JP2018174314A - R-T-B based sintered magnet - Google Patents

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佳則 藤川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an R-T-B based sintered magnet which is low cost and enables the increase in residual magnetic flux density and coercive force.SOLUTION: An R-T-B based sintered magnet 1 comprises RTB crystal as primary-phase grains 11 and grain boundaries 12, where R represents one or more kinds of rare earth elements, T represents one or more kinds of transition metal elements, including Fe or Fe and Co as an essential element, and B represents boron. The R-T-B based sintered magnet 1 has a magnet surface layer portion 1a, and a magnet center portion 1b located on an inner side of the magnet surface layer portion. A crystal orientation degree of the primary-phase grains 11 in the magnet surface layer portion 1a having a magnetic pole face is lower than a crystal orientation degree of the primary-phase grains 11 in the magnet center portion 1b.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、R−T−B系焼結磁石に関する。   The present invention relates to an RTB-based sintered magnet.

特許文献1に示されるように、R−T−B系焼結磁石は、優れた磁気特性を有することが知られている。現在では、さらなる磁気特性の向上が望まれている。   As shown in Patent Document 1, it is known that an RTB-based sintered magnet has excellent magnetic properties. At present, further improvement in magnetic properties is desired.

R−T−B系焼結磁石の磁気特性、特に保磁力を向上させる方法には、原料合金を作製する段階でRとして重希土類元素を含ませる方法(一合金法)が知られている。また、重希土類元素を含まない主相系合金と重希土類元素を含む粒界相系合金とを粉砕後に混合して焼結する方法(二合金法)がある。さらに、特許文献2に記載されているように、R−T−B系焼結磁石を作製した後に、表面に重希土類元素を付着させて加熱することにより、粒界を通じて重希土類元素を拡散させる方法(粒界拡散法)がある。   As a method for improving the magnetic properties, particularly the coercive force, of an RTB-based sintered magnet, a method (one alloy method) in which a heavy rare earth element is included as R at the stage of producing a raw material alloy is known. Further, there is a method (two alloy method) in which a main phase alloy containing no heavy rare earth element and a grain boundary phase alloy containing heavy rare earth element are mixed and sintered after pulverization. Furthermore, as described in Patent Document 2, after the RTB-based sintered magnet is manufactured, the heavy rare earth element is diffused through the grain boundary by attaching and heating the heavy rare earth element on the surface. There is a method (grain boundary diffusion method).

上記の一合金法は主相粒子中に重希土類元素が存在するため、最大エネルギー積が低下してしまう場合がある。二合金法では主相粒子中の重希土類元素を低減でき、最大エネルギー積の低下を抑制することができる。粒界拡散法では、主相粒子のうち粒界にごく近い領域のみ重希土類元素の濃度を高くでき、主相粒子内部の重希土類元素の濃度を低減できる。すなわち、一般的なコアシェル構造の主相粒子を得ることができる。一般的なコアシェル構造とは、コア部の重希土類元素の濃度がコア部を被覆するシェル部の重希土類元素の濃度よりも低い構造のことである。これにより、二合金法と比べて保磁力を高くし、最大エネルギー積の低下を抑制できる。さらに、高価な重希土類元素の使用量を抑制できる。   In the one alloy method described above, since the heavy rare earth element is present in the main phase particles, the maximum energy product may be reduced. In the two-alloy method, heavy rare earth elements in the main phase particles can be reduced, and a decrease in the maximum energy product can be suppressed. In the grain boundary diffusion method, the concentration of heavy rare earth elements can be increased only in a region very close to the grain boundary in the main phase particles, and the concentration of heavy rare earth elements inside the main phase particles can be reduced. That is, main phase particles having a general core-shell structure can be obtained. A general core-shell structure is a structure in which the concentration of heavy rare earth elements in the core portion is lower than the concentration of heavy rare earth elements in the shell portion covering the core portion. Thereby, it is possible to increase the coercive force as compared with the two-alloy method and suppress the decrease in the maximum energy product. Furthermore, the amount of expensive heavy rare earth elements used can be suppressed.

また、特許文献3には、従来のR−T−B系焼結磁石よりも保磁力を向上させるために、コア部の重希土類元素の濃度がシェル部の重希土類元素の濃度よりも高い主相粒子を含む技術が記載されている。   Patent Document 3 discloses that the concentration of heavy rare earth elements in the core portion is higher than the concentration of heavy rare earth elements in the shell portion in order to improve the coercive force as compared with the conventional RTB-based sintered magnet. Techniques involving phase particles are described.

特開昭59−46008号公報JP 59-46008 A 国際公開第2006/043348号International Publication No. 2006/043348 特開2016−154219号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2006-154219

しかし、現在では、さらなる保磁力の向上およびコストの低減が求められている。   However, at present, there is a demand for further improvement in coercive force and cost reduction.

本発明は、磁気特性を向上させ、かつ、低コストであるR−T−B系焼結磁石を得ることを目的とする。   An object of this invention is to obtain the RTB type sintered magnet which improves a magnetic characteristic and is low-cost.

上記の目的を達成するために、本発明に係るR−T−B系焼結磁石は、
14B結晶からなる主相粒子を含むR−T−B系焼結磁石であって、
Rは1種以上の希土類元素、TはFeまたはFeおよびCoを必須とする1種以上の遷移金属元素、Bはホウ素であり、
前記R−T−B系焼結磁石が磁石表層部と前記磁石表層部より内側にある磁石中央部とを有し、
磁極面を持つ磁石表層部における前記主相粒子の結晶配向度が磁石中央部における前記主相粒子の結晶配向度より低いことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an RTB-based sintered magnet according to the present invention includes:
An RTB-based sintered magnet including main phase particles made of R 2 T 14 B crystal,
R is one or more rare earth elements, T is one or more transition metal elements essential for Fe or Fe and Co, B is boron,
The RTB-based sintered magnet has a magnet surface layer part and a magnet center part located inside the magnet surface layer part,
The crystal orientation degree of the main phase particles in the magnet surface layer portion having the magnetic pole surface is lower than the crystal orientation degree of the main phase particles in the magnet central portion.

本発明に係るR−T−B系焼結磁石は、上記の特徴を有することにより、磁気特性を向上させ、かつ、低コストであるR−T−B系焼結磁石を得ることができる。   Since the RTB-based sintered magnet according to the present invention has the above-described characteristics, it is possible to obtain an RTB-based sintered magnet with improved magnetic characteristics and low cost.

本発明に係るR−T−B系焼結磁石は、前記Rは重希土類元素RHを必須とする1種以上の希土類元素であり、
前記磁石表層部に含まれる前記主相粒子の一部が逆コアシェル主相粒子であり、
前記逆コアシェル主相粒子は、コア部およびシェル部を有し、
前記コア部における全RH濃度(at%)をCRC
前記シェル部における全RH濃度(at%)をCRSとした場合に、
RC/CRS>1.0であってもよい。
In the RTB-based sintered magnet according to the present invention, the R is one or more rare earth elements that essentially require the heavy rare earth element RH,
A part of the main phase particles contained in the magnet surface layer part are reverse core shell main phase particles,
The reverse core shell main phase particles have a core portion and a shell portion,
The total RH concentration (at%) in the core part is defined as C RC ,
All RH concentration at the shell portion (at%) in the case of the C RS,
C RC / C RS > 1.0 may be sufficient.

本発明に係るR−T−B系焼結磁石は、前記コア部に低RH結晶相を含み、
前記低RH結晶相は、前記R14B結晶からなり、前記RHの濃度が前記主相粒子全体における前記RHの濃度に対して相対的に低い相であってもよい。
The RTB-based sintered magnet according to the present invention includes a low RH crystal phase in the core portion,
The low RH crystal phase may be composed of the R 2 T 14 B crystal, and the RH concentration may be relatively low with respect to the RH concentration in the entire main phase particle.

本発明に係るR−T−B系焼結磁石は、前記コア部に、さらに非磁性Rリッチ相を含んでもよい。   The RTB-based sintered magnet according to the present invention may further include a nonmagnetic R-rich phase in the core portion.

本発明の一実施形態に係るR−T−B系焼結磁石の磁極面を持つ磁石表層部付近における磁極面に垂直な断面の概略図である。It is the schematic of the cross section perpendicular | vertical to the magnetic pole surface in the magnet surface layer part vicinity with the magnetic pole surface of the RTB type sintered magnet which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る不均一な逆コアシェル主相粒子の概略図である。1 is a schematic view of non-uniform reverse core shell main phase particles according to an embodiment of the present invention. FIG.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.

<R−T−B系焼結磁石>   <RTB-based sintered magnet>

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、R14B結晶からなる主相粒子を含む。Rは1種以上の希土類元素、TはFeまたはFeおよびCoを必須とする1種以上の遷移金属元素、Bはホウ素である。Rとして重希土類元素RHを含むことが好ましい。さらに、Zrを含んでもよい。なお、Rとして含まれる希土類元素とは、長周期型周期表の第3族に属するScとYとランタノイド元素とのことをいう。また、重希土類元素RHとは、Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Luのことをいう。 The RTB-based sintered magnet 1 according to this embodiment includes main phase particles made of R 2 T 14 B crystals. R is one or more rare earth elements, T is one or more transition metal elements essential for Fe or Fe and Co, and B is boron. R preferably contains a heavy rare earth element RH. Furthermore, Zr may be included. Note that the rare earth element contained as R means Sc, Y, and a lanthanoid element belonging to Group 3 of the long-period periodic table. The heavy rare earth element RH means Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu.

Rの含有量には特に制限はないが、25質量%以上35質量%以下であってもよく、好ましくは28質量%以上33質量%以下である。Rの含有量が25質量%以上であると、R−T−B系焼結磁石1の主相粒子となるR14B結晶の生成が十分に行われやすく、軟磁性を持つα−Feなどの析出を抑制し、磁気特性の低下を抑制しやすくなる Rの含有量が35質量%以下であると、R−T−B系焼結磁石1の残留磁束密度Brが向上する傾向にある。 Although there is no restriction | limiting in particular in content of R, 25 mass% or more and 35 mass% or less may be sufficient, Preferably it is 28 mass% or more and 33 mass% or less. When the content of R is 25% by mass or more, R 2 T 14 B crystals that are the main phase particles of the R-T-B-based sintered magnet 1 are sufficiently easily generated, and α- having a soft magnetism It becomes easy to suppress the precipitation of Fe and the like, and to suppress the deterioration of magnetic properties. If the R content is 35% by mass or less, the residual magnetic flux density Br of the RTB-based sintered magnet 1 tends to be improved. is there.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石におけるBの含有量は、0.5質量%以上1.5質量%以下であってもよく、好ましくは0.8質量%以上1.2質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以上1.0質量%以下である。Bの含有量が0.5質量%以上であることにより保磁力HcJが向上する傾向にある。また、Bの含有量が1.5質量%以下であることにより、残留磁束密度Brが向上する傾向にある。   The content of B in the RTB-based sintered magnet according to this embodiment may be 0.5% by mass or more and 1.5% by mass or less, and preferably 0.8% by mass or more and 1.2% or less. It is not more than mass%, more preferably not less than 0.8 mass% and not more than 1.0 mass%. When the content of B is 0.5% by mass or more, the coercive force HcJ tends to be improved. Moreover, when the B content is 1.5% by mass or less, the residual magnetic flux density Br tends to be improved.

Tは、Fe単独であってもよく、Feの一部がCoで置換されていてもよい。本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石におけるFeの含有量は、R−T−B系焼結磁石において不可避的不純物,O,CおよびNを除いた場合の実質的な残部である。Coの含有量は0質量%以上4質量%以下であることが好ましく、0.1質量%以上2質量%以下であることがより好ましく、0.3質量%以上1.5質量%以下とすることが更に好ましい。Fe又はFeおよびCo以外の遷移金属元素としては、特に限定はないが、例えば、Ti,V,Cr,Mn,Ni,Cu,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wなどが挙げられる。また、Tとして含まれる遷移金属元素の一部を、例えば、Al,Ga,Si,Bi,Snなどの元素に置換してもよい。   T may be Fe alone or a part of Fe may be substituted with Co. The content of Fe in the RTB-based sintered magnet according to the present embodiment is a substantial balance when the inevitable impurities, O, C, and N are removed from the RTB-based sintered magnet. is there. The Co content is preferably 0% by mass to 4% by mass, more preferably 0.1% by mass to 2% by mass, and 0.3% by mass to 1.5% by mass. More preferably. The transition metal element other than Fe or Fe and Co is not particularly limited, and examples thereof include Ti, V, Cr, Mn, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, and W. Further, a part of the transition metal element included as T may be replaced with an element such as Al, Ga, Si, Bi, Sn, for example.

R−T−B系焼結磁石1がAlおよびCuから選択される1種または2種を含有する場合、Al、Cuから選択される1種または2種の含有量は、それぞれ0.02質量%以上0.60質量%以下とすることが好ましい。AlおよびCuから選択される1種または2種を、それぞれ0.02質量%以上0.60質量%以下、含有することにより、R−T−B系焼結磁石1の保磁力および耐湿性が向上し、温度特性が改善される傾向にある。Alの含有量は0.03質量%以上0.40質量%以下が好ましく、0.05質量%以上0.25質量%以下がより好ましい。また、Cuの含有量は0質量%超0.30質量%以下が好ましく、0質量%超0.20質量%以下がより好ましく、0.03質量%以上0.15質量%以下が更に好ましい。   When the RTB-based sintered magnet 1 contains one or two selected from Al and Cu, the content of one or two selected from Al and Cu is 0.02 mass respectively. % Or more and 0.60% by mass or less is preferable. By containing one or two selected from Al and Cu in an amount of 0.02 to 0.60% by mass, the coercive force and moisture resistance of the RTB-based sintered magnet 1 can be improved. The temperature characteristic tends to be improved. The content of Al is preferably 0.03% by mass or more and 0.40% by mass or less, and more preferably 0.05% by mass or more and 0.25% by mass or less. Further, the Cu content is preferably more than 0% by mass and 0.30% by mass or less, more preferably more than 0% by mass and 0.20% by mass or less, and further preferably 0.03% by mass to 0.15% by mass.

R−T−B系焼結磁石1は、さらにZrを含むことができる。Zrの含有量は、0質量%超0.25質量%以下であってもよい。Zrを上記の範囲内で含有することにより、焼結磁石の製造過程、主に焼結工程において、主相粒子の異常成長を抑制することができる。そのため、得られる焼結体(R−T−B系焼結磁石1)の組織が均一且つ微細となり、得られる焼結体の磁気特性が向上する傾向にある。上記の効果をより良好に得るために、Zrの含有量は、0.03質量%以上0.25質量%以下であってもよい。   The RTB-based sintered magnet 1 can further contain Zr. The Zr content may be more than 0% by mass and 0.25% by mass or less. By containing Zr within the above range, abnormal growth of main phase particles can be suppressed in the manufacturing process of the sintered magnet, mainly in the sintering process. Therefore, the structure of the obtained sintered body (RTB-based sintered magnet 1) becomes uniform and fine, and the magnetic properties of the obtained sintered body tend to be improved. In order to obtain the above effects better, the content of Zr may be 0.03% by mass or more and 0.25% by mass or less.

また、R−T−B系焼結磁石1におけるCの含有量は、0.05質量%以上0.30質量%以下が好ましい。Cの含有量を0.05質量%以上とすることで、保磁力が向上する傾向にある。Cの含有量を0.30質量%以下とすることで、角形比(Hk/Hcj)が十分に高くなる傾向にある。Hkとは、磁気ヒステリシスループ(4πI−Hカーブ)の第2象限における磁化が残留磁束密度(Br)の90%となるときの磁界強度のことである。角形比は、外部磁界の作用や温度上昇による減磁のし易さを表すパラメータである。角形比が小さい場合には、外部磁界の作用や温度上昇による減磁が大きくなる。また、着磁に要する磁界強度が増大する。保磁力および角形比をより良好に得るためには、Cの含有量を0.10質量%以上0.25質量%以下とすることが好ましい。   Further, the content of C in the RTB-based sintered magnet 1 is preferably 0.05% by mass or more and 0.30% by mass or less. When the C content is 0.05% by mass or more, the coercive force tends to be improved. When the C content is 0.30 mass% or less, the squareness ratio (Hk / Hcj) tends to be sufficiently high. Hk is the magnetic field strength when the magnetization in the second quadrant of the magnetic hysteresis loop (4πI-H curve) is 90% of the residual magnetic flux density (Br). The squareness ratio is a parameter representing the ease of demagnetization due to the action of an external magnetic field or temperature rise. When the squareness ratio is small, the demagnetization due to the action of the external magnetic field and the temperature rise increases. In addition, the magnetic field strength required for magnetization increases. In order to obtain better coercive force and squareness ratio, the C content is preferably set to 0.10% by mass or more and 0.25% by mass or less.

また、R−T−B系焼結磁石1におけるOの含有量は、0.03質量%以上0.40質量%以下が好ましい。Oの含有量を0.03質量%以上とすることで、耐食性が向上する傾向にある。0.40質量%以下とすることで、焼結時に液相が十分に形成されやすくなり、保磁力が向上する傾向にある。耐食性および保磁力をより良好にするために、Oの含有量は、0.05質量%以上0.30質量%以下としてもよく、0.05質量%以上0.25質量%以下としてもよい。   Further, the content of O in the R-T-B system sintered magnet 1 is preferably 0.03% by mass or more and 0.40% by mass or less. When the content of O is 0.03% by mass or more, the corrosion resistance tends to be improved. When the content is 0.40% by mass or less, a liquid phase is easily formed during sintering, and the coercive force tends to be improved. In order to improve the corrosion resistance and the coercive force, the content of O may be 0.05% by mass or more and 0.30% by mass or less, or 0.05% by mass or more and 0.25% by mass or less.

また、R−T−B系焼結磁石1におけるNの含有量は、0質量%以上0.15質量%以下であることが好ましい。Nの含有量が0.15質量%以下であることにより、保磁力が十分に向上する傾向にある。   Further, the N content in the R-T-B system sintered magnet 1 is preferably 0% by mass or more and 0.15% by mass or less. When the N content is 0.15% by mass or less, the coercive force tends to be sufficiently improved.

R−T−B系焼結磁石1は、Mn,Ca,Ni,Cl,S,F等の不可避的不純物を、0.001質量%以上0.5質量%以下程度含んでいてもよい。   The RTB-based sintered magnet 1 may contain inevitable impurities such as Mn, Ca, Ni, Cl, S, and F in an amount of about 0.001% by mass to 0.5% by mass.

R−T−B系焼結磁石中の酸素量、炭素量、窒素量の測定方法は、従来から一般的に知られている方法を用いることができる。酸素量は、例えば、不活性ガス融解−非分散型赤外線吸収法により測定され、炭素量は、例えば、酸素気流中燃焼−赤外線吸収法により測定され、窒素量は、例えば、不活性ガス融解−熱伝導度法により測定される。   As a method for measuring the oxygen content, carbon content, and nitrogen content in the RTB-based sintered magnet, a conventionally known method can be used. The amount of oxygen is measured, for example, by an inert gas melting-non-dispersive infrared absorption method, the amount of carbon is measured, for example, by combustion in an oxygen stream-infrared absorption method, and the amount of nitrogen is, for example, an inert gas melting- Measured by thermal conductivity method.

14B結晶からなる主相粒子の粒径には特に制限はないが、通常は、1μm以上10μm以下である。 No particular limitation on the particle size of the main phase particles consisting of R 2 T 14 B crystal, but typically is 1μm or more 10μm or less.

Rの種類には特に制限はないが、好ましくはNd,Prを含む。さらに、重希土類元素RHの種類にも特に制限はないが、好ましくはDyおよびTbのいずれか一方または両方を含む。   The type of R is not particularly limited, but preferably includes Nd and Pr. Further, the type of heavy rare earth element RH is not particularly limited, but preferably includes one or both of Dy and Tb.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、図1に示すように、磁石表層部1aにおける主相粒子11(低結晶配向主相粒子11a)の結晶配向の向き(図1の矢印の向き)が磁石中央部1bにおける主相粒子11(高結晶配向主相粒子11b)とは異なり固定化されていない。すなわち、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は磁石表層部1aにおける前記主相粒子11の結晶配向度が磁石中央部1bにおける前記主相粒子11の結晶配向度より低い。   As shown in FIG. 1, the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment has a crystal orientation direction of the main phase particles 11 (low crystal orientation main phase particles 11 a) in the magnet surface layer portion 1 a (FIG. 1). Unlike the main phase particles 11 (highly crystallized main phase particles 11b) in the magnet central portion 1b, the direction of the arrow is not fixed. That is, in the RTB-based sintered magnet 1 according to this embodiment, the crystal orientation degree of the main phase particles 11 in the magnet surface layer portion 1a is lower than the crystal orientation degree of the main phase particles 11 in the magnet center portion 1b.

ここで、結晶配向度が低くなるほど保磁力が高くなり、磁化が低くなると考えられる。原因は下記の通りであると考えられる。   Here, it is considered that the lower the degree of crystal orientation, the higher the coercive force and the lower the magnetization. The cause is considered as follows.

まず、R−T−B系焼結磁石の磁化方向を0°とし、これに対するR14B結晶からなる主相粒子11のc軸方向の角度をθ(°)とする。また、主相粒子11の飽和磁化をJsとする。外部からの磁界が0°の方向からかかる場合に、主相粒子11の磁場方向の飽和磁化の成分はJs×cosθとなる。ここで、結晶配向度が低くなるほどθが大きくなりJs×cosθは小さくなると考えられる。したがって、当該主相粒子11が磁化反転しても、当該主相粒子11の隣の主相粒子11の磁化反転におよぼす影響が小さくなる。すなわち、結晶配向度が低くなることにより、保磁力が高くなり、磁化(残留磁束密度)が低くなると考えられる。 First, the magnetization direction of the R-T-B system sintered magnet is set to 0 °, and the angle in the c-axis direction of the main phase particles 11 made of R 2 T 14 B crystal with respect to this is set to θ (°). The saturation magnetization of the main phase particle 11 is Js. When the external magnetic field is applied from the direction of 0 °, the saturation magnetization component of the main phase particle 11 in the magnetic field direction is Js × cos θ. Here, it is considered that θ decreases and Js × cos θ decreases as the degree of crystal orientation decreases. Therefore, even if the main phase particle 11 is reversed in magnetization, the influence on the magnetization reversal of the main phase particle 11 adjacent to the main phase particle 11 is reduced. That is, it is considered that the coercive force is increased and the magnetization (residual magnetic flux density) is decreased by decreasing the degree of crystal orientation.

ここで、R−T−B系焼結磁石全体の保磁力は、当該R−T−B系焼結磁石の磁石表面に近い部分の保磁力に大きく影響されることを本発明者らは見出した。一方、R−T−B系焼結磁石全体の磁化(残留磁束密度)は磁石表面に近い部分の磁化(残留磁束密度)のみに大きく影響されないことを本発明者らは見出した。さらに、R−T−B系焼結磁石全体の保磁力は、当該R−T−B系焼結磁石に存在する表面のうち、磁化容易軸に対して垂直な磁石表面(磁極面)に近い部分の保磁力に大きく影響されることを本発明者らは見出した。なお、磁極面とは、磁石が発生させている主な磁力線が通過する磁石表面のことを指す。   Here, the present inventors have found that the coercive force of the entire RTB-based sintered magnet is greatly influenced by the coercive force of the portion close to the magnet surface of the RTB-based sintered magnet. It was. On the other hand, the present inventors have found that the magnetization (residual magnetic flux density) of the entire RTB-based sintered magnet is not greatly influenced only by the magnetization (residual magnetic flux density) near the magnet surface. Furthermore, the coercive force of the entire RTB-based sintered magnet is close to the magnet surface (magnetic pole surface) perpendicular to the easy magnetization axis among the surfaces present in the RTB-based sintered magnet. The present inventors have found that it is greatly influenced by the coercive force of the portion. The magnetic pole surface refers to the surface of the magnet through which main lines of magnetic force generated by the magnet pass.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、磁極面を持つ磁石表層部1aにおける主相粒子11の結晶配向度が低くなることにより、磁石表層部1aにおける保磁力が高くなる。そして、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、磁石表層部1aにおける主相粒子11(低結晶配向主相粒子11a)の結晶配向度が磁石中央部1bにおける主相粒子11(高結晶配向主相粒子11b)の結晶配向度よりも低いことにより、高い磁気特性を得ることができる。なお、本実施形態では、磁石表層部とは、磁石表面から磁石内部に向かって5μm以上150μm以下の領域を指す。磁石中央部とは、磁石表層部より内側にある部分を指す。なお、成形時に磁界を印加した方向に対して垂直な面は本技術分野ではC面と呼ばれることもある。また、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1ではC面と磁極面とが一致しているが、必ずしもC面と磁極面とが一致していなくてもよい。   In the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment, the coercive force in the magnet surface layer portion 1a is increased by reducing the degree of crystal orientation of the main phase particles 11 in the magnet surface layer portion 1a having the magnetic pole face. . In the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment, the main phase particles 11 (low crystal orientation main phase particles 11a) in the magnet surface layer portion 1a have a crystal orientation degree in the magnet center portion 1b. 11 (highly crystallized main phase particles 11b) is lower than the degree of crystal orientation, so that high magnetic properties can be obtained. In the present embodiment, the magnet surface layer portion refers to a region of 5 μm or more and 150 μm or less from the magnet surface toward the inside of the magnet. The magnet center portion refers to a portion inside the magnet surface layer portion. Note that a plane perpendicular to the direction in which a magnetic field is applied during molding may be referred to as a C plane in this technical field. Further, in the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment, the C surface and the magnetic pole surface coincide with each other, but the C surface and the magnetic pole surface may not necessarily coincide with each other.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、磁石表層部1aに含まれる主相粒子11の一部が逆コアシェル主相粒子であってもよい。逆コアシェル主相粒子はコア部およびシェル部を有する。また、シェル部はコア部を被覆している。コア部とシェル部は前記R14B結晶からなるが、組成が互いに異なる。具体的には、RH濃度がコア部とシェル部とで異なる。なお、各主相粒子11がコアシェル構造を有している粒子であるか否かは、SEMを用いて倍率1000倍以上10000倍以下で観察することにより確認できる。 In the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment, a part of the main phase particles 11 included in the magnet surface layer portion 1a may be reverse core shell main phase particles. The inverted core-shell main phase particles have a core portion and a shell portion. The shell portion covers the core portion. Core and the shell is composed of the R 2 T 14 B crystal, but different composition from each other. Specifically, the RH concentration differs between the core portion and the shell portion. Whether or not each main phase particle 11 is a particle having a core-shell structure can be confirmed by observing at a magnification of 1000 to 10,000 using a SEM.

具体的には、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1を切断して得られる断面を鏡面研磨してからSEMで反射電子像を撮影する。反射電子像にて生じる組成コントラストから各主相粒子がコアシェル主相粒子であるか逆コアシェル主相粒子であるかを判別できる。一般的に、組成コントラストは観察対象の平均原子番号が大きくなるほど明るく(白く)なる。また、重希土類元素RHはその他のR−T−B系焼結磁石1に含まれる元素と比較して原子番号が大きい。したがって、重希土類元素RHの濃度が相対的に高い領域は重希土類元素RHの濃度が相対的に低い領域と比較して平均原子番号が大きくなる。そして、反射電子像にて主相粒子内部でRH濃度が高い領域はRH濃度が低い領域と比較して明るく(白く)なる。以上より、主相粒子内部で明るい部分の位置によって各主相粒子がコアシェル主相粒子であるか逆コアシェル主相粒子であるかを判別できる。   Specifically, a cross-section obtained by cutting the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment is mirror-polished, and then a reflected electron image is taken with an SEM. Whether the main phase particles are core-shell main phase particles or reverse core-shell main phase particles can be determined from the composition contrast generated in the reflected electron image. In general, the composition contrast becomes brighter (whiter) as the average atomic number of the observation target increases. Further, the heavy rare earth element RH has a larger atomic number than the elements contained in the other RTB-based sintered magnet 1. Therefore, the region where the concentration of heavy rare earth element RH is relatively high has a higher average atomic number than the region where the concentration of heavy rare earth element RH is relatively low. In the reflected electron image, a region having a high RH concentration inside the main phase particle becomes brighter (whiter) than a region having a low RH concentration. From the above, it is possible to determine whether each main phase particle is a core-shell main phase particle or a reverse core-shell main phase particle according to the position of the bright part inside the main phase particle.

ここで、逆コアシェル主相粒子は、前記R14B結晶からなる主相粒子であって、コア部における全RH濃度(at%)をCRC、シェル部における全RH濃度(at%)をCRSとした場合に、CRC/CRS>1.0である主相粒子である。 Here, the reverse core shell main phase particles are main phase particles composed of the R 2 T 14 B crystal, and the total RH concentration (at%) in the core portion is C RC , and the total RH concentration (at%) in the shell portion. the when the C RS, a main phase particles is a C RC / C RS> 1.0.

すなわち、逆コアシェル主相粒子は、一般的に知られているコアシェル主相粒子とは逆に、シェル部における全RH濃度よりもコア部における全RH濃度の方が高い主相粒子である。   That is, the reverse core-shell main phase particles are main phase particles having a higher total RH concentration in the core portion than a total RH concentration in the shell portion, contrary to the generally known core-shell main phase particles.

RCおよびCRSの測定箇所には、特に制限はない。例えば、以下の通りとすることができる。 There are no particular restrictions on the measurement locations of CRC and CRS . For example, it can be as follows.

まず、濃度を測定する逆コアシェル主相粒子を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察し、長さが最大となる直径を特定する。次に、当該直径と粒界との二つの交点を特定する。そして、当該二つの交点の中点を中心とする20nm×20nmの領域における全RH濃度を測定し、コア部における全RH濃度CRCとすることができる。 First, the reverse core-shell main phase particles whose concentration is to be measured are observed with a transmission electron microscope (TEM), and the diameter having the maximum length is specified. Next, two intersections between the diameter and the grain boundary are specified. Then, it is possible to measure the total RH concentration in the region of 20 nm × 20 nm centered on the midpoint of the two points of intersection, the total RH concentration C RC in the core portion.

次に、当該二つの交点のうち一つの交点を選択する。そして、当該交点から前記長さが最大となる直径に沿って20nm、逆コアシェル主相粒子側に侵入した点を中心とする20nm×20nmの領域における全RH濃度を測定し、シェル部における全RH濃度CRSとすることができる。 Next, one intersection is selected from the two intersections. Then, the total RH concentration in a region of 20 nm × 20 nm centering on the point entering the reverse core shell main phase particle side is measured along the diameter having the maximum length from the intersection, and the total RH in the shell portion is measured. The concentration CRS can be set.

また、逆コアシェル主相粒子のコア部における全R濃度に対する全RH濃度には特に制限はないが、概ね原子比で30%以上80%以下程度である。逆コアシェル主相粒子のシェル部における全R濃度に対する全RH濃度には特に制限はないが、概ね原子比で10%以上30%以下程度である。   Further, the total RH concentration relative to the total R concentration in the core portion of the reverse core-shell main phase particles is not particularly limited, but is generally about 30% to 80% in atomic ratio. There is no particular limitation on the total RH concentration relative to the total R concentration in the shell portion of the reverse core-shell main phase particles, but the atomic ratio is generally about 10% to 30%.

なお、逆コアシェル主相粒子はコア部の表面全てをシェル部が覆っているが、コア部の表面全てをシェル部が覆う必要はなく、コア部の表面の60%以上を覆っていればよい。コア部およびシェル部の区別はSEMにより行うことができる。   In addition, although the shell part covers the entire surface of the core part of the reverse core shell main phase particles, the shell part does not need to cover the entire surface of the core part, and may cover 60% or more of the surface of the core part. . The core part and the shell part can be distinguished by SEM.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、逆コアシェル主相粒子を含むことにより、重希土類元素RHの使用量を低減しても高い残留磁束密度および保磁力を有する永久磁石となる。逆コアシェル主相粒子を含むことにより上記の効果が得られるメカニズムは、以下に示すメカニズムであると考えられる。   The RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment includes a reverse core shell main phase particle, so that a permanent magnet having a high residual magnetic flux density and a coercive force even when the amount of heavy rare earth element RH is reduced. It becomes. The mechanism by which the above effect is obtained by including the inverted core-shell main phase particles is considered to be the mechanism shown below.

逆コアシェル主相粒子は、シェル部と比較してより多くのRHを含むことにより、コア部において異方性磁界が高くなる。そのため、逆コアシェル主相粒子のコア部とシェル部との界面において、異方性磁界が変化すると考えられる。上記の逆コアシェル主相粒子内での異方性磁界の変化により、ピニング力が増加すると考えられる。したがって、逆コアシェル主相粒子を含むR−T−B系焼結磁石1は保磁力が向上すると考えられる。   The reverse core shell main phase particles contain more RH than the shell portion, so that the anisotropic magnetic field is increased in the core portion. Therefore, it is considered that the anisotropic magnetic field changes at the interface between the core portion and the shell portion of the reverse core shell main phase particle. It is considered that the pinning force increases due to the change in the anisotropic magnetic field in the above-described reversed core-shell main phase particles. Therefore, it is thought that the coercive force of the RTB-based sintered magnet 1 including the reverse core shell main phase particles is improved.

また、本実施形態におけるR−T−B系焼結磁石1では、全主相粒子に対する逆コアシェル主相粒子の存在比率は、磁石中央部1bよりも磁石表層部1aの方が高いことが好ましい。   In the RTB-based sintered magnet 1 according to this embodiment, the abundance ratio of the reverse core shell main phase particles with respect to all main phase particles is preferably higher in the magnet surface layer portion 1a than in the magnet center portion 1b. .

逆コアシェル主相粒子はコア部により多くの重希土類元素RHを含有する。そのため、逆コアシェル主相粒子自体は残留磁束密度および飽和磁化が低い。逆コアシェル主相粒子は飽和磁化が低いため、ある逆コアシェル主相粒子が磁化反転しても、当該逆コアシェル主相粒子に隣接する主相粒子の磁化反転に及ぼす影響が小さい。すなわち、主に逆コアシェル主相粒子がR−T−B系焼結磁石1の磁石表層部1aに存在していることにより、磁石表面から発生する逆磁区の伝達が抑制される。したがって、逆コアシェル主相粒子が磁石表層部1aにより多く存在していることにより、R−T−B系焼結磁石1は保磁力がさらに向上する。   The inverted core-shell main phase particles contain more heavy rare earth element RH in the core portion. Therefore, the reverse core shell main phase particles themselves have low residual magnetic flux density and saturation magnetization. Since the reverse core-shell main phase particles have a low saturation magnetization, even if a certain reverse core-shell main phase particle has a magnetization reversal, the influence on the magnetization reversal of the main phase particles adjacent to the reverse core-shell main phase particle is small. That is, since the reverse core shell main phase particles are mainly present in the magnet surface layer portion 1a of the RTB-based sintered magnet 1, transmission of reverse magnetic domains generated from the magnet surface is suppressed. Therefore, the coercive force of the RTB-based sintered magnet 1 is further improved due to the presence of the reverse core shell main phase particles in the magnet surface layer portion 1a.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1に含まれる逆コアシェル主相粒子において、CRC/CRS>1.5であることが好ましく、CRC/CRS>3.0であることがより好ましい。逆コアシェル主相粒子において、シェル部に対してコア部に重希土類元素RHがより多く存在するほど上記の効果が大きくなり、保磁力がさらに向上するため好ましい。 In the inverted core-shell main phase particles included in the RTB-based sintered magnet 1 according to this embodiment, C RC / C RS > 1.5 is preferable, and C RC / C RS > 3.0. More preferably. In the inverted core-shell main phase particles, the more the heavy rare earth element RH is present in the core portion than in the shell portion, the above effect is increased and the coercive force is further improved, which is preferable.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石は、図2に示すように、コア部110aおよびシェル部110bを有し、かつ、内部に低RH結晶相210を含む不均一な逆コアシェル主相粒子110を含んでもよい。図2に示すように、低RH結晶相210は一つの不均一な逆コアシェル主相粒子110中に複数存在していてもよい。また、一つの低RH結晶相210の大きさには特に制限はないが、不均一な逆コアシェル主相粒子110に対して、断面積比で5%以上30%以下であることが好ましい。   As shown in FIG. 2, the RTB-based sintered magnet according to the present embodiment includes a core portion 110 a and a shell portion 110 b and includes a non-homogeneous reverse core shell including a low RH crystal phase 210 therein. Main phase particles 110 may be included. As shown in FIG. 2, a plurality of low RH crystal phases 210 may exist in one non-uniform reversed core shell main phase particle 110. The size of one low RH crystal phase 210 is not particularly limited, but is preferably 5% or more and 30% or less in terms of a cross-sectional area with respect to the non-uniform reversed core-shell main phase particles 110.

なお、主相粒子の内部に低RH結晶相210を含むことは、SEMおよびTEMを用いて確認することができる。   The inclusion of the low RH crystal phase 210 inside the main phase particles can be confirmed using SEM and TEM.

低RH結晶相210とは、当該低RH結晶相210の周囲に存在する主相に比べて、重希土類元素RHの濃度が低いR14B結晶相のことである。さらに具体的には、低RH結晶相210における全RH濃度(at%)/全RL濃度(at%)をL1、低RH結晶相の周囲に存在する主相における全RH濃度(at%)/全RL濃度(at%)をN1とする場合において、N1−L1≧0.5となるR14B結晶相のことである。 The low RH crystal phase 210 is an R 2 T 14 B crystal phase in which the concentration of the heavy rare earth element RH is lower than the main phase existing around the low RH crystal phase 210. More specifically, the total RH concentration (at%) / total RL concentration (at%) in the low RH crystal phase 210 is L1, and the total RH concentration (at%) in the main phase existing around the low RH crystal phase / When the total RL concentration (at%) is N1, it is an R 2 T 14 B crystal phase in which N1−L1 ≧ 0.5.

なお、低RH結晶相210の存在はSEM、SEM−EDS、TEMおよびTEM−EDSにより確認できる。具体的には、主相粒子の内部に何らかの異相が存在することがSEMにより目視にて確認でき、当該異相がR14B結晶相であることはTEMにより確認でき、当該異相のN1−L1はTEM−EDSにより特定できる。 The presence of the low RH crystal phase 210 can be confirmed by SEM, SEM-EDS, TEM, and TEM-EDS. Specifically, it can be visually confirmed by SEM that some foreign phase is present in the main phase particles, and it can be confirmed by TEM that the foreign phase is an R 2 T 14 B crystal phase. L1 can be specified by TEM-EDS.

さらに、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1は、主相粒子11に占める不均一な逆コアシェル主相粒子110の含有比率が、磁石中央部1bよりも磁石表層部1aの方が多いことが好ましい。   Furthermore, in the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment, the content ratio of the non-uniform inverted core-shell main phase particles 110 in the main phase particles 11 is higher in the magnet surface layer portion 1a than in the magnet center portion 1b. It is preferable that there are more.

具体的には、磁石表層部1aにおける低RH結晶相210を含む主相粒子の存在割合をr(%)、磁石中央部1bにおける前記低RH結晶相を含む主相粒子の存在割合をr(%)とする場合に、r−r≧20%であることが好ましい。 Specifically, r s (%) of the existence ratio of the main phase grains containing low RH crystalline phase 210 in the magnet surface layer portion 1a, the existence ratio of main-phase particles comprising the low RH crystalline phase in the magnet central portion 1b r When c (%), r s −r c ≧ 20% is preferable.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石は、不均一な逆コアシェル主相粒子110を、特に磁石表層部1aに多数有することにより、残留磁束密度および保磁力が向上する。   The RTB-based sintered magnet according to the present embodiment has a large number of non-uniform reverse core shell main phase particles 110, particularly in the magnet surface layer portion 1a, thereby improving the residual magnetic flux density and the coercive force.

不均一な逆コアシェル主相粒子110は、低RH結晶相210を有することにより、当該不均一な逆コアシェル主相粒子110内において、異方性磁界の変化が急激に生じると考えられる。この急激な異方性磁界の変化により、ピニング力が増加する。その結果、保磁力が向上すると考えられる。さらに、このような不均一な逆コアシェル主相粒子110が磁石表層部1aに多数存在することにより、磁石表面から発生する逆磁区の伝達が抑制される。したがって、少ない重希土類元素RHの使用量でR−T−B系焼結磁石1の保磁力を向上させることができる。さらに、重希土類元素RHの使用量が低減可能であるため、残留磁束密度を向上させることもできる。また、複数の低RH結晶相210が一つの不均一な逆コアシェル主相粒子110内に存在することにより、どの方向からの磁壁の移動も抑制することができるようになる。さらに、低RH結晶相210が、周囲の主相と同様にR14B系結晶相であることにより、結晶の整合がとれる。このため、歪の発生が抑制され、保磁力向上効果が大きくなる。 It is considered that the non-uniform reverse core-shell main phase particle 110 has the low RH crystal phase 210, and thus the anisotropic magnetic field changes abruptly in the non-uniform reverse core-shell main phase particle 110. The pinning force increases due to this sudden change in the anisotropic magnetic field. As a result, it is considered that the coercive force is improved. Further, the presence of a large number of such non-uniform reversed core shell main phase particles 110 in the magnet surface layer portion 1a suppresses transmission of reversed magnetic domains generated from the magnet surface. Therefore, the coercive force of the RTB-based sintered magnet 1 can be improved with a small amount of heavy rare earth element RH used. Furthermore, since the amount of heavy rare earth element RH used can be reduced, the residual magnetic flux density can be improved. Further, the presence of the plurality of low RH crystal phases 210 in one non-uniform reverse core shell main phase particle 110 makes it possible to suppress the domain wall movement from any direction. Furthermore, since the low RH crystal phase 210 is an R 2 T 14 B-based crystal phase like the surrounding main phase, crystal matching can be achieved. For this reason, generation | occurrence | production of distortion is suppressed and the coercive force improvement effect becomes large.

好ましくは、低RH結晶相210が重希土類元素RHを実質的に含有しない。「実質的に含有しない」とは、低RH結晶相210におけるRH/Rの原子数比が0.03以下であることを指す。   Preferably, the low RH crystal phase 210 is substantially free of heavy rare earth element RH. “Substantially does not contain” means that the atomic ratio of RH / R in the low RH crystal phase 210 is 0.03 or less.

低RH結晶相210が重希土類RHを実質的に含有しない場合には、上記の低RH結晶相210を含む効果がさらに大きくなる。   When the low RH crystal phase 210 does not substantially contain heavy rare earth RH, the effect of including the low RH crystal phase 210 is further increased.

また、図2に示すように、不均一な逆コアシェル主相粒子110は、その内部に、さらに非磁性Rリッチ相230を含むことが好ましい。また、複数の非磁性Rリッチ相230が一つの不均一な逆コアシェル主相粒子110内に存在していてもよい。また、一つの非磁性Rリッチ相230の大きさには特に制限はないが、不均一な逆コアシェル主相粒子110に対して、断面積比で、5%以上15%以下であることが好ましい。   In addition, as shown in FIG. 2, the non-uniform inverted core-shell main phase particles 110 preferably further include a nonmagnetic R-rich phase 230 therein. In addition, a plurality of nonmagnetic R-rich phases 230 may be present in one non-uniform reverse core shell main phase particle 110. The size of one nonmagnetic R-rich phase 230 is not particularly limited, but is preferably 5% or more and 15% or less in terms of a cross-sectional area ratio with respect to the non-uniform reversed core-shell main phase particles 110. .

非磁性Rリッチ相230とは、具体的には、Rの含有量が70原子%以上100原子%以下であるRリッチ相のことである。また、非磁性Rリッチ相230はR14B系結晶相ではない。 Specifically, the nonmagnetic R-rich phase 230 is an R-rich phase having an R content of 70 atomic% to 100 atomic%. Further, the nonmagnetic R-rich phase 230 is not an R 2 T 14 B-based crystal phase.

また、主相粒子に非磁性Rリッチ相230が存在することはSEM、SEM−EDS、TEMおよびTEM−EDSにて確認することができる。具体的には、主相粒子の内部に何らかの異相が存在することがSEM画像により目視にて確認でき、当該異相におけるRの含有量はTEM−EDSにより特定できる。   The presence of the nonmagnetic R-rich phase 230 in the main phase particles can be confirmed by SEM, SEM-EDS, TEM, and TEM-EDS. Specifically, the presence of some foreign phase in the main phase particles can be visually confirmed with an SEM image, and the R content in the foreign phase can be specified by TEM-EDS.

不均一な逆コアシェル主相粒子110内部に非磁性Rリッチ相230を含むことにより、大きな異方性磁界のギャップを粒子内部で複数個所生じさせることができる。そのため、どの方向からの磁壁の運動の伝達も抑制することができ、R−T−B系焼結磁石の保磁力を向上させることができる。   By including the non-magnetic R-rich phase 230 inside the non-uniform reversed core-shell main phase particle 110, a large number of large anisotropic magnetic field gaps can be generated inside the particle. Therefore, the transmission of the domain wall motion from any direction can be suppressed, and the coercive force of the RTB-based sintered magnet can be improved.

また、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石1が低RH結晶相210および非磁性Rリッチ相230を含む不均一な逆コアシェル主相粒子110を含む場合には、磁石中央部1bよりも磁石表層部1aにより多くの不均一な逆コアシェル主相粒子110を含むことが好ましい。具体的には、磁石表層部1aにおける低RH結晶相210および非磁性Rリッチ相230を含む主相粒子の存在割合をrsh(%)、磁石中央部における低RH結晶相210および非磁性Rリッチ相230を含む主相粒子の存在割合をrch(%)とする場合に、rsh−rch≧20%であることが好ましい。 Further, when the RTB-based sintered magnet 1 according to the present embodiment includes the non-uniform reverse core-shell main phase particles 110 including the low RH crystal phase 210 and the nonmagnetic R-rich phase 230, the magnet center portion It is preferable that the magnet surface layer portion 1a includes more non-uniform reverse core shell main phase particles 110 than 1b. Specifically, the ratio of the main phase particles including the low RH crystal phase 210 and the nonmagnetic R-rich phase 230 in the magnet surface layer portion 1a is r sh (%), and the low RH crystal phase 210 and the nonmagnetic R in the magnet center portion. When the existing ratio of the main phase particles including the rich phase 230 is r ch (%), it is preferable that r sh −r ch ≧ 20%.

さらに、図2に示すように、不均一な逆コアシェル主相粒子110においては、コア部110aに低RH結晶相210および非磁性Rリッチ相230を含むことが好ましい。コア部110aに低RH結晶相210および非磁性Rリッチ相230を含む場合に、より保磁力向上の効果が大きくなる。   Further, as shown in FIG. 2, in the non-uniform inverted core-shell main phase particle 110, it is preferable that the core portion 110 a includes the low RH crystal phase 210 and the nonmagnetic R-rich phase 230. When the core part 110a includes the low RH crystal phase 210 and the nonmagnetic R rich phase 230, the effect of improving the coercive force is further increased.

<R−T−B系焼結磁石の製造方法>
次に、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石の製造方法を説明する。
<Method for producing RTB-based sintered magnet>
Next, the manufacturing method of the RTB system sintered magnet concerning this embodiment is explained.

なお、以下では、粉末冶金法で作製され、重希土類元素が粒界拡散されたR−T−B系焼結磁石を例に説明するが、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石の製造方法は、特に限定されるものではなく、他の方法も用いることができる。   In the following description, an RTB-based sintered magnet manufactured by powder metallurgy and having a heavy rare earth element diffused at grain boundaries will be described as an example. The method for manufacturing the magnet is not particularly limited, and other methods can be used.

本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石の製造方法には、原料粉末を成形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を焼結して焼結体を得る焼結工程と、前記焼結体を焼結温度よりも低い温度で一定時間保持する時効工程とを有する。   The manufacturing method of the R-T-B system sintered magnet according to the present embodiment includes a forming step of forming a raw material powder to obtain a formed body, and a sintering step of sintering the formed body to obtain a sintered body. And an aging step of holding the sintered body at a temperature lower than the sintering temperature for a certain period of time.

以下、R−T−B系焼結磁石の製造方法について詳しく説明していくが、特記しない事項については、公知の方法を用いればよい。   Hereinafter, although the manufacturing method of a RTB system sintered magnet is demonstrated in detail, what is necessary is just to use a well-known method about the matter which is not specified.

[原料粉末の準備工程]
原料粉末は、公知の方法により作製することができる。本実施形態では、主にR14B相からなる一種類の原料合金を用いる一合金法でR−T−B系焼結磁石を製造するが、二種類の原料合金を用いる二合金法により製造してもよい。ここで、原料合金の組成は、最終的に得るR−T−B系焼結磁石の組成となるように制御する。
[Preparation process of raw material powder]
The raw material powder can be produced by a known method. In this embodiment, an R-T-B system sintered magnet is manufactured by one alloy method using one kind of raw material alloy mainly composed of R 2 T 14 B phase, but a two alloy method using two kinds of raw material alloys. You may manufacture by. Here, the composition of the raw material alloy is controlled to be the composition of the finally obtained RTB-based sintered magnet.

まず、本実施形態に係る原料合金の組成に対応する原料金属を準備し、当該原料金属から本実施形態に対応する原料合金を作製する。原料合金の作製方法に特に制限はない。例えば、ストリップキャスト法にて原料合金を作製することができる。   First, a raw material metal corresponding to the composition of the raw material alloy according to the present embodiment is prepared, and a raw material alloy corresponding to the present embodiment is produced from the raw material metal. There is no restriction | limiting in particular in the preparation methods of raw material alloy. For example, a raw material alloy can be produced by a strip casting method.

原料合金を作製した後に、作製した原料合金を粉砕する(粉砕工程)。粉砕工程は、2段階で実施してもよく、1段階で実施してもよい。粉砕の方法には特に限定はない。例えば、各種粉砕機を用いる方法で実施される。例えば、粉砕工程を粗粉砕工程および微粉砕工程の2段階で実施し、粗粉砕工程は例えば水素粉砕処理を行うことが可能である。具体的には、原料合金に対して室温で水素を吸蔵させた後に、Arガス雰囲気下で400℃以上650℃以下、0.5時間以上2時間以下で脱水素を行うことが可能である。また、微粉砕工程は、粗粉砕後の粉末に対して、例えばオレイン酸アミド、ステアリン酸亜鉛などを添加したのちに、例えばジェットミル、湿式アトライター等を用いて行うことができる。得られる微粉砕粉末(原料粉末)の粒径には特に制限はない。例えば、粒径(D50)が1μm以上10μm以下の微粉砕粉末(原料粉末)となるように微粉砕を行うことができる。   After producing the raw material alloy, the produced raw material alloy is pulverized (grinding step). The pulverization process may be performed in two stages or in one stage. There is no particular limitation on the grinding method. For example, it is carried out by a method using various pulverizers. For example, the pulverization process is performed in two stages, a coarse pulverization process and a fine pulverization process, and the coarse pulverization process can be performed, for example, by hydrogen pulverization. Specifically, after hydrogen is stored in the raw material alloy at room temperature, dehydrogenation can be performed in an Ar gas atmosphere at 400 ° C. or higher and 650 ° C. or lower, 0.5 hour or longer and 2 hours or shorter. The fine pulverization step can be performed using, for example, a jet mill or a wet attritor after adding oleic acid amide, zinc stearate or the like to the coarsely pulverized powder. There is no restriction | limiting in particular in the particle size of the finely pulverized powder (raw material powder) obtained. For example, fine pulverization can be performed so that the particle diameter (D50) is a fine pulverized powder (raw material powder) having a particle size of 1 μm to 10 μm.

[成形工程]
成形工程では、粉砕工程により得られた微粉砕粉末(原料粉末)を所定の形状に成形する。成形方法には特に限定はないが、本実施形態では、微粉砕粉末(原料粉末)を金型内に充填し、磁場中で加圧する。
[Molding process]
In the forming step, the finely pulverized powder (raw material powder) obtained in the pulverizing step is formed into a predetermined shape. Although there is no limitation in particular in a shaping | molding method, in this embodiment, finely pulverized powder (raw material powder) is filled in a metal mold | die, and it pressurizes in a magnetic field.

成形時の加圧は、30MPa以上300MPa以下で行うことが好ましい。印加する磁場は、950kA/m以上1600kA/m以下であることが好ましい。微粉砕粉末(原料粉末)を成形して得られる成形体の形状は特に限定されるものではなく、例えば直方体、平板状、柱状等、所望とするR−T−B系焼結磁石の形状に応じて任意の形状とすることができる。   The pressing at the time of molding is preferably performed at 30 MPa or more and 300 MPa or less. The applied magnetic field is preferably 950 kA / m or more and 1600 kA / m or less. The shape of the molded body obtained by molding finely pulverized powder (raw material powder) is not particularly limited. For example, the shape of the RTB-based sintered magnet is a desired shape such as a rectangular parallelepiped, a flat plate, or a column. It can be made into an arbitrary shape accordingly.

[焼結工程]
焼結工程は、成形体を真空または不活性ガス雰囲気中で焼結し、焼結体を得る工程である。焼結温度は、組成、粉砕方法、粒度と粒度分布の違い等、諸条件により調整する必要があるが、成形体に対して、例えば、真空中または不活性ガスの存在下、1000℃以上1200℃以下、1時間以上10時間以下で加熱する処理を行うことにより焼結する。これにより、高密度の焼結体(焼結磁石)が得られる。
[Sintering process]
A sintering process is a process of sintering a molded object in a vacuum or inert gas atmosphere, and obtaining a sintered compact. The sintering temperature needs to be adjusted depending on various conditions such as composition, pulverization method, difference in particle size and particle size distribution, etc., but for the molded body, for example, 1000 ° C. or higher and 1200 ° C. in vacuum or in the presence of an inert gas. It sinters by performing the process heated at 1 degreeC or less for 1 to 10 hours. Thereby, a high-density sintered body (sintered magnet) is obtained.

[時効処理工程]
時効処理工程は、焼結工程後の焼結体(焼結磁石)に対して、焼結温度よりも低い温度で加熱することにより行う。時効処理の温度および時間には特に制限はないが、例えば450℃以上900℃以下で0.2時間以上3時間以下、行うことができる。なお、この時効処理工程は省略してもよい。
[Aging process]
The aging treatment step is performed by heating the sintered body (sintered magnet) after the sintering step at a temperature lower than the sintering temperature. There is no particular limitation on the temperature and time of the aging treatment, but for example, it can be performed at 450 ° C. or higher and 900 ° C. or lower for 0.2 hours or longer and 3 hours or shorter. This aging treatment step may be omitted.

また、時効処理工程は1段階で行ってもよく、2段階で行ってもよい。2段階で行う場合には、例えば1段階目を700℃以上900℃以下で0.2時間以上3時間以下とし、2段階目を450℃以上700℃以下で0.2時間以上3時間以下としてもよい。また、1段階目と2段階目とを連続して行ってもよく、1段階目の後に一度室温近傍まで冷却してから再加熱して2段階目を行ってもよい。   Further, the aging treatment process may be performed in one stage or in two stages. When performing in two stages, for example, the first stage is 700 ° C. to 900 ° C. for 0.2 hours to 3 hours, and the second stage is 450 ° C. to 700 ° C. for 0.2 hours to 3 hours. Also good. Alternatively, the first stage and the second stage may be performed continuously, or after the first stage, the second stage may be performed by cooling to near room temperature and then reheating.

[結晶配向度低下工程]
本実施形態における主相粒子の結晶配向度を低下させる方法には特に制限がない。例えば、以下に示す分解工程、粒界拡散工程および再結合工程を経ることで結晶配向度を低下させることができる。
[Crystal orientation reduction step]
There is no particular limitation on the method for reducing the degree of crystal orientation of the main phase particles in the present embodiment. For example, the degree of crystal orientation can be lowered through the following decomposition step, grain boundary diffusion step, and recombination step.

[分解工程]
分解工程とは、主に磁石表層部に存在するR14B結晶からなる主相粒子を分解し、微細化する工程である。分解工程の条件は、主に磁石表層部に存在するR14B結晶からなる主相粒子を分解させ、微細化させることができれば特に制限はない。
[Disassembly process]
The decomposition step is a step of decomposing and refining main phase particles mainly composed of R 2 T 14 B crystals existing in the magnet surface layer portion. The conditions for the decomposition step are not particularly limited as long as main phase particles mainly composed of R 2 T 14 B crystals existing in the magnet surface layer portion can be decomposed and refined.

例えばHガス、COガスまたはNガスを含む不活性雰囲気中、600℃以上900℃以下程度で5分間以上60分間以下程度、加熱することで、主に磁石表層部に存在する主相粒子にH、COまたはNを吸蔵させて不均化させて微細化させることになる。 For example, the main phase particles mainly present in the surface layer of the magnet by heating at about 600 ° C. to 900 ° C. for about 5 minutes to about 60 minutes in an inert atmosphere containing H 2 gas, CO gas, or N 2 gas. H 2 , CO, or N 2 is occluded and disproportionated to make it finer.

ガス、COガスまたはNガスの濃度、加熱温度および/または加熱時間を制御することで、主相粒子が微細化する領域の厚さを制御し、最終的に得られる低結晶配向度層の厚さを制御することができる。 By controlling the concentration of H 2 gas, CO gas or N 2 gas, heating temperature and / or heating time, the thickness of the region where the main phase particles become finer is controlled, and the finally obtained low crystal orientation degree The layer thickness can be controlled.

また、酸化性ガスを含む酸化性雰囲気、300℃以上500℃以下程度で20分間以上60分間以下程度、加熱することでも、磁石表層部に存在する主相粒子を不均化させ、微細化させることができる。   In addition, the main phase particles existing in the magnet surface layer portion are disproportionated and refined by heating in an oxidizing atmosphere containing an oxidizing gas at about 300 ° C. to 500 ° C. for about 20 minutes to 60 minutes. be able to.

[拡散処理工程]
本実施形態では、分解工程に続いて、さらに希土類元素を拡散させる拡散処理工程を有する。拡散処理は、希土類元素を含む化合物(以下、単に希土類化合物と呼ぶ場合がある)等を、前記分解工程を行った焼結体の表面に付着させた後、熱処理を行うことにより、実施することができる。希土類元素を含む化合物を付着させる方法には特に制限はなく、たとえば希土類元素を含むスラリーを塗布することで付着させることができる。拡散させる希土類元素の種類は任意であるが、重希土類元素が好ましい。重希土類元素を拡散させる場合には、スラリーの塗布量とスラリーに含まれる重希土類元素の濃度を制御することで、上記のCRC/CRSを制御することができる。
[Diffusion treatment process]
In the present embodiment, following the decomposition step, there is further a diffusion treatment step for diffusing rare earth elements. The diffusion treatment is performed by attaching a compound containing a rare earth element (hereinafter sometimes simply referred to as a rare earth compound) or the like to the surface of the sintered body subjected to the decomposition step and then performing a heat treatment. Can do. There is no particular limitation on the method for attaching the compound containing the rare earth element, and for example, the compound can be attached by applying a slurry containing the rare earth element. The type of rare earth element to be diffused is arbitrary, but heavy rare earth elements are preferred. When diffusing heavy rare earth elements, the above-mentioned C RC / C RS can be controlled by controlling the amount of slurry applied and the concentration of heavy rare earth elements contained in the slurry.

ただし、前記希土類元素を付着させる方法は特に制限は無い。例えば、蒸着、スパッタリング、電着、スプレー塗布、刷毛塗り、ジェットディスペンサ、ノズル、スクリーン印刷、スキージ印刷、シート工法等を用いる方法がある。   However, the method for attaching the rare earth element is not particularly limited. For example, there are methods using vapor deposition, sputtering, electrodeposition, spray coating, brush coating, jet dispenser, nozzle, screen printing, squeegee printing, sheet construction method and the like.

スラリーを塗布する場合、希土類化合物は粒子状であることが好ましい。また、平均粒径は100nm以上50μm以下であることが好ましく、1μm以上10μm以下であることがより好ましい。   When applying the slurry, the rare earth compound is preferably particulate. The average particle diameter is preferably 100 nm or more and 50 μm or less, and more preferably 1 μm or more and 10 μm or less.

スラリーに用いる溶媒としては、希土類化合物を溶解させずに均一に分散させ得るものが好ましい。例えば、アルコール、アルデヒド、ケトン等が挙げられ、なかでもエタノールが好ましい。   As the solvent used in the slurry, a solvent that can be uniformly dispersed without dissolving the rare earth compound is preferable. For example, alcohol, aldehyde, ketone and the like can be mentioned, and ethanol is particularly preferable.

スラリー中の希土類化合物の含有量には特に制限はない。例えば、50重量%以上90重量%以下であってもよい。スラリーには、必要に応じて希土類化合物以外の成分をさらに含有させてもよい。例えば、希土類化合物粒子の凝集を防ぐための分散剤等が挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular in content of the rare earth compound in a slurry. For example, it may be 50% by weight or more and 90% by weight or less. The slurry may further contain components other than the rare earth compound as necessary. For example, a dispersant for preventing aggregation of rare earth compound particles can be used.

上記の拡散処理工程を、前記分解工程を行った焼結体に対して行うことにより、焼結体全体の粒界に加えて、主に磁石表層部に存在する微細化した粒子内部においても、希土類元素が拡散することになる。   By performing the above diffusion treatment step on the sintered body that has been subjected to the decomposition step, in addition to the grain boundaries of the entire sintered body, also inside the refined particles present mainly in the magnet surface layer part, Rare earth elements will diffuse.

拡散処理工程の条件には特に制限はないが、650℃以上1000℃以下で1時間以上24時間以下、行うことが好ましい。上記の範囲内の温度および時間とすることで、微細化した粒子に取り込まれる希土類元素の割合を多くしやすくなる。また、拡散処理工程の際に、上記のHガス、COガス、Nガスまたは酸化性ガスに含まれる各成分が放出される。 The conditions for the diffusion treatment step are not particularly limited, but it is preferably performed at 650 ° C. to 1000 ° C. for 1 hour to 24 hours. By setting the temperature and time within the above ranges, it becomes easier to increase the proportion of the rare earth element taken into the refined particles. Further, during the diffusion treatment step, each component contained in the H 2 gas, CO gas, N 2 gas, or oxidizing gas is released.

[再結合工程]
拡散処理工程後に再結合工程を経ることにより、微細化していた粒子が再結合し、R14B結晶が生成される。しかし、再結合しても結晶配向度が分解前の値に戻らず、結晶配向度が低下することになる。再結合工程は、例えば、50℃/分以上500℃/分以下の速度で急冷を行うことにより行われる。冷却速度には特に制限はないが、冷却速度が速すぎると非晶質を多く含んだ微結晶になる傾向にあり、冷却速度が遅すぎると逆コアシェル主相粒子110のコア部110aとシェル部110bとの界面が不明瞭になる傾向にある。
[Recombination process]
By passing through the recombination process after the diffusion treatment process, the particles that have been refined are recombined to generate R 2 T 14 B crystals. However, even if recombination occurs, the degree of crystal orientation does not return to the value before decomposition, and the degree of crystal orientation decreases. The recombination step is performed, for example, by performing rapid cooling at a rate of 50 ° C./min to 500 ° C./min. There is no particular limitation on the cooling rate, but if the cooling rate is too high, it tends to be microcrystals containing a large amount of amorphous, and if the cooling rate is too low, the core portion 110a and the shell portion of the reverse core shell main phase particle 110 are present. The interface with 110b tends to be unclear.

以上より、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石の製造方法としては、少なくとも、磁石表層部の主相粒子を分解して微細化する分解工程、微細化した粒子に希土類元素を拡散させる粒界拡散工程、および微細化した粒子を再結合させる再結合工程がこの順で行われることが重要である。これにより、R−T−B系焼結磁石の磁石表層部において結晶配向度を低下させることができる。上記の分解工程、粒界拡散工程、および再結合工程の方法および条件はあくまでも例示である。分解工程は磁石表層部の主相粒子を分解して微細化する工程であればよい。粒界拡散工程は微細化した粒子に希土類元素を拡散させることができればよい。再結合工程は微細化した粒子を再結合させることができればよい。なお、上記の分解工程、粒界拡散工程および再結合工程を経ることで逆コアシェル粒子を磁石表層部に生成させることもできる。   As mentioned above, as a manufacturing method of the RTB system sintered magnet concerning this embodiment, at least the decomposition process which decomposes | disassembles and refines the main phase particle | grains of a magnet surface layer part, a rare earth element is used for the refined particle | grains. It is important that the grain boundary diffusion process for diffusing and the recombination process for recombining the refined particles are performed in this order. Thereby, a crystal orientation degree can be reduced in the magnet surface layer part of a RTB system sintered magnet. The methods and conditions of the above decomposition step, grain boundary diffusion step, and recombination step are merely examples. The decomposition process may be any process that decomposes and refines the main phase particles on the surface layer of the magnet. The grain boundary diffusion step is not limited as long as the rare earth element can be diffused into the refined particles. The recombination process only needs to recombine the refined particles. In addition, reverse core-shell particle | grains can also be produced | generated in a magnet surface layer part through said decomposition | disassembly process, a grain-boundary diffusion process, and a recombination process.

[再時効処理工程]
再時効処理工程は、再結合工程後の焼結磁石に対して、拡散処理工程の最高温度よりも低い温度で加熱することにより行う。再時効処理の温度および時間には特に制限はないが、例えば450℃以上800℃以下で0.2時間以上3時間以下、行うことができる。
[Reaging process]
The reaging treatment step is performed by heating the sintered magnet after the recombination step at a temperature lower than the maximum temperature of the diffusion treatment step. There is no particular limitation on the temperature and time of the re-aging treatment, but for example, the re-aging treatment can be performed at 450 ° C. to 800 ° C. for 0.2 hours to 3 hours.

以上の工程により得られたR−T−B系焼結磁石は、めっきや樹脂被膜や酸化処理、化成処理などの表面処理を施してもよい。これにより、耐食性をさらに向上させることができる。   The RTB-based sintered magnet obtained by the above steps may be subjected to surface treatment such as plating, resin coating, oxidation treatment, or chemical conversion treatment. Thereby, corrosion resistance can further be improved.

さらに、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石を切断、分割して得られる磁石を用いることができる。   Furthermore, a magnet obtained by cutting and dividing the RTB-based sintered magnet according to this embodiment can be used.

具体的には、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石は、モータ、コンプレッサー、磁気センサー、スピーカ等の用途に好適に用いられる。   Specifically, the RTB-based sintered magnet according to the present embodiment is suitably used for applications such as a motor, a compressor, a magnetic sensor, and a speaker.

また、本実施形態に係るR−T−B系焼結磁石は、単独で用いてもよく、2個以上のR−T−B系焼結磁石を必要に応じて結合させて用いてもよい。結合方法に特に制限はない。例えば、機械的に結合させる方法や樹脂モールドで結合させる方法がある。   In addition, the RTB-based sintered magnet according to this embodiment may be used alone, or two or more RTB-based sintered magnets may be combined and used as necessary. . There is no particular limitation on the bonding method. For example, there are a mechanical bonding method and a resin mold bonding method.

2個以上のR−T−B系焼結磁石を結合させることで、大きなR−T−B系焼結磁石を容易に製造することができる。2個以上のR−T−B系焼結磁石を結合させた磁石は、特に大きなR−T−B系焼結磁石が求められる用途、例えば、IPMモータ、風力発電機、大型モータ等に好ましく用いられる。   By combining two or more RTB-based sintered magnets, a large RTB-based sintered magnet can be easily manufactured. A magnet in which two or more RTB-based sintered magnets are combined is preferable for applications requiring particularly large RTB-based sintered magnets, such as IPM motors, wind power generators, large motors, and the like. Used.

次に、本発明を具体的な実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されない。   Next, the present invention will be described in more detail based on specific examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(焼結磁石作製工程)
原料金属として、Nd、電解鉄、低炭素フェロボロン合金を準備した。さらに、Al,Cu,Co,Zrを、純金属またはFeとの合金の形で準備した。
(Sintered magnet manufacturing process)
Nd, electrolytic iron, and a low carbon ferroboron alloy were prepared as raw materials. Furthermore, Al, Cu, Co, and Zr were prepared in the form of a pure metal or an alloy with Fe.

前記原料金属に対し、ストリップキャスト法により、焼結磁石の組成が後述する表1の合金Aに示す組成となるように焼結体用合金(原料合金)を作製した。表1に示した各元素の含有量(重量%)はNd,B,Al,Cu,Co,ZrおよびFeの合計含有量を100重量%としたときの値である。また、前記原料合金の合金厚みは0.2mm以上0.6mm以下とした。   An alloy for a sintered body (raw material alloy) was prepared by strip casting for the raw material metal so that the composition of the sintered magnet became a composition shown in alloy A of Table 1 described later. The content (% by weight) of each element shown in Table 1 is a value when the total content of Nd, B, Al, Cu, Co, Zr and Fe is 100% by weight. Moreover, the alloy thickness of the raw material alloy was set to 0.2 mm or more and 0.6 mm or less.

次いで、前記原料合金に対して室温で1時間、水素ガスをフローさせて水素を吸蔵させた。次いで雰囲気をArガスに切り替え、450℃で1時間、脱水素処理を行い、原料合金を水素粉砕した。さらに、冷却後にふるいを用いて400μm以下の粒度の粉末とした。   Next, hydrogen was occluded by flowing hydrogen gas to the raw material alloy at room temperature for 1 hour. Next, the atmosphere was switched to Ar gas, dehydrogenation treatment was performed at 450 ° C. for 1 hour, and the raw material alloy was pulverized with hydrogen. Further, after cooling, a sieve having a particle size of 400 μm or less was obtained using a sieve.

次いで、水素粉砕後の原料合金の粉末に対し、重量比で0.1%のオレイン酸アミドを粉砕助剤として添加し、混合した。   Next, 0.1% oleic amide by weight was added as a grinding aid to the raw material alloy powder after hydrogen grinding and mixed.

次いで、衝突板式のジェットミル装置を用いて窒素気流中で微粉砕し、それぞれ平均粒径が4μm程度の微粉(原料粉末)を得た。なお、前記平均粒径は、レーザ回折式の粒度分布計で測定した平均粒径D50である。   Subsequently, it was finely pulverized in a nitrogen stream using a collision plate type jet mill device to obtain fine powder (raw material powder) having an average particle diameter of about 4 μm. The average particle diameter is an average particle diameter D50 measured with a laser diffraction particle size distribution meter.

なお、表1に記載していない元素では、H,Si,Ca,La,Ce,Cr等が検出される場合がある。Siは主にフェロボロン原料および合金溶解時のるつぼから混入する。Ca,La,Ceは希土類の原料から混入する。また、Crは電解鉄から混入する可能性がある。   For elements not listed in Table 1, H, Si, Ca, La, Ce, Cr, etc. may be detected. Si is mainly mixed from the ferroboron raw material and the crucible during melting of the alloy. Ca, La, and Ce are mixed from rare earth materials. Moreover, Cr may be mixed from electrolytic iron.

得られた微粉を磁界中で成形して成形体を作製した。このときの印加磁場は1200kA/mの静磁界である。また、成形時の加圧力は120MPaとした。なお、磁界印加方向と加圧方向とを直交させるようにした。この時点での成形体の密度を測定したところ、全ての成形体の密度が4.10Mg/m以上4.25Mg/m以下の範囲内であった。 The obtained fine powder was molded in a magnetic field to produce a molded body. The applied magnetic field at this time is a static magnetic field of 1200 kA / m. The pressing force during molding was 120 MPa. The magnetic field application direction and the pressurizing direction were orthogonal to each other. When the density of the molded body at this time was measured, the density of all the molded bodies was in the range of 4.10 Mg / m 3 or more and 4.25 Mg / m 3 or less.

次に、前記成形体を焼結し、焼結磁石を得た。焼結条件は、1060℃で4時間保持とした。焼結雰囲気は真空中とした。このとき焼結密度は7.50Mg/m以上7.55Mg/m以下の範囲にあった。その後、Ar雰囲気、大気圧中で、第一時効温度T1=900℃で1時間の第一時効処理を行い、さらに、第二時効温度T2=500℃で1時間の第二時効処理を行った。 Next, the compact was sintered to obtain a sintered magnet. The sintering conditions were held at 1060 ° C. for 4 hours. The sintering atmosphere was in a vacuum. At this time, the sintered density was in the range of 7.50 Mg / m 3 or more and 7.55 Mg / m 3 or less. Thereafter, a first aging treatment was performed for 1 hour at a first tempering temperature T1 = 900 ° C. in an Ar atmosphere and atmospheric pressure, and further a second aging treatment was performed for 1 hour at a second aging temperature T2 = 500 ° C. .

得られた焼結磁石の組成は蛍光X線分析で評価した。Bの含有量はICPで評価した。各試料における焼結磁石の組成が表2の通りであることを確認した。そして、得られた焼結磁石に対し、以下に示す各実施例1〜14および比較例1〜4の処理を行った。   The composition of the obtained sintered magnet was evaluated by fluorescent X-ray analysis. The content of B was evaluated by ICP. It was confirmed that the composition of the sintered magnet in each sample was as shown in Table 2. And the process of each Examples 1-14 shown below and Comparative Examples 1-4 was performed with respect to the obtained sintered magnet.

(実施例1)
上記の工程により得られた焼結磁石を、幅20mm、長さ20mm、配向方向の厚み5mmの直方体となるように加工した後、水素が5体積%、Arが95体積%である雰囲気ガス中、750℃で10分間保持し、主に磁石表層部に存在する主相粒子を不均化し微細化した。焼結磁石の磁極面(C面)は20mm×20mmの面である。
Example 1
After processing the sintered magnet obtained by the above process into a rectangular parallelepiped having a width of 20 mm, a length of 20 mm, and a thickness of 5 mm in the orientation direction, in an atmosphere gas in which hydrogen is 5 vol% and Ar is 95 vol% And maintained at 750 ° C. for 10 minutes to disproportionate and refine the main phase particles present mainly in the surface layer of the magnet. The magnetic pole surface (C surface) of the sintered magnet is a surface of 20 mm × 20 mm.

次いで、焼結磁石の全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて950℃で5時間の熱処理を施し、Tbを粒界拡散させた。そして、微細化した主相粒子の内部にまでTbを拡散させた。 Next, a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet so that the weight of Tb is 0.5% by weight with respect to the weight of the sintered magnet. To attach Tb. After applying the slurry, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and then heat treatment was performed at 950 ° C. for 5 hours to diffuse Tb at the grain boundaries. Then, Tb was diffused into the refined main phase particles.

前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷し、微細化した粒子を再結合化させた。   After the heat treatment, quenching was performed at a cooling rate of 200 ° C./min to recombine the refined particles.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った。   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(実施例2)
上記の工程により得られた焼結磁石をCOが8体積%、Arが92体積%である雰囲気ガス中、700℃で10分間保持し、主に磁石表層部に存在する主相粒子を不均化し微細化した。
(Example 2)
The sintered magnet obtained by the above process is held at 700 ° C. for 10 minutes in an atmospheric gas having 8% by volume of CO and 92% by volume of Ar, and the main phase particles mainly present on the magnet surface layer are unevenly distributed. And refined.

次いで、焼結磁石の全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量比が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて950℃で5時間の熱処理を施した。そして、微細化した粒子の内部にまでTbを拡散させた。 Next, a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet so that the weight ratio of Tb to the weight of the sintered magnet is 0.5% by weight. Tb was made to adhere by application. After applying the slurry, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and subsequently, heat treatment was performed at 950 ° C. for 5 hours. And Tb was diffused even inside the refined particles.

前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷し、微細化した粒子を再結合させた。   After the heat treatment, it was rapidly cooled at a cooling rate of 200 ° C./min to recombine the refined particles.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(実施例3)
上記の工程により得られた焼結磁石をNが8体積%、Arが92体積%である雰囲気ガス中、650℃で30分間保持し、主に磁石表層部に存在する主相粒子を不均化し微細化した。
(Example 3)
The sintered magnet obtained by the above process is held at 650 ° C. for 30 minutes in an atmosphere gas containing 8% by volume of N 2 and 92% by volume of Ar, and main phase particles mainly present in the magnet surface layer portion are not treated. Leveled and refined.

次いで、焼結磁石の全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量比が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて950℃で5時間の熱処理を施した。そして、微細化した粒子の内部にまでTbを拡散させた。 Next, a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet so that the weight ratio of Tb to the weight of the sintered magnet is 0.5% by weight. Tb was made to adhere by application. After applying the slurry, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and subsequently, heat treatment was performed at 950 ° C. for 5 hours. And Tb was diffused even inside the refined particles.

前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷し、微細化した粒子を再結合させた。   After the heat treatment, it was rapidly cooled at a cooling rate of 200 ° C./min to recombine the refined particles.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った。   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(実施例4)
上記の工程により得られた焼結磁石を水蒸気分圧200hPaに調整されたガスを含む酸化性雰囲気中、400℃で30分間保持し、主に磁石表層部に存在する主相粒子を不均化し微細化した。
Example 4
The sintered magnet obtained by the above process is held at 400 ° C. for 30 minutes in an oxidizing atmosphere containing a gas adjusted to a water vapor partial pressure of 200 hPa to disproportionate main phase particles present mainly in the magnet surface layer. Refined.

次いで、焼結磁石の全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量比が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて950℃で5時間の熱処理を施した。そして、微細化した粒子の内部にまでTbを拡散させた。 Next, a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet so that the weight ratio of Tb to the weight of the sintered magnet is 0.5% by weight. Tb was made to adhere by application. After applying the slurry, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and subsequently, heat treatment was performed at 950 ° C. for 5 hours. And Tb was diffused even inside the refined particles.

前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷し、微細化した粒子を再結合させた。   After the heat treatment, it was rapidly cooled at a cooling rate of 200 ° C./min to recombine the refined particles.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った。   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(実施例5)
TbH粒子(平均粒径D50=5μm)を、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)およびNdH粒子(平均粒径D50=5μm)をTb:Nd=80:20(原子数比)となるように混合させた粒子に置き換える点以外は実施例1と同様に実施した。なお、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるようにTbおよびNdを付着させた。
(Example 5)
TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm), TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) and NdH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) were converted to Tb: Nd = 80: 20 (atomic ratio). This was carried out in the same manner as in Example 1 except that the particles were mixed so as to be. Tb and Nd were attached so that the weight of Tb was 0.5% by weight with respect to the weight of the sintered magnet.

(実施例6)
TbH粒子(平均粒径D50=5μm)を、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)およびNdH粒子(平均粒径D50=5μm)をTb:Nd=70:30(原子数比)となるように混合させた粒子に置き換える点以外は実施例1と同様に実施した。なお、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるようにTbおよびNdを付着させた。
(Example 6)
TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm), TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) and NdH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) were converted to Tb: Nd = 70: 30 (atomic ratio). This was carried out in the same manner as in Example 1 except that the particles were mixed so as to be. Tb and Nd were attached so that the weight of Tb was 0.5% by weight with respect to the weight of the sintered magnet.

(実施例7)
水素が5体積%、Arが95体積%である雰囲気ガス中での保持時間を20分間にした点以外は実施例1と同様に実施した。
(Example 7)
The same operation as in Example 1 was performed except that the holding time in an atmosphere gas containing 5% by volume of hydrogen and 95% by volume of Ar was set to 20 minutes.

(実施例8)
水素が5体積%、Arが95体積%である雰囲気ガス中での保持時間を30分間にした点以外は実施例1と同様に実施した。
(Example 8)
The same operation as in Example 1 was performed except that the holding time in an atmosphere gas containing 5% by volume of hydrogen and 95% by volume of Ar was set to 30 minutes.

(実施例9)
熱処理後の冷却速度を50℃/分にした点以外は実施例1と同様に実施した。
Example 9
The same procedure as in Example 1 was performed except that the cooling rate after the heat treatment was 50 ° C./min.

(実施例10)
熱処理後の冷却速度を500℃/分にした点以外は実施例1と同様に実施した。
(Example 10)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the cooling rate after the heat treatment was 500 ° C./min.

(実施例11)
上記の工程により得られた焼結磁石をHガス雰囲気中、750℃で10分間保持し、主に磁石表層部に存在する主相粒子を不均化し微細化した。
(Example 11)
The sintered magnet obtained by the above process was held in an H 2 gas atmosphere at 750 ° C. for 10 minutes to disproportionate and refine the main phase particles present mainly in the magnet surface layer.

次いで、焼結磁石の全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて820℃で5時間の熱処理を施した。そして、微細化した粒子の内部にまでTbを拡散させた。 Next, a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet so that the weight of Tb is 0.5% by weight with respect to the weight of the sintered magnet. To attach Tb. After the slurry was applied, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and subsequently, heat treatment was performed at 820 ° C. for 5 hours. And Tb was diffused even inside the refined particles.

前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷し、微細化した粒子を再結合させた。   After the heat treatment, it was rapidly cooled at a cooling rate of 200 ° C./min to recombine the refined particles.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った。   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(実施例12)
TbH粒子(平均粒径D50=5μm)を、NdH粒子(平均粒径D50=5μm)に置き換えた点以外は実施例1と同様にして実施した。なお、焼結磁石の重量に対する塗布するNdの重量が0.5重量%となるようにNdを付着させた。
(Example 12)
TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 [mu] m), except that was replaced by NdH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 [mu] m) was performed in the same manner as in Example 1. In addition, Nd was made to adhere so that the weight of Nd to apply | coat with respect to the weight of a sintered magnet might be 0.5 weight%.

(実施例13)
焼結磁石の両磁極面(C面)のみに、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを塗布することでTbを付着させた点以外は実施例1と同様に実施した。なお、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるようにTbを付着させた。
(Example 13)
Example 1 except that Tb was adhered by applying a slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) were dispersed in ethanol only to both magnetic pole faces (C face) of the sintered magnet. Implemented. In addition, Tb was made to adhere so that the weight of Tb with respect to the weight of a sintered magnet might be 0.5 weight%.

(実施例14)
TbH粒子(平均粒径D50=5μm)を、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)およびNdH粒子(平均粒径D50=5μm)をTb:Nd=50:50(原子数比)となるように混合させた粒子に置き換える点以外は実施例1と同様に実施した。なお、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるようにTbおよびNdを付着させた。
(Example 14)
TbH 2 particles (average particle size D50 = 5 μm), TbH 2 particles (average particle size D50 = 5 μm) and NdH 2 particles (average particle size D50 = 5 μm) were converted to Tb: Nd = 50: 50 (atomic ratio). This was carried out in the same manner as in Example 1 except that the particles were mixed so as to be. Tb and Nd were attached so that the weight of Tb was 0.5% by weight with respect to the weight of the sintered magnet.

(比較例1)
上記の焼結磁石作製工程により得られた焼結磁石全面に対し、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるように塗布することでTbを付着させた。
(Comparative Example 1)
A slurry in which TbH 2 particles (average particle size D50 = 5 μm) are dispersed in ethanol is applied to the entire surface of the sintered magnet obtained by the above-described sintered magnet manufacturing step, and the weight of Tb relative to the weight of the sintered magnet is 0.00. Tb was made to adhere by applying to 5 wt%.

前記スラリーを塗布後に大気圧でArをフローしながら770℃で5時間の熱処理を実施し、続いて950℃で5時間の熱処理を施し、Tbを粒界拡散させた。そして、前記熱処理後に冷却速度200℃/分で急冷した。   After applying the slurry, heat treatment was performed at 770 ° C. for 5 hours while flowing Ar at atmospheric pressure, and then heat treatment was performed at 950 ° C. for 5 hours to diffuse Tb at the grain boundaries. And it cooled rapidly with the cooling rate of 200 degrees C / min after the said heat processing.

その後、Ar雰囲気、大気圧中で、500℃で1時間の再時効処理を行った。   Thereafter, re-aging treatment was performed at 500 ° C. for 1 hour in an Ar atmosphere and atmospheric pressure.

前記再時効後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the re-aging was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(比較例2)
焼結磁石作製工程において、表1に示す組成となるように焼結体用合金(原料合金)BおよびCを作製した。表1に示す原料合金Bおよび原料合金Cを水素粉砕した後に、重量比で9:1となるように混合した。その後、実施例1と同様に微粉砕、成形、焼結および時効処理を行い、表2に示す組成を有する焼結磁石を得た。なお、当該焼結磁石の組成は、上記拡散処理後の実施例1〜4,7〜11,13および比較例1,4の焼結磁石の組成と同一になることを確認した。
(Comparative Example 2)
In the sintered magnet manufacturing process, sintered body alloys (raw material alloys) B and C were prepared so as to have the compositions shown in Table 1. The raw material alloy B and the raw material alloy C shown in Table 1 were pulverized with hydrogen and then mixed so that the weight ratio was 9: 1. Thereafter, pulverization, molding, sintering and aging treatment were performed in the same manner as in Example 1 to obtain sintered magnets having the compositions shown in Table 2. In addition, it confirmed that the composition of the said sintered magnet became the same as the composition of the sintered magnet of Examples 1-4, 7-11,13 and the comparative examples 1 and 4 after the said diffusion process.

前記時効処理後の焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った。   The sintered magnet after the aging treatment was evaluated for magnetic properties (residual magnetic flux density Br, coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer.

(比較例3)
焼結磁石の表層部に存在する主相粒子を不均化させず微細化させない点以外は実施例12と同様に実施した。
(Comparative Example 3)
The same operation as in Example 12 was carried out except that the main phase particles present in the surface layer portion of the sintered magnet were not disproportionated or refined.

(比較例4)
焼結磁石の両磁極面(C面)を除く4面に、TbH粒子(平均粒径D50=5μm)をエタノールに分散させたスラリーを塗布することでTbを付着させた点以外は実施例1と同様に実施した。なお、焼結磁石の重量に対するTbの重量が0.5重量%となるようにTbを付着させた。
(Comparative Example 4)
Example except that Tb was adhered by applying slurry in which TbH 2 particles (average particle diameter D50 = 5 μm) were dispersed in ethanol to four surfaces except both magnetic pole surfaces (C surface) of the sintered magnet. 1 was carried out. In addition, Tb was made to adhere so that the weight of Tb with respect to the weight of a sintered magnet might be 0.5 weight%.

表3には、実施例1〜11および14、比較例1,2の各R−T−B系焼結磁石の表層部に存在する主相粒子を分解する分解処理を行ったか、粒界拡散処理を行ったか、そして、粒界拡散後に急冷を行ったかのそれぞれについて記載した。各処理を行った場合には○、各処理を行わなかった場合には×を付けた。さらに、各実施例および比較例について、焼結磁石の両磁極面(C面)にRHを付着させたか、および、焼結磁石の両磁極面(C面)を除く4面にRHを付着させたかについても記載した。各面にRHを付着させた場合には○、各面にRHを付着させなかった場合には×を付けた。   Table 3 shows whether a decomposition treatment for decomposing main phase particles present in the surface layer portion of each of the R-T-B system sintered magnets of Examples 1 to 11 and 14, and Comparative Examples 1 and 2 was performed, or grain boundary diffusion Each of the treatment was performed and the quenching was performed after the grain boundary diffusion was described. When each process was performed, “◯” was given, and when each process was not conducted, “X” was given. Furthermore, for each of the examples and comparative examples, RH was attached to both magnetic pole faces (C face) of the sintered magnet, and RH was attached to four faces excluding both magnetic pole faces (C face) of the sintered magnet. It was also described. When RH was made to adhere to each surface, it was marked with ○, and when RH was not made to adhere to each surface, × was marked.

さらに、実施例1〜11および14、比較例1,2のR−T−B系焼結磁石について、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った結果を表3に示す。なお、残留磁束密度Brは1380mT以上を良好とし、1400mT以上をさらに良好とした。保磁力Hcjは1790kA/m以上を良好とし、1830kA/m以上をさらに良好とした。角形比Hk/Hcjは0.95以上である場合を良好とした。   Further, the R-T-B system sintered magnets of Examples 1 to 11 and 14 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated for magnetic characteristics (residual magnetic flux density Br coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) with a BH tracer. The results are shown in Table 3. The residual magnetic flux density Br was 1380 mT or more, and 1400 mT or more. The coercive force Hcj was 1790 kA / m or higher, and 1830 kA / m or higher was further improved. The case where the squareness ratio Hk / Hcj was 0.95 or more was considered good.

また、各実施例および比較例のR−T−B系焼結磁石について、結晶配向度を以下の方法で測定した。   Moreover, the crystal orientation degree was measured with the following method about the RTB system sintered magnet of each Example and the comparative example.

まず、各実施例および比較例のR−T−B系焼結磁石の磁極面を鏡面研磨した。その後、鏡面研磨した面のX線回折測定を行い、得られた回折ピークを基にロットゲーリング法により配向度を算出した。ロットゲーリング法では、(00l)反射の成分のX線回折強度I(00l)と(hk0)反射の成分のX線回折強度I(hk0)に基づいて、下記数1に示す式により結晶配向度fcを算出することができる。   First, the magnetic pole surface of the R-T-B system sintered magnet of each example and comparative example was mirror-polished. Thereafter, X-ray diffraction measurement of the mirror-polished surface was performed, and the degree of orientation was calculated by the Lotgering method based on the obtained diffraction peak. In the Lotgering method, based on the X-ray diffraction intensity I (00l) of the (00l) reflection component and the X-ray diffraction intensity I (hk0) of the (hk0) reflection component, the crystal orientation degree is expressed by the following equation (1). fc can be calculated.

Figure 2018174314
Figure 2018174314

なお、ロットゲーリング法により配向度を算出する場合、回折ピークのうち、配向方向、すなわち(00l)反射の成分のみが分子側に積算される。回折ピークのうち、配向方向から少しでも外れる成分については、配向方向から垂直方向、すなわち(hk0)反射の成分と判断される。すなわち、前記数1に示す式において、分子側からは除外され、分母側に積算される。したがって、実際の配向度に比べて算出される配向度はかなり小さな値となる。実際に即した配向度を算出するためには、回折ピークに対してベクトル補正を行うことが好ましいが、本実施例ではベクトル補正を実施しない。   When the degree of orientation is calculated by the Lotgering method, only the orientation direction, that is, (00l) reflection component of the diffraction peaks is integrated on the molecular side. The component of the diffraction peak that deviates even slightly from the alignment direction is determined to be a component perpendicular to the alignment direction, that is, (hk0) reflection. That is, in the formula shown in the above equation 1, it is excluded from the numerator side and integrated on the denominator side. Therefore, the degree of orientation calculated compared to the actual degree of orientation is a considerably small value. In order to calculate the degree of orientation in line with actuality, it is preferable to perform vector correction on the diffraction peak, but in this embodiment, vector correction is not performed.

上記の方法により、磁極面の結晶配向度を算出した。さらに、低結晶配向度層の厚みを以下の方法で測定した。   The degree of crystal orientation of the magnetic pole face was calculated by the above method. Further, the thickness of the low crystal orientation layer was measured by the following method.

磁極面から10μmずつ研磨し、10μmごとに鏡面研磨した面のX線回折測定を行い、ロットゲーリング法により結晶配向度を算出した。磁石中央部の結晶配向度に対し、2%以上、結晶配向度が低下している部分の厚さを低結晶配向度層の厚さとした。なお、磁石中央部の結晶配向度とは、10μmごとに算出した結晶配向度の中で、最も結晶配向度が高くなる場合における結晶配向度を指す。また、磁石中央部の結晶配向度に対して2%以上、磁極面の結晶配向度が低下しない場合には、低結晶配向度層が存在しないものとした。   The surface was polished 10 μm from the magnetic pole surface, and the mirror-polished surface was measured every 10 μm, and the degree of crystal orientation was calculated by the Lotgering method. The thickness of the portion where the degree of crystal orientation is reduced by 2% or more with respect to the degree of crystal orientation in the central part of the magnet is defined as the thickness of the low crystal orientation degree layer. In addition, the crystal orientation degree in the magnet central portion refers to the crystal orientation degree when the crystal orientation degree is highest among the crystal orientation degrees calculated every 10 μm. In addition, when the crystal orientation degree of the magnetic pole face does not decrease by 2% or more with respect to the crystal orientation degree in the magnet central portion, the low crystal orientation degree layer does not exist.

さらに、磁極面を持つ磁石表層部のうち、磁極面から磁石内部に向かって20μmの部分における逆コアシェル主相粒子の存在割合を測定した。磁石表層部における逆コアシェル主相粒子の存在割合の測定は、磁極面を持つ磁石表層部のうち、磁極面から磁石内部に向かって20μmの部分にある主相粒子からランダムに選んだ10個の主相粒子についてSEMおよびTEM−EDSを用いて行った。また、磁石中央部における逆コアシェル主相粒子の存在割合を測定した。磁石中央部における逆コアシェル主相粒子の存在割合の測定は、磁石中央部にある主相粒子の中からランダムに選んだ10個の主相粒子についてSEMおよびTEM−EDSを用いて行った。結果を表4に示す。   Furthermore, the abundance ratio of the reverse core shell main phase particles in a portion of 20 μm from the magnetic pole surface toward the inside of the magnet in the magnet surface layer portion having the magnetic pole surface was measured. The measurement of the existence ratio of the reverse core shell main phase particles in the magnet surface layer portion was performed by randomly selecting 10 main phase particles in the portion of 20 μm from the magnetic pole surface toward the inside of the magnet in the magnet surface layer portion having the magnetic pole surface. The main phase particles were subjected to SEM and TEM-EDS. Moreover, the abundance ratio of the reverse core shell main phase particles in the magnet central part was measured. The abundance ratio of the reverse core shell main phase particles in the magnet central portion was measured using SEM and TEM-EDS for 10 main phase particles randomly selected from the main phase particles in the magnet central portion. The results are shown in Table 4.

さらに、磁極面を持つ磁石表層部に存在する逆コアシェル主相粒子について、コア部における全RHの濃度CRCおよびシェル部におけるにおける全RHの濃度CRSをTEM−EDSを用いて測定した。そして、各逆コアシェル主相粒子におけるCRC/CRS>1.5である粒子の割合およびCRC/CRS>3.0である粒子の割合をTEM−EDSを用いて算出した。結果を表4に示す。 Further, the reverse shell main phase particles on the magnet surface layer portion having a pole face, and the total RH concentration C RS in the concentration C RC and the shell of the entire RH in the core portion was measured using the TEM-EDS. And the ratio of the particle | grains which are CRC / CRS > 1.5 in each reverse core shell main phase particle | grain, and the ratio of the particle | grains which are CRC / CRS > 3.0 were computed using TEM-EDS. The results are shown in Table 4.

実施例1〜11および14における逆コアシェル主相粒子において、コア部における全RH濃度およびシェル部における全RH濃度の測定箇所は以下の通りとする。   In the reverse core-shell main phase particles in Examples 1 to 11 and 14, the measurement locations of the total RH concentration in the core portion and the total RH concentration in the shell portion are as follows.

まず、濃度を測定する逆コアシェル主相粒子を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察し、長さが最大となる直径を特定する。次に、当該直径と粒界との二つの交点を特定する。そして、当該二つの交点の中点を中心とする20nm×20nmの領域における全RH濃度を測定し、コア部における全RH濃度CRCとする。 First, the reverse core-shell main phase particles whose concentration is to be measured are observed with a transmission electron microscope (TEM), and the diameter having the maximum length is specified. Next, two intersections between the diameter and the grain boundary are specified. Then, by measuring the total RH concentration in the region of 20 nm × 20 nm centered on the midpoint of the two points of intersection, the total RH concentration C RC in the core portion.

次に、当該二つの交点のうち一つの交点を選択する。そして、当該交点から前記長さが最大となる直径に沿って20nm、逆コアシェル主相粒子側に侵入した点を中心とする20nm×20nmの領域における全RH濃度を測定し、シェル部における全RH濃度CRSとする。 Next, one intersection is selected from the two intersections. Then, the total RH concentration in a region of 20 nm × 20 nm centering on the point entering the reverse core shell main phase particle side is measured along the diameter having the maximum length from the intersection, and the total RH in the shell portion is measured. Concentration CRS .

また、実施例1〜11および14、比較例1,2の磁極面を持つ磁石表層部における低RH結晶相を含む粒子の存在割合r(%)、および、磁石中央部における低RH結晶相を含む粒子の存在割合r(%)をSEM、SEM−EDS、TEMおよびTEM−EDSを用いて測定した。具体的には、磁極面を持つ磁石表層部および磁石中央部のそれぞれについて、主相粒子を10個選択し、10個のうちいくつの粒子が低RH結晶相を含むかを測定した。結果を表4に示す。 In addition, the existence ratio r s (%) of particles including a low RH crystal phase in the magnet surface layer portion having the magnetic pole face of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 and 2, and the low RH crystal phase in the magnet central portion The abundance ratio r c (%) of the particles containing was measured using SEM, SEM-EDS, TEM and TEM-EDS. Specifically, 10 main phase particles were selected for each of the magnet surface layer portion and the magnet center portion having the magnetic pole face, and how many of the 10 particles contained a low RH crystal phase was measured. The results are shown in Table 4.

さらに、実施例1〜11および14、比較例1,2について、磁極面を持つ磁石表層部における低RH結晶相および非磁性Rリッチ相を含む粒子の存在割合(rsh)(%)、および、磁石中央部における低RH結晶相および非磁性Rリッチ相を含む粒子の存在割合(rch)(%)をSEM−EDS、TEMおよびTEM−EDSを用いて測定した。結果を表4に示す。 Further, for Examples 1 to 11 and 14, and Comparative Examples 1 and 2, the abundance ratio (r sh ) (%) of particles containing a low RH crystal phase and a nonmagnetic R rich phase in the magnet surface layer portion having the pole face, and In addition, the abundance ratio (r ch ) (%) of particles including a low RH crystal phase and a non-magnetic R-rich phase in the central part of the magnet was measured using SEM-EDS, TEM and TEM-EDS. The results are shown in Table 4.

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表1〜表4より、焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化する工程、粒界拡散により微細化した粒子にRHを取り込ませる工程、および、急冷によりRHを取り込んだ粒子を再結合する工程を経た実施例1〜11,14のR−T−B系焼結磁石は磁極面(C面)を持つ磁石表層部の主相粒子の結晶配向度が磁石中央部の主相粒子の結晶配向度より低くなった。そして、残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcjが好ましい結果となった。   From Tables 1 to 4, the step of decomposing and refining the main phase particles of the magnet surface layer after sintering, the step of incorporating RH into the particles refined by grain boundary diffusion, and the particles incorporating RH by rapid cooling In the RTB-based sintered magnets of Examples 1 to 11 and 14 that have undergone the recombination step, the crystal orientation degree of the main phase particles in the magnet surface layer portion having the magnetic pole surface (C surface) is the main phase in the magnet central portion. It was lower than the degree of crystal orientation of the particles. The residual magnetic flux density Br, the coercive force Hcj, and the squareness ratio Hk / Hcj were preferable.

さらに、低結晶配向度層の厚みが10μm以上70μm以下である実施例1〜7,9〜11,14は残留磁束密度Brがさらに好ましい結果となった。さらに、逆コアシェル主相粒子が存在し、かつ、逆コアシェル主相粒子のうちCRC/CRS>1.5である逆コアシェル主相粒子の割合が90%以上である実施例1〜5,7および8は保磁力Hcjがさらに好ましい結果となった。 Further, in Examples 1 to 7, 9 to 11 and 14 in which the thickness of the low crystal orientation layer was 10 μm or more and 70 μm or less, the residual magnetic flux density Br was more preferable. Further, Examples 1 to 5, wherein the reverse core shell main phase particles are present, and the ratio of the reverse core shell main phase particles having C RC / C RS > 1.5 among the reverse core shell main phase particles is 90% or more. 7 and 8 had a more preferable coercive force Hcj.

さらに、r−r≧20%である実施例1〜11,14は好ましい残留磁束密度Brおよび保磁力Hcjが得られた。また、rsh−rch≧60%である実施例1〜5,7はさらに好ましい残留磁束密度Brおよび保磁力Hcjが得られた。 Further, in Examples 1 to 11 and 14 where r s −r c ≧ 20%, preferable residual magnetic flux density Br and coercive force Hcj were obtained. Further, in Examples 1 to 5 and 7 where r sh −r ch ≧ 60%, more preferable residual magnetic flux density Br and coercive force Hcj were obtained.

これに対し、焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化する工程、粒界拡散により微細化した粒子にRHを取り込ませる工程、および、急冷によりRHが取り込まれた粒子を再結合する工程を経なかった比較例では、磁石表層部の結晶配向度が低下しなかった。その結果、残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび/または角形比Hk/Hcjが実施例1〜11,14より劣る結果となった。   On the other hand, the step of decomposing and refining the main phase particles in the magnet surface layer after sintering, the step of incorporating RH into the particles refined by grain boundary diffusion, and the recombination of particles incorporating RH by rapid cooling In the comparative example which did not pass through the process to do, the crystal orientation degree of the magnet surface layer part did not fall. As a result, the residual magnetic flux density Br, the coercive force Hcj and / or the squareness ratio Hk / Hcj were inferior to those of Examples 1 to 11.

比較例1では焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化とする工程を行わなかったため、粒界拡散および急冷を経ても主相粒子にRHが取り込まれず、結晶配向度が低下しなかった。比較例2では、2合金法により焼結磁石を作製した結果、磁石表層部の主相粒子の結晶配向度と磁石中央部の主相粒子の結晶配向度とが同等になった。その結果、残留磁束密度Br、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcjが実施例1〜11,14より劣る結果となった。   In Comparative Example 1, since the step of decomposing and refining the main phase particles of the magnet surface layer portion after sintering was not performed, RH was not taken into the main phase particles even after undergoing grain boundary diffusion and rapid cooling, and the degree of crystal orientation decreased. There wasn't. In Comparative Example 2, as a result of producing a sintered magnet by the two-alloy method, the crystal orientation degree of the main phase particles in the magnet surface layer part and the crystal orientation degree of the main phase particles in the magnet central part became equal. As a result, the residual magnetic flux density Br, the coercive force Hcj, and the squareness ratio Hk / Hcj were inferior to those of Examples 1 to 11.

また、実施例12と比較例3とを比較した結果を表5に、実施例13と比較例4とを比較した結果を表6に示す。   Table 5 shows the results of comparing Example 12 and Comparative Example 3, and Table 6 shows the results of comparing Example 13 and Comparative Example 4.

表5には、実施例12および比較例3についてR−T−B系焼結磁石の表層部に存在する主相粒子を分解する分解処理を行ったか、粒界拡散処理を行ったか、そして、粒界拡散後に急冷を行ったかのそれぞれについて記載した。各処理を行った場合には○、各処理を行わなかった場合には×を付けた。さらに、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った結果を表5に示す。なお、RHを粒界拡散させていない実施例12および比較例3の比較においては、保磁力は1250kA/m以上を良好とした。   Table 5 shows whether Example 12 and Comparative Example 3 were subjected to decomposition treatment for decomposing main phase particles present in the surface layer portion of the R-T-B system sintered magnet, grain boundary diffusion treatment, and Each of the cases where rapid cooling was performed after grain boundary diffusion was described. When each process was performed, “◯” was given, and when each process was not conducted, “X” was given. Further, Table 5 shows the results of evaluation of magnetic characteristics (residual magnetic flux density Br coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) using a BH tracer. In the comparison between Example 12 and Comparative Example 3 in which RH was not diffused at the grain boundary, the coercive force was 1250 kA / m or more.

表6には、実施例13および比較例4についてR−T−B系焼結磁石の表層部に存在する主相粒子を分解する分解処理を行ったか、粒界拡散処理を行ったか、そして、粒界拡散後に急冷を行ったかのそれぞれについて記載した。各処理を行った場合には○、各処理を行わなかった場合には×を付けた。さらに、各実施例および比較例について、焼結磁石の両磁極面(C面)にRHを付着させたか、および、焼結磁石の両磁極面(C面)を除く4面にRHを付着させたかについても記載した。各面にRHを付着させた場合には○、各面にRHを付着させなかった場合には×を付けた。さらに、BHトレーサーで磁気特性(残留磁束密度Br保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcj)の評価を行った結果を表6に示す。   Table 6 shows whether Example 13 and Comparative Example 4 were subjected to a decomposition treatment for decomposing main phase particles present in the surface layer portion of the RTB-based sintered magnet, a grain boundary diffusion treatment, and Each of the cases where rapid cooling was performed after grain boundary diffusion was described. When each process was performed, “◯” was given, and when each process was not conducted, “X” was given. Furthermore, for each of the examples and comparative examples, RH was attached to both magnetic pole faces (C face) of the sintered magnet, and RH was attached to four faces excluding both magnetic pole faces (C face) of the sintered magnet. It was also described. When RH was made to adhere to each surface, it was marked with ○, and when RH was not made to adhere to each surface, × was marked. Further, Table 6 shows the results of evaluation of magnetic characteristics (residual magnetic flux density Br coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj) using a BH tracer.

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表5より、焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化する工程、粒界拡散により微細化した粒子にNdを取り込ませる工程、および、急冷によりNdが取り込まれた粒子を再結合する工程を行った実施例12は、焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化する工程を行わなかった比較例3と比較して保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcjが向上した。さらに、実施例12は磁石表面における結晶配向度が低下したのに対し、比較例3は磁石表面における結晶配向度が低下しなかった。すなわち、重希土類元素を粒界拡散させなくても、焼結後に磁石表層部の主相粒子を分解し微細化する工程、粒界拡散により微細化した粒子にNdを取り込ませる工程、および、急冷によりNdが取り込まれた粒子を再結合する工程を行うことで、磁石表面における結晶配向度を低下させ、保磁力Hcjおよび角形比Hk/Hcjを向上させることができる。   From Table 5, the step of decomposing and refining the main phase particles in the magnet surface layer after sintering, the step of incorporating Nd into particles refined by grain boundary diffusion, and the recombination of particles incorporating Nd by rapid cooling Example 12 which performed the process to improve coercive force Hcj and squareness ratio Hk / Hcj compared with the comparative example 3 which did not perform the process which decomposes | disassembles and refines | miniaturizes the main phase particle | grains of a magnet surface layer part after sintering. . Further, in Example 12, the degree of crystal orientation on the magnet surface decreased, whereas in Comparative Example 3, the degree of crystal orientation on the magnet surface did not decrease. That is, the step of decomposing and refining the main phase particles of the magnet surface layer after sintering, the step of incorporating Nd into the particles refined by the grain boundary diffusion, and the rapid cooling By performing the step of recombining the particles in which Nd has been taken in, the degree of crystal orientation on the magnet surface can be reduced, and the coercive force Hcj and the squareness ratio Hk / Hcj can be improved.

表6より、両磁極面のみにTbを付着させた実施例13は、両磁極面以外の4面のみにTbを付着させた比較例4と比較して保磁力Hcjが大きく向上した。すなわち、磁極面(C面)にRHを取り込ませて磁極面を持つ磁石表層部における主相粒子の結晶配向度を低下させることで、保磁力Hcjを向上させることができることが分かる。なお、実施例1よりも実施例13の方が保磁力の向上がみられたのは、実施例13の方が実施例1よりも磁極面におけるTb付着量が多く、磁極面を持つ磁石表層部における主相粒子の結晶配向度の低下の度合いが大きかったためであると考えられる。   From Table 6, the coercive force Hcj was greatly improved in Example 13 in which Tb was attached only to both magnetic pole surfaces, compared to Comparative Example 4 in which Tb was attached only to the four surfaces other than both magnetic pole surfaces. That is, it can be seen that the coercive force Hcj can be improved by incorporating RH into the magnetic pole surface (C surface) and reducing the crystal orientation of the main phase particles in the magnet surface layer portion having the magnetic pole surface. The coercive force of Example 13 was improved more than that of Example 1 because the amount of Tb deposited on the magnetic pole surface was larger in Example 13 than in Example 1, and the magnet surface layer having the magnetic pole surface was used. This is presumably because the degree of decrease in the degree of crystal orientation of the main phase particles in the part was large.

1…R−T−B系焼結磁石
1a…(磁極面を持つ)磁石表層部
1b…磁石中央部
11…主相粒子
11a…低結晶配向主相粒子
11b…高結晶配向主相粒子
12…粒界
110…不均一な逆コアシェル主相粒子
110a…コア部
110b…シェル部
210…低RH結晶相
230…非磁性Rリッチ相
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... R-T-B system sintered magnet 1a ... Magnet surface layer part 1b (having a magnetic pole face) ... Magnet central part 11 ... Main phase particle 11a ... Low crystal orientation main phase particle 11b ... High crystal orientation main phase particle 12 ... Grain boundary 110 ... heterogeneous reverse core shell main phase particles 110a ... core part 110b ... shell part 210 ... low RH crystal phase 230 ... non-magnetic R rich phase

Claims (4)

14B結晶からなる主相粒子を含むR−T−B系焼結磁石であって、
Rは1種以上の希土類元素、TはFeまたはFeおよびCoを必須とする1種以上の遷移金属元素、Bはホウ素であり、
前記R−T−B系焼結磁石が磁石表層部と前記磁石表層部より内側にある磁石中央部とを有し、
磁極面を持つ磁石表層部における前記主相粒子の結晶配向度が磁石中央部における前記主相粒子の結晶配向度より低いことを特徴とするR−T−B系焼結磁石。
An RTB-based sintered magnet including main phase particles made of R 2 T 14 B crystal,
R is one or more rare earth elements, T is one or more transition metal elements essential for Fe or Fe and Co, B is boron,
The RTB-based sintered magnet has a magnet surface layer part and a magnet center part located inside the magnet surface layer part,
An RTB-based sintered magnet characterized in that a crystal orientation degree of the main phase particles in a magnet surface layer portion having a magnetic pole surface is lower than a crystal orientation degree of the main phase particles in a magnet central portion.
前記Rは重希土類元素RHを必須とする1種以上の希土類元素であり、
前記磁石表層部に含まれる前記主相粒子の一部が逆コアシェル主相粒子であり、
前記逆コアシェル主相粒子は、コア部およびシェル部を有し、
前記コア部における全RH濃度(at%)をCRC
前記シェル部における全RH濃度(at%)をCRSとした場合に、
RC/CRS>1.0である請求項1に記載のR−T−B系焼結磁石。
R is one or more rare earth elements that essentially require heavy rare earth elements RH;
A part of the main phase particles contained in the magnet surface layer part are reverse core shell main phase particles,
The reverse core shell main phase particles have a core portion and a shell portion,
The total RH concentration (at%) in the core part is defined as C RC ,
All RH concentration at the shell portion (at%) in the case of the C RS,
The R-T-B system sintered magnet according to claim 1, wherein C RC / C RS > 1.0.
前記コア部に低RH結晶相を含み、
前記低RH結晶相は、前記R14B結晶からなり、前記RHの濃度が前記主相粒子全体における前記RHの濃度に対して相対的に低い相である請求項2に記載のR−T−B系焼結磁石。
The core portion includes a low RH crystal phase,
The R- of claim 2 , wherein the low RH crystal phase is composed of the R 2 T 14 B crystal, and the concentration of the RH is relatively low with respect to the concentration of the RH in the entire main phase particle. TB sintered magnet.
前記コア部に、さらに非磁性Rリッチ相を含む請求項3に記載のR−T−B系焼結磁石。   The RTB-based sintered magnet according to claim 3, further comprising a nonmagnetic R-rich phase in the core portion.
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