JP2018125378A - Dry film, cured product, printed wiring board, and method for manufacturing cured product - Google Patents

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a dry film which enables the formation of such a cured product that unevenness is little in its surface even when cured by heat, without peeling the film; a cured product of a resin layer of the dry film; a printed wiring board having the cured product; and a method for manufacturing the cured product.SOLUTION: Disclosed are a dry film and the others. The dry film is arranged by laminating a resin layer on a film. The resin layer is a thermosetting resin layer including a thermosetting resin and a hardening agent. The different in heat change rate (%) of the length of the film between lengthwise and crosswise directions thereof is 2.7% or less. As the hardening agent, at least two kinds selected from a phenol resin, a cyanate ester resin and an active ester resin are included.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板、および、硬化物の製造方法に関する。   The present invention relates to a dry film, a cured product, a printed wiring board, and a method for producing the cured product.

従来、電子機器等に用いられるプリント配線板に設けられるソルダーレジストや層間絶縁層等の保護膜や絶縁層の形成手段の一つとして、ドライフィルム(積層フィルム)が利用されている(例えば特許文献1)。ドライフィルムは、所望の特性を有する樹脂組成物をキャリアフィルムの上に塗布後、乾燥工程を経て得られる樹脂層を有し、一般的には、キャリアフィルムとは反対側の面を保護するための保護フィルムがさらに積層された状態で市場に流通している。ドライフィルムの樹脂層を基板に貼着(以下「ラミネート」とも称する)した後、パターニングや硬化処理を施すことによって、上記のような保護膜や絶縁層を有するプリント配線板を製造することができる。   Conventionally, a dry film (laminated film) has been used as one of means for forming a protective film or an insulating layer such as a solder resist or an interlayer insulating layer provided on a printed wiring board used in an electronic device or the like (for example, Patent Documents). 1). A dry film has a resin layer obtained by applying a resin composition having desired characteristics on a carrier film and then a drying process, and generally protects the surface opposite to the carrier film. The protective film is further distributed on the market. After the resin layer of the dry film is adhered to the substrate (hereinafter also referred to as “laminate”), the printed wiring board having the protective film and the insulating layer as described above can be manufactured by performing patterning and curing treatment. .

特開2015−010179号公報JP, 2015-010179, A

ドライフィルムを用いて形成した樹脂層の硬化物のパターニングの方法の一つとして、レーザー加工が行われている。従来は、保護フィルムを剥がし、樹脂層を基材にラミネートした後、キャリアフィルムを剥がしてから熱硬化を行い、レーザー加工していた。しかしながら、近年は、埃等からの樹脂表面の保護や樹脂表面の平坦性の観点から、キャリアフィルムを剥がさずに熱硬化およびレーザー照射を行ってパターニングすることが注目されている。また、キャリアフィルムを剥がさずにレーザー加工し、キャリアフィルムにレーザーをある程度吸収させることによって、レーザー加工による開口径をより微細にしたり、レーザーが硬化物に与えるダメージを低減する技術も着目されている。   Laser processing is performed as one of the methods for patterning a cured product of a resin layer formed using a dry film. Conventionally, after removing the protective film and laminating the resin layer on the base material, the carrier film is peeled off, followed by thermosetting and laser processing. However, in recent years, from the viewpoint of protection of the resin surface from dust and the like and flatness of the resin surface, patterning is performed by performing thermosetting and laser irradiation without peeling off the carrier film. In addition, laser processing without peeling off the carrier film, and by absorbing the laser to some extent by the carrier film, a technique for making the opening diameter by laser processing finer or reducing damage to the cured product by the laser is also attracting attention. .

しかしながら、キャリアフィルムを剥がさずに、熱硬化を行うと、硬化物の表面の均一性が損なわれ、表面にムラが生じるという問題があった。このようなムラは、デスミア処理後に特に顕著となる。その結果、ピール強度や信頼性等の硬化物の特性が損なわれる原因にもなっていた。   However, when heat curing is performed without peeling off the carrier film, there is a problem that the uniformity of the surface of the cured product is impaired and unevenness occurs on the surface. Such unevenness becomes particularly noticeable after the desmear treatment. As a result, the properties of the cured product such as peel strength and reliability are also impaired.

そこで本発明の目的は、フィルムを剥がさずに熱硬化しても表面にムラが少ない硬化物を形成することができるドライフィルム、該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、該硬化物を具備するプリント配線板、および、硬化物の製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a dry film capable of forming a cured product with less unevenness on the surface even when thermally cured without peeling off the film, a cured product of the resin layer of the dry film, and a print comprising the cured product It is providing the wiring board and the manufacturing method of hardened | cured material.

本発明者等はまず樹脂層の組成を見直し、上記課題を達成することを試みたが、硬化物の所望の特性も維持しつつ、硬化物表面のムラを十分に低減することは困難であった。そこで、本発明者等は上記を鑑みさらに鋭意検討した結果、熱硬化時に樹脂層に張り付けたままのフィルムの長さの熱変化率を調整することによって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The inventors first reviewed the composition of the resin layer and attempted to achieve the above-mentioned problem, but it was difficult to sufficiently reduce the unevenness of the cured product surface while maintaining the desired properties of the cured product. It was. Accordingly, as a result of further intensive studies in view of the above, the present inventors have found that the above problem can be solved by adjusting the rate of thermal change of the length of the film that remains attached to the resin layer during thermosetting, and the present invention. It came to complete.

即ち、本発明のドライフィルムは、フィルムに樹脂層が積層されたドライフィルムであって、前記樹脂層が、熱硬化性樹脂および硬化剤を含有する熱硬化性の樹脂層であり、前記フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率(%)の差が、2.7%以下であり、前記硬化剤として、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも何れか2種以上を含むことを特徴とするものである。   That is, the dry film of the present invention is a dry film in which a resin layer is laminated on a film, and the resin layer is a thermosetting resin layer containing a thermosetting resin and a curing agent. The difference in thermal change rate (%) between the length in the vertical direction and the horizontal direction is 2.7% or less, and the curing agent is at least any two selected from phenol resins, cyanate ester resins and active ester resins It is characterized by including the above.

本発明のドライフィルムは、前記熱硬化性樹脂が、エポキシ化合物であることが好ましい。   In the dry film of the present invention, the thermosetting resin is preferably an epoxy compound.

本発明のドライフィルムは、前記樹脂層が、前記硬化剤として、フェノール樹脂を含有し、さらに、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂の少なくとも何れか一方を含有することが好ましい。   In the dry film of the present invention, it is preferable that the resin layer contains a phenol resin as the curing agent, and further contains at least one of a cyanate ester resin and an active ester resin.

本発明のドライフィルムは、前記フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率の差が2.1%以下であることが好ましい。   In the dry film of the present invention, it is preferable that the difference in thermal change rate between the length in the vertical direction and the horizontal direction of the film is 2.1% or less.

本発明の硬化物は、前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。   The cured product of the present invention is obtained by curing the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を具備することを特徴とするものである。   The printed wiring board of the present invention comprises the cured product.

本発明の硬化物の製造方法は、前記ドライフィルムの樹脂層を基材にラミネートし、前記フィルムを剥がさずに熱硬化して硬化物を得る工程を備えることを特徴とするものである。   The manufacturing method of the hardened | cured material of this invention comprises the process of laminating the resin layer of the said dry film on a base material, and thermosetting, without peeling the said film, and obtaining hardened | cured material.

本発明によれば、フィルムを剥がさずに熱硬化しても表面にムラが少ない硬化物を形成することができるドライフィルム、該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、該硬化物を具備するプリント配線板、および、硬化物の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dry film which can form the hardened | cured material with little nonuniformity on the surface even if it heat-hardens without peeling off a film, the hardened | cured material of the resin layer of this dry film, and the printed wiring provided with this hardened | cured material A plate and a method for producing a cured product can be provided.

フィルムの長手方向(MD方向)および幅方向(TD方向)を示す概略図である。It is the schematic which shows the longitudinal direction (MD direction) and width direction (TD direction) of a film. 本発明のドライフィルムの一実施態様を模式的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows typically one embodiment of the dry film of this invention. 本発明のドライフィルムの他の一実施態様を模式的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows typically another embodiment of the dry film of this invention. 実施例で熱変化率の測定に用いたテストピース(a)、(b)と、フィルムの長手方向(MD方向)および幅方向(TD方向)との関係を示す概略図である。It is the schematic which shows the relationship between the test piece (a), (b) used for the measurement of the rate of thermal change in an Example, and the longitudinal direction (MD direction) and width direction (TD direction) of a film.

<ドライフィルム>
本発明のドライフィルムは、フィルムに樹脂層が積層されたドライフィルムであって、前記樹脂層が、熱硬化性樹脂および硬化剤を含有する熱硬化性の樹脂層であり、前記フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率(%)の差が、2.7%以下であり、前記硬化剤として、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも何れか2種以上を含むことを特徴とする。詳しいメカニズムは明らかではないが、フィルムはその製造工程における長手方向(MD(Machine Direction)方向、機械方向、流れ方向とも言う)と、幅方向(TD方向(Transverse Direction)、垂直方向とも言う)とで異方性が生じるため、フィルムの熱収縮または熱膨張も方向によって異なり、フィルムを樹脂層に張り付けたまま加熱すると、フィルムの変形につられて樹脂層表面が流動し、樹脂層表面の樹脂組成物が分離した状態で硬化してしまうことが、表面のムラの主要な原因であったと考えられる。本発明のドライフィルムおいては、フィルムの縦方向と横方向の熱収縮・熱膨張の歪、即ち、熱変化率の差を2.7%以下に調整することによって、表面のムラを抑制することを可能としている。
<Dry film>
The dry film of the present invention is a dry film in which a resin layer is laminated on a film, and the resin layer is a thermosetting resin layer containing a thermosetting resin and a curing agent, and the longitudinal direction of the film And the difference in thermal change rate (%) in the length in the lateral direction is 2.7% or less, and the curing agent is at least any two selected from phenol resin, cyanate ester resin and active ester resin. It is characterized by including. Although the detailed mechanism is not clear, the film has a longitudinal direction (also referred to as MD (Machine Direction) direction, machine direction, flow direction) and a width direction (TD direction (Transverse Direction), also referred to as vertical direction) in the manufacturing process. Since the film has anisotropy, the thermal shrinkage or thermal expansion of the film also varies depending on the direction, and when the film is heated while attached to the resin layer, the resin layer surface flows along with the deformation of the film, and the resin composition on the resin layer surface It is considered that the main cause of the unevenness of the surface is that the object is cured in a separated state. In the dry film of the present invention, the unevenness of the surface is suppressed by adjusting the distortion of thermal contraction / thermal expansion in the vertical and horizontal directions of the film, that is, the difference in the rate of thermal change to 2.7% or less. Making it possible.

図1にフィルムの長手方向と幅方向を示す概略図を示す。上記熱変化率の差において、「差」であることから、縦方向と横方向はどちらがフィルムの長手方向であってもよいが、本明細書においては、長手方向を縦方向とし、幅方向を横方向とする。   FIG. 1 is a schematic view showing the longitudinal direction and the width direction of the film. Since the difference in the heat change rate is a “difference”, either the longitudinal direction or the transverse direction may be the longitudinal direction of the film, but in this specification, the longitudinal direction is the longitudinal direction, and the width direction is The horizontal direction.

表面のムラは、樹脂層の熱硬化の挙動が複雑な場合、例えば樹脂層が異なる硬化剤を含有する場合、より顕著に発生する。特に、硬化剤として、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも何れか2種以上を含む場合、表面のムラが発生しやすい。本発明のドライフィルムによれば、そのような場合であっても、表面のムラを抑制することができる。   The surface unevenness occurs more significantly when the thermosetting behavior of the resin layer is complicated, for example, when the resin layer contains different curing agents. In particular, when the curing agent contains at least any two or more selected from a phenol resin, a cyanate ester resin, and an active ester resin, unevenness of the surface tends to occur. According to the dry film of the present invention, surface unevenness can be suppressed even in such a case.

本発明において、前記フィルムの縦方向および横方向の長さの熱変化率(%)は、熱硬化性の樹脂層の熱硬化温度、すなわち熱硬化性の樹脂層を熱硬化処理する温度(主に180〜200℃)を考慮し、引張荷重法で180℃で熱処理した後に測定する。測定にはTMA(熱機械分析装置)、例えばセイコーインスツル社製TMA6100を用いることができる。測定時の熱処理は、急な昇温でなければよく、例えば、熱硬化性の樹脂層を熱硬化させるための熱処理を適用することが好ましい。具体的な測定条件としては、フィルムに対し、荷重2gの条件で、熱歪みを除去するアニール処理をした後に、30℃→100℃(昇温速度15℃/分)に昇温した後、100℃で30分保持し、100℃→180℃(昇温速度5℃/分)に昇温し、180℃で30分保持した後の長さを測定すればよい。熱処理前の長さは、測定開始温度の30℃での長さを熱処理前の長さとする。前記アニール処理としては、前記熱処理と同じ処理を事前に1サイクル行えばよい。なお、フィルムの熱変化率の測定は、フィルム上に樹脂層を積層せずフィルム単独で行う。   In the present invention, the rate of thermal change (%) in the longitudinal and lateral lengths of the film is the thermosetting temperature of the thermosetting resin layer, that is, the temperature at which the thermosetting resin layer is thermoset (mainly 180 to 200 ° C.), and after heat treatment at 180 ° C. by the tensile load method. For the measurement, a TMA (thermomechanical analyzer), for example, TMA6100 manufactured by Seiko Instruments Inc. can be used. The heat treatment at the time of measurement need not be a sudden temperature rise, and for example, it is preferable to apply a heat treatment for thermosetting the thermosetting resin layer. As specific measurement conditions, the film was annealed to remove thermal distortion under the condition of a load of 2 g, then heated to 30 ° C. → 100 ° C. (temperature increase rate: 15 ° C./min), then 100 What is necessary is just to measure the length after hold | maintaining at 100 degreeC for 30 minutes, heating up from 100 degreeC-> 180 degreeC (temperature increase rate of 5 degree-C / min), and hold | maintaining at 180 degreeC for 30 minutes. The length before the heat treatment is defined as the length at the measurement start temperature at 30 ° C. before the heat treatment. As the annealing treatment, the same treatment as the heat treatment may be performed in advance for one cycle. In addition, the measurement of the heat change rate of a film is performed by film alone without laminating a resin layer on the film.

図2は、本発明のドライフィルムの一実施形態を示した概略断面図である。樹脂層22が、フィルム(キャリアフィルム)23上に形成された二層構造のドライフィルム21である。また、図3に示すように、フィルム(キャリアフィルム)33の上に樹脂層32を形成し、樹脂層32の表面を保護するために、さらにフィルム(保護フィルム)34を積層した三層構造のドライフィルム31であってもよい。必要に応じて、フィルムと樹脂層との間に他の樹脂層を設けてもよい。なお、本発明のドライフィルムの樹脂層は、1層でもよく2層以上でもよい。   FIG. 2 is a schematic sectional view showing an embodiment of the dry film of the present invention. The resin layer 22 is a dry film 21 having a two-layer structure formed on a film (carrier film) 23. Further, as shown in FIG. 3, a resin layer 32 is formed on a film (carrier film) 33, and a film (protective film) 34 is further laminated to protect the surface of the resin layer 32. The dry film 31 may be used. If necessary, another resin layer may be provided between the film and the resin layer. In addition, the resin layer of the dry film of the present invention may be one layer or two or more layers.

[フィルム]
例えば図3に示すようなキャリアフィルムと保護フィルムとの間に挟まれた樹脂層を有する三層構造のドライフィルムの場合、ラミネートする際には、多くの場合、保護フィルムを剥離して、保護フィルムと接していた側の樹脂層の面が基材と接触するようにラミネートされる。しかしながら、キャリアフィルムを剥離して、キャリアフィルムと接していた側の樹脂層の面が基材と接触するようにラミネートされる場合もある。本発明においては、縦方向と横方向の長さの熱変化率(%)の差が2.7%以下のフィルムが、熱硬化時に樹脂層から剥離されないフィルム(言い換えれば、ラミネート時に剥離されないフィルム)であればよく、キャリアフィルムと保護フィルムのどちらであってもよい。好ましくは、キャリアフィルムである。
[the film]
For example, in the case of a dry film having a three-layer structure having a resin layer sandwiched between a carrier film and a protective film as shown in FIG. 3, in many cases, the protective film is peeled off for protection. Lamination is performed such that the surface of the resin layer on the side in contact with the film is in contact with the substrate. However, the carrier film may be peeled and laminated so that the surface of the resin layer on the side in contact with the carrier film is in contact with the substrate. In the present invention, a film having a difference in thermal change rate (%) between the length in the vertical direction and the horizontal direction of 2.7% or less is a film that is not peeled off from the resin layer during thermosetting (in other words, a film that is not peeled off during lamination) ) And may be either a carrier film or a protective film. Preferably, it is a carrier film.

フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率の差は、小さいほど好ましく、より表面にムラの少ない硬化物を得ることができる。より好ましくは2.1%以下である。   The smaller the difference in the rate of thermal change between the length of the film in the vertical direction and the length in the horizontal direction, the better. The cured product with less unevenness on the surface can be obtained. More preferably, it is 2.1% or less.

フィルムの長手方向(MD方向)の長さの熱変化率は、−3〜0%であることが好ましく、−2.6〜0%であることがより好ましい。フィルムの幅方向(TD方向)の長さの熱変化率は、1.5%以下であることが好ましく、0%以下であることがより好ましい。
フィルムの厚みは、例えば、10〜100μmであり、好ましくは、20〜50μmである。
The heat change rate of the length in the longitudinal direction (MD direction) of the film is preferably −3 to 0%, more preferably −2.6 to 0%. The heat change rate of the length in the width direction (TD direction) of the film is preferably 1.5% or less, and more preferably 0% or less.
The thickness of a film is 10-100 micrometers, for example, Preferably, it is 20-50 micrometers.

フィルムの原料は特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンナフタレート(PBN)、ポリプロピレンテレフタレート(PPT)などのポリエステル樹脂のほか、イソフタル酸、オルソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸などのジカルボン酸が共重合されたPBT樹脂や、エチレングリコール、1,3−プロピレングリコール、1,2−プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、シクロヘキサンジオール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリカーボネートジオール等のジオール成分が共重合されたPBT樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。フィルムの材料としては、必要に応じ従来公知の添加剤、例えば、滑剤、安定剤、着色剤、酸化防止剤、静電防止剤、紫外線吸収剤等を含有していてもよい。
滑剤種としてはシリカ、炭酸カルシウム、アルミナなどの無機系滑材のほか、有機系滑剤が好ましく、シリカ、炭酸カルシウムがより好ましく、特に炭酸カルシウムが好ましい。これらにより透明性と滑り性と発現することができる。
滑剤濃度の下限は好ましくは100ppmであり、100ppm以上であると滑り性が良好となる。滑剤濃度の上限は好ましくは20000ppmであり、20000ppm以下であると透明性が良好となる。
The raw material of the film is not particularly limited. For example, in addition to polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene naphthalate (PBN), and polypropylene terephthalate (PPT), isophthalic acid, orthophthalic acid, PBT resin copolymerized with dicarboxylic acid such as naphthalenedicarboxylic acid, biphenyldicarboxylic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, ethylene glycol, 1,3-propylene glycol, 1,2-propylene glycol, Neopentyl glycol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, diethylene glycol, cyclohexanediol, polyethylene glycol, polytetramethylene glycol, poly Diol components such as turbo sulfonate diol copolymerized PBT resin, polyimide, polyamide-imide, polyethylene, polytetrafluoroethylene, polypropylene, thermoplastic resins such as polystyrene. The film material may contain conventionally known additives such as a lubricant, a stabilizer, a colorant, an antioxidant, an antistatic agent, and an ultraviolet absorber as necessary.
As the lubricant type, in addition to inorganic lubricants such as silica, calcium carbonate, and alumina, organic lubricants are preferable, silica and calcium carbonate are more preferable, and calcium carbonate is particularly preferable. By these, transparency and slipperiness can be expressed.
The lower limit of the lubricant concentration is preferably 100 ppm, and if it is 100 ppm or more, the slipperiness becomes good. The upper limit of the lubricant concentration is preferably 20000 ppm, and transparency is good when it is 20000 ppm or less.

(フィルムの製造方法)
本発明のドライフィルムに用いるフィルムとしては、上記の通り熱変化率の差が2.7%以下であればいずれでもよく、公知の方法により得ることができる。例えば、ポリエステルフィルムの製造方法としては、ポリエステル樹脂を二軸押出機にて溶融混練する溶融混練工程と、溶融混練したポリエステル樹脂を押し出して二軸延伸ポリエステルフィルムを延伸し成形する延伸工程を有することが好ましい。以下、各工程について説明する。
(Film production method)
The film used for the dry film of the present invention may be any film as long as the difference in heat change rate is 2.7% or less as described above, and can be obtained by a known method. For example, the polyester film production method includes a melt-kneading step in which a polyester resin is melt-kneaded with a biaxial extruder, and a stretching step in which the melt-kneaded polyester resin is extruded to stretch and form a biaxially stretched polyester film. Is preferred. Hereinafter, each step will be described.

(溶融混練工程)
まず、ポリエステル樹脂を押出機に供給し混練溶融する。押出機は二軸押出機が好ましい。スクリュー径は特に限定されない。スクリュー長L(mm)とスクリュー直径D(mm)の比であるL/Dは10〜70が好ましい。
押出吐出速度Q(kg/h)とスクリュー回転数Ns(rpm)の比であるQ/Nsは1.0〜7.5の範囲で溶融混練させることが好ましい。
二軸押出機に用いるスクリューは、ニーディングブロックを有し、スクリュー長Lに対してニーディングブロックの占める割合が4.0〜14.0%の範囲で組み込むことが好ましい。
シリンダー温度は250〜310℃であることが好ましい。
押出機シリンダー空間に接続されるベント孔は2つ以上設置されていることが好ましい。ベント孔より脱気した押出機内のシリンダー空間の真空度は1〜100hPaが好ましい。
押出吐出速度Q(kg/h)およびスクリュー回転数Nsについては特に限定されない。
ニーディングブロックの形状はポリエステル樹脂の適度な混練を考慮し、ポリマー流れ方向に対してポリマーを逆流させる形状を持つニーディングブロックを少なくとも1つ以上組み入れることが好ましいが、特に限定されない。
二軸押出機の各スクリュー回転方向はそれぞれ同方向回転であってもよいし、異方向回転であってもよい。セルフクリーニング性が高いという点からは、各スクリューの回転方向が同方向回転の方が好ましい。二軸押出機の各スクリューの噛み合いは噛み合い型、部分噛み合い型、非噛み合い型のいずれであってもよい。
混練溶融した後、フィルターやギヤポンプを通じて、異物の除去、押出量の均整化を各々行い、Tダイより冷却ドラム上にシート状に吐出する。その際、高電圧を掛けた電極を使用して静電気で冷却ドラムとポリエステル樹脂を密着させる静電密着法が好ましく使用される。
(Melting and kneading process)
First, a polyester resin is supplied to an extruder and kneaded and melted. The extruder is preferably a twin screw extruder. The screw diameter is not particularly limited. As for L / D which is ratio of screw length L (mm) and screw diameter D (mm), 10-70 are preferable.
Q / Ns, which is a ratio between the extrusion discharge speed Q (kg / h) and the screw rotation speed Ns (rpm), is preferably melt-kneaded in the range of 1.0 to 7.5.
The screw used in the twin-screw extruder has a kneading block, and it is preferable to incorporate the kneading block with respect to the screw length L in a range of 4.0 to 14.0%.
The cylinder temperature is preferably 250 to 310 ° C.
Two or more vent holes connected to the extruder cylinder space are preferably provided. The degree of vacuum in the cylinder space in the extruder deaerated from the vent hole is preferably 1 to 100 hPa.
The extrusion discharge speed Q (kg / h) and the screw rotation speed Ns are not particularly limited.
The shape of the kneading block is not particularly limited, although it is preferable to incorporate at least one kneading block having a shape that causes the polymer to flow backward in the polymer flow direction in consideration of appropriate kneading of the polyester resin.
Each screw rotation direction of the twin-screw extruder may be the same direction rotation or a different direction rotation. From the viewpoint of high self-cleaning properties, it is preferable that the rotation direction of each screw is the same direction. The meshing of each screw of the twin screw extruder may be any of a meshing type, a partial meshing type, and a non-meshing type.
After kneading and melting, foreign matter is removed and the amount of extrusion is leveled through a filter and a gear pump, and the sheet is discharged from a T-die onto a cooling drum. In that case, an electrostatic contact method in which a cooling drum and a polyester resin are brought into close contact with each other by static electricity using an electrode applied with a high voltage is preferably used.

(延伸工程)
次に、溶融混練したポリエステル樹脂を押し出してポリエステルフィルムを延伸成形する。その方法の一つとして、ポリエステル樹脂を製膜機に直結した二軸押出機で溶融混練してシート状に押し出し、二軸延伸ポリエステルフィルムを得る方法がある。
延伸方法は、同時二軸延伸でも逐次二軸延伸でも可能である。
縦延伸方向(以下、MD)の延伸温度は40〜100℃が好ましい。MD延伸倍率は2.5〜5倍であることが好ましい。
横延伸方向(以下、TD)の延伸温度は40〜100℃であることが好ましい。TD延伸倍率は2.5〜5倍である。TD熱固定温度の150〜250℃であることが好ましい。TDリラックス率は0.5〜10%であることが好ましい。
ポリエステルフィルムの厚みは3〜100μmであることが好ましい。
(Stretching process)
Next, the polyester resin melt-kneaded is extruded to stretch-mold the polyester film. As one of the methods, there is a method of obtaining a biaxially stretched polyester film by melt-kneading a polyester resin with a biaxial extruder directly connected to a film forming machine and extruding it into a sheet.
The stretching method can be simultaneous biaxial stretching or sequential biaxial stretching.
The stretching temperature in the longitudinal stretching direction (hereinafter referred to as MD) is preferably 40 to 100 ° C. The MD draw ratio is preferably 2.5 to 5 times.
The stretching temperature in the transverse stretching direction (hereinafter referred to as TD) is preferably 40 to 100 ° C. The TD stretch ratio is 2.5 to 5 times. It is preferable that it is 150-250 degreeC of TD heat setting temperature. The TD relaxation rate is preferably 0.5 to 10%.
The thickness of the polyester film is preferably 3 to 100 μm.

[樹脂層]
本発明のドライフィルムは、熱硬化性樹脂と、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および硬化剤から選ばれる少なくとも2種の硬化剤とを含有する熱硬化性の樹脂層を有する。また、樹脂層は、必要に応じて、熱硬化性だけでなく、光硬化性や感光性を有していてもよい。樹脂層は一般にBステージ状態と言われる状態にある。樹脂層は、キャリアフィルムに熱硬化性の樹脂組成物を塗布後、乾燥工程を経て得られる。前記熱硬化性の樹脂組成物の組成は特に限定されず、従来公知のソルダーレジスト、層間絶縁層およびカバーレイ等のプリント配線板に設けられる保護層や絶縁層の形成に用いられる熱硬化性の樹脂組成物を用いることができる。
[Resin layer]
The dry film of the present invention has a thermosetting resin layer containing a thermosetting resin and at least two curing agents selected from a phenol resin, a cyanate ester resin, and a curing agent. Moreover, the resin layer may have not only thermosetting property but photo-curing property or photosensitivity as required. The resin layer is generally in a state called a B stage state. A resin layer is obtained through a drying process after applying a thermosetting resin composition to a carrier film. The composition of the thermosetting resin composition is not particularly limited, and is a thermosetting resin used for forming a protective layer or an insulating layer provided on a printed wiring board such as a conventionally known solder resist, interlayer insulating layer and coverlay. A resin composition can be used.

樹脂層の膜厚は特に限定されないが、乾燥後の膜厚が1〜200μmであればよい。   Although the film thickness of a resin layer is not specifically limited, The film thickness after drying should just be 1-200 micrometers.

前記熱硬化性樹脂は特に限定されず、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂が使用できる。これらの中でもエポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、分子内に2個以上のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂が好ましく、エポキシ化合物がより好ましい。   The thermosetting resin is not particularly limited, and known and commonly used thermosetting resins such as isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, amino resins, benzoxazine resins, carbodiimide resins, cyclocarbonate compounds, epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, and episulfide resins. Resin can be used. Among these, an epoxy compound, a polyfunctional oxetane compound, a compound having two or more thioether groups in the molecule, that is, an episulfide resin is preferable, and an epoxy compound is more preferable.

上記エポキシ化合物は、エポキシ基を有する化合物であり、従来公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ化合物、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ化合物等が挙げられる。なお、水素添加されたエポキシ化合物であってもよい。   The epoxy compound is a compound having an epoxy group, and any conventionally known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy compound having two epoxy groups in the molecule and a polyfunctional epoxy compound having many epoxy groups in the molecule. Note that a hydrogenated epoxy compound may be used.

エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂、アミノクレゾール型エポキシ樹脂、アルキルフェノール型エポキシ樹脂等が用いられる。これらエポキシ化合物は、1種を単独または2種類以上を組合せて用いることができる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, and phenol novolac type. Epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenylmethane type epoxy resin, alicyclic epoxy Resin, aliphatic chain epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, anthracene type epoxy resin, norbornene type epoxy resin, adamantane type epoxy resin, fluorene type epoxy resin Resins, aminophenol type epoxy resin, amino cresol type epoxy resin, alkylphenol type epoxy resin or the like is used. These epoxy compounds can be used alone or in combination of two or more.

エポキシ化合物は、固形エポキシ樹脂、半固形エポキシ樹脂、液状エポキシ樹脂の何れであってもよい。本明細書において、固形エポキシ樹脂とは40℃で固体状であるエポキシ樹脂をいい、半固形エポキシ樹脂とは20℃で固体状であり、40℃で液状であるエポキシ樹脂をいい、液状エポキシ樹脂とは20℃で液状のエポキシ樹脂をいう。液状の判定は、危険物の試験及び性状に関する省令(平成元年自治省令第1号)の別紙第2の「液状の確認方法」に準じて行う。   The epoxy compound may be a solid epoxy resin, a semi-solid epoxy resin, or a liquid epoxy resin. In this specification, a solid epoxy resin refers to an epoxy resin that is solid at 40 ° C., and a semi-solid epoxy resin refers to an epoxy resin that is solid at 20 ° C. and is liquid at 40 ° C. Means an epoxy resin that is liquid at 20 ° C. Judgment of liquid state shall be made in accordance with the second “Liquid Confirmation Method” of the Ministerial Ordinance on Dangerous Goods Testing and Properties (Ministry of Local Government Ordinance No. 1 of 1989).

熱硬化性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化性樹脂の配合量は、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、10〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましく、10〜35質量%がさらにより好ましい。また、液状エポキシ樹脂を配合する場合の、液状エポキシ樹脂の配合量は、硬化物のガラス転移温度(Tg)およびクラック耐性がより良好となるため、熱硬化性樹脂全質量あたり、0〜45質量%であることが好ましく、0〜30質量%であることがより好ましい。   A thermosetting resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. The compounding amount of the thermosetting resin is preferably 10 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and more preferably 10 to 35% by mass based on the total amount of the resin layer of the dry film excluding the solvent. Is even more preferred. Moreover, since the glass transition temperature (Tg) and crack resistance of hardened | cured material become more favorable, the compounding quantity of a liquid epoxy resin in the case of mix | blending a liquid epoxy resin becomes 0-45 mass per thermosetting resin total mass. % Is preferable, and 0 to 30% by mass is more preferable.

前記樹脂層は、硬化剤として、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも2種を含有する。ここで、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂の少なくとも一方を含有することにより、加湿後の誘電正接を低くすることができる。さらに、フェノール樹脂と、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂の少なくとも一方とを組み合わせることがより好ましく、適切な粗度とピール強度を持ちながら、低誘電正接も両立することができる。また、シアネートエステル樹脂を含有することにより、リフロー後の冷熱サイクル時のクラック耐性が向上する。また、硬化剤は、ビフェニル骨格およびナフトール骨格の少なくとも何れか一方の構造を有することが好ましい。   The resin layer contains at least two kinds selected from a phenol resin, a cyanate ester resin, and an active ester resin as a curing agent. Here, the dielectric loss tangent after humidification can be lowered by containing at least one of a cyanate ester resin and an active ester resin. Further, it is more preferable to combine a phenol resin with at least one of a cyanate ester resin and an active ester resin, and both low dielectric loss tangent can be achieved while having an appropriate roughness and peel strength. Moreover, the crack tolerance at the time of the thermal cycle after reflow improves by containing cyanate ester resin. The curing agent preferably has a structure of at least one of a biphenyl skeleton and a naphthol skeleton.

前記フェノール樹脂としては、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、クレゾール/ナフトール樹脂、ポリビニルフェノール類、フェノール/ナフトール樹脂、α−ナフトール骨格含有フェノール樹脂、トリアジン骨格含有クレゾールノボラック樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、ザイロック型フェノールノボラック樹脂等の従来公知のものを、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。前記フェノール樹脂の中でも、水酸基当量が100g/eq.以上のものが好ましく、150g/eq.以上のものがより好ましい。水酸基当量が100g/eq.以上のフェノール樹脂としては、例えば、ジシクロペンタジエン骨格フェノールノボラック樹脂(GDPシリーズ、群栄化学社製)、ザイロック型フェノールノボラック樹脂(MEH−7800、明和化成社製)、ビフェニルアラルキル型ノボラック樹脂(MEH−7851、明和化成社製)、ナフトールアラルキル型硬化剤(SNシリーズ、新日鉄住金社製)、トリアジン骨格含有クレゾールノボラック樹脂(LA−3018−50P、DIC社製)などが挙げられる。フェノール樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the phenol resin include phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene type phenol resin, Xylok type phenol resin, terpene modified phenol resin, cresol / naphthol resin, polyvinylphenols, phenol / naphthol resin. , Α-naphthol skeleton-containing phenol resin, triazine skeleton-containing cresol novolak resin, biphenyl aralkyl type phenol resin, zylock type phenol novolak resin and the like can be used singly or in combination of two or more. . Among the phenol resins, the hydroxyl group equivalent is 100 g / eq. The above are preferable, and 150 g / eq. The above is more preferable. Hydroxyl equivalent weight is 100 g / eq. Examples of the phenol resin include dicyclopentadiene skeleton phenol novolak resin (GDP series, Gunei Chemical Co., Ltd.), zylock type phenol novolac resin (MEH-7800, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), biphenyl aralkyl type novolak resin (MEH). -7851, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), naphthol aralkyl type curing agent (SN series, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Co., Ltd.), triazine skeleton-containing cresol novolac resin (LA-3018-50P, manufactured by DIC), and the like. A phenol resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

前記シアネートエステル樹脂は、一分子中に2個以上のシアネートエステル基(−OCN)を有する化合物である。シアネートエステル樹脂は、従来公知のものをいずれも使用することができる。シアネートエステル樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂、アルキルフェノールノボラック型シアネートエステル樹脂、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールF型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールS型シアネートエステル樹脂が挙げられる。また、一部がトリアジン化したプレポリマーであってもよい。シアネートエステル樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The cyanate ester resin is a compound having two or more cyanate ester groups (—OCN) in one molecule. Any conventionally known cyanate ester resins can be used. Examples of the cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resin, alkylphenol novolak type cyanate ester resin, dicyclopentadiene type cyanate ester resin, bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol F type cyanate ester resin, and bisphenol S type cyanate ester resin. Is mentioned. Further, it may be a prepolymer partially triazine. Cyanate ester resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

前記活性エステル樹脂は、一分子中に2個以上の活性エステル基を有する樹脂である。活性エステル樹脂は、一般に、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物との縮合反応によって得ることができる。中でも、ヒドロキシ化合物としてフェノール化合物またはナフトール化合物を用いて得られる活性エステル化合物が好ましい。フェノール化合物またはナフトール化合物としては、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。また、活性エステル樹脂としては、ナフタレンジオールアルキル/安息香酸型でもよい。活性エステル樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The active ester resin is a resin having two or more active ester groups in one molecule. The active ester resin can generally be obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and a hydroxy compound. Among these, an active ester compound obtained by using a phenol compound or a naphthol compound as the hydroxy compound is preferable. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol , Dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like. The active ester resin may be naphthalenediol alkyl / benzoic acid type. An active ester resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

前記樹脂層は、本発明の効果を損なわない範囲で他の硬化剤を含有してもよい。他の硬化剤としては、ポリカルボン酸およびその酸無水物、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体等が挙げられる。中でも、マレイミド化合物を含有することにより、リフロー後の冷熱サイクル時のクラック耐性が向上する。前記マレイミド化合物は、マレイミド骨格を有する化合物であり、従来公知のものをいずれも使用できる。マレイミド化合物は、2以上のマレイミド骨格を有することが好ましく、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェニレンジマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、1,2−ビス(マレイミド)エタン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン、2,2’−ビス−[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、ポリフェニルメタンマレイミド、およびこれらのオリゴマー、ならびにマレイミド骨格を有するジアミン縮合物のうちの少なくとも何れか1種であることがより好ましい。前記オリゴマーは、上述のマレイミド化合物のうちのモノマーであるマレイミド化合物を縮合させることにより得られたオリゴマーである。マレイミド化合物は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The said resin layer may contain another hardening | curing agent in the range which does not impair the effect of this invention. Examples of other curing agents include polycarboxylic acids and acid anhydrides thereof, maleimide compounds, alicyclic olefin polymers, and the like. Especially, the crack tolerance at the time of the thermal cycle after reflow improves by containing a maleimide compound. The maleimide compound is a compound having a maleimide skeleton, and any conventionally known compound can be used. The maleimide compound preferably has two or more maleimide skeletons, and N, N′-1,3-phenylene dimaleimide, N, N′-1,4-phenylene dimaleimide, N, N′-4,4- Diphenylmethane bismaleimide, 1,2-bis (maleimide) ethane, 1,6-bismaleimide hexane, 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane, 2,2′-bis- [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide, bis (3-ethyl -5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, polyphenylmethanemaleimide, Beauty and more preferably at least any one of diamines condensates with these oligomers and maleimide skeleton. The said oligomer is an oligomer obtained by condensing the maleimide compound which is a monomer of the above-mentioned maleimide compounds. A maleimide compound can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

前記硬化剤は、熱硬化性樹脂のエポキシ基等の熱硬化反応が可能な官能基と、その官能基と反応する硬化剤中の官能基との比率が、硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜2.0となるような割合で配合することが好ましい。硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)を上記範囲内とすることで、デスミア工程において樹脂の表面が、適切な粗度を得ることができる。より好ましくは硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜1.5であり、さらに好ましくは硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.3〜1.0である。フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物の官能基当量(g/eq.)が200以上であると、反りを小さくすることができる。   In the curing agent, the ratio of the functional group capable of thermosetting reaction such as an epoxy group of the thermosetting resin and the functional group in the curing agent that reacts with the functional group is the functional group of the curing agent / thermosetting reaction. It is preferable to mix | blend in the ratio which becomes functional group (equivalent ratio) = 0.2-2.0 which can be. By setting the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction (equivalent ratio) within the above range, the surface of the resin can have an appropriate roughness in the desmear process. More preferably, the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction (equivalent ratio) = 0.2 to 1.5, and more preferably the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction ( Equivalent ratio) = 0.3 to 1.0. When the functional group equivalent (g / eq.) Of the phenol resin, cyanate ester resin, active ester resin, and maleimide compound is 200 or more, warpage can be reduced.

硬化剤として、フェノール樹脂と、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂の少なくとも一方とを組み合わせた場合のフェノール樹脂:シアネートエステル樹脂および/または活性エステル樹脂の配合比は、質量換算で1:0.1〜15が好ましく、1:1.0〜10がより好ましい。   As a curing agent, the compounding ratio of phenol resin: cyanate ester resin and / or active ester resin in a combination of phenol resin and at least one of cyanate ester resin and active ester resin is 1: 0.1 in terms of mass. 15 is preferable, and 1: 1.0 to 10 is more preferable.

前記樹脂層を形成する熱硬化性の樹脂組成物の具体例としては、熱硬化性樹脂組成物、光硬化性熱硬化性樹脂組成物、光重合開始剤を含有する光硬化性熱硬化性樹脂組成物、光塩基発生剤を含有する光硬化性熱硬化性樹脂組成物、光酸発生剤を含有する光硬化性熱硬化性樹脂組成物、ネガ型光硬化性熱硬化性樹脂組成物およびポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物、アルカリ現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物、溶剤現像型光硬化性熱硬化性樹脂組成物、膨潤剥離型熱硬化性樹脂組成物、溶解剥離型熱硬化性樹脂組成物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   Specific examples of the thermosetting resin composition forming the resin layer include a thermosetting resin composition, a photocurable thermosetting resin composition, and a photocurable thermosetting resin containing a photopolymerization initiator. Composition, photocurable thermosetting resin composition containing photobase generator, photocurable thermosetting resin composition containing photoacid generator, negative photocurable thermosetting resin composition and positive Type photosensitive thermosetting resin composition, alkali development type photocurable thermosetting resin composition, solvent development type photocurable thermosetting resin composition, swelling release type thermosetting resin composition, dissolution release type heat Although a curable resin composition is mentioned, it is not limited to these.

(熱硬化性樹脂組成物)
熱硬化性樹脂組成物の一例として、光硬化性成分を含まず、熱硬化性樹脂を含む樹脂組成物について、下記に説明する。
(Thermosetting resin composition)
As an example of the thermosetting resin composition, a resin composition containing no thermosetting component and containing a thermosetting resin will be described below.

熱硬化性樹脂組成物には、フィラーを配合することが好ましく、得られる硬化物の物理的強度等を上げることができる。また、フィラーを配合することによって、絶縁層の周囲にある銅等の導体層と熱強度を合わせることにより、ドライフィルムの熱特性を向上することができる。フィラーとしては従来公知の無機フィラーおよび有機フィラーが使用でき、特定のものに限定されないが、塗膜の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性の向上に寄与する無機フィラーが好ましい。無機フィラーとしては、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球状シリカなどのシリカ、タルク、クレー、ノイブルグ珪土粒子、ベーマイト、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、ジルコン酸カルシウム等の体質顔料や、銅、錫、亜鉛、ニッケル、銀、パラジウム、アルミニウム、鉄、コバルト、金、白金等の金属粉体が挙げられる。無機フィラーは球状粒子であることが好ましい。フィラーの平均粒径は、0.1〜10μmであることが好ましい。なお、本願明細書において、フィラーの平均粒径は、一次粒子の粒径だけでなく、二次粒子(凝集体)の粒径も含めた平均粒径である。平均粒径は、レーザー回折式粒子径分布測定装置により求めることができる。レーザー回折法による測定装置としては、日機装社製Nanotrac waveなどが挙げられる。   It is preferable to add a filler to the thermosetting resin composition, and the physical strength of the resulting cured product can be increased. Moreover, the thermal characteristic of a dry film can be improved by match | combining heat intensity with conductor layers, such as copper around the insulating layer, by mix | blending a filler. As the filler, conventionally known inorganic fillers and organic fillers can be used and are not limited to specific ones, but inorganic fillers that suppress the curing shrinkage of the coating film and contribute to the improvement of properties such as adhesion and hardness are preferred. Examples of inorganic fillers include silica such as barium sulfate, barium titanate, amorphous silica, crystalline silica, fused silica, and spherical silica, talc, clay, Neuburg silica particles, boehmite, magnesium carbonate, calcium carbonate, and titanium oxide. , Body pigments such as aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, aluminum nitride, calcium zirconate and metal powders such as copper, tin, zinc, nickel, silver, palladium, aluminum, iron, cobalt, gold, platinum Can be mentioned. The inorganic filler is preferably spherical particles. It is preferable that the average particle diameter of a filler is 0.1-10 micrometers. In the present specification, the average particle size of the filler is not only the particle size of the primary particles but also the average particle size including the particle size of the secondary particles (aggregates). The average particle size can be determined by a laser diffraction particle size distribution measuring device. An example of a measuring apparatus using the laser diffraction method is Nanotrac wave manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

前記無機フィラーは、表面処理されていてもよい。表面処理としては、カップリング剤による表面処理や、アルミナ処理等の有機基を導入しない表面処理がされていてもよい。   The inorganic filler may be surface-treated. As the surface treatment, a surface treatment that does not introduce an organic group such as a surface treatment with a coupling agent or an alumina treatment may be performed.

フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。フィラーの配合量は、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、10〜90質量%であることが好ましく、30〜80質量%であることがより好ましい。フィラーの配合量が10質量%以上の場合、熱膨張を抑制して耐熱性が向上し、一方、90質量%以下の場合、クラックの発生を抑制できる。   A filler may be used individually by 1 type and may be used as a mixture of 2 or more types. The blending amount of the filler is preferably 10 to 90% by mass, and more preferably 30 to 80% by mass, based on the total amount of the resin layer of the dry film excluding the solvent. When the blending amount of the filler is 10% by mass or more, thermal expansion is suppressed and heat resistance is improved. On the other hand, when it is 90% by mass or less, generation of cracks can be suppressed.

熱硬化性樹脂組成物は、得られる硬化膜の機械的強度を向上させるために、さらに熱可塑性樹脂を含有することができる。熱可塑性樹脂は、溶剤に可溶であることが好ましい。溶剤に可溶である場合、ドライフィルムの柔軟性が向上し、クラックの発生や粉落ちを抑制できる。熱可塑性樹脂としては、熱可塑性ポリヒドロキシポリエーテル樹脂や、エピクロルヒドリンと各種2官能フェノール化合物の縮合物であるフェノキシ樹脂或いはその骨格に存在するヒドロキシエーテル部の水酸基を各種酸無水物や酸クロリドを使用してエステル化したフェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ブロック共重合体等が挙げられる。熱可塑性樹脂は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。   The thermosetting resin composition can further contain a thermoplastic resin in order to improve the mechanical strength of the resulting cured film. The thermoplastic resin is preferably soluble in a solvent. When it is soluble in the solvent, the flexibility of the dry film is improved, and the generation of cracks and powder falling can be suppressed. As the thermoplastic resin, use is made of thermoplastic polyhydroxy polyether resin, phenoxy resin that is a condensate of epichlorohydrin and various bifunctional phenolic compounds, or hydroxyl group of hydroxy ether part present in the skeleton of various acid anhydrides and acid chlorides. And esterified phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyamide resin, polyamideimide resin, block copolymer and the like. A thermoplastic resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

熱可塑性樹脂の配合量は、溶剤を除いた樹脂層全量基準で、0.5〜20質量%、好ましくは0.5〜10質量%の割合である。熱可塑性樹脂の配合量が上記範囲外になると、均一な粗化面状態を得られ難くなる。   The blending amount of the thermoplastic resin is 0.5 to 20% by mass, preferably 0.5 to 10% by mass, based on the total amount of the resin layer excluding the solvent. When the blending amount of the thermoplastic resin is out of the above range, it becomes difficult to obtain a uniform roughened surface state.

さらに、熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じてゴム状粒子を含有することができる。このようなゴム状粒子としては、ポリブタジエンゴム、ポリイソプロピレンゴム、ウレタン変性ポリブタジエンゴム、エポキシ変性ポリブタジエンゴム、アクリロニトリル変性ポリブタジエンゴム、カルボキシル基変性ポリブタジエンゴム、カルボキシル基または水酸基で変性したアクリロニトリルブタジエンゴム、およびそれらの架橋ゴム粒子、コアシェル型ゴム粒子等が挙げられ、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのゴム状粒子は、得られる硬化膜の柔軟性を向上させたり、クラック耐性が向上したり、酸化剤による表面粗化処理を可能とし、銅箔等との密着強度を向上させるために添加される。   Furthermore, the thermosetting resin composition can contain rubber-like particles as necessary. Examples of such rubber-like particles include polybutadiene rubber, polyisopropylene rubber, urethane-modified polybutadiene rubber, epoxy-modified polybutadiene rubber, acrylonitrile-modified polybutadiene rubber, carboxyl group-modified polybutadiene rubber, acrylonitrile butadiene rubber modified with a carboxyl group or a hydroxyl group, and These crosslinked rubber particles, core-shell type rubber particles, and the like can be mentioned, and one kind can be used alone or two or more kinds can be used in combination. These rubber-like particles are added to improve the flexibility of the resulting cured film, improve crack resistance, enable surface roughening treatment with an oxidizing agent, and improve the adhesion strength with copper foil, etc. Is done.

ゴム状粒子の平均粒径は0.005〜1μmの範囲が好ましく、0.2〜1μmの範囲がより好ましい。本発明におけるゴム状粒子の平均粒径は、レーザー回折式粒子径分布測定装置により求めることができる。例えば、適当な有機溶剤にゴム状粒子を超音波などにより均一に分散させ、日機装社製Nanotrac waveを用いて、ゴム状粒子の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。   The average particle size of the rubber-like particles is preferably in the range of 0.005 to 1 μm, and more preferably in the range of 0.2 to 1 μm. The average particle size of the rubber-like particles in the present invention can be determined by a laser diffraction particle size distribution measuring device. For example, rubber-like particles are uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves, etc., and a particle size distribution of the rubber-like particles is created on a mass basis using Nanotrac wave manufactured by Nikkiso Co., Ltd. It can be measured by doing.

ゴム状粒子の配合量は、溶剤を除いた樹脂層全量基準で、0.5〜10質量%であることが好ましく、1〜5質量%であることがより好ましい。0.5質量%以上の場合、クラック耐性が得られ、導体パターン等との密着強度を向上できる。10質量%以下の場合、熱膨張係数(CTE)が低下し、ガラス転移温度(Tg)が上昇して硬化特性が向上する。   The compounding amount of the rubber-like particles is preferably 0.5 to 10% by mass and more preferably 1 to 5% by mass based on the total amount of the resin layer excluding the solvent. In the case of 0.5% by mass or more, crack resistance is obtained, and the adhesion strength with a conductor pattern or the like can be improved. When the content is 10% by mass or less, the coefficient of thermal expansion (CTE) decreases, the glass transition temperature (Tg) increases, and the curing characteristics are improved.

熱硬化性樹脂組成物は、硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤は、熱硬化反応を促進させるものであり、密着性、耐薬品性、耐熱性等の特性をより一層向上させるために使用される。このような硬化促進剤の具体例としては、イミダゾールおよびその誘導体;アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類;ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、m−キシレンジアミン、ジアミノジフェニルスルフォン、ジシアンジアミド、尿素、尿素誘導体、メラミン、多塩基ヒドラジド等のポリアミン類;これらの有機酸塩および/またはエポキシアダクト;三フッ化ホウ素のアミン錯体;エチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジン等のトリアジン誘導体類;トリメチルアミン、トリエタノールアミン、N,N−ジメチルオクチルアミン、N−ベンジルジメチルアミン、ピリジン、N−メチルモルホリン、ヘキサ(N−メチル)メラミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、テトラメチルグアニジン、m−アミノフェノール等のアミン類;ポリビニルフェノール、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノボラック、アルキルフェノールノボラック等のポリフェノール類;トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホスフィン類;トリ−n−ブチル(2,5−ジヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシルトリブチルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩類;ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩類;前記多塩基酸無水物;ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボロエート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、2,4,6−トリフェニルチオピリリウムヘキサフルオロホスフェート等の光カチオン重合触媒;スチレン−無水マレイン酸樹脂;フェニルイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物や、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の有機ポリイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物、金属触媒等の従来公知の硬化促進剤が挙げられる。硬化促進剤の中でも、BHAST耐性が得られることから、ホスホニウム塩類が好ましい。   The thermosetting resin composition can contain a curing accelerator. The curing accelerator is for accelerating the thermosetting reaction, and is used for further improving properties such as adhesion, chemical resistance, and heat resistance. Specific examples of such curing accelerators include imidazole and derivatives thereof; guanamines such as acetoguanamine and benzoguanamine; diaminodiphenylmethane, m-phenylenediamine, m-xylenediamine, diaminodiphenylsulfone, dicyandiamide, urea, urea derivatives, Polyamines such as melamine and polybasic hydrazides; organic acid salts and / or epoxy adducts thereof; amine complexes of boron trifluoride; ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamino-S-triazine, 2,4- Triazine derivatives such as diamino-6-xylyl-S-triazine; trimethylamine, triethanolamine, N, N-dimethyloctylamine, N-benzyldimethylamine, pyridine, N-methylmorpholine, hexa (N-methyl) Amines such as lamin, 2,4,6-tris (dimethylaminophenol), tetramethylguanidine, m-aminophenol; polyphenols such as polyvinylphenol, polyvinylphenol bromide, phenol novolac, alkylphenol novolac; tributylphosphine, tri Organic phosphines such as phenylphosphine and tris-2-cyanoethylphosphine; phosphonium salts such as tri-n-butyl (2,5-dihydroxyphenyl) phosphonium bromide and hexadecyltributylphosphonium chloride; benzyltrimethylammonium chloride and phenyltributylammonium chloride Quaternary ammonium salts such as polybasic acid anhydrides; diphenyliodonium tetrafluoroboroate, triphenyl Photocationic polymerization catalyst such as sulfonium hexafluoroantimonate and 2,4,6-triphenylthiopyrylium hexafluorophosphate; styrene-maleic anhydride resin; equimolar reaction product of phenyl isocyanate and dimethylamine, tolylene diisocyanate, Conventionally known curing accelerators such as an equimolar reaction product of an organic polyisocyanate such as isophorone diisocyanate and dimethylamine, and a metal catalyst can be used. Among the curing accelerators, phosphonium salts are preferred because BHAST resistance is obtained.

硬化促進剤は、1種を単独または2種以上混合して用いることができる。硬化促進剤の使用は必須ではないが、特に硬化を促進したい場合には、熱硬化性樹脂100質量部に対して好ましくは0.01〜5質量部の範囲で用いることができる。金属触媒の場合、熱硬化性樹脂100質量部に対して金属換算で10〜550ppmが好ましく、25〜200ppmが好ましい。   A hardening accelerator can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. The use of a curing accelerator is not essential, but particularly when it is desired to accelerate the curing, it can be used preferably in the range of 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin. In the case of a metal catalyst, 10 to 550 ppm is preferable in terms of metal with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin, and 25 to 200 ppm is preferable.

有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、2−メトキシプロパノール、n−ブタノール、イソブチルアルコール、イソペンチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等の他、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、テトラクロロエチレン、テレビン油等が挙げられる。また、丸善石油化学社製スワゾール1000、スワゾール1500、スタンダード石油大阪発売所社製ソルベッソ100、ソルベッソ150、三共化学社製ソルベント#100、ソルベント#150、シェルケミカルズジャパン社製シェルゾールA100、シェルゾールA150、出光興産社製イプゾール100番、イプゾール150番等の有機溶剤を用いてもよい。有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。   The organic solvent is not particularly limited, and examples thereof include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. it can. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, and methyl ethyl ketone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl Glycol ethers such as carbitol, butyl carbitol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether Class: ethyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, ethylene glycol monoethyl ester Esters such as teracetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propanol, 2-methoxypropanol, n-butanol, isobutyl alcohol, isopentyl alcohol Alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha; and N, N-dimethylformamide ( DMF), tetrachloroethylene, turpentine oil and the like. In addition, Maruzen Petrochemical Co., Ltd. Swazol 1000, Swazol 1500, Standard Petroleum Osaka Sales Co., Ltd. Solvesso 100, Solvesso 150, Sankyo Chemical Co., Ltd. Solvent # 100, Solvent # 150, Shell Chemicals Japan Co., Ltd. Shell Sol A100, Shell Sol A150 Organic solvents such as Ipsol No. 100 and Ipsol No. 150 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd. may be used. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.

熱硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の従来公知の着色剤、アスベスト、オルベン、ベントン、微紛シリカ等の従来公知の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤および/またはレベリング剤、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、チタネート系、アルミニウム系の従来公知の添加剤類を用いることができる。   The thermosetting resin composition may further include, as necessary, conventionally known colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black, asbestos, Conventionally known thickeners such as olben, benton and fine silica, adhesion of antifoaming and / or leveling agents such as silicones, fluorines and polymers, thiazoles, triazoles and silane coupling agents Conventionally known additives such as imparting agents, flame retardants, titanates, and aluminum can be used.

熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有するドライフィルムを用いたプリント配線板の製造方法としては、従来公知の方法を用いればよいが、本発明のドライフィルムは、フィルムを剥離せずに熱硬化してする工程を備えるプリント配線板の製造方法に用いることが好ましい。例えば、図3に示すような、キャリアフィルムと保護フィルムとの間に樹脂層が挟まれたドライフィルムの場合、下記のような方法でプリント配線板を製造することができる。ドライフィルムから保護フィルムを剥離し、回路パターンが形成された回路基板に加熱ラミネートした後、キャリアフィルムを剥離せずに熱硬化させる。熱硬化は、オーブン中で硬化、もしくは熱板プレスで硬化させてもよい。回路基板上の所定の位置に対応する位置に、レーザー加工および必要に応じてドリルでパターンやビアホールを形成し、回路配線を露出させることで、プリント配線板を製造することができる。この際、パターンやビアホール内の回路配線上に除去しきれないで残留した成分(スミア)が存在する場合にはデスミア処理を行う。上記製造方法の場合、キャリアフィルムはレーザー加工後またはデスミア処理後のいずれかに、剥離すればよい。   As a method for producing a printed wiring board using a dry film having a resin layer composed of a thermosetting resin composition, a conventionally known method may be used. It is preferable to use for the manufacturing method of a printed wiring board provided with the process to harden | cure. For example, in the case of a dry film in which a resin layer is sandwiched between a carrier film and a protective film as shown in FIG. 3, a printed wiring board can be manufactured by the following method. After the protective film is peeled from the dry film and heat laminated to the circuit board on which the circuit pattern is formed, the carrier film is cured without being peeled. The heat curing may be performed in an oven or by a hot plate press. A printed wiring board can be manufactured by forming a pattern or a via hole with laser processing and drilling if necessary at a position corresponding to a predetermined position on the circuit board to expose the circuit wiring. At this time, if there is a component (smear) that cannot be completely removed on the circuit wiring in the pattern or via hole, desmear processing is performed. In the case of the above production method, the carrier film may be peeled off either after laser processing or after desmear treatment.

本発明のドライフィルムは、プリント配線板の永久保護膜の形成に好ましく用いることができ、中でもソルダーレジスト層、層間絶縁層、フレキシブルプリント配線板のカバーレイの形成に好ましく用いることができる。特に、本発明のドライフィルムは、フィルムを剥がさずに樹脂層を熱硬化して硬化物を形成する用途に好ましく用いることができる。本発明のドライフィルムを用いて、配線を貼り合わせることによって配線板を形成してもよい。また、半導体チップ用の封止材としても用いることができる。   The dry film of the present invention can be preferably used for the formation of a permanent protective film of a printed wiring board, and can be preferably used for the formation of a solder resist layer, an interlayer insulating layer, and a cover lay for a flexible printed wiring board. In particular, the dry film of the present invention can be preferably used for applications in which a cured product is formed by thermosetting a resin layer without peeling off the film. You may form a wiring board by bonding a wiring together using the dry film of this invention. It can also be used as a sealing material for semiconductor chips.

以下、本発明の実施例および比較例および試験例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, comparative examples, and test examples of the present invention. However, the present invention is not limited to the following examples. In the following description, “parts” and “%” are all based on mass unless otherwise specified.

(キャリアフィルムA−1〜A−5、R−1、R−2)
キャリアフィルムA−1〜A−5、R−1、R−2として、以下のものを使用した。
フィルムA−1:藤森工業社製NSP−5(膜厚25μm)
フィルムA−2:藤森工業社製NSP−5(膜厚38μm)
フィルムA−3:藤森工業社製NSP−5(膜厚50μm)
フィルムA−4:東レ社製セラピールH2(膜厚38μm)
フィルムA−5:リンテック社製SK−1(膜厚38μm)
フィルムR−1:東洋紡社製E5041(膜厚25μm)
フィルムR−2:パナック社製SG−1(膜厚38μm)
(Carrier films A-1 to A-5, R-1, R-2)
The following were used as carrier films A-1 to A-5, R-1, and R-2.
Film A-1: NSP-5 manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. (film thickness 25 μm)
Film A-2: NSP-5 manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. (film thickness 38 μm)
Film A-3: NSP-5 manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. (film thickness 50 μm)
Film A-4: Toray Co., Ltd. therapy H2 (film thickness 38 μm)
Film A-5: SK-1 (film thickness: 38 μm) manufactured by Lintec Corporation
Film R-1: Toyobo E5041 (film thickness 25 μm)
Film R-2: SG-1 manufactured by Panac (film thickness 38 μm)

(フィルムのMD方向とTD方向の長さの熱変化率の差の測定)
まず、ポリエステルフィルムA−1から、MD方向の長さの熱変化率の測定用のテストピースおよびTD方向の長さの熱変化率の測定用のテストピースとして、それぞれ、図4に示すように、3mm(TD)×10mm(MD)の大きさのテストピース(a)と、10mm(TD)×3mm(MD)の大きさのテストピース(b)とを切り出して作製した。
(Measurement of the difference in heat change rate between the MD and TD lengths of the film)
First, from the polyester film A-1, as a test piece for measuring the thermal change rate in the length in the MD direction and a test piece for measuring the thermal change rate in the length in the TD direction, respectively, as shown in FIG. A test piece (a) having a size of 3 mm (TD) × 10 mm (MD) and a test piece (b) having a size of 10 mm (TD) × 3 mm (MD) were cut and produced.

次に、セイコーインスツル社製TMA6100を用いて、テストピース(a)の引張荷重法によるMD方向の長さの熱変化率を測定した。測定は、窒素雰囲気下、荷重2g、引っ張りモードで、テストピースの長辺方向に引っ張りながら、熱歪みを除去するアニール処理として、温度を30℃→100℃(昇温速度15℃/分)に昇温し、100℃で30分保持し、100℃→180℃(昇温速度5℃/分)に昇温し、180℃で30分保持し、30℃まで戻した後、再度温度を30℃→100℃(昇温速度15℃/分)に昇温し、100℃で30分保持し、100℃→180℃(昇温速度5℃/分)に昇温し、180℃で30分保持し、MD方向の長さの熱変化率を測定した。その後、テストピース(a)をテストピース(b)に変え、上記と同様の条件でTD方向の長さの熱変化率を測定した。なお、フィルムの熱処理前の長さは、荷重をかけない状態で測定した値である。
MD方向の長さの熱変化率(%)=100×(熱処理後のMD方向の長さ−熱処理前のMD方向の長さ)/熱処理前のMD方向の長さ
TD方向の長さの熱変化率(%)=100×(熱処理後のTD方向の長さ−熱処理前のTD方向の長さ)/熱処理前のTD方向の長さ
Next, the thermal change rate of the length of MD direction by the tensile load method of the test piece (a) was measured using TMA6100 by Seiko Instruments Inc. The measurement was performed at a temperature of 30 ° C. to 100 ° C. (temperature increase rate: 15 ° C./min) as an annealing treatment for removing thermal strain while pulling in the long side direction of the test piece in a nitrogen atmosphere under a load of 2 g and in a tensile mode. The temperature was raised, held at 100 ° C. for 30 minutes, heated to 100 ° C. → 180 ° C. (heating rate 5 ° C./minute), held at 180 ° C. for 30 minutes, returned to 30 ° C., and then the temperature was changed to 30 again. The temperature was raised to 100 ° C. → 100 ° C. (temperature increase rate 15 ° C./min), held at 100 ° C. for 30 minutes, heated to 100 ° C. → 180 ° C. (temperature increase rate 5 ° C./min), and then heated at 180 ° C. for 30 minutes. The heat change rate of the length in the MD direction was measured. Thereafter, the test piece (a) was changed to the test piece (b), and the rate of thermal change in length in the TD direction was measured under the same conditions as described above. In addition, the length before heat processing of a film is the value measured in the state which does not apply a load.
Thermal change rate of length in MD direction (%) = 100 × (length in MD direction after heat treatment−length in MD direction before heat treatment) / length in MD direction before heat treatment Length of heat in TD direction Rate of change (%) = 100 × (length in TD direction after heat treatment−length in TD direction before heat treatment) / length in TD direction before heat treatment

次に、フィルムA−1のMD方向の長さの熱変化率(%)およびTD方向の長さの熱変化率(%)からその差(絶対値)を計算し、フィルムA−1の熱変化率の差(%)を求めた。
フィルムの 熱変化率の差(%)= |MD熱変化率(%)−TD熱変化率(%)| また、フィルムA−2〜A−5、R−1、R−2についても、フィルムA−1と同様にしてフィルムの熱変化率の差(%)を求めた。その結果は、以下の通りである。
フィルムA−1の熱変化率の差:2.00
フィルムA−2の熱変化率の差:1.75
フィルムA−3の熱変化率の差:1.31
フィルムA−4の熱変化率の差:2.35
フィルムA−5の熱変化率の差:2.50
フィルムR−1の熱変化率の差:3.62
フィルムR−2の熱変化率の差:3.03
Next, the difference (absolute value) is calculated from the heat change rate (%) of the length in the MD direction of the film A-1 and the heat change rate (%) of the length in the TD direction, and the heat of the film A-1 is calculated. The difference (%) in change rate was determined.
Difference in heat change rate of film (%) = | MD heat change rate (%) − TD heat change rate (%) | Also, films A-2 to A-5, R-1, and R-2 are also films. The difference (%) in the rate of thermal change of the film was determined in the same manner as in A-1. The results are as follows.
Difference in thermal change rate of film A-1: 2.00
Difference in thermal change rate of film A-2: 1.75
Difference in heat change rate of film A-3: 1.31
Difference in thermal change rate of film A-4: 2.35
Difference in thermal change rate of film A-5: 2.50
Difference in thermal change rate of film R-1: 3.62
Difference in thermal change rate of film R-2: 3.03

(実施例1〜10および比較例1、2)
<ドライフィルムの作製>
下記表1の実施例、比較例に示す種々の成分と共に表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて15分間攪拌し予備混合し、次いで3本ロールミルにて混錬し、熱硬化性樹脂層用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
次にリップコーターを用いて、熱硬化性樹脂組成物を実施例および比較例ごとに示す上記のPETフィルム(キャリアフィルム)上に塗布し、90℃の温度で10分間乾燥し、厚み40μmの熱硬化性樹脂層をキャリアフィルム上に形成し、ドライフィルムを作製した。次に熱硬化性樹脂層上に保護フィルム(ポリプロピレンフィルム)を積層した。
(Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2)
<Production of dry film>
It mix | blends in the ratio (mass part) shown in Table 1 with the various component shown in the Example of following Table 1, and a comparative example, It stirs for 15 minutes with a stirrer, and premixes, Then knead | mixes with a 3 roll mill, A thermosetting resin composition for a thermosetting resin layer was prepared.
Next, using a lip coater, the thermosetting resin composition was applied on the PET film (carrier film) shown in each example and comparative example, dried at a temperature of 90 ° C. for 10 minutes, and heated to a thickness of 40 μm. A curable resin layer was formed on the carrier film to produce a dry film. Next, a protective film (polypropylene film) was laminated on the thermosetting resin layer.

<熱硬化膜を有する基板の作成>
次に、回路形成された基板(500mm×600mm×0.4mmt(厚み))を化学研磨した後、上記実施例および比較例にて作製したドライフィルムから保護フィルムを剥離し、熱硬化性樹脂層側が基板面に接するように張り合わせ、真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP−500)を用いて加圧度:0.5MPa、90℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートして、熱硬化性樹脂層を有する基板(未硬化の基板)を得た。次に熱風循環式乾燥炉にてキャリアフィルをつけた状態で実施例および比較例に示す温度と時間で加熱し、熱硬化膜を得た。
<Creation of a substrate having a thermosetting film>
Next, after the circuit-formed substrate (500 mm × 600 mm × 0.4 mmt (thickness)) is chemically polished, the protective film is peeled off from the dry films prepared in the above-described Examples and Comparative Examples, and a thermosetting resin layer is formed. Laminate so that the side is in contact with the substrate surface, and heat laminate using a vacuum laminator (MVLP-500 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) under the conditions of pressure: 0.5 MPa, 90 ° C., 1 minute, vacuum: 133.3 Pa. Thus, a substrate (uncured substrate) having a thermosetting resin layer was obtained. Next, it heated at the temperature and time which are shown to an Example and a comparative example in the state which attached the carrier fill with the hot-air circulation type drying furnace, and obtained the thermosetting film.

<ガラス転移温度(Tg)および熱膨張係数(CTE(α1))>
前記<ドライフィルムの作製>に記載の方法で作成したドライフィルムをGTS−MP箔(古河サーキットフォイル社製)の光沢面側(銅箔)上に、保護フィルムを剥離したドライフィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP‐500(名機社製)を用いて、加圧度:0.5MPa、90℃、1分、真空度:133.3Paの条件で銅箔上に加熱ラミネートした。
次いで、熱風循環式乾燥炉にて100℃で30分間加熱させた後に200℃で60分間、樹脂層を硬化させた後、キャリアフィルムを剥離することで硬化物を得た。その後、硬化物を銅箔より剥離した後、測定サイズ(3mm×10mmのサイズ)にサンプルを切り出し、セイコーインスツル社製TMA6100に供した。TMA測定は、試験加重5g、サンプルを10℃/minの昇温速度で室温より昇温、連続して2回測定した。2回目における熱膨張係数の異なる2接線の交点をガラス転移温度(Tg)として評価した。
・ガラス転移温度(Tg)の評価
◎:Tgが170℃以上。
○:Tgが155℃以上170℃未満。
・熱膨張係数(CTE(α1))の評価
◎:15ppm未満。
○:15ppm以上25ppm未満。
<Glass transition temperature (Tg) and coefficient of thermal expansion (CTE (α1))>
The dry film produced by the method described in <Preparation of Dry Film> is a batch type dry film obtained by peeling off the protective film on the glossy surface side (copper foil) of GTS-MP foil (Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.). Using a vacuum pressure laminator MVLP-500 (manufactured by Meiki Co., Ltd.), the laminate was heated and laminated on the copper foil under the conditions of pressure: 0.5 MPa, 90 ° C., 1 minute, and vacuum: 133.3 Pa.
Next, after heating at 100 ° C. for 30 minutes in a hot-air circulating drying oven, the resin layer was cured at 200 ° C. for 60 minutes, and then the carrier film was peeled off to obtain a cured product. Then, after peeling hardened | cured material from copper foil, the sample was cut out to the measurement size (size of 3 mm x 10 mm), and it used for TMA6100 by Seiko Instruments Inc. In the TMA measurement, the test weight was 5 g, and the sample was heated from room temperature at a heating rate of 10 ° C./min, and was measured twice continuously. The intersection of two tangents having different thermal expansion coefficients in the second round was evaluated as the glass transition temperature (Tg).
-Evaluation of glass transition temperature (Tg) (double-circle): Tg is 170 degreeC or more.
○: Tg is 155 ° C. or higher and lower than 170 ° C.
-Evaluation of thermal expansion coefficient (CTE (α1)) A: Less than 15 ppm.
○: 15 ppm or more and less than 25 ppm.

<誘電正接(Df)の測定>
前記、<ガラス転移温度(Tg)および熱膨張係数(CTE(α1))>に記載の方法にて、厚み40μmの硬化物を得た。得られた硬化物について、SPDR誘電体共振器とネットワークアナライザー(ともにアジレント社製)を用い、23℃における10GHzの誘電正接の測定を行った。判断基準は以下に示す通りである。
◎:10GHzでの誘電正接が0.005以未満。
○:10GHzでの誘電正接が0.005以上0.008未満。
<Measurement of dielectric loss tangent (Df)>
A cured product having a thickness of 40 μm was obtained by the method described in <Glass Transition Temperature (Tg) and Thermal Expansion Coefficient (CTE (α1))>. About the obtained hardened | cured material, the measurement of the dielectric loss tangent of 10 GHz in 23 degreeC was performed using the SPDR dielectric resonator and the network analyzer (both manufactured by Agilent). Judgment criteria are as follows.
A: Dielectric loss tangent at 10 GHz is less than 0.005.
A: The dielectric loss tangent at 10 GHz is 0.005 or more and less than 0.008.

<レーザー加工性>
前記の<熱硬化膜を有する基板の作成>に記載の方法にて作成した基板にCOレーザー加工機(日立ビアメカニクス社製)を用いてキャリアフィルム上からトップ径が40μmとなるように熱硬化膜にビア形成を行い、レーザー加工した後、キャリアフィルムを剥離した。熱硬化膜のビアの形成状態の確認を、基板の表層部から、光学顕微鏡にて100ヶ所の状態観察およびビアTOPとビア底の測長を行い、レーザー加工性を下記のように評価した。
○:表層部からの観察で、ビアの形成が確認され、そのビアのトップ径が37〜43μmおよびビア底の直径が25〜35μmであるか、または、トップ径が37〜43μmの範囲外またはビア底の直径が25〜35μmの範囲外であるビアが3ヶ所未満であること。
×:表層部からの観察で、トップ径が37〜43μmの範囲外またはビア底の直径が25〜35μmの範囲外であるビアが3ヶ所以上観察された。
<Laser workability>
Using a CO 2 laser processing machine (manufactured by Hitachi Via Mechanics), heat the substrate prepared by the method described in <Preparation of substrate having thermosetting film> so that the top diameter is 40 μm from the top of the carrier film. Via formation was performed on the cured film, laser processing was performed, and then the carrier film was peeled off. Confirmation of the formation state of the vias of the thermosetting film was performed by observing the state of 100 locations with the optical microscope and measuring the via TOP and the via bottom from the surface layer portion of the substrate, and evaluating the laser workability as follows.
○: Formation of a via was confirmed by observation from the surface layer, and the top diameter of the via was 37 to 43 μm and the diameter of the via bottom was 25 to 35 μm, or the top diameter was outside the range of 37 to 43 μm or There are less than three vias whose bottom diameter is outside the range of 25-35 μm.
X: In observation from the surface layer portion, three or more vias having a top diameter outside the range of 37 to 43 μm or a via bottom diameter outside the range of 25 to 35 μm were observed.

<デスミア性(エッチング斑)>
前記の<熱硬化膜を有する基板の作成>に記載の方法にて作成した基板からキャリアフィルムを剥離し、市販の湿式過マンガン酸デスミア(ATOTECH社製)を下記条件にてデスミア処理を施した。具体的にはスウェリングディップ セキュリガントPに60℃で5分間浸漬した後(膨潤処理)、コンセントレート コンパクトCPに80℃で20分浸漬し(粗化処理)、ついでリダクションセキュリガントP500(還元処理)に40℃で5分間浸漬することで得られた試験基板の20mm×20mmの範囲の表面をSEM(走査型電子顕微鏡)にて観察を行い、デスミア性を下記のように評価した。
◎:エッチング斑が観察されない。
○:エッチング斑が1ヶ所以上から5ヶ所未満観察された。
×:エッチング斑が5ヶ所以上観察された。
<Desmearing (etching spots)>
The carrier film was peeled from the substrate prepared by the method described in <Preparation of substrate having thermosetting film>, and a commercially available wet permanganate desmear (manufactured by ATOTECH) was subjected to desmear treatment under the following conditions. . Specifically, after immersing in Swelling Dip Securigant P for 5 minutes at 60 ° C. (swelling treatment), immerse in Concentrate Compact CP for 20 minutes at 80 ° C. (roughening treatment), and then reduce securigant P500 (reduction treatment). ) Was observed with a SEM (scanning electron microscope) and the desmear property was evaluated as follows.
A: Etching spots are not observed.
○: Etching spots were observed from 1 place to less than 5 places.
X: 5 or more etching spots were observed.

<ピール強度>
前記の<熱硬化膜を有する基板の作成>に記載の方法にて作成した基板からキャリアフィルムを剥離した基板に市販の湿式過マンガン酸デスミア(ATOTECH社製)、無電解銅めっき(スルカップPEA、上村工業社製)、電解銅めっき処理の順に処理を行い、樹脂層上に銅厚み25μmとなるように銅めっき処理を施した。次いで、熱風循環式乾燥炉にて190℃で60分間アニール処理を行い、試験基板を得た。この試験基板の銅めっき層に幅10mm、長さ60mmの切込みをいれ、この一方の端を剥がしてつかみ具にて挟み、卓上型引張試験器(島津製作所製EZ−SX)にて90度の角度で、50mm/分の速度で銅めっき層を35mmの長さを引き剥がした時のピール強度(N/cm)を測定した。
○:ピール強度が3.5(N/cm)以上。
×:ピール強度が3.5(N/cm)未満。
<Peel strength>
Commercially available wet permanganate desmear (manufactured by ATOTECH), electroless copper plating (Sulcup PEA, Sulcup PEA, etc.) on the substrate obtained by peeling the carrier film from the substrate prepared by the method described in <Preparation of substrate having thermosetting film>. Uemura Kogyo Co., Ltd.) and electrolytic copper plating treatment were performed in this order, and the copper plating treatment was performed on the resin layer so that the copper thickness was 25 μm. Next, an annealing treatment was performed at 190 ° C. for 60 minutes in a hot-air circulating drying furnace to obtain a test substrate. A notch with a width of 10 mm and a length of 60 mm is made in the copper plating layer of this test board, one end of the test board is peeled off and sandwiched by a gripping tool, and a 90 ° degree is measured with a desktop tensile tester (EZ-SX, manufactured by Shimadzu Corporation). The peel strength (N / cm) when the 35 mm length of the copper plating layer was peeled off at an angle of 50 mm / min was measured.
○: Peel strength is 3.5 (N / cm) or more.
X: Peel strength is less than 3.5 (N / cm).

<BHAST耐性>
クシ型電極(ライン/スペース=20ミクロン/15ミクロン)が形成されたBT基板に、前記<ドライフィルムの作製>に記載の方法にて作製した厚み40μmの各ドライフィルムを真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP−500)を用いて、前記<熱硬化膜を有する基板の作成>に記載の方法で回路基板上に熱硬化膜を形成した後、キャリアフィルムを剥離し、評価基板を作成した。評価基板を、温度130℃、湿度85%の雰囲気下の高温高湿槽に入れ、電圧5.5Vを荷電し、槽内HAST試験を行った。樹脂層の硬化膜の種々の時間経過時の槽内絶縁抵抗値を下記の判断基準に従い評価した。
○:300時間経過後、10Ω以上。
×:300時間経過時、10Ω未満。
<BHAST resistance>
Each dry film having a thickness of 40 μm produced by the method described in <Preparation of Dry Film> on a BT substrate on which comb-shaped electrodes (line / space = 20 microns / 15 microns) are formed is a vacuum laminator (Meiki Seisakusho Co., Ltd.). Using MVLP-500), a thermosetting film was formed on the circuit board by the method described in <Preparation of substrate having thermosetting film>, and then the carrier film was peeled off to prepare an evaluation board. The evaluation substrate was placed in a high-temperature and high-humidity tank under an atmosphere of a temperature of 130 ° C. and a humidity of 85%, charged with a voltage of 5.5 V, and an in-chamber HAST test was performed. The insulation resistance value in the tank at various times of the cured film of the resin layer was evaluated according to the following criteria.
○: 10 8 Ω or more after 300 hours.
×: Less than 10 8 Ω after 300 hours.

<回路隠蔽性>
回路基板として、銅厚20μmの回路パターンが形成された400mm×300mm×厚み0.8mmの両面銅張積層板(MCL−E−679FGR,日立化成工業社製)を用い、これに処理剤(CZ−8100+CL−8300,メック社製)を用いて前処理を施すことにより、銅エッチング量1μm相当の粗化面を形成した。この前処理の施された回路パターンが形成された銅張積層板に、前記<ドライフィルムの作製>に記載の方法にて作製した厚み40μmの各ドライフィルムを真空ラミネーター(名機製作所社製MVLP−500)を用いて、前記<硬化膜を有する基板の作成>に記載の方法で回路基板上に熱 硬化膜を形成した後、キャリアフィルムを剥離しプリント配線板を得た。
得られた評価基板につき、硬化膜上からの銅回路の変色を目視により確認して、回路の隠蔽性について評価した。判断基準は下記に示す通り。
◎:変色が確認されない。
○:変色がわずかに確認された。
<Circuit concealment>
As the circuit board, a double-sided copper-clad laminate (MCL-E-679FGR, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a thickness of 400 mm × 300 mm × thickness 0.8 mm on which a circuit pattern with a copper thickness of 20 μm is formed is used. A roughened surface corresponding to a copper etching amount of 1 μm was formed by performing pretreatment using −8100 + CL-8300 (manufactured by MEC). Each dry film having a thickness of 40 μm produced by the method described in <Preparation of Dry Film> was applied to a copper laminating board on which the circuit pattern subjected to the pretreatment was formed by using a vacuum laminator (MVLP manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). -500), a thermosetting film was formed on the circuit board by the method described in <Preparation of substrate having cured film>, and then the carrier film was peeled to obtain a printed wiring board.
About the obtained evaluation board | substrate, the discoloration of the copper circuit from a cured film was confirmed visually, and the concealability of the circuit was evaluated. Judgment criteria are as follows.
A: Discoloration is not confirmed.
○: Slight discoloration was confirmed.

Figure 2018125378
*1)jER828:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、三菱化学社製、液状エポキシ樹脂
*2)jER807:ビスフェノールF型エポキシ樹脂、三菱化学社製、液状エポキシ樹脂
*3)HP−4032:ナフタレン型エポキシ樹脂、DIC社製、半固形エポキシ樹脂
*4)HP−7200L:ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、DIC社製、軟化点57〜68℃、固形エポキシ樹脂
*5)HF−1M:フェノールノボラック樹脂、明和化成社製
*6)LA−3018:ノボラック樹脂、DIC社製
*7)BA−3000:Bis−A型シアネートエステル樹脂、ロンザジャパン社製
*8)EXB−8100L:活性エステル樹脂、DIC社製
*9)4DMAPy:4−ジメチルアミノピリジン、広栄化学工業社製
*10)CO(II):コバルト(II)アセチルアセトナート
*11)FX−293:フェノキシ樹脂、新日鉄住金化学社製
*12)SO−C2:シリカSiO、アドマテックス社製
*13)HCA−HQ:リン系難燃剤、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−9,10−ジヒドロ9−オキサ−10フォスファフェナントレン−10−オキサイド、三光社製
*14)C.I.Pigment Yellow 147
*15)C.I.Pigment Blue 15:3
Figure 2018125378
* 1) jER828: bisphenol A type epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, liquid epoxy resin * 2) jER807: bisphenol F type epoxy resin, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, liquid epoxy resin * 3) HP-4032: naphthalene type epoxy resin, DIC, semi-solid epoxy resin * 4) HP-7200L: dicyclopentadiene type epoxy resin, DIC, softening point 57-68 ° C., solid epoxy resin * 5) HF-1M: phenol novolac resin, Meiwa Kasei Co., Ltd. * 6) LA-3018: Novolac resin, manufactured by DIC * 7) BA-3000: Bis-A type cyanate ester resin, manufactured by Lonza Japan * 8) EXB-8100L: Active ester resin, manufactured by DIC * 9) 4DMAPy: 4-dimethylaminopyridine, manufactured by Guangei Chemical Industry Co., Ltd. * 10) CO (II Cobalt (II) acetylacetonate * 11) FX-293: phenoxy resin, Nippon Steel Sumitomo Metals Chemical Co., Ltd. * 12) SO-C2: Silica SiO 2, Admatechs Co., Ltd. * 13) HCA-HQ: phosphorus-based flame retardant, 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -9,10-dihydro-9-oxa-10 phosphaphenanthrene-10-oxide, manufactured by Sanko Co., Ltd. * 14) C.I. I. Pigment Yellow 147
* 15) C.I. I. Pigment Blue 15: 3

Figure 2018125378
Figure 2018125378

Figure 2018125378
Figure 2018125378

上記表1〜3に示す結果から、実施例のドライフィルムの場合、デスミア後のエッチング斑が少ないことからもわかるように、表面にムラが少ない硬化物を形成できることがわかる。一方、フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率の差が2.7%よりも大きい比較例1、2のドライフィルムの場合、デスミア後のエッチング斑が多く、硬化物の表面のムラが大きいことがわかる。   From the results shown in Tables 1 to 3, it can be seen that in the case of the dry film of the example, a cured product with less unevenness can be formed on the surface, as can be seen from the fact that there are few etching spots after desmearing. On the other hand, in the case of the dry films of Comparative Examples 1 and 2 in which the difference in the rate of thermal change between the longitudinal and lateral lengths of the film is greater than 2.7%, there are many etching spots after desmearing, and the surface of the cured product It can be seen that the unevenness is large.

11 フィルム
21 二層構造のドライフィルム
22 樹脂層
23 フィルム(キャリアフィルム)
31 三層構造のドライフィルム
32 樹脂層
33 フィルム(キャリアフィルム)
34 フィルム(保護フィルム)
41 フィルム
(a) テストピース(a)の切り出し形状
(b) テストピース(b)の切り出し形状
11 Film 21 Two-layer dry film 22 Resin layer 23 Film (carrier film)
31 Three-layer dry film 32 Resin layer 33 Film (carrier film)
34 Film (Protective film)
41 Film (a) Cutout shape of test piece (a) (b) Cutout shape of test piece (b)

Claims (7)

フィルムに樹脂層が積層されたドライフィルムであって、
前記樹脂層が、熱硬化性樹脂および硬化剤を含有する熱硬化性の樹脂層であり、
前記フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率(%)の差が、2.7%以下であり、
前記硬化剤として、フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも何れか2種以上を含むことを特徴とするドライフィルム。
A dry film in which a resin layer is laminated on a film,
The resin layer is a thermosetting resin layer containing a thermosetting resin and a curing agent,
The difference in heat change rate (%) between the length of the film in the vertical direction and the horizontal direction is 2.7% or less,
A dry film comprising at least any two or more selected from a phenol resin, a cyanate ester resin, and an active ester resin as the curing agent.
前記熱硬化性樹脂が、エポキシ化合物であることを特徴とする請求項1記載のドライフィルム。   The dry film according to claim 1, wherein the thermosetting resin is an epoxy compound. 前記樹脂層が、前記硬化剤として、フェノール樹脂を含有し、さらに、シアネートエステル樹脂および活性エステル樹脂の少なくとも何れか一方を含有することを特徴とする請求項1または2記載のドライフィルム。   The dry film according to claim 1, wherein the resin layer contains a phenol resin as the curing agent, and further contains at least one of a cyanate ester resin and an active ester resin. 前記フィルムの縦方向と横方向の長さの熱変化率の差が2.1%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のドライフィルム。   The dry film according to any one of claims 1 to 3, wherein a difference in heat change rate between the length in the vertical direction and the horizontal direction of the film is 2.1% or less. 請求項1〜4のいずれか一項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。   A cured product obtained by curing the resin layer of the dry film according to claim 1. 請求項5記載の硬化物を具備することを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising the cured product according to claim 5. 請求項1〜4のいずれか一項記載のドライフィルムの樹脂層を基材にラミネートし、前記フィルムを剥がさずに熱硬化して硬化物を得る工程を備えることを特徴とする硬化物の製造方法。
A process for producing a cured product, comprising: laminating a resin layer of the dry film according to any one of claims 1 to 4 on a base material, and thermally curing the film without removing the film to obtain a cured product. Method.
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