comprising a spherical bearing provided between the facing portion and the rod-like member and rotatably supporting the facing portion.
磁場を発生する超伝導電磁石であって、
巻き中心軸周りに巻かれた超伝導コイルと、
前記超伝導コイルを支持するコイル支持体と、
前記超伝導コイル及び前記コイル支持体を内部に収容する真空容器と、
前記巻き中心軸が延びる第1方向において、前記真空容器に対して前記コイル支持体を支持する、前記コイル支持体の周方向に沿って複数設けられた第1方向支持部と、
前記第1方向において、それぞれの前記第1方向支持部を介して前記真空容器に対する前記コイル支持体の位置を調整する複数の第1方向位置調整部と、を備え、
前記第1方向支持部は、前記第1方向位置調整部による前記コイル支持体の前記第1方向への移動に追従して、姿勢変化する姿勢変化部を有する、超伝導電磁石。
A superconducting electromagnet that generates a magnetic field,
A superconducting coil wound around the winding central axis;
A coil support for supporting the superconducting coil;
A vacuum vessel that houses the superconducting coil and the coil support inside,
A plurality of first direction support portions provided along the circumferential direction of the coil support body, which supports the coil support body with respect to the vacuum vessel in a first direction in which the winding central axis extends;
A plurality of first direction position adjustment units that adjust the position of the coil support relative to the vacuum vessel via the first direction support units in the first direction,
The first direction support part is a superconducting electromagnet having an attitude change part that changes its attitude following the movement of the coil support in the first direction by the first direction position adjustment part.
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