JP2018151223A - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
対して後退して設けられる。この後退した領域を凹部161cとする。別の表現では、貫通配線114aが有する第2の部分151bは、第1の面141aと反対の面である第3の面141cにおいて、第2の基板131aを分断するように設けられる。
図7は、加速度センサ100の製造工程のうち、第2の基板131aの凹部161a、161b、161cを形成する工程を示した図である。
軸方向)の幅は、例えば、貫通配線114aの第2の部分(貫通配線114b、貫通配線114c)の前記第3の面に垂直な方向(図9のZ軸方向)の幅よりも、大きい。なお、凹部361a(凹部361b、凹部361c)の前記第3の面に垂直な方向(図9のZ軸方向)の幅は、例えば、貫通配線114aの第2の部分(貫通配線114b、貫通配線114c)の前記第3の面に垂直な方向(図9のZ軸方向)の幅よりも、小さくてもよい。後述する金属ワイヤの接合に必要な面積が凹部361a(凹部361b、凹部361c)の内面にあればよい。
なお、第1の溝部302a、第2の溝部302bは例えば、レーザーやハーフダイシングなどの技術を用いて電極と第2の基板131aとを切削加工することで形成される。
101、201、301、401、501、601 加速度センサ素子
104 パッケージ基板
105 リード端子
106 外部基板
111 錘部
113 支持部
112a、112b 梁部
114a、114b、114c、114d 貫通配線
115a、115c 固定電極
130 第1の基板
131a 第2の基板
131b 第3の基板
141a 第1の面
141b 第2の面
141c 第3の面
151a 第1の部分
151b 第2の部分
161a、161b、161c、361a、361b、361c 凹部
171 基板
202a、202b 絶縁層
202c 島部
204a 第1の電極
204b 第2の電極
204c 第3の電極
206 凹部
302a 第1の溝部
302b 第2の溝部
371 金属ワイヤ
372 外部基板
374 電極層
414a、414b、414c、414d 貫通配線
503a、503b 突起電極
Claims (5)
- 第1の面と前記第1の面に垂直な第2の面と前記第1の面に対向する第3の面とを有するガラス基板と、
前記ガラス基板の内部に埋設される第1の配線と、
前記ガラス基板の上に設けられる突起電極と、を備え、
前記第1の配線は、
前記第1の面から垂直に延びる第1の部分と、
前記第1の部分に接続され、前記第1の面と平行に前記第2の面まで延びる第2の部分と、を有し、
前記突起電極は、第2の部分の上に設けられる慣性力センサ。 - 前記突起電極は前記第2の面から後退して設けられている請求項1の慣性力センサ。
- 前記突起電極の表面粗さは前記第2の面の表面粗さより小さい請求項1の慣性力センサ。
- 前記突起電極は前記ガラス基板の一端から他端まで設けられる請求項1の慣性力センサ。
- 上面視で、前記突起電極の幅は前記第2の部分の幅より大きい請求項1の慣性力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2017
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