JP2018078110A - Light-emitting device and electronic apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shield light in the periphery of a display region in a simple manufacturing process.SOLUTION: A light-emitting device 100 includes: a light-emitting element 45 which is disposed in a display region 12 and includes a first electrode E1, a second electrode E2, and a light-emitting functional layer 46; peripheral wiring D which is formed in a periphery of the display region 12 in a plan view and is electrically connected to the second electrode E2; and a filter layer 90 including a first colored layer KR which transmits light having a first wavelength (about 610 nm). The filter layer 90 includes: a first color filter 94R formed from the first colored layer KR and overlapping the light-emitting element 45; and a first layer 96R formed from the first colored layer KR and overlapping the peripheral wiring D.SELECTED DRAWING: Figure 16

Description

本発明は、例えば有機EL材料等の発光材料を利用した発光装置に関する。   The present invention relates to a light emitting device using a light emitting material such as an organic EL material.

有機EL材料を利用した発光素子を基板の表示領域に配列した発光装置が従来から提案されている。発光素子は、陽極電極および陰極電極と、両電極間の電流に応じて発光する発光機能層とを含み、発光の輝度に応じた電位が陽極電極に供給され、陰極電極には低位側の電源電位が供給される。特許文献1には、発光素子に接続して電源電位を供給する電源導電体(周辺配線)が、平面視で表示領域の周囲に形成された発光装置が開示されている。   Conventionally, light emitting devices in which light emitting elements using organic EL materials are arranged in a display region of a substrate have been proposed. The light-emitting element includes an anode electrode and a cathode electrode, and a light-emitting functional layer that emits light according to the current between both electrodes. A potential corresponding to the luminance of light emission is supplied to the anode electrode, and the cathode electrode has a low-side power supply. A potential is supplied. Patent Document 1 discloses a light emitting device in which a power supply conductor (peripheral wiring) that is connected to a light emitting element and supplies a power supply potential is formed around a display region in plan view.

特開2010−107841号公報JP 2010-107841 A

表示領域の周囲に観察側からの光が入射する場合がある。特許文献1の技術では、平面視で表示領域の周囲に周辺配線が形成されるため、入射した外光が周辺配線の表面で反射して観察者に知覚される(観察側の物体の写り込みが知覚される)という問題がある。以上の問題を解決する手段として、遮光性の部材を周辺配線に重ねて形成することが考えられる。しかし、周辺配線に重なる遮光性の部材を形成する工程の追加が必要となり、製造工程が煩雑化するという問題がある。以上の事情を考慮して、本発明は、製造工程の煩雑化を抑制しながら周辺配線の表面での反射光が観察者に知覚され難くすることを目的とする。   In some cases, light from the observation side is incident around the display area. In the technique of Patent Document 1, since the peripheral wiring is formed around the display area in a plan view, the incident external light is reflected on the surface of the peripheral wiring and perceived by the observer (the reflection of the object on the observation side). Is perceived). As a means for solving the above problems, it is conceivable to form a light shielding member on the peripheral wiring. However, there is a problem that an additional process for forming a light-shielding member that overlaps the peripheral wiring is required, and the manufacturing process becomes complicated. In view of the above circumstances, an object of the present invention is to make it difficult for an observer to perceive reflected light on the surface of a peripheral wiring while suppressing complication of the manufacturing process.

以上の課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る発光装置は、表示領域内に配置され、第1電極および第2電極と、第1電極と第2電極との間の電流に応じて発光する発光機能層とを含む発光素子と、平面視で表示領域の周囲に形成されて第2電極に導通する周辺配線と、第1波長の光を透過させる第1着色層を含むフィルター層であって、第1着色層で形成されて発光素子に重なる第1カラーフィルターと、第1着色層で形成されて周辺配線に重なる第1層とを含むフィルター層とを具備する。以上の構成によれば、第1層が周辺配線に重なるため、観察側から周辺配線に向かう光や周辺配線の表面での反射光が第1層で遮光される。したがって、周辺配線の表面での反射光が観察者に知覚され難いという利点がある。また、第1層と第1カラーフィルターとは、共に第1着色層で形成されるから、共通の工程で一括的に形成され得る。したがって、第1カラーフィルターを形成する工程とは個別に第1層を形成する場合と比較して、製造工程が簡素化されるという利点がある。   In order to solve the above problems, a light-emitting device according to a first aspect of the present invention is disposed in a display region, and a current between a first electrode and a second electrode and between the first electrode and the second electrode. A light emitting element including a light emitting functional layer that emits light in response to the light emitting element, a peripheral wiring that is formed around the display region in a plan view and is connected to the second electrode, and a first colored layer that transmits light of the first wavelength. A filter layer comprising a first color filter formed of a first colored layer and overlapping a light emitting element, and a filter layer including a first layer formed of a first colored layer and overlapping peripheral wiring. According to the above configuration, since the first layer overlaps the peripheral wiring, the light traveling from the observation side toward the peripheral wiring and the reflected light on the surface of the peripheral wiring are shielded by the first layer. Therefore, there is an advantage that the reflected light on the surface of the peripheral wiring is hardly perceived by the observer. Moreover, since both the first layer and the first color filter are formed of the first colored layer, they can be formed collectively in a common process. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process is simplified compared to the case where the first layer is formed separately from the process of forming the first color filter.

本発明の好適な態様において、フィルター層は、第1波長とは異なる第2波長の光を透過させる第2着色層を含み、第2着色層で形成されて発光素子に重なる第2カラーフィルターと、第2着色層で第1層の面上に形成されて周辺配線に重なる第2層とを含む。以上の構成によれば、第2層と第1層とが周辺配線に重なるため、例えば単層で遮光する構成と比較して、遮光性能が向上する。したがって、周辺配線の表面での反射光が観察者に知覚され難くなるという効果は格別に顕著である。また、第2層と第2カラーフィルターとは、共に第2着色層で形成されるから、共通の工程で一括的に形成され得る。したがって、第2カラーフィルターを形成する工程とは個別に第2層を形成する場合と比較して、製造工程が簡素化されるという利点がある。   In a preferred embodiment of the present invention, the filter layer includes a second colored layer that transmits light having a second wavelength different from the first wavelength, and is formed of the second colored layer and overlaps the light emitting element. And a second colored layer formed on the surface of the first layer and overlapping the peripheral wiring. According to the above configuration, since the second layer and the first layer overlap the peripheral wiring, for example, the light shielding performance is improved as compared with the configuration in which the light is shielded by a single layer. Therefore, the effect that the reflected light on the surface of the peripheral wiring is hardly perceived by the observer is particularly remarkable. In addition, since the second layer and the second color filter are both formed of the second colored layer, they can be collectively formed in a common process. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process is simplified compared to the case where the second layer is formed separately from the process of forming the second color filter.

本発明の好適な態様において、第2層の周縁は、平面視で第1層の周縁の内側に位置する。以上の構成によれば、第1層の周縁と第2層の周縁とが平面視で重ならないため、第1層と第2層との側面が面一に形成されない。第1層と第2層との側面が面一に形成される(すなわち、第2層の周縁と第1層の周縁とが平面視で重なる)構成においては、フィルター層の表面に第1層と第2層との膜厚の和に相当する段差が生じる。一方、本発明の態様によれば、第1層の膜厚に相当する段差と第2層の膜厚に相当する段差とが個別に形成されるため、フィルター層の表面に生じる段差が第1層と第2層との膜厚の和より小さくなる。すなわち、第1層と第2層との側面が面一に形成される構成と比較して、フィルター層の表面が平坦に形成される。   In a preferred aspect of the present invention, the periphery of the second layer is located inside the periphery of the first layer in plan view. According to the above configuration, since the periphery of the first layer and the periphery of the second layer do not overlap in plan view, the side surfaces of the first layer and the second layer are not formed flush with each other. In the configuration in which the side surfaces of the first layer and the second layer are formed flush with each other (that is, the periphery of the second layer and the periphery of the first layer overlap in plan view), the first layer is formed on the surface of the filter layer. And a step corresponding to the sum of the film thicknesses of the second layer. On the other hand, according to the aspect of the present invention, the step corresponding to the film thickness of the first layer and the step corresponding to the film thickness of the second layer are individually formed. It becomes smaller than the sum of the film thickness of the layer and the second layer. That is, the surface of the filter layer is formed flat compared to the configuration in which the side surfaces of the first layer and the second layer are formed flush with each other.

本発明の好適な態様において、フィルター層は、第1波長および第2波長とは異なる第3波長の光を透過させる第3着色層を含み、第3着色層で形成されて発光素子に重なる第3カラーフィルターと、第3着色層で第2層の面上に形成されて周辺配線に重なる第3層とを含む。以上の構成によれば、第1層と第2層と第3層とが周辺配線に重なるため、例えば単層や2層で遮光する構成と比較して、遮光性能が向上する。したがって、周辺配線の表面での反射光が観察者に知覚され難くなるという効果は格別に顕著である。また、第3層と第3カラーフィルターとは、共に第3着色層で形成されるから、共通の工程で一括的に形成され得る。したがって、第3カラーフィルターを形成する工程とは個別に第3層を形成する場合と比較して、製造工程が簡素化されるという利点がある。   In a preferred aspect of the present invention, the filter layer includes a third colored layer that transmits light having a third wavelength different from the first wavelength and the second wavelength, and is formed of the third colored layer and overlaps the light emitting element. A three-color filter and a third layer formed on the surface of the second layer by the third colored layer and overlapping the peripheral wiring. According to the above configuration, since the first layer, the second layer, and the third layer overlap with the peripheral wiring, the light shielding performance is improved as compared with, for example, a configuration in which light is shielded by a single layer or two layers. Therefore, the effect that the reflected light on the surface of the peripheral wiring is hardly perceived by the observer is particularly remarkable. In addition, since the third layer and the third color filter are both formed of the third colored layer, they can be collectively formed in a common process. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process is simplified compared to the case where the third layer is formed separately from the process of forming the third color filter.

本発明の好適な態様において、第3層の周縁は、平面視で第2層の周縁の内側に位置する。以上の構成によれば、第2層の膜厚に相当する段差と第3層の膜厚に相当する段差とがフィルター層の表面に個別に形成される。したがって、第2層と第3層との周縁が平面視で重なる構成(第2層と第3層との膜厚の和に相当する段差がフィルター層の表面に生じる構成)と比較して、フィルター層の表面を平坦にすることができる。   In a preferred aspect of the present invention, the periphery of the third layer is located inside the periphery of the second layer in plan view. According to the above configuration, the step corresponding to the thickness of the second layer and the step corresponding to the thickness of the third layer are individually formed on the surface of the filter layer. Therefore, compared to a configuration in which the peripheral edges of the second layer and the third layer overlap in plan view (a configuration in which a step corresponding to the sum of the film thicknesses of the second layer and the third layer is generated on the surface of the filter layer), The surface of the filter layer can be flattened.

本発明の好適な態様において、フィルター層は、表示領域内の複数の第1開口部と周辺配線に重なる第2開口部とが形成された絶縁層を含み、第1カラーフィルターと第2カラーフィルターと第3カラーフィルターとは、複数の第1開口部の内側に形成され、第1層と第2層と第3層とは、第2開口部の内側に形成される。以上の構成においては、第1カラーフィルターと第2カラーフィルターと第3カラーフィルターとが絶縁層により表示領域内で区画される。第1層と第2層と第3層とは、絶縁層に形成された第2開口部の内側に形成されるから、第1層と第2層と第3層とを絶縁層の面上に形成した構成と比較して、フィルター層の表面の段差が低減される。   In a preferred aspect of the present invention, the filter layer includes an insulating layer in which a plurality of first openings in the display area and a second opening overlapping the peripheral wiring are formed, and the first color filter and the second color filter The third color filter is formed inside the plurality of first openings, and the first layer, the second layer, and the third layer are formed inside the second opening. In the above configuration, the first color filter, the second color filter, and the third color filter are partitioned in the display region by the insulating layer. Since the first layer, the second layer, and the third layer are formed inside the second opening formed in the insulating layer, the first layer, the second layer, and the third layer are arranged on the surface of the insulating layer. Compared with the structure formed in the step, the step on the surface of the filter layer is reduced.

以上の各態様に係る発光装置は、例えば表示装置として各種の電子機器に利用される。具体的には、頭部装着型の表示装置や撮像装置の電子式ビューファインダー等が本発明の電子機器の好適例として例示され得るが、本発明の適用範囲は以上の例示に限定されない。   The light emitting device according to each aspect described above is used in various electronic devices as a display device, for example. Specifically, a head-mounted display device, an electronic viewfinder of an imaging device, and the like can be exemplified as preferred examples of the electronic apparatus of the present invention, but the scope of application of the present invention is not limited to the above examples.

本発明の第1実施形態の発光装置の平面図である。It is a top view of the light-emitting device of 1st Embodiment of this invention. 画素の回路図である。It is a circuit diagram of a pixel. 発光装置の断面図である。It is sectional drawing of a light-emitting device. 発光装置の断面図である。It is sectional drawing of a light-emitting device. 基板上に形成される各要素の説明図である。It is explanatory drawing of each element formed on a board | substrate. 基板上に形成される各要素の説明図である。It is explanatory drawing of each element formed on a board | substrate. 基板上に形成される各要素の説明図である。It is explanatory drawing of each element formed on a board | substrate. 基板上に形成される各要素の説明図である。It is explanatory drawing of each element formed on a board | substrate. 基板上に形成される各要素の説明図である。It is explanatory drawing of each element formed on a board | substrate. 第1電源導電体および第2電源導電体の模式図である。It is a schematic diagram of a 1st power supply conductor and a 2nd power supply conductor. 基板上に形成される各要素の位置関係の説明図である。It is explanatory drawing of the positional relationship of each element formed on a board | substrate. 第2導電体の効果の説明図である。It is explanatory drawing of the effect of a 2nd conductor. 周辺領域に形成された各導通孔の平面図である。It is a top view of each conduction hole formed in a peripheral region. 対比例における周辺領域に形成された導通孔の近傍の断面図である。It is sectional drawing of the vicinity of the conduction hole formed in the peripheral region in contrast. 本発明の第1実施形態および対比例における発光機能層の周縁の近傍の断面図である。It is sectional drawing of the vicinity of the periphery of the light emission functional layer in 1st Embodiment and this invention. 封止体およびフィルター層の断面図である。It is sectional drawing of a sealing body and a filter layer. 封止体およびフィルター層の平面図である。It is a top view of a sealing body and a filter layer. 対比例における封止体およびフィルター層の断面図である。It is sectional drawing of the sealing body and filter layer in contrast. 第2実施形態における封止体およびフィルター層の断面図である。It is sectional drawing of the sealing body and filter layer in 2nd Embodiment. 変形例における封止体およびフィルター層の断面図である。It is sectional drawing of the sealing body and filter layer in a modification. 電子機器の一例たる頭部装着型の表示装置の模式図である。It is a schematic diagram of a head-mounted display device as an example of an electronic device.

<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る発光装置100の平面図である。第1実施形態の発光装置100は、有機EL材料を利用した発光素子を基板10の面上に形成した有機EL装置である。基板10は、珪素(シリコン)等の半導体材料で形成された板状部材(半導体基板)であり、複数の発光素子が形成される基体(下地)として利用される。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a plan view of a light emitting device 100 according to the first embodiment of the present invention. The light emitting device 100 of the first embodiment is an organic EL device in which a light emitting element using an organic EL material is formed on the surface of the substrate 10. The substrate 10 is a plate-like member (semiconductor substrate) formed of a semiconductor material such as silicon (silicon), and is used as a base (base) on which a plurality of light emitting elements are formed.

図1に例示される通り、基板10の表面には、表示領域12と周辺領域14と実装領域16とが画定される。表示領域12は、複数の画素Pが配列された矩形状の領域である。表示領域12には、X方向に延在する複数の走査線22と、各走査線22に対応してX方向に延在する複数の制御線24と、X方向に交差するY方向に延在する複数の信号線26とが形成される。複数の走査線22と複数の信号線26との各交差に対応して画素Pが形成される。したがって、複数の画素Pは、X方向およびY方向にわたり行列状に配列する。   As illustrated in FIG. 1, a display area 12, a peripheral area 14, and a mounting area 16 are defined on the surface of the substrate 10. The display area 12 is a rectangular area in which a plurality of pixels P are arranged. In the display area 12, a plurality of scanning lines 22 extending in the X direction, a plurality of control lines 24 extending in the X direction corresponding to each scanning line 22, and a Y direction intersecting with the X direction are extended. A plurality of signal lines 26 are formed. A pixel P is formed corresponding to each intersection of the plurality of scanning lines 22 and the plurality of signal lines 26. Accordingly, the plurality of pixels P are arranged in a matrix over the X direction and the Y direction.

周辺領域14は、表示領域12を包囲する矩形枠状の領域である。周辺領域14には駆動回路30が設置される。駆動回路30は、表示領域12内の各画素Pを駆動する回路であり、2個の走査線駆動回路32と信号線駆動回路34とを含んで構成される。第1実施形態の発光装置100は、基板10の表面に直接的に形成されたトランジスター等の能動素子で駆動回路30が構成される回路内蔵型の表示装置である。なお、画像表示には直接には寄与しないダミー画素を周辺領域14内に形成することも可能である。   The peripheral region 14 is a rectangular frame region that surrounds the display region 12. A drive circuit 30 is installed in the peripheral region 14. The drive circuit 30 is a circuit that drives each pixel P in the display area 12, and includes two scanning line drive circuits 32 and a signal line drive circuit 34. The light emitting device 100 according to the first embodiment is a display device with a built-in circuit in which a drive circuit 30 is configured by active elements such as transistors directly formed on the surface of a substrate 10. It is also possible to form dummy pixels in the peripheral region 14 that do not directly contribute to image display.

実装領域16は、周辺領域14を挟んで表示領域12とは反対側(すなわち周辺領域14の外側)の領域であり、複数の実装端子36が配列される。制御回路や電源回路等の各種の外部回路(図示略)から制御信号や電源電位が各実装端子36に供給される。外部回路は、例えば実装領域16に接合された可撓性の配線基板(図示略)に実装される。   The mounting area 16 is an area on the opposite side of the display area 12 with respect to the peripheral area 14 (that is, outside the peripheral area 14), and a plurality of mounting terminals 36 are arranged. A control signal and a power supply potential are supplied to each mounting terminal 36 from various external circuits (not shown) such as a control circuit and a power supply circuit. The external circuit is mounted on, for example, a flexible wiring board (not shown) joined to the mounting region 16.

図2は、表示領域12内の各画素(画素回路)Pの回路図である。図2に例示される通り、画素Pは、発光素子45と駆動トランジスターTDRと発光制御トランジスターTELと選択トランジスターTSLと容量素子Cとを含んで構成される。なお、第1実施形態では、画素Pの各トランジスターT(TDR,TEL,TSL)をPチャネル型としたが、Nチャネル型のトランジスターを利用することも可能である。   FIG. 2 is a circuit diagram of each pixel (pixel circuit) P in the display area 12. As illustrated in FIG. 2, the pixel P includes a light emitting element 45, a drive transistor TDR, a light emission control transistor TEL, a selection transistor TSL, and a capacitor element C. In the first embodiment, each transistor T (TDR, TEL, TSL) of the pixel P is a P-channel type, but an N-channel transistor can also be used.

発光素子45は、有機EL材料の発光層を含む発光機能層46を第1電極(陽極)E1と第2電極(陰極)E2との間に介在させた電気光学素子である。第1電極E1は画素P毎に個別に形成され、第2電極E2は複数の画素Pにわたり連続する。図2から理解される通り、発光素子45は、第1電源導電体41と第2電源導電体42とを連結する電流経路上に配置される。第1電源導電体41は、高位側の電源電位(第1電位)VELが供給される電源配線であり、第2電源導電体42は、低位側の電源電位(第2電位)VCTが供給される電源配線である。   The light emitting element 45 is an electro-optical element in which a light emitting functional layer 46 including a light emitting layer of an organic EL material is interposed between a first electrode (anode) E1 and a second electrode (cathode) E2. The first electrode E1 is individually formed for each pixel P, and the second electrode E2 is continuous over a plurality of pixels P. As understood from FIG. 2, the light emitting element 45 is disposed on a current path connecting the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42. The first power supply conductor 41 is a power supply wiring to which a higher power supply potential (first potential) VEL is supplied, and the second power supply conductor 42 is supplied with a lower power supply potential (second potential) VCT. Power supply wiring.

駆動トランジスターTDRと発光制御トランジスターTELとは、第1電源導電体41と第2電源導電体42とを連結する電流経路上で発光素子45に対して直列に配置される。具体的には、駆動トランジスターTDRの一対の電流端のうちの一方(ソース)は第1電源導電体41に接続される。発光制御トランジスターTELは、駆動トランジスターTDRの一対の電流端のうちの他方(ドレイン)と発光素子45の第1電極E1との導通状態(導通/非導通)を制御するスイッチとして機能する。駆動トランジスターTDRは、自身のゲート-ソース間の電圧に応じた電流量の駆動電流を生成する。発光制御トランジスターTELがオン状態に制御された状態では、駆動電流が駆動トランジスターTDRから発光制御トランジスターTELを経由して発光素子45に供給されることで発光素子45が駆動電流の電流量に応じた輝度で発光する。発光制御トランジスターTELがオフ状態に制御された状態では発光素子45に対する駆動電流の供給が遮断されることで発光素子45は消灯する。発光制御トランジスターTELのゲートは制御線24に接続される。   The driving transistor TDR and the light emission control transistor TEL are arranged in series with respect to the light emitting element 45 on a current path connecting the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42. Specifically, one (source) of the pair of current ends of the driving transistor TDR is connected to the first power supply conductor 41. The light emission control transistor TEL functions as a switch for controlling the conduction state (conduction / non-conduction) between the other (drain) of the pair of current ends of the drive transistor TDR and the first electrode E1 of the light emitting element 45. The drive transistor TDR generates a drive current having a current amount corresponding to the voltage between its gate and source. In a state where the light emission control transistor TEL is controlled to be in the on state, the drive current is supplied from the drive transistor TDR to the light emitting element 45 via the light emission control transistor TEL, so that the light emission element 45 corresponds to the amount of current of the drive current. Emits brightness. In a state where the light emission control transistor TEL is controlled to be in an off state, the light emitting element 45 is turned off by interrupting the supply of the driving current to the light emitting element 45. The gate of the light emission control transistor TEL is connected to the control line 24.

図2の選択トランジスターTSLは、信号線26と駆動トランジスターTDRのゲートとの導通状態(導通/非導通)を制御するスイッチとして機能する。選択トランジスターTSLのゲートは走査線22に接続される。また、容量素子Cは、第1電極C1と第2電極C2との間に誘電体を介在させた静電容量である。第1電極C1は駆動トランジスターTDRのゲートに接続され、第2電極C2は第1電源導電体41(駆動トランジスターTDRのソース)に接続される。したがって、容量素子Cは、駆動トランジスターTDRのゲート-ソース間の電圧を保持する。   The selection transistor TSL in FIG. 2 functions as a switch for controlling the conduction state (conduction / non-conduction) between the signal line 26 and the gate of the drive transistor TDR. The gate of the selection transistor TSL is connected to the scanning line 22. The capacitive element C is a capacitance in which a dielectric is interposed between the first electrode C1 and the second electrode C2. The first electrode C1 is connected to the gate of the driving transistor TDR, and the second electrode C2 is connected to the first power supply conductor 41 (the source of the driving transistor TDR). Therefore, the capacitive element C holds the voltage between the gate and the source of the driving transistor TDR.

信号線駆動回路34は、外部回路から供給される画像信号が画素P毎に指定する階調に応じた階調電位(データ信号)を書込期間(水平走査期間)毎に複数の信号線26に対して並列に供給する。他方、各走査線駆動回路32は、各走査線22に走査信号を供給することで複数の走査線22の各々を書込期間毎に順次に選択する。走査線駆動回路32が選択した走査線22に対応する各画素Pの選択トランジスターTSLはオン状態に遷移する。したがって、各画素Pの駆動トランジスターTDRのゲートには信号線26と選択トランジスターTSLとを経由して階調電位が供給され、容量素子Cには階調電位に応じた電圧が保持される。他方、書込期間での走査線22の選択が終了すると、各走査線駆動回路32は、各制御線24に制御信号を供給することで当該制御線24に対応する各画素Pの発光制御トランジスターTELをオン状態に制御する。したがって、直前の書込期間で容量素子Cに保持された電圧に応じた駆動電流が駆動トランジスターTDRから発光制御トランジスターTELを経由して発光素子45に供給される。以上のように各発光素子45が階調電位に応じた輝度で発光することで、画像信号が指定する任意の画像が表示領域12に表示される。   The signal line driving circuit 34 supplies a plurality of signal lines 26 for each writing period (horizontal scanning period) with a gradation potential (data signal) corresponding to a gradation specified for each pixel P by an image signal supplied from an external circuit. Is supplied in parallel. On the other hand, each scanning line drive circuit 32 supplies a scanning signal to each scanning line 22 to sequentially select each of the plurality of scanning lines 22 for each writing period. The selection transistor TSL of each pixel P corresponding to the scanning line 22 selected by the scanning line driving circuit 32 is turned on. Therefore, the gradation potential is supplied to the gate of the driving transistor TDR of each pixel P via the signal line 26 and the selection transistor TSL, and the capacitor C holds a voltage corresponding to the gradation potential. On the other hand, when the selection of the scanning line 22 in the writing period is completed, each scanning line driving circuit 32 supplies a control signal to each control line 24, whereby the light emission control transistor of each pixel P corresponding to the control line 24. Control TEL to be on. Accordingly, a drive current corresponding to the voltage held in the capacitor C in the immediately preceding writing period is supplied from the drive transistor TDR to the light emitting element 45 via the light emission control transistor TEL. As described above, each light emitting element 45 emits light at a luminance corresponding to the gradation potential, whereby an arbitrary image specified by the image signal is displayed in the display area 12.

第1実施形態の発光装置100の具体的な構造を以下に詳述する。なお、以下の説明で参照する各図面では、説明の便宜のために、各要素の寸法や縮尺を実際の発光装置100とは相違させている。図3および図4は、発光装置100の断面図であり、図5から図9は、発光装置100の各要素を形成する各段階での基板10の表面の様子を画素Pの1個分に着目して図示した平面図である。図5から図9のIII−III線を含む断面に対応した断面図が図3に相当し、図5から図9のIV−IV線の断面に対応した断面図が図4に相当する。なお、図5から図9は平面図であるが、各要素の視覚的な把握を容易化する観点から、図3または図4と共通する各要素に図3または図4と同態様のハッチングが便宜的に付加されている。   A specific structure of the light emitting device 100 of the first embodiment will be described in detail below. In each drawing referred to in the following description, the dimensions and scales of each element are different from those of the actual light emitting device 100 for convenience of description. 3 and 4 are cross-sectional views of the light emitting device 100, and FIGS. 5 to 9 show the appearance of the surface of the substrate 10 for each pixel P at each stage of forming each element of the light emitting device 100. FIG. It is the top view illustrated paying attention. A cross-sectional view corresponding to the cross section including the line III-III in FIGS. 5 to 9 corresponds to FIG. 3, and a cross-sectional view corresponding to the cross section along the line IV-IV in FIGS. 5 to 9 corresponds to FIG. 5 to 9 are plan views. From the viewpoint of facilitating visual grasp of each element, each element common to FIG. 3 or FIG. 4 is hatched in the same manner as FIG. 3 or FIG. It is added for convenience.

図3、図4および図5から理解される通り、珪素等の半導体材料で形成された基板10には、画素Pの各トランジスターT(TDR,TEL,TSL)の能動領域10A(ソース/ドレイン領域)が形成される。能動領域10Aにはイオンが注入される。画素Pの各トランジスターT(TDR,TEL,TSL)のアクティブ層はソース領域とドレイン領域との間に存在し、能動領域10Aとは別種類のイオンが注入されるが、図示は便宜的に省略されている。図3および図4に例示される通り、能動領域10Aが形成された基板10の表面は絶縁膜L0(ゲート絶縁膜)で被覆され、各トランジスターTのゲートG(GDR,GEL,GSL)が絶縁膜L0の面上に形成される。各トランジスターTのゲートGは、絶縁膜L0を挟んでアクティブ層に対向する。図4には、選択トランジスターTSLのゲートGSLと駆動トランジスターTDRのゲートGDRと発光制御トランジスターTELのゲートGELとが図示されている。   As understood from FIGS. 3, 4 and 5, the substrate 10 formed of a semiconductor material such as silicon has an active region 10A (source / drain region) of each transistor T (TDR, TEL, TSL) of the pixel P. ) Is formed. Ions are implanted into the active region 10A. The active layer of each transistor T (TDR, TEL, TSL) of the pixel P exists between the source region and the drain region, and ions of a different type from the active region 10A are implanted, but the illustration is omitted for convenience. Has been. 3 and 4, the surface of the substrate 10 on which the active region 10A is formed is covered with an insulating film L0 (gate insulating film), and the gate G (GDR, GEL, GSL) of each transistor T is insulated. It is formed on the surface of the film L0. The gate G of each transistor T faces the active layer across the insulating film L0. FIG. 4 shows the gate GSL of the selection transistor TSL, the gate GDR of the drive transistor TDR, and the gate GEL of the light emission control transistor TEL.

図3および図4から理解される通り、各トランジスターTのゲートGが形成された絶縁膜L0の面上には、複数の絶縁層L(LA〜LE)と複数の配線層W(WA〜WE)とを交互に積層した多層配線層が形成される。各配線層Wは、アルミニウムや銀等を含有する低抵抗な導電材料で形成される。各絶縁層Lは、例えば珪素化合物(典型的には窒化珪素や酸化珪素)等の絶縁性の無機材料で形成される。なお、以下の説明では、導電層(単層または複数層)の選択的な除去により複数の要素が同一工程で一括的に形成される関係を「同層から形成される」と表記する。   3 and 4, a plurality of insulating layers L (LA to LE) and a plurality of wiring layers W (WA to WE) are formed on the surface of the insulating film L0 on which the gate G of each transistor T is formed. ) Are alternately stacked. Each wiring layer W is formed of a low-resistance conductive material containing aluminum, silver, or the like. Each insulating layer L is formed of an insulating inorganic material such as a silicon compound (typically silicon nitride or silicon oxide). In the following description, a relationship in which a plurality of elements are collectively formed in the same process by selective removal of a conductive layer (single layer or a plurality of layers) is referred to as “formed from the same layer”.

絶縁層LAは、各トランジスターTのゲートGが形成された絶縁膜L0の面上に形成される。図3、図4および図6から理解される通り、絶縁層LAの面上には、走査線22と制御線24と複数の中継電極QA(QA1,QA2,QA3,QA4)とを含む導体パターンが同層(配線層WA)から形成される。走査線22および制御線24は、相互に間隔をあけて複数の画素PにわたりX方向に直線状に延在する。具体的には、図6に例示される通り、走査線22は、選択トランジスターTSLのゲートGSLの上方および駆動トランジスターTDRのゲートGDRの上方を通過するように形成され、絶縁層LAを貫通する導通孔(コンタクトホール)HA1を介して選択トランジスターTSLのゲートGSLに導通する。導通孔HA1は、選択トランジスターTSLのゲートGSLおよびアクティブ層に平面視で重なるように形成される。他方、制御線24は、発光制御トランジスターTELのゲートGELの上方を通過するように形成され、絶縁層LAを貫通する導通孔HA2を介して発光制御トランジスターTELのゲートGELに導通する。導通孔HA2は、発光制御トランジスターTELのゲートGELおよびアクティブ層に平面視で重なるように形成される。   The insulating layer LA is formed on the surface of the insulating film L0 on which the gate G of each transistor T is formed. As understood from FIGS. 3, 4 and 6, a conductor pattern including a scanning line 22, a control line 24, and a plurality of relay electrodes QA (QA1, QA2, QA3, QA4) on the surface of the insulating layer LA. Is formed from the same layer (wiring layer WA). The scanning line 22 and the control line 24 extend linearly in the X direction across the plurality of pixels P with a space therebetween. Specifically, as illustrated in FIG. 6, the scanning line 22 is formed so as to pass above the gate GSL of the selection transistor TSL and above the gate GDR of the driving transistor TDR, and conducts through the insulating layer LA. It conducts to the gate GSL of the selection transistor TSL through a hole (contact hole) HA1. The conduction hole HA1 is formed so as to overlap the gate GSL and the active layer of the selection transistor TSL in plan view. On the other hand, the control line 24 is formed so as to pass over the gate GEL of the light emission control transistor TEL, and is electrically connected to the gate GEL of the light emission control transistor TEL through the conduction hole HA2 penetrating the insulating layer LA. The conduction hole HA2 is formed so as to overlap the gate GEL and the active layer of the light emission control transistor TEL in plan view.

中継電極QA1は、選択トランジスターTSLの能動領域10Aと駆動トランジスターTDRのゲートGDRとを接続する配線であり、図6に例示される通り、平面視で走査線22と制御線24との間に位置する。具体的には、中継電極QA1は、図4および図6から理解される通り、絶縁層LAと絶縁膜L0とを貫通する導通孔HA3を介して選択トランジスターTSLの能動領域10Aに導通するとともに、絶縁層LAの導通孔HA4を介して駆動トランジスターTDRのゲートGDRに導通する。また、図6から理解される通り、中継電極QA2は、絶縁層LAと絶縁膜L0とを貫通する導通孔HA5を介して選択トランジスターTSLの能動領域10Aに導通する。中継電極QA3は、絶縁層LAと絶縁膜L0とを貫通する導通孔HA6を介して駆動トランジスターTDRの能動領域10A(ソース)に導通する。中継電極QA4は、絶縁層LAと絶縁膜L0とを貫通する導通孔HA7を介して発光制御トランジスターTELの能動領域10A(ドレイン)に導通する。図6から理解される通り、選択トランジスターTSLと駆動トランジスターTDRと発光制御トランジスターTELとの各々は、チャネル長がY方向に沿うように形成される。また、駆動トランジスターTDRと発光制御トランジスターTELとはY方向に沿って配列し、選択トランジスターTSLは、駆動トランジスターTDRおよび発光制御トランジスターTELに対してX方向(図6ではX方向の負側)にずれた位置に配置される。   The relay electrode QA1 is a wiring that connects the active region 10A of the selection transistor TSL and the gate GDR of the driving transistor TDR, and is located between the scanning line 22 and the control line 24 in plan view as illustrated in FIG. To do. Specifically, as understood from FIGS. 4 and 6, the relay electrode QA1 is electrically connected to the active region 10A of the selection transistor TSL through a conduction hole HA3 penetrating the insulating layer LA and the insulating film L0. It is electrically connected to the gate GDR of the drive transistor TDR through the conduction hole HA4 of the insulating layer LA. Further, as understood from FIG. 6, the relay electrode QA2 is electrically connected to the active region 10A of the selection transistor TSL through a conduction hole HA5 penetrating the insulating layer LA and the insulating film L0. The relay electrode QA3 is electrically connected to the active region 10A (source) of the drive transistor TDR through a conduction hole HA6 that penetrates the insulating layer LA and the insulating film L0. The relay electrode QA4 is electrically connected to the active region 10A (drain) of the light emission control transistor TEL via a conduction hole HA7 penetrating the insulating layer LA and the insulating film L0. As understood from FIG. 6, each of the selection transistor TSL, the drive transistor TDR, and the light emission control transistor TEL is formed so that the channel length is along the Y direction. The drive transistor TDR and the light emission control transistor TEL are arranged along the Y direction, and the selection transistor TSL is shifted in the X direction (the negative side in the X direction in FIG. 6) with respect to the drive transistor TDR and the light emission control transistor TEL. Placed in a different position.

絶縁層LBは、配線層WAが形成された絶縁層LAの面上に形成される。図3、図4および図7から理解される通り、絶縁層LBの面上には、信号線26と第1電極C1と複数の中継電極QB(QB1,QB2)とを含む導体パターンが同層(配線層WB)から形成される。信号線26は、複数の画素PにわたりY方向に直線状に延在し、絶縁層LAにより走査線22および制御線24からは電気的に絶縁される。具体的には、信号線26は、選択トランジスターTSLの能動領域10A(ソース,ドレイン)およびアクティブ層の上方と駆動トランジスターTDRのゲートGDRに導通する中継電極QA1の上方とを通過するように形成され、選択トランジスターTSLのチャネル長の方向(Y方向)に沿って延在するとともに平面視で選択トランジスターTSLに重なる。また、信号線26は、各トランジスターT(TDR,TEL,TSL)の能動領域10A(ソース,ドレイン)や各トランジスターTのゲートGよりも上層に形成される。図7から理解される通り、配線層WBの信号線26は、絶縁層LBを貫通する導通孔HB1を介して配線層WAの中継電極QA2に導通する。すなわち、信号線26と選択トランジスターTSLの能動領域10A(ソース)とが中継電極QA2を介して接続される。図7の配線層WBの第1電極C1は、絶縁層LBを貫通する導通孔HB2を介して配線層WAの中継電極QA1に導通する。すなわち、容量素子Cの第1電極C1と駆動トランジスターTDRのゲートGDRとが中継電極QA1を介して接続される。図7の配線層WBの中継電極QB1は、絶縁層LBの導通孔HB3を介して配線層WAの中継電極QA3に導通し、配線層WBの中継電極QB2は、絶縁層LBの導通孔HB4を介して配線層WAの中継電極QA4に導通する。   The insulating layer LB is formed on the surface of the insulating layer LA on which the wiring layer WA is formed. As understood from FIGS. 3, 4 and 7, the conductor pattern including the signal line 26, the first electrode C1, and the plurality of relay electrodes QB (QB1, QB2) is formed on the same layer on the surface of the insulating layer LB. (Wiring layer WB). The signal line 26 extends linearly in the Y direction over the plurality of pixels P, and is electrically insulated from the scanning line 22 and the control line 24 by the insulating layer LA. Specifically, the signal line 26 is formed so as to pass through the active region 10A (source, drain) and the active layer of the selection transistor TSL and the relay electrode QA1 that is conductive to the gate GDR of the driving transistor TDR. , And extends along the channel length direction (Y direction) of the selection transistor TSL and overlaps the selection transistor TSL in plan view. The signal line 26 is formed in an upper layer than the active region 10A (source, drain) of each transistor T (TDR, TEL, TSL) and the gate G of each transistor T. As understood from FIG. 7, the signal line 26 of the wiring layer WB is electrically connected to the relay electrode QA2 of the wiring layer WA through the conduction hole HB1 penetrating the insulating layer LB. That is, the signal line 26 and the active region 10A (source) of the selection transistor TSL are connected via the relay electrode QA2. The first electrode C1 of the wiring layer WB in FIG. 7 is electrically connected to the relay electrode QA1 of the wiring layer WA through a conduction hole HB2 penetrating the insulating layer LB. That is, the first electrode C1 of the capacitive element C and the gate GDR of the drive transistor TDR are connected via the relay electrode QA1. The relay electrode QB1 of the wiring layer WB in FIG. 7 is electrically connected to the relay electrode QA3 of the wiring layer WA via the conductive hole HB3 of the insulating layer LB, and the relay electrode QB2 of the wiring layer WB is connected to the conductive hole HB4 of the insulating layer LB. Through the relay electrode QA4 of the wiring layer WA.

絶縁層LCは、配線層WBが形成された絶縁層LBの面上に形成される。図3、図4および図8から理解される通り、絶縁層LCの面上には、第2電極C2を含む導体パターンが同層(配線層WC)から形成される。第2電極C2は、平面視(すなわち基板10の表面に垂直な方向からみた状態)で第1電極C1に重複する形状および位置に形成される。図3から理解される通り、第1電極C1および第2電極C2と両者間の絶縁層LCとで容量素子Cが構成される。図8に例示される通り、容量素子C(第1電極C1,第2電極C2)は、平面視で駆動トランジスターTDRおよび発光制御トランジスターTELに重なるように設置される。   The insulating layer LC is formed on the surface of the insulating layer LB on which the wiring layer WB is formed. As understood from FIGS. 3, 4 and 8, a conductor pattern including the second electrode C2 is formed from the same layer (wiring layer WC) on the surface of the insulating layer LC. The second electrode C2 is formed in a shape and a position overlapping the first electrode C1 in a plan view (that is, as viewed from a direction perpendicular to the surface of the substrate 10). As understood from FIG. 3, the capacitive element C is constituted by the first electrode C1 and the second electrode C2 and the insulating layer LC therebetween. As illustrated in FIG. 8, the capacitive element C (first electrode C1, second electrode C2) is disposed so as to overlap the drive transistor TDR and the light emission control transistor TEL in plan view.

図3および図4に例示される通り、絶縁層LDは、配線層WCが形成された絶縁層LCの面上に形成される。絶縁層LDの表面には平坦化処理が実行される。平坦化処理には、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)等の公知の表面処理技術が任意に採用される。平坦化処理で高度に平坦化された絶縁層LDの表面に、図3および図4に例示される通り、第1電源導電体41と第2電源導電体42と中継電極QD1とを含む導体パターンが同層(配線層WD)から形成される。図3に示すように、第1電源導電体41と第2電源導電体42とは、相互に離間して形成されて電気的に絶縁される。第1電源導電体41は、多層配線層内の配線(図示略)を介して、高位側の電源電位VELが供給される実装端子36に導通する。同様に、第2電源導電体42は、多層配線層内の配線(図示略)を介して、低位側の電源電位VCTが供給される実装端子36に導通する。第1実施形態の第1電源導電体41および第2電源導電体42は、例えば銀やアルミニウムを含有する光反射性の導電材料で例えば100nm程度の膜厚に形成される。   As illustrated in FIGS. 3 and 4, the insulating layer LD is formed on the surface of the insulating layer LC on which the wiring layer WC is formed. A planarization process is performed on the surface of the insulating layer LD. For the planarization treatment, a known surface treatment technique such as chemical mechanical polishing (CMP) is arbitrarily employed. As illustrated in FIGS. 3 and 4, a conductor pattern including a first power supply conductor 41, a second power supply conductor 42, and a relay electrode QD1 on the surface of the insulating layer LD highly planarized by the planarization process. Are formed from the same layer (wiring layer WD). As shown in FIG. 3, the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 are formed to be separated from each other and electrically insulated. The first power supply conductor 41 is electrically connected to the mounting terminal 36 to which the higher power supply potential VEL is supplied via a wiring (not shown) in the multilayer wiring layer. Similarly, the second power supply conductor 42 is electrically connected to the mounting terminal 36 to which the lower power supply potential VCT is supplied via wiring (not shown) in the multilayer wiring layer. The first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 of the first embodiment are made of a light-reflective conductive material containing, for example, silver or aluminum and have a thickness of, for example, about 100 nm.

図10は、第1電源導電体41と第2電源導電体42との平面図である。第1電源導電体41は、前述の通り高位側の電源電位VELが供給される電源配線であり、図10に例示される通り、表示領域12の略全域にわたり面状に形成された略矩形状のベタパターンである。ベタパターンとは、線状または帯状のパターンやその組合せ(例えば格子状)のパターンではなく、表示領域12の略全面を塗潰すように実質的に隙間なく一様に連続する面状(すなわちベタ状)のパターンを意味する。なお、第1電源導電体41を、画素P毎に個別に形成してもよい。   FIG. 10 is a plan view of the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42. The first power supply conductor 41 is a power supply line to which the higher power supply potential VEL is supplied as described above. As illustrated in FIG. 10, the first power supply conductor 41 has a substantially rectangular shape formed in a planar shape over substantially the entire display area 12. It is a solid pattern. The solid pattern is not a linear or belt-like pattern or a combination thereof (for example, a lattice pattern), but a planar shape (that is, a solid pattern) that is substantially continuous with no gap so as to fill almost the entire surface of the display region 12. Pattern). The first power supply conductor 41 may be formed individually for each pixel P.

図4および図9から理解される通り、表示領域12内に形成された第1電源導電体41は、画素P毎に絶縁層LDと絶縁層LCとを貫通する導通孔HD1を介して中継電極QA3と導通する。すなわち、図4から理解される通り、駆動トランジスターTDRのソースとして機能する能動領域10Aは、中継電極QA3および中継電極QB1を介して第1電源導電体41に接続される。また、図9に例示される通り、第1電源導電体41は、絶縁層LDの導通孔HD2を介して容量素子Cの第2電極C2に接続される。すなわち、駆動トランジスターTDRのゲートGDRとソース(第1電源導電体41)との間に容量素子Cが介在する。なお、絶縁層LDに複数個の導通孔HD2を形成し、複数の箇所で第1電源導電体41と容量素子Cの第2電極C2とが接続することも可能である。   As understood from FIGS. 4 and 9, the first power supply conductor 41 formed in the display region 12 is connected to the relay electrode via the conduction hole HD1 penetrating the insulating layer LD and the insulating layer LC for each pixel P. Conducts with QA3. That is, as understood from FIG. 4, the active region 10A that functions as the source of the drive transistor TDR is connected to the first power supply conductor 41 via the relay electrode QA3 and the relay electrode QB1. Further, as illustrated in FIG. 9, the first power supply conductor 41 is connected to the second electrode C2 of the capacitive element C through the conduction hole HD2 of the insulating layer LD. That is, the capacitive element C is interposed between the gate GDR and the source (first power supply conductor 41) of the driving transistor TDR. It is also possible to form a plurality of conduction holes HD2 in the insulating layer LD and connect the first power supply conductor 41 and the second electrode C2 of the capacitive element C at a plurality of locations.

図9に例示される通り、第1電源導電体41には画素P毎に開口部41Aが形成される。各開口部41Aの内側には、中継電極QD1が第1電源導電体41および第2電源導電体42と同層から形成される。中継電極QD1と第1電源導電体41とは、相互に離間して形成されて電気的に絶縁される。図4および図9から理解される通り、中継電極QD1は、絶縁層LDと絶縁層LCとを貫通する導通孔HD3を介して中継電極QB2に導通する。   As illustrated in FIG. 9, the first power supply conductor 41 has an opening 41 </ b> A for each pixel P. A relay electrode QD1 is formed in the same layer as the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 inside each opening 41A. The relay electrode QD1 and the first power supply conductor 41 are formed away from each other and electrically insulated. As understood from FIGS. 4 and 9, the relay electrode QD1 is electrically connected to the relay electrode QB2 through a conduction hole HD3 penetrating the insulating layer LD and the insulating layer LC.

第2電源導電体42は、周辺領域14内に形成され、前述の通り低位側の電源電位VCTが供給される電源配線である。図10に例示される通り、本実施形態の第2電源導電体42は、平面視で第1電源導電体41(表示領域12)を包囲する矩形枠状(閉図形)に形成される。第2電源導電体42の幅(内周縁から外周縁までの距離)は例えば1.5mmである。図11は、絶縁層LDの面上に形成される各要素の位置関係の説明図である。図10における領域αの拡大図が、図11の各部分((A)〜(D))に対応する。図10と図11の部分(A)とから把握される通り、平面視で第1電源導電体41の周縁と第2電源導電体42の内周縁とで囲まれる領域に、表示領域12と周辺領域14との境界が位置する。   The second power supply conductor 42 is a power supply wiring that is formed in the peripheral region 14 and is supplied with the lower power supply potential VCT as described above. As illustrated in FIG. 10, the second power supply conductor 42 of the present embodiment is formed in a rectangular frame shape (closed figure) surrounding the first power supply conductor 41 (display region 12) in plan view. The width (the distance from the inner periphery to the outer periphery) of the second power supply conductor 42 is, for example, 1.5 mm. FIG. 11 is an explanatory diagram of the positional relationship of each element formed on the surface of the insulating layer LD. An enlarged view of the region α in FIG. 10 corresponds to each part ((A) to (D)) in FIG. As can be understood from the part (A) of FIG. 10 and FIG. 11, the display area 12 and the peripheral area are surrounded by the periphery of the first power supply conductor 41 and the inner periphery of the second power supply conductor 42 in plan view. The boundary with the region 14 is located.

図3および図4に例示される通り、絶縁層LEは、配線層WDが形成された絶縁層LDの面上に形成される。絶縁層LEの面上には、図3に示す第2導電体58と図4に示す中継電極QE1とを含む導体パターンが同層(配線層WE)から形成される。配線層WEは、例えば遮光性の導電材料(例えば窒化チタン)で形成される。   As illustrated in FIGS. 3 and 4, the insulating layer LE is formed on the surface of the insulating layer LD on which the wiring layer WD is formed. On the surface of the insulating layer LE, a conductor pattern including the second conductor 58 shown in FIG. 3 and the relay electrode QE1 shown in FIG. 4 is formed from the same layer (wiring layer WE). The wiring layer WE is formed of, for example, a light shielding conductive material (for example, titanium nitride).

中継電極QE1は、絶縁層LEを貫通する導通孔を介して中継電極QD1に導通する。図4から理解される通り、中継電極QE1は、第1電源導電体41の開口部41Aに平面視で重複するように形成される。すなわち、中継電極QE1の外周縁は平面視で開口部41Aの内周縁の外側に位置する。中継電極QE1は遮光性の導電材料で形成されるから、多層配線層に対する開口部41Aからの外光の侵入が中継電極QE1により防止される。したがって、光照射に起因した各トランジスターTの電流リークを防止できるという利点がある。   The relay electrode QE1 is electrically connected to the relay electrode QD1 through a conduction hole penetrating the insulating layer LE. As understood from FIG. 4, the relay electrode QE1 is formed so as to overlap the opening 41A of the first power supply conductor 41 in plan view. That is, the outer peripheral edge of the relay electrode QE1 is located outside the inner peripheral edge of the opening 41A in plan view. Since the relay electrode QE1 is formed of a light-shielding conductive material, the relay electrode QE1 prevents external light from entering the multilayer wiring layer from the opening 41A. Therefore, there is an advantage that current leakage of each transistor T due to light irradiation can be prevented.

第2導電体58は、図10および図11の部分(B)に示されるように、第1電源導電体41および第2電源導電体42の面上に形成される。図10では第2導電体58の一部が実線で図示され、他の一部の外形が鎖線で表現されている。図10から理解される通り、第2導電体58は、第2電源導電体42に類似する環状(矩形枠状)に形成され、平面視で第1電源導電体41および第2電源導電体42の双方に重なる帯状に形成される。具体的には、第2導電体58の内周縁は、平面視で第1電源導電体41の周縁の内側に位置する。すなわち、第2導電体58は、第1電源導電体41のうち周縁の近傍の領域に重なる。また、第2導電体58の外周縁は、平面視で第2電源導電体42の外周縁の外側に位置する。すなわち、第2導電体58は、平面視で第2電源導電体42の全域に重なる。以上の説明から理解される通り、第2導電体58は、平面視で第1電源導電体41と第2電源導電体42との間隙の領域(すなわち表示領域12と周辺領域14との境界の近傍の領域)に重なる。   The second conductor 58 is formed on the surfaces of the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 as shown in part (B) of FIGS. 10 and 11. In FIG. 10, a part of the second conductor 58 is shown by a solid line, and the other part of the outer shape is expressed by a chain line. As understood from FIG. 10, the second conductor 58 is formed in an annular shape (rectangular frame shape) similar to the second power conductor 42, and the first power conductor 41 and the second power conductor 42 in a plan view. It is formed in a belt shape that overlaps both. Specifically, the inner periphery of the second conductor 58 is located inside the periphery of the first power supply conductor 41 in plan view. That is, the second conductor 58 overlaps a region near the periphery of the first power supply conductor 41. The outer peripheral edge of the second conductor 58 is located outside the outer peripheral edge of the second power supply conductor 42 in plan view. That is, the second conductor 58 overlaps the entire area of the second power supply conductor 42 in plan view. As understood from the above description, the second conductor 58 has a gap region between the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 (that is, the boundary between the display region 12 and the peripheral region 14 in a plan view). (Overlapping area).

第2導電体58を形成しない構成を対比例(以下「対比例1」という)として想定する。図12は、対比例1における第1電源導電体41および第2電源導電体42の断面図(表示領域12と周辺領域14との境界の近傍の断面図)である。図12に例示される通り、対比例1では、第1電源導電体41および第2電源導電体42を被覆する絶縁層LEの形成後に、第1電源導電体41および第2電源導電体42の縁端部(隅部)eが絶縁層LEから露出し、第1電源導電体41や第2電源導電体42に損傷や腐食が発生する可能性がある。他方、第1実施形態では、第1電源導電体41および第2電源導電体42の間隙に重なる(第1電源導電体41や第2電源導電体42の縁端部eを被覆する)ように第2導電体58が形成されるから、絶縁層LEからの露出に起因した第1電源導電体41および第2電源導電体42の損傷や腐食を防止できるという利点がある。   A configuration in which the second conductor 58 is not formed is assumed to be proportional (hereinafter referred to as “comparative 1”). FIG. 12 is a cross-sectional view (cross-sectional view in the vicinity of the boundary between the display region 12 and the peripheral region 14) of the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 in the comparative example 1. As illustrated in FIG. 12, in the contrast 1, after the formation of the insulating layer LE covering the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42, the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42. The edge (corner) e is exposed from the insulating layer LE, and the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 may be damaged or corroded. On the other hand, in the first embodiment, the gap overlaps between the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 (covers the edge e of the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42). Since the second conductor 58 is formed, there is an advantage that damage and corrosion of the first power supply conductor 41 and the second power supply conductor 42 due to the exposure from the insulating layer LE can be prevented.

第2導電体58は、図3および図11の部分(B)に示す通り、絶縁層LEを貫通する導通孔HE1を介して第2電源導電体42に導通する。図13は、周辺領域14に形成された各導通孔(HE1,HF1,HG1)の平面図である。導通孔HE1は、図13に示すように、絶縁層LEのうち平面視で表示領域12を包囲する矩形枠状の領域を除去した貫通孔である。導通孔HE1は、平面視で第2電源導電体42に重なる領域のうち第1領域S1内に形成される。第1領域S1は、図13に示すように平面視で矩形枠状の領域であり、図11の部分(D)に示すように周辺領域14で第2電源導電体42の内周縁と外周縁との間に位置する。第1領域S1の幅(内周縁から外周縁までの距離)は、例えば0.3mmである。第2導電体58は、導通孔HE1を介して周辺領域14の全周にわたり第2電源導電体42に導通する。   As shown in part (B) of FIGS. 3 and 11, the second conductor 58 is electrically connected to the second power supply conductor 42 through a conduction hole HE1 penetrating the insulating layer LE. FIG. 13 is a plan view of each conduction hole (HE1, HF1, HG1) formed in the peripheral region 14. FIG. As shown in FIG. 13, the conduction hole HE1 is a through hole obtained by removing a rectangular frame-shaped region surrounding the display region 12 in a plan view in the insulating layer LE. The conduction hole HE1 is formed in the first region S1 in the region overlapping the second power supply conductor 42 in plan view. The first region S1 is a rectangular frame-like region in plan view as shown in FIG. 13, and the inner periphery and the outer periphery of the second power supply conductor 42 in the peripheral region 14 as shown in the part (D) of FIG. Located between and. The width of the first region S1 (the distance from the inner periphery to the outer periphery) is, for example, 0.3 mm. The second conductor 58 is electrically connected to the second power supply conductor 42 over the entire circumference of the peripheral region 14 through the conduction hole HE1.

図3および図4に例示される通り、配線層WEが形成された絶縁層LEの面上には光路調整層60が形成される。光路調整層60は、共振構造の共振波長(表示色)を画素Pの表示色毎に個別に設定するための要素であり、珪素化合物(典型的には窒化珪素や酸化珪素)等の光透過性の絶縁材料で形成される。具体的には、共振構造を構成する第1電源導電体41と第2電極E2との間の光路長(光学的距離)を光路調整層60の膜厚に応じて適宜に調整することで各画素Pの出射光の共振波長が表示色毎に設定される。   As illustrated in FIGS. 3 and 4, the optical path adjustment layer 60 is formed on the surface of the insulating layer LE on which the wiring layer WE is formed. The optical path adjustment layer 60 is an element for individually setting the resonance wavelength (display color) of the resonance structure for each display color of the pixel P, and transmits light such as a silicon compound (typically silicon nitride or silicon oxide). Made of a conductive insulating material. Specifically, each optical path length (optical distance) between the first power supply conductor 41 and the second electrode E2 constituting the resonance structure is adjusted appropriately according to the film thickness of the optical path adjustment layer 60. The resonance wavelength of the light emitted from the pixel P is set for each display color.

図3に例示される通り、光路調整層60の面上には、表示領域12内の画素P毎の第1電極E1と周辺領域14内の第1導電体63とが同層から形成される。第1電極E1と第1導電体63とは、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の光透過性の導電材料で形成される。第1電極E1は、図2を参照して説明した通り、発光素子45の陽極として機能する略矩形状の電極(画素電極)であり、図4に示すように光路調整層60を貫通する導通孔を介して中継電極QE1に導通する。すなわち、第1電極E1は、多層配線層の各中継電極(QE1,QD1,QB2,QA4)を介して発光制御トランジスターTELの能動領域10A(ドレイン)に導通する。   As illustrated in FIG. 3, on the surface of the optical path adjustment layer 60, the first electrode E1 for each pixel P in the display region 12 and the first conductor 63 in the peripheral region 14 are formed from the same layer. . The first electrode E1 and the first conductor 63 are made of a light-transmitting conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide), for example. As described with reference to FIG. 2, the first electrode E1 is a substantially rectangular electrode (pixel electrode) that functions as an anode of the light emitting element 45, and is electrically connected to the optical path adjustment layer 60 as shown in FIG. It conducts to the relay electrode QE1 through the hole. That is, the first electrode E1 is electrically connected to the active region 10A (drain) of the light emission control transistor TEL via each relay electrode (QE1, QD1, QB2, QA4) of the multilayer wiring layer.

第1導電体63は、第2導電体58に類似する環状(矩形枠状)に形成される。図11の部分(C)に示すように、第1導電体63の内周縁は第2導電体58の内周縁の内側(基板10の周縁側)に位置し、第1導電体63の外周縁は第2導電体58の外周縁の内側に位置する。第1導電体63は、図3および図11の部分(C)に示すように、光路調整層60を貫通する導通孔HF1を介して第2導電体58に導通する。導通孔HF1は、図13に示すように、光路調整層60のうち平面視で表示領域12を包囲する矩形枠状の領域を除去した貫通孔である。導通孔HF1は、導通孔HE1より表示領域12側に位置する。第1導電体63は導通孔HF1を介して周辺領域14の全周にわたり第2導電体58に導通する。   The first conductor 63 is formed in an annular shape (rectangular frame shape) similar to the second conductor 58. As shown in part (C) of FIG. 11, the inner peripheral edge of the first conductor 63 is located on the inner side (periphery side of the substrate 10) of the second conductor 58, and the outer peripheral edge of the first conductor 63. Is located inside the outer peripheral edge of the second conductor 58. The first conductor 63 is electrically connected to the second conductor 58 through a conduction hole HF1 that penetrates the optical path adjustment layer 60, as shown in part (C) of FIGS. As shown in FIG. 13, the conduction hole HF1 is a through hole obtained by removing a rectangular frame-shaped region surrounding the display region 12 in plan view in the optical path adjustment layer 60. The conduction hole HF1 is located closer to the display area 12 than the conduction hole HE1. The first conductor 63 is electrically connected to the second conductor 58 over the entire circumference of the peripheral region 14 through the conduction hole HF1.

第1電極E1と第1導電体63とが形成された光路調整層60の面上には、図3に例示される通り、基板10の全域にわたり画素定義層65が形成される。画素定義層65は、例えば珪素化合物(典型的には窒化珪素や酸化珪素)等の絶縁性の無機材料で形成される。図3から理解される通り、画素定義層65には、表示領域12内の各第1電極E1に対応する開口部65Aが形成される。   On the surface of the optical path adjustment layer 60 on which the first electrode E1 and the first conductor 63 are formed, a pixel definition layer 65 is formed over the entire area of the substrate 10 as illustrated in FIG. The pixel definition layer 65 is formed of an insulating inorganic material such as a silicon compound (typically silicon nitride or silicon oxide). As understood from FIG. 3, the pixel definition layer 65 is formed with openings 65 </ b> A corresponding to the first electrodes E <b> 1 in the display region 12.

図3および図4に例示される通り、第1電極E1と第1導電体63と画素定義層65とが形成された光路調整層60の面上には発光機能層46が形成される。発光機能層46は、有機EL材料で形成された発光層を含んで構成され、電流の供給により白色光を放射する。発光層は、印刷技術や蒸着技術等の公知の成膜技術で形成される。白色光は、青色の波長域と緑色の波長域と赤色の波長域とにわたるスペクトルを有する光であり、可視光の波長域内に少なくとも2個のピークが観測される。なお、発光層に供給される電子や正孔の輸送層または注入層を発光機能層46に含ませることも可能である。   As illustrated in FIGS. 3 and 4, the light emitting functional layer 46 is formed on the surface of the optical path adjustment layer 60 on which the first electrode E 1, the first conductor 63, and the pixel definition layer 65 are formed. The light emitting functional layer 46 includes a light emitting layer formed of an organic EL material, and emits white light by supplying current. The light emitting layer is formed by a known film forming technique such as a printing technique or a vapor deposition technique. White light is light having a spectrum covering a blue wavelength range, a green wavelength range, and a red wavelength range, and at least two peaks are observed in the visible wavelength range. Note that the light emitting functional layer 46 may include an electron or hole transport layer or an injection layer supplied to the light emitting layer.

図3に示すように、発光機能層46は、表示領域12内の複数の画素Pにわたり連続し、周縁48は平面視で周辺領域14に位置する。具体的には、発光機能層46の周縁48は、図11の部分(D)に示すように、第2領域S2内に位置する。第2領域S2は、平面視で第1領域S1の表示領域12側に位置する矩形枠状の領域である。発光機能層46の周縁48の位置には製造上の誤差が生じ得る。製造精度が比較的に低い印刷技術等の成膜技術を発光機能層46の形成に採用した場合には、周縁48の位置の誤差が特に顕著となる。第2領域S2は、周縁48の位置の誤差範囲を包含するように確保された領域(製造マージン)である。具体的には、第2領域S2の幅は、第1領域S1の2倍程度の幅(例えば0.6mm)に設定され、第1領域S1の1倍以上3倍以下であることが好ましい。   As illustrated in FIG. 3, the light emitting functional layer 46 is continuous over a plurality of pixels P in the display region 12, and the peripheral edge 48 is located in the peripheral region 14 in plan view. Specifically, the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46 is located in the second region S2, as shown in part (D) of FIG. The second region S2 is a rectangular frame region located on the display region 12 side of the first region S1 in plan view. A manufacturing error may occur at the position of the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46. When a film forming technique such as a printing technique with relatively low manufacturing accuracy is employed for forming the light emitting functional layer 46, the error in the position of the peripheral edge 48 becomes particularly significant. The second region S2 is a region (manufacturing margin) secured so as to include an error range of the position of the peripheral edge 48. Specifically, the width of the second region S2 is set to about twice the width of the first region S1 (for example, 0.6 mm), and is preferably 1 to 3 times that of the first region S1.

発光機能層46の周縁48は、図11の部分(B)から部分(D)に示すように、第2導電体58に重なる。具体的には、周縁48の全周が平面視で矩形枠状の第2導電体58に重なる。発光機能層46の周縁48の一部が第2導電体58に重なり、他の一部が第2導電体58に重ならない構成では、第2導電体58の膜厚を反映した段差が発光機能層46の表面に現れる可能性がある。本実施形態においては、周縁48の全周が単一の部材(第2導電体58)に重なるから、発光機能層46の表面の段差が低減されるという利点がある。   The peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46 overlaps with the second conductor 58 as shown in part (B) to part (D) of FIG. Specifically, the entire periphery of the peripheral edge 48 overlaps the second conductor 58 having a rectangular frame shape in plan view. In a configuration in which a part of the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46 overlaps the second conductor 58 and the other part does not overlap the second conductor 58, the step reflecting the film thickness of the second conductor 58 is a light emitting function. It may appear on the surface of layer 46. In the present embodiment, since the entire circumference of the peripheral edge 48 overlaps with a single member (second conductor 58), there is an advantage that the step on the surface of the light emitting functional layer 46 is reduced.

発光機能層46が形成された光路調整層60の面上には、表示領域12の全域にわたり第2電極E2が形成される。第2電極E2は、図11の部分(D)に示すように、画素定義層65の導通孔HG1を介して第1導電体63に導通する。導通孔HG1は、図13に示すように、画素定義層65のうち平面視で表示領域12を包囲する矩形枠状の領域を除去した貫通孔であり、周辺領域14の第1領域S1内に位置する。第2電極E2は、導通孔HG1を介して周辺領域14の全周にわたり第1導電体63と導通する。導通孔HG1は、導通孔HF1よりも表示領域12側に位置する。   On the surface of the optical path adjustment layer 60 on which the light emitting functional layer 46 is formed, the second electrode E2 is formed over the entire display region 12. The second electrode E2 is electrically connected to the first conductor 63 through the conduction hole HG1 of the pixel defining layer 65 as shown in part (D) of FIG. As shown in FIG. 13, the conduction hole HG1 is a through-hole obtained by removing a rectangular frame-shaped region surrounding the display region 12 in the pixel definition layer 65 in plan view, and is in the first region S1 of the peripheral region 14. To position. The second electrode E2 is electrically connected to the first conductor 63 over the entire circumference of the peripheral region 14 through the conduction hole HG1. The conduction hole HG1 is located closer to the display area 12 than the conduction hole HF1.

図3および図11から理解される通り、第2電源導電体42と第2導電体58とが導通孔HE1を介して接続され、第2導電体58と第1導電体63とが導通孔HF1を介して接続され、第1導電体63と第2電極E2とが導通孔HG1を介して接続される。したがって、第2電源導電体42に供給された低位側の電源電位(第2電位)VCTが第2導電体58と第1導電体63とを介して第2電極E2に供給される。また、第2電源導電体42と第2電極E2との接続に利用される各導通孔(HE1,HF1,HG1)は、平面視で矩形枠状の第1領域S1内に形成される。換言すると、図11に示すように、平面視で導通孔HE1の外周縁と導通孔HG1の内周縁とで囲まれた領域が第1領域S1として画定される。なお、周辺領域14に形成されて第2電極E2に接続される配線を、以下の説明では「周辺配線D」と表記する。第1実施形態の周辺配線Dは、図3に例示される通り、第2電源導電体42と第2導電体58と第1導電体63とを包含する。   As understood from FIGS. 3 and 11, the second power source conductor 42 and the second conductor 58 are connected via the conduction hole HE1, and the second conductor 58 and the first conductor 63 are connected to the conduction hole HF1. The first conductor 63 and the second electrode E2 are connected via the conduction hole HG1. Therefore, the lower power supply potential (second potential) VCT supplied to the second power supply conductor 42 is supplied to the second electrode E2 via the second conductor 58 and the first conductor 63. Further, each conduction hole (HE1, HF1, HG1) used for connection between the second power supply conductor 42 and the second electrode E2 is formed in the first region S1 having a rectangular frame shape in plan view. In other words, as shown in FIG. 11, a region surrounded by the outer peripheral edge of the conduction hole HE1 and the inner peripheral edge of the conduction hole HG1 in plan view is defined as the first region S1. The wiring formed in the peripheral region 14 and connected to the second electrode E2 is referred to as “peripheral wiring D” in the following description. The peripheral wiring D of the first embodiment includes a second power supply conductor 42, a second conductor 58, and a first conductor 63, as illustrated in FIG.

図3に例示される通り、発光機能層46のうち画素定義層65の各開口部65Aの内側にて第1電極E1と第2電極E2とに挟まれた領域(発光領域)が発光する。すなわち、開口部65Aの内側で第1電極E1と発光機能層46と第2電極E2とが積層された部分が発光素子45として機能する。以上の説明から理解される通り、画素定義層65は、各画素Pの発光素子45の平面形状やサイズ(実際に発光する領域)を規定する。第1実施形態の発光装置100は、発光素子45が非常に高精細に配置されたマイクロディスプレイである。例えば1個の発光素子45の面積(1個の開口部65Aの面積)は40μm2以下に設定され、X方向に相互に隣合う各発光素子45の間隔は1.5μm以下に設定される。   As illustrated in FIG. 3, a region (light emitting region) sandwiched between the first electrode E1 and the second electrode E2 inside each opening 65A of the pixel defining layer 65 in the light emitting functional layer 46 emits light. That is, a portion where the first electrode E1, the light emitting functional layer 46, and the second electrode E2 are stacked inside the opening 65A functions as the light emitting element 45. As understood from the above description, the pixel definition layer 65 defines the planar shape and size (area where light is actually emitted) of the light emitting element 45 of each pixel P. The light emitting device 100 of the first embodiment is a micro display in which the light emitting elements 45 are arranged with very high definition. For example, the area of one light emitting element 45 (the area of one opening 65A) is set to 40 μm 2 or less, and the interval between the light emitting elements 45 adjacent to each other in the X direction is set to 1.5 μm or less.

第2電極E2は、表面に到達した光の一部を透過するとともに残りを反射する性質(半透過反射性)の半透過反射層として機能する。例えば、銀やマグネシウムを含有する合金等の光反射性の導電材料を充分に薄い膜厚に形成することで半透過反射性の第2電極E2が形成される。発光機能層46からの放射光は、第1電源導電体41と第2電極E2との間で往復し、特定の共振波長の成分が選択的に増幅されたうえで第2電極E2を透過して観察側(基板10とは反対側)に出射する。すなわち、反射層として機能する第1電源導電体41と半透過反射層として機能する第2電極E2との間で発光機能層46からの出射光を共振させる共振構造が形成される。   The second electrode E2 functions as a semi-transmissive reflective layer having a property of transmitting part of the light reaching the surface and reflecting the rest (semi-transmissive reflective). For example, the transflective second electrode E2 is formed by forming a light-reflective conductive material such as an alloy containing silver or magnesium in a sufficiently thin film thickness. The radiated light from the light emitting functional layer 46 reciprocates between the first power supply conductor 41 and the second electrode E2, and a specific resonance wavelength component is selectively amplified and then transmitted through the second electrode E2. To the observation side (the side opposite to the substrate 10). That is, a resonance structure is formed that resonates the light emitted from the light emitting functional layer 46 between the first power supply conductor 41 functioning as a reflective layer and the second electrode E2 functioning as a semi-transmissive reflective layer.

前述した通り、第2電極E2と第1導電体63との導通用の導通孔HG1は第1領域S1に形成され、第1領域S1より表示領域12側に位置する第2領域S2内に発光機能層46の周縁48は位置する。したがって、図3および図11に示すように、発光機能層46と導通孔HG1とは平面視で相互に重ならない。   As described above, the conduction hole HG1 for conduction between the second electrode E2 and the first conductor 63 is formed in the first region S1 and emits light in the second region S2 located closer to the display region 12 than the first region S1. The peripheral edge 48 of the functional layer 46 is located. Therefore, as shown in FIGS. 3 and 11, the light emitting functional layer 46 and the conduction hole HG1 do not overlap each other in plan view.

図14は、導通孔HG1と発光機能層46とが平面視で重なる構成(以下「対比例2」という)の説明図である。対比例2においては、導通孔HG1内の領域Uにおいて、第2電極E2と第1導電体63との間に発光機能層46が介在する。したがって、対比例2では、第2電極E2と第1導電体63との導通が不充分になる可能性がある。前述の通り、発光機能層46の周縁48の位置には製造誤差が発生し得る。製造誤差に起因して領域Uが拡大した場合(第2電極E2と第1導電体63との接触面積が減少した場合)には、第2電極E2と第1導電体63との導通の不足が特に顕在化する。他方、第1実施形態においては、発光機能層46と導通孔HG1とが重ならないから、発光機能層46と第1導電体63とは接触しない。したがって、発光機能層46と第1導電体63とが導通孔HG1を介して充分に接続される。   FIG. 14 is an explanatory diagram of a configuration in which the conduction hole HG1 and the light emitting functional layer 46 overlap in plan view (hereinafter referred to as “Comparison 2”). In contrast 2, the light emitting functional layer 46 is interposed between the second electrode E2 and the first conductor 63 in the region U in the conduction hole HG1. Therefore, in contrast 2, the conduction between the second electrode E2 and the first conductor 63 may be insufficient. As described above, a manufacturing error may occur at the position of the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46. When the region U is enlarged due to a manufacturing error (when the contact area between the second electrode E2 and the first conductor 63 is reduced), the conduction between the second electrode E2 and the first conductor 63 is insufficient. Is particularly evident. On the other hand, in the first embodiment, since the light emitting functional layer 46 and the conduction hole HG1 do not overlap, the light emitting functional layer 46 and the first conductor 63 do not contact each other. Therefore, the light emitting functional layer 46 and the first conductor 63 are sufficiently connected via the conduction hole HG1.

また、前述した通り、導通孔HG1は平面視で導通孔HF1より表示領域12側に位置し、導通孔HF1は導通孔HE1より表示領域12側に位置する。つまり、図11および図13に示すように、導通孔HE1、導通孔HF1および導通孔HG1は平面視で互いにずれた位置に形成される。図15の部分(A)は、本実施形態に係る導通孔HG1と導通孔HF1とを拡大した断面図である。他方、図15の部分(B)には、導通孔HG1と導通孔HF1とが平面視で重なる構成(以下「対比例3」という)が例示されている。図15の部分(B)に示すように、導通孔HG1と導通孔HF1とが平面視で重複する場合、第2電極E2のうち導通孔HG1の外側に位置する領域の表面と導通孔HG1の内側に入り込んだ領域の表面との間に、光路調整層60の膜厚と画素定義層65の膜厚との合計に相当する高さの段差Rが発生する。したがって、第2電極E2を覆う各層には、第2電極E2の表面の段差Rを反映した段差(凹凸)が発生し得る。他方、第1実施形態では、図15の部分(A)に示すように、導通孔HG1と導通孔HF1とが平面視で重ならない。したがって、対比例3と比較して第2電極E2の表面の段差が低減されるという利点がある。同様に、本実施形態においては、導通孔HE1と導通孔HF1とが平面視でずれた位置に形成されるため、画素定義層65の膜厚と絶縁層LEの膜厚との合計に相当する段差が発生しない。したがって、第1導電体63の表面の段差を低減することができる。   As described above, the conduction hole HG1 is located on the display area 12 side from the conduction hole HF1 in a plan view, and the conduction hole HF1 is located on the display area 12 side from the conduction hole HE1. That is, as shown in FIGS. 11 and 13, the conduction hole HE1, the conduction hole HF1, and the conduction hole HG1 are formed at positions shifted from each other in plan view. Part (A) of FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the conduction hole HG1 and the conduction hole HF1 according to the present embodiment. On the other hand, the part (B) of FIG. 15 illustrates a configuration in which the conduction hole HG1 and the conduction hole HF1 overlap in plan view (hereinafter referred to as “comparative 3”). As shown in part (B) of FIG. 15, when the conduction hole HG1 and the conduction hole HF1 overlap in plan view, the surface of the second electrode E2 located outside the conduction hole HG1 and the conduction hole HG1. A step R having a height corresponding to the sum of the film thickness of the optical path adjusting layer 60 and the film thickness of the pixel defining layer 65 occurs between the surface of the region that has entered inside. Therefore, a step (unevenness) reflecting the step R on the surface of the second electrode E2 can occur in each layer covering the second electrode E2. On the other hand, in the first embodiment, as shown in the part (A) of FIG. 15, the conduction hole HG1 and the conduction hole HF1 do not overlap in plan view. Therefore, there is an advantage that the step on the surface of the second electrode E2 is reduced as compared with the comparative 3. Similarly, in the present embodiment, since the conduction hole HE1 and the conduction hole HF1 are formed at positions shifted in plan view, this corresponds to the sum of the film thickness of the pixel definition layer 65 and the film thickness of the insulating layer LE. No steps are generated. Therefore, the step on the surface of the first conductor 63 can be reduced.

第2電極E2と第2電源導電体42との導通のみを考慮すれば、第2電源導電体42は、第1領域S1内のみに存在すれば足りる。ただし、第1実施形態では、図11の部分(D)に示すように、第1領域S1に加えて、発光機能層46の製造マージンとして確保された第2領域S2にもわたるように第2電源導電体42が形成される。以上の構成によれば、第2電源導電体42を第1領域S1内のみに形成した構成と比較して第2電源導電体42の面積が充分に確保されるから、第2電源導電体42の抵抗が低減されるという利点がある。抵抗の低減により第2電源導電体42での電圧降下が抑制されるから、表示領域12内の各画素Pに供給される電位VCTが均一化され、電位VCTの誤差に起因した表示斑が低減されるという利点がある。   Considering only the conduction between the second electrode E2 and the second power supply conductor 42, it is sufficient that the second power supply conductor 42 exists only in the first region S1. However, in the first embodiment, as shown in the part (D) of FIG. 11, in addition to the first region S1, the second region S2 is provided so as to cover the second region S2 secured as the manufacturing margin of the light emitting functional layer 46. A power supply conductor 42 is formed. According to the above configuration, the second power supply conductor 42 has a sufficient area as compared with the configuration in which the second power supply conductor 42 is formed only in the first region S1. There is an advantage in that the resistance is reduced. Since the voltage drop in the second power supply conductor 42 is suppressed by the reduction in resistance, the potential VCT supplied to each pixel P in the display region 12 is made uniform, and display spots due to the error in the potential VCT are reduced. There is an advantage of being.

図3に例示される通り、第2電極E2の面上には、基板10の全域にわたり封止体70が形成される。なお、図4では封止体70の図示を便宜的に省略した。封止体70は、基板10上に形成された各要素を封止することで外気や水分の侵入を防止する光透過性の膜体であり、第1封止層71と第2封止層72と第3封止層73との積層で構成される。第3封止層73の面上に第1封止層71が形成され、第1封止層71および第3封止層73の面上に第2封止層72が形成される。   As illustrated in FIG. 3, a sealing body 70 is formed on the entire surface of the substrate 10 on the surface of the second electrode E2. In FIG. 4, the sealing body 70 is not shown for convenience. The sealing body 70 is a light-transmitting film body that seals each element formed on the substrate 10 to prevent intrusion of outside air and moisture, and includes a first sealing layer 71 and a second sealing layer. 72 and a third sealing layer 73. A first sealing layer 71 is formed on the surface of the third sealing layer 73, and a second sealing layer 72 is formed on the surfaces of the first sealing layer 71 and the third sealing layer 73.

封止体70の第3封止層73は、第2電極E2の面上に形成されて第2電極E2の表面に直接に接触する。図3から理解される通り、第3封止層73は、表示領域12と周辺領域14とを含む基板10の全域にわたり形成される。第3封止層73は、例えば珪素化合物(典型的には窒化珪素や酸化珪素)等の絶縁性の無機材料で例えば200nmから400nm程度の膜厚に形成される。第3封止層73は、光路調整層60の膜厚差(例えば120nm)以上の膜厚に好適に形成される。第3封止層73の形成には、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法またはECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマスパッタ法やイオンプレーティング法等の高密度プラズマ成膜技術が好適に利用される。酸化珪素を窒素雰囲気中で蒸着することで珪素酸窒化物の第3封止層73を形成することも可能である。また、酸化チタン等の金属酸化物に代表される無機酸化物も第3封止層73の材料として採用され得る。   The third sealing layer 73 of the sealing body 70 is formed on the surface of the second electrode E2, and directly contacts the surface of the second electrode E2. As understood from FIG. 3, the third sealing layer 73 is formed over the entire area of the substrate 10 including the display region 12 and the peripheral region 14. The third sealing layer 73 is formed of an insulating inorganic material such as a silicon compound (typically silicon nitride or silicon oxide), for example, with a film thickness of about 200 nm to 400 nm. The third sealing layer 73 is suitably formed to have a film thickness that is greater than or equal to the film thickness difference (for example, 120 nm) of the optical path adjustment layer 60. For the formation of the third sealing layer 73, a high-density plasma film forming technique such as a plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) method, an ECR (Electron Cyclotron Resonance) plasma sputtering method, or an ion plating method is preferably used. It is also possible to form the third sealing layer 73 of silicon oxynitride by depositing silicon oxide in a nitrogen atmosphere. An inorganic oxide typified by a metal oxide such as titanium oxide can also be employed as the material for the third sealing layer 73.

第1封止層71は、発光素子45を封止する要素であり、図3に示す通り、封止面82と側端面84とを含んで構成される。封止面82は、第1封止層71の上面(第3封止層73との接触面と逆側の面)のうち、発光素子45に重なる面である。側端面84は、封止面82と連続する面であり平面視で封止面82の外側に位置するとともに封止面82に対して傾斜する。側端面84は、封止面82側の上側周縁86と基板10側の下側周縁88とを含み、下側周縁88に近いほど膜厚が小さくなるように形成される。第1封止層71の下側周縁88は、図11の部分(D)に示すように平面視で第1領域S1の基板10の周縁側(表示領域12とは反対側)の第3領域S3内に位置する。第3領域S3は、所定の幅の矩形枠状の領域である。第1封止層71の下側周縁88の位置には製造上の誤差が生じ得る。製造精度が比較的に低い印刷技術等の成膜技術を第1封止層71の形成に採用した場合には、下側周縁88の位置の誤差が特に顕著となる。第3領域S3は、下側周縁88の位置の誤差範囲を包含するように確保された領域(製造マージン)である。具体的には、第3領域S3の幅は、第1領域S1の2倍程度の幅(例えば0.6mm)に設定され、第1領域S1の1倍以上3倍以下であることが好ましい。   The 1st sealing layer 71 is an element which seals the light emitting element 45, and is comprised including the sealing surface 82 and the side end surface 84 as shown in FIG. The sealing surface 82 is a surface that overlaps the light emitting element 45 among the upper surface of the first sealing layer 71 (the surface opposite to the contact surface with the third sealing layer 73). The side end surface 84 is a surface continuous with the sealing surface 82 and is located outside the sealing surface 82 in a plan view and is inclined with respect to the sealing surface 82. The side end surface 84 includes an upper peripheral edge 86 on the sealing surface 82 side and a lower peripheral edge 88 on the substrate 10 side, and is formed so that the film thickness becomes smaller as it is closer to the lower peripheral edge 88. The lower peripheral edge 88 of the first sealing layer 71 is a third region on the peripheral side (opposite to the display region 12) of the substrate 10 in the first region S1 in plan view as shown in the part (D) of FIG. Located in S3. The third region S3 is a rectangular frame region having a predetermined width. A manufacturing error may occur at the position of the lower peripheral edge 88 of the first sealing layer 71. When a film forming technique such as a printing technique with relatively low manufacturing accuracy is employed for forming the first sealing layer 71, the error in the position of the lower peripheral edge 88 becomes particularly significant. The third region S3 is a region (manufacturing margin) secured so as to include an error range of the position of the lower peripheral edge 88. Specifically, the width of the third region S3 is set to about twice the width of the first region S1 (for example, 0.6 mm), and is preferably 1 to 3 times that of the first region S1.

図11の部分(B)から部分(D)に示すように、下側周縁88は第2導電体58に重なる。具体的には、発光機能層46の周縁48と同様に、下側周縁88は全周が平面視で矩形枠状の第2導電体58に重なる。したがって、発光機能層46について前述したのと同様に、下側周縁88の一部が第2導電体58と重なり他の一部が第2導電体58とは重ならない構成と比較して、第1封止層71(下側周縁88)の表面の段差を低減することが可能である。   As shown in part (B) to part (D) of FIG. 11, the lower peripheral edge 88 overlaps the second conductor 58. Specifically, like the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46, the lower peripheral edge 88 overlaps the second conductor 58 having a rectangular frame shape in plan view. Therefore, in the same manner as described above with respect to the light emitting functional layer 46, the lower peripheral edge 88 partially overlaps the second conductor 58, and the other part does not overlap the second conductor 58. It is possible to reduce a step on the surface of the one sealing layer 71 (lower peripheral edge 88).

前述したように、第2電極E2と第2電源導電体42との導通のみを考慮すれば、第2電源導電体42は、第1領域S1内のみに存在すれば足りる。ただし、第1実施形態では、図11の部分(D)に示すように、第1領域S1に加えて、第1封止層71の製造マージンとして確保された第3領域S3にもわたるように第2電源導電体42が形成される。以上の構成によれば、第2電源導電体42を第1領域S1内のみに形成した構成と比較して第2電源導電体42の面積が充分に確保されるから、第2電源導電体42の抵抗が低減されるという利点がある。抵抗の低減により第2電源導電体42での電圧降下が抑制されるから、表示領域12内の各画素Pに供給される電位VCTが均一化され、電位VCTの誤差に起因した表示斑が低減されるという利点がある。   As described above, considering only the conduction between the second electrode E2 and the second power supply conductor 42, it is sufficient that the second power supply conductor 42 exists only in the first region S1. However, in the first embodiment, as shown in the part (D) of FIG. 11, in addition to the first region S1, the third region S3 secured as the manufacturing margin of the first sealing layer 71 is also covered. A second power supply conductor 42 is formed. According to the above configuration, the second power supply conductor 42 has a sufficient area as compared with the configuration in which the second power supply conductor 42 is formed only in the first region S1. There is an advantage in that the resistance is reduced. Since the voltage drop in the second power supply conductor 42 is suppressed by the reduction in resistance, the potential VCT supplied to each pixel P in the display region 12 is made uniform, and display spots due to the error in the potential VCT are reduced. There is an advantage of being.

第1封止層71は、第2電極E2や第3封止層73の表面の段差を埋める平坦化膜として機能する。すなわち、第2電極E2や第3封止層73の表面には下方(基板10側)の各要素の形状を反映した段差が形成されるが、第1封止層71の封止面82は、段差が充分に低減された略平面である。第1封止層71の封止面82が下面(すなわち第3封止層73との接触面)と比較して平坦であるとも換言され得る。例えば、第1封止層71は第1領域S1に形成された各導通孔(HE1,HF1,HG1)を覆い、当該導通孔に起因して第1領域S1の面上(第2電極E2や第3封止層73)に生じた段差を平坦化する。以上に説明した平坦化の機能が実現されるように、第1封止層71は、第2封止層72および第3封止層73と比較して充分に厚い膜厚(例えば1μmから5μm、特に好適には3μm)に形成される。第1封止層71は、例えばエポキシ樹脂等の光透過性の有機材料の溶液を公知の塗布技術(例えば印刷法やスピンコート法)で第2封止層72の表面に塗布して加熱処理で硬化させる工程により形成される。なお、第1封止層71の材料は有機材料に限定されない。例えば酸化珪素等の無機材料を印刷法等の塗布技術で塗布して乾燥させることで平坦化に充分な膜厚の第1封止層71を形成することも可能である。第1封止層71は、発光機能層46が形成された領域と比較して広い領域にわたり連続し、少なくとも発光機能層46を覆うように形成される。また、第1封止層71が第2電極E2を覆う構成も採用され得る。   The first sealing layer 71 functions as a planarizing film that fills the steps on the surfaces of the second electrode E2 and the third sealing layer 73. That is, a step reflecting the shape of each element below (substrate 10 side) is formed on the surface of the second electrode E2 or the third sealing layer 73, but the sealing surface 82 of the first sealing layer 71 is , A substantially flat surface in which the level difference is sufficiently reduced. In other words, the sealing surface 82 of the first sealing layer 71 is flat compared to the lower surface (that is, the contact surface with the third sealing layer 73). For example, the first sealing layer 71 covers each conduction hole (HE1, HF1, HG1) formed in the first region S1, and on the surface of the first region S1 due to the conduction hole (second electrode E2 or The step generated in the third sealing layer 73) is flattened. The first sealing layer 71 has a sufficiently thick film thickness (for example, 1 μm to 5 μm, for example) compared to the second sealing layer 72 and the third sealing layer 73 so that the planarization function described above is realized. And particularly preferably 3 μm). The first sealing layer 71 is a heat treatment by applying a solution of a light transmissive organic material such as an epoxy resin to the surface of the second sealing layer 72 by a known coating technique (for example, a printing method or a spin coating method). It is formed by the process of hardening with. Note that the material of the first sealing layer 71 is not limited to an organic material. For example, the first sealing layer 71 having a film thickness sufficient for planarization can be formed by applying an inorganic material such as silicon oxide by a coating technique such as a printing method and drying it. The first sealing layer 71 is continuous over a wide area as compared with the area where the light emitting functional layer 46 is formed, and is formed so as to cover at least the light emitting functional layer 46. A configuration in which the first sealing layer 71 covers the second electrode E2 may also be employed.

図3から理解される通り、第2封止層72は、表示領域12と周辺領域14とを含む基板10の全域にわたり形成される。第2封止層72は、例えば耐水性や耐熱性に優れた無機材料で例えば300nmから700nm程度(特に好適には400nm程度)の膜厚に形成される。例えば窒素化合物(珪素窒化物、珪素酸化物、珪素酸窒化物)が第3封止層73の材料として好適である。第2封止層72の形成には、第3封止層73について例示した公知の成膜技術が任意に採用される。以上が封止体70の具体的な構成である。   As understood from FIG. 3, the second sealing layer 72 is formed over the entire area of the substrate 10 including the display region 12 and the peripheral region 14. The second sealing layer 72 is formed of an inorganic material having excellent water resistance and heat resistance, for example, and has a thickness of about 300 nm to 700 nm (particularly preferably about 400 nm). For example, a nitrogen compound (silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride) is suitable as the material of the third sealing layer 73. For the formation of the second sealing layer 72, a known film formation technique exemplified for the third sealing layer 73 is arbitrarily employed. The above is the specific configuration of the sealing body 70.

封止体70(第2封止層72)の面上にはフィルター層90が形成される。ここで、図16では、フィルター層90は封止体70(第2封止層72)の面上に積層されている。図16は封止体70およびフィルター層90(絶縁層92,カラーフィルター94,保護部96)の断面図であり、図17は平面図である。図17ではフィルター層90(保護部96)の一部が実線で図示され、他の一部の外形が鎖線で表現されている。なお、図3や図4では、フィルター層90の図示を便宜的に省略した。   A filter layer 90 is formed on the surface of the sealing body 70 (second sealing layer 72). Here, in FIG. 16, the filter layer 90 is laminated | stacked on the surface of the sealing body 70 (2nd sealing layer 72). 16 is a cross-sectional view of the sealing body 70 and the filter layer 90 (the insulating layer 92, the color filter 94, and the protection part 96), and FIG. 17 is a plan view. In FIG. 17, a part of the filter layer 90 (protection part 96) is illustrated by a solid line, and the other part of the outer shape is represented by a chain line. 3 and 4, the filter layer 90 is omitted for convenience.

フィルター層90は、絶縁層92と複数のカラーフィルター94と保護部96とを含む。絶縁層92は、第2封止層72の面上に形成された絶縁性の部材であり、基板10の全域にわたり形成される。図16に示す通り、表示領域12の絶縁層92には画素P毎に開口部(第1開口部)92Aが形成され、周辺領域14の絶縁層92には開口部(第2開口部)92Bが形成される。開口部92Bは、図17に示すように平面視で表示領域12を包囲する矩形枠状の領域に形成される。   The filter layer 90 includes an insulating layer 92, a plurality of color filters 94, and a protection unit 96. The insulating layer 92 is an insulating member formed on the surface of the second sealing layer 72 and is formed over the entire area of the substrate 10. As shown in FIG. 16, an opening (first opening) 92A is formed for each pixel P in the insulating layer 92 in the display region 12, and an opening (second opening) 92B is formed in the insulating layer 92 in the peripheral region 14. Is formed. The opening 92B is formed in a rectangular frame-like region surrounding the display region 12 in plan view as shown in FIG.

カラーフィルター94と保護部96とは、特定の波長の光を透過させる着色層K(KR,KG,KB)から形成される。具体的には、第1実施形態の各カラーフィルター94および保護部96は、相異なる波長の光を透過させる複数の着色層K(KR,KG,KB)で構成される。第1着色層KRは、波長が約610nmの赤色光を透過させ、第2着色層KGは、波長が約550nmの緑色光を透過させ、第3着色層KBは、波長が約470nmの青色光を透過させる。   The color filter 94 and the protection unit 96 are formed from a colored layer K (KR, KG, KB) that transmits light of a specific wavelength. Specifically, each color filter 94 and the protection unit 96 of the first embodiment are configured by a plurality of colored layers K (KR, KG, KB) that transmit light having different wavelengths. The first colored layer KR transmits red light having a wavelength of about 610 nm, the second colored layer KG transmits green light having a wavelength of about 550 nm, and the third colored layer KB has blue light having a wavelength of about 470 nm. Permeate.

第1実施形態のフィルター層90は、相異なる波長の単色光を透過させる複数のカラーフィルター94(94R,94G,94B)を包含する。第1カラーフィルター94Rは第1着色層KRから形成される。同様に、第2カラーフィルター94Gは第2着色層KGから形成され、第3カラーフィルター94Bは第3着色層KBから形成される。各カラーフィルター94は、絶縁層92に画素P毎に形成された開口部92Aの内側に配置されて各画素Pの発光素子45に平面視で重なる。具体的には、赤色の画素P(共振波長が赤色光の波長に設定された画素P)の発光素子45には第1カラーフィルター94Rが重なり、緑色の画素Pの発光素子45には第2カラーフィルター94Gが重なり、青色の画素Pの発光素子45には第3カラーフィルター94Bが重なる。図16から理解される通り、絶縁層92は、各カラーフィルター94の隔壁として機能する。各発光素子45からの出射光は、当該発光素子45に重なるカラーフィルター94で着色された後に、発光装置100の外部に出射されて観測者に視認される。なお、図17では、同色の複数の画素PがY方向に配列されたストライプ配列を例示したが、各表示色の画素Pの配列の態様は任意である。   The filter layer 90 of the first embodiment includes a plurality of color filters 94 (94R, 94G, 94B) that transmit monochromatic light having different wavelengths. The first color filter 94R is formed from the first colored layer KR. Similarly, the second color filter 94G is formed from the second colored layer KG, and the third color filter 94B is formed from the third colored layer KB. Each color filter 94 is arranged inside the opening 92A formed for each pixel P in the insulating layer 92 and overlaps the light emitting element 45 of each pixel P in plan view. Specifically, the first color filter 94R overlaps the light emitting element 45 of the red pixel P (the pixel P whose resonance wavelength is set to the wavelength of red light), and the second light emitting element 45 of the green pixel P has the second color. The color filter 94G overlaps, and the third color filter 94B overlaps the light emitting element 45 of the blue pixel P. As understood from FIG. 16, the insulating layer 92 functions as a partition wall of each color filter 94. Light emitted from each light emitting element 45 is colored by a color filter 94 overlapping the light emitting element 45 and then emitted to the outside of the light emitting device 100 to be visually recognized by an observer. Although FIG. 17 illustrates a stripe arrangement in which a plurality of pixels P of the same color are arranged in the Y direction, the arrangement of the pixels P of each display color is arbitrary.

保護部96は、封止体70による封止性能を向上させる要素である。図16および図17に示す通り、保護部96は、平面視で表示領域12を全周にわたり包囲するように周辺領域14内に矩形枠状に形成される。したがって、保護部96の内側に表示領域12が位置し、保護部96の外側に実装領域16が位置する。すなわち、表示領域12と実装領域16との間には保護部96が存在する。   The protection unit 96 is an element that improves the sealing performance of the sealing body 70. As shown in FIGS. 16 and 17, the protection part 96 is formed in a rectangular frame shape in the peripheral region 14 so as to surround the display region 12 over the entire periphery in plan view. Therefore, the display area 12 is located inside the protection part 96 and the mounting area 16 is located outside the protection part 96. That is, the protection unit 96 exists between the display area 12 and the mounting area 16.

保護部96は、第1封止層71の側端面84のうち基板10側に位置する下側周縁88に平面視で重なる。周辺領域14内で封止体70の表面が露出する構成では、第1封止層71と第1封止層71の下地面(第3封止層73)との境界部(下側周縁88)から水分や外気が進入して発光素子45に到達する可能性がある。本実施形態においては、第1封止層71の下側周縁88に保護部96が重なるから、第1封止層71の周縁から水分や外気が進入することが防止される。すなわち、第1封止層71による封止性能を向上させることが可能である。   The protection part 96 overlaps the lower peripheral edge 88 located on the substrate 10 side in the side end face 84 of the first sealing layer 71 in a plan view. In the configuration in which the surface of the sealing body 70 is exposed in the peripheral region 14, a boundary portion (lower peripheral edge 88) between the first sealing layer 71 and the lower ground (third sealing layer 73) of the first sealing layer 71. ) May reach the light emitting element 45 by moisture or outside air. In the present embodiment, since the protective portion 96 overlaps the lower peripheral edge 88 of the first sealing layer 71, moisture and outside air can be prevented from entering from the peripheral edge of the first sealing layer 71. That is, the sealing performance by the first sealing layer 71 can be improved.

図16から理解される通り、第2封止層72のうち上側周縁86に重なる部分(以下「角部」という)は、第2封止層72のうち封止面82の面上に位置する平坦な部分と比較して外力を受けやすく破損し易いという問題がある。本実施形態の保護部96(第1層96R)は、第2封止層72の面上で第1封止層71の上側周縁86に重なる(すなわち第2封止層72の角部を覆う)。すなわち、第2封止層72のうち破損し易い角部が保護部96で保護される。したがって、第2封止層72の角部が破損する可能性が低減される(第2封止層72の破損部分からの外気や水分に進入が防止される)という利点がある。   As understood from FIG. 16, the portion of the second sealing layer 72 that overlaps the upper peripheral edge 86 (hereinafter referred to as “corner portion”) is located on the surface of the sealing surface 82 of the second sealing layer 72. There is a problem that it is more susceptible to external force than a flat part and is easily damaged. The protection part 96 (first layer 96R) of this embodiment overlaps the upper peripheral edge 86 of the first sealing layer 71 on the surface of the second sealing layer 72 (that is, covers the corners of the second sealing layer 72). ). That is, the corner portion of the second sealing layer 72 that is easily damaged is protected by the protection portion 96. Therefore, there is an advantage that the possibility that the corner portion of the second sealing layer 72 is damaged is reduced (invasion of outside air and moisture from the damaged portion of the second sealing layer 72 is prevented).

図16に示すように、第1実施形態の保護部96は、第1層96Rと第2層96Gと第3層96Bとの積層で構成される。第1層96Rは第2封止層72上に形成される。第2層96Gは第1層96R上に重ねて形成され、第3層96Bは第2層96G上に重ねて形成される。第1層96Rは第1着色層KRから形成される。同様に、第2層96Gは第2着色層KGから形成され、第3層96Bは第3着色層KBから形成される。   As shown in FIG. 16, the protection unit 96 of the first embodiment is configured by stacking a first layer 96R, a second layer 96G, and a third layer 96B. The first layer 96R is formed on the second sealing layer 72. The second layer 96G is formed over the first layer 96R, and the third layer 96B is formed over the second layer 96G. The first layer 96R is formed from the first colored layer KR. Similarly, the second layer 96G is formed from the second colored layer KG, and the third layer 96B is formed from the third colored layer KB.

以上の通り、第1カラーフィルター94Rと保護部96の第1層96Rとは同層(第1着色層KR)から形成される。同様に、第2カラーフィルター94Gと第2層96Gとは同層(第2着色層KG)から形成され、第3カラーフィルター94Bと第3層96Bとは同層(第3着色層KB)から形成される。以上の構成によれば、各色のカラーフィルター94を形成する工程において保護部96を形成することができる。すなわち、保護部96を形成する工程をカラーフィルター94の形成とは別個に実行する必要はない。したがって、保護部96とカラーフィルター94とを別個に形成する構成と比較して、発光装置の製造工程が簡素化されるという利点がある。   As described above, the first color filter 94R and the first layer 96R of the protection portion 96 are formed from the same layer (first colored layer KR). Similarly, the second color filter 94G and the second layer 96G are formed from the same layer (second colored layer KG), and the third color filter 94B and the third layer 96B are formed from the same layer (third colored layer KB). It is formed. According to the above configuration, the protection part 96 can be formed in the process of forming the color filter 94 of each color. That is, it is not necessary to execute the process of forming the protection unit 96 separately from the formation of the color filter 94. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process of the light emitting device is simplified as compared with the configuration in which the protection unit 96 and the color filter 94 are separately formed.

保護部96は、図16に示すように、周辺領域14内の周辺配線D(第2電源導電体42、第2導電体58、第1導電体63)に平面視で重なる。図16では、周辺配線Dの一部(第2電源導電体42および第1導電体63の全部と第2導電体58の一部)に保護部96が重なる構成が例示されている。周辺領域14に外光が進入した場合、外光が周辺配線Dで反射して観測者によって知覚される可能性がある。第1実施形態では、周辺配線Dと保護部96とが平面視で重なるため、観察側から周辺配線Dに向かう光や周辺配線Dの表面での反射光は保護部96で遮光される。したがって、周辺配線Dの表面での反射光(観察側の物体の写り込み)が観察者に知覚され難いという利点がある。第1実施形態では特に、赤色の第1層96Rと緑色の第2層96Gと青色の第3層96Bとの積層で保護部96が形成されるから、例えば単層や2層で保護部96を形成した構成と比較して、保護部96に充分な遮光性能を付与することが可能である。もっとも、単層や2層で保護部96を構成することも可能である。   As shown in FIG. 16, the protection unit 96 overlaps the peripheral wiring D (second power supply conductor 42, second conductor 58, and first conductor 63) in the peripheral region 14 in plan view. FIG. 16 illustrates a configuration in which the protection unit 96 overlaps a part of the peripheral wiring D (the entire second power supply conductor 42 and the first conductor 63 and a part of the second conductor 58). When external light enters the peripheral region 14, the external light may be reflected by the peripheral wiring D and perceived by the observer. In the first embodiment, since the peripheral wiring D and the protection part 96 overlap in plan view, the light traveling from the observation side toward the peripheral wiring D and the reflected light on the surface of the peripheral wiring D are shielded by the protection part 96. Therefore, there is an advantage that the reflected light (reflection of the object on the observation side) on the surface of the peripheral wiring D is hardly perceived by the observer. In the first embodiment, in particular, since the protective portion 96 is formed by stacking the red first layer 96R, the green second layer 96G, and the blue third layer 96B, for example, the protective portion 96 may be a single layer or two layers. Compared to the configuration in which the protective layer 96 is formed, it is possible to impart sufficient light shielding performance to the protection portion 96. However, it is also possible to form the protection part 96 with a single layer or two layers.

図16に例示される通り、フィルター層90の面上には接着層21を介して封止基板20が接合される。封止基板20は、例えばガラスや石英等で形成された光透過性の板状部材である。接着層21は、フィルター層90の表面に塗布された接着剤を硬化させることで形成される。接着剤の塗布にはスピンコート法が好適に採用される。具体的には、硬化前の接着剤を基板10(フィルター層90)上に滴下し、基板10を回転させることで接着剤を流動させてフィルター層90の表面(絶縁層92、第3層96B、各カラーフィルター94の表面)の全域に均一に塗布する。フィルター層90の表面に段差が形成されていると、この段差によりフィルター層90の表面における接着剤の流動が阻害されて接着剤が均一に塗布されず、接着層21の成膜不良が生じ得る。特に、フィルター層90の表面に形成される段差が大きいほど成膜不良が生じやすくなる。図18は、絶縁層92に開口部92Bを形成せずに絶縁層92の面上に保護部96を形成した構成(以下「対比例4」という)の説明図である。対比例4においては、保護部96が絶縁層92の面上に形成されるため、フィルター層90の表面に保護部96の膜厚(第1層96Rと第2層96Gと第3層96Bとの膜厚の和)に応じた段差が生じる。一方で、本実施形態においては、図16に示すように、保護部96は絶縁層92に形成された開口部92Bの内側(絶縁層92より下層の第2封止層72の面上)に形成される。したがって、本実施形態では、フィルター層90の面上に生じる段差は保護部96の膜厚から絶縁層92の膜厚を差し引いた大きさになる。すなわち、対比例4と比較してフィルター層90の面上に形成される段差が小さくなり、接着層21の成膜不良が低減される。   As illustrated in FIG. 16, the sealing substrate 20 is bonded to the surface of the filter layer 90 via the adhesive layer 21. The sealing substrate 20 is a light-transmitting plate member made of, for example, glass or quartz. The adhesive layer 21 is formed by curing an adhesive applied to the surface of the filter layer 90. A spin coat method is suitably employed for applying the adhesive. Specifically, the adhesive before curing is dropped on the substrate 10 (filter layer 90), and the substrate 10 is rotated to cause the adhesive to flow, so that the surface of the filter layer 90 (insulating layer 92, third layer 96B). , Uniformly applied to the entire surface of each color filter 94). If a step is formed on the surface of the filter layer 90, the flow of the adhesive on the surface of the filter layer 90 is hindered by this step, and the adhesive is not uniformly applied, and film formation failure of the adhesive layer 21 may occur. . In particular, film formation defects are more likely to occur as the level difference formed on the surface of the filter layer 90 increases. FIG. 18 is an explanatory diagram of a configuration in which a protective portion 96 is formed on the surface of the insulating layer 92 without forming the opening 92B in the insulating layer 92 (hereinafter referred to as “comparative 4”). In the comparative example 4, since the protective part 96 is formed on the surface of the insulating layer 92, the film thickness of the protective part 96 (the first layer 96R, the second layer 96G, the third layer 96B, and the like is formed on the surface of the filter layer 90. Level difference in accordance with the sum of the film thicknesses of the two. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 16, the protective part 96 is located inside the opening 92B formed in the insulating layer 92 (on the surface of the second sealing layer 72 below the insulating layer 92). It is formed. Therefore, in the present embodiment, the step generated on the surface of the filter layer 90 has a size obtained by subtracting the film thickness of the insulating layer 92 from the film thickness of the protective part 96. That is, the step formed on the surface of the filter layer 90 is reduced as compared with the comparative 4 and the film formation failure of the adhesive layer 21 is reduced.

<第2実施形態>
本発明の第2実施形態を説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で参照した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
Second Embodiment
A second embodiment of the present invention will be described. In addition, about the element which an effect | action and function are the same as that of 1st Embodiment in each form illustrated below, the reference | standard referred by description of 1st Embodiment is diverted, and each detailed description is abbreviate | omitted suitably.

図19は、第2実施形態の封止体70の面上に形成されたフィルター層90の説明図である。図19に例示される通り、第2実施形態の絶縁層92には、第1実施形態で説明した開口部92Bが形成されない。第2実施形態の保護部96は、各層(第1層96R,第2層96G,第3層96B)の周縁の位置関係が第1実施形態とは相違する。第1実施形態では、保護部96の各層の周縁が平面視で重なる(すなわち、各層の側面が面一である)のに対し、第2実施形態では、各層の周縁の平面的な位置が平面視で相違する。   FIG. 19 is an explanatory diagram of the filter layer 90 formed on the surface of the sealing body 70 of the second embodiment. As illustrated in FIG. 19, the opening 92 </ b> B described in the first embodiment is not formed in the insulating layer 92 of the second embodiment. The protection unit 96 according to the second embodiment is different from the first embodiment in the positional relationship of the peripheral edges of the respective layers (first layer 96R, second layer 96G, and third layer 96B). In the first embodiment, the peripheral edges of the layers of the protection unit 96 overlap in plan view (that is, the side surfaces of the layers are flush with each other), whereas in the second embodiment, the planar positions of the peripheral edges of the layers are flat. It is different visually.

具体的には、図19に示すように、第1層96Rの内周縁は、第2層96Gの内周縁より距離L1だけ表示領域12側に位置し、第1層96Rの外周縁は、第2層96Gの外周縁より距離L3だけ基板10の周縁側(表示領域12とは反対側)に位置する。すなわち、第2層96Gは、直下の第1層96Rが形成される範囲に平面視で包含されるように、第1層96と比較して小面積に形成される。同様に、第2層96Gの内周縁は、第3層96Bの内周縁より距離L2だけ表示領域12側に位置し、第2層96Gの外周縁は、第3層96Bの外周縁より距離L4だけ基板10の周縁側に位置する。したがって、保護部96の内周縁側の側面および外周縁側の側面は、各層の膜厚に相当する段差の階段状に形成される。距離L1から距離L4は適宜な大きさに設定されるが、第1層96Rから第3層96Bの膜厚以上の大きさに形成されるのが好適である。例えば、膜厚が約1μmの第1層96Rから第3層96Bに対して、距離L1から距離L4を約5μmに形成することができる。   Specifically, as shown in FIG. 19, the inner periphery of the first layer 96R is positioned on the display region 12 side by a distance L1 from the inner periphery of the second layer 96G, and the outer periphery of the first layer 96R is It is located on the peripheral side of the substrate 10 (the side opposite to the display area 12) by a distance L3 from the outer peripheral edge of the two layers 96G. That is, the second layer 96G is formed in a smaller area than the first layer 96 so as to be included in a plan view within a range in which the first layer 96R immediately below is formed. Similarly, the inner peripheral edge of the second layer 96G is positioned on the display region 12 side by a distance L2 from the inner peripheral edge of the third layer 96B, and the outer peripheral edge of the second layer 96G is a distance L4 from the outer peripheral edge of the third layer 96B. Only on the peripheral side of the substrate 10. Therefore, the inner peripheral side surface and the outer peripheral side surface of the protection portion 96 are formed in a stepped shape with steps corresponding to the film thickness of each layer. The distance L1 to the distance L4 are set to an appropriate size, but it is preferable that the distance L1 to the thickness of the third layer 96B is greater than the thickness of the first layer 96R. For example, the distance L1 to the distance L4 can be formed to be about 5 μm with respect to the first layer 96R to the third layer 96B having a thickness of about 1 μm.

第2実施形態においても、第1実施形態と同様の効果が実現される。また、例えば、第1層96Rから第3層96Bの側面を面一とした保護部96が絶縁層92の表面に形成される構成(例えば、図18に示した対比例4)においては、保護部96の各層(第1層96R,第2層96G,第3層96B)の膜厚の和に相当する段差がフィルター層90の表面に生じる。第2実施形態においては、図19から理解される通り、フィルター層90の表面の1段分の段差は、保護部96を構成する各層(96R,96G,96B)の膜厚に相当し、保護部96の各層の膜厚の和よりも小さい。以上の通り、第2実施形態によれば、保護部96を形成することでフィルター層90の表面(絶縁層92、第1層96R、第2層96G、第3層96B、各カラーフィルター94の表面)に生じる各段差(滴下された接着剤の流動を阻害し得る段差)は、対比例4と比較して小さくなる。したがって、本実施形態によれば、接着剤をスピンコート法でフィルター層90の表面に塗布する場合に、接着剤の流動がフィルター層90の段差で阻害される可能性が低減され、結果的に接着層21の成膜不良が低減される。   In the second embodiment, the same effect as in the first embodiment is realized. In addition, for example, in the configuration in which the protective portion 96 having the side surfaces of the first layer 96R to the third layer 96B flush with each other is formed on the surface of the insulating layer 92 (for example, in contrast 4 shown in FIG. 18), A step corresponding to the sum of the film thicknesses of the layers (first layer 96R, second layer 96G, and third layer 96B) of the portion 96 occurs on the surface of the filter layer 90. In the second embodiment, as understood from FIG. 19, the level difference of one step on the surface of the filter layer 90 corresponds to the film thickness of each layer (96R, 96G, 96B) constituting the protection unit 96, It is smaller than the sum of the film thicknesses of the respective layers of the portion 96. As described above, according to the second embodiment, the surface of the filter layer 90 (insulating layer 92, first layer 96R, second layer 96G, third layer 96B, each color filter 94 is formed by forming the protective portion 96. Each step generated on the surface) (a step that can hinder the flow of the dropped adhesive) is smaller than that in the comparative example 4. Therefore, according to the present embodiment, when the adhesive is applied to the surface of the filter layer 90 by the spin coat method, the possibility that the flow of the adhesive is hindered by the step of the filter layer 90 is reduced. Film formation defects of the adhesive layer 21 are reduced.

<変形例>
以上に例示した形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は適宜に併合され得る。
<Modification>
The form illustrated above can be variously modified. Specific modifications are exemplified below. Two or more aspects arbitrarily selected from the following examples can be appropriately combined.

(1)フィルター層90の表面の段差を低減するという観点から、図20に示すように、絶縁層92と同程度の膜厚の保護部96を、絶縁層92に形成された開口部92Bの内側に形成してもよい。以上の構成によれば、図20に示すように、絶縁層92の表面と保護部96の表面とが略同一面内に位置するので、フィルター層90の表面の段差を低減するという効果は格別に顕著である。 (1) From the viewpoint of reducing the level difference on the surface of the filter layer 90, as shown in FIG. 20, a protective portion 96 having the same thickness as that of the insulating layer 92 is provided on the opening 92 B formed in the insulating layer 92. You may form inside. According to the above configuration, as shown in FIG. 20, the surface of the insulating layer 92 and the surface of the protection portion 96 are located in substantially the same plane, so that the effect of reducing the step on the surface of the filter layer 90 is exceptional. It is remarkable.

ところで、接着層21の形成にスピンコート法を採用した場合、表示領域12内に滴下された接着剤が流動して表示領域12や周辺領域14から実装領域16まで到達する可能性がある。接着剤が実装領域16に到達して各実装端子36の表面に付着した場合、実装端子36と外部回路の端子とが充分に導通しない可能性がある。第1実施形態では、表示領域12と実装領域16との間に保護部96が位置し、保護部96の膜厚に対応した段差がフィルター層90の表面に現れる。以上の構成では、実装領域16に対する接着剤の流動が保護部96の段差により阻止されるから、接着剤の付着に起因した実装端子36と外部回路の端子との導通不良を防止できるという効果を奏する。   By the way, when the spin coat method is employed for forming the adhesive layer 21, there is a possibility that the adhesive dropped in the display area 12 flows and reaches the mounting area 16 from the display area 12 or the peripheral area 14. When the adhesive reaches the mounting region 16 and adheres to the surface of each mounting terminal 36, the mounting terminal 36 and the terminal of the external circuit may not be sufficiently conducted. In the first embodiment, the protection part 96 is located between the display area 12 and the mounting area 16, and a step corresponding to the film thickness of the protection part 96 appears on the surface of the filter layer 90. With the above configuration, since the flow of the adhesive with respect to the mounting region 16 is blocked by the level difference of the protective portion 96, it is possible to prevent a conduction failure between the mounting terminal 36 and the terminal of the external circuit due to the adhesion of the adhesive. Play.

(2)前述の各形態では、保護部96が第1封止層71の側端面84を覆う構成を例示し他が、第1封止層71と保護部96との位置関係は前述の例示に限定されない。例えば、第1封止層71の周縁(下側周縁88)からみて基板10の周縁側(表示領域12とは反対側)の領域に保護部96を形成した構成(すなわち保護部96が平面視で第1封止層71に重ならない構成)も採用される。また、第1封止層71の封止面82上に保護部96を形成した構成(第1封止層71の上側周縁86からみて表示領域12側の領域に保護部96が位置する構成)も採用される。以上の説明から理解される通り、保護部96が平面視で第1封止層71(第1封止層71の側端面84)に重なるか否かは本発明において不問である。 (2) In each form mentioned above, the protection part 96 illustrated the structure which covers the side end surface 84 of the 1st sealing layer 71, and others, but the positional relationship of the 1st sealing layer 71 and the protection part 96 is the above-mentioned illustration. It is not limited to. For example, a configuration in which the protective portion 96 is formed in a region on the peripheral side (the side opposite to the display region 12) of the substrate 10 as viewed from the peripheral edge (lower peripheral edge 88) of the first sealing layer 71 (that is, the protective portion 96 is viewed in plan And a configuration that does not overlap the first sealing layer 71 is also employed. In addition, a configuration in which the protective portion 96 is formed on the sealing surface 82 of the first sealing layer 71 (a configuration in which the protective portion 96 is located in a region on the display region 12 side as viewed from the upper peripheral edge 86 of the first sealing layer 71). Is also adopted. As understood from the above description, whether or not the protective portion 96 overlaps the first sealing layer 71 (the side end face 84 of the first sealing layer 71) in a plan view is unquestioned in the present invention.

(3)以上の各形態における各要素は、適宜に省略することが可能である。例えば、前述の各形態では、フィルター層90を絶縁層92を含めて構成したが、フィルター層90から絶縁層92を省略することも可能である。また、封止体70を第1封止層71と第2封止層72と第3封止層73とを含めて構成したが、各層は適宜に省略される。例えば第2封止層72を省略する場合は、第1封止層71の表面に保護部96が直接形成される。また、保護部96を第1層96Rと第2層96Gと第3層96Bとの3層を含んで構成したが、例えば、第1層96Rから第3層96Bの何れか1層または2層を含んで構成してもよい。 (3) Each element in the above embodiments can be omitted as appropriate. For example, in each of the above-described embodiments, the filter layer 90 includes the insulating layer 92, but the insulating layer 92 can be omitted from the filter layer 90. Moreover, although the sealing body 70 was comprised including the 1st sealing layer 71, the 2nd sealing layer 72, and the 3rd sealing layer 73, each layer is abbreviate | omitted suitably. For example, when the second sealing layer 72 is omitted, the protective part 96 is directly formed on the surface of the first sealing layer 71. In addition, the protection unit 96 includes three layers of the first layer 96R, the second layer 96G, and the third layer 96B. For example, any one or two layers of the first layer 96R to the third layer 96B are used. You may comprise.

(4)以上の各形態では、第1封止層71の側端面84および周辺配線Dの両方に重なる保護部96を例示したが、側端面84および周辺配線Dの何れか一方に保護部96を重ねる構成も採用し得る。 (4) In each of the above embodiments, the protective part 96 that overlaps both the side end face 84 and the peripheral wiring D of the first sealing layer 71 is exemplified, but the protective part 96 is provided on either the side end face 84 or the peripheral wiring D. It is also possible to adopt a configuration in which these are stacked.

(5)前述の各形態では、保護部96を、第1封止層71の周縁に重ねて形成したが、発光機能層46の周縁48に重ねて保護部96を形成してもよい。以上の構成においては、第1実施形態と同様に、周縁48と下地層との隙間に水分や外気が進入することが低減される。 (5) In each of the embodiments described above, the protective part 96 is formed so as to overlap the periphery of the first sealing layer 71, but the protective part 96 may be formed so as to overlap the peripheral edge 48 of the light emitting functional layer 46. In the above configuration, as in the first embodiment, the entry of moisture and outside air into the gap between the peripheral edge 48 and the base layer is reduced.

(6)以上の各形態においては、保護部96を下側周縁88の全周に重ねて形成したが、保護部96を下側周縁88の一部に重ねてもよい。同様に、保護部96を上側周縁86の一部に重ねてもよい。また、以上の各形態においては、保護部96が周辺配線Dの一部に重なる構成としたが、保護部96が平面視で周辺配線Dの全域に重なる構成も採用し得る。 (6) In each of the above embodiments, the protective part 96 is formed so as to overlap the entire periphery of the lower peripheral edge 88, but the protective part 96 may be overlapped on a part of the lower peripheral edge 88. Similarly, the protection part 96 may be overlapped with a part of the upper peripheral edge 86. In each of the above embodiments, the protection unit 96 is configured to overlap a part of the peripheral wiring D. However, a configuration in which the protection unit 96 is overlapped with the entire area of the peripheral wiring D in plan view may be employed.

(7)以上の各形態においては、保護部96を第1封止層71の上側周縁86および下側周縁88の双方に重ねたが、保護部96を上側周縁86および下側周縁88の何れか一方に重ねてもよい。 (7) In each of the above embodiments, the protective part 96 is overlapped on both the upper peripheral edge 86 and the lower peripheral edge 88 of the first sealing layer 71. It may be superimposed on either side.

(8)フィルター層90の着色層Kの種類は前述の各形態での例示に限られない。例えば、フィルター層90を、赤色の光を透過させる第1着色層KRと緑色の光を透過させる第2着色層KGと青色の光を透過させる第3着色層KBとに加えて、波長が約580nmの黄色の光を透過させる第4着色層を含めて構成してもよい。以上の構成において、表示色が黄色の画素Pが表示領域12に形成され、この画素Pの発光素子45に重なる第4カラーフィルターと、保護部96の第3層96Bに重なる第4層とが第4着色層を用いて同層から形成される。 (8) The type of the colored layer K of the filter layer 90 is not limited to the examples in the above-described embodiments. For example, in addition to the first colored layer KR that transmits red light, the second colored layer KG that transmits green light, and the third colored layer KB that transmits blue light, the filter layer 90 has a wavelength of about You may comprise including the 4th colored layer which permeate | transmits 580 nm yellow light. In the above configuration, the pixel P whose display color is yellow is formed in the display region 12, and the fourth color filter that overlaps the light emitting element 45 of the pixel P and the fourth layer that overlaps the third layer 96B of the protection unit 96 are provided. The fourth colored layer is used to form the same layer.

(9)前述の各形態では有機EL材料を利用した発光素子45を例示したが、無機EL材料で発光層を形成した発光素子やLED等の発光素子を利用した構成にも本発明は同様に適用される。また、前述の各形態では、基板10とは反対側に光を出射するトップエミッション型の発光装置100を例示したが、基板10側に光を出射するボトムエミッション型の発光装置にも本発明は同様に適用される。 (9) In each of the above-described embodiments, the light emitting element 45 using the organic EL material is exemplified. However, the present invention similarly applies to a configuration using a light emitting element in which a light emitting layer is formed of an inorganic EL material or a light emitting element such as an LED. Applied. Further, in each of the above-described embodiments, the top emission type light emitting device 100 that emits light to the side opposite to the substrate 10 is illustrated, but the present invention also applies to a bottom emission type light emitting device that emits light to the substrate 10 side. The same applies.

<電子機器>
前述の各形態に例示した発光装置100は各種の電子機器の表示装置として好適に利用される。図21には、前述の各形態に例示した発光装置100を利用した頭部装着型の表示装置1(HMD:Head Mounted Display)が電子機器として例示されている。
<Electronic equipment>
The light emitting device 100 exemplified in each of the above embodiments is suitably used as a display device for various electronic devices. FIG. 21 illustrates a head-mounted display device 1 (HMD: Head Mounted Display) using the light-emitting device 100 exemplified in each of the above-described embodiments as an electronic device.

表示装置1は、利用者の頭部に装着可能な電子機器であり、利用者の左眼に重なる透過部(レンズ)2Lと、利用者の右眼に重なる透過部2Rと、左眼用の発光装置100Lおよびハーフミラー4Lと、右眼用の発光装置100Rおよびハーフミラー4Rとを具備する。発光装置100Lと発光装置100Rとは、出射光が相互に反対の方向に進行するように配置される。左眼用のハーフミラー4Lは、透過部2Lの透過光を利用者の左眼側に透過させるとともに、発光装置100Lからの出射光を利用者の左眼側に反射させる。同様に、右眼用のハーフミラー4Rは、透過部2Rの透過光を利用者の右眼側に透過させるとともに発光装置100Rからの出射光を利用者の右眼側に反射させる。したがって、利用者は、透過部2Lおよび透過部2Rを介して観察される像と各発光装置100による表示画像とを重畳した画像を知覚する。また、相互に視差が付与された立体視画像(左眼用画像および右眼用画像)を発光装置100Lと発光装置100Rとに表示させることで、利用者に表示画像の立体感を知覚させることが可能である。   The display device 1 is an electronic device that can be worn on the user's head, and includes a transmission part (lens) 2L that overlaps the user's left eye, a transmission part 2R that overlaps the user's right eye, and a left-eye display. The light emitting device 100L and the half mirror 4L, and the right eye light emitting device 100R and the half mirror 4R are provided. The light emitting device 100L and the light emitting device 100R are arranged so that the emitted light travels in opposite directions. The half mirror 4L for the left eye transmits the transmitted light of the transmission part 2L to the left eye side of the user and reflects the emitted light from the light emitting device 100L to the left eye side of the user. Similarly, the right-eye half mirror 4R transmits the light transmitted through the transmissive portion 2R to the right eye side of the user and reflects the light emitted from the light emitting device 100R to the right eye side of the user. Therefore, the user perceives an image obtained by superimposing an image observed through the transmission unit 2L and the transmission unit 2R and a display image by each light emitting device 100. In addition, the stereoscopic image (the image for the left eye and the image for the right eye) with parallax added to each other is displayed on the light emitting device 100L and the light emitting device 100R, thereby allowing the user to perceive the stereoscopic effect of the display image. Is possible.

なお、前述の各形態の発光装置100が適用される電子機器は図21の表示装置1に限定されない。例えば、ビデオカメラやスチルカメラ等の撮像装置に利用される電子式ビューファインダー(EVF:Electronic View Finder)にも本発明の発光装置100が好適に利用される。また、携帯電話機、携帯情報端末(スマートフォン)、テレビやパーソナルコンピューター等のモニター、カーナビゲーション装置等の各種の電子機器に本発明の発光装置を採用することが可能である。   Note that an electronic device to which the light emitting device 100 of each embodiment described above is applied is not limited to the display device 1 in FIG. For example, the light emitting device 100 of the present invention is also preferably used in an electronic view finder (EVF) used in an imaging device such as a video camera or a still camera. In addition, the light emitting device of the present invention can be used in various electronic devices such as mobile phones, personal digital assistants (smartphones), monitors such as televisions and personal computers, and car navigation devices.

10……基板、100……発光装置、12……表示領域、14……周辺領域、16……実装領域、22……走査線、24……制御線、26……信号線、30……駆動回路、32……走査線駆動回路、34……信号線駆動回路、36……実装端子、41……第1電源導電体、42……第2電源導電体、E1……第1電極、E2……第2電極、45……発光素子、46……発光機能層、48……周縁、58……第2導電体、60……光路調整層、63……第1導電体、65……画素定義層、70……封止体、71……第1封止層、82……封止面、84……側端面、86……上側周縁、88……下側周縁、72……第2封止層、73……第3封止層、90……フィルター層、92……絶縁層、94R,94G,94B……カラーフィルター、96……保護部、96R……第1層、96G……第2層、96B……第3層、20……封止基板、21……接着層、C……容量素子、D……周辺配線、TDR……駆動トランジスター、TEL……発光制御トランジスター、TSL……選択トランジスター、Q(QA1,QA2,QA3,QA4,QB1,QB2,QD1,QE1)……中継電極、1……表示装置、2L……透過部、2R……透過部、4L……ハーフミラー、4R……ハーフミラー。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Board | substrate, 100 ... Light-emitting device, 12 ... Display area, 14 ... Peripheral area, 16 ... Mounting area, 22 ... Scan line, 24 ... Control line, 26 ... Signal line, 30 ... Drive circuit 32... Scanning line drive circuit 34... Signal line drive circuit 36... Mounting terminal 41... First power supply conductor 42. E2 ... second electrode, 45 ... light emitting element, 46 ... light emitting functional layer, 48 ... peripheral edge, 58 ... second conductor, 60 ... optical path adjusting layer, 63 ... first conductor, 65 ... ... pixel definition layer, 70 ... sealing body, 71 ... first sealing layer, 82 ... sealing face, 84 ... side end face, 86 ... upper peripheral edge, 88 ... lower peripheral edge, 72 ... Second sealing layer 73... Third sealing layer 90... Filter layer 92. Insulating layer 94 R, 94 G, 94 B Color filter 96 96R... First layer 96G... Second layer 96B... Third layer 20... Sealing substrate 21. Adhesive layer C. Capacitance element D D. Peripheral wiring TDR. ... Drive transistor, TEL ... Light emission control transistor, TSL ... Select transistor, Q (QA1, QA2, QA3, QA4, QB1, QB2, QD1, QE1) ... Relay electrode, 1 ... Display device, 2L ... Transmission Part, 2R ... transmission part, 4L ... half mirror, 4R ... half mirror.

図16に例示される通り、フィルター層90の面上には接着層21を介して封止基板20が接合される。封止基板20は、例えばガラスや石英等で形成された光透過性の板状部材である。接着層21は、フィルター層90の表面に塗布された接着剤を硬化させることで形成される。接着剤の塗布にはスピンコート法が好適に採用される。具体的には、硬化前の接着剤を基板10(フィルター層90)上に滴下し、基板10を回転させることで接着剤を流動させてフィルター層90の表面(絶縁層92、第3層96B、各カラーフィルター94の表面)の全域に均一に塗布する。フィルター層90の表面に段差が形成されていると、この段差によりフィルター層90の表面における接着剤の流動が阻害されて接着剤が均一に塗布されず、接着層21の成膜不良が生じ得る。特に、フィルター層90の表面に形成される段差が大きいほど成膜不良が生じやすくなる。図18は、絶縁層92に開口部92Bを形成せずに絶縁層92の面上に保護部96を形成した構成(以下「実施例A」という)の説明図である。実施例Aにおいては、保護部96が絶縁層92の面上に形成されるため、フィルター層90の表面に保護部96の膜厚(第1層96Rと第2層96Gと第3層96Bとの膜厚の和)に応じた段差が生じる。一方で、本実施形態においては、図16に示すように、保護部96は絶縁層92に形成された開口部92Bの内側(絶縁層92より下層の第2封止層72の面上)に形成される。したがって、本実施形態では、フィルター層90の面上に生じる段差は保護部96の膜厚から絶縁層92の膜厚を差し引いた大きさになる。すなわち、実施例Aと比較してフィルター層90の面上に形成される段差が小さくなり、接着層21の成膜不良が低減される。 As illustrated in FIG. 16, the sealing substrate 20 is bonded to the surface of the filter layer 90 via the adhesive layer 21. The sealing substrate 20 is a light-transmitting plate member made of, for example, glass or quartz. The adhesive layer 21 is formed by curing an adhesive applied to the surface of the filter layer 90. A spin coat method is suitably employed for applying the adhesive. Specifically, the adhesive before curing is dropped on the substrate 10 (filter layer 90), and the substrate 10 is rotated to cause the adhesive to flow, so that the surface of the filter layer 90 (insulating layer 92, third layer 96B). , Uniformly applied to the entire surface of each color filter 94). If a step is formed on the surface of the filter layer 90, the flow of the adhesive on the surface of the filter layer 90 is hindered by this step, and the adhesive is not uniformly applied, and film formation failure of the adhesive layer 21 may occur. . In particular, film formation defects are more likely to occur as the level difference formed on the surface of the filter layer 90 increases. FIG. 18 is an explanatory diagram of a configuration in which a protective portion 96 is formed on the surface of the insulating layer 92 without forming the opening 92B in the insulating layer 92 (hereinafter referred to as “ Example A ”). In Example A , since the protective portion 96 is formed on the surface of the insulating layer 92, the thickness of the protective portion 96 (the first layer 96R, the second layer 96G, the third layer 96B, and the like) is formed on the surface of the filter layer 90. Level difference in accordance with the sum of the film thicknesses of the two. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 16, the protective part 96 is located inside the opening 92B formed in the insulating layer 92 (on the surface of the second sealing layer 72 below the insulating layer 92). It is formed. Therefore, in the present embodiment, the step generated on the surface of the filter layer 90 has a size obtained by subtracting the film thickness of the insulating layer 92 from the film thickness of the protective part 96. That is, the step formed on the surface of the filter layer 90 is reduced as compared with Example A, and the film formation failure of the adhesive layer 21 is reduced.

第2実施形態においても、第1実施形態と同様の効果が実現される。また、例えば、第1層96Rから第3層96Bの側面を面一とした保護部96が絶縁層92の表面に形成される構成(例えば、図18に示した実施例A)においては、保護部96の各層(第1層96R,第2層96G,第3層96B)の膜厚の和に相当する段差がフィルター層90の表面に生じる。第2実施形態においては、図19から理解される通り、フィルター層90の表面の1段分の段差は、保護部96を構成する各層(96R,96G,96B)の膜厚に相当し、保護部96の各層の膜厚の和よりも小さい。以上の通り、第2実施形態によれば、保護部96を形成することでフィルター層90の表面(絶縁層92、第1層96R、第2層96G、第3層96B、各カラーフィルター94の表面)に生じる各段差(滴下された接着剤の流動を阻害し得る段差)は、実施例Aと比較して小さくなる。したがって、本実施形態によれば、接着剤をスピンコート法でフィルター層90の表面に塗布する場合に、接着剤の流動がフィルター層90の段差で阻害される可能性が低減され、結果的に接着層21の成膜不良が低減される。


In the second embodiment, the same effect as in the first embodiment is realized. Further, for example, in the configuration in which the protective portion 96 having the side surfaces of the first layer 96R to the third layer 96B flush with each other is formed on the surface of the insulating layer 92 (for example, the embodiment A shown in FIG. 18), the protection A step corresponding to the sum of the film thicknesses of the layers (first layer 96R, second layer 96G, and third layer 96B) of the portion 96 occurs on the surface of the filter layer 90. In the second embodiment, as understood from FIG. 19, the level difference of one step on the surface of the filter layer 90 corresponds to the film thickness of each layer (96R, 96G, 96B) constituting the protection unit 96, It is smaller than the sum of the film thicknesses of the respective layers of the portion 96. As described above, according to the second embodiment, the surface of the filter layer 90 (insulating layer 92, first layer 96R, second layer 96G, third layer 96B, each color filter 94 is formed by forming the protective portion 96. Each step generated on the surface) (steps that can hinder the flow of the dropped adhesive) is smaller than that in Example A. Therefore, according to the present embodiment, when the adhesive is applied to the surface of the filter layer 90 by the spin coat method, the possibility that the flow of the adhesive is hindered by the step of the filter layer 90 is reduced. Film formation defects of the adhesive layer 21 are reduced.


Claims (7)

表示領域内に配置され、第1電極および第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間の電流に応じて発光する発光機能層とを含む発光素子と、
平面視で前記表示領域の周囲に形成されて前記第2電極に導通する周辺配線と、
第1波長の光を透過させる第1着色層を含むフィルター層であって、前記第1着色層で形成されて前記発光素子に重なる第1カラーフィルターと、前記第1着色層で形成されて前記周辺配線に重なる第1層とを含むフィルター層と
を具備する発光装置。
A light emitting element that is disposed in the display region and includes a first electrode and a second electrode, and a light emitting functional layer that emits light in response to a current between the first electrode and the second electrode;
Peripheral wiring formed around the display region in plan view and conducting to the second electrode;
A filter layer including a first colored layer that transmits light of a first wavelength, the filter layer including the first colored layer formed on the first colored layer and overlapping the light emitting element, and the first colored layer formed on the first colored layer. And a filter layer including a first layer overlapping the peripheral wiring.
前記フィルター層は、前記第1波長とは異なる第2波長の光を透過させる第2着色層を含み、前記第2着色層で形成されて前記発光素子に重なる第2カラーフィルターと、前記第2着色層で前記第1層の面上に形成されて前記周辺配線に重なる第2層とを含む
請求項1の発光装置。
The filter layer includes a second colored layer that transmits light having a second wavelength different from the first wavelength, the second color filter formed by the second colored layer and overlapping the light emitting element, and the second color filter. The light emitting device according to claim 1, further comprising: a second layer formed on the surface of the first layer by a colored layer and overlapping the peripheral wiring.
前記第2層の周縁は、平面視で前記第1層の周縁の内側に位置する
請求項2に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 2, wherein a peripheral edge of the second layer is located inside the peripheral edge of the first layer in a plan view.
前記フィルター層は、前記第1波長および前記第2波長とは異なる第3波長の光を透過させる第3着色層を含み、前記第3着色層で形成されて前記発光素子に重なる第3カラーフィルターと、前記第3着色層で前記第2層の面上に形成されて前記周辺配線に重なる第3層とを含む
請求項2または請求項3の発光装置。
The filter layer includes a third colored layer that transmits light having a third wavelength different from the first wavelength and the second wavelength, and is formed of the third colored layer and overlaps the light emitting element. The light emitting device according to claim 2, further comprising: a third layer formed on the surface of the second layer by the third colored layer and overlapping the peripheral wiring.
前記第3層の周縁は、平面視で前記第2層の周縁の内側に位置する
請求項4に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 4, wherein a peripheral edge of the third layer is positioned inside a peripheral edge of the second layer in a plan view.
前記フィルター層は、前記表示領域内の複数の第1開口部と前記周辺配線に重なる第2開口部とが形成された絶縁層を含み、
前記第1カラーフィルターと前記第2カラーフィルターと前記第3カラーフィルターとは、前記複数の第1開口部の内側に形成され、
前記第1層と前記第2層と前記第3層とは、前記第2開口部の内側に形成される
請求項4または請求項5の発光装置。
The filter layer includes an insulating layer in which a plurality of first openings in the display region and a second opening overlapping the peripheral wiring are formed,
The first color filter, the second color filter, and the third color filter are formed inside the plurality of first openings,
The light emitting device according to claim 4, wherein the first layer, the second layer, and the third layer are formed inside the second opening.
請求項1から請求項6の何れかの発光装置を具備する電子機器。

An electronic apparatus comprising the light-emitting device according to claim 1.

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