JP2018129882A - 磁気軸受装置および真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロータ軸5をラジアル方向に磁気浮上支持する磁気軸受電磁石45と、ロータ軸5のラジアル方向の変位を検出する変位センサ50と、変位センサ50により検出されたセンサ位置変位Dxs1,Dys1,Dxs2,Dys2を、磁気軸受電磁石45の位置における磁石位置変位Dxm1,Dym1,Dxm2,Dym2に変換する変位変換部442と、磁石位置変位Dxm1,Dym1,Dxm2,Dym2に基づいて磁気軸受電磁石45の励磁電流を制御して、ロータ軸5の浮上位置を所定位置に制御する電流制御部443と、を備える。
【選択図】図5
Description
さらに好ましい実施形態では、前記センサ位置変位の値が所定範囲に含まれる場合には、前記磁石位置変位に基づいて前記ラジアル磁気軸受電磁石の励磁電流を制御し、前記センサ位置変位の値が前記所定範囲に含まれない場合には、前記センサ位置変位に基づいて前記ラジアル磁気軸受電磁石の励磁電流を制御する。
さらに好ましい実施形態では、前記センサ位置変位の値が所定範囲に含まれる場合における前記電流制御部のゲインを、前記センサ位置変位の値が前記所定範囲に含まれない場合における前記電流制御部のゲインよりも小さく設定する。本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、ポンプロータと、前記ポンプロータを回転駆動するモータと、前記ポンプロータのロータ軸を磁気浮上支持する上記磁気軸受装置と、を備える。
−第1の実施の形態−
図1は、磁気軸受装置を備えた磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。ターボ分子ポンプは、ポンプ本体1と、ポンプ本体1を駆動制御するコントロールユニットとにより構成されている。なお、図1では、コントロールユニットの図示を省略した。
Fp=k((I+Δi)/(D−Δdr))2 …(1)
Fm=k((I−Δi)/(D+Δdr))2 …(2)
ΔFp=(2kI/D2)Δi+(2kI2/D3)Δdr …(3)
ΔFm=(−2kI/D2)Δi+(−2kI2/D3)Δdr …(4)
ΔF=ΔFp−ΔFm
=(4kI/D2)Δi+(4kI2/D3)Δdr …(5)
(4kI/D2)|Δi|>(4kI2/D3)|Δdr| …(6)
Dxm1(t)=(l1−L1)/(L1+L2)×{Dxs1(t)−Dxs2(t)}+Dxs1(t)…(7)
Dxm2(t)=(−l2−L1)/(L1+L2)×{Dxs1(t)−Dxs2(t)}+Dxs1(t)…(8)
Dym1(t)=(l1−L1)/(L1+L2)×{Dys1(t)−Dys2(t)}+Dys1(t)…(9)
Dym2(t)=(−l2−L1)/(L1+L2)×{Dys1(t)−Dys2(t)}+Dys1(t)…(10)
図8は、第2の実施の形態における磁気軸受制御系の概略構成を示すブロック図である。図8に示す構成では、図5に示すブロック図の構成に信号選択部445をさらに設けた。以下では、図5の構成と異なる部分を中心に説明する。
Claims (4)
- ロータ軸をラジアル方向に磁気浮上支持するラジアル磁気軸受電磁石と、
前記ロータ軸のラジアル方向の変位を検出する変位センサと、
前記変位センサにより検出されたセンサ位置変位を、前記ラジアル磁気軸受電磁石の位置における磁石位置変位に変換する変位変換部と、
前記磁石位置変位に基づいて前記ラジアル磁気軸受電磁石の励磁電流を制御して、前記ロータ軸の浮上位置を所定位置に制御する電流制御部と、を備える磁気軸受装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受装置において、
前記センサ位置変位の値が所定範囲に含まれる場合には、前記磁石位置変位に基づいて前記ラジアル磁気軸受電磁石の励磁電流を制御し、
前記センサ位置変位の値が前記所定範囲に含まれない場合には、前記センサ位置変位に基づいて前記ラジアル磁気軸受電磁石の励磁電流を制御する、磁気軸受装置。 - 請求項2に記載の磁気軸受装置において、
前記センサ位置変位の値が所定範囲に含まれる場合における前記電流制御部のゲインを、前記センサ位置変位の値が前記所定範囲に含まれない場合における前記電流制御部のゲインよりも小さく設定する、磁気軸受装置。 - ポンプロータと、
前記ポンプロータを回転駆動するモータと、
前記ポンプロータのロータ軸を磁気浮上支持する請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の磁気軸受装置と、を備える真空ポンプ。
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JP2017019644A JP6801481B2 (ja) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
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JP2017019644A JP6801481B2 (ja) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114251358A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-03-29 | 北京高孚动力科技有限公司 | 一种主动磁轴承转子跌落保护方法 |
WO2022222562A1 (zh) * | 2021-04-19 | 2022-10-27 | 青岛海尔生物医疗科技有限公司 | 一种离心机 |
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2017
- 2017-02-06 JP JP2017019644A patent/JP6801481B2/ja active Active
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WO2022222562A1 (zh) * | 2021-04-19 | 2022-10-27 | 青岛海尔生物医疗科技有限公司 | 一种离心机 |
CN114251358A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-03-29 | 北京高孚动力科技有限公司 | 一种主动磁轴承转子跌落保护方法 |
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