JP2018153923A - スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】作業者の安全を確保しつつ、スクリーン印刷作業中に作業者がマスクを取り出すことができるようにして作業効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷作業位置に位置したマスクが移動機構（スキージング機構）によってマスク退避位置に位置されるまでのマスクの移動経路中にマスクと当接して揺動する複数の揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）を設け、これら複数の揺動体それぞれの姿勢の変化に基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから異物（作業者の手Ｈｄ）が挿入された状態を検出する。そして、マスク取出し開口１７Ｔから異物が挿入された状態が検出された場合には、所定の動作機構部の動作を停止させる。
【選択図】図１０

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法に関するものである。

スクリーン印刷装置は従来、パターン開口が形成されたマスクを基板に接触させ、マスク上でペーストをスキージによって掻き寄せることで基板にペーストを印刷する構成となっている。マスクは基板に応じて作製されるものであり、印刷対象となる基板が変わるとマスクを交換する必要が生じる。このようなマスク交換は通常、作業者が手作業で行うが、交換用のマスクを予めストッカに設置しておくと、マスクの交換時には適切なマスクがストッカから引き出されて印刷作業位置に自動で設置されるようになっているものが知られている（例えば、下記の特許文献１）。

特許第２８６１３３２号公報

しかしながら、上記自動で交換用のマスクが設置されるものでは、マスクをストックしておくストッカが必要であり、コスト高であった。このため交換用のマスクをカバー部材に設けられたマスク挿入開口から挿入し、またマスク取出し開口から使用済みのマスクを取り出すようにする構成が考えられるが、そうすると、印刷作業中に作業者が使用済みのマスクを取り出そうする場合には作業者が非安全な状態になるおそれがあり、作業効率が低下するおそれがあるという問題点があった。

そこで本発明は、作業者の安全を確保しつつ、スクリーン印刷作業中に作業者がマスクを取り出すことができるようにして作業効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

本発明のスクリーン印刷装置は、印刷作業位置に位置させたマスクに基板を接触させて前記基板にペーストを印刷し、前記印刷作業位置に位置した使用済みのマスクを移動機構によってマスク退避位置に位置させることで前記マスク退避位置に位置した前記使用済みのマスクをマスク取出し開口から取り出すことができるスクリーン印刷装置であって、前記印刷作業位置に位置した前記マスクが前記移動機構によって前記マスク退避位置に位置されるまでの前記マスクの移動経路中に、前記マスクと当接して揺動する複数の揺動体と、前記複数の揺動体それぞれの姿勢を検出する複数の揺動体センサと、前記複数の揺動体センサにより検出される前記複数の揺動体それぞれの姿勢の変化に基づいて、前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態を検出する異物検出手段と、前記異物検出手段により前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態が検出された場合に所定の動作機構部の動作を停止させる動作停止手段とを備えた。

本発明のスクリーン印刷方法は、印刷作業位置に位置させたマスクに基板を接触させて前記基板にペーストを印刷し、前記印刷作業位置に位置した使用済みのマスクを移動機構によってマスク退避位置に位置させることで前記マスク退避位置に位置した前記使用済みのマスクをマスク取出し開口から取り出すことができるスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷方法であって、前記印刷作業位置に位置した前記マスクが前記移動機構によって前記マスク退避位置に位置されるまでの前記マスクの移動経路中に設けられて前記マスクと当接して揺動する複数の揺動体それぞれの姿勢の変化に基づいて、前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態を検出する異物検出工程を、前記異物検出工程で前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態が検出された場合に所定の動作機構部の動作を停止させる動作停止工程とを含む。

本発明によれば、作業者の安全を確保しつつ、スクリーン印刷作業中に作業者がマスクを取り出すことができ、作業効率の向上を図ることができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の一部の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の前部の斜視図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備える揺動体をマスク及びマスクガイドとともに示す斜視図 本発明の一実施の形態におけるマスク取出し開口から見た（ａ）後方揺動体の正面図（ｂ）（ｃ）前方揺動体の正面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク取出し開口から異物（手）が挿入された場合における揺動体の動作を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク取出し開口から異物（手）が挿入された場合における揺動体の動作を説明する図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク退避位置にマスクが移動される場合における揺動体の動作を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク退避位置にマスクが移動される場合における揺動体の動作を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク退避位置にマスクが移動される場合における揺動体の動作を説明する図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置によるマスクの設置手順を説明する図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する部分側面図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作を説明する部分斜視図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置のマスク退避位置に位置した使用済みのマスクを取り出す手順を説明する図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の前部の拡大斜視図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３は、本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から供給された基板２を搬入し、その基板２の表面に設けられた電極２ｄに半田等のペーストＰｓｔを印刷して下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の左右方向をＸ軸方向とし、左方を上流工程側、右方を下流工程側とする。また、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の前後方向をＹ軸方向とし、作業者ＯＰから見た手前側を前方、作業者ＯＰから見た奥側を後方とする。更に、スクリーン印刷装置１の上下方向をＺ軸方向とする。

スクリーン印刷装置１は基台１１に搬入コンベア１２、基板昇降機構１３及び搬出コンベア１４を備えている。基板昇降機構１３の上方にはマスク１５及びスキージング機構１６が設けられている。基台１１及び基台１１に設けられた上記設備は、カバー部材１７によって覆われている（図１及び図４）。

図１において、基板昇降機構１３は基台１１の中央部に設けられている。基板昇降機構１３は基板２を保持する機能と基板２を昇降させる機能とを有する。搬入コンベア１２は上流工程側から送られてきた基板２を搬入して基板昇降機構１３に受け渡し、搬出コンベア１４は基板昇降機構１３から受け取った基板２を下流工程側に搬出する。

図２及び図３において、マスク１５は金属製の板状部材から成るマスク本体部１５Ｇと、マスク本体部１５Ｇの周辺部を支持する矩形のマスクフレーム１５Ｆを備えている。マスク本体部１５Ｇの中央部には、基板２の電極２ｄに対応して配置された多数のパターン開口１５Ｈが設けられている（図２）。

図２において、マスクフレーム１５ＦはＸ軸方向に延びた一対の横桟部（前方横桟部１５ａ及び後方横桟部１５ｂ）と、Ｙ軸方向に延びた一対の縦桟部１５ｃを有している。前方横桟部１５ａはマスク本体部１５Ｇの前方に位置しており、後方横桟部１５ｂはマスク本体部１５Ｇの後方に位置している。一対の縦桟部１５ｃは、マスク本体部１５Ｇの両側方に位置している。

図１、図２及び図３において、基台１１の上方には左右に配置された一対のマスクガイド１５ＬがそれぞれＹ軸方向（すなわち水平方向）に設けられている。一対のマスクガイド１５ＬのＸ軸方向の間隔は、マスクフレーム１５Ｆの２つの縦桟部１５ｃの間隔に合致している。一対のマスクガイド１５Ｌは、Ｙ軸方向に３つのマスク１５を載置できる長さを有しており、後端（すなわち一端）側から順に、マスク待機位置Ｐ１、印刷作業位置Ｐ２及びマスク退避位置Ｐ３が設定されている（図２及び図４）。

図１において、カバー部材１７の後部には、マスクガイド１５Ｌのマスク待機位置Ｐ１側に開口したマスク挿入開口１７Ｋが設けられている。マスク挿入開口１７Ｋは、カバー部材１７の後部に設けられた後部扉１８（図４も参照）によって開閉される。後部扉１８を下方に揺動させて開扉状態にすると、作業者ＯＰはマスク挿入開口１７Ｋを通じてマスク待機位置Ｐ１にマスク１５を設置することができるようになる。

図１及び図４において、カバー部材１７の前部には、マスクガイド１５Ｌのマスク退避位置Ｐ３側に開口したマスク取出し開口１７Ｔが設けられている。マスク取出し開口１７Ｔは、カバー部材１７の前部に設けられた前部扉１９によって開閉される。後部扉１８と前部扉１９はそれぞれ下方に揺動させて開くことができる。

図１及び図２において、スキージング機構１６は、印刷ヘッド１６Ｈと印刷ヘッド移動機構１６Ｋを備えている。印刷ヘッド１６Ｈは、図１及び図３に示すように、Ｘ軸方向に延びた移動ベース２１と、移動ベース２１に設けられて２つのスキージ昇降シリンダ２２によって昇降される前後の２つのスキージ２３を備えている。印刷ヘッド１６Ｈは、印刷ヘッド移動機構１６Ｋに駆動されてＹ軸方向に移動する。

後部扉１８を下方に揺動させて開扉状態にすると、作業者ＯＰはマスク挿入開口１７Ｋを通じて一対のマスクガイド１５Ｌの後端部にマスク１５を挿入することができるようになる。作業者ＯＰは、マスク１５をマスク待機位置Ｐ１に設置するときは、水平姿勢にしたマスク１５の前方横桟部１５ａの両端を一対のマスクガイド１５Ｌに載せて、マスク１５の後方横桟部１５ｂを前方に押し込む。

マスク待機位置Ｐ１まで押し込まれたマスク１５は、移動機構としてのスキージング機構１６によってマスクガイド１５Ｌ上を移動され、印刷作業位置Ｐ２に設置される（詳細な動作は後述）。印刷作業位置Ｐ２に設置されたマスク１５は、そのマスク１５を用いた印刷作業の終了後には、使用済みのマスク１５として、スキージング機構１６によってマスクガイド１５Ｌ上を移動され、マスク退避位置Ｐ３に退避されたうえで、マスク取出し開口１７Ｔから作業者ＯＰによって取り出される。

上記マスクガイド１５Ｌ上でのマスク１５の移動において、マスクガイド１５Ｌ上のマスク待機位置Ｐ１と印刷作業位置Ｐ２との間の領域は、印刷作業位置Ｐ２にマスク１５を設置するためのマスク１５の移動経路として機能する。また、マスクガイド１５Ｌ上の印刷作業位置Ｐ２とマスク退避位置Ｐ３との間の領域は、印刷作業位置Ｐ２からマスク１５を退避させるためのマスク１５の移動経路として機能する。

図４において、カバー部材１７の前端部には前部扉センサ１９ａと前部扉ロック機構１９ｂが設けられている。前部扉センサ１９ａは、マスク取出し開口１７Ｔに対して前部扉１９の開閉状態を検出する。前部扉ロック機構１９ｂは、マスク取出し開口１７Ｔを閉止する閉扉状態にある前部扉１９を閉扉状態に機械的にロックし、またそのロックを解除する。これは、マスク１５の移動中（搬出中）にマスク１５が前部扉１９から誤って飛び出すことを防止する目的と、マスク退避位置Ｐ３にマスク１５が存在しないとき（マスク退避位置Ｐ３が空洞状態であるとき）には、前部扉１９が機械的にロックされていることにより、手などの異物が前部扉１９よりスクリーン印刷装置１の内部に入らないように安全性を確保するためである。

図２において、スクリーン印刷装置は１、マスク待機位置Ｐ１に位置した状態のマスク１５の前方横桟部１５ａの側方に相当する位置にマスク検出センサ３１を備えている。マスク検出センサ３１は検査光をＸ軸方向（基台１１の中央部側に向く方向）に投光しており、その検査光がマスクフレーム１５Ｆの縦桟部１５ｃの側面によって反射される反射光を受光する。

図２、図５及び図６（ａ），（ｂ）において、スクリーン印刷装置１は、複数の揺動体としての後方揺動体４１と前方揺動体４２を備えている。これら後方揺動体４１と前方揺動体４２はそれぞれ、上縁部がＸ軸方向を軸とする蝶番４３によって基台１１側の部材に取り付けられており、スキージング機構１６によって印刷作業位置Ｐ２からマスク退避位置Ｐ３に移動されるマスク１５の一部（マスクフレーム１５Ｆの前方横桟部１５ａ及び後方横桟部１５ｂ）によって押圧されて揺動する。後方揺動体４１及び前方揺動体４２はそれぞれ前方への揺動（下端が前方に進む方向への揺動）のみが許容されており、前方への押圧力が作用していない状態では、自重によって、下端が蝶番４３の直下に位置する垂下姿勢を取る（図６（ａ），（ｂ））。

図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ）において、後方揺動体４１の左右の２箇所には、下方に開口した形状の２つの溝部４１Ｍが設けられている。これら２つの溝部４１Ｍは、一対のマスクガイド１５Ｌとの干渉を避けるために設けられている。図６（ａ），（ｂ）及び図７（ｂ），（ｃ）において、前方揺動体４２の左右の２箇所には、下方に開口した形状の２つの溝部４２Ｍが設けられている。これら溝部４２Ｍは、一対のマスクガイド１５Ｌ及びこの一対のマスクガイド１５Ｌ上を進行するマスクフレーム１５Ｆの２つの縦桟部１５ｃとの干渉を避けるために設けられている。溝部４１Ｍ及び溝部４２Ｍの溝径の大きさは必要最低限の大きさとして、特に、溝部４１Ｍから指などが入り、後方揺動体４１を前方揺動体４２側に持ち上げられないような溝径の大きさとする。容易にマスク１５が前部扉１９から侵入した手などの異物が、後方揺動体４１よりスクリーン印刷装置１の内部へ侵入することを防ぎ、安全性を確保するためである。

後方揺動体４１の２つの溝部４１Ｍの間の中央部４１Ｔ（図６（ａ），（ｂ））の下端は、後方揺動体４１が垂下姿勢にあるときには、マスクガイド１５Ｌ上を進行するマスク１５のマスク本体部１５Ｇの上面よりも高く、かつ、マスクフレーム１５Ｆの上面（前方横桟部１５ａ及び後方横桟部１５ｂの上面）よりも低い位置に位置する。同様に、前方揺動体４２の２つの溝部４２Ｍの間の中央部４２Ｔ（図６（ａ），（ｂ））の下端は、前方揺動体４２が垂下姿勢にあるときには、マスクガイド１５Ｌ上を進行するマスク１５のマスク本体部１５Ｇの上面よりも高く、かつ、マスクフレーム１５Ｆの上面よりも低い位置に位置する。

図５、図６（ａ）及び図７（ｂ）において、前方揺動体４２は、２つの側方張出部４２Ｈを有している。これら２つの側方張出部４２Ｈは、前方揺動体４２の幅方向（Ｘ軸方向）側の両側部から、マスク１５の進行方向（Ｙ軸方向）と直交する水平方向（Ｘ軸方向）の外側に張り出して延びている。前方揺動体４２の中央部４２Ｔが２つのマスクガイド１５Ｌの間の領域を塞ぐ働きをするのに対し、２つの側方張出部４２Ｈは、２つのマスクガイド１５Ｌの外側の領域（図７（ｃ）中に示す領域ＳＰ）を塞ぐ働きをする。

マスク取出し開口１７Ｔは、搬入する最大マスクサイズの幅に合わせて開口の大きさを当初、設計するが、マスクサイズは印刷用途に応じて多様化する傾向にあり、それよりも小さい幅のマスク１５を搬入する場合、既存のスクリーン印刷装置１において、マスクガイド１５Ｌの幅の間隔を狭めることになるため、左右のマスクガイド１５Ｌの外側の領域ＳＰが広く開いてしまうことになる。マスクサイズに応じて、側方は拡張部を設けることにより、その空間から作業者ＯＰが誤って手（指）を差し入れてしまうことを検知して所定のシステムを停止することが望ましい。なお、前方揺動体４２の側方張出部４２Ｈの幅は図７（ｂ）に示すほどなくてもよく、マスクガイド１５Ｌに寄り添うくらいの幅であってもよい。

図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ）において、後方揺動体４１の後面側であって、中央部４１ＴのＸ軸方向の端部の位置には２つの突起部４１Ｐが設けられている。これら２つの突起部４１Ｐはそれぞれ後方（すなわち印刷作業位置Ｐ２の側）に突出して延びている。印刷作業位置Ｐ２からマスク退避位置Ｐ３に向けて進行してきたマスク１５のマスクフレーム１５Ｆの一対の縦桟部１５ｃが後方揺動体４１を押圧するとき、一対の縦桟部１５ｃは後方揺動体４１の中央部４１Ｔに直接当接するのではなく、２つの突起部４１Ｐに当接する。そして、これら２つの突起部４１Ｐを介して中央部４１Ｔを押圧し、後方揺動体４１を揺動させる。なお、突起部４１Ｐの個数は２つでなくても構わない。

図６（ａ），（ｂ）及び図７（ｂ），（ｃ）において、前方揺動体４２の後面側であって、中央部４２ＴのＸ軸方向の端部の位置には２つの突起部４２Ｐが設けられている。これら２つの突起部４２Ｐはそれぞれ後方（印刷作業位置Ｐ２の側）に突出して延びている。印刷作業位置Ｐ２からマスク退避位置Ｐ３に向けて進行してきたマスク１５のマスクフレーム１５Ｆの横桟部（前方横桟部１５ａ又は後方横桟部１５ｂ）が前方揺動体４２を押圧するときは、横桟部は前方揺動体４２の中央部４２Ｔに直接当接するのではなく、２つの突起部４２Ｐに当接する。そして、これら２つの突起部４２Ｐを介して中央部４２Ｔを押圧し、前方揺動体４２を揺動させる。なお、突起部４２Ｐの個数は２つでなくても構わない。

後方揺動体４１及び前方揺動体４２それぞれＸ軸方向の一端側にほぼ扇型形状の光反射部４４を有している（図５及び図６（ａ），（ｂ））。一方、基台１１上には、図２及び図６（ａ），（ｂ）に示すように、後方揺動体４１の姿勢を検出する揺動体センサである後方揺動体センサ４５ａと、前方揺動体４２の姿勢を検出する揺動体センサである前方揺動体センサ４５ｂが設けられている。後方揺動体センサ４５ａ及び前方揺動体センサ４５ｂはそれぞれ光センサから成り、一方のマスクガイド１５Ｌの側方の位置から、基台１１の中央部側に向けて側方（Ｘ軸方向）に検査光を投光する。

後方揺動体センサ４５ａが投光する検査光は、後方揺動体４１が垂下姿勢となっているときには後方揺動体４１の光反射部４４において反射されないが、後方揺動体４１が揺動姿勢（垂下姿勢から一定角度以上揺動した姿勢）となったときに後方揺動体４１の光反射部４４よって反射され、後方揺動体センサ４５ａによって受光される。このため後方揺動体センサ４５ａが反射光を受光するか否かに基づいて、後方揺動体４１が垂下姿勢にあるか揺動姿勢にあるかを検出できる。

前方揺動体センサ４５ｂが投光する検査光は、前方揺動体４２が垂下姿勢となっているときには前方揺動体４２の光反射部４４において検査光が反射されないが、前方揺動体４２が揺動姿勢となったときに前方揺動体４２の光反射部４４によって反射され、前方揺動体センサ４５ｂによって受光される。このため前方揺動体センサ４５ｂが反射光を受光するか否かに基づいて、前方揺動体４２が垂下姿勢にあるか揺動姿勢にあるかを検出できる。後方揺動体センサ４５ａ及び前方揺動体センサ４５ｂは反射型の検出センサを使用しているが、マスクガイド１５Ｌやマスク本体部１５Ｇによって、投光した検査光が反射されることがない位置に設置されている。

後方揺動体４１と前方揺動体４２は、印刷作業位置Ｐ２からマスク退避位置Ｐ３に移動するマスク１５の前方横桟部１５ａによって同時に押圧されることがなく、後方横桟部１５ｂによっても同時に押圧されることのない間隔に設けられている。更には、後方揺動体４１と前方揺動体４２は、これらが仮に同時に揺動姿勢になった場合であっても互いに干渉することがない位置に設けられている。また、後方揺動体センサ４５ａ及び前方揺動体センサ４５ｂはそれぞれ、検査光を投光する対象となる揺動体（後方揺動体４１又は前方揺動体４２）が垂下姿勢にあるときに、検査光がマスクフレーム１５Ｆで反射されない位置に設けられている。

図８において、スクリーン印刷装置１が備える制御装置６０は、搬入コンベア１２による基板２の搬入動作、基板昇降機構１３による基板２の保持及び移動動作、搬出コンベア１４による基板２の搬出動作等の各制御を行う。また制御装置６０は、印刷ヘッド移動機構１６Ｋによる印刷ヘッド１６Ｈの移動動作及びスキージ昇降シリンダ２２によるスキージ２３の昇降動作、前部扉ロック機構１９ｂによる前部扉１９のロック及びロック解除等の各制御を行う。前部扉センサ１９ａによる前部扉１９の開閉状態の検出情報は制御装置６０に入力され、制御装置６０はその検出情報に基づいて前部扉１９の開閉状態を検知する。

図８において、マスク検出センサ３１によるマスク１５の検出情報は制御装置６０に入力される。制御装置６０は、マスク検出センサ３１が検査光の反射光を受光しない場合にはマスク待機位置Ｐ１にマスク１５はないと判断し、マスク検出センサ３１がそれまで反射光を受光していなかった状態から反射光を受光する状態に切り替わった場合に、マスク１５がマスク待機位置Ｐ１に到達したと判断する。

図８において、制御装置６０には、入出力装置としてのタッチパネル６１が接続されている。タッチパネル６１は、作業者ＯＰが制御装置６０に所要の入力を行う入力装置として機能するほか、制御装置６０がスクリーン印刷装置１の状態を作業者ＯＰに表示したり作業者ＯＰに作業指示を与えたりする出力装置として機能する。

図８において、制御装置６０には、後方揺動体センサ４５ａによる後方揺動体４１の姿勢の検出情報（垂下姿勢であるか揺動姿勢であるかの検出情報）と、前方揺動体センサ４５ｂによる前方揺動体４２の姿勢の検出情報（垂下姿勢であるか揺動姿勢であるかの検出情報）が入力される。

マスク退避位置Ｐ３にマスク１５が位置していない状態では、前部扉１９を開けた状態で、前方揺動体４２の中央部４２Ｔの下端を前方（作業者ＯＰから見て手前側）に引き寄せ（図９（ａ）及び図１０（ａ））、更に後方揺動体４１の中央部４１Ｔの下端を前方に引き寄せることによって（図９（ｂ）及び図１０（ｂ））、後方揺動体４１の後方（すなわち基台１１の中央部側）の領域に手を差し入れることができる。しかしながら、作業者ＯＰがそのような領域に手を差し入れてしまうことは好ましくなく、仮にそのような領域に作業者ＯＰが手を差し入れてしまった場合であっても作業者ＯＰの安全を図ることができるように、制御装置６０は異物検出部６０ａと停止制御部６０ｂを備えている（図８）。

異物検出部６０ａは、２つの揺動体センサ（後方揺動体センサ４５ａ及び前方揺動体センサ４５ｂ）により検出される２つの揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）それぞれの姿勢の変化に基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから異物が挿入された状態を検出する。具体的には、前方揺動体４２が揺動した状態で、更に後方揺動体４１が揺動したことを検知した場合に（図１０（ａ）→図１０（ｂ））、マスク取出し開口１７Ｔから異物が挿入されたと判断する。

マスク退避位置Ｐ３にマスク１５が位置していない状態で２つの揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）の姿勢が変化するのは、上記のようにマスク取出し開口１７Ｔから作業者ＯＰが手Ｈｄを差し入れた場合のほか、印刷作業位置Ｐ２に位置したマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に移動してきた場合にも起こり得る。しかし、この場合には、マスクフレーム１５Ｆの一対の縦桟部１５ｃによって前方に押圧された後方揺動体４１が揺動姿勢を維持したまま前方揺動体４２が前方に押圧されて揺動姿勢になった後（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）及び図１２（ａ）→図１２（ｂ）→図１３（ａ））、前方横桟部１５ａが前方揺動体４２の下方を通過した後は、前方揺動体４２のみが垂下姿勢に復帰することとなる（図１１（ｄ）及び図１３（ｂ））。このため、前方揺動体４２が揺動した状態で、更に後方揺動体４１が揺動した状況となるのは、マスク取出し開口１７Ｔから異物（作業者ＯＰの手Ｈｄ）が挿入された場合のみとなる。

なお、図１１（ｃ）のように、マスク１５の搬出時でも前方揺動体４２と後方揺動体４１がともに揺動状態となることがあり得るが、前部扉１９が開いている状態で、前方揺動体４２と後方揺動体４１がともに揺動状態になっている場合にのみ、印刷機能を停止させるものとする。すなわち、前部扉１９が閉まっている場合は、前方揺動体４２と後方揺動体４１がともに揺動状態になっていても、手などの異物が挿入されることはないので、印刷機能を停止させない。

停止制御部６０ｂは、異物検出部６０ａによって、マスク取出し開口１７Ｔから異物（作業者ＯＰの手Ｈｄ）が挿入された状態が検出された場合に、所定の動作機構部の動作を停止させる。ここで、「所定の動作機構部」とは、後方揺動体４１よりも後方（すなわち基台１１の中央側）の領域内に位置する動作機構部のうち、マスク取出し開口１７Ｔから異物（例えばＯＰの手Ｈｄ）が挿入された場合にその異物と接触するおそれがあるものをいう。本実施の形態では、具体的には、スキージング機構１６及びこれに関連する駆動機構部が該当する。すなわち印刷動作が停止する。

このように本実施の形態において、制御装置６０の異物検出部６０ａは、複数の揺動体センサ（後方揺動体センサ４５ａ及び前方揺動体センサ４５ｂ）により検出される複数の揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）それぞれの姿勢の変化に基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから異物（具体的には作業者ＯＰの手Ｈｄ）が挿入された状態を検出する異物検出手段となっている。具体的には、異物検出部６０ａは、複数の揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）それぞれの姿勢変化が、複数の揺動体がマスク１５によって揺動された場合と、複数の揺動体がマスク取出し開口１７Ｔから挿入された異物（作業者ＯＰの手Ｈｄ）によって揺動された場合とで異なることに基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから異物（手Ｈｄ）が挿入された状態を検出するようになっている。

また、本実施の形態において、制御装置６０の停止制御部６０ｂは、異物検出手段である制御装置６０の異物検出部６０ａによりマスク取出し開口１７Ｔから異物が挿入された状態が検出された場合に所定の動作機構部の動作を停止させる動作停止手段となっている。

なお、後方揺動体４１から上記所定の動作機構部までの距離は、２つの揺動体（前方揺動体４２及び後方揺動体４１）の姿勢の変化に基づいて異物の挿入を検出されてから上記動作機構部が停止されるまでに要する時間よりも、異物の挿入が検出されてからその異物が所定の動作機構部に到達するのに要する時間が十分に長くなるような距離に設定される。

このような構成のスクリーン印刷装置１において、マスク１５を印刷作業位置Ｐ２に設置するには先ず、作業者ＯＰは、基台１１の前方の位置から基台１１の後方の位置に移動したうえで、後部扉１８を下方に揺動させて開扉状態とする。そして、作業者ＯＰは、マスクガイド１５Ｌの一端側（後端側）からマスク１５を挿入してマスク待機位置Ｐ１に位置させる（図１４（ａ）。図中に示す矢印Ｐ）。作業者ＯＰは、マスク１５をマスク待機位置Ｐ１に位置させたら、後部扉１８を上方に揺動させて、閉扉状態にする。

マスク１５がマスク待機位置Ｐ１に位置したら、マスク検出センサ３１の検査光（反射光）に受光状態が非受光状態から受光状態に切り替わるので、制御装置６０はそのタイミングをもって、マスク１５がマスク待機位置Ｐ１に位置したことを判断する。そして、制御装置６０は、マスク１５を印刷作業位置Ｐ２に移動させるべきタイミングになったら、マスク待機位置Ｐ１に位置したマスク１５を印刷作業位置Ｐ２に移動させる。

制御装置６０は、マスク１５を印刷作業位置Ｐ２に移動させるときには、マスク待機位置Ｐ１に位置したマスク１５の前方横桟部１５ａをスキージ２３で前方へ押圧する（図１４（ｂ）中に示す矢印Ａ１）。このとき、既に印刷作業位置Ｐ２にマスク１５が設置してあった（使用済みのマスク１５があった）場合には、その使用済みのマスク１５も一緒に前方に押圧して、使用済みのマスク１５をマスク退避位置Ｐ３に位置させる（図１４（ｂ））。

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、マスク１５が挿入される位置（マスク待機位置Ｐ１）と、マスク１５が基板２と接触されてスクリーン印刷作業が行われる位置（印刷作業位置Ｐ２）と、マスク１５が排出のために移動される位置（マスク退避位置Ｐ３）がこの順で並んで設定されており、マスク待機位置Ｐ１に位置したマスク１５と、印刷作業位置Ｐ２に位置したマスク１５とを、移動機構（本実施の形態ではスキージング機構１６）による１回の動作で同時にスライドさせてマスク待機位置Ｐ１に位置したマスク１５を印刷作業位置Ｐ２に位置させ、印刷作業位置Ｐ２に位置したマスク１５をマスク退避位置Ｐ３に位置させるようになっている。

使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に位置したら、スキージ２３によって、印刷作業位置Ｐ２に設置しようとするマスク１５を少し後方に戻して（図１４（ｃ）中に示す矢印Ａ２）、正確な位置決めを行う（図１４（ｃ））。使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に移動された状態では、作業者ＯＰは前部扉１９を開扉状態にしたうえで、マスクガイド１５Ｌの前端側から使用済みのマスク１５を取り出すことができる。

スクリーン印刷装置１は、スクリーン印刷作業を行うときは、上記のようにして印刷作業位置Ｐ２に設置したマスク１５の下面に基板２を接触させたうえで（図１５（ａ）。図中に示す矢印Ｂ）、スキージ昇降シリンダ２２によってスキージ２３を下降させてマスク１５に当接させ、印刷ヘッド１６Ｈを水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる（図１５（ｂ）及び図１６（ａ）中に示す矢印Ｃ）。これによりスキージ２３がマスク本体部１５Ｇ上で摺動し、マスク本体部１５Ｇ上でペーストＰｓｔが掻き寄せられることによって（図１６（ａ）→図１６（ｂ）→図１６（ｃ））、パターン開口１５Ｈを介して基板２の電極２ｄにペーストＰｓｔが塗布される。基板２の電極２ｄにペーストＰｓｔが塗布されたら基板２を下降させてマスク１５から離間（版離れ）させ、搬出コンベア１４によって基板２を下流工程側に搬出する。

スクリーン印刷装置１は、マスク１５の設置を設置する動作（設置動作）を実行する際、既に印刷作業位置Ｐ２にマスク１５が設置してあった場合には、上記のマスク設置動作を行い際に、印刷作業位置Ｐ２に位置している使用済みのマスク１５を印刷作業位置Ｐ２からマスク退避位置Ｐ３に移動させる必要となる。この場合、スクリーン印刷装置１が行う動作は、マスク１５の交換動作となる。

マスク１５の交換動作では、制御装置６０は、前述したように、マスク待機位置Ｐ１に位置しているマスク１５を印刷作業位置Ｐ２へ移動させる動作と、印刷作業位置Ｐ２に位置しているマスク１５（使用済みのマスク１５）をマスク退避位置Ｐ３へ移動させる動作とを同時に行う。詳細には、マスク待機位置Ｐ１に位置しているマスク１５を印刷作業位置Ｐ２へ移動させる動作によって、印刷作業位置Ｐ２に位置しているマスク１５をマスク退避位置Ｐ３へ移動させる（図１４（ａ）→図１４（ｂ）→図１４（ｃ））。これにより、使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に移動されるので、作業者ＯＰは前部扉１９を開扉状態にしたうえで、マスクガイド１５Ｌの前端側（他端側）から使用済みのマスク１５を取り出すことができるようになる。なお、制御装置６０は、スキージング機構１６によって使用済みのマスク１５をマスク退避位置Ｐ３に移動させたら、前部扉ロック機構１９ｂによる前部扉１９のロックを解除して、作業者ＯＰが前部扉１９を開くことができるようにする。

前部扉１９のロック解除中は、ロック解除中であることをタッチパネル６１等にモニター表示することが望ましい。作業者ＯＰがマスク１５を取り出した後、前部扉１９を閉めた場合、制御装置６０はロックを掛ける。また、マスク退避位置Ｐ３にマスク１５がない状態で前部扉１９が開いている場合は、前部扉１９を閉めるようにタッチパネル６１等にモニター表示させる。

マスク退避位置Ｐ３にマスク１５が位置されたら（図１７（ａ））、作業者ＯＰは、前部扉１９を下方に揺動させて開扉状態としたうえで、マスク退避位置Ｐ３に位置しているマスク１５をマスク取出し開口１７Ｔから取り出す（図１７（ｂ）中に示す矢印Ｄ）。これによりマスク退避位置Ｐ３は空いた状態（空洞状態）となり（図１７（ｃ））、次回のマスク設置動作において、使用済みのマスク１５をマスク退避位置Ｐ３に位置させることができるようになる。作業者ＯＰは、マスク退避位置Ｐ３から使用済みのマスク１５を取り出したら、前部扉１９を閉じて閉扉状態にする（図１７（ｃ）中に示す矢印Ｅ）。

このように作業者ＯＰは、上記スクリーン印刷作業が行われているときであっても、使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に位置した状態であれば、前部扉１９を開いてマスク取出し開口１７Ｔから使用済みのマスク１５を取り出すことができるが、マスク１５を取出した後の空洞領域に作業者ＯＰが手を差し入れてしまうと非安全である。このため、制御装置６０の異物検出部６０ａは、２つの揺動体センサ（前方揺動体センサ４５ｂ及び後方揺動体センサ４５ａ）を通じて把握する２つの揺動体（前方揺動体４２及び後方揺動体４１）それぞれの姿勢の変化に基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから作業者ＯＰの手Ｈｄが挿入された状態を検出し（異物検出工程）、これによりマスク取出し開口１７Ｔから作業者ＯＰの手Ｈｄが挿入された状態を検出した場合には、所定の動作機構部の動作を停止させるようになっている（動作停止工程）。作業者ＯＰの手に移動中の動作機構部が当たるようなことはなく、作業者ＯＰの安全が図られる。

本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１はこのような安全機構を備えているため、作業者ＯＰは印刷動作中であってもスクリーン印刷装置１の動作を停止させることなく、時間があるときに、使用済みのマスク１５をマスク退避位置Ｐ３から取り出すことができる。これにより、複数台のスクリーン印刷装置１を一人の作業者ＯＰが操作する場合には特に、作業者ＯＰの作業効率が各段に向上する。

印刷作業位置Ｐ２に位置していた使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に移動する場合、マスク１５は一対の縦桟部１５ｃにより後方揺動体４１を前方に押圧して揺動させるが、一対の縦桟部１５ｃは後方揺動体４１の２つの突起部４１Ｐに当接して後方揺動体４１を押し上げるので、マスク１５が後方揺動体４１の下方に位置している間、後方揺動体４１の下端はマスクフレーム１５Ｆの上面よりも上方に位置する。

スクリーン印刷装置１による印刷動作実行前には、ペーストＰｓｔをマスク本体部１５Ｇ上で均してからスキージ２３を持ち上げるなどしてスキージ２３からペーストＰｓｔが落ちないようにする。このため、通常は、スキージ２３から落下したペーストＰｓｔがマスクフレーム１５Ｆ上（詳細にはマスク１５の横桟部、すなわち前方横桟部１５ａ及び後方横桟部１５ｂ）に付着するようなことはないのであるが、稀に、スキージ２３からペーストＰｓｔが落下し、そのペーストＰｓｔがマスクフレーム１５Ｆ上に付着してしまうことがあり得る。しかし、上記のように、本実施の形態では、一対の縦桟部１５ｃが後方揺動体４１の２つの突起部４１Ｐに当接して後方揺動体４１を押し上げ、マスク１５が後方揺動体４１の下方に位置している間、後方揺動体４１の下端はマスクフレーム１５Ｆの上面よりも上方に位置するようになっているので、マスク１５の横桟部の上面にスキージ２３から垂れたペーストＰｓｔが付着してしまった場合であっても、そのペーストＰｓｔが後方揺動体４１の下端にも付着してしまうようなことはない（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）→図１１（ｄ）及び図１２（ａ）→図１２（ｂ）→図１３（ａ）→図１３（ｂ））。

同様に、印刷作業位置Ｐ２に位置していた使用済みのマスク１５がマスク退避位置Ｐ３に移動する場合、マスク１５は前方横桟部１５ａにより前方揺動体４２を前方に押圧して揺動させるが、前方横桟部１５ａは前方揺動体４２の２つの突起部４２Ｐに当接して前方揺動体４２を押し上げるので、前方横桟部１５ａが前方揺動体４２の下方を通過し終えるまでの間、前方揺動体４２の下端はマスクフレーム１５Ｆの上面よりも上方に位置する。このため、スキージ２３からペーストＰｓｔが垂れ、そのペーストＰｓｔがマスクフレーム１５Ｆの上面に付着してしまった場合であっても、そのペーストＰｓｔが前方揺動体４２の下端にも付着してしまうようなことはない（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）→図１１（ｄ）及び図１２（ａ）→図１２（ｂ）→図１３（ａ）→図１３（ｂ））。

前方横桟部１５ａが前方揺動体４２の下方を通過して突起部４２Ｐから離間すると、前方揺動体４２は前方横桟部１５ａから押圧力を受けなくなって、自重により垂下姿勢に復帰する（図１１（ｄ）及び図１３（ｂ））。そして、マスク１５がマスク退避位置Ｐ３に位置した状態では、前方揺動体４２は前方横桟部１５ａと後方横桟部１５ｂの間で垂下姿勢となり、マスク取出し開口１７Ｔを閉止する（図１８）。

マスク退避位置Ｐ３に位置したマスク１５を作業者ＯＰがマスク取出し開口１７Ｔから取り出す際、マスク１５の一対の縦桟部１５ｃは後方揺動体４１の２つの突起部４１Ｐに当接して後方揺動体４１を押し上げた状態を維持する。そして、一対の縦桟部１５ｃが後方揺動体４１の下方を通過し終えると、一対の縦桟部１５ｃによる突起部４１Ｐの押圧は解除されて、後方揺動体４１は自重により垂下姿勢に復帰するが、この間、後方揺動体４１の下端はマスクフレーム１５Ｆの上面よりも上方に位置しているので、マスク１５の後方横桟部１５ｂの上面にスキージ２３から垂れたペーストＰｓｔが付着していた場合であっても、そのペーストＰｓｔが後方揺動体４１の下端にも付着してしまうようなことはない。

同様に、マスク退避位置Ｐ３に位置したマスク１５を作業者ＯＰがマスク取出し開口１７Ｔから取り出す際には、マスク１５は後方横桟部１５ｂにより前方揺動体４２を前方に押圧して揺動させるが、後方横桟部１５ｂは前方揺動体４２の２つの突起部４２Ｐに当接して前方揺動体４２を押し上げるので、後方横桟部１５ｂが前方揺動体４２の下方を通過し終えるまでの間、前方揺動体４２の下端はマスクフレーム１５Ｆよりも上方に位置する。このため、マスク１５の後方横桟部１５ｂの上面にスキージ２３から垂れたペーストＰｓｔが付着していた場合であっても、そのペーストＰｓｔが前方揺動体４２の下端にも付着してしまうようなことはない。

仮に、後方揺動体４１の下端や前方揺動体４２の下端にペーストＰｓｔが付着してしまったとすると、そのペーストＰｓｔが後方揺動体４１或いは前方揺動体４２の揺動動作に伴ってスクリーン印刷装置１の内部に拡散してしまい、その拡散したペーストＰｓｔによってスクリーン印刷装置１の内部機構のほか、印刷前及び印刷後の基板２が汚損されることになる。拡散したペーストＰｓｔを除去する作業には多大な時間を要することになるので、本実施の形態のように、前方揺動体４２の下端にペーストＰｓｔを付着させない構成による効果は極めて大きい。

なお、スキージ２３の幅（Ｘ軸方向の寸法であり、図１６（ａ）中に示す寸法Ｒ）はマスクフレーム１５Ｆの２つの縦桟部１５ｃの間の間隔よりも小さく、従ってスキージ２３から垂れたペーストＰｓｔがマスクフレーム１５Ｆの横桟部の上面に付着するＸ軸方向の領域は前方揺動体４２の２つの溝部４２Ｍの間の領域に限定される。このため本実施の形態のように、前方揺動体４２の２つの突起部４２Ｐは、前方揺動体４２の後面側であって、中央部４２ＴのＸ軸方向の端部の位置に設けられているのであれば、２つの突起部４２Ｐが横桟部の上面に付着したペーストＰｓｔと接触することはなく、前方揺動体４２のどの箇所にもペーストＰｓｔは付着しない。

すなわち、ペーストＰｓｔがマスクフレーム１５Ｆに落下するエリアは、スキージ２３が移動するエリアをマスク１５が通過する所に限られて、マスクフレーム１５Ｆ上におけるペーストＰｓｔの落下エリアを特定することができるので、ペーストＰｓｔが落下する可能性のあるマスクフレーム１５Ｆ上に前方揺動体４２の下端が接しないように突起部４２Ｐを形成すればよく、突起部４２Ｐの形成位置は、図６（ａ），（ｂ）等に示す位置でなくても構わない。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１（及びスクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷方法）では、複数の揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）それぞれの姿勢の変化に基づいて、マスク取出し開口１７Ｔから異物（作業者ＯＰの手）が挿入された状態を検出し、その場合には所定の動作機構部の動作を停止させるようになっている。このため、作業者ＯＰは、印刷作業中であっても安全が確保された状態で使用済みのマスク１５をマスク取出し開口１７Ｔから取り出すことができる。すなわち、今までは、スクリーン印刷動作を停止させて、マスク交換を実施していたが、本実施の形態では、危険を検知した場合を除き、スクリーン印刷動作を停止させることなく印刷済みのマスク１５を取り出すことが可能である。このため、印刷作業効率の向上を図ることができる。複数の揺動体（後方揺動体４１及び前方揺動体４２）は上記のようにマスク取出し開口１７Ｔから異物（作業者ＯＰの手）が挿入された場合にこれを検出するほか、作業者ＯＰが容易に手をマスク取出し開口１７Ｔから挿入し得ないようにする（挿入を邪魔する）効果も有しており、これにより作業者ＯＰの安全が図られる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、揺動体（前方揺動体４２）が、マスク取出し開口１７Ｔから取り出されるマスク１５よりもマスク１５の進行方向と直交する水平方向の外側に張り出した２つの側方張出部４２Ｈを備えた形状を有したものであったが、揺動体の形状等は特に問わない。

また、上述の実施の形態では、スクリーン印刷装置１の後部側からマスク１５を挿入し、スクリーン印刷装置１の前部側からマスク１５を取り出す構成で説明したが、その他の構成でも構わない。また、本実施の形態では、後部扉１８及び前部扉１９は下方に揺動させて開く構成となっていたが、上方に開く構成であっても構わない。後部扉１８及び前部扉１９それぞれの開扉状態を安定的に維持し得るようにする観点からは、下方に開く構成の方が望ましい。また、後方揺動体４１及び前方揺動体４２にはストッパーがついており、印刷作業位置Ｐ２方向へ揺動しない構成とすることが望ましい。これは、異物の挿入抑制と、前部扉１９からのマスク逆挿入防止になる。

また、上述の実施の形態では、前部扉ロック機構１９ｂは、前部扉１９を機械的にロックする形式となっていたが、機械的にロックするものでなくても構わない。マスク１５の飛び出し防止及びマスク取出し時以外のときにマスク取出し開口１７Ｔから作業者ＯＰの手が入ることを防止するためには、機械的にロックするものであることが望ましい。また、上述の実施の形態では、光反射型の揺動体センサと扇型形状の光反射部４４によって揺動体の揺動状態を検出する構成であったが、揺動体が垂下姿勢にあるか揺動姿勢にあるかを検出できるのであれば、その他の構成であってもよい。揺動体センサは故障検出機能があるものを使用することが望ましい。また、異常検知後の再起動（復帰）については、作業者ＯＰから再起動の指示があり、制御装置６０にて前部扉１９が閉まっており、後方揺動体４１及び前方揺動体４２がともに垂下状態を検知できた場合（マスク１５及び異物がマスク退避位置Ｐ３に存在しない状態）とすることが望ましい。

また、上述の実施の形態では、スキージング機構１６が、印刷作業位置Ｐ２に位置した使用済みのマスク１５をマスク退避位置Ｐ３に移動させる移動機構を兼ねたものとなっていたが、スキージング機構１６が移動機構を兼務するのではなく、マスク１５の移動のために設置された専用の機構が用いられるのであってもよい。また、上述の実施の形態では、説明の便宜上、スクリーン印刷装置１の後部から次に印刷するマスク１５を挿入し、前部から印刷済みのマスク１５を取り出す例で説明したが、工場ラインの設備構成によっては、その逆の構成であっても構わない。

作業者の安全を確保しつつ、スクリーン印刷作業中に作業者がマスクを取り出すことができるようにして作業効率の向上を図ることができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

１ スクリーン印刷装置
２ 基板
１５ マスク
１６ スキージング機構（移動機構）
１７Ｔ マスク取出し開口
４１ 後方揺動体（揺動体）
４２ 前方揺動体（揺動体）
４５ａ 後方揺動体センサ（揺動体センサ）
４５ｂ 前方揺動体センサ（揺動体センサ）
６０ａ 異物検出部（異物検出手段）
６０ｂ 停止制御部（動作停止手段）
Ｐ２ 印刷作業位置
Ｐ３ マスク退避位置
Ｐｓｔ ペースト

Claims (3)

1. 印刷作業位置に位置させたマスクに基板を接触させて前記基板にペーストを印刷し、前記印刷作業位置に位置した使用済みのマスクを移動機構によってマスク退避位置に位置させることで前記マスク退避位置に位置した前記使用済みのマスクをマスク取出し開口から取り出すことができるスクリーン印刷装置であって、
   前記印刷作業位置に位置した前記マスクが前記移動機構によって前記マスク退避位置に位置されるまでの前記マスクの移動経路中に、前記マスクと当接して揺動する複数の揺動体と、
   前記複数の揺動体それぞれの姿勢を検出する複数の揺動体センサと、
   前記複数の揺動体センサにより検出される前記複数の揺動体それぞれの姿勢の変化に基づいて、前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態を検出する異物検出手段と、
   前記異物検出手段により前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態が検出された場合に所定の動作機構部の動作を停止させる動作停止手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 前記異物検出手段は、前記複数の揺動体それぞれの姿勢変化が、前記複数の揺動体が前記マスクによって揺動された場合と、前記複数の揺動体が前記マスク取出し開口から挿入された異物によって揺動された場合とで異なることに基づいて、前記マスク取出し開口から前記異物が挿入された状態を検出することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. 印刷作業位置に位置させたマスクに基板を接触させて前記基板にペーストを印刷し、前記印刷作業位置に位置した使用済みのマスクを移動機構によってマスク退避位置に位置させることで前記マスク退避位置に位置した前記使用済みのマスクをマスク取出し開口から取り出すことができるスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷方法であって、
   前記印刷作業位置に位置した前記マスクが前記移動機構によって前記マスク退避位置に位置されるまでの前記マスクの移動経路中に設けられて前記マスクと当接して揺動する複数の揺動体それぞれの姿勢の変化に基づいて、前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態を検出する異物検出工程を、
   前記異物検出工程で前記マスク取出し開口から異物が挿入された状態が検出された場合に所定の動作機構部の動作を停止させる動作停止工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。

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