JP2018180167A - Composition for solid state image sensors, infrared-shielding film and solid state image sensor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composition for solid state image sensors that can form an optical filter for solid state image sensors having both excellent visible light transmitting and infrared-shielding properties even when the composition only contains limited kinds of organic dyes.SOLUTION: A composition for solid state image sensors contains a phthalocyanine compound having a transmission spectrum represented by Figure 1.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、固体撮像素子用組成物、赤外線遮蔽膜及び固体撮像素子に関する。   The present invention relates to a composition for solid-state imaging device, an infrared shielding film, and a solid-state imaging device.

ビデオカメラ、デジタルカメラ、カメラ機能付き携帯電話等には、CCD(Charge−Coupled Device)イメージセンサやCMOS(Complementary MOS)イメージセンサ等の固体撮像素子が搭載されている。これらの固体撮像素子に備わるフォトダイオードの感度は、可視光領域から赤外線領域にわたる。このため、固体撮像素子においては、赤外線を遮断するためのフィルターが設けられている。この赤外線遮断フィルターにより、固体撮像素子の感度を人間の視感度に近づくように補正することができる。   Solid-state imaging devices such as a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor and a CMOS (Complementary MOS) image sensor are mounted on a video camera, a digital camera, a mobile phone with a camera function, and the like. The sensitivity of the photodiodes provided in these solid-state imaging devices ranges from the visible light range to the infrared range. For this reason, in the solid-state imaging device, a filter for blocking infrared rays is provided. The infrared blocking filter can correct the sensitivity of the solid-state imaging device so as to approach human visibility.

上記赤外線遮断フィルターには、赤外線遮蔽剤としての色素や顔料が含有されている。上記赤外線遮蔽剤には、可視光を十分に透過させつつ、赤外線を吸収する特性が求められる。このような赤外線遮蔽剤の一つとして、特に、近赤外線の良好な遮蔽剤として、フタロシアニン化合物を用いることが検討されている(特開2008−201952号公報参照)。   The infrared blocking filter contains a dye or a pigment as an infrared shielding agent. The infrared ray shielding agent is required to have a characteristic of absorbing infrared rays while sufficiently transmitting visible light. As one of such infrared shielding agents, in particular, using a phthalocyanine compound as a good shielding agent for near infrared rays has been studied (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-201952).

しかし、フタロシアニン化合物を用いた従来の赤外線遮断フィルターにおいても、可視光透過性と赤外線遮蔽性とが十分に満足されるものではない。そのため、良好な上記特性を発揮させるために、例えば多数種の赤外線遮蔽剤を混合して用いる場合もある。このような多数種の赤外線遮蔽剤の使用は、コスト高等、生産性の低下を引きおこす要因にもなる。また、フタロシアニン化合物を用いた従来の赤外線遮断フィルターにおいては、可視光域においてその透過性のばらつきが大きい場合がある。このような場合も、良好な視感度補正がなされないことになる。   However, even in the conventional infrared blocking filter using a phthalocyanine compound, the visible light transmitting property and the infrared shielding property are not sufficiently satisfied. Therefore, in order to exhibit the above-mentioned good properties, for example, many kinds of infrared shielding agents may be mixed and used. The use of such a large number of infrared shielding agents is also a factor causing high cost and reduced productivity. Moreover, in the conventional infrared blocking filter using a phthalocyanine compound, the dispersion | variation in the transmittance | permeability may be large in visible region. Also in such a case, good visibility correction will not be made.

特開2008−201952号公報JP, 2008-20195, A

しかし、フタロシアニン化合物を用いた従来の固体撮像素子用の赤外線遮断フィルターにおいても、可視光透過性と赤外線遮蔽性とが十分に満足されるものではない。そのため、良好な上記特性を発揮させるために、例えば多数種の赤外線遮蔽剤を混合して用いる場合もある。このような多数種の赤外線遮蔽剤の使用は、コスト高等、生産性の低下を引きおこす要因にもなる。また、フタロシアニン化合物を用いた従来の赤外線遮断フィルターにおいては、可視光域においてその透過性のばらつきが大きい場合がある。このような場合も、良好な視感度補正がなされないことになる。   However, even in the case of an infrared blocking filter for a conventional solid-state imaging device using a phthalocyanine compound, the visible light transmitting property and the infrared shielding property are not sufficiently satisfied. Therefore, in order to exhibit the above-mentioned good properties, for example, many kinds of infrared shielding agents may be mixed and used. The use of such a large number of infrared shielding agents is also a factor causing high cost and reduced productivity. Moreover, in the conventional infrared blocking filter using a phthalocyanine compound, the dispersion | variation in the transmittance | permeability may be large in visible region. Also in such a case, good visibility correction will not be made.

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる固体撮像素子用組成物、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜、及びこのような赤外線遮蔽膜を有する固体撮像素子を提供することである。   The present invention has been made based on the above circumstances, and the object thereof is to have both good visible light transmission and infrared shielding properties even when the type of the organic dye contained is small. A composition for a solid-state imaging device capable of forming an optical filter for a solid-state imaging device, solid-state imaging having both excellent visible light transparency and infrared shielding properties even if the type of organic dye contained is small An infrared shielding film for a device, and a solid-state imaging device having such an infrared shielding film.

上記課題を解決するためになされた発明は、下記式(1)で表されるフタロシアニン化合物(以下、「[A]フタロシアニン化合物」とも称する。)を含有する固体撮像素子用組成物である。

Figure 2018180167
(式(1)中、複数のRは、それぞれ独立して、アルキル基又はアリール基である。複数のXは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基である。複数のXは、互いに結合してこれらが結合する炭素鎖と共に芳香環を形成していてもよい。Mは、2つの水素原子、2価の金属原子、又は3若しくは4価の金属原子の誘導体である。複数のnは、それぞれ独立して、3〜6の整数である。) The invention made in order to solve the above-mentioned subject is a composition for solid imaging devices containing the phthalocyanine compound (Hereafter, it is also called "[A] phthalocyanine compound.") Represented by following formula (1).
Figure 2018180167
(In formula (1), a plurality of R's are each independently an alkyl group or an aryl group. A plurality of X's are each independently a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. A plurality of X's is M may be bonded to each other to form an aromatic ring together with the carbon chain to which they are bonded M is a derivative of two hydrogen atoms, a divalent metal atom, or a trivalent or tetravalent metal atom. Each n is independently an integer of 3 to 6)

上記課題を解決するためになされた別の発明は、当該固体撮像素子用組成物から形成される赤外線遮蔽膜(I)である。   Another invention made to solve the above problems is an infrared shielding film (I) formed from the composition for a solid-state imaging device.

上記課題を解決するためになされたさらに別の発明は、実質的に1種又は2種のみの有機色素を含有し、下記(A)〜(C)を満たす固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜(II)である。
(A)波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値が75%以上
(B)波長700nm900nm以下の範囲における透過率の平均値が16.5%以下
(C)波長1200nmにおける透過率が10%以下
Still another invention made to solve the above problems essentially comprises an infrared shielding film for a solid-state imaging device (A) to (C), which contains substantially only one or two organic dyes and satisfies the following (A) to (C) II).
(A) The average value of transmittance in the wavelength range of 430 nm to 580 nm is 75% or more (B) The average value of transmittance in the range of wavelength 700 nm to 900 nm is 16.5% or less (C) The transmittance at wavelength 1200 nm is 10 %Less than

上記課題を解決するためになされたさらに別の発明は、当該赤外線遮蔽膜(I)又は当該赤外線遮蔽膜(II)を有する固体撮像素子である。   Another invention made in order to solve the above-mentioned subject is a solid-state image sensing device which has the infrared shielding film (I) or the infrared shielding film (II).

本発明によれば、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる固体撮像素子用組成物、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜、及びこのような赤外線遮蔽膜を有する固体撮像素子を提供することができる。   According to the present invention, a solid-state imaging device capable of forming an optical filter for a solid-state imaging device having both excellent visible light transparency and infrared shielding properties even when the type of organic dye contained is small Composition, an infrared shielding film for a solid-state imaging device having both good visible light transmittance and infrared shielding properties even when the type of the organic pigment contained is small, and such an infrared shielding film A solid-state imaging device can be provided.

図1は、実施例1の赤外線遮蔽膜の透過スペクトルである。FIG. 1 is a transmission spectrum of the infrared shielding film of Example 1.

以下、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用組成物、赤外線遮蔽膜及び固体撮像素子について詳説する。   Hereinafter, the composition for a solid-state imaging device, the infrared shielding film, and the solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

<固体撮像素子用組成物>
本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用組成物(以下、単に「組成物」とも称する。)は、[A]フタロシアニン化合物を含有する。当該組成物は、金属酸化物、銅化合物([A]フタロシアニン化合物を除く)又はこれらの組み合わせである[B]赤外線遮蔽剤をさらに含有することが好ましい。
<Composition for solid-state imaging device>
The composition for a solid-state imaging device (hereinafter, also simply referred to as a “composition”) according to an embodiment of the present invention contains an [A] phthalocyanine compound. It is preferable that the said composition further contains the [B] infrared rays shielding agent which is a metal oxide, copper compounds (except [A] phthalocyanine compound), or these combination.

([A]フタロシアニン化合物)
[A]フタロシアニン化合物は、下記式(1)で表される化合物である。[A]フタロシアニン化合物は、可視光領域(例えば430nm以上580nm以下の波長領域)の透過性が高く、一方、近赤外線領域(例えば700nm以上900nm以下の波長領域)の遮蔽性が高い。当該組成物は、このような[A]フタロシアニン化合物を含有するため、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える光学フィルターを形成することができる。また、当該組成物は、このような[A]フタロシアニン化合物を含有するため、可視光領域における均一透過性の高い光学フィルターを形成することができる。
([A] phthalocyanine compound)
[A] The phthalocyanine compound is a compound represented by the following formula (1). [A] The phthalocyanine compound has high transparency in the visible light range (eg, a wavelength range of 430 nm to 580 nm), and high shielding properties in the near infrared range (eg, a wavelength range of 700 nm to 900 nm). Since the composition contains such [A] phthalocyanine compound, it forms an optical filter having both good visible light transmittance and infrared shielding properties even when the type of the organic dye contained is small. can do. Moreover, since the said composition contains such [A] phthalocyanine compound, it can form an optical filter with high uniform transmittance | permeability in visible region.

Figure 2018180167
Figure 2018180167

式(1)中、複数のRは、それぞれ独立して、アルキル基又はアリール基である。複数のXは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基である。複数のXは、互いに結合してこれらが結合する炭素鎖と共に芳香環を形成していてもよい。Mは、2つの水素原子、2価の金属原子、又は3若しくは4価の金属原子の誘導体である。複数のnは、それぞれ独立して、3〜6の整数である。   In Formula (1), a plurality of R's are each independently an alkyl group or an aryl group. The plurality of X's are each independently a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. A plurality of X may be bonded to each other to form an aromatic ring with the carbon chain to which they are bonded. M is a derivative of two hydrogen atoms, a divalent metal atom, or a trivalent or tetravalent metal atom. Each of the plurality n is independently an integer of 3 to 6.

上記Rで表されるアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等の炭素数1〜30の直鎖状又は分岐状のアルキル基を挙げることができる。   Examples of the alkyl group represented by R include methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, 2-methylpropyl group, 1-methylpropyl group and t-butyl group A C1-C30 linear or branched alkyl group can be mentioned.

上記Rで表されるアリール基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントラセニル基等を挙げることができる。   As an aryl group represented by said R, a phenyl group, a tolyl group, xylyl group, a naphthyl group, an anthracenyl group etc. can be mentioned.

上記Rとしては、アルキル基が好ましく、炭素数1〜12の直鎖状又は分岐状のアルキル基がより好ましい。さらに、このアルキル基の炭素数の上限は、6が好ましく、4がより好ましく、2がさらに好ましい。上記Rとしては、メチル基が特に好ましい。   As said R, an alkyl group is preferable and a C1-C12 linear or branched alkyl group is more preferable. Further, the upper limit of the carbon number of the alkyl group is preferably 6, more preferably 4, and still more preferably 2. As said R, a methyl group is especially preferable.

上記Xで表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等を挙げることができる。   As a halogen atom represented by said X, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom etc. can be mentioned.

上記Xで表されるアルキル基としては、上記Rで表されるアルキル基として例示したものを挙げることができる。   As an alkyl group represented by said X, what was illustrated as an alkyl group represented by said R can be mentioned.

複数のXは、互いに結合していてよい。通常、複数のXのうち、同一のベンゼン環に結合している2つのXが互いに結合し、これらが結合する炭素鎖と共に芳香環を形成する。形成される芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環等を挙げることができる。これらの芳香環の水素原子は、炭化水素基やその他の置換基で置換されていてもよい。   Multiple X's may be joined together. Usually, among a plurality of X's, two X's bonded to the same benzene ring are bonded to each other to form an aromatic ring together with the carbon chain to which they are bonded. As an aromatic ring formed, a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring etc. can be mentioned. The hydrogen atom of these aromatic rings may be substituted by a hydrocarbon group or another substituent.

上記Xとしては、水素原子が好ましい。   As said X, a hydrogen atom is preferable.

上記Mで表される2価の金属原子としては、Pd、Cu、Zn、Pt、Ni、Co、Fe、Mn、Sn、In、Ru、Rh、Pb等を挙げることができる。なお、2価の金属原子とは、2価のカチオンになることができる金属原子をいう。   Examples of the divalent metal atom represented by M include Pd, Cu, Zn, Pt, Ni, Co, Fe, Mn, Sn, In, Ru, Rh, Pb and the like. In addition, a bivalent metal atom means the metal atom which can become a bivalent cation.

ここで、金属原子の誘導体とは、金属原子を含む原子群をいう。3価の金属原子とは、3価のカチオンになることができる金属原子をいう。3価の金属原子としては、Al、In等が挙げられる。4価の金属原子とは、4価のカチオンになることができる金属原子をいう。4価の金属原子としては、Si、Ge、Sn等を挙げることができる。なお、金属原子には、半金属原子も含まれる。上記Mで表される3又は4価の金属原子の誘導体としては、AlCl、AlBr、AlI、AlOH、InCl、InBr、InI、InOH、SiCl、SiBr、SiI、Si(OH)、GeCl、GeBr、GeI、SnCl、SnBr、SnI、Sn(OH)、VO、TiO等を挙げることができる。 Here, a derivative of a metal atom refers to an atom group containing a metal atom. The trivalent metal atom refers to a metal atom that can be a trivalent cation. Examples of trivalent metal atoms include Al and In. The tetravalent metal atom refers to a metal atom that can be a tetravalent cation. Si, Ge, Sn etc. can be mentioned as a tetravalent metal atom. The metal atom also includes a semimetal atom. As derivatives of the trivalent or tetravalent metal atom represented by M, AlCl, AlBr, AlI, AlOH, InCl, InBr, InBr, InI, InOH, SiCl 2 , SiBr 2 , SiBr 2 , SiI 2 , Si (OH) 2 , GeCl 2 , GeBr 2 , GeI 2 , SnCl 2 , SnBr 2 , SnI 2 , Sn (OH) 2 , VO, TiO and the like.

上記Mとしては、H(2つの水素原子)、Pd、Cu、Zn、Pt、Ni、Co、Fe、Mn、Sn、In、SnCl、AlCl、VO及びTiOが好ましく、VOがより好ましい。 As M, H 2 (two hydrogen atoms), Pd, Cu, Zn, Pt, Ni, Co, Fe, Mn, Sn, In, SnCl 2 , AlCl, VO and TiO are preferable, and VO is more preferable.

上記nの下限としては、4が好ましい。上記nの上限としては、5が好ましく、4がより好ましい。   The lower limit of the above n is preferably 4. As an upper limit of said n, 5 is preferable and 4 is more preferable.

[A]フタロシアニン化合物の極大吸収波長の下限は、680nmが好ましく、700nmがより好ましく、720nmがさらに好ましい。一方、この極大吸収波長の上限は、1,000nmが好ましく、900nmがより好ましく、800nmがさらに好ましく、750nmがよりさらに好ましい。[A]フタロシアニン化合物の極大吸収波長が上記範囲であることにより、より良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える光学フィルターを形成することができる。   The lower limit of the maximum absorption wavelength of the [A] phthalocyanine compound is preferably 680 nm, more preferably 700 nm, and still more preferably 720 nm. On the other hand, the upper limit of the maximum absorption wavelength is preferably 1,000 nm, more preferably 900 nm, still more preferably 800 nm, and still more preferably 750 nm. [A] When the maximum absorption wavelength of the phthalocyanine compound is in the above range, it is possible to form an optical filter having both better visible light transmittance and infrared shielding properties.

[A]フタロシアニン化合物の合成方法は特に限定されず、公知の方法を組み合わせて合成することができる。例えば、下記scheme1に沿って合成することができる。   [A] The synthesis method of the phthalocyanine compound is not particularly limited, and can be synthesized by combining known methods. For example, it can be synthesized along scheme 1 below.

Figure 2018180167
Figure 2018180167

scheme1中、R、X、M及びnは、式(1)と同義である。   In scheme 1, R, X, M and n are as defined in the formula (1).

なお、上記scheme1中のジシアノ化合物として、置換基(RO(CH−又はX)の異なる複数種のジシアノ化合物を用いてもよい。M2+で表される金属イオン等の供給源としては、酢酸塩、塩化物、臭化物、硝酸塩、硫酸塩等の各種金属塩が挙げられる。上記式(0)で表される化合物と、金属塩等とを溶媒中で混合することにより、上記式(1)で表される[A]フタロシアニン化合物を得ることができる。上記溶媒としては、芳香族炭化水素(ベンゼン、トルエン等)、脂肪族炭化水素(ヘキサン、シクロヘキサン等)、塩素化炭化水素(塩化メチレン、クロロホルム、ジクロロエタン等)、DMF、DMSO、アセトニトリル、THF、N−メチルピロリドン、ジオキサン、アルコール(メタノール、エタノール等)等を挙げることができる。 In addition, as a dicyano compound in the above-mentioned scheme 1, a plurality of dicyano compounds different in the substituent (RO (CH 2 ) n -or X) may be used. Sources of metal ions and the like represented by M 2+ include various metal salts such as acetates, chlorides, bromides, nitrates and sulfates. The [A] phthalocyanine compound represented by the said Formula (1) can be obtained by mixing the compound represented by the said Formula (0), a metal salt, etc. in a solvent. Examples of the solvent include aromatic hydrocarbons (benzene, toluene etc.), aliphatic hydrocarbons (hexane, cyclohexane etc.), chlorinated hydrocarbons (methylene chloride, chloroform, dichloroethane etc.), DMF, DMSO, acetonitrile, THF, N -Methyl pyrrolidone, dioxane, alcohol (methanol, ethanol etc.) etc. can be mentioned.

当該組成物における全固形分に占める[A]フタロシアニン化合物の含有量の下限としては、0.1質量%が好ましく、0.5質量%がより好ましく、1質量%がさらに好ましい。一方、この含有量の上限としては、30質量%が好ましく、15質量%がより好ましく、10質量%がさらに好ましく、5質量%がよりさらに好ましい。[A]フタロシアニン化合物の含有量を上記範囲とすることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とがより良好なバランスとなる。   The lower limit of the content of the [A] phthalocyanine compound in the total solid content in the composition is preferably 0.1% by mass, more preferably 0.5% by mass, and still more preferably 1% by mass. On the other hand, the upper limit of the content is preferably 30% by mass, more preferably 15% by mass, still more preferably 10% by mass, and still more preferably 5% by mass. [A] By setting the content of the phthalocyanine compound in the above-mentioned range, the visible light transmittance and the infrared ray shielding property of the optical filter to be obtained are in better balance.

[A]フタロシアニン化合物は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。但し、1種又は2種のみの[A]フタロシアニン化合物を用いることが好ましく、1種のみの[A]フタロシアニン化合物を用いることがより好ましい。[A]フタロシアニン化合物は、1種のみで良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを発揮することができる。従って、[A]フタロシアニン化合物の使用種類数を少なくすることで、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを発揮しつつ、生産性を高めることができる。   [A] A phthalocyanine compound may be used individually by 1 type, and may mix and use 2 or more types. However, it is preferable to use one or two types of [A] phthalocyanine compounds, and it is more preferable to use only one type of [A] phthalocyanine compound. [A] The phthalocyanine compound can exhibit good visible light transmission and infrared shielding properties only by one kind. Therefore, by reducing the number of types of the [A] phthalocyanine compound used, productivity can be enhanced while exhibiting good visible light transmittance and infrared shielding properties.

([B]赤外線遮蔽剤)
[B]赤外線遮蔽剤は、金属酸化物、銅化合物([A]フタロシアニン化合物を除く)又はこれらの組み合わせである。[B]赤外線遮蔽剤としては、800nm以上2000nm以下の範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。このような[B]赤外線遮蔽剤を[A]フタロシアニン化合物と併用することにより、得られる光学フィルターの赤外線遮蔽性能がより向上する。
([B] Infrared shielding agent)
[B] The infrared shielding agent is a metal oxide, a copper compound (excluding [A] phthalocyanine compound), or a combination thereof. [B] As the infrared shielding agent, a compound having a maximum absorption wavelength in the range of 800 nm to 2000 nm is preferable. By using such a [B] infrared shielding agent in combination with the [A] phthalocyanine compound, the infrared shielding performance of the obtained optical filter is further improved.

[B]赤外線遮蔽剤としての金属酸化物としては、例えば酸化タングステン系化合物、石英(SiO)、磁鉄鉱(Fe)、アルミナ(Al)、チタニア(TiO)、ジルコニア(ZrO)、スピネル(MgAl)等を挙げることができる。 [B] As metal oxides as infrared shielding agents, for example, tungsten oxide compounds, quartz (SiO 2 ), magnetite (Fe 3 O 4 ), alumina (Al 2 O 3 ), titania (TiO 2 ), zirconia ( ZrO 2 ), spinel (MgAl 2 O 4 ), etc. can be mentioned.

[B]赤外線遮蔽剤としての銅化合物としては、銅フタロシアニン系化合物やその他の銅錯体などを挙げることができる。銅フタロシアニン系化合物としては、銅フタロシアニン、塩素化銅フタロシアニン、塩素化臭素化銅フタロシアニン、臭素化銅フタロシアニン等を挙げることができる。   [B] Examples of copper compounds as infrared shielding agents include copper phthalocyanine compounds and other copper complexes. Examples of copper phthalocyanine compounds include copper phthalocyanine, chlorinated copper phthalocyanine, chlorinated brominated copper phthalocyanine, brominated copper phthalocyanine and the like.

[B]赤外線遮蔽剤としては、金属酸化物が好ましく、酸化タングステン系化合物がより好ましい。酸化タングステン系化合物は、赤外線(特に波長が約800nm以上1200nm以下の赤外線)に対しては吸収が高く(すなわち、赤外線に対する遮蔽性が高く)、可視光に対しては吸収が低い赤外線遮蔽剤である。よって、当該組成物が、酸化タングステン系化合物を含有することにより、得られる光学フィルターの良好な可視光透過性を維持しつつ、赤外線遮蔽性を高めることができる。[B]赤外線遮蔽剤は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。   [B] The infrared shielding agent is preferably a metal oxide, more preferably a tungsten oxide compound. Tungsten oxide-based compounds are infrared shielding agents that have high absorption for infrared light (in particular, infrared light having a wavelength of about 800 nm to 1200 nm) (that is, high shielding ability for infrared light) and low absorption for visible light. is there. Therefore, when the said composition contains a tungsten oxide type compound, infrared rays shielding property can be improved, maintaining the favorable visible light permeability of the optical filter obtained. [B] An infrared shielding agent may be used individually by 1 type, and may mix and use 2 or more types.

酸化タングステン系化合物としては、下記式(2)で表される酸化タングステン系化合物であることがより好ましい。
WO ・・・(2)
The tungsten oxide compound is more preferably a tungsten oxide compound represented by the following formula (2).
A x WO y (2)

式(2)中、Aは金属元素である。0.001≦x≦1.1である。2.2≦y≦3.0である。   In Formula (2), A is a metal element. It is 0.001 <= x <= 1.1. It is 2.2 <= y <= 3.0.

上記式(2)中のAで表される金属元素としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Sn、Pb、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi等が挙げられる。Aで表される金属元素は1種でも2種以上でも良い。   As a metal element represented by A in the said Formula (2), an alkali metal, alkaline-earth metal, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Sn, Pb, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi and the like. The metal element represented by A may be one kind or two or more kinds.

上記Aとしては、アルカリ金属が好ましく、Rb及びCsがより好ましく、Csがさらに好ましい。すなわち、金属酸化物は、セシウム酸化タングステンであることがより好ましい。   As said A, an alkali metal is preferable, Rb and Cs are more preferable, and Cs is more preferable. That is, the metal oxide is more preferably cesium tungsten oxide.

上記式(2)中のxが0.001以上であることにより、赤外線を十分に遮蔽することができる。xの下限は、0.01が好ましく、0.1がより好ましい。一方、xが1.1以下であることにより、酸化タングステン系化合物中に不純物相が生成されることをより確実に回避することできる。xの上限は、1が好ましく、0.5がより好ましい。   When x in the above-mentioned formula (2) is 0.001 or more, infrared rays can be sufficiently shielded. 0.01 is preferable and, as for the minimum of x, 0.1 is more preferable. On the other hand, when x is 1.1 or less, generation of an impurity phase in the tungsten oxide compound can be more reliably avoided. The upper limit of x is preferably 1 and more preferably 0.5.

上記式(2)中のyが2.2以上であることにより、材料としての化学的安定性をより向上させることができる。yの下限は、2.5が好ましい。一方、yが3.0以下であることにより赤外線を十分に遮蔽することができる。   When y in the above formula (2) is 2.2 or more, the chemical stability as a material can be further improved. The lower limit of y is preferably 2.5. On the other hand, when y is 3.0 or less, infrared rays can be sufficiently shielded.

上記式(2)で表される酸化タングステン系化合物の具体例としては、Cs0.33WO、Rb0.33WO、K0.33WO、Ba0.33WOなどを挙げることができ、Cs0.33WO及びRb0.33WOが好ましく、Cs0.33WOがさらに好ましい。 Specific examples of the tungsten oxide compound represented by the above formula (2) include Cs 0.33 WO 3 , Rb 0.33 WO 3 , K 0.33 WO 3 , Ba 0.33 WO 3 and the like. Cs 0.33 WO 3 and Rb 0.33 WO 3 are preferable, and Cs 0.33 WO 3 is more preferable.

[B]赤外線遮蔽剤は微粒子であることが好ましい。[B]赤外線遮蔽剤の平均粒子径(D50)の上限としては、500nmが好ましく、200nmがより好ましく、50nmがさらに好ましく、30nmがよりさらに好ましい。平均粒子径が上記上限以下であることによって、可視光透過性をより高めることができる。一方、製造時における取り扱い容易性などの理由から、[B]赤外線遮蔽剤の平均粒子径は、通常、1nm以上であり、10nm以上であってもよい。   [B] The infrared shielding agent is preferably in the form of fine particles. [B] The upper limit of the average particle size (D50) of the infrared shielding agent is preferably 500 nm, more preferably 200 nm, still more preferably 50 nm, and still more preferably 30 nm. When the average particle size is less than or equal to the above upper limit, visible light transmission can be further enhanced. On the other hand, the average particle diameter of the [B] infrared shielding agent is usually 1 nm or more, and may be 10 nm or more for reasons such as easy handling at the time of production.

[B]赤外線遮蔽剤は、公知の方法によって合成することもできるが、市販品として入手可能である。金属酸化物が、例えば酸化タングステン系化合物である場合、酸化タングステン系化合物は、例えばタングステン化合物を不活性ガス雰囲気又は還元性ガス雰囲気中で熱処理する方法により得ることができる。また、酸化タングステン系化合物は、例えば住友金属鉱山社の「YMF−02」等のタングステン微粒子の分散物としても、入手可能である。   [B] The infrared shielding agent can also be synthesized by a known method, but is commercially available. When the metal oxide is, for example, a tungsten oxide compound, the tungsten oxide compound can be obtained, for example, by a heat treatment of a tungsten compound in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere. In addition, a tungsten oxide based compound can be obtained, for example, as a dispersion of tungsten fine particles such as “YMF-02” manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.

当該組成物における全固形分に占める[B]赤外線遮蔽剤の含有量の下限としては、1質量%が好ましく、5質量%がより好ましく、10質量%がさらに好ましい。この含有量の下限は、さらに20質量%が好ましく、30質量%がより好ましい。一方、この含有量の上限としては、70質量%が好ましく、65質量%がより好ましく、60質量%がさらに好ましい。[B]赤外線遮蔽剤の含有量を上記範囲とすることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とがより良好なバランスとなる。   The lower limit of the content of the [B] infrared shielding agent in the total solid content in the composition is preferably 1% by mass, more preferably 5% by mass, and still more preferably 10% by mass. 20 mass% is still more preferable, and, as for the minimum of this content, 30 mass% is more preferable. On the other hand, as a maximum of this content, 70 mass% is preferred, 65 mass% is more preferred, and 60 mass% is more preferred. [B] By setting the content of the infrared shielding agent in the above range, the visible light transmittance and the infrared shielding property of the optical filter to be obtained are in a better balance.

[A]フタロシアニン化合物の含有量に対する[B]赤外線遮蔽剤の含有量の質量比([B]/[A])の下限としては、2が好ましく、3が好ましく、5がさらに好ましく、10がよりさらに好ましい。一方、この質量比([B]/[A])の上限としては、40が好ましく、30がより好ましく、20がさらに好ましい。[A]フタロシアニン化合物と[B]赤外線遮蔽剤との含有量比を上記範囲とすることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とがより良好なバランスとなる。   The lower limit of the mass ratio ([B] / [A]) of the content of the [B] infrared shielding agent to the content of the [A] phthalocyanine compound is preferably 2, 3 is preferable, 5 is more preferable, and 10 is Even more preferable. On the other hand, the upper limit of the mass ratio ([B] / [A]) is preferably 40, more preferably 30, and still more preferably 20. By setting the content ratio of the [A] phthalocyanine compound to the [B] infrared shielding agent in the above range, the visible light transmittance and the infrared shielding property of the optical filter to be obtained become a better balance.

([C]分散剤)
当該組成物は、[C]分散剤をさらに含むことが好ましい。[C]分散剤により[B]赤外線遮蔽剤(特に、金属酸化物)の均一分散性を高め、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とをより高めることができる。
([C] Dispersant)
The composition preferably further contains a [C] dispersant. [C] The dispersing agent can enhance the uniform dispersion of the [B] infrared shielding agent (particularly, metal oxide), and can further improve the visible light transmittance and the infrared shielding property of the obtained optical filter.

[C]分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル系分散剤、ポリエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪酸エステル系分散剤、ポリエステル系分散剤、(メタ)アクリル系分散剤等を挙げることができる。これらの中でも、(メタ)アクリル系分散剤が好ましい。[C]分散剤は、ブロック共重合体であることが好ましい。   [C] Dispersants include, for example, urethane type dispersants, polyethylene imine type dispersants, polyoxyethylene alkyl ether type dispersants, polyoxyethylene alkyl phenyl ether type dispersants, polyethylene glycol diester type dispersants, sorbitan fatty acid ester type Examples of the dispersant include polyester dispersants and (meth) acrylic dispersants. Among these, (meth) acrylic dispersants are preferable. [C] The dispersant is preferably a block copolymer.

[C]分散剤は商業的に入手することができ、例えば(メタ)アクリル系分散剤として、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001、BYK−LPN6919、BYK−LPN21116、BYK−LPN22102(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ウレタン系分散剤として、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182、Disperbyk−2164(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、ポリエチレンイミン系分散剤として、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、ポリエステル系分散剤として、アジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB880、アジスパーPB881(以上、味の素ファインテクノ(株)社製)の他、BYK−LPN21324(ビックケミー(BYK)社製)等を挙げることができる。   [C] Dispersants can be obtained commercially, and for example, as (meth) acrylic dispersants, Disperbyk-2000, Disperbyk-2001, BYK-LPN6919, BYK-LPN 21116, BYK-LPN 22102 (all, BYK Chemie (BYK) Made as a urethane type dispersant, Disperbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182, Disperbyk- 2164 (all by BIC Chemie (BYK)), Sols spars 76500 (Lublisol Co., Ltd.), Solsperse 24000 (Lubrisol Co., Ltd.) as a polyethyleneimine dispersant, polyester dispersion As, Ajisper PB821, Ajisper PB822, Ajisper PB880, Ajisper PB881 (or, Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd.) Other, BYK-LPN21324 (Chemie (BYK) Co.), and the like.

[C]分散剤のアミン価の下限としては、10mgKOH/gが好ましく、40mgKOH/gがより好ましく、80mgKOH/gがさらに好ましい。一方、このアミン価の上限としては、300mgKOH/gが好ましく、200mgKOH/gがより好ましく、150mgKOH/gがさらに好ましい。このようなアミン価を有する分散剤を用いることで、[B]赤外線遮蔽剤の分散性が向上し、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とをより高めることができる。なお、「アミン価」とは、分散剤固形分1gを中和するのに必要なHClと当量のKOHのmg数である。   [C] The lower limit of the amine value of the dispersant is preferably 10 mg KOH / g, more preferably 40 mg KOH / g, and still more preferably 80 mg KOH / g. On the other hand, the upper limit of the amine value is preferably 300 mg KOH / g, more preferably 200 mg KOH / g, and still more preferably 150 mg KOH / g. By using the dispersant having such an amine value, the dispersibility of the [B] infrared shielding agent can be improved, and the visible light transmittance and the infrared shielding property of the obtained optical filter can be further enhanced. The “amine value” is the number of mg of KOH and the equivalent of HCl necessary to neutralize 1 g of the dispersant solids.

[C]分散剤の含有量の下限は、[B]赤外線遮蔽剤100質量部に対して、5質量部が好ましく、15質量部がより好ましく、30質量部がさらに好ましい。一方、この含有量の上限は、200質量部が好ましく、100質量部がより好ましく、60質量部がさらに好ましい。   The lower limit of the content of the [C] dispersant is preferably 5 parts by mass, more preferably 15 parts by mass, and still more preferably 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [B] infrared shielding agent. On the other hand, 200 mass parts is preferred, as for the upper limit of this content, 100 mass parts is more preferred, and 60 mass parts is still more preferred.

([D]重合性化合物)
当該組成物は、[D]重合性化合物をさらに含むことが好ましい。当該組成物が[D]重合性化合物を含有する場合、良好な硬化性や得られる光学フィルターの良好な耐熱性等を発揮することができる。[D]重合性化合物とは、2個以上の重合可能な基を有する化合物をいう。重合可能な基としては、例えばエチレン性不飽和基、オキシラニル基、オキセタニル基、N−アルコキシメチルアミノ基等を挙げることができる。[D]重合性化合物としては、2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物、及び2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物が好ましく、2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物がより好ましい。[D]重合性化合物は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
([D] polymerizable compound)
It is preferable that the said composition further contains a [D] polymeric compound. When the said composition contains a [D] polymeric compound, the favorable heat resistance etc. of the favorable hardenability, the optical filter obtained, etc. can be exhibited. [D] A polymerizable compound means a compound having two or more polymerizable groups. Examples of the polymerizable group include an ethylenically unsaturated group, an oxiranyl group, an oxetanyl group, and an N-alkoxymethylamino group. [D] The polymerizable compound is preferably a compound having two or more (meth) acryloyl groups, and a compound having two or more N-alkoxymethylamino groups, and has two or more (meth) acryloyl groups Compounds are more preferred. [D] The polymerizable compound can be used singly or in combination of two or more.

2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物等である多官能(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性された多官能(メタ)アクリレート、アルキレンオキサイド変性された多官能(メタ)アクリレート、水酸基を有する(メタ)アクリレートと多官能イソシアネートとの反応物等である多官能ウレタン(メタ)アクリレート、水酸基を有する(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物等であるカルボキシル基を有する多官能(メタ)アクリレート等を挙げることができる。   Examples of compounds having two or more (meth) acryloyl groups include polyfunctional (meth) acrylates and caprolactone-modified polyfunctional (meth) acrylates, which are the reaction products of aliphatic polyhydroxy compounds and (meth) acrylic acid, etc. Alkylene oxide-modified polyfunctional (meth) acrylate, polyfunctional urethane (meth) acrylate which is a reaction product of hydroxyl group-containing (meth) acrylate and polyfunctional isocyanate, etc., hydroxyl group-containing (meth) acrylate and acid anhydride And polyfunctional (meth) acrylates having a carboxyl group, which is a reaction product with the above.

ここで、上記脂肪族ポリヒドロキシ化合物としては、例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の2価の脂肪族ポリヒドロキシ化合物や、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の脂肪族ポリヒドロキシ化合物を挙げることができる。上記水酸基を有する(メタ)アクリレートとしては、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセロールジメタクリレート等を挙げることができる。上記多官能イソシアネートとしては、例えばトリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等を挙げることができる。上記酸無水物としては、例えば無水こはく酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の二塩基酸の無水物や、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の四塩基酸二無水物を挙げることができる。   Here, as the above-mentioned aliphatic polyhydroxy compound, for example, a divalent aliphatic polyhydroxy compound such as ethylene glycol, propylene glycol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, etc. Aliphatic polyhydroxy compounds having three or more valences can be mentioned. Examples of the (meth) acrylate having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and glycerol dimethacrylate. Etc. can be mentioned. Examples of the polyfunctional isocyanate include tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate and the like. Examples of the above acid anhydrides include anhydrides of dibasic acids such as succinic anhydride, maleic anhydride, glutaric anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyl tetracarboxylic acid, etc. Examples include tetrabasic acid dianhydrides such as acid dianhydride and benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride.

2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の具体例としては、例えばω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、エチレングリコール(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイロキシプロピルメタクリレート、2−(2’−ビニロキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)フォスフェート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、こはく酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート化合物等を挙げることができる。   Specific examples of the compound having two or more (meth) acryloyl groups include, for example, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, ethylene glycol (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1 9, 9-nonanediol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, bis phenoxy ethanol fluo orange (meth) acrylate, dimethylol tricyclode Candi (meth) acrylate, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl methacrylate, 2- (2'-vinyloxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, trimethylolpropant (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tri (2- (meth) acryloyloxyethyl) ) Phosphate, ethylene oxide modified dipentaerythritol hexaacrylate, succinic acid modified pentaerythritol triacrylate, urethane (meth) acrylate compounds and the like can be mentioned.

2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の中でも、多官能(メタ)アクリレートが好ましく、3個以上10個以下の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレートがより好ましい。具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好ましい。   Among the compounds having two or more (meth) acryloyl groups, polyfunctional (meth) acrylates are preferable, and polyfunctional (meth) acrylates having three or more and ten or less (meth) acryloyl groups are more preferable. Specifically, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate are preferable.

2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物としては、例えばメラミン構造、ベンゾグアナミン構造、ウレア構造を有する化合物等を挙げることができる。2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物の具体例としては、N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサ(アルコキシメチル)メラミン、N,N,N’,N’−テトラ(アルコキシメチル)ベンゾグアナミン、N,N,N’,N’−テトラ(アルコキシメチル)グリコールウリル等を挙げることができる。   Examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include compounds having a melamine structure, a benzoguanamine structure, and a urea structure. Specific examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include N, N, N ′, N ′, N ′ ′, N ′ ′, N ′ ′-hexa (alkoxymethyl) melamine, N, N, N ′. , N′-tetra (alkoxymethyl) benzoguanamine, N, N, N ′, N′-tetra (alkoxymethyl) glycoluril, and the like.

[D]重合性化合物の含有量は、[A]フタロシアニン化合物100質量部に対して、10質量部が好ましく、200質量部がより好ましく、500質量部がさらに好ましい。一方、この含有量の上限は、3,000質量部が好ましく、2,000質量部がより好ましい。   10 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of [A] phthalocyanine compounds, as for content of a [D] polymeric compound, 200 mass parts is more preferable, and 500 mass parts is further more preferable. On the other hand, the upper limit of the content is preferably 3,000 parts by mass, and more preferably 2,000 parts by mass.

([E]重合開始剤)
当該組成物は、[E]重合開始剤を含有することが好ましい。[E]重合開始剤としては、光重合開始剤、熱重合開始剤等を挙げることができるが、光重合開始剤が好ましい。これにより、当該組成物に感光性(感放射線性)を付与することができる。光重合開始剤とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、[D]重合性化合物の重合を開始しうる活性種を発生する化合物をいう。[E]重合開始剤は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
([E] polymerization initiator)
It is preferable that the said composition contains an [E] polymerization initiator. [E] As a polymerization initiator, although a photoinitiator, a thermal-polymerization initiator etc. can be mentioned, A photoinitiator is preferable. Thereby, the said composition can be provided with photosensitivity (radiation sensitivity). The photopolymerization initiator refers to a compound which generates an active species capable of initiating polymerization of the polymerizable compound [D] upon exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam and X-ray. [E] A polymerization initiator can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.

[E]重合開始剤としては、例えばチオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物、オニウム塩系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物及びO−アシルオキシム系化合物が好ましく、O−アシルオキシム系化合物がより好ましい。   [E] As a polymerization initiator, for example, thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketones Examples include a compound based on a compound, a polynuclear quinone compound, a diazo compound, an imidosulfonate compound and an onium salt compound. Among these, thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds and O-acyloxime compounds are preferable, and O-acyloxime compounds are more preferable.

チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。   Examples of thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methyl thioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2,4-dichloro thioxanthone, 2,4- dimethyl thioxanthone, 2,4- diethyl thioxanthone, 2 And 4-diisopropyl thioxanthone etc. can be mentioned.

アセトフェノン系化合物としては、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン等を挙げることができる。   As an acetophenone compound, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butane -1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one and the like can be mentioned.

ビイミダゾール系化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。   As a biimidazole compound, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4 ′ ′ -Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', 5,5 There can be mentioned '-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.

なお、ビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を改良することができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体;4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。   In addition, when using a biimidazole type compound, it is preferable to use a hydrogen donor together in that the sensitivity can be improved. The term "hydrogen donor" as used herein means a compound capable of donating a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound upon exposure. Examples of hydrogen donors include mercaptan hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole; 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and the like. Mention may be made of amine hydrogen donors.

トリアジン系化合物としては、例えば特公昭57−6096号公報、特開2003−238898号公報の段落[0063]〜[0065]に記載の化合物を挙げることができる。   As a triazine type compound, the compound as described in stage-of Unexamined-Japanese-Patent No. 57-6096 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-238898 can be mentioned, for example.

O−アシルオキシム系化合物としては、1,2−オクタンジオン−1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。O−アシルオキシム系化合物の市販品としては、NCI−831、NCI−930(以上、株式会社ADEKA社製))、OXE−03、OXE−04(以上、BASF社製)等を使用することもできる。   As O-acyloxime compounds, 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2- Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl} -9H And -carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like can be mentioned. As commercially available products of O-acyloxime compounds, NCI-831, NCI-930 (above, made by ADEKA Co., Ltd.), OXE-03, OXE-04 (above, made by BASF Corporation), etc. may also be used. it can.

光重合開始剤を用いる場合には、増感剤を併用することもできる。このような増感剤としては、例えば4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を挙げることができる。   When using a photoinitiator, a sensitizer can also be used together. Such sensitizers include, for example, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 4-dimethylamino Ethyl benzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone, etc. It can be mentioned.

[E]重合開始剤の含有量の下限は、[D]重合性化合物100質量部に対して、1質量部が好ましく、5質量部がより好ましい。一方、この含有量の上限としては、100質量部が好ましく、20質量部がより好ましい。   The lower limit of the content of the polymerization initiator [E] is preferably 1 part by mass, and more preferably 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound [D]. On the other hand, as an upper limit of this content, 100 mass parts is preferred, and 20 mass parts is more preferred.

(バインダー樹脂)
当該組成物には、バインダー樹脂がさらに含有されていてもよい。バインダー樹脂としては、特に限定されるものではないが、カルボキシ基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する樹脂であることが好ましい。中でも、カルボキシ基を有する重合体(以下、「カルボキシ基含有重合体」とも称する。)が好ましい。カルボキシ基含有重合体としては、例えば、1個以上のカルボキシ基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和単量体(1)」とも称する。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和単量体(2)」とも称する。)との共重合体を挙げることができる。
(Binder resin)
The composition may further contain a binder resin. The binder resin is not particularly limited, but is preferably a resin having an acidic functional group such as a carboxy group or a phenolic hydroxyl group. Among them, a polymer having a carboxy group (hereinafter, also referred to as a "carboxy group-containing polymer") is preferable. As the carboxy group-containing polymer, for example, ethylene copolymerizable with an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxy groups (hereinafter, also referred to as "unsaturated monomer (1)") Copolymers with a polyunsaturated monomer (hereinafter, also referred to as "unsaturated monomer (2)") can be mentioned.

上記不飽和単量体(1)としては、例えば(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、p−ビニル安息香酸等を挙げることができる。   Examples of the unsaturated monomer (1) include (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], and ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) Acrylate, p-vinylbenzoic acid and the like can be mentioned.

上記不飽和単量体(2)としては、例えば
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等のN−位置換マレイミド、
スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、アセナフチレン等の芳香族ビニル化合物、
メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(重合度2〜10)メチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(重合度2〜10)メチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(重合度2〜10)モノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(重合度2〜10)モノ(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−エチルオキセタン等の(メタ)アクリル酸エステル、
シクロヘキシルビニルエーテル、イソボルニルビニルエーテル、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルビニルエーテル、ペンタシクロペンタデカニルビニルエーテル、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン等のビニルエーテル、
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
Examples of the unsaturated monomer (2) include N-substituted maleimides such as N-phenyl maleimide and N-cyclohexyl maleimide,
Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, p-hydroxystyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, p-vinylbenzyl glycidyl ether, acenaphthylene and the like
Methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, polyethylene glycol (polymerization degree 2 to 2 10) Methyl ether (meth) acrylate, polypropylene glycol (degree of polymerization 2 to 10) methyl ether (meth) acrylate, polyethylene glycol (degree of polymerization 2 to 10) mono (meth) acrylate, polypropylene glycol (degree of polymerization 2 to 10) (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6] decan-8-yl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate , Glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumyl phenol, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 3- (Meth) acrylic esters such as [(meth) acryloyloxymethyl] oxetane, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-ethyl oxetane,
Vinyl ethers such as cyclohexyl vinyl ether, isobornyl vinyl ether, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl vinyl ether, pentacyclopentadecanyl vinyl ether, 3- (vinyloxymethyl) -3-ethyl oxetane, etc. ,
Examples thereof include macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate and polysiloxane.

また、バインダー樹脂としては、側鎖に(メタ)アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有重合体を用いることもできる。また、ポリシロキサン等もバインダー樹脂として用いることができる。   Moreover, as a binder resin, a carboxyl group-containing polymer having a polymerizable unsaturated bond such as a (meth) acryloyl group in a side chain can also be used. Moreover, polysiloxane etc. can be used as a binder resin.

当該組成物がバインダー樹脂を含有する場合、バインダー樹脂の含有量は、[A]フタロシアニン化合物100質量部に対して、通常10質量部以上10,000質量部以下とすることができる。   When the said composition contains binder resin, content of binder resin can be 10 mass parts or more and 10,000 mass parts or less normally with respect to 100 mass parts of [A] phthalocyanine compounds.

(添加剤)
当該組成物は、必要に応じて種々の添加剤を含有することもできる。
(Additive)
The composition can also contain various additives as needed.

添加剤としては、例えば界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、残渣改善剤、現像性改善剤等を挙げることができる。   Examples of the additive include surfactants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, aggregation inhibitors, residue improvers, developability improvers, and the like.

界面活性剤としては、フッ素界面活性剤、シリコーン界面活性剤等を挙げることができる。界面活性剤の含有量としては、[A]フタロシアニン化合物100質量部に対して、通常0.01質量部以上10質量部以下とすることができる。   As surfactant, a fluorine surfactant, a silicone surfactant, etc. can be mentioned. The content of the surfactant can be usually 0.01 parts by mass or more and 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the [A] phthalocyanine compound.

密着促進剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができる。   As an adhesion promoter, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy Silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and the like can be mentioned.

酸化防止剤としては、2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、3,9−ビス[2−[3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−プロピオニルオキシ]−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサ−スピロ[5.5]ウンデカン、チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]等を挙げることができる。酸化防止剤の含有量としては、[A]フタロシアニン化合物100質量部に対して、通常0.01質量部以上10質量部以下とすることができる。   As the antioxidant, 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-) 4-hydroxyphenyl) propionate], 3,9-bis [2- [3- (3-t-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) -propionyloxy] -1,1-dimethylethyl] -2, 4,8,10-tetraoxa-spiro [5.5] undecane, thiodiethylene bis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] and the like can be mentioned. The content of the antioxidant can be generally 0.01 parts by mass or more and 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the [A] phthalocyanine compound.

紫外線吸収剤としては、2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等を挙げることができる。   Examples of UV absorbers include 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones.

凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウム等を挙げることができる。   As an anticoagulation agent, sodium polyacrylate etc. can be mentioned.

残渣改善剤としては、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール等を挙げることができる。   As a residue improving agent, malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid, 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino- 1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like can be mentioned.

現像性改善剤としては、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等剤等を挙げることができる。   As the developability improver, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] succinate, mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] phthalate, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate etc Can be mentioned.

(その他の有機色素等)
当該組成物は、[A]フタロシアニン化合物及び[B]赤外線遮蔽剤である銅化合物としての有機色素以外の公知の有機色素を含有していてもよい。その他の有機色素としては、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物等(銅原子を含むものを除く)を挙げることができる。また、[A]フタロシアニン化合物、及び[B]赤外線遮蔽剤としてのフタロシアニン化合物以外のフタロシアニン化合物を用いることもできる。
(Other organic dyes etc.)
The composition may contain known organic dyes other than organic dyes as [A] phthalocyanine compounds and [B] infrared shielding agents as copper compounds. Other organic dyes include diiminium compounds, squarylium compounds, cyanine compounds, naphthalocyanine compounds, quaterylene compounds, aminium compounds, iminium compounds, azo compounds, anthraquinone compounds, porphyrin compounds, pyrrolopyrrole compounds, oxonol compounds, croconium compounds, hexaphyrins. Compounds etc. (except those containing a copper atom) can be mentioned. In addition, phthalocyanine compounds other than [A] phthalocyanine compounds and phthalocyanine compounds as [B] infrared shielding agents can also be used.

なお、[A]フタロシアニン化合物と、[A]フタロシアニン化合物以外のフタロシアニン化合物(以下、「[a]フタロシアニン化合物」とも称する)とを併用することが好ましい。[a]フタロシアニン化合物の極大吸収波長の下限としては、600nmが好ましく、650nmがより好ましく、700nmがさらに好ましく、750nmがさらに好ましいこともあり、800nmがさらに好ましいこともある。一方、[a]フタロシアニン化合物の極大吸収波長の上限としては、900nmが好ましく、850nmがより好ましく、800nmがさらに好ましいこともあり、750nmがさらに好ましいこともあり、700nmがさらに好ましいこともある。[A]フタロシアニン化合物の極大吸収波長と[a]フタロシアニン化合物の極大吸収波長の差の下限としては、10nmが好ましく、30nmがより好ましく、50nmがさらに好ましいこともある。一方、この差の上限としては、100nmが好ましく、80nmがより好ましく、50nmがさらに好ましいこともある。このようなフタロシアニン化合物を組み合わせて用いることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とをより高めることができる。また、得られる光学フィルターの可視光均一透過性を高めることもできる。なお、[a]フタロシアニン化合物には、[B]赤外線遮蔽剤である銅化合物としてのフタロシアニン化合物も含まれる。[a]フタロシアニン化合物は、従来公知の各種フタロシアニン化合物を挙げることができる。   In addition, it is preferable to use together [A] phthalocyanine compound and phthalocyanine compounds other than [A] phthalocyanine compound (Hereafter, it is also called "[a] phthalocyanine compound"). [A] The lower limit of the maximum absorption wavelength of the phthalocyanine compound is preferably 600 nm, more preferably 650 nm, still more preferably 700 nm, still more preferably 750 nm, and even more preferably 800 nm. On the other hand, the upper limit of the maximum absorption wavelength of the [a] phthalocyanine compound is preferably 900 nm, more preferably 850 nm, even more preferably 800 nm, still more preferably 750 nm, and even more preferably 700 nm. The lower limit of the difference between the maximum absorption wavelength of the [A] phthalocyanine compound and the maximum absorption wavelength of the [a] phthalocyanine compound is preferably 10 nm, more preferably 30 nm, and even more preferably 50 nm. On the other hand, the upper limit of this difference is preferably 100 nm, more preferably 80 nm, and even more preferably 50 nm. By using such a phthalocyanine compound in combination, it is possible to further enhance the visible light transmittance and the infrared shielding property of the obtained optical filter. Moreover, the visible light uniform transmittance of the obtained optical filter can also be improved. The [a] phthalocyanine compound also includes a phthalocyanine compound as a copper compound which is a [B] infrared shielding agent. Examples of the [a] phthalocyanine compound include various conventionally known phthalocyanine compounds.

当該組成物における全有機色素に占める[A]フタロシアニン化合物の含有量の下限としては、50質量%が好ましく、70質量%がより好ましく、80質量%がより好ましいこともあり、90質量%がより好ましいこともあり、99質量%がより好ましいこともある。有機色素として、[A]フタロシアニン化合物のみを実質的に含有することが好ましいこともある。当該組成物は、このようにその他の有機色素の含有量を少なくすることで、生産性を高めることができる。また、得られる光学フィルターにおける可視光均一透過性を高めることなどもできる。   The lower limit of the content of the [A] phthalocyanine compound in all the organic dyes in the composition is preferably 50% by mass, more preferably 70% by mass, and even more preferably 80% by mass, and 90% by mass is more It may be preferable, and 99 mass% may be more preferable. It may be preferable to substantially contain only the [A] phthalocyanine compound as the organic dye. The composition can improve productivity by thus reducing the content of other organic dyes. Moreover, it is also possible to enhance the visible light uniform transmission in the obtained optical filter.

また、当該組成物に含有される有機色素の種類数としては、[A]フタロシアニン化合物も含めて、3種以下が好ましく、2種以下がより好ましく、1種がさらに好ましいこともある。このように含有される有機色素の種類数を少なくすることでも、生産性を高め、また、得られる光学フィルターにおける可視光均一透過性を高めることなどもできる。なお、2種以上の有機色素を用いる場合、[A]フタロシアニン化合物と、[A]フタロシアニン化合物以外のフタロシアニン化合物とを併用することが好ましい。   In addition, the number of types of organic dyes contained in the composition, including the [A] phthalocyanine compound, is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, and sometimes 1 or more. By reducing the number of types of organic dyes contained in this manner, it is possible to enhance productivity and to enhance the uniform visible light transmittance of the obtained optical filter. When two or more organic dyes are used, it is preferable to use the [A] phthalocyanine compound in combination with a phthalocyanine compound other than the [A] phthalocyanine compound.

(溶媒)
当該組成物は、通常溶媒(分散媒)を含有する液状組成物として調製される。溶媒としては、他の成分を分散又は溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
(solvent)
The composition is usually prepared as a liquid composition containing a solvent (dispersion medium). As a solvent, as long as it disperse | distributes or melt | dissolves the other component, and does not react with these components and it has moderate volatility, it can select suitably and can be used.

このような溶媒としては、例えば
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類、
メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イソプロパノール、イソブタノール、t−ブタノール、オクタノール、2−エチルヘキサノール、シクロヘキサノール等の(シクロ)アルキルアルコール類、
ジアセトンアルコール等のケトアルコール類、
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類、
メチルエチルケトン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等の鎖状ケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等の環状ケトン等のケトン類、
プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート等のアルコキシカルボン酸エステル類、
酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類、
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド又はラクタム類
等を挙げることができる。
As such solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n- Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether , Dipropylene glycol monomethyl ether (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether and tripropylene glycol monoethyl ether ,
Alkyl alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
(Cyclo) alkyl alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, isopropanol, isobutanol, t-butanol, octanol, 2-ethylhexanol, cyclohexanol, etc.
Keto alcohols such as diacetone alcohol,
Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as 3-methyl-3-methoxybutyl acetate,
Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran and the like
Linear ketones such as methyl ethyl ketone, 2-heptanone and 3-heptanone, and ketones such as cyclic ketones such as cyclopentanone and cyclohexanone,
Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate,
Alkoxycarboxylic acid esters such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, 3-methyl-3-methoxybutyl propionate ,
Ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, butyrate i -Other esters such as propyl, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate, etc.
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene,
Amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like can be mentioned.

当該組成物における溶媒の含有量は、特に限定されるものではない。当該組成物における固形分濃度(溶媒を除いた各成分の合計濃度)の下限としては、5質量%が好ましく、10質量%がより好ましい。一方、この固形分濃度の上限としては、50質量%が好ましく、40質量%がより好ましい。固形分濃度を上記範囲とすることにより、分散性、安定性、塗布性等がより良好なものとなる。   The content of the solvent in the composition is not particularly limited. As a minimum of solid content concentration (total concentration of each ingredient except a solvent) in the composition concerned, 5 mass% is preferred and 10 mass% is more preferred. On the other hand, as a maximum of this solid content concentration, 50 mass% is preferred and 40 mass% is more preferred. By setting the solid content concentration in the above range, the dispersibility, stability, coatability and the like become better.

(調製方法)
当該組成物の調製方法としては、特に限定されず、各成分を混合することによって調製調整することができる。例えば、当該組成物が、[B]赤外線遮蔽剤としての金属酸化物、及び[C]分散剤を含むものである場合、まず、[B]赤外線遮蔽剤、[C]分散剤及び溶媒を含有する分散液を調製し、この分散液に[A]フタロシアニン化合物やその他の成分を添加し、混合する方法を採用することができる。分散液又は当該組成物は、必要に応じろ過処理を施し、凝集物を除去することができる。
(Preparation method)
It does not specifically limit as a preparation method of the said composition, It can prepare and adjust by mixing each component. For example, when the composition contains a metal oxide as a [B] infrared shielding agent, and a [C] dispersant, first, a dispersion containing a [B] infrared shielding agent, a [C] dispersant and a solvent A liquid may be prepared, and the [A] phthalocyanine compound and other components may be added to this dispersion and mixed. The dispersion or the composition may be subjected to filtration treatment as necessary to remove aggregates.

<赤外線遮蔽膜(I)>
本発明の一実施形態に係る赤外線遮蔽膜(I)は、当該固体撮像素子用組成物から形成される固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜である。当該赤外線遮蔽膜(I)を有する固体撮像素子用の光学フィルターは、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える。また、当該赤外線遮蔽膜(I)は、可視光領域における均一透過性に優れる。
<Infrared shielding film (I)>
An infrared shielding film (I) according to an embodiment of the present invention is an infrared shielding film for a solid-state imaging device formed from the composition for a solid-state imaging device. The optical filter for a solid-state imaging device having the infrared shielding film (I) has both excellent visible light transmittance and infrared shielding property even when the type of the organic dye contained is small. Moreover, the said infrared rays shielding film (I) is excellent in the uniform transmittance | permeability in a visible light area | region.

当該赤外線遮蔽膜(I)は、一構成部材として、固体撮像素子に組み込まれているものであることが好ましい。この場合、当該赤外線遮蔽膜(I)が、単体で光学フィルター(赤外線カットフィルター)として機能する。固体撮像素子に当該赤外線遮蔽膜(I)が組み込まれていることで、大きなプロセスマージンを獲得することなどができ好ましい。当該赤外線遮蔽膜(I)が固体撮像素子に組み込まれている場合、当該赤外線遮蔽膜(I)は、例えば固体撮像素子のマイクロレンズの外面側、マイクロレンズとカラーフィルターとの間、カラーフィルターとフォトダイオードとの間などに配することができる。当該赤外線遮蔽膜(I)は、マイクロレンズとカラーフィルターとの間又はカラーフィルターとフォトダイオードとの間に積層されることが好ましい。   It is preferable that the said infrared rays shielding film (I) is what is integrated in a solid-state image sensor as one structural member. In this case, the infrared shielding film (I) alone functions as an optical filter (infrared cut filter). By incorporating the infrared shielding film (I) into a solid-state imaging device, a large process margin can be obtained, which is preferable. When the infrared shielding film (I) is incorporated in a solid-state imaging device, the infrared shielding film (I) may be, for example, an outer surface side of a microlens of the solid-state imaging device, between a microlens and a color filter, and a color filter It can be disposed between the photodiode and the like. The infrared shielding film (I) is preferably laminated between the microlens and the color filter or between the color filter and the photodiode.

上記光学フィルターとしては、透明基板の表面に当該赤外線遮蔽膜(I)が積層されてなるものであってもよい。上記透明基板としては、ガラスや透明樹脂等が採用される。上記透明樹脂としては、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。このような光学フィルターも、固体撮像素子における赤外線カットフィルターなどとして好適に用いられる。   As said optical filter, the said infrared rays shielding film (I) may be laminated | stacked on the surface of a transparent substrate. Glass, a transparent resin, etc. are employ | adopted as said transparent substrate. Examples of the transparent resin include polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamide imide, polyimide and the like. Such an optical filter is also suitably used as an infrared cut filter or the like in a solid-state imaging device.

上記光学フィルターを備える固体撮像素子は、デジタルスチルカメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、PCカメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、携帯情報端末、パソコン、ビデオゲーム、医療機器等に有用である。   The solid-state imaging device provided with the above optical filter is useful for digital still cameras, cameras for mobile phones, digital video cameras, PC cameras, surveillance cameras, cameras for automobiles, portable information terminals, personal computers, video games, medical devices and the like.

当該赤外線遮蔽膜(I)は、例えば以下の方法によって形成することができる。まず、支持体上に、当該組成物を塗布した後、プレベークを行って溶媒を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜を露光したのち、現像液を用いて現像して、塗膜の非露光部を溶解除去する。その後、ポストベークすることにより、所定形状にパターニングされた赤外線遮蔽膜(I)が得られる。なお、当該組成物が、[D]重合性化合物及び[E]重合開始剤を含有しない場合は、露光等の硬化処理を行わなくてもよい。また、現像処理を行わなくてもよく、この場合、パターニングされていない赤外線遮蔽膜(I)を形成することができる。   The infrared shielding film (I) can be formed, for example, by the following method. First, the composition is applied onto a support, and then prebaked to evaporate the solvent to form a coating. Then, the coating film is exposed and developed using a developer to dissolve and remove the non-exposed part of the coating film. Thereafter, by post-baking, an infrared shielding film (I) patterned in a predetermined shape is obtained. When the composition does not contain the [D] polymerizable compound and the [E] polymerization initiator, curing treatment such as exposure may not be performed. Further, the development process may not be performed, and in this case, the infrared ray shielding film (I) which is not patterned can be formed.

当該組成物を塗布する上記支持体としては、上記透明基板、マイクロレンズ、カラーフィルター等が相当する。上記塗布は、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法(スリット塗布法)、バー塗布法等の適宜の塗布法を採用することができる。   The above-mentioned transparent substrate, a micro lens, a color filter etc. correspond as said support body which apply | coats the said composition. The application may be carried out by any suitable application method such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method (slit coating method), a bar coating method and the like.

上記プレベークにおける加熱乾燥の条件としては、例えば70℃以上110℃以下、1分以上10分以下程度である。   The heat drying conditions in the pre-baking are, for example, 70 ° C. or more and 110 ° C. or less, and about 1 minute or more and 10 minutes or less.

塗膜の露光に用いる放射線の光源としては、例えばキセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、XeClエキシマーレーザー、窒素レーザー等のレーザー光源等を挙げることができる。露光光源として、紫外線LEDを使用することもできる。波長は、190nm以上450nm以下の範囲にある放射線が好ましい。放射線の露光量は、一般的には10J/m以上50,000J/m以下程度である。 As a light source of radiation used for exposure of a coating film, for example, a lamp light source such as xenon lamp, halogen lamp, tungsten lamp, high pressure mercury lamp, ultra high pressure mercury lamp, metal halide lamp, medium pressure mercury lamp, low pressure mercury lamp, argon ion laser, YAG laser, Laser light sources such as XeCl excimer laser and nitrogen laser can be mentioned. An ultraviolet LED can also be used as an exposure light source. The wavelength is preferably radiation in the range of 190 nm to 450 nm. Exposure of radiation, typically on the order 10J / m 2 or more 50,000J / m 2 or less.

上記現像液としては、アルカリ現像液が一般的である。アルカリ現像液としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、現像後は、通常、水洗する。   An alkaline developer is generally used as the developer. Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant or the like can be added to the alkali developer. After development, usually, washing is performed.

現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5秒以上300秒以下程度である。   As the development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid buildup) development method or the like can be applied. The developing conditions are about 5 seconds to 300 seconds at normal temperature.

ポストベークの条件としては、通常180℃以上280℃以下、1分以上60分以下程度である。   The post-baking conditions are usually 180 ° C. or more and 280 ° C. or less, and about 1 minute or more and 60 minutes or less.

このようにして形成された赤外線遮蔽膜(I)の平均膜厚の下限としては、通常0.5μmであり、1μmが好ましい。一方、この平均膜厚の上限としては、通常5μmであり、3μmが好ましい。赤外線遮蔽膜(I)の平均膜厚が上記範囲であることによって、可視光透過性と赤外線遮蔽性とのバランスがより良好なものとなる。また、赤外線遮蔽膜(I)の好適な可視光透過率及び赤外線透過率は、後述する赤外線遮蔽膜(II)の範囲を適用することができる。   The lower limit of the average film thickness of the infrared shielding film (I) thus formed is usually 0.5 μm, preferably 1 μm. On the other hand, the upper limit of the average film thickness is usually 5 μm, preferably 3 μm. When the average film thickness of the infrared shielding film (I) is in the above-mentioned range, the balance between the visible light transmittance and the infrared shielding property becomes better. Moreover, the suitable visible light transmittance | permeability and infrared rays transmittance of infrared shielding film (I) can apply the range of infrared shielding film (II) mentioned later.

<赤外線遮蔽膜(II)>
本発明の一実施形態に係る赤外線遮蔽膜(II)は、実質的に1種又は2種のみの有機色素を含有し、下記(A)〜(C)を満たす固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜である。
(A)波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値が75%以上
(B)波長700nm900nm以下の範囲における透過率の平均値が16.5%以下
(C)波長1200nmにおける透過率が10%以下
<Infrared shielding film (II)>
An infrared shielding film (II) according to an embodiment of the present invention substantially includes only one or two organic dyes, and an infrared shielding film for a solid-state imaging device satisfying the following (A) to (C) It is.
(A) The average value of transmittance in the wavelength range of 430 nm to 580 nm is 75% or more (B) The average value of transmittance in the range of wavelength 700 nm to 900 nm is 16.5% or less (C) The transmittance at wavelength 1200 nm is 10 %Less than

当該赤外線遮蔽膜(II)を備える固体撮像素子用の光学フィルターは、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える。また、当該赤外線遮蔽膜(II)は、有機色素が実質的に1種又は2種のみしか含有されていないため、調製が容易であり、生産性が高い。ここで、「実質的に1種又は2種のみの有機色素を含有する」とは、含有している全有機色素に占める1種又は2種の有機色素の含有割合が、90質量%以上であることをいう。この含有割合は、99質量%以上であることが好ましく、99.9質量%以上であることがより好ましい。当該赤外線遮蔽膜(II)は、有機色素が実質的に1種類のみしか含有されていないことが好ましい。   The optical filter for a solid-state imaging device provided with the infrared shielding film (II) has both excellent visible light transmittance and infrared shielding property. In addition, since the infrared shielding film (II) contains only one or two organic dyes substantially, it is easy to prepare and has high productivity. Here, "containing substantially only one or two organic dyes" means that the content ratio of one or two organic dyes in the total organic dyes contained is 90% by mass or more. It says that there is. It is preferable that this content rate is 99 mass% or more, and it is more preferable that it is 99.9 mass% or more. The infrared shielding film (II) preferably contains substantially only one type of organic dye.

当該赤外線遮蔽膜(II)を有する光学フィルターの形態、すなわち、当該赤外線遮蔽膜(II)の使用形態は、上述した赤外線遮蔽膜(I)と同様である。   The form of the optical filter having the infrared shielding film (II), that is, the use form of the infrared shielding film (II) is the same as the infrared shielding film (I) described above.

(A)波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値の下限は、75%であるが、78%が好ましく、80%がより好ましい。この透過率の平均値が上記下限以上であることで、良好な可視光透過性を発揮することができる。一方、この透過率の平均値の上限としては、例えば95%であってよく、90%であってもよく、85%であってもよい。   (A) The lower limit of the average value of the transmittance in the wavelength range of 430 nm to 580 nm is 75%, preferably 78%, and more preferably 80%. When the average value of the transmittance is equal to or more than the above lower limit, good visible light transmittance can be exhibited. On the other hand, the upper limit of the average value of the transmittance may be, for example, 95%, 90%, or 85%.

(B)波長700nm900nm以下の範囲における透過率の平均値の上限は、16.5%であるが、16%が好ましく、15.5%がより好ましく、15%がさらに好ましく、14%がさらに好ましいこともある。この透過率の平均値が上記上限以下であることで、近赤外線の良好な遮蔽性を発揮することができる。一方、この平均値の下限としては、例えば5%であってよく、10%であってもよく、12%であってもよい。   (B) The upper limit of the average value of the transmittance in the wavelength range of 700 nm to 900 nm is 16.5%, but 16% is preferable, 15.5% is more preferable, 15% is more preferable, and 14% is more preferable Sometimes. By the average value of this transmittance | permeability being below the said upper limit, the favorable shielding property of near infrared rays can be exhibited. On the other hand, the lower limit of this average value may be, for example, 5%, 10%, or 12%.

波長700nm900nm以下の範囲における透過率の平均値(N)に対する波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値(S)の比(S/N比)の下限としては、5が好ましく、5.2がより好ましい。一方、この比の上限としては、10であってよく、8であってよく、6.5であってもよい。   5. The lower limit of the ratio (S / N ratio) of the average value (S) of transmittance in the range of 430 nm to 580 nm with respect to the average value (N) of transmittance in the range of 700 nm to 900 nm is preferably 5; 2 is more preferable. On the other hand, the upper limit of this ratio may be 10, 8 or 6.5.

(C)波長1200nmにおける透過率の上限は、10%であるが、8%が好ましく、7%がより好ましく、6.1%がさらに好ましい。この透過率が上記上限以下であることで、良好な赤外線遮蔽性を発揮することができる。一方、この透過率の下限としては、例えば3%であってよく、5%であってもよく、5.5%であってもよい。   (C) The upper limit of the transmittance at a wavelength of 1200 nm is 10%, preferably 8%, more preferably 7%, and still more preferably 6.1%. Favorable infrared shielding can be exhibited because this transmittance | permeability is below the said upper limit. On the other hand, the lower limit of the transmittance may be, for example, 3%, 5%, or 5.5%.

当該赤外線遮蔽膜(II)においては、下記(D)を満たすことが好ましい。
(D)下記式で表される可視光均一透過率が10%以下
上記可視光均一透過率の上限は、9%がより好ましく、8%がさらに好ましい。可視光均一透過率が上記上限以下であることで、可視光の透過性の均一化が図られ、より良好な視感度補正を行うことなどができる。なお、この可視光均一透過率の下限としては特に限定されないが、例えば1%であってよく、3%であってもよく、5%であってもよい。
The infrared shielding film (II) preferably satisfies the following (D).
(D) The visible light uniform transmittance represented by the following formula is 10% or less 9% is more preferable, and the upper limit of the visible light uniform transmittance is more preferably 8%. When the visible light uniform transmittance is less than or equal to the above upper limit, the visible light transmittance can be made uniform, and more preferable visual sensitivity correction can be performed. The lower limit of the visible light uniform transmittance is not particularly limited, but may be, for example, 1%, 3%, or 5%.

可視光均一透過率={(波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値−波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の最低値)/波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値}×100(%) Visible light uniform transmittance = {(average value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm-minimum value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm) / average value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm } × 100 (%)

当該赤外線遮蔽膜(II)は、例えば上述した本発明の一実施形態である固体撮像素子用組成物によって形成することができる。当該赤外線遮蔽膜(II)の形成方法も、赤外線遮蔽膜(I)の形成方法として上述した方法と同様である。但し、用いる当該組成物においては、実質的に1種類又は2種のみの有機色素を含有し、少なくとも[A]フタロシアニン化合物が、有機色素に該当する。すなわち、当該赤外線遮蔽膜(II)においては、上記有機色素が、上記式(1)で表されるフタロシアニン化合物([A]フタロシアニン化合物)であることが好ましい。   The said infrared rays shielding film (II) can be formed, for example by the composition for solid-state image sensors which is one Embodiment of this invention mentioned above. The method of forming the infrared shielding film (II) is also the same as the method described above as the method of forming the infrared shielding film (I). However, the composition to be used substantially contains only one or two organic dyes, and at least the [A] phthalocyanine compound corresponds to the organic dyes. That is, in the infrared shielding film (II), the organic dye is preferably a phthalocyanine compound ([A] phthalocyanine compound) represented by the above formula (1).

当該赤外線遮蔽膜(II)を形成するための固体撮像素子用組成物の好ましい形態も、上述した当該固体撮像素子用組成物のとおりである。すなわち、当該赤外線遮蔽膜(II)は、金属酸化物、銅化合物又はこれらの組み合わせである赤外線遮蔽剤([B]赤外線遮蔽剤)をさらに含有することが好ましい。また、[B]赤外線遮蔽剤が、セシウム酸化タングステンであることが好ましい。当該赤外線遮蔽膜(II)のその他の好ましい形態も、当該固体撮像素子用組成物から形成される赤外線遮蔽膜(I)と同様である。   The preferred embodiment of the composition for solid-state imaging device for forming the infrared shielding film (II) is also the same as the composition for solid-state imaging device described above. That is, the infrared shielding film (II) preferably further contains an infrared shielding agent ([B] infrared shielding agent) which is a metal oxide, a copper compound or a combination thereof. Moreover, it is preferable that the [B] infrared shielding agent is cesium-tungsten oxide. The other preferable form of the said infrared shielding film (II) is also the same as that of the infrared shielding film (I) formed from the said composition for solid-state image sensors.

当該赤外線遮蔽膜(II)は、架橋構造を有する重合体を含むことが好ましい。このような架橋構造を有する重合体は、上述した[D]重合性化合物、側鎖に重合性不飽和結合等の重合性基を有する重合体などの重合(架橋)反応によって形成される。すなわち、架橋構造を有する重合体を含む赤外線遮蔽膜(II)は、[D]重合性化合物等及び[E]重合開始剤を含む当該組成物の硬化膜である。このような赤外線遮蔽膜(II)は、当該組成物の塗膜に対して、放射線の照射や加熱などの硬化処理を施すことによって得られる。このような赤外線遮蔽膜(II)は、例えば溶融成形されたフィルム状のものと比べ、良好な硬度や耐熱性を発揮することなどができる。また、このような赤外線遮蔽膜(II)は、マスク等を介してパターニングされた任意の形状の硬化膜として比較的容易に得ることができるといった利点もある。   It is preferable that the said infrared rays shielding film (II) contains the polymer which has a crosslinked structure. The polymer having such a crosslinked structure is formed by a polymerization (crosslinking) reaction of the above-described polymerizable compound [D] or a polymer having a polymerizable group such as a polymerizable unsaturated bond in a side chain. That is, the infrared shielding film (II) containing a polymer having a crosslinked structure is a cured film of the composition containing a [D] polymerizable compound or the like and an [E] polymerization initiator. Such an infrared shielding film (II) is obtained by subjecting the coating film of the composition to a curing treatment such as irradiation of radiation or heating. Such an infrared shielding film (II) can exhibit, for example, good hardness and heat resistance as compared to a melt-formed film-like one. In addition, such an infrared shielding film (II) has an advantage that it can be relatively easily obtained as a cured film of an arbitrary shape patterned through a mask or the like.

<固体撮像素子>
本発明の一実施形態に係る固体撮像素子は、当該赤外線遮蔽膜(I)又は当該赤外線遮蔽膜(II)を有する固体撮像素子である。当該固体撮像素子は、含有される有機色素の種類が少ない場合であっても、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える赤外線遮蔽膜を有するため、良好な視感度補正がなされる。
<Solid-state imaging device>
The solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention is a solid-state imaging device having the infrared ray shielding film (I) or the infrared ray shielding film (II). Since the solid-state imaging device has an infrared shielding film having both excellent visible light transparency and infrared shielding properties even when the type of the organic dye contained is small, good visibility correction is made.

当該固体撮像素子は、一般的に、複数のフォトダイオードが配置される層、カラーフィルター、及びマイクロレンズがこの順に積層されてなる構造を有する。また、これらの層間には、平坦化層が設けられていてもよい。当該固体撮像素子においては、マイクロレンズ側から光が入射する。入射光は、マイクロレンズ及びカラーフィルターを透過し、フォトダイオードに到達する。なお、カラーフィルターについては、例えばR(赤)、G(緑)及びB(青)のフィルターのそれぞれにおいて、特定の波長範囲の光のみが透過するよう構成されている。   The solid-state imaging device generally has a structure in which a layer in which a plurality of photodiodes are disposed, a color filter, and a microlens are stacked in this order. In addition, a planarization layer may be provided between these layers. In the solid-state imaging device, light is incident from the microlens side. Incident light passes through the microlens and the color filter and reaches the photodiode. The color filters are configured to transmit only light in a specific wavelength range, for example, in each of the R (red), G (green) and B (blue) filters.

当該固体撮像素子において、当該赤外線遮蔽膜(I)又は当該赤外線遮蔽膜(II)は、上記マイクロレンズの外面側、上記マイクロレンズと上記カラーフィルターとの間、上記カラーフィルターと上記複数のフォトダイオードが配置される層との間などに設けられることができる。当該赤外線遮蔽膜(I)又は当該赤外線遮蔽膜(II)は、マイクロレンズとカラーフィルターとの間又はカラーフィルターとフォトダイオードとの間に積層されることが好ましい。なお、当該赤外線遮蔽膜(I)又は当該赤外線遮蔽膜(II)と、マイクロレンズ、カラーフィルター、フォトダイオード等との間には、さらに別の層(平坦化層等)が設けられていてもよい。   In the solid-state imaging device, the infrared shielding film (I) or the infrared shielding film (II) is an outer surface side of the microlens, between the microlens and the color filter, the color filter, and the plurality of photodiodes. May be provided between the layer to be placed, etc. The infrared shielding film (I) or the infrared shielding film (II) is preferably laminated between the microlens and the color filter or between the color filter and the photodiode. In addition, even if another layer (planarization layer etc.) is provided between the infrared ray shielding film (I) or the infrared ray shielding film (II) and a micro lens, a color filter, a photodiode etc. Good.

当該固体撮像素子の具体例としては、カメラモジュールとしてのCCDやCMOSなどが挙げられる。当該固体撮像素子は、デジタルスチルカメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、PCカメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、携帯情報端末、パソコン、ビデオゲーム、医療機器等に有用である。   As a specific example of the said solid-state image sensor, CCD as a camera module, CMOS, etc. are mentioned. The solid-state imaging device is useful for digital still cameras, cameras for mobile phones, digital video cameras, PC cameras, surveillance cameras, cameras for automobiles, portable information terminals, personal computers, video games, medical devices, and the like.

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited to these examples.

<合成例1>
上記Scheme1に沿って、下記式で表されるフタロシアニン化合物(A−1)(極大吸収波長735nm)を合成した。出発原料としては、1,2−ジシアノ−3,6−ジ(4−メトキシブチル)ベンゼンを用いた。「1.base」としては、リチウムペントキシド(固体リチウム及びペンタン−1−オール)を用い、「2.acid」としては、氷酢酸を用いた。また、M2+を与える塩としては、バナジル塩を用いた。
Synthesis Example 1
Along the above-mentioned Scheme 1, a phthalocyanine compound (A-1) (maximum absorption wavelength 735 nm) represented by the following formula was synthesized. As a starting material, 1,2-dicyano-3,6-di (4-methoxybutyl) benzene was used. Lithium pentoxide (solid lithium and pentan-1-ol) was used as “1. base”, and glacial acetic acid was used as “2. acid”. In addition, vanadyl salt was used as a salt giving M 2+ .

Figure 2018180167
Figure 2018180167

<合成例2>
特開平05−25177の段落[0020]〜[0025](実施例1)に記載の方法を用いて、下記式で表されるフタロシアニン化合物(a−1)(極大吸収波長692nm)を合成した。
Synthesis Example 2
The phthalocyanine compound (a-1) (maximum absorption wavelength 692 nm) represented by a following formula was synthesize | combined using the method as described in stage-of Unexamined-Japanese-Patent No. 05-25177 (Example 1).

Figure 2018180167
Figure 2018180167

<合成例3>
特開2016−204536号公報の段落[0075](実施例4)に記載の方法を用いて、下記式で表されるフタロシアニン化合物(a−2)(極大吸収波長728nm)を合成した。
Synthesis Example 3
The phthalocyanine compound (a-2) (maximum absorption wavelength 728 nm) represented by a following formula was synthesize | combined using the method as described in stage of Unexamined-Japanese-Patent No. 2016-204536 (Example 4).

Figure 2018180167
Figure 2018180167

その他、用いた色素は以下のとおりである。
・化合物(a−3):山田化学工業社の「FDN−002」(フタロシアニン化合物:極大吸収波長807nm)
The other dyes used are as follows.
Compound (a-3): “FDN-002” (Phthalocyanine compound: maximum absorption wavelength 807 nm) of Yamada Chemical Industry Co., Ltd.

<合成例4>
特許第4096205号公報の段落[0113]に記載の方法を用いて、セシウム酸化タングステン(Cs0.33WO)粉末を合成した。
Synthesis Example 4
Cesium tungsten oxide (Cs 0.33 WO 3 ) powder was synthesized using the method described in paragraph [0113] of Japanese Patent No. 4096205.

[調製例]
上記セシウム酸化タングステン25.00質量部、分散剤としてのビックケミー社の「BYK−LPM6919」(固形分濃度61質量%、アミン価120mgKOH/g)13.11質量部、及び溶媒(分散媒)としてのシクロペンタノン(CPN)61.89質量部を用意した。これらを0.1mm径のジルコニアビーズ2000質量部と共に容器に充填し、ペイントシェーカーで分散を行うことで、平均粒子径(D50)が19nmの分散液を得た。なお、平均粒子径は、光散乱測定装置(ドイツALV社の「ALV−5000」)を用いて、DLS法により測定した。
[Preparation example]
25.00 parts by mass of the above cesium tungsten oxide, 13.11 parts by mass of BYK-LPM6919 (solid content concentration: 61% by mass, amine value: 120 mg KOH / g) as a dispersing agent, and as a solvent (dispersion medium) 61.89 parts by mass of cyclopentanone (CPN) was prepared. These were filled in a container together with 2000 parts by mass of 0.1 mm diameter zirconia beads and dispersed by a paint shaker to obtain a dispersion having an average particle diameter (D50) of 19 nm. In addition, average particle diameter was measured by DLS method using the light-scattering measurement apparatus ("ALV-5000" of ALV company in Germany).

[実施例1]
上記分散液50.00質量部、フタロシアニン化合物(A−1)0.75質量部、重合性化合物として日本化薬社の「KAYARAD DPHA」(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物)7.01質量部、重合開始剤としてADEKA社の「NCI−930」(O−アシルオキシム系化合物)0.70質量部、界面活性剤としてネオス社の「FTX−218D」(フッ素系界面活性剤)0.02質量部、酸化防止剤としてBASF社の「Irganox1010」(フェノール系酸化防止剤)0.01質量部、及び溶媒としてシクロペンタノン(CNP)41.50質量部を容器に量り取り、攪拌機で混合した。この混合物200mLを0.5μmのPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)製フィルターを用いて0.5MPaで3分間加圧ろ過することにより、実施例1の組成物を得た。
Example 1
50.00 parts by mass of the above dispersion, 0.75 parts by mass of a phthalocyanine compound (A-1), "KAYARAD DPHA" (a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. as a polymerizable compound 7.01 parts by mass, 0.70 parts by mass of "NCI-930" (O-acyloxime compound) manufactured by ADEKA as a polymerization initiator, "FTX-218D" manufactured by Neos as a surfactant (fluorinated surfactant) 0.02 parts by mass, 0.01 parts by mass of "Irganox 1010" (phenolic antioxidant) by BASF as an antioxidant, and 41.50 parts by mass of cyclopentanone (CNP) as a solvent are weighed in a container, It mixed by the stirrer. The composition of Example 1 was obtained by pressure-filtering 200 mL of this mixture using a 0.5 μm PTFE (polytetrafluoroethylene) filter for 3 minutes at 0.5 MPa.

[実施例2〜3、比較例1〜3]
各成分の組成を表1に示すとおりとしたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜3及び比較例1〜3の各組成物を得た。
[Examples 2 to 3, Comparative Examples 1 to 3]
Each composition of Examples 2 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 was obtained in the same manner as Example 1 except that the composition of each component was as shown in Table 1.

[評価]
得られた各組成物を用い、以下の評価を行った。評価結果を表1に示す。
[Evaluation]
The following evaluation was performed using each obtained composition. The evaluation results are shown in Table 1.

各組成物をガラス基板上に所定の膜厚になるようにスピンコート法にて塗布した。その後、塗膜を100℃で120秒間加熱し、i線ステッパにて1000mJ/cmとなるように露光を行った。次いで220℃で300秒間加熱することで、ガラス基板上に平均膜厚1.4〜1.6μmの赤外線遮蔽膜を作製した。各平均膜厚は表1に示す。なお、膜厚は触針式段差計(ヤマト科学社の「アルファステップIQ」)にて測定した。次に、上記ガラス基板上に作製した赤外線遮蔽膜の各波長領域における透過率を、分光光度計(日本分光社の「V−7300」)を用いて、ガラス基板対比で測定した。得られたスペクトルより、以下のような評価基準により評価を行った。なお、実施例1の赤外線遮蔽膜の透過スペクトルを図1に示す。なお、図1の透過スペクトルにおいて、横軸は波長(nm)、縦軸は透過率(%)である。 Each composition was apply | coated by the spin coat method so that it might become a predetermined | prescribed film thickness on a glass substrate. Thereafter, the coated film was heated at 100 ° C. for 120 seconds, and exposed to an intensity of 1000 mJ / cm 2 with an i-line stepper. Subsequently, the infrared shielding film with an average film thickness of 1.4-1.6 micrometers was produced on the glass substrate by heating at 220 degreeC for 300 second. Each average film thickness is shown in Table 1. In addition, the film thickness was measured by a stylus type step difference meter ("Alpha step IQ" by Yamato Scientific Co., Ltd.). Next, the transmittance | permeability in each wavelength area of the infrared shielding film produced on the said glass substrate was measured in comparison with a glass substrate using the spectrophotometer ("V-7300" of JASCO Corporation). From the obtained spectrum, evaluation was performed according to the following evaluation criteria. The transmission spectrum of the infrared shielding film of Example 1 is shown in FIG. In the transmission spectrum of FIG. 1, the horizontal axis is wavelength (nm) and the vertical axis is transmittance (%).

(可視光透過性)
430−580nmの平均透過率を算出した。平均透過率が70%未満の場合は赤外線遮蔽膜として使用した際の感度が低下する。また、上記平均透過率について、以下の基準で評価した。
A:80%以上
B:70%以上80%未満
C:70%未満
(Visible light transmission)
The average transmittance at 430-580 nm was calculated. When the average transmittance is less than 70%, the sensitivity when used as an infrared shielding film is reduced. Moreover, about the said average transmittance | permeability, the following references | standards evaluated.
A: 80% or more B: 70% or more and less than 80% C: less than 70%

(赤外線遮蔽性1)
700−900nmの平均透過率を算出した。平均透過率が20%以上の場合は赤外線遮蔽膜として使用した際にノイズ量が増大する。また、上記平均透過率について、以下の基準で評価した。
A:15%未満
B:15%以上20%未満
C:20%以上
(Infrared shielding 1)
The average transmittance of 700-900 nm was calculated. When the average transmittance is 20% or more, the amount of noise increases when used as an infrared shielding film. Moreover, about the said average transmittance | permeability, the following references | standards evaluated.
A: less than 15% B: 15% or more and less than 20% C: 20% or more

(赤外線遮蔽性2)
波長1200nmの透過率については、透過性が15%未満で実用上良好な赤外線遮蔽性を示すといえる。波長1200nmの透過率について、以下の基準で評価した。
A:10%未満
B:10%以上15%未満
C:15%以上
(Infrared shielding 2)
About the transmittance | permeability of wavelength 1200nm, it can be said that the transmittance | permeability shows less than 15%, and the practically favorable infrared shielding property is shown. The transmittance at a wavelength of 1200 nm was evaluated according to the following criteria.
A: less than 10% B: 10% or more and less than 15% C: 15% or more

(S/N比)
上記可視光域(430−580nm)の平均透過率(S)と赤外域(700−900nm)の平均透過率(N)の比(S/N比)をとり、実用性能について推定を行った。S/N比は数値が高いほど性能が良好であり、5以上の場合に実用レベルで使用可能と判断した。S/N比について以下の基準で評価した。
A:5以上
B:5未満
(S / N ratio)
The ratio (S / N ratio) of the average transmittance (S) in the visible light region (430-580 nm) and the average transmittance (N) in the infrared region (700-900 nm) was taken to estimate practical performance. The higher the S / N ratio, the better the performance, and when it was 5 or more, it was judged that it could be used at a practical level. The following criteria evaluated S / N ratio.
A: 5 or more B: less than 5

(可視光均一透過性)
上記可視光域(430−580nm)の平均透過率(S)と上記可視光域における最低透過率(Smin)とから、下記式に基づいてX(可視光均一透過率)を求め、可視光の均一透過性を評価した。
X=((S−Smin)/S)×100(%)
上記Xが小さいほど、可視光の均一透過性が高いと判断できる。上記Xについて、以下の基準で評価した。
A:10%未満
B:10%以上
(Visible light uniform transparency)
From the average transmittance (S) in the visible light range (430-580 nm) and the minimum transmittance (S min ) in the visible light range, X (visible light uniform transmittance) is determined based on the following equation Uniform permeability was evaluated.
X = ((S−S min ) / S) × 100 (%)
It can be judged that the uniform transmittance of visible light is higher as X is smaller. The above X was evaluated according to the following criteria.
A: less than 10% B: 10% or more

Figure 2018180167
Figure 2018180167

上記表1に示されるように、実施例1〜3の赤外線遮蔽膜は、可視光透過性と赤外線遮蔽性とが共に良好(A又はB)であり、かつ、可視光の均一透過性にも優れる。また、実施例1〜3の赤外線遮蔽膜は、有機色素の含有種が1種類又は2種類のみであるにも拘わらず、このような良好な特性が発現できていることがわかる。   As shown in Table 1 above, in the infrared shielding films of Examples 1 to 3, both the visible light transmittance and the infrared shielding property are good (A or B), and also the uniform transmittance of visible light. Excellent. Moreover, it turns out that the infrared rays shielding film of Examples 1-3 can express such a favorable characteristic, although the kind containing organic dye is only 1 type or 2 types.

本発明の固体撮像素子用組成物は、固体撮像素子の光学フィルター、より具体的には赤外線フィルターなどの形成材料として好適に用いることができる。   The composition for solid-state imaging device of the present invention can be suitably used as a forming material for an optical filter of a solid-state imaging device, more specifically, an infrared filter.

Claims (14)

下記式(1)で表されるフタロシアニン化合物
を含有する固体撮像素子用組成物。
Figure 2018180167
(式(1)中、複数のRは、それぞれ独立して、アルキル基又はアリール基である。複数のXは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基である。複数のXは、互いに結合してこれらが結合する炭素鎖と共に芳香環を形成していてもよい。Mは、2つの水素原子、2価の金属原子、又は3若しくは4価の金属原子の誘導体である。複数のnは、それぞれ独立して、3〜6の整数である。)
The composition for solid-state imaging devices containing the phthalocyanine compound represented by following formula (1).
Figure 2018180167
(In formula (1), a plurality of R's are each independently an alkyl group or an aryl group. A plurality of X's are each independently a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. A plurality of X's is M may be bonded to each other to form an aromatic ring together with the carbon chain to which they are bonded M is a derivative of two hydrogen atoms, a divalent metal atom, or a trivalent or tetravalent metal atom. Each n is independently an integer of 3 to 6)
金属酸化物、銅化合物(上記フタロシアニン化合物を除く)又はこれらの組み合わせである赤外線遮蔽剤
をさらに含有する請求項1に記載の固体撮像素子用組成物。
The composition for solid-state imaging devices according to claim 1, further comprising an infrared shielding agent which is a metal oxide, a copper compound (excluding the phthalocyanine compound), or a combination thereof.
上記赤外線遮蔽剤が、セシウム酸化タングステンである請求項2に記載の固体撮像素子用組成物。   The composition for a solid-state imaging device according to claim 2, wherein the infrared shielding agent is cesium tungsten oxide. 上記金属酸化物、銅化合物又はこれらの組み合わせの含有量が、全固形分に対して1質量%以上70質量%以下である請求項2又は請求項3に記載の固体撮像素子用組成物。   The composition for a solid-state imaging device according to claim 2 or 3, wherein the content of the metal oxide, the copper compound or the combination thereof is 1% by mass to 70% by mass with respect to the total solid content. 上記フタロシアニン化合物の含有量が、全固形分に対して0.1質量%以上30質量%以下である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の固体撮像素子用組成物。   The composition for a solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of the phthalocyanine compound is 0.1% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the total solid content. 上記式(1)中のRが、炭素数1〜12の直鎖状又は分岐状のアルキル基である請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の固体撮像素子用組成物。   The composition for a solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 5, wherein R in the formula (1) is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. 上記式(1)中のMが、H、Pd、Cu、Zn、Pt、Ni、Co、Fe、Mn、Sn、In、SnCl、AlCl、VO又はTiOである請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の固体撮像素子用組成物。 The M in the above formula (1) is H 2 , Pd, Cu, Zn, Pt, Ni, Co, Fe, Mn, Sn, In, SnCl 2 , AlCl, VO or TiO. The composition for solid-state image sensors of any one of these. 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の固体撮像素子用組成物から形成される固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜。   The infrared shielding film for solid-state image sensors formed from the composition for solid-state image sensors of any one of Claims 1-7. 実質的に1種又は2種のみの有機色素を含有し、下記(A)〜(C)を満たす固体撮像素子用の赤外線遮蔽膜。
(A)波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値が75%以上
(B)波長700nm以上900nm以下の範囲における透過率の平均値が16.5%以下
(C)波長1200nmにおける透過率が10%以下
An infrared shielding film for a solid-state imaging device substantially containing only one or two organic dyes and satisfying the following (A) to (C).
(A) The average value of the transmittance in the range of 430 nm to 580 nm is 75% or more (B) The average value of the transmittance in the range of 700 nm to 900 nm is 16.5% or less (C) The transmittance at 1200 nm Less than 10%
(D)下記式で表される可視光均一透過率が10%以下である請求項9に記載の赤外線遮蔽膜。
可視光均一透過率={(波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値−波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の最低値)/波長430nm以上580nm以下の範囲における透過率の平均値}×100(%)
(D) The infrared shielding film according to claim 9, wherein the visible light uniform transmittance represented by the following formula is 10% or less.
Visible light uniform transmittance = {(average value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm-minimum value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm) / average value of transmittance in a wavelength range of 430 nm to 580 nm } × 100 (%)
金属酸化物、銅化合物又はこれらの組み合わせである赤外線遮蔽剤
をさらに含有する請求項9又は請求項10に記載の赤外線遮蔽膜。
The infrared rays shielding film of Claim 9 or 10 which further contains the infrared rays shielding agent which is a metal oxide, a copper compound, or these combination.
上記赤外線遮蔽剤が、セシウム酸化タングステンである請求項11に記載の赤外線遮蔽膜。   The infrared shielding film according to claim 11, wherein the infrared shielding agent is cesium tungsten oxide. 上記有機色素が、下記式(1)で表されるフタロシアニン化合物である請求項9から請求項12のいずれか1項に記載の赤外線遮蔽膜。
Figure 2018180167
(式(1)中、複数のRは、それぞれ独立して、アルキル基又はアリール基である。複数のXは、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子若しくはアルキル基である。複数のXは、互いに結合してこれらが結合する炭素鎖と共に芳香環を形成していてもよい。Mは、2つの水素原子、2価の金属原子、又は3若しくは4価の金属誘導体である。複数のnは、それぞれ独立して、3〜6の整数である。)
The infrared shielding film according to any one of claims 9 to 12, wherein the organic dye is a phthalocyanine compound represented by the following formula (1).
Figure 2018180167
(In the formula (1), a plurality of R's are each independently an alkyl group or an aryl group. A plurality of X's are each independently a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. M may be bonded to each other to form an aromatic ring together with the carbon chain to which they are attached M is two hydrogen atoms, a divalent metal atom, or a trivalent or tetravalent metal derivative. Are each independently an integer of 3 to 6.)
請求項8から請求項13のいずれか1項に記載の赤外線遮蔽膜を有する固体撮像素子。   A solid-state imaging device having the infrared shielding film according to any one of claims 8 to 13.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020071470A1 (en) * 2018-10-05 2020-04-09 山本化成株式会社 Phthalocyanine compound and use thereof
WO2020071486A1 (en) * 2018-10-05 2020-04-09 Jsr株式会社 Composition for optical sensors
JP2021047216A (en) * 2019-09-17 2021-03-25 Jsr株式会社 Curable composition

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02502099A (en) * 1987-02-13 1990-07-12 イギリス国 substituted phthalocyanine
JP2003516421A (en) * 1999-12-08 2003-05-13 ジェンシャン・アクティーゼルスカブ Substituted phthalocyanines and their precursors
US20120271044A1 (en) * 2009-12-18 2012-10-25 Yu-Mi Chang Vanadyl phthalocyanine compounds and near-infrared absorption filters using same
JP2013195480A (en) * 2012-03-16 2013-09-30 Fujifilm Corp Infrared absorbing composition and infrared cut filter
JP2014197170A (en) * 2013-02-14 2014-10-16 富士フイルム株式会社 Infrared absorbing composition or infrared absorbing composition kit, infrared cut filter produced using the same and manufacturing method therefor, and camera module and manufacturing method therefor
WO2016104491A1 (en) * 2014-12-26 2016-06-30 Jsr株式会社 Infrared-blocking composition, cured film, and solid-state imaging device
WO2018186489A1 (en) * 2017-04-07 2018-10-11 山本化成株式会社 Phthalocyanine compound and use of same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960013076A (en) * 1994-09-26 1996-04-20 유석종 28GHZ Band Down Converter by Self Resonant Oscillator
JP2008201952A (en) 2007-02-21 2008-09-04 Nippon Shokubai Co Ltd Phthalocyanine compound
JP6486768B2 (en) * 2015-05-18 2019-03-20 山本化成株式会社 Filter comprising phthalocyanine compound

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02502099A (en) * 1987-02-13 1990-07-12 イギリス国 substituted phthalocyanine
JP2003516421A (en) * 1999-12-08 2003-05-13 ジェンシャン・アクティーゼルスカブ Substituted phthalocyanines and their precursors
US20120271044A1 (en) * 2009-12-18 2012-10-25 Yu-Mi Chang Vanadyl phthalocyanine compounds and near-infrared absorption filters using same
JP2013195480A (en) * 2012-03-16 2013-09-30 Fujifilm Corp Infrared absorbing composition and infrared cut filter
JP2014197170A (en) * 2013-02-14 2014-10-16 富士フイルム株式会社 Infrared absorbing composition or infrared absorbing composition kit, infrared cut filter produced using the same and manufacturing method therefor, and camera module and manufacturing method therefor
WO2016104491A1 (en) * 2014-12-26 2016-06-30 Jsr株式会社 Infrared-blocking composition, cured film, and solid-state imaging device
WO2018186489A1 (en) * 2017-04-07 2018-10-11 山本化成株式会社 Phthalocyanine compound and use of same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020071470A1 (en) * 2018-10-05 2020-04-09 山本化成株式会社 Phthalocyanine compound and use thereof
WO2020071486A1 (en) * 2018-10-05 2020-04-09 Jsr株式会社 Composition for optical sensors
JPWO2020071486A1 (en) * 2018-10-05 2021-09-30 Jsr株式会社 Composition for optical sensor
JP7424300B2 (en) 2018-10-05 2024-01-30 Jsr株式会社 Composition for optical sensors
JP7431744B2 (en) 2018-10-05 2024-02-15 山本化成株式会社 Phthalocyanine compounds and their uses
JP2021047216A (en) * 2019-09-17 2021-03-25 Jsr株式会社 Curable composition

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