JP2018125367A - 発光素子の製造方法 - Google Patents
発光素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018125367A JP2018125367A JP2017015255A JP2017015255A JP2018125367A JP 2018125367 A JP2018125367 A JP 2018125367A JP 2017015255 A JP2017015255 A JP 2017015255A JP 2017015255 A JP2017015255 A JP 2017015255A JP 2018125367 A JP2018125367 A JP 2018125367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- light
- transmitting conductive
- manufacturing
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 8
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 35
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
Description
図1は実施形態1に係る発光素子1の製造方法を説明するフローチャートである。図2A〜図2Eは実施形態1に係る発光素子1の製造方法を説明する模式的断面図である。図1及び図2A〜図2Eに示すように、実施形態1に係る発光素子1の製造方法は、半導体構造20を準備する工程と、半導体構造20の上面に、スパッタリング法により第1透光性導電膜30を形成する工程と、第1透光性導電膜30の上面に、蒸着法により第2透光性導電膜40を形成する工程と、第2透光性導電膜40の上面側をウェットエッチングする工程と、第2透光性導電膜40の上面に電極50を形成する工程と、をこの順に有する発光素子の製造方法である。以下、各工程について詳細に説明する。
まず、図2Aに示すように、半導体構造20を準備する。半導体構造20は、例えばInXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y≦1)などの窒化物半導体を含む。本実施形態では、半導体構造20にGaNを用いている。半導体構造20の厚みは例えば7μm以上12μm以下程度である。半導体構造20は、例えばサファイアからなる基板10の上面に、有機金属気相成長法(MOCVD)、ハイドライド気相成長法(HVPE)、または分子線エピタキシャル成長法(MBE)等を用いて形成することができる。
次いで、図2Bに示すように、半導体構造20の上面に、スパッタリング法により第1透光性導電膜30を形成する。
次いで、図2Cに示すように、第1透光性導電膜30の上面に、蒸着法により第2透光性導電膜40を形成する。蒸着法は例えばRPD法(反応性プラズマ蒸着法)である。
次いで、図2Dに示すように、第2透光性導電膜40の上面側をウェットエッチングする。これにより、第2透光性導電膜40の上面側に形成されているアモルファス層を除去する。第2透光性導電膜40の上面に形成されているアモルファス層は非常に薄く、ウェットエッチングすることで除去される第2透光性導電膜40の厚さDは10nm以上25nm以下程度である。ウェットエッチングに使用するエッチャントには、例えば、塩酸、硝酸、シュウ酸、塩化鉄、フッ酸、純水等からなる混合液を使用することができる。
次いで、図2Eに示すように、第2透光性導電膜40の上面に電極50を形成する。電極50は例えばAlを含む。電極50は、積層構造を有していてもよく、例えば、Ti、Ni、Pt、Au、Ag、Rh、Crなどの金属層を含む積層構造とすることができる。第2透光性導電膜40をITOを用いて形成し、Alを含む電極50を形成した場合、第2透光性導電膜40と電極50との密着性は一般的に良くない傾向にある。しかしながら、本実施形態では、第2透光性導電膜40と電極50との密着性を向上させ、高い光反射性を有するAlを含む電極50による発光素子1を製造できる。その結果、半導体構造20が発する光が電極50により吸収されることを低減し、発光素子1の光取り出し効率を向上できる。
図4は複数の領域が有する一の領域を示す模式的上面図である。以下、図4を参照しつつ、複数の領域の平均径を算出する方法について説明する。
次に、比較例1に係る発光素子の製造方法について説明する。比較例1では、第1透光性導電膜をスパッタリング法で厚さが80nmになるように形成し、第1透光性導電膜の上面側をウェットエッチングした。その後、第1透光性導電膜の上面に電極を形成した。つまり、比較例1では、実施例1における第2透光性導電膜を形成する工程を行わず、第1透光性導電膜の厚さが実施例1における透光性導電膜全体の厚さと同様になるようにした。その他の条件は実施例1と同様である。比較例2において、ウェットエッチング後に第1透光性導電膜の上面をSEMで撮影して得られた画像を図6に示す。実施例1を比較例1と比較すると、実施例1では比較例1と比較して電極の剥がれが発生する頻度が少なかった。これは、図5と図6を比較すれば分かるように、実施例1では比較例1よりも、複数の領域の平均径が大きいため、電極と透光性導電膜との密着性が高いためであると考えられる。図6から複数の領域の平均径を算出した結果、比較例2における複数の領域の平均径は、約0.27μmであった。
次に、比較例2に係る発光素子の製造方法について説明する。比較例2では、第1透光性導電膜をRPD法で厚さが80nmになるように形成し、第1透光性導電膜の上面側をウェットエッチングした。その後、第1透光性導電膜の上面に電極を形成した。つまり、比較例2では、第1透光性導電膜を蒸着法により形成するとともに、実施例1における第2透光性導電膜を形成する工程を行わず、第1透光性導電膜の厚さが実施例1における透光性導電膜全体の厚さと同様になるようにした。その他の条件は実施例1と同様である。比較例2において、ウェットエッチング後に第1透光性導電膜の上面をSEMで撮影して得られた画像を図7に示す。実施例1を比較例2と比較すると、実施例1では比較例2と比較して電極の剥がれが発生する頻度が少なかった。これは、図5と図7を比較すれば分かるように、実施例1では、比較例2よりも、複数の領域の平均径が大きいため、電極と透光性導電膜との密着性が高いためであると考えられる。図7から複数の領域の平均径を算出しようとしたが、複数の領域が小さいため算出することができなかった。
次に、比較例3に係る発光素子の製造方法について説明する。比較例3では、第1透光性導電膜をRPD法で形成した後、第2透光性導電膜をスパッタリング法で形成した。なお、比較例3では、第2透光性導電膜の上面に電極を形成しなかった。これらの点以外は実施例1と同様である。比較例3において、ウェットエッチング後に第2透光性導電膜の上面をSEMで撮影して得られた画像を図8に示す。図7と図8とを比較すれば分かるように、比較例3では、比較例2と同様に複数の領域の平均径が小さくなっており、複数の領域の平均径を算出することができなかった。そのため、比較例3は、比較例2と同様に、実施例1よりも電極と第2透光性導電膜との密着性は低いと考えられる。
10 基板
20 半導体構造
30 第1透光性導電膜
40 第2透光性導電膜
50 電極
D ウェットエッチングすることで除去される第2透光性導電膜の厚さ
Claims (8)
- 半導体構造を準備する工程と、
前記半導体構造の上面に、スパッタリング法により第1透光性導電膜を形成する工程と、
前記第1透光性導電膜の上面に、蒸着法により第2透光性導電膜を形成する工程と、
前記第2透光性導電膜の上面側をウェットエッチングする工程と、
前記第2透光性導電膜の上面に電極を形成する工程と、をこの順に有する発光素子の製造方法。 - 前記蒸着法は反応性プラズマ蒸着法である請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1透光性導電膜及び前記第2透光性導電膜はいずれもITOからなる請求項1または2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記電極はAlを含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記ウェットエッチング後において、前記第2透光性導電膜は前記第1透光性導電膜よりも厚い請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記ウェットエッチング後において、前記第2透光性導電膜の上面は高さの異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域の平均径は0.3μm以上1.0μm以下である請求項1〜5のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。 - 前記ウェットエッチング前において、前記第1透光性導電膜及び前記第2透光性導電膜はいずれも20nm以上60nm以下の厚さを有する請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記半導体構造は窒化物半導体を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017015255A JP6848485B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017015255A JP6848485B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018125367A true JP2018125367A (ja) | 2018-08-09 |
JP6848485B2 JP6848485B2 (ja) | 2021-03-24 |
Family
ID=63109037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017015255A Active JP6848485B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 発光素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6848485B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008258615A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | スタック型透明電極を有する半導体発光装置 |
CN103280501A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-09-04 | 上海蓝光科技有限公司 | Led芯片及其制造方法 |
US20150255682A1 (en) * | 2012-12-21 | 2015-09-10 | Xiamen Sanan Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Light Emitting Diode and Fabrication Method Thereof |
-
2017
- 2017-01-31 JP JP2017015255A patent/JP6848485B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008258615A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | スタック型透明電極を有する半導体発光装置 |
US20150255682A1 (en) * | 2012-12-21 | 2015-09-10 | Xiamen Sanan Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Light Emitting Diode and Fabrication Method Thereof |
CN103280501A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-09-04 | 上海蓝光科技有限公司 | Led芯片及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6848485B2 (ja) | 2021-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8952401B2 (en) | Semiconductor light emitting device, wafer, and method for manufacturing nitride semiconductor crystal layer | |
JP6024533B2 (ja) | サファイア基板及びその製造方法並びに窒化物半導体発光素子 | |
US20110001120A1 (en) | Semiconductor light-emitting device with double-sided passivation | |
US8860183B2 (en) | Semiconductor substrate, semiconductor device, and manufacturing methods thereof | |
US9318653B2 (en) | Luminescent device and manufacturing method for luminescent device and semiconductor device | |
JP2008294188A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US8618563B2 (en) | Light emitting device with vertically adjustable light emitting pattern | |
JP2012248807A (ja) | 発光素子およびその製造方法 | |
JP6627728B2 (ja) | 発光素子の製造方法 | |
CN110061111B (zh) | 发光元件及其制造方法 | |
JP6848485B2 (ja) | 発光素子の製造方法 | |
CN106449922B (zh) | 一种发光二极管的制作方法 | |
CN113594330B (zh) | 一种led及其制备方法 | |
US20150104944A1 (en) | Method of forming patterns for semiconductor device | |
WO2005027232A1 (ja) | GaN系発光ダイオード | |
US7727787B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same | |
CN211929520U (zh) | 一种发光二极管芯片 | |
CN112993116A (zh) | 发光器件制作方法、发光器件以及显示器件 | |
CN108281532B (zh) | 一种柔性led芯片及其制作方法、封装方法 | |
US7518163B2 (en) | Gallium nitride-based compound semiconductor light-emitting device and negative electrode thereof | |
JP2008010581A (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
WO2015027656A1 (zh) | 氮化镓基发光二极管的制作方法及氮化镓基发光二极管 | |
US20230420605A1 (en) | Substrate structure, manufacturing method therefor, light-emitting device and manufacturing method therefor | |
JP2018049965A (ja) | 半導体発光ダイオード、及び半導体発光ダイオード製造方法 | |
JP2012049447A (ja) | 半導体基板の製造方法および発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191031 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6848485 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |