JP2018195757A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2. 水素注入により形成される格子欠陥領域
3.置換型炭素領域
Claims (3)
- 水素をイオン注入した際に形成される格子欠陥に水素が結合することにより形成される水素関連ドナーに関し、置換型炭素の空間分布を制御することにより、水素関連ドナーの空間分布を自己整合的に置換型炭素位置に制御することを特徴としたシリコン中の水素関連ドナーの形成方法。
- 置換型炭素の空間分布に重なるように酸素不純物の分布を制御することにより、水素関連ドナーとウルトラシャローサーマルドナーおよび水素シャローサーマルドナーの空間分布を制御するとともに、ドナーの高濃度化を実現することを特徴とした請求項1項。
- 置換型炭素の水素に対するゲッタリング効果を利用することを特徴とした請求項1項および請求項2項。
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