JP2018142574A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
これに対して、これらの作業を精度よくかつ確実に行うために、被処理対象物を適所に支持し、効率的に離間又は着脱等させて次工程に進める必要がある。
その一例として、基板等の被処理対象物に対して部品の実装等の作業を行う際に、被処理対象物を安定的かつ安全に支持するための部材支持装置等が提案されている(例えば、特許文献1)。
本発明は、特に、半導体装置の製造工程における所定部材による固定、押さえ、挟み、摘み、持ち上げ等を精度よくかつ確実に進めることができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
支持体上に載置した基板に第1押さえピンと第2押さえピンを含む複数の押さえピンを上方から当接させて前記基板を固定し、
前記第1押さえピンを前記基板から離間させ、その後前記第2押さえピンを前記基板から離間させて、前記複数の押さえピンを前記基板から離間させることを含む半導体装置の製造方法。
ここでの半導体装置とは、発光ダイオード、半導体レーザ等の発光素子にかかわらず、記憶装置、集積回路、各種センサ等の種々の半導体装置を包含する。
このような半導体装置の製造方法は、半導体装置における各種製造工程に適用することができる。例えば、リフロー工程において、装置内に導入した基板を加熱する場合、基板又は基板上に適用された各種膜又は部品等に起因する揮発成分によって基板表面が粘着性を帯びる場合、基板等の上に流動性又は粘着性等を有する材料を塗工する場合等が挙げられる。
まず、図1Aに示すように、支持体14上に基板15を固定する。
ここで用いられる支持体14は、半導体装置の製造工程に利用される装置等の支持体であれば、どのようなものでも利用することができる。なかでも、基板15を加熱し得るヒーター16等が内部に搭載されたもの、溶剤、液剤等の塗布又は部材の実装、配置等の際に基板を所定位置に載置し得るものが挙げられる。具体的には、リフロー装置、成膜装置、エッチング装置、スプレー装置、ポッティング装置、素子又は各種部材の実装装置、半田等の導電性ペースト等の印刷装置、接着剤等の塗布装置等、種々の装置の支持体が挙げられる。
押さえピンの構成材料は、押さえる基板の種類、大きさ、搭載する装置等によって適宜調整することができる。例えば、金属製、樹脂製、セラミックス製、ガラス製、鉱物性及びこれらの複合材料製等、いずれの材料によって形成されたものでもよい。例えば、SUSが好ましい。
押さえピンの形状は、例えば、円柱状、多角形柱状、紡錘形状これらの変形等の形状が挙げられる。押さえピンの先端は、平面であってもよいし、曲面であってもよいし、基板表面を損傷しない程度に尖っていてもよいが、なかでも平面が好ましい。これにより、基板15を安定して押さえることができる。しかし、その場合には基板15の持ち上がりが発生しやすいため、本実施形態の効果を有効に得ることができる。
本願においては、複数のピンのうち、最後に基板15から離間する押さえピンを第2押さえピン12と称し、第2押さえピン12以外の全ての押さえピンを第1押さえピン11と称する。
第1押さえピン11及び第2押さえピン12は、全部又は一部が同じ材料、同じ形状、同じ大きさ、同じ数を有していてもよいし、異なる材料、異なる形状、異なる大きさ、異なる数を有していてもよい。なかでも、全部が同じ材料、同じ形状、同じ平面積であることが好ましい。
押さえピン13は、基板15の周縁部にあたる位置に配置することが好ましい。また、基板15の同じ辺を押さえる隣接する押さえピン13の間隔がほぼ均等になるよう配置することが好ましい。
基板15を押さえピンによって支持体14上に固定した後、基板15に対して任意の処理を行う。
ここでの処理は、どのような処理であってもよい。例えば、発光素子を基板15に実装する処理、基板15を加熱する処理、半田等の導電性ペーストを印刷する処理、各種部材を基板15上に搭載(接着させる)する処理、基板15上に流動剤又は半流動剤をポッティング又は塗布等する処理等が挙げられる。この場合、基板15の持ち上がりが起こりやすい、揮発性成分、粘着性又は接着性成分、加熱により揮発するか、粘着又は接着性を発揮する成分等を用いる処理に対して、好適に適用することができる。
処理後、基板15から、まず、図1Bに示すように、第1押さえピン11を離間させる。この場合、第1押さえピン11は、その数にかかわらず、全部を同時に離間させてもよいし、任意のタイミングで離間させてもよい。どのような離間状態であっても、第2押さえピン12による基板15の固定が確保されているためである。
その後、図1Cに示すように、第2押さえピン12を基板15から離間させる。この場合、第2押さえピン12は、その数にかかわらず、全部を同時に離間させることが好ましい。
押さえピン13は、押さえピン13を保持する保持体17の下方向の移動によって、基板15に対して、第1押さえピン11及び第2押さえピン12の双方が、時間差があっても、基板に対して上述した適度の固定を実現し得る圧力によって基板を固定することができる機構を備えることが好ましい。さらに、押さえピン13を基板15から離間させる場合、保持体17の上方向の移動によって、基板15に対して、まず、第1押さえピン11が基板15から離間し、次いで、第2押さえピン12が基板15から離間させることができる機構を備えることが好ましい。また、上述したように、基板15を固定した後、基板15に処理を施す間、第1押さえピン及び第2押さえピンの双方が、基板15に対して均等な圧力の負荷により、基板のずれ、移動等が起こらないような機構とすることがより好ましい。
このような機能を実現するために、公知の押さえピンの機構、例えば、特開2010−114242号公報等に記載の機構を利用してもよい。
なお、第2押さえピン12だけでなく、第1押さえピン11を含む押さえピン13に同様のばね機構を備えつけることで、押さえピン13の長さや基板15の凹凸等による距離のばらつきを吸収することができ、より基板15を安定して保持することができる。
まず、ガラスエポキシの基材の上面に一対の電極が設けられた基板15を準備する。この基板の電極の上面に、Au−Snの粒子の半田材料と揮発性成分の溶融助剤であるフラックスを混合した接合材料を配置する。次に、発光素子の一対の電極と基板15の一対の電極とが対向するように、発光素子を、接合材料を介して基板15上に配置する。次に、基板15を支持体上に配置し、保持体17に配置された8本の第1押さえピン11と2本の第2押さえピン12で基板15を押さえ、固定する。次に、基板15を押さえピン13で固定した状態で、230度に設定したリフロー炉に通し、半田を溶融させ、発光素子と基板15とを接合する。次に、保持体17を上昇させる。この時、まず第1押さえピン11を基板15から離間させ、次に、第2押さえピン12を離間させる。
12 第2押さえピン
13 押さえピン
14 支持体
15 基板
16 ヒーター
17 保持体
18 ナット
19 ワッシャー(スペーサ)
Claims (8)
- 支持体上に載置した基板に第1押さえピンと第2押さえピンを含む複数の押さえピンを上方から当接させて前記基板を固定し、
前記第1押さえピンを前記基板から離間させ、その後前記第2押さえピンを前記基板から離間させて、前記複数の押さえピンを前記基板から離間させることを含む半導体装置の製造方法。 - 前記基板を支持体上に固定した後、前記第1押さえピンを前記基板から離間させる前に、発光素子を前記基板に実装する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板を支持体上に固定した後、前記基板を加熱し、その後、前記第1押さえピンを前記基板から離間させる請求項1〜2のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記発光素子を前記基板に実装する際、揮発性成分を含む材料を用いる請求項2又は3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1押さえピンと前記第2押さえピンとの長さを異ならせる請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1押さえピンと前記第2押さえピンとの長さの差を約1〜5mmとする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板が上面視において矩形であって、前記基板の矩形の角の一つにおいて前記第2押さえピンを当接する請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1押さえピンと前記基板との総接触面積を、前記第2押さえピンと前記基板との総接触面積よりも大きくする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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