JP2018189430A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018189385A (ja) * 2017-04-28 2018-11-29 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
TWI724709B (zh) 2019-12-25 2021-04-11 財團法人工業技術研究院 壓電感測電路及壓電感測系統
CN113029397B (zh) * 2019-12-25 2023-04-07 财团法人工业技术研究院 压电感测电路及压电感测系统
JP2021143934A (ja) 2020-03-12 2021-09-24 セイコーエプソン株式会社 チャージアンプ、力センサー及びロボット
CN117804646A (zh) * 2023-12-29 2024-04-02 弥富科技(浙江)股份有限公司 一种压力传感器及实现压力传感的方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4545041A (en) * 1982-10-27 1985-10-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Shock-hardened hydrophone
JPS63148137A (ja) * 1986-12-10 1988-06-21 Nippon Denso Co Ltd 圧電型圧力検出装置
DE50114947D1 (de) * 2000-02-07 2009-08-06 Kistler Holding Ag Prüfgerät zur ermittlung der reib- und vorspannwerte von schraubenverbindungen
EP1537609A2 (en) * 2002-09-04 2005-06-08 Triad Sensors Inc. Interface electronics for piezoelectric devices
FR2947050B1 (fr) * 2009-06-19 2011-07-15 Senseor Procede de fabrication collective de capteurs de temperature et/ou de deformation sans calibrage par appariement de resonateurs sur des criteres de frequence de resonance et de capacite statique
JP5936374B2 (ja) * 2011-02-15 2016-06-22 キヤノン株式会社 圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム
JP5742415B2 (ja) * 2011-04-14 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、力検出装置およびロボット
JP5880935B2 (ja) * 2011-12-20 2016-03-09 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、センサーモジュール、ロボット、センサーデバイスの製造方法
JP5895615B2 (ja) * 2012-03-09 2016-03-30 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置及びロボット
CN103994845B (zh) * 2013-02-19 2019-09-10 精工爱普生株式会社 力检测装置、机械手、以及移动体
KR101636223B1 (ko) * 2013-06-05 2016-07-04 니혼샤신 인사츠 가부시키가이샤 압력 검출 장치 및 입력 장치
JP6163900B2 (ja) 2013-06-13 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
CN104596676B (zh) * 2013-10-31 2019-03-26 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人、电子部件输送装置及检查装置
CN104596678A (zh) * 2013-10-31 2015-05-06 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人、电子部件输送装置以及检查装置
CN104596675B (zh) * 2013-10-31 2019-05-14 精工爱普生株式会社 传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置
JP6217320B2 (ja) * 2013-10-31 2017-10-25 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
CN103674353B (zh) * 2013-12-20 2015-07-15 中南大学 利用pvdf薄膜压电特性的混凝土应力传感器
CN104406728A (zh) * 2014-11-25 2015-03-11 北京理工大学 测量水下爆炸近场冲击波压力的锰铜压力传感器及装置

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