JP2018174636A - 駆動装置および圧電アクチュエータ - Google Patents
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】ップ状の電子部品を処理する電子部品処理装置において電子部品の処理に用いる作用子を駆動する駆動装置1であって、印加電圧に応じて所定方向に伸縮変位する圧電素子11を有する圧電素子部2と、圧電素子11の伸縮変位が伝達され、その伸縮変位を拡大された角度変位として出力する変位拡大機構3と、基端部が変位拡大機構3に取り付けられるとともに、先端部に作用子である測定プローブ40が取り付けられ、変位拡大機構3の角度変位にともなって揺動し、測定プローブ40を揺動させる揺動アーム4とを備える。
【選択図】図1
Description
印加電圧に応じて所定方向に伸縮変位する圧電素子を有する圧電素子部と、
前記圧電素子の伸縮変位が伝達され、その伸縮変位を拡大された角度変位として出力する変位拡大機構と、
基端部が前記変位拡大機構に取り付けられるとともに、先端部に前記作用子が取り付けられ、前記変位拡大機構の角度変位にともなって揺動し、前記作用子を揺動させる揺動アームと
を備えることを特徴とする駆動装置。
前記圧電素子部の一方の端部を固定する第1部材と、
前記圧電素子部の他方の端部を固定する第2部材と、
前記第1部材および前記第2部材に、それぞれ可撓性を有する第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して結合され、前記揺動アームが取り付けられる第3部材とを有し、
前記第1部材および前記第2部材は、前記圧電素子の伸縮変位により相対的な変位を生じ、その相対的な変位が前記第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して前記第3部材に拡大された角度変位として伝達され、その拡大された角度変位が前記揺動アームに伝達されることを特徴とする(1)から(7)のいずれかに記載の駆動装置。
印加電圧に応じて所定方向に伸縮変位する圧電素子を有する圧電素子部と、
前記圧電素子の伸縮変位が伝達され、その伸縮変位を拡大された角度変位として出力する変位拡大機構とを備え、
前記変位拡大機構には、先端部に前記作用子が取り付けられた揺動アームの基端部が取り付けられ、前記揺動アームは、前記変位拡大機構の角度変位にともなって揺動し、前記作用子を揺動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。
前記圧電素子部の一方の端部を固定する第1部材と、
前記圧電素子部の他方の端部を固定する第2部材と、
前記第1部材および前記第2部材に、それぞれ可撓性を有する第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して結合され、前記揺動アームが取り付けられる第3部材とを有し、
前記第1部材および前記第2部材は、前記圧電素子の伸縮変位により相対的な変位を生じ、その相対的な変位が前記第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して前記第3部材に拡大された角度変位として伝達され、その拡大された角度変位が前記揺動アームに伝達されることを特徴とする(12)から(18)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
まず、第1の実施形態について説明する。
図1は本発明の第1の実施形態に係る駆動装置の一例を示す側面図、図2は図1の駆動装置を斜め上方から見た斜視図、図3は図1の駆動装置を斜め下方から見た斜視図、図4は圧電素子部2を示す側面図である。
測定装置のターンテーブル70は、回転可能に設けられ、図5に示すように、周方向に沿って電子部品60を収納する複数の収納溝71を有している。そして、ターンテーブル70を回転させつつ、圧電素子11の電気端子間に所定の電圧を印加して、圧電素子11を伸縮させることにより、変位拡大機構3および揺動アーム4を介して作用子としての測定プローブ40を揺動させることにより、複数の収納溝71に収納された電子部品60の電気特性等を順次測定する。すなわち、ターンテーブル70を回転させて収納溝71に収納された電子部品60が測定プローブ40の直上の測定位置に達した際に、測定プローブ40を上方に変位させて測定プローブ40の先端を電子部品60の下面に設けられた電極61に接触させ、電子部品60の電気特性を測定し、測定後、測定プローブ40を下方に変位させて退避させる。そして、次の電子部品60が測定位置に到達した時点で再び同様の動作を行い、これら動作を高速で繰り返す。測定プローブ40を高速で揺動させるために、圧電素子11の電気端子間にはパルス状の電圧が与えられる。
次に、第2の実施形態について説明する。
図9は本発明の第2の実施形態に係る駆動装置を示す斜視図である。
2;圧電素子部
3,3′;変位拡大機構
4;揺動アーム
5;熱伝導性材料
10;圧電アクチュエータ
11;圧電素子
12;与圧機構
13;ヘッドピース
14;圧縮力付与部
21,21′;第1部材
22,22′;第2部材
23;第3部材
24;第1ヒンジ部
25;第2ヒンジ部
26,27;切り欠き部
28;第3ヒンジ部
40;測定プローブ
50;ベース部材
60;電子部品
61;電極
70,90,130;ターンテーブル
71,91,131;収納溝
80;吸着ノズル
100,140;基盤
101,141;貫通孔
150;キャリアテープ
151;キャビティ
Claims (19)
- チップ状の電子部品を処理する電子部品処理装置において電子部品の処理に用いる作用子を駆動する駆動装置であって、
印加電圧に応じて所定方向に伸縮変位する圧電素子を有する圧電素子部と、
前記圧電素子の伸縮変位が伝達され、その伸縮変位を拡大された角度変位として出力する変位拡大機構と、
基端部が前記変位拡大機構に取り付けられるとともに、先端部に前記作用子が取り付けられ、前記変位拡大機構の角度変位にともなって揺動し、前記作用子を揺動させる揺動アームと
を備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記変位拡大機構は、前記電子部品処理装置のベース部材に接触するように設けられ、前記圧電素子から前記変位拡大機構を介して前記ベース部材に至る放熱経路が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記変位拡大機構は、前記圧電素子部の側面を覆うように設けられた側面部を有し、前記側面部が前記ベース部材に接触するように設けられていることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。
- 前記側面部は、前記圧電素子部の一方の側面を覆うように設けられていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
- 前記側面部は、前記圧電素子部の両側面を覆い、その中央部に切り欠き部が形成されており、前記切り欠き部に前記圧電素子部が挿入されていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
- 前記圧電素子部からの熱が熱伝導により前記側面部に伝熱されるように構成されていることを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記圧電素子部と前記側面部との間に高熱伝導材料が介装されていることを特徴とする請求項6に記載の駆動装置。
- 前記変位拡大機構は、
前記圧電素子部の一方の端部を固定する第1部材と、
前記圧電素子部の他方の端部を固定する第2部材と、
前記第1部材および前記第2部材に、それぞれ可撓性を有する第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して結合され、前記揺動アームが取り付けられる第3部材とを有し、
前記第1部材および前記第2部材は、前記圧電素子の伸縮変位により相対的な変位を生じ、その相対的な変位が前記第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して前記第3部材に拡大された角度変位として伝達され、その拡大された角度変位が前記揺動アームに伝達されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 前記電子部品処理装置は、電子部品の特性の測定を行うための測定装置であり、前記作用子は、前記電子部品に接触されて特性を測定するための測定プローブであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記電子部品処理装置は、電子部品の特性の測定を行うための測定装置であり、前記作用子は、前記電子部品を吸着するための吸着ノズルであり、前記吸着ノズルに吸着された電子部品が特性を測定するための測定プローブに接触されることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記電子部品処理装置は、電子部品をテーピングする際に電子部品をキャリアテープに挿入する挿入装置であり、前記作用子は、前記電子部品を吸着するための吸着ノズルであり、前記吸着ノズルに吸着された電子部品が前記テープに挿入されることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の駆動装置。
- チップ状の電子部品を処理する電子部品処理装置において電子部品の処理に用いる作用子を駆動するための圧電アクチュエータであって、
印加電圧に応じて所定方向に伸縮変位する圧電素子を有する圧電素子部と、
前記圧電素子の伸縮変位が伝達され、その伸縮変位を拡大された角度変位として出力する変位拡大機構とを備え、
前記変位拡大機構には、先端部に前記作用子が取り付けられた揺動アームの基端部が取り付けられ、前記揺動アームは、前記変位拡大機構の角度変位にともなって揺動し、前記作用子を揺動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記変位拡大機構は、前記電子部品処理装置のベース部材に接触するように設けられ、前記圧電素子から前記変位拡大機構を介して前記ベース部材に至る放熱経路が形成されていることを特徴とする請求項12に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記変位拡大機構は、前記圧電素子部の側面を覆うように設けられた側面部を有し、前記側面部が前記ベース部材に接触するように設けられていることを特徴とする請求項13に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記側面部は、前記圧電素子部の一方の側面を覆うように設けられていることを特徴とする請求項14に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記側面部は、前記圧電素子部の両側面を覆い、その中央部に切り欠き部が形成されており、前記切り欠き部に前記圧電素子部が挿入されていることを特徴とする請求項14に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子部からの熱が熱伝導により前記側面部に伝熱されるように構成されていることを特徴とする請求項14から請求項16のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子部と前記側面部との間に高熱伝導材料が介装されていることを特徴とする請求項17に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記変位拡大機構は、
前記圧電素子部の一方の端部を固定する第1部材と、
前記圧電素子部の他方の端部を固定する第2部材と、
前記第1部材および前記第2部材に、それぞれ可撓性を有する第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して結合され、前記揺動アームが取り付けられる第3部材とを有し、
前記第1部材および前記第2部材は、前記圧電素子の伸縮変位により相対的な変位を生じ、その相対的な変位が前記第1のヒンジ部および第2のヒンジ部を介して前記第3部材に拡大された角度変位として伝達され、その拡大された角度変位が前記揺動アームに伝達されることを特徴とする請求項12から請求項18のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
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