JP2018104745A - シリコンターゲット材 - Google Patents
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- 239000013077 target material Substances 0.000 title claims abstract description 155
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 41
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 41
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 55
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
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Abstract
Description
図1〜図4に示すように、シリコンターゲット材10は、その表面が、スパッタリング時に実際にスパッタリングされるエロージョン部11と、このエロージョン部11に挟まれスパッタリング時に実際にスパッタリングされない非エロージョン部12とを有する。上記ターゲット材10は、この実施の形態では、シリコンを削り出すことにより、1枚の横長の長方形板状に形成される。シリコンとしては多結晶シリコンや単結晶シリコン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、非エロージョン部12はターゲット材10の幅方向の中央に長手方向に延びる略横長四角形状に浸食されずに残り、その周囲にエロージョン部11がターゲット材10の長手方向に延びる横長のドーナツ状に浸食されて凹む。また、ターゲット材10の表面には、設計上非エロージョン部12と一致するように溝部13が形成される。即ち、ターゲット材の表面には、設計上スパッタリングされない仮想領域として、ターゲット材10の幅方向の中央に長手方向に延びる溝部13が形成される。なお、図1、図3及び図4中の符号15は、ターゲット材10表面のうちエロージョン部11の外周縁に沿って略長方形枠状に形成され、かつエロージョン部11の外周縁から離れるに従って次第に下る4つの傾斜面からなり、スパッタリング時にスパッタリングされない面取り部である。即ち、これらの面取り部15のうち、ターゲット材10の幅方向の両側に長手方向に延びて形成された面取り部15において、ターゲット材10の横断面における水平線に対する角度は10〜70度の範囲内であり、その傾斜長さは5mm以上であることが好ましい(図1及び図3)。また、これらの面取り部15のうち、ターゲット材10の長手方向の両側に幅方向に延びて形成された面取り部15は、ターゲット材10の幅方向の両側に長手方向に延びて形成された面取り部15と同様に形成されることが好ましい(図3及び図4)。但し、ターゲット材10の長手方向の両側に幅方向に延びて形成された面取り部15は、スパッタリング装置やスパッタリング条件等によっては形成しなくてもよい。また、ターゲット材10の表面は、スパッタリング装置の構造上の理由から、エロージョン部11と非エロージョン部12と面取り部15に必然的に区画される。但し、実際にスパッタリングされない非エロージョン部12は、スパッタリング時の電力やガスの圧力などの条件によりエロージョン部の領域が異なるため、設計上スパッタリングされない仮想領域の溝部13に常に一致するとは限らない。更に、スパッタリングとしては、マグネットを用いて磁場の中に電子を囲い込むことにより濃いプラズマ領域を作り、Ar陽イオンがターゲット材に衝突する確率を高くすることができるマグネトロンスパッタリングを用いることが好ましい。
図8及び図9は本発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態では、シリコンターゲット材50が、その長手方向に分割された複数のターゲット素片51〜54を1列に配置して構成され、上記1列に配置された複数のターゲット素片51〜54にわたって溝部55が形成される。具体的には、ターゲット材50が、横長の長方形板状のターゲット素片51〜54を4枚長手方向に隙間をあけて一列に並べることにより形成される。即ち、4枚のターゲット素片51〜54を一列に隙間をあけて並べることにより1枚のターゲット材50とみなされる。また、スパッタリング時に実際にスパッタリングされるエロージョン部56は、上記1枚とみなされたターゲット材50の表面に、1つの横長のドーナツ状に浸食されて凹む。また、スパッタリング時に実際にスパッタリングされない非エロージョン部57は、上記1枚とみなされたターゲット材50の表面のうちエロージョン部56の内側に位置するように略横長四角形状に浸食されずに残る。更に、上記溝部55は、スパッタリング前のエロージョン部56の平面より凹んだ4本の凹溝部分55a〜55dにより形成される。なお、図8及び図9中の符号58は、1枚とみなされたターゲット材50表面のうちエロージョン部56の幅方向の両側に長手方向に延びて形成され、かつエロージョン部56の外周縁から離れるに従って次第に下る2つの傾斜面からなり、スパッタリング時にスパッタリングされない面取り部である。これらの面取り部58において、ターゲット材50の横断面における水平線に対する角度は10〜70度の範囲内であり、その傾斜長さは5mm以上であることが好ましい。また、上記面取り部は、1枚とみなされたターゲット材50表面のうちエロージョン部56の長手方向の両側に幅方向に延びて形成された面には形成されていない(図8及び図9)。但し、これらの面にも、上記面取り部58と同様の面取り部を形成してもよい。更に、4枚のターゲット素片51〜54を一列に並べるときに隙間59をあけたのは、各ターゲット素片51〜54の熱膨張を考慮したものである。
図10〜図12に示すように、先ず、多結晶シリコンを削り出すことにより、板長、板幅及び板厚がそれぞれ800mm、100mm及び5mmである長方形板状のシリコンターゲット材110を作製した。次に、このターゲット材110に、溝部113(設計上、溝部113は非エロージョン部112と一致するように形成される。)及び面取り部115を機械加工により形成した。具体的には、長方形板状のターゲット材110の表面に、設計上スパッタリングされない仮想領域として、ターゲット材110の幅方向の中央に長手方向に延びる溝部113を形成し、面取り部115をターゲット材110の外周縁に沿って略四角枠状に形成しかつターゲット材110の表面から離れるに従って次第に下る傾斜面状(傾斜角度:45度)に形成した。このとき、溝部113の幅(溝幅)W2を27mmとしたので、溝部113の幅(溝幅)W2はターゲット材110の幅(板幅:100mm)W1に対して27%となった。即ち、板幅W1に対する溝幅W2の比率(溝幅比率)は27%となった。更に、溝部113のコーナ部114を湾曲面に形成した(図10〜図12)。このとき、コーナ部114の口元の曲率半径R1を1.5mmに形成し、コーナ部114の奧部の曲率半径R2を4.0mmに形成し、ターゲット材110の横断面における曲率半径R2の曲面と溝部113の底壁上面(平面)とをなだらかに・ぐ曲面の曲率半径R3を12.0mmに形成した(図11及び図12)。このターゲット材110を実施例1とした。なお、溝部113の深さ(溝深)を2.5mmに形成したので、ターゲット材110の厚さ(板厚)に対する溝部113の深さの比率(溝深比率)は50%となった。
実施例2〜22及び比較例1〜5のターゲット材は、各部寸法が表1及び表2に示す数値になるように形成した。なお、表1に示した数値以外の各部寸法は、実施例1と同様にして、ターゲット材を作製した。また、実施例22のターゲット材は、実施例14の長さ800mmのターゲット材を、それぞれの長さが400mmとなるように2分割したものである。
実施例1〜22及び比較例1〜5のターゲット材について、スパッタリング初期の放電が安定するまでに要した時間Tと、所定厚まで使用できたセット数Nをそれぞれ測定した。
先ず、ターゲット材を用いてスパッタリングにより次の条件で基材表面に成膜を開始した。
(a) 電源入力はDC1000Wとした。
(b) 全圧は0.4Paとした。
(c) スパッタリングガスとしては、流量28.5sccmのArガスと、流量1.5sccmのO2ガスを用いた。
(d) ターゲット材と基材の距離は70mmとした。
次に、スパッタリング時の電圧、電流及び圧力の変動を電圧計、電流計及び圧力計でそれぞれ確認し、電圧、電流及び圧力の全てが変動しなくなった時点を、スパッタリング初期の放電が安定したと判断した。そして、放電を開始したときから上記放電が安定するまでの時間を測定した。上記操作を3回行ってその平均値を算出した。この平均値をスパッタリング初期の放電が安定するまでに要した時間Tとした。
先ず、ターゲット材(1セット)を用いてスパッタリングにより上記(1)(a)〜(d)の条件で基材表面に成膜し、ターゲット材が割れるまで成膜を行った。次に、ターゲット材が割れたときの板厚を測定し、使用開始前の板厚に対する使用後の板厚を百分率で算出した。この算出値が50%以下であったものを、所定厚さまで使用できたセット数Nとしてカウントした。上記操作を実施例1〜22及び比較例1〜5のターゲット材について10セットずつ行った。これらの結果を表1に示す。
13,55,113 溝部
14,114 コーナ部
51〜54 ターゲット素片
図10〜図12に示すように、先ず、多結晶シリコンを削り出すことにより、板長、板幅及び板厚がそれぞれ800mm、100mm及び5mmである長方形板状のシリコンターゲット材110を作製した。次に、このターゲット材110に、溝部113(設計上、溝部113は非エロージョン部112と一致するように形成される。)及び面取り部115を機械加工により形成した。具体的には、長方形板状のターゲット材110の表面に、設計上スパッタリングされない仮想領域として、ターゲット材110の幅方向の中央に長手方向に延びる溝部113を形成し、面取り部115をターゲット材110の外周縁に沿って略四角枠状に形成しかつターゲット材110の表面から離れるに従って次第に下る傾斜面状(傾斜角度:45度)に形成した。このとき、溝部113の幅(溝幅)W2を27mmとしたので、溝部113の幅(溝幅)W2はターゲット材110の幅(板幅:100mm)W1に対して27%となった。即ち、板幅W1に対する溝幅W2の比率(溝幅比率)は27%となった。更に、溝部113のコーナ部114を湾曲面に形成した(図10〜図12)。このとき、コーナ部114の口元の曲率半径R1を1.5mmに形成し、コーナ部114の奧部の曲率半径R2を4.0mmに形成し、ターゲット材110の横断面における曲率半径R2の曲面と溝部113の底壁上面(平面)とをなだらかに繋ぐ曲面の曲率半径R3を12.0mmに形成した(図11及び図12)。このターゲット材110を実施例1とした。なお、溝部113の深さ(溝深)を2.5mmに形成したので、ターゲット材110の厚さ(板厚)に対する溝部113の深さの比率(溝深比率)は50%となった。
先ず、ターゲット材(1セット)を用いてスパッタリングにより上記(1)(a)〜(d)の条件で基材表面に成膜し、ターゲット材が割れるまで成膜を行った。次に、ターゲット材が割れたときの板厚を測定し、使用開始前の板厚に対する使用後の板厚を百分率で算出した。この算出値が50%以下であったものを、所定厚さまで使用できたセット数Nとしてカウントした。上記操作を実施例1〜22及び比較例1〜5のターゲット材について10セットずつ行った。これらの結果を表1及び表2に示す。
Claims (3)
- 長方形板状のターゲット材の表面に設計上スパッタリングされない仮想領域として、前記ターゲット材の幅方向の中央に長手方向に延びる溝部が形成されたシリコンターゲット材であって、
前記溝部の幅(W2)が前記ターゲット材の幅(W1)を100%とするとき20〜40%であることを特徴とするシリコンターゲット材。 - 前記溝部のコーナ部が湾曲面に形成され、前記コーナ部の口元の曲率半径(R1)が1.0mm以上である請求項1記載のシリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材がその長手方向に分割された複数のターゲット素片を1列に配置して構成され、前記溝部が前記1列に配置された複数のターゲット素片にわたって形成された請求項1記載のシリコンターゲット材。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016250555A JP6764335B2 (ja) | 2016-12-26 | 2016-12-26 | シリコンターゲット材 |
KR1020197015440A KR102349236B1 (ko) | 2016-12-26 | 2017-10-03 | 실리콘 타깃재 |
CN201780080220.1A CN110291222B (zh) | 2016-12-26 | 2017-10-03 | 硅靶材 |
PCT/JP2017/035924 WO2018123183A1 (ja) | 2016-12-26 | 2017-10-03 | シリコンターゲット材 |
TW106136295A TWI737839B (zh) | 2016-12-26 | 2017-10-23 | 矽靶材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016250555A JP6764335B2 (ja) | 2016-12-26 | 2016-12-26 | シリコンターゲット材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018104745A true JP2018104745A (ja) | 2018-07-05 |
JP6764335B2 JP6764335B2 (ja) | 2020-09-30 |
Family
ID=62710479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016250555A Expired - Fee Related JP6764335B2 (ja) | 2016-12-26 | 2016-12-26 | シリコンターゲット材 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6764335B2 (ja) |
KR (1) | KR102349236B1 (ja) |
CN (1) | CN110291222B (ja) |
TW (1) | TWI737839B (ja) |
WO (1) | WO2018123183A1 (ja) |
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- 2016-12-26 JP JP2016250555A patent/JP6764335B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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- 2017-10-03 CN CN201780080220.1A patent/CN110291222B/zh active Active
- 2017-10-03 KR KR1020197015440A patent/KR102349236B1/ko active IP Right Grant
- 2017-10-03 WO PCT/JP2017/035924 patent/WO2018123183A1/ja active Application Filing
- 2017-10-23 TW TW106136295A patent/TWI737839B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018123183A1 (ja) | 2018-07-05 |
KR20190096983A (ko) | 2019-08-20 |
CN110291222A (zh) | 2019-09-27 |
TW201829813A (zh) | 2018-08-16 |
KR102349236B1 (ko) | 2022-01-07 |
JP6764335B2 (ja) | 2020-09-30 |
CN110291222B (zh) | 2021-09-14 |
TWI737839B (zh) | 2021-09-01 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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