JP2018186680A5 - 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター - Google Patents

Claims (12)

1. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御方法であって、
   前記駆動信号と前記検出信号との位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態が異なることを特徴とする振動アクチュエーターの制御方法。
2. 前記振動体は、前記位相差が前記第１基準範囲内である場合に正常と判断され、前記位相差が前記第１基準範囲外である場合に異常と判断される請求項１に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
3. 前記振動体の前記位相差が前記第１基準範囲内である場合、前記位相差が所定値に近づくように前記駆動信号の周波数を変化させる請求項１または２に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
4. 前記位相差が前記第１基準範囲外である場合において、前記位相差が前記第１基準範囲とは異なる第２基準範囲内である場合と前記第２基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態が異なる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
5. 前記振動体は、被駆動部に当接させる当接部を備え、
   前記位相差が前記第１基準範囲内である場合は、前記当接部が回転振動するように前記振動体を振動させ、
   前記位相差が前記第２基準範囲内である場合は、前記当接部が前記被駆動部への当接方向に振動するように前記振動体を振動させ、
   前記位相差が前記第２基準範囲外である場合は、前記振動体の振動を停止する請求項４に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
6. 複数の前記振動体を有し、
   前記複数の振動体のうち、所定数以上の前記振動体が前記第１基準範囲外である場合は、前記複数の振動体の駆動を停止する請求項５に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
7. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの異常検出方法であって、
   前記駆動信号と前記検出信号との位相差に基づいて、前記振動体の異常を検出することを特徴とする振動アクチュエーターの異常検出方法。
8. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御装置であって、
   前記駆動信号と前記検出信号の位相差を検出する検出部と、
   前記位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態が異なる駆動制御部と、を有することを特徴とする振動アクチュエーターの制御装置。
9. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするロボット。
10. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
11. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプリンター。
12. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプロジェクター。