JP6695541B2 - 磁気軸受制御装置および真空ポンプ - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、前記電圧相当信号は、前記電流偏差信号に一定の第1ゲイン値を乗算した信号を、時間積分値を出力する積分器と比例倍値を出力する比例ゲイン器とから成る電流制御器に通過させて生成される第1電圧相当信号と、前記電流設定信号を、前記磁気軸受の電磁石の電気定数から成る伝達関数を相殺するように設定された伝達関数部に通過させて生成される第2電圧相当信号と、を加算混合した信号である。
さらに好ましい実施形態では、前記電流偏差信号に一定の第1ゲイン値を乗算した信号を時間積分値を出力する積分器に通過させて生成される信号と、前記電流設定信号とを加算混合し、前記加算混合した信号を、前記磁気軸受の電磁石の電気定数から成る伝達関数を相殺するように設定された伝達関数部に通過させて前記電圧相当信号を生成する。
さらに好ましい実施形態では、前記電流設定信号に代えて、前記電流設定信号に0.5から1までの一定の第2ゲイン値を乗算したものを用いる。
さらに好ましい実施形態では、前記電流偏差信号は、前記電流設定信号に所定の第3ゲイン値を乗算した信号と前記励磁電流検出信号に前記第3ゲイン値を乗算した信号との差として算出され、前記第1ゲイン値は前記第3ゲイン値の10倍以上1000倍以下に設定される。
さらに好ましい実施形態では、前記伝達関数部の伝達関数には、前記電磁石の電気定数に基づいて設定されるインダクタンス相当値および抵抗相当値が含まれ、
前記インダクタンス相当値は、前記電磁石のインダクタンスの0.1倍以上10倍以下に設定され、前記抵抗相当値は、前記電磁石の抵抗の0.1倍以上10倍以下に設定され、前記インダクタンス相当値と前記抵抗相当値との比(インダクタンス相当値)/(抵抗相当値)は、前記インダクタンスと前記抵抗との比(インダクタンス)/(抵抗)の0.1倍以上10倍以下に設定される。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、ポンプロータを磁気浮上支持する磁気軸受と、前記ポンプロータを回転駆動するモータと、前記磁気軸受を制御する前記磁気軸受制御装置と、を備える。
図9は上述した実施の形態の変形例1を示す図であり、図8の伝達関数ブロック図に対応するものである。図9に示す伝達関数ブロック図では、図8のPI制御の部分をI制御+(L*S+R*)という形に分解した構造となっている。このような構成でも、図8に示す場合と同様の作用効果を奏することができる。
図10〜13は、上述した実施の形態の変形例2を説明する図である。図8,9において(L*S+R*)を含む伝達関数はプロパーである必要があり、例えば、微分器+比例器という構成を、次式(1)〜(3)のような疑似微分器+比例器という構成としても良い。図10は(L*S+R*)のボード線図を示したものである。これに対して、図11は式(1)の場合のボード線図、図12は式(2)の場合のボード線図、図13は式(3)の場合のボード線図である。
(1) ωn2(L*S+R*)/(S2+2ξωnS+ωn2) ただし、1/ωn≪L*/R*
(2) (L*S+R*)/(TnS+1) ただし、Tn≪L*/R*
(3) L*S/(TnS+1)+R* ただし、Tn≪L*/R*
(1)図5のように励磁アンプ43p、43mからロータを磁気浮上させる磁気軸受へ供給される励磁電流を電流センサ(不図示)により検出し、浮上目標位置に対するロータ浮上位置の偏差に基づく電流設定信号isetと前記電流センサの電流検出信号Ip,Imとに基づいて、励磁アンプ43p、43mをPWM制御するための電圧相当信号を生成する磁気軸受制御装置において、電圧相当信号は、電流設定信号isetと電流検出信号Ip,Imとの差である電流偏差信号および電流設定信号isetに基づいて生成される。
Claims (7)
- 励磁アンプからロータを磁気浮上させる磁気軸受へ供給される励磁電流をセンサにより検出し、浮上目標位置に対するロータ浮上位置の偏差に基づく電流設定信号と前記センサの励磁電流検出信号とに基づいて、前記励磁アンプをPWM制御するための電圧相当信号を生成する磁気軸受制御装置において、
前記電流設定信号と励磁電流検出信号との差である電流偏差信号および前記電流設定信号に基づいて、前記電圧相当信号を生成する磁気軸受制御装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受制御装置において、
前記電圧相当信号は、
前記電流偏差信号に一定の第1ゲイン値を乗算した信号を、時間積分値を出力する積分器と比例倍値を出力する比例ゲイン器とから成る電流制御器に通過させて生成される第1電圧相当信号と、
前記電流設定信号を、前記磁気軸受の電磁石の電気定数から成る伝達関数を相殺するように設定された伝達関数部に通過させて生成される第2電圧相当信号と、
を加算混合した信号である、磁気軸受制御装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受制御装置において、
前記電流偏差信号に一定の第1ゲイン値を乗算した信号を時間積分値を出力する積分器に通過させて生成される信号と、前記電流設定信号とを加算混合し、
前記加算混合した信号を、前記磁気軸受の電磁石の電気定数から成る伝達関数を相殺するように設定された伝達関数部に通過させて前記電圧相当信号を生成する、磁気軸受制御装置。 - 請求項2または請求項3に記載の磁気軸受制御装置において、
前記電流設定信号に代えて、前記電流設定信号に0.5から1までの一定の第2ゲイン値を乗算したものを用いる、磁気軸受制御装置。 - 請求項2または請求項3に記載の磁気軸受制御装置において、
前記電流偏差信号は、前記電流設定信号に所定の第3ゲイン値を乗算した信号と前記励磁電流検出信号に前記第3ゲイン値を乗算した信号との差として算出され、
前記第1ゲイン値は前記第3ゲイン値の10倍以上1000倍以下に設定される、磁気軸受制御装置。 - 請求項2または請求項3に記載の磁気軸受制御装置において、
前記伝達関数部の伝達関数には、前記電磁石の電気定数に基づいて設定されるインダクタンス相当値および抵抗相当値が含まれ、
前記インダクタンス相当値は、前記電磁石のインダクタンスの0.1倍以上10倍以下に設定され、
前記抵抗相当値は、前記電磁石の抵抗の0.1倍以上10倍以下に設定され、
前記インダクタンス相当値と前記抵抗相当値との比(インダクタンス相当値)/(抵抗相当値)は、前記インダクタンスと前記抵抗との比(インダクタンス)/(抵抗)の0.1倍以上10倍以下に設定される、磁気軸受制御装置。 - ポンプロータを磁気浮上支持する磁気軸受と、
前記ポンプロータを回転駆動するモータと、
前記磁気軸受を制御する請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の磁気軸受制御装置と、を備える真空ポンプ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016837A JP6695541B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 磁気軸受制御装置および真空ポンプ |
CN201710756833.4A CN108374800B (zh) | 2017-02-01 | 2017-08-29 | 磁轴承控制装置及真空泵 |
US15/716,766 US10619669B2 (en) | 2017-02-01 | 2017-09-27 | Magnetic bearing control device and vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016837A JP6695541B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 磁気軸受制御装置および真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018123901A JP2018123901A (ja) | 2018-08-09 |
JP6695541B2 true JP6695541B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=62977709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017016837A Active JP6695541B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 磁気軸受制御装置および真空ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10619669B2 (ja) |
JP (1) | JP6695541B2 (ja) |
CN (1) | CN108374800B (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7003418B2 (ja) * | 2017-02-17 | 2022-01-20 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
JP6948147B2 (ja) * | 2017-04-18 | 2021-10-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト |
US10940764B2 (en) | 2017-07-27 | 2021-03-09 | Hyperloop Technologies, Inc. | Augmented permanent magnet system |
JP7155531B2 (ja) * | 2018-02-14 | 2022-10-19 | 株式会社島津製作所 | 磁気浮上制御装置および真空ポンプ |
CN109707733B (zh) * | 2018-11-27 | 2020-05-22 | 清华大学 | 一种磁轴承隔振与抗冲击控制方法及系统 |
CN109630545B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-01-31 | 燕山大学 | 一种单自由度磁液双悬浮轴承双闭环控制系统及方法 |
JP7164471B2 (ja) * | 2019-03-15 | 2022-11-01 | エドワーズ株式会社 | 制御装置、及び該制御装置を備えた真空ポンプ |
CN110068779A (zh) * | 2019-06-12 | 2019-07-30 | 邢台子中电子科技有限公司 | 一种鉴别凸波的比例积分电路及方法 |
CN110894855A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-03-20 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种新型磁悬浮轴承总成 |
CN111473049B (zh) * | 2020-04-17 | 2021-08-20 | 河海大学 | 一种实心定子磁悬浮励磁电流的控制方法 |
CN111927797B (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-05 | 天津飞旋科技有限公司 | 磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统 |
CN116722767B (zh) * | 2023-06-29 | 2024-04-02 | 河南科技大学 | 无轴承无刷直流电机的径向位移控制器的参数整定方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5300841A (en) * | 1992-11-02 | 1994-04-05 | General Electric Company | Inductive air gap estimation method for active magnetic bearings |
CN1270108C (zh) * | 2005-01-27 | 2006-08-16 | 北京航空航天大学 | 一种低功耗永磁偏置轴向磁轴承 |
EP2251796A3 (en) | 2006-07-31 | 2011-02-02 | Cluster Seven Limited | Storage and processing of spreadsheets |
CN100538095C (zh) * | 2007-08-24 | 2009-09-09 | 北京航空航天大学 | 一种用于磁轴承系统基于空间矢量技术的开关功率放大器 |
CN101488031B (zh) * | 2009-02-16 | 2011-02-02 | 北京航空航天大学 | 一种基于干扰观测器的高精度磁轴承轴向控制方法 |
JP6015000B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2016-10-26 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP6131602B2 (ja) | 2013-01-17 | 2017-05-24 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
US9624974B2 (en) * | 2013-01-28 | 2017-04-18 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing device and vacuum pump |
JP6244734B2 (ja) * | 2013-08-14 | 2017-12-13 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
CN103728883B (zh) * | 2014-01-14 | 2016-02-03 | 渤海大学 | 无位置传感器主动控制型磁悬浮系统的控制方法 |
EP2937976B1 (en) * | 2014-04-22 | 2017-11-22 | Skf Magnetic Mechatronics | Electronic magnetic bearing controller with an automatic reactive power compensation device |
-
2017
- 2017-02-01 JP JP2017016837A patent/JP6695541B2/ja active Active
- 2017-08-29 CN CN201710756833.4A patent/CN108374800B/zh active Active
- 2017-09-27 US US15/716,766 patent/US10619669B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108374800B (zh) | 2020-06-16 |
US20180216665A1 (en) | 2018-08-02 |
US10619669B2 (en) | 2020-04-14 |
CN108374800A (zh) | 2018-08-07 |
JP2018123901A (ja) | 2018-08-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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