JP2018173440A - 電気光学素子 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、各構成について詳細に説明する。
基板50は、光導波路を形成するのに十分な平坦性を有しており、かつ機械的に十分な強度を有するものであれば、材質、形状とも特に限定されない。基板50としては、例えば、シリコン基板、石英基板、ガラス基板、セラミック基板等を用いることができる。また、基板50としては、シリコン基板や石英基板が好ましい。
基板50の上方には、有機電気光学高分子を形成材料として含む導波路層1が形成されている。導波路層1は、光導波路1Aを有する。
このようにしてコア層2、下部クラッド層3、上部クラッド層4を積層して得られる光導波路1Aは、導波路層1に含まれる非線形光学有機化合物を配向させる処理(ポーリング)を施されることにより、電気光学効果を発現する。
本実施形態の電気光学素子100Aは、信号電極5、下部接地電極(接地電極)9、下部接地電極9と電気的に接続した上部接地電極6〜8とを有する。
信号電極5、上部接地電極6〜8、下部接地電極9は、高周波において良好な導電性を有する材料、例えば、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、アルミニウム(Al)の群から選択される1種または2種以上を含有しているものを用いることが、実用上好ましい。
本実施形態の電気光学素子100Aは、以上のような構成となっている。
Claims (5)
- 基板と、
電気光学効果を有する有機高分子材料を形成材料として含み、光導波路が設けられた導波路層と、
前記基板と前記導波路層との間に設けられた接地電極と、
前記導波路層上に設けられた帯状の信号電極と、
前記信号電極と前記導波路層との間に設けられた応力緩和層と、を備え、
前記信号電極は前記光導波路の一部と平面的に重なり、
前記応力緩和層は、前記信号電極と前記光導波路とが平面的に重なった領域に少なくとも設けられ、
前記応力緩和層の形成材料の熱膨張係数は、前記導波路層の形成材料の熱膨張係数よりも大きい電気光学素子。 - 前記導波路層は、前記光導波路を含むコア層と、
前記コア層の形成材料よりも低屈折率の材料を形成材料とするクラッド層と、を有し、
前記コア層および前記クラッド層の少なくともいずれか一方は、前記電気光学効果を有する有機高分子材料を形成材料とし、
前記応力緩和層の形成材料の熱膨張係数は、前記導波路層を構成する各層の形成材料の熱膨張係数のうちの最大値よりも大きい請求項1に記載の電気光学素子。 - 前記応力緩和層は、前記信号電極と平面的に重なる領域に設けられている請求項1または2に記載の電気光学素子。
- 前記応力緩和層は、前記導波路層の上面全面に設けられている請求項3に記載の電気光学素子。
- 前記応力緩和層のガラス転移点は、前記導波路層の形成材料のガラス転移点よりも低い請求項1から4のいずれか1項に記載の電気光学素子。
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