JP2018113478A - マスク吸着装置 - Google Patents
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Abstract
ハンダボール印刷機において、基板の平面精度を保つとともに、マスクと基板の隙間を精度よく保持して、ハンダボールの位置ずれを発生させることなく、確実に精度よく基板上のパッド(電極部)にボールを搭載する。
【解決手段】
ハンダボール印刷機20は、スキージ3を用いて、マスク1に形成された複数の開口1aにハンダボール18を嵌入して、マスクに対向する基板2の表面に形成された複数の電極部19にハンダボールを印刷する。基板を搭載し背面側に複数の穴部4aが形成された基板載置テーブル6と、この基板載置テーブルを搭載した印刷テーブル12と、印刷テーブルを水平面内で駆動可能なXYθステージ13および上下動駆動可能な印刷テーブル用シリンダ14と、基板搭載テーブルに嵌合可能な部材を有するマスク吸着部11と、このマスク吸着部を上下動駆動可能なマスク吸着用シリンダ10とを備える。
【選択図】図1
Description
マスク吸着部11が下側に移動するにつれて、マスク吸着部11の磁石7と磁性体ピン8の一体物の先端に配置された磁石7は、マスク1との距離を拡大する。磁石7とマスク1の距離が拡大し続けると、磁石7の吸着力が徐々に解除されるが、マスク1はポスト15
を介して基板2に密着したままであるので、マスク1には撓みが発生しない。
1a…開口
2…基板
3…スキージ
4…基板受けプレート
4a…穴部
5…基板受けプレート支持部材
6…基板載置テーブル
7,7a…(永久)磁石
8…磁性体ピン(磁性体部材)
8a…磁性体バー(磁性体部材)
8b…支柱
9…磁性体板
9a…支持板
10…マスク吸着部用シリンダ(第2の上下動駆動手段)
11…マスク吸着部
12…印刷テーブル
13…XYθステージ
14…印刷テーブル用シリンダ(第1の上下動駆動手段)
15…ポスト
16…マスク吸着部下端ストッパ
17…真空吸着流路
18…ハンダボール
19…パッド(電極部)
20…ハンダボール印刷機
Claims (4)
- マスクに対向するよう基板を搭載し、背面側に複数の有底穴部が形成された基板受けプレートと、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部の各々に嵌合可能な柱状の永久磁石を含む部材を複数有するマスク吸着部と、
前記マスク吸着部の柱状の永久磁石を含む部材の少なくとも上端部が、前記基板受けプレートの対応する前記複数の有底穴部の底面と当該有底穴部の開口との間で、前記有底穴部の底面へ接近移動及び前記有底穴部の底面より離間移動する駆動手段と、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部から前記柱状の永久磁石を含む部材が抜け出ることを防止するためのマスク吸着部下端ストッパと、
を備えることを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項1に記載のマスク吸着装置において、
前記マスク吸着部は、前記柱状の永久磁石の下側に柱状の軸方向に延在する磁性体ピンを有することを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項2に記載のマスク吸着装置において、
前記柱状の永久磁石と前記柱状の磁性体ピンとは、吸着により一体化されていることを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項3に記載のマスク吸着装置において、
前記柱状の永久磁石及び磁性体ピンは円柱状であって、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部は、円柱をくり抜いた形状を有することを特徴とするマスク吸着装置。
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