JP2018113398A - ワーク分割装置及びワーク分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(i)フレーム4が常温化するまでの時間と、ダイシングテープ3が常温以上で60℃未満(好ましくは55℃以下)の温度に到達するまでの時間とが合致するように、ハロゲンランプ54、56に印加する電圧を個別に制御する方法。
(iii) ハロゲンランプ54に印加する電圧を一定とし、ハロゲンランプ56に印加する電圧を変更しながらフレーム4とダイシングテープ3とを上記温度に加温する手法。
Claims (10)
- ダイシングテープに貼付されてフレームにマウントされたワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割装置において、
前記ワークを取り囲む冷却室を有し、前記冷却室の内部を冷却する冷却部と、
前記冷却室の内部に配置され、前記冷却部により冷却された前記ダイシングテープに張力を加えて前記ダイシングテープを拡張するエキスパンドリングと、
前記冷却室に連設された加温室を有し、前記加温室は開閉可能な仕切り壁によって前記冷却室と区画され、前記加温室の内部を乾燥雰囲気で加温する加温部と、を備え、
前記エキスパンドリングによって前記ダイシングテープが拡張された後、前記冷却室から前記加温室に移動した前記ワークを前記加温室の内部で前記ダイシングテープ及び前記フレームと共に加温する、
ワーク分割装置。 - 前記エキスパンドリングによって拡張された前記ダイシングテープの拡張状態を保持する拡張保持リングを備え、
前記加温部は、前記拡張保持リングによって前記ダイシングテープの拡張状態が保持された状態で、前記加温室の内部で前記ワークを前記ダイシングテープ及び前記フレームと共に加温する、
請求項1に記載のワーク分割装置。 - 前記冷却部は、前記ダイシングテープが脆性化する温度の冷気を前記冷却室に供給する冷気供給手段を有し、
前記加温部は、前記加温室を常温以上の温度で加温する加温手段を有する、請求項1又は2に記載のワーク分割装置。 - 前記加温手段は、前記フレームを主として加温する第1加温手段と、前記ダイシングテープを主として加温する第2加温手段とを有する、
請求項3に記載のワーク分割装置。 - 前記加温部は、前記フレームを測温する第1測温手段と、前記ダイシングテープを測温する第2測温手段とを有し、
前記第1測温手段によって測温された前記フレームの温度と前記第2測温手段によって測温された前記ダイシングテープの温度に基づいて、前記フレームと前記ダイシングテープの温度差が小さくなるように、前記第1加温手段及び前記第2加温手段によって前記フレーム及び前記ダイシングテープの温度を個別に制御する制御部を備える、
請求項4に記載のワーク分割装置。 - ダイシングテープに貼付されてフレームにマウントされたワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割方法において、
冷却室の内部を冷却することにより、前記冷却室の内部に配置された前記ワークを冷却する冷却工程と、
前記冷却室の内部で冷却された前記ダイシングテープに張力を加えて前記ダイシングテープを拡張する拡張工程と、
前記拡張工程により前記ダイシングテープが拡張された後、前記冷却室に連設された加温室に前記ワークを移動させて、前記加温室の内部を乾燥雰囲気で加温することにより、前記ワークを前記加温室の内部で前記ダイシングテープ及び前記フレームと共に加温する加温工程と、を備える、
ワーク分割方法。 - 前記拡張工程と前記加温工程との間に拡張状態保持工程を有し、
前記拡張状態保持工程は、前記拡張工程によって拡張された前記ダイシングテープの拡張状態を保持し、
前記加温工程は、前記拡張状態保持工程によって前記ダイシングテープの拡張状態が保持された状態で、前記加温室の内部で前記ワークを前記ダイシングテープ及び前記フレームと共に加温する、
請求項6に記載のワーク分割方法。 - 前記冷却工程は、前記ダイシングテープが脆性化する温度の冷気を前記冷却室に供給し、
前記加温工程は、前記加温室を常温以上の温度で加温する、
請求項6又は7に記載のワーク分割方法。 - 前記加温工程は、前記フレームを主として加温する第1加温工程と、前記ダイシングテープを主として加温する第2加温工程とを有する、
請求項8に記載のワーク分割方法。 - 前記加温工程は、前記フレームを測温する第1測温工程と、前記ダイシングテープを測温する第2測温工程を有し、
前記第1測温工程で測温された前記フレームの温度と前記第2測温工程で測温された前記ダイシングテープの温度に基づいて、前記フレームと前記ダイシングテープの温度差が小さくなるように、前記フレーム及び前記ダイシングテープの温度を個別に制御する制御工程を有する、
請求項9に記載のワーク分割方法。
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