JP2018180531A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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和樹 尾形
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which is alkali-developable with a superior development rate, which shows good adhesiveness to a metal part of a metal film such as an MAM film, and which has high acid resistance and transparency of a cured product.SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises: a hydrophilic resin (A) having a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring as an essential structural monomer; a polyfunctional (meth)acrylate (B) having an isocyanuric skeleton; a silane compound (C) having an amino group; and a photopolymerization initiator (D). The structural percentage of the vinyl monomer (a1) having an aromatic ring in the hydrophilic resin (A) is preferably 15 to 80 wt.% based on the whole monomers constituting (A).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は光照射により硬化し、アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物に関する。詳しくは、カラーフィルター用保護膜、タッチパネル用保護膜、タッチパネル用絶縁膜及びビルドアップ基板用層間絶縁膜等に好適なアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition which is cured by light irradiation and is alkali developable. Specifically, the present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition suitable for a protective film for a color filter, a protective film for a touch panel, an insulating film for a touch panel, and an interlayer insulating film for a buildup substrate.

タッチパネルはその動作原理によって、抵抗膜方式、静電容量方式、光学方式、超音波方式及び電磁誘導方式等に分類される。最近では誤作動が少なく低コストで液晶表示装置等に搭載可能な静電容量方式のタッチパネルがよく用いられている。静電容量方式の場合、基板上にMAM(Molybdenum/Alminium/Molybdenumの三層構成)等の金属膜を形成して配線や電極部分が構築され、これらの金属部分を保護するための保護膜が形成される。このような保護膜にはMAM等の金属膜に対する密着性や金属膜のエッチング液(強酸)への耐酸性が要求される。   The touch panel is classified into a resistive film method, a capacitance method, an optical method, an ultrasonic method, an electromagnetic induction method, and the like according to its operation principle. Recently, a capacitive touch panel that can be mounted on a liquid crystal display device or the like with few malfunctions and at low cost is often used. In the case of the electrostatic capacitance type, a metal film such as MAM (Molybdenum / Alminium / Molybdenum three-layer structure) is formed on a substrate to construct a wiring or an electrode portion, and a protective film for protecting these metal portions It is formed. Such a protective film is required to have adhesion to a metal film such as MAM or the like, and acid resistance to an etching solution (strong acid) of the metal film.

感光性樹脂組成物の耐酸性を高くするには多官能(メタ)アクリレート化合物を使用し、架橋構造を密にする方法が考えられる。しかし多官能(メタ)アクリレートは硬化時の収縮が大きいために硬化物の内部応力が大きくなり、金属膜への密着性が低下する。   In order to increase the acid resistance of the photosensitive resin composition, it is conceivable to use a polyfunctional (meth) acrylate compound to make the crosslinked structure dense. However, since the polyfunctional (meth) acrylate has a large shrinkage at the time of curing, the internal stress of the cured product is increased and the adhesion to the metal film is reduced.

耐酸性と金属密着性を両立する方法として、特定のシランカップリング剤を使用する方法が開示されている(例えば特許文献1)。しかし、シランカップリング剤の添加により密着性は向上するものの、現像液に対して不溶化しやすく、添加によって樹脂の現像速度が低下することが問題となる。   As a method for achieving both acid resistance and metal adhesion, a method using a specific silane coupling agent is disclosed (for example, Patent Document 1). However, although the adhesion is improved by the addition of the silane coupling agent, it is easily insolubilized in the developer, and the problem is that the development rate of the resin is reduced by the addition.

特開2013−174643号公報JP, 2013-174643, A

本発明は、現像速度に優れたアルカリ現像が可能で、MAM等の金属膜の金属部分への良好な密着性を有し、更に高い耐酸性と硬化物の透明性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   The present invention is a photosensitive resin composition capable of alkali development excellent in developing speed, having good adhesion to metal parts of metal films such as MAM, and further excellent in high acid resistance and transparency of cured product. It aims to provide goods.

本発明者らは、上記の目的を達成すべく検討を行った結果、本発明に到達した。即ち本発明は、芳香環を有するビニルモノマー(a1)を必須構成単量体とする親水性樹脂(A)と、イソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)と、アミノ基を有するシラン化合物(C)と、光重合開始剤(D)とを含有する感光性樹脂組成物;前記感光性樹脂組成物を硬化させてなるタッチパネル用保護膜又はカラーフィルター用保護膜;前記感光性樹脂組成物を硬化されてなるタッチパネル用絶縁膜又はビルドアップ基板用層間絶縁膜である。   The present inventors arrived at the present invention as a result of studying to achieve the above object. That is, according to the present invention, a hydrophilic resin (A) containing a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring as an essential constituent monomer, a polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton, and a silane having an amino group A photosensitive resin composition containing a compound (C) and a photopolymerization initiator (D); a protective film for a touch panel or a protective film for a color filter formed by curing the photosensitive resin composition; the photosensitive resin composition It is an insulating film for a touch panel or an interlayer insulating film for a buildup substrate which is formed by curing an object.

本発明の感光性樹脂組成物は、現像速度に優れたアルカリ現像が可能で、MAM等の金属膜の金属部分への良好な密着性を有し、更に高い耐酸性と透明性を有するタッチパネル用若しくはカラーフィルター用保護膜又はタッチパネル用若しくはビルドアップ基板用絶縁膜を形成することができるという効果を奏する。   The photosensitive resin composition of the present invention is capable of alkali development excellent in developing speed, has good adhesion to metal parts of metal films such as MAM, and is further for high acid resistance and transparency. Alternatively, it is possible to form a protective film for a color filter or an insulating film for a touch panel or a buildup substrate.

本発明の感光性樹脂組成物は、芳香環を有するビニルモノマー(a1)を必須構成単量体とする親水性樹脂(A)と、イソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)と、アミノ基を有するシラン化合物(C)と、光重合開始剤(D)とを含有する。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises a hydrophilic resin (A) containing a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring as an essential constituent monomer, and a polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton. It contains a silane compound (C) having an amino group and a photopolymerization initiator (D).

尚、本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレート及び/又はメタクリレート」を、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸及び/又はメタクリル酸」を、「(メタ)アクリル樹脂」とは「アクリル樹脂及び/又はメタクリル樹脂」を、「(メタ)アクリロイル基」とは「アクリロイル基及び/又はメタクリロイル基」を、「(メタ)アクリロイロキシ基」とは「アクリロイロキシ基及び/又はメタクリロイロキシ基」を意味する。   In the present specification, "(meth) acrylate" means "acrylate and / or methacrylate", "(meth) acrylic acid" means "acrylic acid and / or methacrylic acid", and "(meth) acrylic resin" “Acrylic resin and / or methacryl resin”, “(meth) acryloyl group” means “acryloyl group and / or methacryloyl group”, “(meth) acryloyloxy group” means “acryloyloxy group and / or methacryl group” The term "leuoxy group" is meant.

また、アルカリ現像可能とは、現像液を用いて未硬化部を除去する工程で、現像液のアルカリ性水溶液で未硬化部分がきれいに除去できることを意味する。   Further, “alkali developable” means that in the step of removing the uncured portion using a developer, the uncured portion can be removed cleanly with an alkaline aqueous solution of the developer.

本発明の感光性樹脂組成物の第1の必須成分である芳香環を有するビニルモノマー(a1)を必須構成単量体とする親水性樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
本発明における親水性樹脂(A)のHLBは、好ましくは4〜19、更に好ましくは5〜19、特に好ましくは6〜19である。4以上であれば現像を行う際に、現像性が更に良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性が更に良好である。
The index of hydrophilicity in the hydrophilic resin (A) comprising a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring which is the first essential component of the photosensitive resin composition of the present invention as an essential component monomer is defined by HLB, Generally, the larger the value, the higher the hydrophilicity.
The HLB of the hydrophilic resin (A) in the present invention is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 19, and particularly preferably 6 to 19. If it is 4 or more, developability is further good when developing, and if it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further good.

本発明における「HLB」とは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば「界面活性剤入門」〔2007年三洋化成工業株式会社発行、藤本武彦著〕212頁に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。
HLBは有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から次式により計算することができる。
HLB=10×無機性/有機性
HLBを導き出すための有機性の値及び無機性の値については前記「界面活性剤入門」の213頁に記載の表の値を用いることができる。
The “HLB” in the present invention is an index showing the balance between hydrophilicity and lipophilicity, and is described, for example, on “Introduction to surfactants” (2007 published by Sanyo Chemical Industries, Ltd., Takehiko Fujimoto) on page 212. It is known as the calculated value by the Oda method, and not the calculated value by the Griffin method.
HLB can be calculated by the following equation from the ratio between the organic value and the inorganic value of the organic compound.
HLB = 10 × Inorganicity / Organicity As the organicity value and the inorganicity value for deriving HLB, the values in the table described on page 213 of “Introduction to Surfactants” can be used.

また、親水性樹脂(A)の溶解度パラメーター[単位は(cal/cm31/2:以下、SP値という。]は、好ましくは7〜14、更に好ましくは8〜13、特に好ましくは9〜13である。7以上であると更に現像性が良好であり、14以下であれば硬化物の耐水性が更に良好である。 Moreover, the solubility parameter of the hydrophilic resin (A) [unit: (cal / cm 3 ) 1/2 : hereinafter, referred to as SP value. ] Is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 9 to 13. When it is 7 or more, the developability is further good, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further good.

尚、本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,February,1974,Vol.14,No.2,Robert F.Fedors(147〜154頁)」
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, February, 1974, Vol. 14, No. 2, Robert F. Fedors (147-154)"

本発明における芳香環を有する親水性樹脂(A)は、耐酸性の観点から、分子内にラジカル重合性基を有することが好ましい。そのラジカル重合性有機基としては、光硬化性の観点から、(メタ)アクリロイル基、ビニル基及びアリル基が好ましく、更に好ましいのは(メタ)アクリロイル基である。   From the viewpoint of acid resistance, the hydrophilic resin (A) having an aromatic ring in the present invention preferably has a radically polymerizable group in the molecule. The radically polymerizable organic group is preferably a (meth) acryloyl group, a vinyl group and an allyl group from the viewpoint of photocurability, and more preferably a (meth) acryloyl group.

また、本発明の芳香環を有する親水性樹脂(A)が分子内に含有する親水性に寄与する官能基は、アルカリ現像性の観点から、カルボキシル基、エポキシ基、スルホン酸基及びリン酸基が好ましく、更に好ましいのはカルボキシル基である。   The functional group contributed to the hydrophilicity contained in the molecule by the hydrophilic resin (A) having an aromatic ring of the present invention is a carboxyl group, an epoxy group, a sulfonic acid group and a phosphoric acid group from the viewpoint of alkali developability. Is more preferred, and more preferred is a carboxyl group.

本発明の親水性樹脂(A)は、現像性及び透明性の観点から、芳香環を有するビニルモノマー(a1)を必須構成単量体として用いることが必要である。   From the viewpoint of developability and transparency, the hydrophilic resin (A) of the present invention needs to use a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring as an essential constituent monomer.

芳香環を有するビニルモノマー(a1)としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレン、ベンジルスチレン、ビニルナフタレン、4−ビニル安息香酸、桂皮酸、ヒドロキシスチレン、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸及び桂皮酸アミド等が挙げられる。芳香環を有するビニルモノマー(a1)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。   As the vinyl monomer (a1) having an aromatic ring, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, phenylstyrene, cyclohexylstyrene, benzylstyrene, vinylnaphthalene, 4-vinylbenzoic acid, cinnamic acid, hydroxystyrene, (meth) allylsulfonic acid, styrenesulfonic acid, α-methylstyrenesulfonic acid, cinnamic acid amide and the like can be mentioned. The vinyl monomer (a1) having an aromatic ring may be used alone or in combination of two or more.

親水性樹脂(A)中の芳香環を有するビニルモノマー(a1)の構成比率は、(A)を構成する全単量体に基づいて15〜80重量%が好ましく、更に好ましくは20〜70重量%である。   The proportion of the aromatic monomer-containing vinyl monomer (a1) in the hydrophilic resin (A) is preferably 15 to 80% by weight, more preferably 20 to 70% by weight, based on all the monomers constituting the (A). %.

親水性樹脂(A)を製造するために使用するモノマーとして、必須成分である芳香環を有するビニルモノマー(a1)以外に、(メタ)アクリル酸(a2)及び(メタ)アクリル酸エステル(a3)等を用いることができる。(a2)及び(a3)はそれぞれ1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。   As monomers used for producing the hydrophilic resin (A), (meth) acrylic acid (a2) and (meth) acrylic acid ester (a3) in addition to the vinyl monomer (a1) having an aromatic ring which is an essential component Etc. can be used. Each of (a2) and (a3) may be used alone or in combination of two or more.

(メタ)アクリル酸エステル(a3)としては、炭素数1〜30の直鎖又は分岐のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル(a31)、炭素数が2〜6のヒドロキシアルキル基を有する(メタ)アクリレートエステル(a32)及び炭素数3〜20の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル(a33)等が挙げられる。   The (meth) acrylic acid ester (a3) includes a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms (meth) acrylic acid ester (a31), and a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms ( The (meth) acrylate ester (a32) and the (meth) acrylic acid ester (a33) which has a C3-C20 alicyclic hydrocarbon group are mentioned.

炭素数1〜30の直鎖又は分岐のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル(a31)としては、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸ヘキサデシル、(メタ)アクリル酸ヘプタデシル及び(メタ)アクリル酸エイコシル等が挙げられ、好ましいのは(メタ)アクリル酸メチルである。   As the (meth) acrylic acid ester (a31) having a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, (meth) acrylate And the like) butyl acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, hexadecyl (meth) acrylate, heptadecyl (meth) acrylate and eicosyl (meth) acrylate etc. Meta) methyl acrylate.

炭素数が2〜6のヒドロキシアルキル基を有する(メタ)アクリレートエステル(a32)としては、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル及び(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate ester (a32) having a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms include hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxypropyl (meth) acrylate.

炭素数3〜20の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステル(a33)としては、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸4−t−ブチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ボルニル、(メタ)アクリル酸ノルボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸ノルボルニルメチル、(メタ)アクリル酸メンチル、(メタ)アクリル酸フェンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシエチル及び(メタ)アクリル酸シクロデシル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid ester (a33) having an alicyclic hydrocarbon group of 3 to 20 carbon atoms include cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, trimethylcyclohexyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid 4-t-butylcyclohexyl, bornyl (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, dimethyladamantyl (meth) acrylate, (meth) Norbornyl methyl acrylate, menthyl (meth) acrylate, fentyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl oxy (meth) acrylate And (meth) acrylic acid cyclode Le, and the like.

感光性樹脂組成物の硬化物の耐酸性の観点からは、親水性樹脂(A)の構成単量体として(メタ)アクリル酸メチル及び/又は(メタ)アクリル酸エチルを用いることが好ましい。
また、親水性樹脂(A)に親水性を付与する観点からは、親水性樹脂(A)の構成単量体として(メタ)アクリル酸(a2)を用いることが好ましい。
親水性樹脂(A)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
From the viewpoint of the acid resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, it is preferable to use methyl (meth) acrylate and / or ethyl (meth) acrylate as a constituent monomer of the hydrophilic resin (A).
Further, from the viewpoint of imparting hydrophilicity to the hydrophilic resin (A), it is preferable to use (meth) acrylic acid (a2) as a constituent monomer of the hydrophilic resin (A).
The hydrophilic resin (A) may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物中の親水性樹脂(A)の含有量は、現像性の観点から、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは10〜70重量%、更に好ましくは20〜40重量%である。   From the viewpoint of developability, the content of the hydrophilic resin (A) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 10 to 70% by weight, further preferably, based on the total weight of (A) to (D). Preferably it is 20-40 weight%.

本発明における親水性樹脂(A)の数平均分子量は好ましくは3,000〜100,000であり、更に好ましくは3,000〜50,000である。   The number average molecular weight of the hydrophilic resin (A) in the present invention is preferably 3,000 to 100,000, and more preferably 3,000 to 50,000.

本発明の感光性樹脂組成物の第2の必須成分であるイソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)としては、イソシアヌル骨格を有し、(メタ)アクリロイル基の数は2個以上であれば特に制限されない。感光性樹脂組成物がイソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)を含有することにより、耐酸性が向上する。更に耐酸性を向上させる観点からは、(B)は更に水酸基も含有することが好ましい。   The polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton, which is the second essential component of the photosensitive resin composition of the present invention, has an isocyanuric skeleton and the number of (meth) acryloyl groups is 2 or more There is no particular limitation if it is. When the photosensitive resin composition contains a polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton, the acid resistance is improved. From the viewpoint of further improving the acid resistance, (B) preferably further contains a hydroxyl group.

イソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)の具体例としては、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性ジ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、トリス[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]イソシアヌレート及びε−カプロラクトン変性トリス[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]イソシアヌレート等が挙げられ、水酸基を有するものが好ましい。
アルキレンオキサイド変性の場合のアルキレンオキサイドとしては、エチレンオキサイドが好ましく、用いるアルキレンオキサイドの重合度は1〜10であることが好ましい。
多官能(メタ)アクリレート(B)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton include: isocyanuric acid alkylene oxide modified di (meth) acrylate, isocyanuric acid alkylene oxide modified tri (meth) acrylate, tris [2- (meth) acryloyloxy Ethyl] isocyanurate and ε-caprolactone modified tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] isocyanurate, etc. may be mentioned, and those having a hydroxyl group are preferable.
As an alkylene oxide in the case of alkylene oxide modification | denaturation, ethylene oxide is preferable and it is preferable that the polymerization degrees of the alkylene oxide to be used are 1-10.
The polyfunctional (meth) acrylates (B) may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物中のイソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)の含有量は、耐酸性の観点から(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは20〜80重量%、更に好ましくは40〜65重量%である。   The content of the polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 20 based on the total weight of (A) to (D) from the viewpoint of acid resistance. It is preferably 80 to 80% by weight, more preferably 40 to 65% by weight.

本発明の感光性樹脂組成物の第3の必須成分であるアミノ基を有するシラン化合物(C)は、密着性の観点から、下記一般式(1)で表される化合物であることが好ましい。   The silane compound (C) having an amino group, which is the third essential component of the photosensitive resin composition of the present invention, is preferably a compound represented by the following general formula (1) from the viewpoint of adhesion.

Figure 2018180531
Figure 2018180531

一般式(1)におけるR1、R2及びR3はそれぞれ独立に炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基又は水酸基を表し、密着性の観点から、R1、R2及びR3の内の少なくとも1つは炭素数1〜6のアルコキシ基又は水酸基であることが必要である。また、アルコキシ基である場合は、その炭素数は1〜2であることが密着性の観点から好ましい。
一般式(1)におけるR4は炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。
R 1 in the general formula (1), R 2 and R 3 are each independently an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group or a hydroxyl group having 1 to 6 carbon atoms, from the viewpoint of adhesiveness, R 1, R It is necessary that at least one of 2 and R 3 be an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms or a hydroxyl group. Moreover, when it is an alkoxy group, it is preferable that the carbon number is 1-2 from an adhesive viewpoint.
R 4 in the general formula (1) represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.

一般式(1)で表される化合物の具体例としては、3−アミノプロピルトリエトキシシラン及び3−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
アミノ基を有するシラン化合物(C)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include 3-aminopropyltriethoxysilane and 3-aminopropyltrimethoxysilane.
The silane compound (C) having an amino group may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物中のアミノ基を有するシラン化合物(C)の含有量は、密着性の観点から(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは0.01〜15重量%、更に好ましくは0.1〜10重量%である。   The content of the silane compound (C) having an amino group in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 15 based on the total weight of (A) to (D) from the viewpoint of adhesion. % By weight, more preferably 0.1 to 10% by weight.

本発明の感光性樹脂組成物の第4の必須成分である光重合開始剤(D)としては、フォスフィンオキサイド化合物、ベンゾイルホルメート化合物、チオキサントン化合物、オキシムエステル化合物、ヒドロキシベンゾイル化合物、ベンゾフェノン化合物、ケタール化合物、α−アミノアルキルフェノン化合物等が挙げられる。   As the photopolymerization initiator (D) which is the fourth essential component of the photosensitive resin composition of the present invention, phosphine oxide compounds, benzoyl formate compounds, thioxanthone compounds, oxime ester compounds, hydroxybenzoyl compounds, benzophenone compounds, A ketal compound, an alpha-amino alkyl phenone compound, etc. are mentioned.

フォスフィンオキサイド化合物としては、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド及び2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
ベンゾイルホルメート化合物としては、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。
チオキサントン化合物としては、イソプロピルチオキサントン等が挙げられる。
オキシムエステル化合物としては、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]及びエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。
Examples of phosphine oxide compounds include bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide and 2,4,6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide.
Examples of benzoyl formate compounds include methyl benzoyl formate and the like.
As a thioxanthone compound, isopropyl thioxanthone etc. are mentioned.
As oxime ester compounds, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)] and ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like.

ヒドロキシベンゾイル化合物としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン及びベンゾインアルキルエーテル等が挙げられる。
ベンゾフェノン化合物としては、ベンゾフェノン等が挙げられる。
ケタール化合物としては、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
α−アミノアルキルフェノン化合物としては、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロ−ブタノン−1及び2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。
Examples of the hydroxybenzoyl compound include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and benzoin alkyl ether.
As a benzophenone compound, benzophenone etc. are mentioned.
Examples of the ketal compound include benzyl dimethyl ketal and the like.
As the α-aminoalkylphenone compound, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopro-butanone-1 and 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl]- 1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone etc. are mentioned.

これらの内、硬化性及び硬化物の着色の観点から好ましいのは、フォスフィンオキサイド化合物、ヒドロキシベンゾイル化合物及びα−アミノアルキルフェノン化合物である。
光重合開始剤(D)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Among these, phosphine oxide compounds, hydroxybenzoyl compounds and α-aminoalkylphenone compounds are preferable from the viewpoint of curing and coloring of the cured product.
The photopolymerization initiator (D) may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤(D)の使用量は、(A)〜(D)の合計に基づいて硬化性及び硬化物の着色の観点から、好ましくは2〜15重量%、更に好ましくは5〜10重量%である。   The amount of the photopolymerization initiator (D) used is preferably 2 to 15% by weight, more preferably 5 to 10% by weight from the viewpoints of curability and coloring of the cured product based on the total of (A) to (D). %.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、イソシアヌル骨格を有しない多官能(メタ)アクリレート(E)、レベリング剤(F)、酸化防止剤(G)及び溶剤を配合してもよい。   If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention may be blended with a polyfunctional (meth) acrylate (E) having no isocyanuric skeleton, a leveling agent (F), an antioxidant (G) and a solvent. Good.

イソシアヌル骨格を有しない多官能(メタ)アクリレート(E)としては、イソシアヌル骨格を有さず、かつ2個以上の(メタ)アクリロイル基を有するモノマーあれば、特に限定されずに用いることができる。(E)の数平均分子量は3,000以下が好ましい。
このような多官能(メタ)アクリレート(E)としては、2官能(メタ)アクリレート(E1)、3官能(メタ)アクリレート(E2)、4〜6官能(メタ)アクリレート(E3)及び7〜10官能(メタ)アクリレート(E4)が挙げられる。
As polyfunctional (meth) acrylate (E) having no isocyanuric skeleton, any monomer having no isocyanuric skeleton and having two or more (meth) acryloyl groups can be used without particular limitation. The number average molecular weight of (E) is preferably 3,000 or less.
As such polyfunctional (meth) acrylate (E), bifunctional (meth) acrylate (E1), trifunctional (meth) acrylate (E2), 4 to 6 functional (meth) acrylate (E3) and 7 to 10 Functional (meth) acrylates (E4) can be mentioned.

2官能(メタ)アクリレート(E1)としては、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えば、グリコールのジ(メタ)アクリレート、グリセリンのジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのジ(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−1,5−ペンタンジオールのジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−2−エチル−1,3−プロパンジオールのジ(メタ)アクリレート];多価アルコールのアルキレンオキサイド付加物と(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート及びグリセリンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート];水酸基含有両末端エポキシアクリレート;多価アルコールと(メタ)アクリル酸とヒドロキシカルボン酸のエステル化物[例えばヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート]等が挙げられる。
尚、多価アルコールの水酸基のすべてを(メタ)アクリル酸又はアルキレンオキサイド付加物等と反応させる必要はなく、未反応の水酸基が残っていてもよい。
Examples of the difunctional (meth) acrylate (E1) include esterified compounds of polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) acrylate of glycol, di (meth) acrylate of glycerin, dimeth of trimethylolpropane (Meth) acrylate, di (meth) acrylate of 3-hydroxy-1,5-pentanediol, di (meth) acrylate of 2-hydroxy-2-ethyl-1,3-propanediol]; alkylene oxide of polyhydric alcohol Esters of adducts and (meth) acrylic acid [eg, di (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane and di (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of glycerin]; hydroxyl group-containing both terminal epoxy acrylate; multiple Alcohol and (meta) ac Ester [example hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate] Le acid and hydroxycarboxylic acid, and the like.
In addition, it is not necessary to react all the hydroxyl groups of polyhydric alcohol with (meth) acrylic acid or an alkylene oxide adduct etc., and the unreacted hydroxyl group may remain.

3官能(メタ)アクリレート(E2)としては、グリセリンのトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのトリ(メタ)アクリレート及びトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the trifunctional (meth) acrylate (E2) include tri (meth) acrylate of glycerin, tri (meth) acrylate of trimethylolpropane, tri (meth) acrylate of pentaerythritol, and tri (ethylene oxide adduct of trimethylolpropane). Meta) acrylate etc. are mentioned.

4〜6官能(メタ)アクリレート(E3)としては、ペンタエリスリトールのテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールのヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールのプロピレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   As 4- to 6-functional (meth) acrylate (E3), tetra (meth) acrylate of pentaerythritol, penta (meth) acrylate of dipentaerythritol and hexa (meth) acrylate of dipentaerythritol, ethylene oxide addition of dipentaerythritol And penta (meth) acrylates of ethylene oxide adducts of dipentaerythritol and penta (meth) acrylates of propylene oxide adducts of dipentaerythritol.

7〜10官能の(メタ)アクリレート化合物としては、例えばジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応により得られる化合物等のジイソシアネート化合物と水酸基含有多官能(メタ)アクリレート化合物との反応により得られる化合物等が挙げられる。
イソシアヌル骨格を有しない多官能(メタ)アクリレート(E)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
As a 7-10 functional (meth) acrylate compound, for example, a reaction of a diisocyanate compound such as a compound obtained by the reaction of dipentaerythritol penta (meth) acrylate with hexamethylene diisocyanate and a hydroxyl group-containing polyfunctional (meth) acrylate compound And the like.
The polyfunctional (meth) acrylates (E) not having an isocyanuric skeleton may be used alone or in combination of two or more.

レベリング剤(F)としては、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤、両性界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びシリコン系界面活性剤等が挙げられる。これらの内で塗布性の観点から、フッ素系界面活性剤及びシリコン系界面活性剤が好ましく、相溶性の観点からオキシアルキル鎖を有する界面活性剤が好ましい。
レベリング剤(F)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Examples of the leveling agent (F) include anionic surfactants, cationic surfactants, nonionic surfactants, amphoteric surfactants, fluorine surfactants, silicon surfactants and the like. Among these, from the viewpoint of coatability, fluorosurfactants and silicone surfactants are preferable, and from the viewpoint of compatibility, surfactants having an oxyalkyl chain are preferable.
The leveling agent (F) may be used alone or in combination of two or more.

酸化防止剤(G)としては、フェノール系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤及びアミン系酸化防止剤等が挙げられる。これらの内、光硬化性と酸化防止能の観点から、好ましいのはフェノール系酸化防止剤であり、特に好ましいのは2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール(BHT)、2−t−ブチル−6−(3−t−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ペンチルフェニル)エチル]−4、6−ジ−t−ペンチルフェニルアクリレート、オクタデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−プロピオネート(イルガノックス1076)、チオジエチエレンビス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオナート(イルガノックス1035)、エチレンビス(オキシエチレン)ビス[3−(5−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−m−トリル)プロピオネート](イルガノックス245)、ヘキサメチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート(イルガノックス259)及びペンタエリスリトール・テトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート](イルガノックス1010)である。
酸化防止剤(G)は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Examples of the antioxidant (G) include phenol-based antioxidants, sulfur-based antioxidants, amine-based antioxidants, and the like. Among them, preferred are phenol-based antioxidants from the viewpoint of photocurability and antioxidant ability, and particularly preferred is 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol (BHT), 2- t-Butyl-6- (3-t-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate, 2- [1- (2-hydroxy-3,5-di-t-pentylphenyl) Ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenyl acrylate, octadecyl-3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) -propionate (Irganox 1076), thiodiethylene bis [3 -(3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate (IRGANOX 1035), ethylenebis (oxyethylene) bis [3- (5-ter) -Butyl-4-hydroxy-m-tolyl) propionate] (irganox 245), hexamethylenebis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate (irganox 259) and pentaerythritol Tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] (Irganox 1010).
The antioxidant (G) may be used alone or in combination of two or more.

溶剤としては、ケトン溶剤(アセトン、メチルエチルケトン及びシクロヘキサノン等)、エーテル溶剤(エーテルエステル溶剤及びエーテルアルコール溶剤を含む:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びメトキシブチルアセテート等)、エステル溶剤(酢酸ブチル及び乳酸エチル等)及びアルコール溶剤(1,3−ブチレングリコール及びジアセトンアルコール等)等が挙げられる。
溶剤は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
As the solvent, ketone solvents (acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone etc.), ether solvents (ether ether solvents and ether alcohol solvents including: propylene glycol monomethyl ether acetate and methoxy butyl acetate etc), ester solvents (butyl acetate and ethyl lactate etc) And alcohol solvents (such as 1,3-butylene glycol and diacetone alcohol).
The solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、プラネタリーミキサー等の公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。また、感光性樹脂組成物は、室温で液状であり、その粘度は好ましくは25℃で1〜200mPa・s、更に好ましくは2〜150mPa・sである。   The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained, for example, by mixing each of the above components with a known mixing device such as a planetary mixer. The photosensitive resin composition is liquid at room temperature, and its viscosity is preferably 1 to 200 mPa · s at 25 ° C., more preferably 2 to 150 mPa · s.

本発明の感光性樹脂組成物から硬化物を得る好ましい形成工程は、感光性樹脂組成物を基板上に塗布後、光照射し、アルカリ現像してパターン形成し、更にポストベークを行う工程である。
硬化物の形成は、一般的には以下の(1)〜(5)の工程で行われるが、これに限定されるものではない。
A preferable formation process of obtaining a cured product from the photosensitive resin composition of the present invention is a process of applying a photosensitive resin composition onto a substrate, irradiating light, alkali developing to form a pattern, and post-baking. .
The formation of the cured product is generally performed in the following steps (1) to (5), but is not limited thereto.

(1)基板上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程:
塗布方法としては、ロールコート、スピンコート、スプレーコート及びスリットコート等が挙げられ、塗布装置としては、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
膜厚は、好ましくは0.5〜100μmである
(1) Step of applying the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate:
The coating method may, for example, be roll coating, spin coating, spray coating or slit coating, and as the coating apparatus, a spin coater, an air knife coater, a roll coater, a bar coater, a bar coater, a die coater, a curtain coater, a gravure coater or a comma coater Etc.
The film thickness is preferably 0.5 to 100 μm.

(2)塗布された感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる(プリベーク)工程:
乾燥温度は、好ましくは20〜120℃、更に好ましくは30〜110℃である。乾燥時間は、好ましくは0.5〜10分、更に好ましくは1〜8分、特に好ましくは1〜5分である。乾燥は減圧又は常圧のどちらでもよい。
(2) A step of applying heat and drying the applied photosensitive resin composition layer as required (prebake):
The drying temperature is preferably 20 to 120 ° C, more preferably 30 to 110 ° C. The drying time is preferably 0.5 to 10 minutes, more preferably 1 to 8 minutes, and particularly preferably 1 to 5 minutes. Drying may be either reduced pressure or normal pressure.

(3)所定のフォトマスクを介して、活性光線により感光性樹脂組成物層の露光を行う工程:
活性光線としては、例えば、可視光線、紫外線及びレーザー光線が挙げられる。光線源としては、例えば、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ及び半導体レーザーが挙げられる。露光量としては、特に限定されないが、好ましくは20〜300mJ/cm2、生産コストの観点から20〜100mJ/cm2が更に好ましい。露光を行う工程においては、感光性樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基を有する成分が反応して光硬化反応する。
(3) A step of exposing the photosensitive resin composition layer by actinic light through a predetermined photomask:
Actinic radiation includes, for example, visible light, ultraviolet light and laser light. Examples of light sources include sunlight, high pressure mercury lamps, low pressure mercury lamps, metal halide lamps, and semiconductor lasers. The exposure amount is not particularly limited, preferably 20~300mJ / cm 2, further preferably 20~100mJ / cm 2 from the viewpoint of production cost. In the step of performing exposure, a component having a (meth) acryloyl group in the photosensitive resin composition reacts to cause a photocuring reaction.

(4)光照射後、未露光部を現像液で除去し、現像を行う工程:
現像液は、一般的にアルカリ水溶液を用いる。アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム及び炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩の水溶液;ヒドロキシテトラメチルアンモニウム及びヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げられる。
これらを単独又は2種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは20〜45℃である。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
(4) After light irradiation, the step of removing the unexposed area with a developer and performing development:
Generally, an alkaline aqueous solution is used as the developer. Examples of the aqueous alkali solution include aqueous solutions of alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; aqueous solutions of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate and sodium hydrogencarbonate; hydroxytetramethylammonium and hydroxytetraethylammonium etc. An aqueous solution of organic alkali is mentioned.
These may be used alone or in combination of two or more, and may be used by adding a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant or a nonionic surfactant.
As a developing method, there are a dip method and a shower method, but the shower method is preferable. The temperature of the developer is preferably 20 to 45 ° C. The development time is appropriately determined according to the film thickness and the solubility of the photosensitive resin composition.

(5)後加熱(ポストベーク)工程:
ポストベークの温度は好ましくは50〜280℃、更に好ましくは100〜250℃、特に好ましくは120〜240℃である。ポストベークの時間は、好ましくは5分〜2時間、更に好ましくは10分〜1時間、特に好ましくは15分〜45分である。
(5) Post-heating (post-baking) process:
The post-baking temperature is preferably 50 to 280 ° C., more preferably 100 to 250 ° C., particularly preferably 120 to 240 ° C. The post-baking time is preferably 5 minutes to 2 hours, more preferably 10 minutes to 1 hour, and particularly preferably 15 minutes to 45 minutes.

以下、実施例及び比較例により本発明を更に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、部は重量部を示す。   EXAMPLES The present invention will be further described by the following Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto. Hereinafter, parts indicate parts by weight.

製造例1 [親水性アクリル樹脂(A−1)50重量%溶液の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート172部を仕込み、90℃まで加熱した。ここにメタクリル酸127部、メタクリル酸メチル13部、スチレン145部、イソボルニルメタクリレート300部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート207部を均一混合した溶液と、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)5部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12部とを均一混合した溶液をそれぞれ滴下し、ガラス製反応容器中でラジカル重合を行い、アクリル樹脂を得た。
その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで樹脂濃度が50重量%となるように希釈して、本発明のアクリル樹脂(A−1)の50重量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。この(A−1)は芳香環を有する親水性アクリル樹脂で、SP値は10.7、HLBは6.4であった。
Production Example 1 [Production of 50% by Weight Solution of Hydrophilic Acrylic Resin (A-1)]
In a glass reaction vessel equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen introducing pipe, 172 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 90 ° C. A solution prepared by uniformly mixing 127 parts of methacrylic acid, 13 parts of methyl methacrylate, 145 parts of styrene, 300 parts of isobornyl methacrylate and 207 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate with dimethyl-2,2'-azobis (2-methyl) A solution prepared by uniformly mixing 5 parts of propionate) and 12 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped, respectively, and radical polymerization was performed in a glass reaction vessel to obtain an acrylic resin.
Thereafter, the resultant was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so as to have a resin concentration of 50% by weight to obtain a 50% by weight propylene glycol monomethyl ether acetate solution of the acrylic resin (A-1) of the present invention. This (A-1) is a hydrophilic acrylic resin having an aromatic ring, and has an SP value of 10.7 and an HLB of 6.4.

製造例2 [親水性アクリル樹脂(A−2)50重量%溶液の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート172部を仕込み、90℃まで加熱した。ここにメタクリル酸177部、メタクリル酸メチル13部、スチレン395部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート207部を均一混合した溶液と、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)5部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12部とを均一混合した溶液をそれぞれ滴下し、ガラス製反応容器中でラジカル重合を行い、アクリル樹脂を得た。
続いてグリシジルメタクリレート19部を仕込み、90℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで樹脂濃度が50重量%となるように希釈して、本発明のラジカル重合性基としてメタクロイル基を有するアクリル樹脂(A−2)の50重量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。この(A−2)はメタクリロイル基及び芳香環を有する親水性アクリル樹脂で、SP値は10.5、HLBは5.8であった。
Production Example 2 [Production of 50% by Weight Solution of Hydrophilic Acrylic Resin (A-2)]
In a glass reaction vessel equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen introducing pipe, 172 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 90 ° C. A solution prepared by uniformly mixing 177 parts of methacrylic acid, 13 parts of methyl methacrylate, 395 parts of styrene and 207 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, and 5 parts of dimethyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate) A solution prepared by uniformly mixing 12 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped, and radical polymerization was performed in a glass reaction container to obtain an acrylic resin.
Subsequently, 19 parts of glycidyl methacrylate is charged, reacted at 90 ° C. for 5 hours, and then diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the resin concentration becomes 50% by weight, and methacroyl group as a radically polymerizable group of the present invention. The 50 weight% propylene glycol monomethyl ether acetate solution of the acrylic resin (A-2) which has is obtained. The (A-2) is a hydrophilic acrylic resin having a methacryloyl group and an aromatic ring, and has an SP value of 10.5 and an HLB of 5.8.

比較製造例1 [親水性アクリル樹脂(A’−1)50重量%溶液の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート172部を仕込み、90℃まで加熱した。ここにメタクリル酸177部、メタクリル酸メチル13部、イソボルニルメタクリレート395部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート207部を均一混合した溶液と、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)5部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12部とを均一混合した溶液をそれぞれ滴下し、ガラス製反応容器中でラジカル重合を行い、アクリル樹脂を得た。
続いてグリシジルメタクリレート19部を仕込み、90℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで樹脂濃度が50重量%となるように希釈して、ラジカル重合性基としてメタクロイル基を有するアクリル樹脂(A’−1)の50重量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。この(A’−1)はメタクリロイル基と脂環式の構造を有する親水性アクリル樹脂で、SP値は10.9、HLBは7.5であった。
Comparative Production Example 1 [Production of 50% by Weight Solution of Hydrophilic Acrylic Resin (A′-1)]
In a glass reaction vessel equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen introducing pipe, 172 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 90 ° C. A solution prepared by uniformly mixing 177 parts of methacrylic acid, 13 parts of methyl methacrylate, 395 parts of isobornyl methacrylate and 207 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate with dimethyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate) A solution prepared by uniformly mixing 5 parts and 12 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped, respectively, and radical polymerization was performed in a glass reaction vessel to obtain an acrylic resin.
Subsequently, 19 parts of glycidyl methacrylate is charged, reacted at 90 ° C. for 5 hours, and then diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the resin concentration becomes 50% by weight, and acrylic having a methacroyl group as a radically polymerizable group The 50 weight% propylene glycol monomethyl ether acetate solution of resin (A'-1) was obtained. The (A'-1) is a hydrophilic acrylic resin having a methacryloyl group and an alicyclic structure, and has an SP value of 10.9 and an HLB of 7.5.

実施例1
表1に記載の配合処方に従い、(A−2)、(B−1)、(B−2)、(C−2)、(D−2)、(D−3)及び(G−1)を仕込み、均一になるまで攪拌し、更に追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して実施例1の感光性樹脂組成物を得た。
Example 1
According to the formulation described in Table 1, (A-2), (B-1), (B-2), (C-2), (D-2), (D-3) and (G-1) The mixture was stirred until uniform, and an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) was further added to obtain a photosensitive resin composition of Example 1.

表1中の商品名で表した原料の組成は、以下の通りである。
(B−1):「NKエステル A−9300」[イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート:新中村化学工業(株)製]
(B−2):「アロニックスM−215」[イソシアヌル酸EO変性ジアクリレート:東亜合成(株)製;水酸基を1個有する]
(C−1):「KBM−903」[アミノプロピルトリメチルシラン:信越化学(株)製]
(C−2):「KBE−903」[アミノプロピルトリエチルシラン:信越化学(株)製]
(C’−1):「KBM−5103」[3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン:信越化学(株)製]
(D−1):「イルガキュアー 819」[ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド:BASF(株)製)]
(D−2):「イルガキュアー 907」[2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン:BASF(株)製]
(D−3):「ルシリンTPO」[(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−ジフェニルフォスフィンオキサイド:BASF(株)製)]
(E−1):「アロニックスM−403」[ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物(ペンタ体比率=55モル%):東亜合成(株)製]
(E−2):「ETERMER235」[ペンタエリスリトールトリアクリレート:長興化学(株)製;官能基が3個]
(F−1):「KF−352A」[オキシアルキレン鎖を有するポリジメチルシロキサン:信越化学(株)製レベリング剤]
(F−2):「サーフロンS−386」[オキシアルキレン鎖を有するフッ素化合物:AGCセイミケミカル(株)製レベリング剤]
(G−1):「イルガノックス1010」[ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ―t―ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート:BASFジャパン(株)製酸化防止剤]
The composition of the raw material represented by the trade name in Table 1 is as follows.
(B-1): "NK ester A-9300" (isocyanuric acid EO modified triacrylate: Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. product)
(B-2): "ALONIX M-215" [isocyanuric acid EO modified diacrylate: manufactured by Toagosei Co., Ltd .; having one hydroxyl group]
(C-1): "KBM-903" [aminopropyl trimethylsilane: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. product]
(C-2): "KBE-903" [aminopropyl triethylsilane: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. product]
(C'-1): "KBM-5103" [3-acryloxypropyl trimethoxysilane: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. product]
(D-1): “IRGACURE 819” [bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide: manufactured by BASF Ltd.]
(D-2): “IRGACURE 907” [2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one: manufactured by BASF Ltd.]
(D-3): "Lucillin TPO" [(2,4,6-trimethylbenzoyl) -diphenylphosphine oxide: manufactured by BASF Ltd.]]
(E-1): “ALONIX M-403” [a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (penta isomer ratio = 55 mol%): Toagosei Co., Ltd. product]
(E-2): "ETERMER 235" [pentaerythritol triacrylate: manufactured by Changko Chemical Co., Ltd .; 3 functional groups]
(F-1): "KF-352A" [polydimethylsiloxane having an oxyalkylene chain: leveling agent manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.]
(F-2): "Surflon S-386" [a fluorine compound having an oxyalkylene chain: AGC Seimi Chemical Co., Ltd. manufactured leveling agent]
(G-1): “Irganox 1010” [pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate: antioxidant manufactured by BASF Japan Ltd.]

Figure 2018180531
Figure 2018180531

実施例2〜8及び比較例1〜4
実施例1と同様の操作で、表1に記載の配合処方に従って、実施例2〜8及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物を得た。
Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 4
In the same manner as in Example 1, photosensitive resin compositions of Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 were obtained according to the formulation described in Table 1.

実施例1〜8及び比較例1〜4の感光性樹脂組成物の硬化物の密着性、耐酸性、透明性及び現像性について以下の評価方法で性能評価を行った結果を表1に示す。   Table 1 shows the results of performance evaluation of the adhesion, acid resistance, transparency and developability of the cured products of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 by the following evaluation methods.

[密着性評価用の基板の作製]
10cm×10cm四方のMAM基板上に感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、乾燥膜厚が4.5μmとなるように塗膜を形成した。この塗膜を減圧下で完全に乾燥した後、ホットプレート上で85℃、2分間加熱した。得られた塗膜に対し、超高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射(i線換算で照度22mW/cm2)し、更に220℃、50分間加熱して、密着性評価用の基板を作製した。
<密着性の評価>
上記の基板の硬化膜にJIS K5600−5−6に準拠して、100個(10個×10個)のマスができるよう1mm幅にカッターナイフで切込みを入れて樹脂密着性を測定した。
測定結果は「試験後に基材フィルム上に残ったマス目/100」で表した。
[Preparation of a substrate for evaluation of adhesion]
A photosensitive resin composition was applied on a 10 cm × 10 cm square MAM substrate by a spin coater to form a coating film so that the dry film thickness was 4.5 μm. The coating was dried completely under reduced pressure and then heated at 85 ° C. for 2 minutes on a hot plate. The coating film obtained was irradiated with 100 mJ / cm 2 of light from an ultra-high pressure mercury lamp (illuminance 22 mW / cm 2 in i-line conversion), and further heated at 220 ° C. for 50 minutes to prepare a substrate for adhesion evaluation. did.
<Evaluation of adhesion>
According to JIS K5600-5-6, a cut knife was put into a 1 mm width with a cutter knife so that 100 squares (10 x 10) could be formed on the cured film of the above substrate, and resin adhesion was measured.
The measurement result was represented by "the squares / 100 remaining on the substrate film after the test".

[耐酸性及び透明性評価用の基板の作製]
10cm×10cm四方のガラス基板上に感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、乾燥膜厚が4.5μmとなるように塗膜を形成した。この塗膜を減圧下で完全に乾燥した後、ホットプレート上で85℃、2分間加熱した。得られた塗膜に対し、超高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射した(i線換算で照度22mW/cm2)し、更に220℃、50分間加熱して、耐酸性評価用の基板と透明性評価用の基板を作製した。
[Preparation of substrate for acid resistance and transparency evaluation]
The photosensitive resin composition was applied by a spin coater on a 10 cm × 10 cm glass substrate to form a coating film so that the dry film thickness was 4.5 μm. The coating was dried completely under reduced pressure and then heated at 85 ° C. for 2 minutes on a hot plate. The coating film obtained was irradiated with 100 mJ / cm 2 of light from an ultra-high pressure mercury lamp (illumination 22 mW / cm 2 in i-line conversion), and further heated at 220 ° C. for 50 minutes to obtain a substrate for acid resistance evaluation A substrate for transparency evaluation was produced.

<耐酸性の評価>
上記の方法で得られた硬化膜を有する基板を、液温20℃及び50℃の王水に5分間浸漬した。浸漬後、基板からの硬化膜剥がれの有無を観察して以下の基準で判定した。
◎:20℃と50℃で変化なし
○:20℃では変化がないが、50℃で少し剥がれあり
△:20℃でも少し剥がれあり
×:20℃で大きく剥がれあり
<Evaluation of acid resistance>
The substrate having the cured film obtained by the above method was immersed in aqua regia at a liquid temperature of 20 ° C. and 50 ° C. for 5 minutes. After immersion, the presence or absence of the cured film peeling from the substrate was observed and judged based on the following criteria.
:: no change at 20 ° C. and 50 ° C. ○: no change at 20 ° C., slight peeling at 50 ° C. Δ: slight peeling even at 20 ° C. ×: large peeling at 20 ° C.

<硬化物の透明性の評価>
上記の方法で得られた硬化膜を有する基板について、JIS K7105に準拠し、ヘイズメーター[商品名:「haze−gard dual」BYK gardner(株)製]を用いてヘイズを測定した。本評価方法では、ヘイズが1%以下であれば透明性が良好である。
<Evaluation of transparency of cured product>
About the board | substrate which has a cured film obtained by said method, based on JISK7105, the haze was measured using the haze meter [brand name: "haze-gard dual" BYK gardner KK-made]. In the present evaluation method, when the haze is 1% or less, the transparency is good.

[現像性の評価]
10cm×10cm四方のガラス基板上に感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布後、乾燥して乾燥膜厚5μmの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で80℃、3分間加熱し、その後0.05重量%KOH水溶液を用いて現像を行い、基板上に残留物が目視にて確認できなくなるまでにかかる時間(秒)を現像時間とした。
[Evaluation of developability]
The photosensitive resin composition was applied onto a 10 cm × 10 cm glass substrate by a spin coater and then dried to form a coating film having a dry film thickness of 5 μm. This coated film is heated on a hot plate at 80 ° C. for 3 minutes, then developed using a 0.05% by weight aqueous KOH solution, and the time (seconds) taken until the residue can not be visually confirmed on the substrate Development time.

本発明の実施例1〜8の感光性樹脂組成物は、表1に示す通り、密着性、耐酸性、硬化物の透明性及び現像性の全ての点で優れている。
一方、芳香環を有しない親水性アクリル樹脂(A’−1)を使用した比較例1では硬化物の透明性及び現像性が不十分であり、イソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)を使用しない比較例2では耐酸性が不十分である。
また、アミノ基を有するシラン化合物(C)を使用しない比較例3及び(C)ではなくアミノ基を有しないアルキルシラン(C’−1)を使用した比較例4は密着性が不良である。
As shown in Table 1, the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 8 of the present invention are excellent in all of adhesion, acid resistance, transparency of a cured product and developability.
On the other hand, in Comparative Example 1 in which a hydrophilic acrylic resin (A'-1) having no aromatic ring is used, the transparency and developability of the cured product is insufficient, and a polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton The acid resistance is insufficient in Comparative Example 2 which does not use.
Further, Comparative Example 3 in which the silane compound (C) having an amino group is not used and Comparative Example 4 in which an alkylsilane (C′-1) not having an amino group is used instead of (C) have poor adhesion.

本発明の樹脂は光照射を含む工程により硬化し、アルカリ現像速度に優れ高い密着性と耐薬品性、透明性を有しているため、カラーフィルター用保護膜、タッチパネル用保護膜、タッチパネル用絶縁膜及びビルドアップ基板用層間絶縁膜等として好適に使用できる。   The resin of the present invention is cured by a process including light irradiation and has excellent alkali development speed, high adhesion, chemical resistance and transparency, so the protective film for color filter, protective film for touch panel, insulation for touch panel It can be suitably used as a film, an interlayer insulating film for a buildup substrate, and the like.

Claims (7)

芳香環を有するビニルモノマー(a1)を必須構成単量体とする親水性樹脂(A)と、イソシアヌル骨格を有する多官能(メタ)アクリレート(B)と、アミノ基を有するシラン化合物(C)と、光重合開始剤(D)とを含有する感光性樹脂組成物。   A hydrophilic resin (A) containing a vinyl monomer (a1) having an aromatic ring as an essential constituent monomer, a polyfunctional (meth) acrylate (B) having an isocyanuric skeleton, and a silane compound (C) having an amino group And a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator (D). 前記シラン化合物(C)が、下記一般式(1)で表される化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2018180531
[式(1)中、R1、R2及びR3はそれぞれ独立に炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基又は水酸基を表し、R1、R2及びR3の内の少なくとも1つは炭素数1〜6のアルコキシ基又は水酸基であり、R4は炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the silane compound (C) is a compound represented by the following general formula (1).
Figure 2018180531
[In formula (1), R 1 , R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, or a hydroxyl group, and R 1 , R 2 and R 3 At least one of them is an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms or a hydroxyl group, and R 4 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. ]
前記親水性樹脂(A)中の前記芳香環を有するビニルモノマー(a1)の構成比率が、前記(A)を構成する全単量体の重量に基づいて15〜80重量%である請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。   The compositional ratio of the aromatic monomer-containing vinyl monomer (a1) in the hydrophilic resin (A) is 15 to 80% by weight based on the weight of all the monomers constituting the (A). Or 2 photosensitive resin compositions. 前記親水性樹脂(A)が、ラジカル重合性基を有する請求項1〜3のいずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition in any one of the Claims 1-3 in which the said hydrophilic resin (A) has a radically polymerizable group. 前記(A)〜(D)の合計重量に基づいて、前記(C)を0.01〜15重量%含有する請求項1〜4のいずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, which contains 0.01 to 15% by weight of (C) based on the total weight of (A) to (D). 請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなるタッチパネル用保護膜又はカラーフィルター用保護膜。   The protective film for touchscreens or the protective film for color filters which hardens the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-5. 請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化されてなるタッチパネル用絶縁膜又はビルドアップ基板用層間絶縁膜。   An insulating film for a touch panel or an interlayer insulating film for a buildup substrate, which is obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102683320B1 (en) * 2020-03-03 2024-07-09 동우 화인켐 주식회사 A curable resin comopsition, a pattern and a display device

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