JP2018157204A - ペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、その製造方法、およびそれを含む撮像装置 - Google Patents

ペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、その製造方法、およびそれを含む撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】光電変換効率が向上し、暗電流が低減されたペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、およびそれを含む撮像装置を提供する。【解決手段】第1導電層110と、第2導電層150と、第1導電層および第2導電層の間に配置された光電変換層130と、光電変換層および第1導電層の間に配置された電子遮断層120と、光電変換層および第2導電層の間に配置された正孔遮断層140と、を含み、該電子遮断層は、特定の化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含み、該正孔遮断層は、特定の化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む、光電変換素子【選択図】図1

Description

本発明は、ペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、その製造方法、およびそれを含む撮像装置に関する。
光電変換素子(photoelectric conversion device)は、光信号を電気信号に変換する素子をいう。一般的に、光電変換素子は、光信号を電気信号に変換するとき、例えば、光導電効果および光起電力効果のような光電効果を利用することになる。
一例として、該光電変換素子は、撮像装置にも利用される。該撮像装置は、光電変換素子がトランジスタ上に二次元的に配列され、それぞれの光電変換素子で生じた電気信号を収集する方式を利用することができる。
Nature Photonics, Volume 9, pages 444−449(2015)
本発明が解決しようとする課題は、光電変換効率が向上し、暗電流が低減されたペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、およびそれを含む撮像装置を提供することであり、詳細には、電子遮断層および正孔遮断層にそれぞれペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、およびそれを含む撮像装置を提供することである。
本発明の一実施形態によれば、第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層および前記第2導電層の間に配置された光電変換層と、前記光電変換層および前記第1導電層の間に配置された電子遮断層と、前記光電変換層および前記第2導電層の間に配置された正孔遮断層と、を含み、
前記電子遮断層は、下記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含み、
前記正孔遮断層は、下記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む光電変換素子が提供される:
前記化学式1中、
は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
nは、0≦n≦3を満足する実数であり、
前記化学式2中、
は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
mは、0≦m≦3を満足する実数である。
本発明の他の実施形態によれば、第1導電層上に、前記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含む電子遮断層を形成する段階と、
前記電子遮断層上に光電変換層を形成する段階と、
前記光電変換層上に、前記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む正孔遮断層を形成する段階と、
前記正孔遮断層上に第2導電層を形成する段階と、を含む光電変換素子の製造方法が提供される。
本発明のさらに他の実施形態によれば、光照射部と、光検出部と、制御部と、を含み、前記光検出部は、前述の光電変換素子を含む撮像装置が提供される。
本発明によれば、光電変換効率が向上し、暗電流が低減された光電変換素子を提供することができる。また、高品位な撮像装置を提供することができる。
一実施形態による光電変換素子を概略的に示す側面図である。 光電変換層および電子遮断層のエネルギーレベルを模式的に示す図である。 光電変換層および電子遮断層のエネルギーレベルを模式的に示す図である。 光電変換層および正孔遮断層のエネルギーレベルを模式的に示す図である。 光電変換層および正孔遮断層のエネルギーレベルを模式的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の駆動方法を概略的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示す図である。 一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示すした図である。 実施例1の電子遮断層の表面写真を示す図である。 実施例1の光電変換層の表面写真を示す図である。 実施例1の正孔遮断層の表面写真を示す図である。 評価例1による実施例1〜3、ならびに比較例1および2の実験結果を示すグラフである。 評価例2による比較例3および4の実験結果を示すグラフである。 評価例3による実施例2の実験結果を示したグラフである。 評価例4による比較例1および比較例5の光電変換特性の実験結果を示すグラフである。 評価例4による比較例1および比較例5の光電変換特性の実験結果を示すグラフである。 実施例1の電子遮断層の走査型電子顕微鏡(SEM)写真を示す図である。 実施例1の光電変換層の走査電子顕微鏡(SEM)写真を示す図である。 図12Aの拡大写真である。 図12Bの拡大写真であり、スケールバーは400μmである。 実施例1の正孔遮断層の走査電子顕微鏡(SEM)写真を示す図である。 実施例2の正孔遮断層の走査電子顕微鏡(SEM)写真を示す図である。 図14Aの拡大写真である。
本発明は、多様な変換を加えることができ、さまざまな実施形態を有することができるが、特定の実施形態を図面に例示し、下記で詳細に説明する。本発明の効果、特徴、およびそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に説明する実施形態を参照すれば、明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態に具現されるのである。
以下、適宜添付された図面を参照しながら、光電変換素子、その駆動方法およびその製造方法について詳細に説明する。以下の図面において、同一の参照符号は、同一の構成要素を指し、図面上において、各構成要素の大きさは、説明の明瞭性および便宜性のために、誇張されていたり縮小されていたりする。
また、以下の実施形態において、層、膜などの各種構成要素が、他の構成要素「上に」あるとするとき、それは、他の構成要素に直接接する場合だけではなく、その間に、他の構成要素が配置された場合も含む。
本明細書において、第1、第2のような用語は、限定的な意味ではなく、1つの構成要素を他の構成要素と区別する目的に使用されている。
本明細書で使用される用語は、本発明での機能を考慮しながら、可能な限り、現在汎用される一般的な用語を選択したが、それは、当分野に携わる技術者の意図、判例、新たな技術の出現などによっても異なる。また、特定の場合は、出願人が任意に選定した用語もあり、その場合、当該発明の説明部分において、詳細にその意味を記載する。従って、本明細書で使用される用語は、単純な用語の名称ではない、その用語が有する意味と、本明細書の全般にわたる内容とを基に定義されるものである。
本明細書において、「ペロブスカイト化合物」は、例えば、化学式ABXで表示され、前記化学式において、AおよびBは、それぞれ互いに異なるサイズの陽イオンであり、Xは、陰イオンである。単位セルにおいて、陽イオンAは、(0,0,0)に位置し、陽イオンBは、(1/2,1/2,1/2)に位置し、陰イオンXは、(1/2,1/2,0)に位置することができる。A、BおよびXの種類により、CaTiOのような理想的な対称構造より低い対称性を有する捻れた構造を有することもでき、本明細書においては、理想的な対称構造を有するものだけではなく、低い対称性を有する捻れた構造のものも含むと理解される。
図1は、本発明の一実施形態による光電変換素子100を概略的に示す側面図である。
光電変換素子100は、第1導電層110、第2導電層150、電子遮断層120、光電変換層130、および正孔遮断層140を含む。
電子遮断層120、光電変換層130、および正孔遮断層140は、第1導電層110および第2導電層150の間に配置される。
電子遮断層120は、第1導電層110および光電変換層130の間に配置される。
正孔遮断層140は、第2導電層150および光電変換層130の間に配置される。
上記電子遮断層120は、下記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含む:
上記化学式1中、Aは、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせである。
例えば、上記化学式1中、Aは、i)1種の一価有機陽イオン、ii)1種の一価無機陽イオン、iii)互いに異なる2種以上の一価有機陽イオン、iv)互いに異なる2種以上の一価無機陽イオン、またはv)1種以上の一価有機陽イオンと、1種以上の一価無機陽イオンとの組み合わせでありえるが、これらに限定されるものではない。
他の実施形態として、上記化学式1中、Aは、(RC)、(RN)、(RP)、(RAs)、(RSb)、(RN=C(R)−NR、置換もしくは非置換の含窒素5員環の一価陽イオン、置換もしくは非置換の含窒素6員環の一価陽イオン、置換もしくは非置換の7員環の一価陽イオン、Li、Na、K、Rb、Cs、Fr、またはこれらの組み合わせであり、
上記のR〜R、置換された含窒素5員環の一価陽イオンの置換基のうち少なくとも一つ、置換された含窒素6員環の一価陽イオンの置換基のうち少なくとも一つ、および置換された7員環の一価陽イオンの置換基のうち少なくとも一つは、互いに独立して、水素原子、重水素原子(−D)、−F、−Cl、−Br、−I、ヒドロキシル基、置換もしくは非置換の炭素数1〜10のアルキル基、置換もしくは非置換の炭素数2〜10のアルケニル基、置換もしくは非置換の炭素数2〜10のアルキニル基、置換もしくは非置換の炭素数1〜10のアルコキシ基、置換もしくは非置換の炭素数6〜20のアリール基、および−N(Q)(Q)から選択され、
上記QおよびQは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルケニル基、炭素数2〜20のアルキニル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、および炭素数6〜20のアリール基から選択されるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、Aは、(RC)、(RN)、(RP)、(RAs)、(RSb)、(RN=C(R)−NR、置換もしくは非置換のシクロヘプタトリエニウムイオン、置換もしくは非置換のイミダゾリウムイオン、置換もしくは非置換のピリジニウムイオン、置換もしくは非置換のピリダジニウムイオン、置換もしくは非置換のピリミジニウムイオン、置換もしくは非置換のピラジニウムイオン、置換もしくは非置換のピラゾリウムイオン、置換もしくは非置換のチアゾリウムイオン、置換もしくは非置換のオキサゾリウムイオン、置換もしくは非置換のピペリジニウムイオン、置換もしくは非置換のピロリジニウムイオン、置換もしくは非置換のピロリニウムイオン、置換もしくは非置換のピロリウムイオン、置換もしくは非置換のトリアゾリウムイオン、Li、Na、K、Rb、Cs、Fr、またはこれらの組み合わせであり、
上記のR〜R、置換されたシクロヘプタトリエニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたイミダゾリウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピリジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピリダジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピリミジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピラジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピラゾリウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたチアゾリウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたオキサゾリウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピペリジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピロリジニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピロリニウムイオンの置換基の少なくとも一つ、置換されたピロリウムイオンの置換基の少なくとも一つ、および置換されたトリアゾリウムイオンの置換基の少なくとも一つは、互いに独立して、
水素原子、重水素原子、−F、−Cl、−Br、−I、ヒドロキシル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、および炭素数1〜20のアルコキシ基;
重水素原子、−F、−Cl、−Br、−I、およびヒドロキシル基から選択される少なくとも一つで置換された、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数1〜20のアルコキシ基;
無置換のフェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、およびターフェニル基;
重水素原子、−F、−Cl、−Br、−I、ヒドロキシル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、および炭素数1〜20のアルコキシ基から選択される少なくとも一つで置換された、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、およびターフェニル基;ならびに
−N(Q)(Q);から選択され、
およびQは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、およびターフェニル基から選択されるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、Aは、(RN)、(RP)、(RAs)、(RSb)、(RN=C(R)−NR、置換もしくは非置換のシクロヘプタトリエニウムイオン、Li、Na、K、Rb、Cs、Fr、またはこれらの組み合わせであり、
前記R〜R、および前記置換されたシクロヘプタトリエニウムイオンの置換基のうち少なくとも一つは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、−F、−Cl、−Br、−I、ヒドロキシル基、アルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、および−N(Q)(Q)のうちから選択され、
およびQは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、および炭素数1〜20のアルコキシ基から選択されるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、前記化学式1中、Aは、(CHNH、((CHPH、(CHAsH、(NH、(CHSbH、(PH、(PF、(CHPH、(C、(SbH、(AsH、(NCl、(NHOH)、(NHNH、(CH(NH、(C、((CHNH、(NC、((CHCH)NH、((NHC)、((CHCHCHCH)NH、(NHCHNH、Li、Na、K、Rb、Cs、Fr、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、Aは、(CHNH、((CHCHCHCH)NH、(NHCHNH、K、Rb、Cs、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
上記化学式1中、Bは、少なくとも1種の二価無機陽イオンでもある。
一実施形態において、上記化学式1中、Bは、i)1種の二価無機陽イオンであるか、またはii)互いに異なる2種以上の二価無機陽イオンの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
他の実施形態として、上記化学式1中、Bは、希土類金属の二価陽イオン、第2族金属の二価陽イオン、遷移金属の二価陽イオン、後周期遷移金属の二価陽イオン、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、Bは、La2+、Ce2+、Pr2+、Nd2+、Pm2+、Sm2+、Eu2+、Gd2+、Tb2+、Dy2+、Ho2+、Er2+、Tm2+、Yb2+、Lu2+、Be2+、Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+、Ra2+、Pb2+、Sn2+、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、Bは、Pb2+、Sn2+、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
さらに他の形態として、上記化学式1で、Bは、Pb2+でもあるが、これに限定されるものではない。
他の実施形態として、上記化学式1中、XおよびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンでもある。そのとき、X及びYは、互いに同一であっても異なっていてもよい。
他の実施形態として、上記化学式1中、XおよびYは、互いに独立して、i)1種の一価陰イオンであるか、またはii)互いに異なる2種以上の一価陰イオンの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
他の実施形態として、上記化学式1中、XおよびYは、互いに独立して、少なくとも1種のハロゲン化物イオンであるが、これに限定されるものではない。
さらに他の実施形態として、上記化学式1中、XおよびYは、互いに独立して、Cl、BrおよびIから選択されるが、これらに限定されるものではない。
上記化学式1中、nは、0≦n≦3を満足する実数である。
好ましくは、上記化学式1中、nは、0≦n<3を満足する実数であるが、これに限定されるものではない。
正孔遮断層140は、下記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む:
上記化学式2中、Aに係わる詳細な説明は、上記化学式1でのAについての説明を参照する。
上記化学式2中、Bに係わる詳細な説明は、上記化学式1でのBについての説明を参照する。
上記化学式2中、Xに係わる詳細な説明は、上記化学式1でのXについての説明を参照する。
上記化学式2中、Yに係わる詳細な説明は、上記化学式1でのYについての説明を参照する。
上記化学式2中、mに係わる詳細な説明は、上記化学式1でのnについての説明を参照する。
一実施形態において、上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物、および上記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物は、互いに独立して、CHNHPbI、CHNHPbBr、CHNHPbBr(3−o)、CHNHPbCl(3−o)Br、CHNHPbCl(3−o)、CsPbI、CsPbBr、CHCHCHCHNHPbBr、NHCHNHPbBr、NHCHNHPbBr(3−o)、[CHNH(1−x)[NHCHNHPbBr、および[CHNH(1−x)[NHCHNHPbBr(3−o)から選択され、
ここで、oは、0より大きくて3より小さい実数であり、xは、0より大きくて1より小さい実数であるが、これらに限定されるものではない。
電子遮断層120は、上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物と共に、高分子をさらに含んでもよい。
また、正孔遮断層140は、上記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物と共に、高分子をさらに含んでもよい。
上記の高分子は、第1ペロブスカイト化合物または第2ペロブスカイト化合物と共に、溶媒に溶解されて混合されるものであり、例えば、極性溶媒に溶解されて混合される極性高分子である。
電子遮断層120において、極性高分子の含有量は、上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物100質量部を基準にして、5〜60質量部であることが好ましく、10〜50質量部であることがより好ましく、20〜40質量部であることがさらに好ましい。電子遮断層120において、極性高分子の含有量が上記範囲である場合、光電変換層130との接着力を向上させ、電子遮断能力をさらに向上させることができる。したがって、暗電流を減少させ、光電変換効率を増大させることができる。
正孔遮断層140において、極性高分子の含有量は、前記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物100質量部を基準にして、5〜60質量部であることが好ましく、10〜50質量部であることがより好ましく、20〜40質量部であることがさらに好ましい。正孔遮断層140において、極性高分子の含有量が上記範囲である場合、光電変換層130との接着力を向上させ、正孔遮断能力をさらに向上させることができる。したがって、暗電流を減少させ、光電変換効率を増大させることができる。
極性高分子の例としては、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリアクリル酸、ポリヒドロキシエチルメタクリレート(PHEMA)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリアクリレート、ポリアクリロニトリル(PAN)などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、極性高分子は、上記で例示した極性高分子の共重合体を含んでもよい。
上記の高分子は、第1ペロブスカイト化合物または第2ペロブスカイト化合物と共に混合され、電子遮断層または正孔遮断層の接着力をさらに向上させることができ、電子遮断能または正孔遮断能をさらに向上させることにより、暗電流を減少させ、光電変換効率を増大させることができる。例えば、該電子遮断層または該正孔遮断層において、前記高分子は、ペロブスカイト化合物と共に、複合体を形成することができる。例えば、該電子遮断層または該正孔遮断層において、高分子は、別途の相で存在してもよく、ペロブスカイト層と互いに分離された2層(複層)を形成することができる。
上記溶媒としては、多様な溶媒物質を含むことができる。その例としては、水、メタノール、エタノール、アセトン、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン(NMP)、塩化メチレン(CHCl)、クロロホルム(CHCl)、テトラヒドロフラン(THF)、およびそれらの混合物等が挙げられる。
一実施形態において、電子遮断層120は、CHNHPbIと共に、極性高分子であるポリイミドをさらに含んでもよいが、これに限定されるものではない。CHNHPbIは、多結晶であってもよいが、これに限定されるものではない。例えば、電子遮断層120は、CHNHPbIとポリイミドとの複合体を含んでもよいが、これに限定されるものではない。例えば、電子遮断層120は、CHNHPbIとポリイミドとが互いに分離された2層(複層)を含んでもよいが、これに限定されるものではない。
一実施形態において、正孔遮断層140は、CHNHPbBrと共に、極性高分子であるポリイミドをさらに含んでもよいが、これに限定されるものではない。CHNHPbBrは、多結晶であってもよいが、これに限定されるものではない。例えば、正孔遮断層140は、CHNHPbBrとポリイミドとの複合体を含んでもよいが、これに限定されるものではない。例えば、正孔遮断層140は、CHNHPbBrとポリイミドとが互いに分離された2層(複層)を含んでもよいが、これに限定されるものではない。
本発明の一実施形態において、前記正孔遮断層140の表面には、規則的であったり不規則であったりする多様なパターンが形成されてもよい。具体的には、四角星状、蝶状、ヒトデ状、鋸歯状、クローバー状などの形状で形成されてもよいが、これらに限定されるものではない。
電子遮断層120は、1nm〜10μmの厚みを有することが好ましい。電子遮断層120の厚みは、10nm〜10μmがより好ましく、50nm〜5,000nmがさらに好ましいが、これらに限定されるものではない。電子遮断層120の厚みが上記範囲を満足すれば、暗電流の減少効果を十分に発揮しながら、光電変換効率がほぼ同等のレベルに維持されるか、または大きく減少しない光電変換素子を提供することができる。
電子遮断層120は、後述の方法で形成されうる。
正孔遮断層140は、1nm〜10μmの厚みを有することが好ましい。正孔遮断層140の厚みは、10nm〜10μmがより好ましく、50nm〜5,000nmがさらに好ましいが、これらに限定されるものではない。正孔遮断層140の厚みが上記範囲を満足すれば、暗電流の減少効果を十分に発揮しながら、光電変換効率がほぼ同等のレベルに維持されるか、または大きく減少しない光電変換素子を提供することができる。
正孔遮断層140は、後述の方法で形成されうる。
光電変換層130は、光活性物質から形成され、半導体、例えば、非晶質Se、CdZnTe、GaAs、InP、Si、またはこれらの組み合わせを含んでもよいが、これらに限定されるものではない。
光電変換層130は、光活性物質である、後述する化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物を含んでもよいが、これに限定されるものではない。
光電変換層130の形成方法は、特に限定されるものではなく、ドクターブレードコーティングなどの溶液の塗布、蒸着などの多様な方法が使用されうる。
図2Aおよび図2Bは、光電変換層130に含まれる光活性物質、および電子遮断層120に含まれる第1ペロブスカイト化合物のエネルギーレベルを模式的に示す図である。
図2Aおよび図2Bを参照すれば、光活性物質の最低非占有分子軌道(LUMO)準位EC_Lは、第1ペロブスカイト化合物のLUMO準位EC_P1以下である。光電変換素子に外部電圧が印加される場合、正孔および電子の注入が生じ、暗電流が増加するという問題が生じうるが、EC_L≦EC_P1を満足すれば、電子伝達を遮断し、暗電流の減少効果を奏することができる。
図2Aを参照すれば、光活性物質の最高占有分子軌道(HOMO)準位EV_Lは、第1ペロブスカイト化合物のHOMO準位EV_P1と同じであるか、またはそれよりも低いが、これに限定されるものではない。また、図2Bを参照すれば、光活性物質のHOMO準位EV_Lは、第1ペロブスカイト化合物のHOMO準位EV_P1より高くてもよいが、これに限定されるものではない。
図3Aおよび図3Bは、光電変換層130に含まれる光活性物質、および正孔遮断層140に含まれる第2ペロブスカイト化合物のエネルギーレベルを模式的に示す図である。
図3Aおよび図3Bを参照すれば、光活性物質のHOMO準位EV_Lは、第2ペロブスカイト化合物のHOMO準位EV_P2以上である。光電変換素子に外部電圧が印加される場合、正孔および電子の注入が生じ、暗電流が増加するという問題が生じうるが、EV_L≧EV_P2を満足すれば、正孔伝達を遮断し、暗電流の減少効果を奏することができる。
図3Aを参照すれば、光活性物質のLUMO準位EC_Lは、第2ペロブスカイト化合物のLUMO準位EC_P2と同じであるか、またはそれよりも高くてもよいが、これに限定されるものではない。また、図3Bを参照すれば、光活性物質のLUMO準位EC_Lは、第2ペロブスカイト化合物のLUMO準位EC_P2より低くてもよいが、これに限定されるものではない。
光電変換層130は、下記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物を含んでもよい:
上記化学式3中、
は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
kは、0≦k≦3を満足する実数である。
第3ペロブスカイト化合物は、多結晶であってもよい。ここで「多結晶」とは、結晶が互いに接合された形態を意味する。すなわち、第3ペロブスカイト化合物の結晶が互いに接合された形態であってもよいが、これに限定されるものではない。光電変換層130の断面は、図12A〜図12Cに示すような形状を有することができるが、これらに限定されるものではない。第3ペロブスカイト化合物が多結晶ならば、暗電流の減少効果を奏し、光電変換効率の向上効果を奏することができる。
第3ペロブスカイト化合物の一つの結晶において、その最長軸の長さは、1μm〜300μmであることが好ましい。該最長軸の長さは、10μm〜50μmであることがより好ましいが、これに限定されるものではない。第3ペロブスカイト化合物の結晶の最長軸の長さが上記範囲を満足すれば、暗電流の減少効果を十分に発揮しながら、光電変換効率が減少しない光電変換素子を提供することができる。
上記化学式3中、Aに係わる詳細な説明は、化学式1でのAについての説明を参照する。
上記化学式3中、Bに係わる詳細な説明は、化学式1でのBについての説明を参照する。
上記化学式3中、Xに係わる詳細な説明は、化学式1でのXについての説明を参照する。
上記化学式3中、Yに係わる詳細な説明は、化学式1でのYについての説明を参照する。
上記化学式3中、kに係わる詳細な説明は、化学式1でのnについての説明を参照する。
一実施形態において、上記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物は、CHNHPbIであることが好ましいが、これに限定されるものではない。
光電変換層130は、光を吸収することができ、例えば、赤外線、可視光線またはX線を吸収することができる。さらに具体的には、光電変換層130は、X線を吸収することができる。
一般的に、ペロブスカイト化合物を利用した太陽電池、赤外光イメージング装置および可視光イメージング装置は、光電変換層を形成するために、スピンコーティングのような蒸着方式を利用し、1μm以下の厚みを形成すれば十分である。しかし、前記の蒸着方式では、X線イメージング装置に適用される広い面積について、数百μm以上の厚みを有するペロブスカイト光電変換層を形成し難い。
このような問題点を解決するために、本発明においては、溶液を利用したドクターブレードコーティングを行い、それにより、数百μm以上の厚みを有する多結晶のペロブスカイトフィルムを形成することができた。
本発明に係る光電変換層130は、0.1〜1,500μmの厚みを有することが好ましい。光電変換層130の厚みが上記範囲を満足すれば、赤外線、可視光線だけではなく、X線のような短い波長を有する光の光電変換効率が向上する。
一実施形態において、光が可視光線または赤外線である場合、光電変換層130は、0.1μm〜1μmの厚みを有することが好ましいが、これに限定されるものではない。
他の実施形態において、光がX線である場合、光電変換層130は、300μm〜1,500μmの厚みを有することが好ましいが、これに限定されるものではない。
第1導電層110および第2導電層150は、目的により、反射型、透過型または半透過型の形態を取りうる。
第1導電層110および第2導電層150は、導電性材料、例えば、金属、金属酸化物、導電性有機化合物、またはこれらの組み合わせを含んでもよい。透過型の第1導電層110を形成するための第1導電層用物質は、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、およびこれらの組み合わせのから選択されるが、これらに限定されるものではない。また、半透過型または反射型の第1導電層110を形成するための第1導電層用物質は、金(Au)、銀(Ag)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、およびこれらの組み合わせのから選択されるが、これらに限定されるものではない。第2導電層用物質は、第1導電層用物質についての説明を参照する。
一実施形態において、光がX線であるならば、第2導電層150は、反射型、透過型または半透過型の形態を取りうる。
他の実施形態において、光が赤外線や可視光線であるならば、第2導電層150は、透過型でありうる。光が第2導電層150側から入射されるために、第2導電層150は、十分に透明であることが好ましい。
第1導電層110および第2導電層150の厚みは、特に限定されるものではないが、10nm〜2,000nmの厚みを有することが好ましい。
第1導電層110および前記第2導電層150の形成方法は、特に限定されるものではなく、コーティング、蒸着などの多様な方法が使用されうる。
図4は、本発明の一実施形態による光電変換素子の駆動方法を概略的に示す図である。図4は、平板型撮像装置を一例として示すものであり、それ以外に、他の多様な変形が可能である。
図4を参照すれば、第1導電層411、412、413、第2導電層450、ならびに第1導電層411、412、413および第2導電層450の間に配置された電子遮断層420、光電変換層430および正孔遮断層440を含む。電子遮断層420は、第1導電層411、412、413および光電変換層430の間に配置され、正孔遮断層440は、第2導電層450および光電変換層430の間に配置され、電子遮断層420は、上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含み、正孔遮断層440は、上記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含み、第1導電層411、412、413を負極にして、第2導電層450を正極にして、電界が印加される。
第1導電層411、412、413、第2導電層450、電子遮断層420、光電変換層430、および正孔遮断層440は、他に明示しない限り、前述の第1導電層110、第2導電層150、電子遮断層120、光電変換層130および正孔遮断層140についての説明を参照する。
第2導電層450には、電源470が連結されて電界が印加される。電源470の他端は、接地されていてもよい。これにより、第1導電層411、412、413および第2導電層450の間には電場がかかることになる。光480が光電変換層430に入射されれば、光電変換層430に含まれた光活性物質により、電子と正孔とに変換される。変換された電子および正孔は、電場により、第2導電層450および第1導電層411、412、413にそれぞれ引っ張られる。
第1導電層411、412、413は、検出部461、462、463と連結される。第1導電層411、412、413は、検出部461、462、463および電子遮断層420の間に配置されてもよい。すなわち、検出部461、462、463は、光電変換層430の背面(すなわち、光の出射面)に配置されてもよい。
検出部461、462、463は、光電変換層430で生成された電荷490を検出する。検出部461、462、463は、保存キャパシタ461a、462a、463aと、保存キャパシタ461a、462a、463aに収集された電荷490を読み取る読み取り回路461b、462b、463bと、を含んでもよい。
読み取り回路461b、462b、463bは、保存キャパシタ461a、462a、463aの電荷量をデジタル信号に変換する。かようなデジタル信号は、信号処理部で映像信号に変換されることになる。
第2導電層450、電子遮断層420、光電変換層430、および正孔遮断層440は、第1導電層411、412、413を覆うように形成されてもよい。
図5A〜図5Eは、一実施形態による光電変換素子の製造方法を概略的に示す図である。
本発明の一実施形態による光電変換素子の製造方法は、第1導電層を形成する段階と、前記第1導電層上に、第1の一価陽イオン含有前駆体、第1の二価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む第1混合物を塗布および熱処理し、前記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含む電子遮断層を形成する段階と、前記電子遮断層上に光電変換層を形成する段階と、前記光電変換層上に、第2の一価陽イオン含有前駆体、第2の二価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む第2混合物を塗布および熱処理し、前記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む正孔遮断層を形成する段階と、前記正孔遮断層上に第2導電層を形成する段階と、を含む。
まず、図5Aに示されているように、第1導電層510が形成される。第1導電層510は、図1で説明した通りであり、第1導電層510は、公知の多様な方法が適用されて形成されるので、詳細な説明は、省略する。
次に、第1導電層510上に電子遮断層520が形成される(図5B参照)。電子遮断層520は、上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含む。上記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物は、第1の一価陽イオン含有前駆体、第1の二価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む第1混合物を塗布および熱処理することによって形成される。
電子遮断層520は、第1ペロブスカイト化合物と共に、高分子をさらに含んでもよい。したがって、上記第1混合物は、高分子またはその前駆体物質をさらに含んでもよい。
上記の高分子は、多様な高分子物質を含んでもよく、第1ペロブスカイト化合物と共に、溶媒に溶解されて混合される極性高分子であってもよい。例えば、極性高分子としては、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリアクリル酸、ポリヒドロキシエチルメタクリレート(PHEMA)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリアクリレート、ポリアクリロニトリル(PAN)などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、高分子は、上記で例示した極性高分子の共重合体を含んでもよい。
例えば、上記第1混合物を、第1導電層510上にスピンコーティングすることができる。該スピンコーティングにより、第1混合物を塗布する場合、該スピンコーティングの条件は、好ましくは2,000rpm〜4,000rpmのコーティング速度で、好ましくは80℃〜200℃の温度で塗布される。このような条件は、第1混合物の組成や、電子遮断層520の構造等を考慮して適宜選択される。
また、第1混合物は、他の公知の多様な方法を適用し、第1導電層510上に塗布されてもよい。
第1導電層510上に塗布された第1混合物を熱処理することにより、電子遮断層520が形成される。熱処理温度は、100℃〜300℃の温度範囲であることが好ましい。熱処理温度が上記範囲である場合、電子遮断層の接着力が向上し、第1ペロブスカイト化合物の損傷が抑制される。
例えば、該熱処理条件は、好ましくは15分〜2時間の時間であり、好ましくは100℃〜300℃の温度範囲であり、このような条件は第1混合物の組成、および電子遮断層520の構造等を考慮して適宜選択される。
このようにして形成された電子遮断層520は、第1ペロブスカイト化合物を含んでもよい。例えば、第1ペロブスカイト化合物と極性高分子とを含んでもよい。例えば、第1ペロブスカイト化合物と極性高分子との複合体を含んでもよい。例えば、第1ペロブスカイト化合物と極性高分子との互いに分離された2層(複層)を含んでもよい。
第1の一価陽イオン含有前駆体および第1の二価陽イオン含有前駆体において、第1の一価陽イオンおよび第1の二価陽イオンについての説明は、それぞれ、上記化学式1における、A(第1の一価陽イオンともいう)およびB(第1の二価陽イオンともいう)についての説明を参照する。
例えば、第1の一価陽イオン含有前駆体は、第1の一価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(A)(X))から選択され、第1の二価陽イオン含有前駆体は、第1の二価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(B)(Y)から選択されうる。上記の(A)(X)および(B)(Yにおいて、A、B、X、およびYについての説明は、それぞれ、本明細書における化学式1についての説明を参照する。
上記溶媒は、第1の一価陽イオン含有前駆体および第1の二価陽イオン含有前駆体の溶解性が高い物質から選択されうる。例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
次に、電子遮断層520上に、光電変換層530が形成される(図5C参照)。光電変換層530は、上記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物を含む。上記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物は、第3の一価陽イオン含有前駆体、第3の二価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む混合物に非溶媒を添加した後、70℃〜120℃の温度で撹拌して得られる第3混合物を塗布および熱処理することによって形成される。
上記溶媒は、第3の一価陽イオン含有前駆体および第3の二価陽イオン含有前駆体の溶解性が高い物質から選択されうる。例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
上記非溶媒は、第3の一価陽イオン含有前駆体および第3の二価陽イオン含有前駆体の溶解性が低い物質から選択されうる。例えば、α−テルピネオール、ヘキシルカビトール、ブチルカビトールアセテート、ヘキシルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテートなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
上記第3混合物を、電子遮断層520上に、ドクターブレードまたはバーコーティングにより塗布することができる。非溶媒を添加することにより、第3混合物の粘度が高くなるので、ドクターブレードまたはバーコーティングにより、第3混合物を塗布することができる。ドクターブレードコーティングにより、第3混合物を塗布する場合、該ドクターブレードコーティングの条件は、好ましくは80℃〜200℃の温度であり、このような条件は第3混合物の組成、および光電変換層530の構造等を考慮して、適宜選択される。
また、第3混合物は、他の公知の多様な方法を適用し、電子遮断層520上に塗布されうる。
電子遮断層520上に塗布された第3混合物を熱処理することにより、光電変換層530が形成される。
例えば、該熱処理条件は、好ましくは15分〜2時間の時間であり、好ましくは100℃〜200℃の温度範囲であり、前記第3混合物の組成、及び光電変換層530の構造を考慮しても選択される。
選択的には、第3混合物を電子遮断層520上に塗布し、上記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物を含む予備光電変換層を形成した後、予備光電変換層を、高温(例えば、100℃〜200℃の温度範囲)で、高圧(例えば、5atm〜10atmの圧力範囲)で押し付け、光電変換層を形成することもできる。そのとき、選択的には、第3の一価陽イオン含有前駆体をガス状でさらに供給することもできる。かような場合、上記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物は、多結晶となりうる。
第3の一価陽イオン含有前駆体および第3の二価陽イオン含有前駆体において、第3の一価陽イオンおよび第3の二価陽イオンについての説明は、それぞれ、上記化学式3における、A(第3の一価陽イオンともいう)およびB(第3の二価陽イオンともいう)についての説明を参照する。
例えば、第3の一価陽イオン含有前駆体は、第3の一価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(A)(X))から選択され、第3の二価陽イオン含有前駆体は、第3の二価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(B)(Y)から選択されうる。上記の(A)(X)および(B)(Yにおいて、A、B、X、およびYについての説明は、それぞれ、本明細書における化学式3についての説明を参照する。
次に、光電変換層530上に、正孔遮断層540が形成される(図5D参照)。正孔遮断層540は、上記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む。上記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物は、第2の一価の陽イオン含有前駆体、第2の二価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む第2混合物を塗布および熱処理することによって形成される。
正孔遮断層540は、第2ペロブスカイト化合物と共に、高分子をさらに含んでもよい。したがって、第2混合物は、高分子またはその前駆体物質をさらに含んでもよい。
上記高分子は、多様な高分子物質を含んでもよく、第2ペロブスカイト化合物と共に、溶媒に混合される極性高分子でもあってもよい。例えば、極性高分子としては、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリアクリル酸、ポリヒドロキシエチルメタクリレート(PHEMA)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリアクリレートまたはポリアクリロニトリル(PAN)などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、高分子は上記で例示した極性高分子の共重合体を含んでもよい。
例えば、上記第2混合物を、光電変換層530上にスピンコーティングすることができる。該スピンコーティングによって第2混合物を塗布する場合、該スピンコーティングの条件は、好ましくは2,000rpm〜4,000rpmのコーティング速度で、好ましくは80℃〜200℃の温度で塗布される。このような条件は、第2混合物の組成や、正孔遮断層540の構造等を考慮して適宜選択される。
また、第2混合物は、他の公知の多様な方法を適用し、光電変換層530上に塗布されてもよい。
光電変換層530上に塗布された第2混合物を熱処理することにより、正孔遮断層540が形成される。熱処理温度は、100℃〜300℃の温度範囲であることが好ましい。熱処理温度がかような範囲であれば、電子遮断層の接着力が増加し、第2ペロブスカイト化合物の損傷を抑制することができる。
例えば、該熱処理条件は、15分〜2時間の時間で、100℃〜300℃の温度で、第2混合物の組成、および正孔遮断層540の構造を考慮しても選択されうる。
このようにして形成された正孔遮断層540は、第2ペロブスカイト化合物を含んでもよい。例えば、第2ペロブスカイト化合物と極性高分子とを含んでもよい。例えば、第2ペロブスカイト化合物と極性高分子との複合体を含んでもよい。例えば、第2ペロブスカイト化合物と前記極性高分子とが互いに分離された2層を含んでもよい。
第2の一価陽イオン含有前駆体および第2の二価陽イオン含有前駆体において、第2の一価陽イオンおよび第2の二価陽イオンについての説明は、それぞれ、上記化学式2における、A(第2の一価陽イオンともいう)およびB(第2の二価陽イオンともいう)についての説明を参照する。
例えば、第2の一価陽イオン含有前駆体は、第2の一価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(A)(X))から選択され、第2の二価陽イオン含有前駆体は、第2の二価陽イオンのハロゲン化物(例えば、(B)(Y)から選択されうる。(A)(X)および(B)(Yにおいて、A、B、X、およびYについての説明は、それぞれ、本明細書における化学式2についての説明を参照する。
上記溶媒は、第2の一価陽イオン含有前駆体および第2の二価陽イオン含有前駆体の溶解性が高い物質から選択されうる。例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、またはこれらの組み合わせであるが、これらに限定されるものではない。
次に、正孔遮断層540上に、第2導電層550が形成される(図5E参照)。第2導電層550は、図1で説明した通りであり、第2導電層550は、公知の多様な方法が適用されて形成されるので、詳細な説明は、省略する。
本発明の一実施形態による光電変換素子は、撮像装置に含まれうる。該撮像装置は、固定式であってもよくまたは移動式であってもよい。
撮像装置は、光照射部、光検出部および制御部を含んでもよい。
光照射部は、光を発生させる光供給源、および生じた光の経路を案内し、光照射領域を調節するコリメータを含んでもよい。
光供給源は、例えば、X線管を含んでもよい。該X線管は、正極と負極とからなる2極真空管によっても具現される。該X線管の負極と正極との間に加えられる電圧を管電圧といい、その大きさは、波高値kVpで表すことができる。該管電圧が増大すれば、熱電子の速度が増大され、結果として、ターゲット物質に衝突して発生するX線のエネルギー(光子エネルギー)が増大する。該X線管に流れる電流は、管電流といい、平均値mAで表すことができ、該管電流が増大すれば、フィラメントから放出される熱電子の数が増加し、結果として、ターゲット物質に衝突して発生するX線の線量(X線光子の数)が増加する。したがって、該管電圧により、X線のエネルギーが制御され、該管電流および該X線の露出時間により、X線の強度または線量が制御される。
光検出部は、光照射部から照射され、対象を透過した光を検出するものであり、例えば、平板型の光検出器を含んでもよい。光検出部は、図1を参照して説明した光電変換素子100を含んでもよい。
制御部は、電圧発生部、信号処理部および操作部を含み、撮像装置の全般的な動作を制御することができる。
電圧発生部は、光発生のための高電圧を発生させ、光照射部内の光供給源に電圧を印加する。
信号処理部は、光検出部で検出された情報を処理して映像を生成したり、操作部に入力された情報を基に制御信号を生成したりして、撮像装置の各種構成部を制御する。
操作部は、撮像装置の操作のためのインターフェースを提供するものであり、ユーザから撮像装置の操作のための命令、および撮像に係わる各種情報が入力される。
撮像装置は、出力部をさらに含んでもよい。出力部は、光照射のような撮像関連情報を示したり、信号処理部で生成された映像を表示したりすることができる。
以下、実施例を挙げ、一実施形態による光電変換素子について、さらに具体的に説明するが、本発明は下記の合成例および実施例に限定されるものではない。下記合成例において、「『A』の代わりに『B』を使用した」という表現において、「B」の使用量と「A」の使用量は、モル当量基準で同一である。
(製造例1:電子遮断物質(混合物B)の製造)
(1)混合物Aの製造
反応容器に、ρ−フェニレンジアミンおよびビフェニル−テトラカルボン酸二無水物を、1:0.975のモル比で混合した後、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)を添加し、窒素雰囲気下、常温(25℃)で5時間撹拌した。その後、40℃の密閉反応容器で12時間反応させることにより、混合物Aを製造した。
(2)混合物Bの製造
得られた混合物A 4.8gに、CHNHI 1.59g、PbI 4.61g、およびジメチルホルムアミド2.4gを添加した後、常温(25℃)で一晩撹拌することにより、混合物Bを製造した。
(製造例2:正孔遮断物質(混合物C、混合物Dまたは混合物E)の製造)
2−1.混合物Cの製造
反応容器において、CHNHBr、PbBr、ジメチルホルムアミド、およびジメチルスルホキシドを、1:1:6.7:2のモル比で混合した後、常温(25℃)で1時間撹拌することにより、混合物Cを製造した。
2−2.混合物Dの製造
(1)混合物Aの製造
反応容器において、ρ−フェニレンジアミンおよびビフェニル−テトラカルボン酸二無水物を、1:0.975のモル比で混合した後、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)を添加し、窒素雰囲気下、常温(25℃)で5時間撹拌した。その後、40℃の密閉反応容器で12時間反応させることにより、混合物Aを製造した。
(2)混合物Dの製造
得られた混合物A 9.6gに、CHNHBr 2.34g、PbBr 7.67g、およびジメチルホルムアミド4.8gを添加した後、常温(25℃)で一晩撹拌することにより、混合物Dを製造した。
2−3.混合物Eの製造
上記2−2において、CHNHBrの使用量を1.17gとし、PbBrの使用量を3.835gとしたこと以外は、上記2−2と同様の方法で、混合物Eを製造した。
(製造例3:光電変換物質(混合物Fまたは混合物G)の製造)
3−1.混合物Fの製造
反応容器において、CHNHI、PbI、ジメチルホルムアミド、およびジメチルスルホキシドを、1:1:6.7:2のモル比で添加した後、1時間常温(25℃)で撹拌することにより、混合物Fを製造した。
3−2.混合物Gの製造
反応容器において、PbI 18.44g、およびγ−ブチロラクトン 7.75gを混合し、80℃で1時間撹拌した後、CHNHI 6.36gをさらに添加し、90〜100℃で4時間撹拌して反応させた。その後、得られた混合物に、α−テルピネオール 4gをさらに添加し、90〜100℃で4時間撹拌することにより、混合物Gを製造した。
(実施例1:光電変換素子の作製)
非晶質ITOをガラス基板上にスパッタリングし、200nm厚の第1導電層を形成した。
形成した第1導電層上に、混合物Bを、2,000rpmで30秒間スピンコーティングした後、120℃で30分間乾燥することにより、3μm厚の電子遮断層を形成した。
電子遮断層上に、混合物Gをドクターブレードコーティングした後、120℃で1時間熱処理し、さらに90℃の真空オーブンで1時間熱処理することにより、予備光電変換層を形成した。この予備光電変換層を、120℃、5気圧で押し付け、830μm厚の光電変換層を形成した。
光電変換層上に、混合物Cを、2,000rpmで30秒間スピンコーティングした。そのとき、スピンコーティングして10秒になる時点から、ジエチルエーテルを、秒当たり2mlの速度で20秒間滴下した。その後、100℃で10分間熱処理を施し、1μm厚の正孔遮断層を形成した。
正孔遮断層上に、非晶質ITOが200nm厚にスパッタリングされたガラス基板を積層し、第2導電層を形成することにより、光電変換素子を作製した。
実施例1による電子遮断層、光電変換層、および正孔遮断層の表面写真を、図6A〜図6Cに示す。
また、実施例1の光電変換素子中の電子遮断層、光電変換層、および正孔遮断層のSEM写真を、それぞれ図11、図12A〜図12C、および図13に示す。
(実施例2:光電変換素子の作製)
正孔遮断層の形成時、混合物Cの代わりに、混合物Dを使用したことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
実施例2の光電変換素子中の正孔遮断層のSEM写真を、図14Aおよび図14Bに示す。
図14Aおよび図14Bを参照すれば、正孔遮断層の表面に、四角星状のパターンが形成されていることを確認することができる。
(実施例3:光電変換素子の作製)
正孔遮断層の形成時、混合物Cの代わりに、混合物Eを使用したことを除いては、前記実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(比較例1:光電変換素子の作製)
正孔遮断層および電子遮断層を形成しなかったことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(比較例2:光電変換素子の作製)
正孔遮断層の形成時、混合物Cの代わりに、TiOを使用し、電子遮断層の形成時、混合物Bの代わりに、spiro−OMeTAD(2,2’,7,7’−テトラキス(N,N−ジメトキシフェニルアミン)9,9’−スピロビフルオレン)を使用したことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(比較例3:光電変換素子の作製)
電子遮断層の形成時、混合物Bの代わりに、混合物Aを使用したことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(比較例4:光電変換素子の作製)
電子遮断層の形成時、混合物Bの代わりに、混合物Aを使用し、乾燥温度を200℃としたことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(比較例5:光電変換素子の作製)
正孔遮断層および電子遮断層を形成せず、光電変換層の形成時、混合物Gをドクターブレードコーティングする代わりに、混合物Fをスピンコーティングし、0.5μm厚の光電変換層を形成したことを除いては、実施例1と同様の方法で、光電変換素子を作製した。
(評価例1)
実施例1〜3、ならびに比較例1および2の光電変換素子に対して、多様な電圧を印加し、それによる電流密度を測定した。そのとき、残りの条件は、同一であるが、白色光がある条件(Photo)と白色光がない条件(Dark)とを設定して実験を繰り返した。その実験結果を図7に示す。
図7を参照すれば、実施例1〜3の光電変換素子がさらに低い暗電流を有するということが確認できる。
(評価例2)
比較例3および4の光電変換素子に対して多様な電圧を印加し、それによる電流密度を測定した。そのとき、残りの条件は、同一であるが、白色光がある条件(Photo)と白色光がない条件(Dark)とを設定して実験を繰り返した。その実験結果を図8に示す。
図8を参照すれば、比較例3および4の光電変換素子の場合、電子遮断層として、ポリイミドのみを使用することにより、光電流および暗電流がいずれも大きく減少したことを確認することができる。特に、比較例4の場合、イミド化の進行により、暗電流はもとより、光電流も大きく減少したことを確認することができる。その結果は、電子遮断層の形成時、混合物Bの代わりに、混合物Aを使用する場合、生成したポリイミドが、光生成された電荷が電極に移動する際のバリアとして作用すると見られる。
(評価例3)
実施例2の光電変換素子に対して多様な電圧を印加し、それによる電流を測定した。
このとき、X線を光電変換素子に照射したが、X線の供給源と光電変換素子との距離は、30cmであり、該X線の管電圧は、100kvpであり、該X線の管電流は、20mAであり、該X線の照射時間は、0.2秒であった。その実験結果を図9に示す。
図9を参照すれば、実施例2の光電変換素子がX線に対する感度が優秀であるということを確認することができる。
(評価例4)
比較例1および比較例5の光電変換素子に対して、光電変換層の(a)光吸収スペクトル、および(b)時間による発光強度を測定した。その結果を、それぞれ図10Aおよび図10Bに示す。そのとき、励起源として、505nm波長の光源を用いて、時間分解フォトルミネッセンスを利用し、キャリアライフタイムτを測定した。
図10Aを参照すれば、比較例5の光電変換層は、760nm近辺で吸収端を示す一方、比較例1の光電変換層は、840nm近辺で、拡張された吸収帯を示すことが分かる。
また、図10Bを参照すれば、比較例5の光電変換層は、約128nsのキャリアライフタイム(τ)値を示す一方、比較例1の光電変換層は、約1,052nsのキャリアライフタイム(τ)値を示した。
また、比較例1は、比較例5に比べ、100倍ほどさらに強い発光を示した。
これらの結果から、光電変換層の形成時、混合物Fをスピンコーティングし、数μm厚の光電変換層を形成するよりも、混合物Gをドクターブレードコーティングし、数百μm以上の厚みの光電変換層を形成することで、さらに優秀な光電変換効率を示すということが分かる。
本発明のペロブスカイト化合物を含む光電変換素子、およびそれを含む撮像装置は、例えば、撮像関連の技術分野に効果的に適用可能である。
100 光電変換素子
110,411,412,413,510 第1導電層、
120,420,520 電子遮断層、
130,430,530 光電変換層、
140,440,540 正孔遮断層、
150,450,550 第2導電層、
461,462,463 検出部、
461b,462b,463b 読み取り回路、
461a,462a,463a 保存キャパシタ、
470 電源、
480 光、
490 電荷。

Claims (25)

  1. 第1導電層と、第2導電層と、前記第1導電層および前記第2導電層の間に配置された光電変換層と、前記光電変換層および前記第1導電層の間に配置された電子遮断層と、前記光電変換層および前記第2導電層の間に配置された正孔遮断層と、を含み、
    前記電子遮断層は、下記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含み、
    前記正孔遮断層は、下記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む光電変換素子:
    前記化学式1中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    nは、0≦n≦3を満足する実数であり、
    前記化学式2中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはそれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    mは、0≦m≦3を満足する実数である。
  2. 前記化学式1および化学式2中のAおよびAは、互いに独立して、(RN)、(RP)、(RAs)、(RSb)、(RN=C(R)−NR、置換もしくは非置換のシクロヘプタトリエニウムイオン、Li、Na、K、Rb、Cs、Fr、またはそれらの組み合わせから選択され、
    この際、R〜R、および置換されたシクロヘプタトリエニウムイオンの置換基のうち少なくとも一つは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、−F、−Cl、−Br、−I、ヒドロキシル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、および−N(Q)(Q)から選択され、
    この際、前記QおよびQは、互いに独立して、水素原子、重水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、および炭素数1〜20のアルコキシ基から選択される、請求項1に記載の光電変換素子。
  3. およびAは、互いに独立して、(CHNH、((CHCHCHCH)NH、(NHCHNH、K、Rb、Cs、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項1または2に記載の光電変換素子。
  4. およびBは、互いに独立して、La2+、Ce2+、Pr2+、Nd2+、Pm2+、Sm2+、Eu2+、Gd2+、Tb2+、Dy2+、Ho2+、Er2+、Tm2+、Yb2+、Lu2+、Be2+、Mg2+、Ca2+、Sr2+、Ba2+、Ra2+、Pb2+、Sn2+、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  5. およびBは、互いに独立して、Pb2+である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  6. 、Y、X、およびYは、互いに独立して、Cl、Br、およびIから選択される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  7. 前記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物、および前記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物は、互いに独立して、CHNHPbI、CHNHPbBr、CHNHPbCl、CHNHPbBr(3−o)、CHNHPbCl(3−o)Br、CH3NHPbCl(3−o)、CsPbI、CsPbBr、CHCHCHCHNHPbBr、NHCHNHPbBr、NHCHNHPbBr(3−o)、[CHNH(1−x)[NHCHNHPbBr、および[CHNH(1−x)[NHCHNHPbBr(3−o)から選択され、
    ここで、oは、0より大きくて3より小さい実数であり、xは、0より大きくて1より小さい実数である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  8. 前記電子遮断層および前記正孔遮断層は、互いに独立して、極性高分子をさらに含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  9. 前記電子遮断層における極性高分子の含有量は、前記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物100質量部を基準にして、5〜60質量部であり、
    前記正孔遮断層における極性高分子の含有量は、前記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物100質量部を基準にして、5〜60質量部である、請求項8に記載の光電変換素子。
  10. 前記極性高分子は、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリアクリル酸、ポリヒドロキシエチルメタクリレート(PHEMA)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリアクリレート、ポリアクリロニトリル(PAN)、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項8または9に記載の光電変換素子。
  11. 前記電子遮断層は、CHNHPbIとポリイミドとを含み、
    前記正孔遮断層は、CHNHPbBrとポリイミドとを含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  12. 前記正孔遮断層の表面に、四角星状、蝶状、ヒトデ状、鋸歯状またはクローバー状のパターンが形成されている、請求項11に記載の光電変換素子。
  13. 前記光電変換層は、光活性物質を含み、
    前記光活性物質の最低非占有分子軌道(LUMO)準位は、前記第1ペロブスカイト化合物の最低非占有分子軌道(LUMO)準位以下であり、
    前記光活性物質の最高占有分子軌道(HOMO)準位は、前記第2ペロブスカイト化合物の最高占有分子軌道(HOMO)準位以上である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  14. 前記光電変換層は、下記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物を含み、
    前記第3ペロブスカイト化合物は、多結晶である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の光電変換素子:
    前記化学式3中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはそれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    kは、0≦k≦3を満足する実数である。
  15. 前記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物は、結晶が互いに接合された形態である、請求項14に記載の光電変換素子。
  16. 前記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物の最長軸の長さは、1μm〜300μmである、請求項14または15に記載の光電変換素子。
  17. 前記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物は、CHNHPbIである、請求項14〜16のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  18. 前記光電変換層は、赤外線、可視光線、またはX線を吸収する請求項1〜17のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  19. 前記光電変換層は、0.1〜1,500μmの厚みを有する、請求項1〜18のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  20. 前記第2導電層は、反射型、透過型、または半透過型である、請求項1〜19のいずれか1項に記載の光電変換素子。
  21. 第1導電層を形成する段階と、
    前記第1導電層上に下記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物を含む電子遮断層を形成する段階と、
    前記電子遮断層上に光電変換層を形成する段階と、
    前記光電変換層上に下記化学式2で表される第2ペロブスカイト化合物を含む正孔遮断層を形成する段階と、
    前記正孔遮断層上に第2導電層を形成する段階と、
    を含む光電変換素子の製造方法:
    前記化学式1中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    nは、0≦n≦3を満足する実数であり、
    前記化学式2中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    mは、0≦m≦3を満足する実数である。
  22. 前記電子遮断層および前記正孔遮断層は、互いに独立して、極性高分子をさらに含む、請求項21に記載の光電変換素子の製造方法。
  23. 前記電子遮断層を形成する段階は、前記第1導電層上に、前記化学式1で表される第1ペロブスカイト化合物の前駆体、および前記極性高分子またはその前駆体の混合物をスピンコーティングした後、100〜300℃で熱処理して行われる、請求項22に記載の光電変換素子の製造方法。
  24. 前記光電変換層を形成する段階は、
    (a)第3の一価陽イオン含有前駆体、第3の2価陽イオン含有前駆体、および溶媒を含む混合物に非溶媒を添加した後、70℃〜120℃の温度で撹拌し、下記化学式3で表される第3ペロブスカイト化合物溶液を製造する段階と、
    (b)前記第3ペロブスカイト化合物溶液を、前記電子遮断層上に対して、ドクターブレードまたはバーコーティングにより塗布する段階と、を含む、請求項21〜23のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法:
    前記化学式3中、
    は、少なくとも1種の一価有機陽イオン、一価無機陽イオン、またはこれらの組み合わせであり、
    は、少なくとも1種の二価無機陽イオンであり、
    およびYは、互いに独立して、少なくとも1種の一価陰イオンであり、
    kは、0≦k≦3を満足する実数であり、
    前記溶媒は、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、またはこれらの組み合わせであり、
    前記非溶媒は、α−テルピネオール、ヘキシルカビトール、ブチルカビトールアセテート、ヘキシルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、またはこれらの組み合わせである。
  25. 光照射部と、光検出部と、制御部と、を含む撮像装置であって、
    前記光検出部が、請求項1〜20のいずれか1項に記載の光電変換素子を含む、撮像装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109627253B (zh) * 2018-11-21 2021-04-27 中节能万润股份有限公司 一种含有蝶结构的二酸酐及其合成方法以及基于该二酸酐合成的聚酰亚胺
US11895855B2 (en) 2019-08-29 2024-02-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Light-emitting device
EP3863054A1 (de) 2020-02-04 2021-08-11 Siemens Healthcare GmbH Multiple spektrale detektoren mittels strukturierter perowskite
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CN111599827A (zh) * 2020-04-28 2020-08-28 深圳市惠能材料科技研发中心(有限合伙) 一种新型的钙钛矿半导体型x射线探测器及其制备方法
EP3916819A1 (en) * 2020-05-29 2021-12-01 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO Perovskite layer
CN112694263A (zh) * 2021-02-09 2021-04-23 上海应用技术大学 分子铁电体复合CsPbBr3光电薄膜材料、制备方法和应用
CN113823740A (zh) * 2021-08-05 2021-12-21 中国科学院深圳先进技术研究院 n-i结构钙钛矿基X光探测器及其制备方法
TWI781720B (zh) * 2021-08-10 2022-10-21 友達光電股份有限公司 光偵測裝置
WO2023156973A1 (en) * 2022-02-17 2023-08-24 Uvic Industry Partnerships Inc. Orthorhombic cspbi3 microwires for sensitive flexible high-resolution x-ray detectors
WO2023238080A1 (en) * 2022-06-10 2023-12-14 Eni S.P.A. Perovskite based photovoltaic cells and process for preparing the same

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104716263A (zh) * 2015-03-18 2015-06-17 河南科技大学 一种制备混合卤化物钙钛矿CH3NH3PbI3-xClx梯度膜的方法
WO2015127494A1 (en) * 2014-02-26 2015-09-03 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Process of forming a photoactive layer of a perovskite photoactive device
EP2942826A2 (en) * 2014-05-09 2015-11-11 Technische Universität Dresden Doped perovskites and their use as active and/or charge transport layers in optoelectronic devices
US20160020411A1 (en) * 2014-07-16 2016-01-21 Industrial Technology Research Institute Solar cell and method for manufacturing the same
US20160079552A1 (en) * 2014-09-17 2016-03-17 National Taiwan University Perovskite solar cell
CN105679807A (zh) * 2016-04-15 2016-06-15 深圳市华星光电技术有限公司 Oled显示器件及其制作方法
WO2016091600A1 (de) * 2014-12-11 2016-06-16 Siemens Healthcare Gmbh Detektionsschicht umfassend perowskitkristalle
JP2016134570A (ja) * 2015-01-21 2016-07-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 有機光電変換材料、光電変換素子および撮像装置
US20160218307A1 (en) * 2013-12-19 2016-07-28 Nutech Ventures Systems and methods for scalable perovskite device fabrication
JP2016532314A (ja) * 2013-09-10 2016-10-13 エコール ポリテクニーク フェデラル ドゥ ローザンヌ(エーペーエフエル) 逆型太陽電池及びその製造方法
JP2017005196A (ja) * 2015-06-15 2017-01-05 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法、光電変換素子、撮像装置、電子機器、並びに光電変換素子。
WO2017002742A1 (ja) * 2015-07-02 2017-01-05 住友化学株式会社 光電変換素子
US20170047530A1 (en) * 2015-08-13 2017-02-16 Florida State University Research Foundation, Inc. Polymer-Perovskite Films, Devices, and Methods
CN106449990A (zh) * 2016-12-04 2017-02-22 天津市职业大学 一种钙钛矿太阳电池用卤化铯铅的生产方法
JP2017168499A (ja) * 2016-03-14 2017-09-21 株式会社カネカ 光電変換装置およびその製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3714918B2 (ja) * 2001-07-31 2005-11-09 独立行政法人科学技術振興機構 放射線検出装置
US6680067B2 (en) * 2001-11-26 2004-01-20 Oliver Yoa-Pu Hu Controlled-release pharmaceutical preparation containing nalbuphine and a process for preparing the same
WO2009104595A1 (ja) 2008-02-19 2009-08-27 独立行政法人産業技術総合研究所 酸化物ぺロブスカイト薄膜el素子
GB201208793D0 (en) 2012-05-18 2012-07-04 Isis Innovation Optoelectronic device
ES2776161T3 (es) * 2013-12-17 2020-07-29 Univ Oxford Innovation Ltd Dispositivo fotovoltaico que comprende una perovskita de haluro metálico y un agente pasivante
KR101666563B1 (ko) 2014-04-28 2016-10-27 성균관대학교산학협력단 페로브스카이트 태양전지 및 그의 제조 방법
US10297754B2 (en) * 2014-08-01 2019-05-21 International Business Machines Corporation Techniques for perovskite layer crystallization
AU2016208978B2 (en) * 2015-01-21 2020-07-16 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Process of forming a photoactive layer of a perovskite photoactive device
KR102629585B1 (ko) 2016-10-04 2024-01-25 삼성전자주식회사 광전 변환 소자 및 이를 포함하는 촬상 장치

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016532314A (ja) * 2013-09-10 2016-10-13 エコール ポリテクニーク フェデラル ドゥ ローザンヌ(エーペーエフエル) 逆型太陽電池及びその製造方法
US20160218307A1 (en) * 2013-12-19 2016-07-28 Nutech Ventures Systems and methods for scalable perovskite device fabrication
WO2015127494A1 (en) * 2014-02-26 2015-09-03 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Process of forming a photoactive layer of a perovskite photoactive device
EP2942826A2 (en) * 2014-05-09 2015-11-11 Technische Universität Dresden Doped perovskites and their use as active and/or charge transport layers in optoelectronic devices
US20160020411A1 (en) * 2014-07-16 2016-01-21 Industrial Technology Research Institute Solar cell and method for manufacturing the same
US20160079552A1 (en) * 2014-09-17 2016-03-17 National Taiwan University Perovskite solar cell
WO2016091600A1 (de) * 2014-12-11 2016-06-16 Siemens Healthcare Gmbh Detektionsschicht umfassend perowskitkristalle
JP2016134570A (ja) * 2015-01-21 2016-07-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 有機光電変換材料、光電変換素子および撮像装置
CN104716263A (zh) * 2015-03-18 2015-06-17 河南科技大学 一种制备混合卤化物钙钛矿CH3NH3PbI3-xClx梯度膜的方法
JP2017005196A (ja) * 2015-06-15 2017-01-05 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法、光電変換素子、撮像装置、電子機器、並びに光電変換素子。
WO2017002742A1 (ja) * 2015-07-02 2017-01-05 住友化学株式会社 光電変換素子
US20170047530A1 (en) * 2015-08-13 2017-02-16 Florida State University Research Foundation, Inc. Polymer-Perovskite Films, Devices, and Methods
JP2017168499A (ja) * 2016-03-14 2017-09-21 株式会社カネカ 光電変換装置およびその製造方法
CN105679807A (zh) * 2016-04-15 2016-06-15 深圳市华星光电技术有限公司 Oled显示器件及其制作方法
CN106449990A (zh) * 2016-12-04 2017-02-22 天津市职业大学 一种钙钛矿太阳电池用卤化铯铅的生产方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LI, GUANGRU ET AL.: "Efficient Light-Emitting Diodes Based on Nanocrystalline Perovskite in a Dielectric Polymer Matrix", NANO LETTERS, vol. 15, JPN6022047972, 2015, pages 2640 - 2644, XP055304994, ISSN: 0004919774, DOI: 10.1021/acs.nanolett.5b00235 *
WALSH, ARON: "Principles of chemical bonding and band gap engineering in hybrid organic-inorganic halide perovskit", THE JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C, vol. 119, JPN6022019344, 2015, pages 5755 - 5760, ISSN: 0004919773 *
YEHAO DENG ET AL.: "Scalable fabrication of efficient organolead trihalide perovskite solar cells with doctor-bladed act", ENERGY & ENVIRONMENTAL SCIENCE, vol. 8, JPN6021047749, 2015, pages 1544 - 1550, XP055740142, ISSN: 0004919772, DOI: 10.1039/C4EE03907F *
坂井田 雅人 MASATO SAKAIDA MASATO SAKAIDA: "有機ペロプスガイド層を電子輸送層として利用した逆構造型有機EL素子の作製 Fabrication of Inverted", <第63回>応用物理学会春季学術講演会講演予稿集, JPN6022019348, ISSN: 0004772822 *

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