JP2018133647A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 支持基板に周囲が固定された圧電膜と、該圧電膜を挟んで配置する一対の電極とを備えた圧電素子において、
前記圧電膜は、少なくとも第1の圧電膜と第2の圧電膜を含む積層構造からなることと、
前記第1の圧電膜を挟んで配置する前記一対の電極を複数組備え、少なくとも第1の圧電素子および第2の圧電素子が形成されていることと、
前記第2の圧電膜を挟んで配置する前記一対の電極を複数組備え、少なくとも第3の圧電素子および第4の圧電素子が形成されていることと、
前記支持基板に固定された圧電膜の固定部側に、前記第1の圧電素子および前記第3の圧電素子を配置し、前記圧電膜の中心側に、前記第2の圧電素子および前記第4の圧電素子を配置していることと、
前記第1の圧電素子と前記第3の圧電素子が並列に接続し、前記第2の圧電素子と前記第4の圧電素子が並列に接続し、前記前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子が直列に接続し、前記第3の圧電素子と前記第4の圧電素子が直列に接続していることと、
前記第1の圧電素子と前記第3の圧電素子とが上下対称に積層形成され、前記第2の圧電素子と前記第4の圧電素子とが上下対称に積層形成されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1記載の圧電素子において、
前記第1乃至第4の圧電素子からなる圧電素子の組が、前記圧電膜の中心を通る区画線によって区画される複数の領域に、それぞれ配置していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1又は2いずれか記載の圧電素子において、
前記並列に接続した圧電素子の組は、前記第1の圧電膜あるいは前記第2の圧電膜の表面、裏面あるいは膜間に配置された前記圧電素子の電極から連続する延長部により接続していることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至3いずれか記載の圧電素子において、
振動により前記圧電膜が湾曲変位した場合に、該変位の変曲点により区画される領域毎に、少なくとも前記上下対称に積層形成された前記第1の圧電素子および前記第3の圧電素子からなる圧電素子の組と、前記第2の圧電素子および前記第4の圧電素子からなる圧電素子の組のいずれかが配置されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至4いずれか記載の圧電素子において、
前記圧電膜は、音響圧力によって振動する膜であることを特徴とする圧電素子。
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