JP2018198239A - Light-emitting module, method for manufacturing the same, and lid member for light-emitting module - Google Patents

Light-emitting module, method for manufacturing the same, and lid member for light-emitting module Download PDF

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Masaru Yokoyama
優 横山
萩原 博隆
Hirotaka Hagiwara
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Abstract

To provide a light-emitting module capable of maintaining a sealed state of a light-emitting element for a long period, and a method for manufacturing the light-emitting module.SOLUTION: The light-emitting module 1 includes: a package substrate 2 which has an arrangement surface 2a where a light-emitting element 3 is arranged and side walls 2b standing from the arrangement surface 2a in such a way that a space S is provided outside the light-emitting element 3, encircling the element; a lid member 4 which has a translucent top plate 4a which is arranged in such a way that it covers an inner space S of the side walls 2b from above and side walls 4b which stands on an outer peripheral part of a top plate 4a and is arranged outside the side walls 2b of the package substrate 2; and a sealing part 5 bonding the package substrate 2 and the lid member 4, which is outside the side walls 2b of the package substrate 2 and provided at a position where no light-emitting element 3 can be seen.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発光素子を内部に封止した発光モジュール及びその製造方法、並びに発光モジュール用蓋部材に関する。   The present invention relates to a light emitting module in which a light emitting element is sealed, a manufacturing method thereof, and a light emitting module lid member.

LED素子(Light Emitting Diode)は、光源として照明や信号、光通信など広い分野で利用されている。このLED素子(発光素子)は化合物半導体から構成されている。そのため、発光素子を外部環境から保護するため、光透過性を有する材料により封止(密封)してパッケージ化され、発光モジュールとされる。
この発光モジュールの封止方法としては、例えば、特許文献1に示すように、リード電極に取り付けた発光素子を樹脂材料で被覆する方法や、特許文献2,3に示すように、開口を設けたパッケージ基板に発光素子を収容し、ガラス板などの窓部材で開口部に蓋をする方法がある。
LED elements (Light Emitting Diodes) are used as light sources in a wide range of fields such as illumination, signals, and optical communication. This LED element (light emitting element) is composed of a compound semiconductor. Therefore, in order to protect the light-emitting element from the external environment, the light-emitting element is sealed (sealed) with a light-transmitting material and packaged to obtain a light-emitting module.
As a sealing method of the light emitting module, for example, as shown in Patent Document 1, a light emitting element attached to a lead electrode is covered with a resin material, or as shown in Patent Documents 2 and 3, an opening is provided. There is a method in which a light emitting element is accommodated in a package substrate, and the opening is covered with a window member such as a glass plate.

更に、最近、深紫外光を発する発光素子が開発され、既に市販されている。
この深紫外光を発する発光素子の主な用途は、例えば特許文献4、5に示すように殺菌を目的として用いられる。そのため、例えば、飲料水等の水中で、発光素子を発光させ殺菌する用途に好適な発光モジュールが期待されている。
Furthermore, recently, light emitting elements that emit deep ultraviolet light have been developed and are already on the market.
The main use of the light emitting element that emits deep ultraviolet light is used for the purpose of sterilization as shown in Patent Documents 4 and 5, for example. For this reason, for example, a light-emitting module suitable for use in sterilizing a light-emitting element in water such as drinking water is expected.

特開2016−186974号公報JP, 2006-186974, A 特開2017−59716号公報JP 2017-59716 A 特開2004−253638号公報JP 2004-253638 A 特開2013−173564号公報JP 2013-173564 A 特開2017−29936号公報JP 2017-29936 A

上記したように、水中で発光素子を発光させ、殺菌する用途に用いるには、発光モジュールは、発光素子が光透過性を有する材料により封止(密封)されたものでなければならい。
しかしながら、特許文献1に示すようなリード電極に取り付けた発光素子を樹脂材料で被覆する封止方法にあっては、深紫外光により樹脂の劣化が激しく、密封が不完全になり易いという課題があった。さらに樹脂材料は紫外光を吸収するため、効率の面からも好ましくないという課題があった。
As described above, in order to use the light-emitting element for light emission and sterilization in water, the light-emitting module must be sealed (sealed) with a light-transmitting material.
However, in the sealing method in which the light emitting element attached to the lead electrode as shown in Patent Document 1 is covered with a resin material, there is a problem that the resin is severely deteriorated by deep ultraviolet light and sealing is likely to be incomplete. there were. Furthermore, since the resin material absorbs ultraviolet light, there is a problem that it is not preferable from the viewpoint of efficiency.

一方、特許文献2,3に示すように、開口を設けたパッケージ基板に発光素子を収容し、ガラス板などの窓部材で開口部に蓋をする封止方法にあっては、窓部材がガラス板からなるため、紫外光の吸収が抑制され、効率の面は好ましい。
しかしながら、パッケージ本体と窓部材での接合部が深紫外光により劣化し、密封が不完全になり易いという課題があった。
On the other hand, as shown in Patent Documents 2 and 3, in a sealing method in which a light emitting element is accommodated in a package substrate provided with an opening, and the opening is covered with a window member such as a glass plate, the window member is made of glass. Since it consists of a plate, absorption of ultraviolet light is suppressed, and the aspect of efficiency is preferable.
However, there has been a problem that the joint between the package body and the window member is deteriorated by deep ultraviolet light, and sealing is likely to be incomplete.

具体的に説明すると、一般的に使用されるパッケージ基板には、LTCC(低温同時焼成セラミックス:Low Temperature Co-fired Ceramics)やAlN(窒化アルミ)等のセラミックス部材が使用される。このLTCCやAlNの熱膨張率は4〜8×10-6/Kであり、一方、紫外光を十分に透過できる石英ガラスの熱膨張率は、5〜6×10-7/Kであり、熱膨張差は非常に大きい。
そのため、これらの熱膨張差を緩和するには、一般的な封止材である低融点ガラスでは難しく、シリコーンなどの樹脂やフラックスを含む半田による封着がなされる。
しかしながら、シリコーンなどの樹脂材料やフラックスを含む半田によって封着がなされた場合、深紫外光による樹脂材料の劣化が激しく、密封が不完全になり易いという課題があった。
More specifically, ceramic members such as LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) and AlN (aluminum nitride) are used for package substrates that are generally used. The thermal expansion coefficient of LTCC or AlN is 4 to 8 × 10 −6 / K, while the thermal expansion coefficient of quartz glass that can sufficiently transmit ultraviolet light is 5 to 6 × 10 −7 / K. The thermal expansion difference is very large.
Therefore, it is difficult to reduce these differences in thermal expansion by using a low-melting glass which is a general sealing material, and sealing with a solder containing a resin such as silicone or a flux is performed.
However, when sealing is performed with a resin material such as silicone or solder containing a flux, there is a problem that the resin material is greatly deteriorated by deep ultraviolet light and sealing is likely to be incomplete.

本発明者らは、特許文献2,3に示すような、開口を設けたパッケージ基板に発光素子を収容し、ガラス板などの窓部材で開口部に蓋をする封止方法を前提に、深紫外光による封着材料の劣化を抑制し、密封状態の耐久性を向上させ、更には紫外光照射効率の低下が抑制された発光モジュールを研究し、本発明を完成するに至った。   Based on the premise of a sealing method in which a light-emitting element is accommodated in a package substrate having an opening as shown in Patent Documents 2 and 3, and a window member such as a glass plate covers the opening. The present invention has been completed by studying a light emitting module that suppresses deterioration of the sealing material due to ultraviolet light, improves the durability of the sealed state, and further suppresses a decrease in the efficiency of irradiation with ultraviolet light.

本発明は上記状況下のもとなされたものであり、本発明は発光素子の密封状態を長期間維持することができる発光モジュール及び発光モジュールの製造方法、並びに発光モジュール用蓋部材を提供することを目的とする。   The present invention has been made under the above circumstances, and the present invention provides a light emitting module capable of maintaining a sealed state of a light emitting element for a long time, a method for manufacturing the light emitting module, and a lid member for the light emitting module. With the goal.

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる発光モジュールは、発光素子が配置される配置面と、前記発光素子の外側に空間を設けて囲むように配置面から立設された側壁とを有するパッケージ基板と、前記側壁の内側の空間を上方から覆うように配置される透光性の天板と、天板の外周部に立設されパッケージ基板の側壁の外側に配置される側壁とを有する蓋部材と、パッケージ基板の側壁の外側にあり、かつ前記発光素子を臨むことのできない位置に設けられた、パッケージ基板と蓋部材とを接合する封着部と、を備えることを特徴とする。
本発明にかかる発光モジュールは上記構成を備えているため、発光素子からの光が直接封着部に当たらないため、封着部を形成する封着材料の劣化が抑制され、発光素子が配置されている空間を確実に、また長期間にわたって密封状態を維持することができる。
The light emitting module according to the present invention made to achieve the above object includes an arrangement surface on which the light emitting element is arranged, and a side wall erected from the arrangement surface so as to surround and surround the light emitting element. A package substrate, a translucent top plate arranged so as to cover the space inside the side wall from above, and a side wall standing on the outer periphery of the top plate and arranged outside the side wall of the package substrate. And a sealing member that is provided on a position outside the side wall of the package substrate and that cannot face the light emitting element, and that joins the package substrate and the lid member. .
Since the light emitting module according to the present invention has the above-described configuration, the light from the light emitting element does not directly hit the sealing portion, so that deterioration of the sealing material forming the sealing portion is suppressed, and the light emitting element is arranged. The sealed space can be reliably maintained for a long period of time.

ここで、前記封着部が、蓋部材の側壁の下端面とパッケージ基板の配置面との間に配置されるのが望ましい。また、前記封着部が、蓋部材の側壁とパッケージ基板の側壁との間に配置されていても良い。   Here, it is desirable that the sealing portion is disposed between the lower end surface of the side wall of the lid member and the arrangement surface of the package substrate. The sealing portion may be disposed between the side wall of the lid member and the side wall of the package substrate.

また、前記蓋部材が焼結シリカであることが望ましい。
前記蓋部材が焼結シリカで形成されている場合には、発光素子からの光の吸収が少なく、照射効率の低下を抑制することができる。特に、蓋部材が複雑な形状の場合には、成形金型において前記形状にキャスト法もしくはゾルゲル法で成形し、焼結することにより、蓋部材を容易に得ることができる。
The lid member is preferably sintered silica.
When the lid member is formed of sintered silica, light absorption from the light emitting element is small, and a decrease in irradiation efficiency can be suppressed. In particular, when the lid member has a complicated shape, the lid member can be easily obtained by molding and sintering the above-mentioned shape in a molding die by a cast method or a sol-gel method.

また、蓋部材の側壁端部に金属層が設けられている場合には、前記金属層によって、蓋部材内部を伝わる光を反射することができ、封着部を形成する封着材料の劣化を抑制できる。   In addition, when a metal layer is provided on the side wall end of the lid member, the metal layer can reflect light transmitted through the inside of the lid member, thereby deteriorating the sealing material forming the sealing portion. Can be suppressed.

また、蓋部材の側壁に気泡が含まれていても良く、また前記蓋部材の側壁に金属酸化物が含まれていても良い。このように、蓋部材の側壁に気泡や金属酸化物が含まれている場合には、蓋部材内部を伝わる光を反射、あるいは吸収することができ、封着部を形成する封着材料の劣化を抑制できる。   Further, bubbles may be included in the side wall of the lid member, and a metal oxide may be included in the side wall of the lid member. As described above, when bubbles or metal oxides are included in the side wall of the lid member, the light transmitted through the lid member can be reflected or absorbed, and the sealing material that forms the sealing portion is deteriorated. Can be suppressed.

また、蓋部材の側壁の一部に、側壁の厚さを徐々に薄くした傾斜面部を備えていても良い。この傾斜面部によって、蓋部材内部を伝わる光を反射することができ、封着部を形成する封着材料の劣化を抑制できる。   Moreover, you may equip a part of side wall of a cover member with the inclined surface part which made the thickness of the side wall gradually thin. By this inclined surface portion, light transmitted through the inside of the lid member can be reflected, and deterioration of the sealing material forming the sealing portion can be suppressed.

発光素子が、深紫外光を発する発光素子であっても良い。
発光素子として、可視光や赤外光を発する発光素子を用いることができるが、特に、封着部を形成する封着材料の劣化の影響が大きい紫外光を発する発光素子の場合に、本発明の効果をより得ることができ、好ましい。
The light emitting element may be a light emitting element that emits deep ultraviolet light.
As the light-emitting element, a light-emitting element that emits visible light or infrared light can be used. In particular, in the case of a light-emitting element that emits ultraviolet light that is greatly affected by deterioration of the sealing material forming the sealing portion, the present invention. The effect of can be obtained more and is preferable.

パッケージ基板と蓋部材とを接合する封着部が、樹脂材料であっても良い。
封着部を形成する封着材料に、金属材料、ガラス材料を用いることができるが、発光素子からの光が直接当たらないため、樹脂材料を用いることができる。
封着部に樹脂材料を用いた場合には、パッケージ基板と蓋部材との熱膨張差を緩和することができ、また封着作業を容易に実施することができ、好ましい。
The sealing part for joining the package substrate and the lid member may be a resin material.
A metal material or a glass material can be used as a sealing material for forming the sealing portion, but a resin material can be used because light from the light emitting element is not directly applied.
When a resin material is used for the sealing portion, the difference in thermal expansion between the package substrate and the lid member can be reduced, and the sealing operation can be easily performed, which is preferable.

上記目的を達成するためになされた、本発明にかかる発光モジュールの製造方法は、パッケージ基板の配置面と配置面から立設する側壁により設けられた空間内部に発光素子を配置する工程と、前記発光素子が配置された前記空間を閉じ込めるように天板と側壁からなる蓋部材の側壁が、パッケージ基板の側壁の外側になるように配置する工程と、前記発光素子を臨むことのできない位置において、パッケージ基板と蓋部材とを接合し、封着する工程と、を含むことを特徴としている。
本発明にかかる発光モジュールの製造方法は、発光素子が配置された前記空間を密封するために、蓋部材の側壁が前記パッケージ基板の側壁の外側になるように配置し、前記発光素子を臨むことのできない位置において、パッケージ基板と蓋部材とを接合し、封着する。
そのため、この製造方法によって、製造された発光モジュールにあっては、発光素子からの光が直接封着部に当たらないため、封着部を形成する封着材料の劣化が抑制され、発光素子が配置されている空間を確実に、また長期間にわたって密封状態を維持することができる。
また、封着部の形成状態を外方から確認することができ、発光素子が配置された空間を確実に密封することができる。
A method for manufacturing a light emitting module according to the present invention, which has been made to achieve the above object, includes a step of disposing a light emitting element in a space provided by an arrangement surface of a package substrate and a side wall standing from the arrangement surface, In the step of arranging the side wall of the lid member made of the top plate and the side wall to be outside the side wall of the package substrate so as to confine the space in which the light emitting element is arranged, and at a position where the light emitting element cannot be faced, Joining the package substrate and the lid member and sealing the package substrate and the lid member.
In the method for manufacturing a light emitting module according to the present invention, in order to seal the space in which the light emitting element is disposed, the side wall of the lid member is disposed outside the side wall of the package substrate, and the light emitting element is faced. The package substrate and the lid member are joined and sealed at a position where the contact cannot be made.
Therefore, in the light emitting module manufactured by this manufacturing method, since light from the light emitting element does not directly hit the sealing portion, deterioration of the sealing material forming the sealing portion is suppressed, and the light emitting element is It is possible to reliably maintain the sealed space for a long period of time.
Moreover, the formation state of the sealing part can be confirmed from the outside, and the space in which the light emitting element is arranged can be reliably sealed.

また、本発明にかかる蓋部材は、シリカ粒子を含む造粒粉を調製した後、成形、焼結することにより焼結体として得られる透光性の蓋部材であることが望ましい。蓋部材は、キャスト法やゾルゲル法によって成形されれば、複雑な形状の蓋部材であっても容易に製作することができる。   The lid member according to the present invention is preferably a translucent lid member obtained as a sintered body by forming and sintering after preparing granulated powder containing silica particles. If the lid member is formed by a casting method or a sol-gel method, even a lid member having a complicated shape can be easily manufactured.

また、本発明にかかる発光モジュール用蓋部は、焼結シリカ製であって、天板と天板外周部から立設する側壁からなり、少なくとも天板は透光性を有し、天板が平板、あるいはは天板にレンズが形成されていることを特徴としている。
発光モジュール用蓋部が焼結シリカである場合には、紫外線の透光性に優れるとともに、細かく複雑な形状であっても製造は難しくない。
Further, the light emitting module cover according to the present invention is made of sintered silica, and includes a top plate and a side wall erected from the outer periphery of the top plate, at least the top plate has translucency, A lens is formed on a flat plate or a top plate.
When the light emitting module cover is made of sintered silica, it is excellent in ultraviolet light transmissivity and is not difficult to manufacture even if it has a fine and complicated shape.

更に、前記蓋部材の側壁に光の吸収または反射手段を設けることが好ましい。
蓋部材内部に入り込んだ紫外線は、反射を繰り返し、いくらかは封着部まで達する。そのため、蓋部材の側壁に傾斜部を設けたり、切込み部を設けたりして光を反射させる面を配置したり、蓋部材の側壁に微細な起泡を閉じ込めて光を反射させたり、金属酸化物をドープして光を吸収させたり、金属のコーティング層を設けて光を遮断する手段を設けることで、封着材の劣化を防止することができる。
Furthermore, it is preferable to provide light absorption or reflection means on the side wall of the lid member.
The ultraviolet light that has entered the inside of the lid member is repeatedly reflected, and some reaches the sealing part. For this reason, an inclined part is provided on the side wall of the lid member, or a notch part is provided to arrange a surface that reflects light, a fine foam is confined on the side wall of the lid member to reflect light, or metal oxidation is performed. Deterioration of the sealing material can be prevented by doping a material to absorb light or providing a metal coating layer to block light.

本発明によれば、発光素子の密封の耐久性を向上させた発光モジュール及び発光モジュールの製造方法、並びに発光モジュール用蓋部材を得ることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the light emitting module which improved the sealing durability of the light emitting element, the light emitting module, and the cover member for light emitting modules can be obtained.

図1は、本発明にかかる発光モジュールの実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a light emitting module according to the present invention. 図2は、図1のI−I断面図である。2 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 図3は、図1に示した実施形態の第1の変形例を示す図であって、図2に対応する断面図である。FIG. 3 is a view showing a first modification of the embodiment shown in FIG. 1, and is a cross-sectional view corresponding to FIG. 図4は、図1に示した実施形態の第2の変形例を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a second modification of the embodiment shown in FIG. 図5は、図1に示した実施形態の第3の変形例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a third modification of the embodiment shown in FIG. 図6は、図1に示した実施形態の第4の変形例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a fourth modification of the embodiment shown in FIG. 図7(a)は、図1に示した実施形態の第5の変形例を示す断面図、(b)は(a)の要部拡大図である。FIG. 7A is a cross-sectional view showing a fifth modification of the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. 7B is an enlarged view of the main part of FIG.

本発明にかかる発光モジュールの実施形態を、図1に基づいて説明する。
図1に示すように、発光モジュール1は、パッケージ基板2と、発光素子3と、蓋部材4と、封着部5とを備えている。
An embodiment of a light emitting module according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1, the light emitting module 1 includes a package substrate 2, a light emitting element 3, a lid member 4, and a sealing portion 5.

前記パッケージ基板2の配置面2aに、発光素子3が配置される。
この発光素子3が配置される領域Xの外側を囲むように、パッケージ基板2の配置面2aから突出した側壁2bが形成されている。この側壁2bは、パッケージ基板2の表面から立設された円筒状の側壁であり、発光素子3の外側を、空間を保って囲むように設けられている。
即ち、発光素子3は、側壁2bによって形成される空間S内に収容されるように、配置される。
A light emitting element 3 is arranged on the arrangement surface 2 a of the package substrate 2.
A side wall 2b protruding from the arrangement surface 2a of the package substrate 2 is formed so as to surround the outside of the region X in which the light emitting element 3 is arranged. The side wall 2b is a cylindrical side wall erected from the surface of the package substrate 2, and is provided so as to surround the outside of the light emitting element 3 while maintaining a space.
That is, the light emitting element 3 is disposed so as to be accommodated in the space S formed by the side wall 2b.

このパッケージ基板2は、アルミナ(Al23)や窒化アルミニウム(AlN)などを含むセラミック基板であり、いわゆるLTCC(低温同時焼成セラミックス:Low Temperature Co-fired Ceramics)、あるいは高温焼成セラミック多層基板(HTCC、High Temperature Co-fired Ceramic)であっても良い。
また、パッケージ基板2の裏面2cには、発光素子3のアノードまたはカソードと接続される外部電極(図示せず)が設けられる。
The package substrate 2 is a ceramic substrate containing alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), or the like. HTCC, High Temperature Co-fired Ceramic).
An external electrode (not shown) connected to the anode or cathode of the light emitting element 3 is provided on the back surface 2c of the package substrate 2.

前記発光素子3は、化合物半導体で構成されるLEDであり、前記空間S内に収容され、発光素子3の光は、蓋部材4の天板4aを通って外部に光を出射可能に構成されている。
この発光素子の光は、図1示す領域Yの範囲に出射され、側壁2bによって影になる領域(図1中、斜線で図示)には、前記発光素子3の光は直接照射されない。
The light-emitting element 3 is an LED composed of a compound semiconductor, and is housed in the space S. The light of the light-emitting element 3 can be emitted outside through the top plate 4a of the lid member 4. ing.
The light from the light-emitting element 3 is emitted to the area Y shown in FIG. 1, and the area shaded by the side wall 2b (shown by hatching in FIG. 1) is not directly irradiated with the light from the light-emitting element 3.

この発光素子3として深紫外光を発する発光素子が用いられる。例えば、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を用いた発光素子を用いることができる。
この深紫外光とは、波長が200nm〜350nmの紫外領域をいう。このような深紫外光を発する発光素子を用いることにより、例えば、飲料水等の殺菌を行うことができる。
A light emitting element that emits deep ultraviolet light is used as the light emitting element 3. For example, a light-emitting element using aluminum gallium nitride (AlGaN) can be used.
This deep ultraviolet light refers to an ultraviolet region having a wavelength of 200 nm to 350 nm. By using such a light emitting element that emits deep ultraviolet light, for example, sterilization of drinking water or the like can be performed.

前記蓋部材4は、側壁2bの内側の空間Sを密封するものであって、側壁2bの上方開口2b1を覆う透光性の部材である。
また、この蓋部材4は、側壁2bの上方開口2b1に対向する天板4aと、前記天板4aの一面に立設された側壁4bとを備えている。この側壁4bは円筒形状に形成され、パッケージ基板2の側壁2bの外側に配置される。
The lid member 4 seals the space S inside the side wall 2b and is a translucent member that covers the upper opening 2b1 of the side wall 2b.
The lid member 4 includes a top plate 4a facing the upper opening 2b1 of the side wall 2b, and a side wall 4b erected on one surface of the top plate 4a. The side wall 4 b is formed in a cylindrical shape and is disposed outside the side wall 2 b of the package substrate 2.

尚、図1では、蓋部材4の天板4aを平板状(平坦面)に形成した場合を示したが、この天板4aの断面形状を、凹レンズ、凸レンズ、フライアイレンズ等のレンズ断面形状に形成し、前記天板に、レンズを一体に形成しても良い。   1 shows the case where the top plate 4a of the lid member 4 is formed in a flat plate shape (flat surface), the cross-sectional shape of the top plate 4a is a cross-sectional shape of a lens such as a concave lens, a convex lens, or a fly-eye lens. The lens may be integrally formed on the top plate.

この蓋部材4がシリカガラスによって形成される場合には、発光素子からの光の吸収が少なく、照射効率の低下を抑制することができる。
特に、この蓋部材4が焼結シリカによって形成する場合には、蓋部材4が複雑な形状であっても、成形、焼結することによって、所定形状の蓋部材4を容易に得ることができる。
In the case where the lid member 4 is formed of silica glass, light absorption from the light emitting element is small and a decrease in irradiation efficiency can be suppressed.
In particular, when the lid member 4 is formed of sintered silica, even if the lid member 4 has a complicated shape, the lid member 4 having a predetermined shape can be easily obtained by molding and sintering. .

前記封着部5は、パッケージ基板2と蓋部材4とを接合する部位であって、前記側壁2bの外側であって、かつ前記発光素子3を臨むことのできない位置に設けられている。即ち、前記封着部5は、側壁2bによって影になる領域(図1中、斜線で図示)に配置される。
このように封着部5が特定の位置に配置されるため、発光素子3からの光が直接当たらない。その結果、封着部5を形成する封着材料の劣化を抑制でき、発光素子3が配置されている側壁2bによって囲まれる空間Sを確実に、また長期間にわたって密封状態にすることができる。
The sealing portion 5 is a portion where the package substrate 2 and the lid member 4 are joined, and is provided outside the side wall 2b and at a position where the light emitting element 3 cannot be faced. That is, the sealing part 5 is disposed in a region (shown by hatching in FIG. 1) that is shaded by the side wall 2b.
Thus, since the sealing part 5 is arrange | positioned in a specific position, the light from the light emitting element 3 does not hit directly. As a result, deterioration of the sealing material forming the sealing portion 5 can be suppressed, and the space S surrounded by the side wall 2b in which the light emitting element 3 is disposed can be surely sealed for a long period of time.

この封着部5の封着材料としては、金属材料、ガラス材料のほか、封着部5が発光素子からの光が直接当たらないため、樹脂材料を用いて封着することができる。
金属材料としては、金錫、電気用半田、コバール等を用いることができ、ガラス材料としては鉛を実質的に含まないビスマス系ガラス、錫−リン酸系ガラス、またはバナジウム系ガラス等の低融点ガラスを用いることができる。
また、樹脂材料としては、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、接着剤等を用いることができる。特に、樹脂材料を用いた場合には、パッケージ基板2と蓋部材4の接合を、容易に行うことができるため、好ましい。
なお、封着時には、前記空間Sに窒素などの不活性ガスが充填される。
As a sealing material for the sealing portion 5, in addition to a metal material and a glass material, the sealing portion 5 is not directly exposed to light from the light emitting element, and therefore can be sealed using a resin material.
As the metal material, gold tin, electrical solder, Kovar, etc. can be used, and as the glass material, low melting point such as bismuth glass, tin-phosphate glass, or vanadium glass substantially free of lead. Glass can be used.
As the resin material, silicone resin, phenol resin, polyimide resin, epoxy resin, adhesive, or the like can be used. In particular, the use of a resin material is preferable because the package substrate 2 and the lid member 4 can be easily joined.
At the time of sealing, the space S is filled with an inert gas such as nitrogen.

このように、発光モジュール1は、紫外光を発する発光素子3を密封し、蓋部材4を介して紫外光を外部に出射する。蓋部材4としてシリカガラス(焼結シリカ)が用いられる場合には、深紫外光を吸収することなく、深紫外光を効率よく外部に出射することができる。
しかも、封着部5が側壁2bの外側であって、かつ発光素子3を臨むことのできない位置に設けられているため、発光素子3からの深紫外光が直接当たらない。そのため、樹脂材料を用いて封着することができ、パッケージ基板2と蓋部材4の熱膨張差を緩和することができる。
その結果、封着部5を形成する封着材料の劣化を抑制でき、発光素子3が配置されている空間Sを確実に、また長期間にわたって密封状態にすることができる。
Thus, the light emitting module 1 seals the light emitting element 3 that emits ultraviolet light, and emits the ultraviolet light to the outside via the lid member 4. When silica glass (sintered silica) is used as the lid member 4, deep ultraviolet light can be efficiently emitted to the outside without absorbing deep ultraviolet light.
In addition, since the sealing portion 5 is provided outside the side wall 2b and at a position where the light emitting element 3 cannot be faced, the deep ultraviolet light from the light emitting element 3 is not directly applied. Therefore, sealing can be performed using a resin material, and the difference in thermal expansion between the package substrate 2 and the lid member 4 can be reduced.
As a result, deterioration of the sealing material forming the sealing portion 5 can be suppressed, and the space S in which the light emitting element 3 is disposed can be reliably sealed over a long period of time.

次に、発光モジュール1の製造方法について説明する。
まず、蓋部材4を製作する。この蓋部材4の製造は、公知の焼結シリカの製造方法を用いることができる。即ち、シリカ粒子を含む造粒粉を調製した後、得られた造粒粉でスラリーを製造し、それを金型等に入れ、成形し、乾燥した後、焼結することにより、焼結体である蓋部材が得られる。
Next, a method for manufacturing the light emitting module 1 will be described.
First, the lid member 4 is manufactured. The lid member 4 can be produced by a known method for producing sintered silica. That is, after preparing a granulated powder containing silica particles, a slurry is produced from the obtained granulated powder, and the slurry is put into a mold or the like, molded, dried, and then sintered. A lid member is obtained.

次に、パッケージ基板2を製造する。
このパッケージ基板2は、公知のパッケージ基板の製造方法を用いて、側壁2bが形成されたパッケージ基板2を製造する。
尚、側壁2bは、封着部5から発光素子3を臨むことのできない特定の位置(特定の高さ寸法)に形成される。
Next, the package substrate 2 is manufactured.
The package substrate 2 is manufactured by using a known package substrate manufacturing method.
In addition, the side wall 2b is formed in the specific position (specific height dimension) which cannot face the light emitting element 3 from the sealing part 5. FIG.

そして、パッケージ基板2の側壁2bによって形成される空間Sに発光素子3を収容し、パッケージ基板2と発光素子3の電気的接続を行う。
次に、蓋部材4を、パッケージ基板2の側壁2bの外側に蓋部材4の側壁4bが位置するように装着し、パッケージ基板2と蓋部材4とを接合し、発光素子3が配置された空間Sを閉じ込める。また接合する際、前記空間S内に窒素(N2)などの不活性ガスが充填された状態で、パッケージ基板2と蓋部材4が接合される。
And the light emitting element 3 is accommodated in the space S formed by the side wall 2b of the package substrate 2, and the package substrate 2 and the light emitting element 3 are electrically connected.
Next, the lid member 4 is mounted so that the side wall 4b of the lid member 4 is positioned outside the side wall 2b of the package substrate 2, the package substrate 2 and the lid member 4 are joined, and the light emitting element 3 is disposed. The space S is confined. When bonding, the package substrate 2 and the lid member 4 are bonded in a state where the space S is filled with an inert gas such as nitrogen (N 2 ).

本発明にかかる発光モジュールの製造方法にあっては、発光素子3が配置された空間Sを密封するために蓋部材4の側壁4bを、側壁2bの外側に配置し、前記発光素子3を臨むことのできない位置において、パッケージ基板2と蓋部材4とを封着部5により密封する。
そのため、封着部5の形成状態は外方から確認しやすく、発光素子3が配置された空間Sを確実に密封することができる。
In the method of manufacturing the light emitting module according to the present invention, the side wall 4b of the lid member 4 is disposed outside the side wall 2b in order to seal the space S in which the light emitting element 3 is disposed, and the light emitting element 3 is faced. The package substrate 2 and the lid member 4 are sealed by the sealing portion 5 at a position where it cannot be used.
Therefore, the formation state of the sealing part 5 can be easily confirmed from the outside, and the space S in which the light emitting element 3 is arranged can be reliably sealed.

また、前記蓋部材4は、シリカ粒子を含む造粒粉を調製した後、成形、焼結することにより製造することができるため、複雑な形状の蓋部材4であっても、容易に蓋部材4を製作することができる。   Moreover, since the said cover member 4 can be manufactured by preparing the granulated powder containing a silica particle, and shape | molding and sintering, even if it is the cover member 4 of complicated shape, a cover member is easy. 4 can be produced.

次に、 本発明にかかる発光モジュールの実施形態の変形例について、図3乃至図7に基づいて説明する。
(第1の変形例)
上記実施形態では、図2に示すように、側壁2b、側壁4bは円筒状に形成される場合を示したが、図3に示すように、側壁2b、側壁4bを矩形形状に形成しても良い。
Next, a modification of the embodiment of the light emitting module according to the present invention will be described with reference to FIGS.
(First modification)
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, the side wall 2b and the side wall 4b are formed in a cylindrical shape. However, as shown in FIG. 3, the side wall 2b and the side wall 4b may be formed in a rectangular shape. good.

(第2の変形例)
上記実施形態では、図1に示すように、側壁2bの内側側面はパッケージ基板2に対して略垂直に形成されている場合を示したが、図4に示すように、前記側壁2bの内側側面2b2を湾曲面して形成しても良い。もちろん、湾曲させず斜面にしてもかまわない。
(Second modification)
In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the inner side surface of the side wall 2b is formed substantially perpendicular to the package substrate 2, but as shown in FIG. 4, the inner side surface of the side wall 2b. 2b2 may be formed with a curved surface. Of course, you may make it a slope without making it curve.

(第3の変形例)
次に、図5基づいて第3の変形例を説明する。
この第3の変形例は、蓋部材4の側壁4bの端部に金属層6が設けられている点に特徴がある。この金属層6は、いわゆる反射部材であって、蓋部材4の内部を伝わる光を反射する(図中、反射する状態を模式的に矢印で示す)。
これにより、封着部5に深紫外光が当たるのを抑制でき、あるいは阻止でき、封着部5(封着材料)の劣化を抑制できる。
この金属層は、スパッタリング法によるアルミニウム薄膜を成膜することにより、形成される。
(Third Modification)
Next, a third modification will be described based on FIG.
The third modification is characterized in that a metal layer 6 is provided at the end of the side wall 4b of the lid member 4. This metal layer 6 is a so-called reflecting member, and reflects light transmitted through the inside of the lid member 4 (a state of reflection is schematically indicated by an arrow in the figure).
Thereby, it can suppress that a deep ultraviolet light hits the sealing part 5, or can prevent it, and can suppress degradation of the sealing part 5 (sealing material).
This metal layer is formed by forming an aluminum thin film by sputtering.

(第4の変形例)
次に、図6に基づいて第4の変形例を説明する。
この第4の変形例は、蓋部材4における側壁4bの一部に、側壁4bの厚さを徐々に薄くした傾斜面部4b1を備えている点に特徴がある。
蓋部材4の天板4aに照射された深紫外光は、天板4aを通過して外部に出射される。しかしながら、深紫外光の一部は、天板4aを通過せず、蓋部材4の内部を、反射を繰り返しながら伝わり、封着部5まで到達する。その結果、封着部の封着材料が劣化する。
この第4の変形例のように、この傾斜面部4b1によって、蓋部材4内部を伝わる光を反射することができ(図中、反射する状態を模式的に矢印で示す)、封着部5を形成する封着材料の劣化を抑制できる。尚、傾斜面の位置と角度は、パッケージ基板、蓋部材、発光素子の寸法、形状が決まった段階で、側壁内で反射を繰り返す光を最も多く垂直に受ける位置、角度に設けることが好ましい。
また、傾斜面部は、蓋部材4の側壁4bの内側だけでなく、外側に設けてもよい。また、蓋部材の側壁4bを一周するようなV字状の切込みを複数本設けてもよい。
さらに、図6のようにパッケージ基板2の側壁2bの外周に突起部を設けることにより、傾斜面部4b1から封着部5に光が直接伝わるのを防ぐことができる。
尚、図6に示すように、封着部5は、蓋部材4の側壁4bとパッケージ基板2の側壁2bとの間に配置されていても良い。
(Fourth modification)
Next, a fourth modification will be described based on FIG.
The fourth modification is characterized in that a part of the side wall 4b of the lid member 4 is provided with an inclined surface portion 4b1 in which the thickness of the side wall 4b is gradually reduced.
The deep ultraviolet light irradiated on the top plate 4a of the lid member 4 passes through the top plate 4a and is emitted to the outside. However, a part of the deep ultraviolet light does not pass through the top plate 4 a, travels through the inside of the lid member 4 while repeating reflection, and reaches the sealing portion 5. As a result, the sealing material of the sealing portion is deteriorated.
Like this 4th modification, the light which propagates the inside of the cover member 4 can be reflected by this inclined surface part 4b1 (in the figure, the reflective state is shown with an arrow), and the sealing part 5 is made Deterioration of the sealing material to be formed can be suppressed. In addition, the position and angle of the inclined surface are preferably provided at a position and an angle at which the light that repeats reflection in the side wall is received most vertically when the dimensions and shape of the package substrate, lid member, and light emitting element are determined.
Further, the inclined surface portion may be provided not only on the inner side of the side wall 4 b of the lid member 4 but also on the outer side. Further, a plurality of V-shaped cuts may be provided so as to go around the side wall 4b of the lid member.
Furthermore, by providing a protrusion on the outer periphery of the side wall 2b of the package substrate 2 as shown in FIG. 6, it is possible to prevent light from being directly transmitted from the inclined surface portion 4b1 to the sealing portion 5.
As shown in FIG. 6, the sealing portion 5 may be disposed between the side wall 4 b of the lid member 4 and the side wall 2 b of the package substrate 2.

(第5の変形例)
次に、図7に基づいて第5の変形例を説明する。
この第5の変形例は、蓋部材4の側壁4bに気泡(微細な気泡)7が含まれている点に特徴がある。このように、前記蓋部材4の側壁4bに微細な気泡7が含まれている場合には、図7(b)に示すように、蓋部材4の内部を伝わる光(図中、矢印で図示)が、前記気泡7の内周面で反射するため、封着部5を形成する封着材料の劣化を抑制できる。
尚、微細な気泡の径は幾何学散乱が支配的な数百μm〜数mmが望ましい。気泡の密度は強度に影響を与えない程度で多い方が好ましい。
(Fifth modification)
Next, a fifth modification will be described based on FIG.
This fifth modification is characterized in that bubbles (fine bubbles) 7 are included in the side wall 4b of the lid member 4. In this way, when fine bubbles 7 are included in the side wall 4b of the lid member 4, as shown in FIG. 7B, light transmitted through the inside of the lid member 4 (illustrated by arrows in the figure). ) Is reflected on the inner peripheral surface of the bubble 7, so that deterioration of the sealing material forming the sealing portion 5 can be suppressed.
The diameter of the fine bubbles is preferably several hundred μm to several mm where geometric scattering is dominant. It is preferable that the density of the bubbles is large so as not to affect the strength.

(第6の変形例)
次に、第6の変形例を説明する。
この第6の変形例は、蓋部材4の側壁4bに金属酸化物が含まれている点に特徴がある。このように、前記蓋部材4の側壁4bに金属酸化物が含まれている場合には、蓋部材内部を伝わる光が、前記金属酸化物によって吸収され、封着部を形成する封着材料の劣化を抑制できる。
金属酸化物の種類は酸化チタン、酸化セリウム、酸化亜鉛等で、側壁4bにスパッタリング法により成膜して形成しても良いし、側壁4bの端部から焼結前にドープしても良い。
(Sixth Modification)
Next, a sixth modification will be described.
The sixth modification is characterized in that the side wall 4b of the lid member 4 contains a metal oxide. Thus, when the side wall 4b of the lid member 4 contains a metal oxide, the light transmitted through the inside of the lid member is absorbed by the metal oxide, and a sealing material that forms a sealing portion is formed. Deterioration can be suppressed.
The metal oxide may be titanium oxide, cerium oxide, zinc oxide, or the like, and may be formed by sputtering on the side wall 4b or may be doped from the end of the side wall 4b before sintering.

尚、上記実施形態および第1〜第6の変形例においては、発光素子として紫外光を発するものを用いる場合を示したが、可視光や赤外光を発する発光素子を用いてもよい。
また、第1〜第6の変形例を複数同時に実施してもよい。
さらに、パッケージ基板2の側壁は、上記説明のような一重ではなく、二重とし、二枚の側壁の間に蓋部材の側壁を勘合させる構造でもよい。
In the above embodiment and the first to sixth modifications, the case where a light emitting element emitting ultraviolet light is used, but a light emitting element emitting visible light or infrared light may be used.
A plurality of first to sixth modifications may be performed simultaneously.
Furthermore, the side wall of the package substrate 2 is not single as described above, but may be double, and the side wall of the lid member may be fitted between the two side walls.

1 発光モジュール
2 パッケージ基板
2a 配置面
2b 側壁
2b1 上方開口
2b2 内側側面
2c 裏面
3 発光素子
4 蓋部材
4a 天板
4b 側壁
5 封着部
6 金属層
7 気泡
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emitting module 2 Package board 2a Arrangement surface 2b Side wall 2b1 Upper opening 2b2 Inner side surface 2c Back surface 3 Light emitting element 4 Lid member 4a Top plate 4b Side wall 5 Sealing part 6 Metal layer 7 Bubble

Claims (14)

発光素子が配置される配置面と、前記発光素子の外側に空間を設けて囲むように配置面から立設された側壁とを有するパッケージ基板と、
前記側壁の内側の空間を上方から覆うように配置される透光性の天板と、天板の外周部に立設されパッケージ基板の側壁の外側に配置される側壁とを有する蓋部材と、
パッケージ基板の側壁の外側にあり、かつ前記発光素子を臨むことのできない位置に設けられた、パッケージ基板と蓋部材とを接合する封着部と、
を備えることを特徴とする発光モジュール。
A package substrate having an arrangement surface on which the light emitting element is arranged, and a side wall erected from the arrangement surface so as to surround and surround the light emitting element;
A lid member having a translucent top plate arranged so as to cover the space inside the side wall from above, and a side wall standing on the outer periphery of the top plate and arranged outside the side wall of the package substrate;
A sealing portion that is provided on a position outside the side wall of the package substrate and that cannot face the light emitting element, and that joins the package substrate and the lid member;
A light emitting module comprising:
前記封着部が、蓋部材の側壁の下端面とパッケージ基板の配置面との間に配置されることを特徴とする請求項1の発光モジュール。   The light emitting module according to claim 1, wherein the sealing portion is disposed between a lower end surface of a side wall of the lid member and an arrangement surface of the package substrate. 前記封着部が、蓋部材の側壁とパッケージ基板の側壁との間に配置されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の発光モジュール。   The light emitting module according to claim 1, wherein the sealing portion is disposed between a side wall of the lid member and a side wall of the package substrate. 前記蓋部材が焼結シリカであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to any one of claims 1 to 3, wherein the lid member is sintered silica. 前記蓋部材の側壁下端部に金属層が設けられ、前記金属層によって、蓋部材内部を伝わる光を反射することを特徴する請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to any one of claims 1 to 4, wherein a metal layer is provided at a lower end portion of the side wall of the lid member, and the light transmitted through the inside of the lid member is reflected by the metal layer. 前記蓋部材の側壁に、気泡が含まれていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to claim 1, wherein bubbles are included in a side wall of the lid member. 前記蓋部材の側壁に、金属酸化物が含まれていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to claim 1, wherein a metal oxide is included in a side wall of the lid member. 前記蓋部材の側壁の一部に、側壁の厚さを徐々に薄くした傾斜面部を備え、
前記傾斜面部によって、蓋部材内部を伝わる光を反射することを特徴する請求項1乃至請求項7記載のいずれかに記載の発光モジュール。
A part of the side wall of the lid member is provided with an inclined surface portion in which the thickness of the side wall is gradually reduced,
The light emitting module according to claim 1, wherein light transmitted through the inside of the lid member is reflected by the inclined surface portion.
前記発光素子が、深紫外光を発する発光素子であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to claim 1, wherein the light emitting element is a light emitting element that emits deep ultraviolet light. 前記パッケージ基板と蓋部材とを接合する封着部が、樹脂材料によって形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の発光モジュール。   The light emitting module according to any one of claims 1 to 9, wherein a sealing portion that joins the package substrate and the lid member is formed of a resin material. 前記請求項1乃至請求項10のいずれかに記載された発光モジュールの製造方法であって、
パッケージ基板の配置面と配置面から立設する側壁により設けられた空間内部に発光素子を配置する工程と、
前記発光素子が配置された前記空間を閉じ込めるように天板と側壁からなる蓋部材の側壁が、パッケージ基板の側壁の外側になるように配置する工程と、
前記発光素子を臨むことのできない位置において、パッケージ基板と蓋部材とを接合し、封着する工程と、
を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
A method for manufacturing a light emitting module according to any one of claims 1 to 10,
A step of arranging a light emitting element in a space provided by a side surface standing from the arrangement surface of the package substrate and the arrangement surface;
A step of arranging the side wall of the lid member including the top plate and the side wall to be outside the side wall of the package substrate so as to confine the space in which the light emitting element is arranged;
Bonding the package substrate and the lid member at a position where the light emitting element cannot be faced, and sealing,
The manufacturing method of the optical module characterized by including.
前記蓋部材は、シリカ粒子を含む造粒粉を調製した後、成形、焼結することにより、得られる蓋部材であることを特徴とする請求項11記載に発光モジュールの製造方法。   The method for manufacturing a light emitting module according to claim 11, wherein the lid member is a lid member obtained by preparing granulated powder containing silica particles and then molding and sintering the granulated powder. 焼結シリカ製であって、天板と天板外周部から立設する側壁からなり、少なくとも天板は透光性を有し、天板が平板、あるいは天板にレンズが形成されていることを特徴とする発光モジュール用蓋部材。   It is made of sintered silica and consists of a top plate and side walls erected from the outer periphery of the top plate. At least the top plate has translucency and the top plate is a flat plate or a lens is formed on the top plate. A lid member for a light emitting module characterized by the above. 前記蓋部材の側壁に光の吸収または反射手段を設けたことを特徴とする請求項13記載の発光モジュール用蓋部材。   The light emitting module lid member according to claim 13, wherein light absorbing or reflecting means is provided on a side wall of the lid member.
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