JP2018078010A - マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態に係るマイクロ波プラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。図1のマイクロ波プラズマ処理装置は、RLSA(登録商標)マイクロ波プラズマ処理装置であり、例えば窒化珪素膜を形成する成膜装置として構成されている。
次に、このように構成されるマイクロ波プラズマ処理装置100の動作について説明する。
その結果、断面矩形状の導波管39をTEモードで伝送されたマイクロ波は、変換ポート38でTEMモードに変換され、同軸導波管37を伝播して遅波材33に至り、平面アンテナ31のスロット32から放射されるが、このときの伝送されるマイクロ波の周方向の電界均一性は、同軸導波管37の長さに関係することが見出された。
RLSA(登録商標)マイクロ波プラズマ処理装置においては、マイクロ波供給部は、アンテナメーカーにより製造され、その設計もアンテナメーカーによりなされており、例えば、周波数が2.45GHzの装置において、同軸導波管の高さ(長さ)が98.5mmに設計されていた。
ここでは、電磁界シミュレーションにより、同軸導波管37の高さh(同軸導波管上端位置)と遅波材内の周方向の電界均一性との関係を求めた。その結果を図3に示す。
以上、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。
2;サセプタ
5;ヒーター
24;排気機構
28;マイクロ波透過板
31;平面アンテナ
32;スロット
33;遅波材
37;同軸導波管
38;変換ポート
39;導波管
40;マイクロ波発生器
41;マッチング回路
42;スタブ部材
43;マイクロ波変換部
51;第1のガス供給機構
52;第2のガス供給機構
60;制御部
W;半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (10)
- チャンバー内にマイクロ波プラズマを生成してプラズマ処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置において、前記チャンバー内にマイクロ波を放射してマイクロ波プラズマを生成するマイクロ波プラズマ源であって、
マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器と、
マイクロ波発生器で発生されたマイクロ波をTEモードで伝播する導波管と、
前記導波管から導かれたマイクロ波の振動モードをTEモードからTEMモードに変換する変換ポート、および前記変換ポートからマイクロ波を前記チャンバーに向けて伝播し、伝播している間に残存しているTEモード成分をTEMモードに変換する同軸導波管を含むマイクロ波変換部と、
前記同軸導波管に導かれたマイクロ波を前記チャンバーに向けて放射する複数のスロットを有する導体からなる平面アンテナと、
前記平面アンテナの前記複数のスロットから放射されたマイクロ波を前記チャンバーに透過する、誘電体からなるマイクロ波透過板と、
を有し、
前記同軸導波管の長さは、前記マイクロ波発生器から発生されるマイクロ波の波長以上の長さであることを特徴とするマイクロ波プラズマ源。 - 前記モード変換器から前記平面アンテナに導かれるマイクロ波の周方向の電界均一性を補正するスタブ部材をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波プラズマ源。
- 前記平面アンテナの上面に設けられた、誘電体からなる遅波材をさらに有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のマイクロ波プラズマ源。
- 前記マイクロ波の周波数が2.45GHzであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のマイクロ波プラズマ源。
- 被処理体が収容されるチャンバーと、
マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器と、
マイクロ波発生器で発生されたマイクロ波をTEモードで伝播する導波管と、
前記導波管から導かれたマイクロ波の振動モードをTEモードからTEMモードに変換する変換ポート、および前記変換ポートからマイクロ波を前記チャンバーに向けて伝播し、伝播している間に残存しているTEモード成分をTEMモードに変換する同軸導波管を含むマイクロ波変換部と、
前記同軸導波管に導かれたマイクロ波を前記チャンバーに向けて放射する複数のスロットを有する導体からなる平面アンテナと、
前記チャンバーの天壁を構成し、前記平面アンテナの前記複数のスロットから放射されたマイクロ波を透過する、誘電体からなるマイクロ波透過板と、
前記チャンバー内にガスを供給するガス供給機構と、
前記チャンバー内を排気する排気機構と、
を有し、
前記同軸導波管の長さは、前記マイクロ波発生器から発生されるマイクロ波の波長以上の長さであることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。 - 前記モード変換器から前記平面アンテナに導かれるマイクロ波の周方向の電界均一性を補正するスタブ部材をさらに有することを特徴とする請求項5に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
- 前記平面アンテナの上面に設けられた、誘電体からなる遅波材をさらに有することを特徴とする請求項5または請求項6に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
- 前記マイクロ波の周波数が2.45GHzであることを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか1項に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
- 前記マイクロ波プラズマ処理は、前記ガス供給機構から成膜ガスを前記チャンバー内に供給してプラズマCVDにより被処理体に所定の膜を成膜する処理であることを特徴とする請求項5から請求項8のいずれか1項に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
- 前記ガス供給機構から供給される成膜ガスは珪素原料ガスおよび窒素含有ガス、またはさらに炭素含有ガスであり、被処理体に窒化珪素膜または窒化炭化珪素膜が成膜されることを特徴とする請求項9に記載のマイクロ波プラズマ処理装置。
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