JP2018080939A - 発光分析装置 - Google Patents

Abstract

【課題】測定室内に導入されるガスの消費量を削減することができる発光分析装置を提供する。【解決手段】試料を放電させることにより発生した光が入射する測定室４１内に、分光器４２を設ける。導入路４４を介して測定室４１内にガスを導入し、導出路４５を介して測定室４１内からガスを導出する。発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、電源がオフ状態とされていた時間に基づいて、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の開閉状態を制御することにより、測定室４１内に対するガスの導入量及び導出量を制御する。【選択図】 図１

Description

本発明は、試料を放電させて分析を行うための発光分析装置に関するものである。

発光分析装置には、例えば電極が設けられており、当該電極に対向するように試料が配置される。試料の分析を行う際には、試料と電極との間で放電が行われ、放電により発生した光が分光器において分光される。そして、分光された各波長の光が検出器で受光されることにより、各波長の受光強度に基づいて試料の分析が行われる（例えば、下記特許文献１参照）。

分光器及び検出器は、測定室内に設けられており、試料を放電させることにより発生した光は、当該測定室内に入射するようになっている。 すなわち、測定室内に入射した光が、当該測定室内で分光器により分光され、検出器で検出されるようになっている。分析中は、測定室内がガスで満たされた状態又は真空に保たれた状態となる。これにより、特定の波長の光が測定室内で酸素の影響を受けることを防止し、分析精度を向上することができる。

測定室内をガスで満たすような構成の場合には、測定室内にガスを導入する導入路と、測定室内からガスを導出する導出路とが、それぞれ測定室に連通している。導入路には導入バルブが設けられており、当該導入バルブを開閉することにより、導入路から測定室内へのガスの導入量を制御することができる。また、導出路には導出バルブが設けられており、当該導出バルブを開閉することにより、測定室内から導出路へのガスの導出量を制御することができる。

この種の発光分析装置においては、電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、例えば導入バルブ及び導出バルブがいずれも開かれた状態で測定室内にガスが導入されるようになっている。これにより、測定室内の酸素が導出路を介して追い出され、測定室内がガスで満たされた状態となった後、分析が開始される。

特開２０１１−７５３７６号公報

測定室内に導入されるガスとしては、例えば酸素よりも重い不活性ガスが用いられる。このような不活性ガスは高価であるため、可能な限り消費量を抑えることが好ましい。しかしながら、上記のような構成を有する発光分析装置においては、電源がオフ状態からオン状態に切り替えられる度に導入バルブ及び導出バルブが開かれ、測定室内のガスが入れ替えられるため、不活性ガスの消費量が多くなり、ランニングコストが高くなるという問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、測定室内に導入されるガスの消費量を削減することができる発光分析装置を提供することを目的とする。

本発明に係る発光分析装置は、試料を放電させて分析を行うための発光分析装置であって、測定部と、分光器と、ガス導入部と、ガス導出部と、電源切替部と、計時部と、ガス流量制御部とを備える。前記測定部には、試料を放電させることにより発生した光が入射する測定室が形成されている。前記分光器は、前記測定室内に設けられ、当該測定室内に入射した光を分光する。前記ガス導入部は、前記測定室内にガスを導入する。前記ガス導出部は、前記測定室内からガスを導出する。前記電源切替部は、前記発光分析装置の電源をオン状態又はオフ状態に切り替える。前記計時部は、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態とされている時間を計測する。前記ガス流量制御部は、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間に基づいて、前記ガス導入部からのガスの導入量、及び、前記ガス導出部からのガスの導出量を制御する。

このような構成によれば、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、電源がオフ状態とされていた時間に基づいて、測定室内に対するガスの導入量及び導出量が制御される。したがって、例えば電源がオフ状態とされていた時間が短い場合のように、測定室内への酸素の流入量が少ない場合と、例えば電源がオフ状態とされていた時間が長い場合のように、測定室内への酸素の流入量が多い場合とで、電源がオン状態に切り替えられた後の測定室内に対するガスの導入量及び導出量を異ならせることができる。これにより、必要以上に測定室内のガスが入れ替えられるのを防止することができるため、測定室内に導入されるガスの消費量を削減することができる。

前記ガス導入部には、前記測定室内にガスを導入する導入路が形成されるとともに、当該導入路を開閉する導入バルブが設けられていてもよい。また、前記ガス導出部には、前記測定室内からガスを導出する導出路が形成されるとともに、当該導出路を開閉する導出バルブが設けられていてもよい。この場合、前記ガス流量制御部は、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられたときに、前記導入バルブ及び前記導出バルブを閉じた状態とし、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間に基づいて、前記導入バルブ及び前記導出バルブの開閉状態を制御してもよい。

このような構成によれば、発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられたときに、導入バルブ及び導出バルブを閉じた状態として、測定室内をガスで満たされた状態に維持することができる。このような場合であっても、長時間が経過すると測定室内に酸素が流入する場合があるため、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、電源がオフ状態とされていた時間に基づいて、測定室内に対するガスの導入量及び導出量を制御することにより、必要最低限の量だけ測定室内にガスを導入することができる。

前記発光分析装置は、前記測定室内の圧力が一定値以上となった場合に、当該測定室内からガスを排出させるリークバルブをさらに備えていてもよい。この場合、分析中には、前記ガス流量制御部が前記導出バルブを閉じた状態で前記導入バルブを開き、前記測定室内に第１流量でガスを導入させてもよい。

このような構成によれば、分析中は導出バルブを閉じた状態で導入バルブを開くことにより、測定室内に第１流量でガスを導入しながらリークバルブからガスを排出させ、測定室内をガスで満たされた状態に維持することができる。このような発光分析装置においては、電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた後に長時間が経過すると、リークバルブから測定室内に酸素が流入するおそれがある。このような場合であっても、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、電源がオフ状態とされていた時間に基づいて、測定室内に対するガスの導入量及び導出量を制御することにより、リークバルブからの酸素の流入量に応じた必要最低限のガスを測定室内に導入することができる。

前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間が閾値未満である場合には、前記ガス流量制御部が前記導出バルブを閉じた状態で前記導入バルブを開き、前記測定室内に前記第１流量でガスを導入させてもよい。

このような構成によれば、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が閾値未満の短い時間である場合には、電源がオン状態に切り替えられたときに、導出バルブが閉じられた状態で導入バルブが開かれ、分析時と同様の第１流量で測定室内にガスが導入される。このように、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が比較的短い場合には、測定室内への酸素の流入量が少ないため、測定室内のガスを入れ替える動作を省略することにより、測定室内に導入されるガスの消費量を削減することができる。

前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間が閾値以上である場合には、前記ガス流量制御部が前記導入バルブ及び前記導出バルブを開き、前記測定室内に前記第１流量よりも多い第２流量でガスを導入させ、所定時間経過後に前記導出バルブを閉じて、前記測定室内に前記第１流量でガスを導入させてもよい。

このような構成によれば、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が閾値以上の長い時間である場合には、電源がオン状態に切り替えられたときに、導入バルブ及び導出バルブが開かれ、第１流量よりも多い第２流量で測定室内にガスが導入される。このように、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が比較的長い場合には、測定室内への酸素の流入量が多いため、第２流量で測定室内にガスを導入することにより測定室内のガスを入れ替えて、測定室内の酸素を追い出すことができる。その後に所定時間が経過して測定室内の酸素が追い出された後は、導出バルブを閉じた状態に切り替えて、分析時と同様の第１流量で測定室内にガスを導入させることにより、必要以上に測定室内のガスが入れ替えられるのを防止することができる。

本発明の一実施形態に係る発光分析装置の構成例を示した概略図である。 図１の発光分析装置の電気的構成の一例を示したブロック図である。 発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた場合の制御部による処理の一例を示したフローチャートである。 発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた場合の制御部による処理の一例を示したフローチャートである。 導入バルブ及び導出バルブの開閉状態、並びに、測定室内に導入されるガスの流量の制御態様の一例を示したタイミングチャートであり、計時部により計測された時間が閾値未満である場合の制御態様を示している。 導入バルブ及び導出バルブの開閉状態、並びに、測定室内に導入されるガスの流量の制御態様の一例を示したタイミングチャートであり、計時部により計測された時間が閾値以上である場合の制御態様を示している。

図１は、本発明の一実施形態に係る発光分析装置の構成例を示した概略図である。この発光分析装置には、試料載置台１と電極２とが備えられている。試料載置台１の内部には放電室１１が形成されており、当該放電室１１内に電極２の先端部が臨んでいる。放電室１１の壁面には、電極２の先端部に対向する位置に開口１２が形成されている。分析対象となる固体の試料３は、開口１２を塞ぐように試料載置台１上に載置され、その表面が電極２の先端部と間隔を隔てて対向した状態となる。

分析時には、電極２に電圧が印加されることにより、試料３の表面と電極２の先端部との間で放電が行われる。放電時に放電室１１内で発生した光は、集光レンズ１３を透過して測定部４へと導かれる。測定部４は、その内部に測定室４１が形成されることにより中空状に構成されており、測定室４１内には分光器４２及び検出器４３が設けられている。

試料を放電させることにより発生した光は、測定室４１内に入射し、分光器４２により分光される。検出器４３は複数の受光素子４３１を備えており、分光器４２により分光された各波長の光が各受光素子４３１で受光されることにより、各波長の受光強度に基づいて試料３の分析が行われる。

試料載置台１には、それぞれ放電室１１の内部と外部とを連通するガス供給路１４及びガス排出路１５が形成されている。分析時には、ガス供給路１４から放電室１１内に供給される不活性ガスが、ガス排出路１５からオーバーフローすることにより、放電室１１内が不活性ガスで満たされた状態となる。このようにして、不活性ガスで放電室１１内の空気を追い出すことにより、空気中の成分が分析結果に悪影響を及ぼすのを防止することができる。放電室１１内に導入する不活性ガスとしては、例えばアルゴンガスなどが用いられるが、アルゴンガス以外のガスを用いることも可能である。

測定部４の測定室４１内には、放電室１１内と同様に不活性ガスが導入される。分析時には、放電室１１内が不活性ガスで満たされた状態（例えば酸素濃度１０ｐｐｍ以下）となることにより、特定の波長の光が空気中の酸素の影響を受けることを防止し、分析精度を向上することができる。測定部４の測定室４１内に導入する不活性ガスとしては、例えばアルゴンガスなどが用いられるが、アルゴンガス以外のガスを用いることも可能である。また、不活性ガス以外のガスが測定室４１内に導入されるような構成であってもよい。

測定室４１内には、導入路４４、導出路４５及びリーク路４６が連通している。導入路４４は、その一端が測定室４１内に連通するとともに、他端が例えばガスボンベなどにより構成されるガス供給源４４１に接続されている。ガス供給源４４１からのガス（不活性ガス）の供給量は、任意に調整することができるようになっている。

ガス供給源４４１から供給されるガスは、導入路４４を介して測定室４１内に導入される。導入路４４には導入バルブ４４２が設けられており、当該導入バルブ４４２により導入路４４を開閉することができる。これらの導入路４４、ガス供給源４４１及び導入バルブ４４２は、測定室４１内にガスを導入するガス導入部を構成している。

導出路４５は、その一端が測定室４１内に連通するとともに、他端が測定室４１の外部に開放されている。導出路４５には導出バルブ４５１が設けられており、当該導出バルブ４５１により導出路４５を開閉することができる。これらの導出路４５及び導出バルブ４５１は、測定室４１からガスを導出するガス導出部を構成している。

リーク路４６は、その一端が測定室４１内に連通するとともに、他端が測定室４１の外部に開放されている。リーク路４６にはリークバルブ４６１が設けられており、測定室４１内の圧力が一定値以上となった場合に、測定室４１内のガスがリークバルブ４６１を介してリーク路４６から排出されるようになっている。

分析時には、導入バルブ４４２が開かれるとともに導出バルブ４５１が閉じられた状態で、ガス供給源４４１から導入路４４を介して測定室４１内にガスが導入される。これにより、測定室４１内がガスで満たされた状態に維持され、一部のガスがリーク路４６からオーバーフローすることとなるため、測定室４１内に酸素（空気）が流入するのを防止することができる。

図２は、図１の発光分析装置の電気的構成の一例を示したブロック図である。この発光分析装置には、上述の構成以外に、例えば制御部５、電源装置６及び電源切替部７などが備えられている。制御部５は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成であり、当該ＣＰＵがプログラムを実行することにより、計時部５１及びガス流量制御部５２などとして機能する。

電源装置６は、発光分析装置の各部に電力を供給するための装置である。電源切替部７は、例えばスイッチを含む構成であり、電源装置６からの電力供給を切り替えることにより、発光分析装置の電源をオン状態又はオフ状態に切り替える。ここで、「オフ状態」とは、「オン状態」よりも電源装置６から供給される電力が少ない状態を意味しており、電力が全く供給されない状態の他、例えば電力の供給量が非常に少ない状態（省電力状態など）も含まれる。

計時部５１は、電源切替部７により発光分析装置の電源がオフ状態とされている時間を計測する。すなわち、計時部５１は、電源切替部７により発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられたときに時間の計測を開始し、その後に電源がオフ状態からオン状態に切り替えられるまでの時間を計測する。

ガス流量制御部５２は、ガス供給源４４１から測定室４１内へのガスの導入量、並びに、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の開閉状態を制御する。具体的には、電源切替部７による発光分析装置の電源の切替動作、及び、計時部５１により計測された時間に基づいて、ガス供給源４４１からのガスの導入量が調整されるとともに、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１が開閉されるようになっている。

図３及び図４は、発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた場合の制御部５による処理の一例を示したフローチャートである。発光分析装置の電源がオン状態のとき（通常時）には、分析時と同様に導入バルブ４４２が開かれるとともに導出バルブ４５１が閉じられた状態で測定室４１内にガスが導入されており、一部のガスがリーク路４６から排出されることにより、測定室４１内に一定圧力のガスが満たされた状態となっている。

発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた場合には（ステップＳ１０１でＹｅｓ）、まず導入バルブ４４２が閉じられるとともに（ステップＳ１０２）、計時部５１による時間の計測が開始される（ステップＳ１０３）。このとき、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の両方が閉じられた状態となるため、測定室４１はほぼ密閉された状態となるが、例えばリーク路４６などの隙間から測定室４１内に、少量の空気（酸素）が徐々に入り込むこととなる。

その後、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられた場合には（ステップＳ１０４でＹｅｓ）、計時部５１により計測された時間が所定の閾値未満であるか否かが判定される（ステップＳ１０５）。上記閾値としては、１分〜数分、あるいは、１時間未満の一定時間（例えば３０分）といったように、比較的短い時間として予め設定された値が用いられる。

計時部５１により計測された時間が閾値未満である場合には（ステップＳ１０５でＹｅｓ）、導出バルブ４５１が閉じられた状態のまま導入バルブ４４２が開かれる（ステップＳ１０６）。これにより、導入路４４を介して測定室４１内にガスが導入され、そのガスの流量が通常時と同じ流量（第１流量）となるように制御される（ステップＳ１０７）。上記第１流量は、例えば０．１〜１Ｌ／ｍｉｎ程度の値に予め設定されているが、これに限らず、他の流量に設定されていてもよいし、例えば操作部（図示せず）を操作することにより任意の流量に設定できるような構成であってもよい。

一方、計時部５１により計測された時間が閾値以上である場合には（ステップＳ１０５でＮｏ）、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１が開かれる（ステップＳ１０８，１０９）。これにより、導入路４４を介して測定室４１内にガスが導入されるとともに、導出路４５を介して測定室４１内からガスが導出される。このとき、測定室４１内に導入されるガスの流量は、上記第１流量よりも多い流量（第２流量）となるように制御される（ステップＳ１１０）。

上記第２流量は、例えば５〜１０Ｌ／ｍｉｎ程度の値に予め設定されているが、これに限らず、他の流量に設定されていてもよいし、例えば操作部（図示せず）を操作することにより任意の流量に設定できるような構成であってもよい。また、計時部５１により計測された時間に応じて、上記第２流量を異なる値とすることも可能である。例えば、計時部５１により計測された時間が長いほど第２流量が多くなるように、第２流量が段階的に設定されてもよい。

その後、所定時間が経過した場合には（ステップＳ１１１でＹｅｓ）、導出バルブ４５１が閉じられる（ステップＳ１１２）。このとき、測定室４１内に導入されるガスの流量は、上記第１流量となるように制御される（ステップＳ１１３）。これにより、通常時と同様の状態となり、測定室４１内に導入されるガスの一部がリーク路４６から排出され、測定室４１内に一定圧力のガスが満たされた状態となる。

上記所定時間は、測定室４１内の酸素を追い出すのに十分な値として、例えば操作部（図示せず）を操作することにより任意の値に可変設定できる。また、計時部５１により計測された時間に応じて、上記所定時間を異なる値とすることも可能である。例えば、計時部５１により計測された時間が１〜数時間以内であれば３０秒、１日程度であれば２〜３分といったように、計時部５１により計測された時間が長いほど上記所定時間が長くなるように、上記所定時間が段階的に設定されてもよい。ただし、上記所定時間は、可変に限られるものではなく、一定時間に設定されていてもよい。

図５及び図６は、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の開閉状態、並びに、測定室４１内に導入されるガスの流量の制御態様の一例を示したタイミングチャートである。図５は、計時部５１により計測された時間が閾値未満である場合（図３のステップＳ１０５でＹｅｓ）の制御態様を示しており、図６は、計時部５１により計測された時間が閾値以上である場合（ステップＳ１０５でＮｏ）の制御態様を示している。

図５及び図６に示すように、通常時には、導入バルブ４４２が開かれるとともに導出バルブ４５１が閉じられた状態となっており、測定室４１内には第１流量でガスが導入されるように制御されている。この状態で発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられた場合には（タイミングＴ１）、導入バルブ４４２が閉じられることにより、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の両方が閉じられた状態となる。このとき、計時部５１による時間の計測が開始される。

その後、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに（タイミングＴ２）、計時部５１により計測された時間が閾値未満である場合には、図５に示すように、導出バルブ４５１が閉じられた状態のまま導入バルブ４４２が開かれる。これにより、導入路４４から測定室４１内にガスが導入されるとともに、導出路４５から測定室４１内のガスが導出されない状態となる。そして、測定室４１内に第１流量でガスが導入されるように制御されることにより、通常時と同様の状態に戻る。

一方、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに（タイミングＴ２）、計時部５１により計測された時間が閾値以上である場合には、図６に示すように、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１の両方が開かれた状態となる。これにより、導入路４４から測定室４１内にガスが導入されるとともに、導出路４５から測定室４１内のガスが導出される状態となる。そして、測定室４１内に第１流量よりも多い第２流量でガスが導入されるように制御されることにより、測定室４１内のガスが入れ替えられる。

この状態で所定時間が経過すれば（タイミングＴ３）、導入バルブ４４２が開かれた状態のまま導出バルブ４５１が閉じられる。これにより、導入路４４から測定室４１内にガスが導入される状態のまま、導出路４５から測定室４１内のガスが導出されない状態となる。そして、測定室４１内に第１流量でガスが導入されるように制御されることにより、通常時と同様の状態に戻る。

このように、本実施形態では、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、計時部５１により計測された時間に基づいて、導入路４４からのガスの導入量、及び、導出路４５からのガスの導出量が制御される。したがって、例えば電源がオフ状態とされていた時間が短い場合（図５参照）のように、測定室４１内への酸素の流入量が少ない場合と、例えば電源がオフ状態とされていた時間が長い場合（図６参照）のように、測定室４１内への酸素の流入量が多い場合とで、電源がオン状態に切り替えられた後の測定室４１内に対するガスの導入量及び導出量を異ならせることができる。これにより、必要以上に測定室４１内のガスが入れ替えられるのを防止することができるため、測定室４１内に導入されるガスの消費量を削減することができる。

より具体的には、まず発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられたときに（タイミングＴ１）、導入バルブ４４２及び導出バルブ４５１を閉じた状態として、測定室４１内をガスで満たされた状態に維持することができる。このような場合であっても、長時間が経過するとリーク路４６などの隙間から測定室４１内に酸素が流入する場合があるため、発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、電源がオフ状態とされていた時間に基づいて、測定室４１内に対するガスの導入量及び導出量を制御することにより、必要最低限の量だけ測定室４１内にガスを導入することができる。

すなわち、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が比較的短い場合（図５参照）には、測定室４１内への酸素の流入量が少ないため、測定室４１内のガスを入れ替える動作を省略することにより、測定室４１内に導入されるガスの消費量を削減することができる。一方、発光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が比較的長い場合（図６参照）には、測定室４１内への酸素の流入量が多いため、第２流量で測定室４１内にガスを導入することにより測定室４１内のガスを入れ替えて、測定室４１内の酸素を追い出すことができる。その後に所定時間が経過して測定室４１内の酸素が追い出された後は、導出バルブ４５１を閉じた状態に切り替えて、分析時と同様の第１流量で測定室４１内にガスを導入させることにより、必要以上に測定室４１内のガスが入れ替えられるのを防止することができる。

上記実施形態では、分光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が閾値未満である場合に（図３のステップＳ１０５でＹｅｓ）、測定室４１内に分析時と同じ第１流量でガスが導入されるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、測定室４１内へのガスの導入量、及び、測定室４１からのガスの導出量が制御されるような構成であれば、例えば第１流量とは異なる流量で測定室４１内にガスが導入されるような構成であってもよいし、流量が複数段階に切り替えられてもよい。

また、上記実施形態では、分光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間が閾値以上である場合に（図３のステップＳ１０５でＮｏ）、所定時間だけ測定室４１内に第２流量でガスが導入された後、分析時と同じ第１流量でガスが導入されるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、測定室４１内へのガスの導入量、及び、測定室４１からのガスの導出量が制御されるような構成であれば、例えば第１流量又は第２流量とは異なる流量で測定室４１内にガスが導入されるような構成であってもよいし、流量が３段階以上に切り替えられてもよい。

上記閾値は、１つに限らず、例えば複数設定されていてもよい。すなわち、分光分析装置の電源がオフ状態とされていた時間を複数の閾値と比較し、それぞれの比較結果に応じて、測定室４１内へのガスの導入量、及び、測定室４１からのガスの導出量が異なる態様で制御されるような構成であってもよい。

上記実施形態では、リークバルブ４６１を介して測定室４１内のガスが排出されるような構成について説明したが、リークバルブ４６１が備えられていないような構成であってもよい。また、導入バルブ４４２、導出バルブ４５１及びリークバルブ４６１の少なくとも１つが備えられていないような構成であってもよいし、他のバルブが備えられた構成であってもよい。さらに、測定室４１内へのガスの導入量、及び、測定室４１からのガスの導出量が、バルブの開閉状態により制御されるような構成に限らず、バルブ以外の流量調整装置を用いて制御されるような構成であってもよい。

上記実施形態では、測定室４１内に分光器４２及び検出器４３が設けられた構成について説明した。しかし、分光器４２が測定室４１内に設けられているような構成であれば、上記のような構成に限らず、例えば検出器４３が測定室４１の外部に設けられた構成などであってもよい。

試料を放電させることにより光を発生させるための構成は、図１に示したような構成に限らず、他の任意の構成を採用することができる。この場合、放電の態様は、スパーク放電、アーク放電、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）放電など、任意の態様を採用することができる。

１ 試料載置台
２ 電極
３ 試料
４ 測定部
５ 制御部
６ 電源装置
７ 電源切替部
１１ 放電室
１２ 開口
１３ 集光レンズ
１４ ガス供給路
１５ ガス排出路
４１ 測定室
４２ 分光器
４３ 検出器
４４ 導入路
４５ 導出路
４６ リーク路
５１ 計時部
５２ ガス流量制御部
４３１ 受光素子
４４１ ガス供給源
４４２ 導入バルブ
４５１ 導出バルブ
４６１ リークバルブ

Claims (5)

1. 試料を放電させて分析を行うための発光分析装置であって、
   試料を放電させることにより発生した光が入射する測定室が形成された測定部と、
   前記測定室内に設けられ、当該測定室内に入射した光を分光する分光器と、
   前記測定室内にガスを導入するガス導入部と、
   前記測定室内からガスを導出するガス導出部と、
   前記発光分析装置の電源をオン状態又はオフ状態に切り替える電源切替部と、
   前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態とされている時間を計測する計時部と、
   前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間に基づいて、前記ガス導入部からのガスの導入量、及び、前記ガス導出部からのガスの導出量を制御するガス流量制御部とを備えたことを特徴とする発光分析装置。
2. 前記ガス導入部には、前記測定室内にガスを導入する導入路が形成されるとともに、当該導入路を開閉する導入バルブが設けられ、
   前記ガス導出部には、前記測定室内からガスを導出する導出路が形成されるとともに、当該導出路を開閉する導出バルブが設けられており、
   前記ガス流量制御部は、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオン状態からオフ状態に切り替えられたときに、前記導入バルブ及び前記導出バルブを閉じた状態とし、前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間に基づいて、前記導入バルブ及び前記導出バルブの開閉状態を制御することを特徴とする請求項１に記載の発光分析装置。
3. 前記測定室内の圧力が一定値以上となった場合に、当該測定室内からガスを排出させるリークバルブをさらに備え、
   分析中には、前記ガス流量制御部が前記導出バルブを閉じた状態で前記導入バルブを開き、前記測定室内に第１流量でガスを導入させることを特徴とする請求項２に記載の発光分析装置。
4. 前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間が閾値未満である場合には、前記ガス流量制御部が前記導出バルブを閉じた状態で前記導入バルブを開き、前記測定室内に前記第１流量でガスを導入させることを特徴とする請求項３に記載の発光分析装置。
5. 前記電源切替部により前記発光分析装置の電源がオフ状態からオン状態に切り替えられたときに、前記計時部により計測された時間が閾値以上である場合には、前記ガス流量制御部が前記導入バルブ及び前記導出バルブを開き、前記測定室内に前記第１流量よりも多い第２流量でガスを導入させ、所定時間経過後に前記導出バルブを閉じて、前記測定室内に前記第１流量でガスを導入させることを特徴とする請求項３又は４に記載の発光分析装置。

Images